CN1534870A - 弹性表面波谐振器、弹性表面波滤波器和天线共用器 - Google Patents

弹性表面波谐振器、弹性表面波滤波器和天线共用器 Download PDF

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Abstract

一种弹性表面波谐振器，具有在压电基板上形成的IDT电极和与所述IDT电极相邻的反射器电极，所述IDT电极包括第1电极指和第2电极指以及带状线电极，所述第1电极指和所述第2电极指互相不交叉，通过所述带状线电极声耦合。由于是通过带状线电极声耦合，因此不需要公共汇流条电极，不仅可减少起因于该公共汇流条电极的阻抗值的损耗，还可实现较小形状的SAW谐振器。

Description

弹性表面波谐振器、弹性表面波滤波器和天线共用器
技术领域
本发明涉及弹性表面波谐振器以及使用该弹性表面波谐振器的弹性表面波滤波器和天线共用器。
背景技术
近年来，随着移动体通信的发展，要求使用的器件的高性能化和小型化。作为用于移动体通信设备的滤波器，弹性表面波滤波器(以下称为SAW滤波器)被广泛应用。其中，作为使用在RF(Radio Frequency)频段的SAW滤波器，主要使用纵模型和梯形。梯形SAW滤波器与纵模型SAW滤波器相比容易实现低损耗化。梯形的SAW滤波器的结构是梯形地连接多个弹性表面波谐振器(以下称为SAW谐振器)的结构。因此，SAW滤波器的高性能化要求SAW谐振器的高性能化。
下面用图15说明现有的SAW谐振器。
图15是最一般的现有的SAW谐振器1500的平面图。该SAW谐振器1500由形成在压电基板1502上的内部数字变换器电极(以下称为IDT电极)1504和配置在该IDT电极1504两侧的反射器电极1514构成。IDT电极1504由第1汇流条电极1506和与其连接的多个第1电极指1508、第2汇流条电极1510和与其连接的多个第2电极指1512构成。而且，第1电极指1508和第2电极指1512交叉配置。而且，使第1电极指1508和第2电极指1512各自的间距与弹性表面波(以下称为SAW)的波长λ一致进行排列。
配置在两侧的反射器电极1514由多个带状线电极1516通过公共反射器电极1518电气短路构成。而且，第1汇流条电极1506与第1端子1520连接，第2汇流条电极1510与第2端子1522连接。因此，该SAW谐振器1500由一对端子构成。
使用这样的SAW谐振器构成SAW滤波器和天线共用器时，不仅要求滤波特性还要求大的耐电力性。因此，对上述的一般SAW谐振器的结构进行了各种改良。
图16是表示现有结构的SAW谐振器的串联连接结构的平面图。该结构主要是用于改善耐电力性。该SAW谐振器1530由压电基板1502上的2个谐振器单元1532和1534通过连接电极1536连接构成。由于各个谐振器单元1532和1534的结构与图15所示的SAW谐振器1500是相同的，因此省略说明。而且，第1端子1520和第2端子1522分别与谐振器单元1532和1534的汇流条电极连接。
如果设计使该SAW谐振器1530的容量值与图15所示SAW谐振器1500的容量值相同，则这些SAW谐振器1500和1530可得到大致相同的特性。此时，由于SAW谐振器1530串联连接2个谐振器单元1532和1534，因此可设计其各自的容量值为SAW谐振器1500的2倍。由此，可采用使例如构成谐振器单元1532和1534的IDT电极的对数，即IDT电极的电极指的根数为2倍等的方法。
而且，图17所示的SAW谐振器1540的结构为，在图16所示SAW谐振器1530中设置2个谐振器单元1532和1534共用的共同汇流条电极1538，不需要连接电极1536。
而且，在日本特开平7-74584号公报中公开了如下结构，作为可提高耐电力性的SAW滤波器，具有用于激励和检测SAW的梳形电极、至少2个具备用于反射由该梳形电极激励的SAW的反射器电极的SAW谐振器，将至少一个SAW谐振器的梳形电极作为分割电极结构。
而且，作为用于提高耐电力性的SAW滤波器，有日本特开平8-298433号公报公开的结构。该公开例也是使用多个SAW谐振器的SAW滤波器。
另一方面，不是以耐电力性的提高为目的，而是在横向型的SAW滤波器的情况下，为了实现所希望的频率特性，对输入IDT电极和输出IDT电极施行加权。图18表示横向型SAW滤波器的基本结构。该SAW滤波器1542是在压电基板1544上配置输入IDT电极1546和输出IDT电极1548。输入信号VS输入到输入IDT电极1546并变换为弹性表面波，沿压电基板1544的表面向输出IDT电极1548传播。传到输出IDT电极1548的弹性表面波在输出IDT电极1548中变换为电信号，作为输出信号在负载RL被取出。
图19为改变激励强度的加权的一例，仅表示输入IDT电极1546的一部分。输入IDT电极1546由第1图形区域1550、第2图形区域1552以及第3图形区域1554构成。即，在第1图形区域1550中交叉配置各个电极指。在第2图形区域1552中各个电极指不交叉，而与各个电极指间相邻配置1个犬腿形状的电极。而且，在第3图形区域1554中同样是各个电极指不交叉，而与各个电极指间相邻配置2个犬腿形状的电极。由图可知，第1图形区域1550、第2图形区域1552以及第3图形区域1554的各个电极指的长度不同。进行设计使这些图形区域1550、1552和1554沿SAW的传播方向为最佳配置，可实现所希望的频率特性。
而且，图20是利用容性耦合的加权的一例，同样只表示输入IDT电极1556的一部分。在该结构的情况下，输入IDT电极1556的电极指1558、1560互相不交叉而相对配置。在这些电极指1558、1560之间配置耦合电极1562，因此输入IDT电极1556形成容性耦合区域(Capacitive Coupling Section)1564和电压加权区域(Voltage Weighted Section)1566。适当调整该容性耦合区域1564的耦合电极1562的长度。例如，耦合电极5621与其他耦合电极5622的长度不同，结果是耦合电极5621部分的电容为C1，耦合电极5622部分的电容为C2，另一方面，电压加权区域1566的电容全部为Ce。
使用这样的容性耦合的加权，适用于横向型的SAW滤波器。即，通过沿着SAW的传播方向改变容性耦合的大小进行加权，通过将其最佳化，在横向型的SAW滤波器中实现所希望的频率特性。关于这一点，记载在例如日本学术振兴会弹性表面波元件技术第150委员会编的弹性表面波手册的195页和208页。
但是，在图16所示的SAW谐振器1530中，由于设有用于串联连接谐振器单元1532和1534的连接电极1536和汇流条电极，因此难以小型化。
而且，在图17所示的SAW谐振器1540中，由于没有连接电极，所以该部分可小型化，但是谐振器单元1532和1534中共用的公共汇流条电极1538的宽度变窄，由此产生阻抗分量的影响，并使SAW谐振器1540的特性恶化，例如损耗增大。特别是，IDT电极的对数越多，则公共汇流条电极1538变长，其影响更显著。
发明内容
本发明的目的在于提供一种弹性表面波谐振器以及使用该弹性表面波谐振器的弹性表面波滤波器和天线共用器，可解决上述现有的问题，在串联连接谐振器单元构成的同时，可低损耗并小型化。
为了实现上述目的，本发明的弹性表面波谐振器，包含以下的结构：具有
压电基板；
形成在所述压电基板上的内部数字变换器电极；
与所述内部数字变换器电极相邻的反射器电极，
所述内部数字变换器电极，包括第1电极指和第2电极指以及带状线电极，所述第1电极指与所述第2电极指互相不交叉，通过所述带状线电极声耦合。
通过这样的结构，由于通过带状线电极声耦合，所以不需要公共汇流条电极，可实现更小型形状。结果，可实现弹性表面波谐振器以及使用该弹性表面波谐振器的弹性表面波滤波器和天线共用器的特性的提高和小型化。
附图说明
图1是表示本发明实施例1中的SAW谐振器的结构的平面图。
图2A是表示同实施例中的SAW谐振器的通过特性的图。
图2B是表示现有的SAW谐振器的通过特性的图。
图3是表示同实施例的变形例的SAW谐振器的结构的平面图。
图4是表示同实施例的另外的变形例的SAW谐振器的结构的平面图。
图5是表示同实施例的另外的变形例的SAW谐振器的结构的平面图。
图6是表示本发明实施例2中的SAW谐振器的结构的平面图。
图7是表示同实施例中的SAW谐振器的通过特性的图。
图8是表示同实施例的变形例的SAW谐振器的结构的平面图。
图9是表示同实施例的另外的变形例的SAW谐振器的结构的平面图。
图10是表示本发明实施例3的SAW谐振器的结构的平面图。
图11是表示本发明实施例4的SAW谐振器的结构的平面图。
图12是表示同实施例的变形例的SAW谐振器的结构的平面图。
图13是表示本发明实施例5的SAW滤波器的结构的平面图。
图14是表示本发明实施例6的SAW滤波器的结构的平面图。
图15是表示现有的一般SAW谐振器的结构的平面图。
图16是表示现有结构SAW谐振器的串联连接结构的平面图。
图17是表示图16所示的SAW谐振器中的公共汇流条电极结构的平面图。
图18是表示现有的横向型SAW滤波器的结构的平面图。
图19是表示图18所示的SAW滤波器中的激励强度的加权的一例的平面图。
图20是表示图18所示的SAW滤波器中的容性耦合的加权的一例的平面图。
具体实施方式
以下，参照附图来详细说明本发明的弹性表面波谐振器、弹性表面波滤波器和天线共用器。对于相同的结构要素赋予相同的符号，并省略说明。
实施例1
图1是表示本发明实施例1中的SAW谐振器的结构的平面图。SAW谐振器10由形成在压电基板11上的IDT电极13、配置在其两侧的2段结构的反射器电极14和15构成。
IDT电极13由第1汇流条电极131和与其连接的多个第1电极指132、第2汇流条电极133和与其连接的多个第2电极指134以及孤立形状的多个带状线电极135构成。
第1电极指132与第2电极指134分别以SAW的波长λ的周期配置。而且，第1电极指132和第2电极指134不交叉，在相对于SAW的传播方向的相同位置，设立一定的间隔在互相相对的位置配置。而且，在与第1电极指132和第2电极指134的中心偏离λ/2的位置，并相对于第1电极指132和第2电极指134分别交叉的位置配置带状线电极135。带状线电极135对各个电极指的交叉的宽度是相同的，并沿着传播方向一样地配置。
而且，反射器电极14由被公共反射器电极141和143短路的多个带状线电极142和被公共反射器电极143和145短路的带状线电极144构成。反射器电极15也是同样的结构，由在公共反射器电极151和153被短路的多个带状线电极152和被公共反射器电极153和155短路的带状线电极154构成。而且，该反射器电极14和15都为相同的形状。
而且，第1汇流条电极131与第1端子16连接，第2汇流条电极133与第2端子17连接。
通过这样的结构，如图所示的第1区域20作为具有SAW谐振器特性的第1谐振器单元进行动作。而且，第2区域22作为具有SAW谐振器特性的第2谐振器单元进行动作。由于它们是通过带状线电极135声耦合，所以等价于2个谐振器单元串联连接的结构。
即，在IDT电极13中，由第1电极指132和与其交叉的带状线电极135构成IDT电极图形，由于形成对应在其两侧配置的反射器电极14和15的形状，因此该第1区域20构成第1谐振器单元。
而且，在IDT电极13中，由第2电极指134和与其交叉的带状线电极135构成IDT电极图形，由于形成对应在其两侧配置的反射器电极14和15的形状，因此该第2区域22构成第2谐振器单元。由此，带状线电极135由双方共用并声耦合，所以各谐振器单元间等价于串联连接的结构。而且，这些谐振器单元分别具有作为SAW谐振器的特性。
该SAW谐振器10，不使用公共汇流条电极，可等价性地串联连接第1区域20的谐振器单元和第2区域22的谐振器单元。结果，可降低损耗，同时，可将未设置公共汇流条电极的部分变为小型的形状。
图2A是表示使用SAW谐振器10时从第1端子16到第2端子17的通过特性的图。而且，图2B是表示图17所示的现有的SAW谐振器1540的通过特性的图。
这里，在本实施例的SAW谐振器10中，第1电极指132和第2电极指134相对的区域的间隔为3μm(这里是3λ/4)。而在现有的SAW谐振器1540中，公共汇流条电极的宽度为10μm。而且，本实施例的SAW谐振器10与现有的弹性表面波谐振器1540的对数和交叉宽度等参数是相同的。
比较图2A和图2B可发现，本实施例的SAW谐振器10的损耗的最小值为0.3dB，现有的SAW谐振器1540的损耗的最小值为0.4dB，本实施例可减少0.1dB左右的损耗。而且，由图2B可知，在现有的SAW谐振器1540中，在通过频带附近产生纹波201。这可认为是由于公共汇流条电极的阻抗分量和SAW谐振器1540中的2个谐振器单元间的不连续部分。然而，由图2A可知，本实施例的SAW谐振器10中不产生这样的纹波。
另外，图2A及图2B中，横轴为频率，纵轴为衰减量，在右侧放大表示衰减量。
这样，本实施例的SAW谐振器10不仅为第1电极指132和第2电极指134不交叉的结构，而且它们通过多个带状线电极135声耦合，所以可获得良好的通过特性。因此，本实施例的SAW谐振器具有串联连接谐振器单元的结构，可抑制损耗的增大，所以可获得低损耗且耐电力性优的SAW谐振器。
图3是表示本实施例的变形例的SAW谐振器25的平面图。如图3所示，本变形例的SAW谐振器25的特征为反射器电极23和24的结构不同。即，左侧的反射器电极23是由通过公共反射器电极231和233电气性短路的多个带状线电极232构成。而且，右侧的反射器电极24是由通过公共反射器电极241和243电气性短路的多个带状线电极242构成。这样，在中央部不设置公共反射器电极，与SAW谐振器10相比是不同的。而且，这些反射器电极23和24都为相同的形状。作为这样的结构，第1区域20为第1谐振器单元。第2区域22为第2谐振器单元，它们分别具有作为SAW谐振器的特性。
图4是表示本实施例的另外的变形例的SAW谐振器30的平面图。如图4所示，本变形例的SAW谐振器30的特征也是反射器电极25和26的结构不同。即，左侧的反射器电极25在中央部设置公共反射器电极252，而与其连接的多个带状线电极251和253的另一端构成开放状态。而且，右侧的反射器电极26也在中央部设置公共反射器电极262，而与其连接的多个带状线电极261和263的另一端构成开放状态。这样，只在中央部设置公共反射器电极的结构，与SAW谐振器10相比是不同的。而且，这些反射器电极25和26都为相同的形状。作为这样的结构，第1区域20为第1谐振器单元。第2区域22为第2谐振器单元，同样，它们分别具有作为SAW谐振器的特性。
图5是表示本实施例的另外的变形例的SAW谐振器35的结构的平面图。该变形例的SAW谐振器35的IDT电极32的结构与SAW谐振器10不同。即，本变形例的SAW谐振器35的IDT电极32由与第1汇流条电极321连接的第1电极指322和第1虚拟电极323、与第2汇流条电极324连接的第2电极指325和第2虚拟电极326以及带状线电极327构成。反射器电极14和15与SAW谐振器10相同。
由图5可知，第1虚拟电极323和第2虚拟电极326形成在带状线电极327的长度变短后的区域部。第1虚拟电极323配置在第1电极指322之间，与第1汇流条电极321连接。第2虚拟电极326配置在第2电极指325之间，与第2汇流条电极324连接。
这里，第1虚拟电极323和第2虚拟电极326的长度分别设为Wd，如果设定Wd≥0.5λ(λ：SAW的波长)，则可有效地降低向各个汇流条电极321和324的SAW的泄漏。而且，设第1虚拟电极323和第2虚拟电极326分别与带状线电极327相对的区域的间隙为G，如果设定G≤0.25λ(λ：SAW的波长)，同样，可有效地降低向各个汇流条电极321和324的SAW的泄漏。而且，设第1虚拟电极323和第2虚拟电极326的宽度为Bd，第1电极指322和第2电极指325的宽度为Bf时，如果设定Bd＞Bf，则可进一步降低向各个汇流条电极321和324的SAW的泄漏。
而且，希望Wd比0.5λ大，但其上限值由带状线电极327的长度和间隙G的设定来决定。间隙G为0.25λ以下就可以，下限值为光刻工艺和刻蚀工艺可加工的间隙就可以。另外，带状线电极327和第1电极指322以及第2电极指325交叉的长度，可依据阻抗等进行最佳设计。
而且，第1虚拟电极323和第2虚拟电极326的宽度Bd的上限值，必须使与相邻的第1电极指322、第2电极指325不接触。
该变形例的SAW谐振器35具有串联连接谐振器单元的结构，可抑制损耗的增大，所以可获得低损耗且耐电力性优的SAW谐振器。而且，还可降低向汇流条电极的SAW的泄漏。
而且，本实施例的SAW谐振器的反射器电极的结构并不限于上述结构，只要是可以封住SAW的结构，什么样的结构都可以。
而且，上述SAW谐振器中，第1区域的谐振器单元和第2区域的谐振器单元中的各个电极指与带状线电极的交叉宽度设为相同，但本发明并不限定于此。可以改变各个交叉宽度并调整电容值。
而且，即使第1谐振器单元和第2谐振器单元的各个谐振频率不同，只要是通过带状线电极声耦合的结构就可以。
而且在本实施例中，为了测定图2A的特性而设第1电极指和第2电极指的相对区域的间隔为3μm(3λ/4)，但本发明并不限定于此，只要为设计上的最佳间隔就可以。
而且本实施例中，构成IDT电极的全部第1电极指和第2电极指通过带状线电极声耦合，但本发明并不限定于此。例如，部分区域声耦合的结构也可以。而且，包含图15所示的现有的SAW谐振器采用的IDT电极结构的结构也可以。
如以上的说明，本发明的SAW谐振器由带状线电极声耦合构成2个谐振器单元，并将其串联连接，因此，可获得通过特性良好的SAW谐振器。
实施例2
图6是表示本发明实施例2中的SAW谐振器40的结构的平面图。本实施例的SAW谐振器40的IDT电极42也由第1汇流条电极421和与其连接的多个第1电极指422、第2汇流条电极423和与其连接的多个第2电极指424以及孤立形状的多个带状线电极425构成。
但是，与实施例1的SAW谐振器10相比有以下的不同点。第1电极指422与第2电极指424配置在偏离SAW波长λ的1/2的位置。对这些第1电极指422和第2电极指424，在从各自的中心偏离SAW波长λ的1/2的位置配置带状线电极425，并且该带状线电极425为犬腿形状。
即，在实施例1的SAW谐振器10中，第1电极指132和第2电极指134以与SAW波长的相同周期配置在相对于SAW的传播方向相同的位置。而且，带状线电极135形成为直线状。相对于此，本实施例的SAW谐振器40中，各自的电极指以SAW波长λ的周期进行配置，但第1电极指422和第2电极指424的关系为相对SAW的传播方向偏离SAW波长λ的1/2进行配置。而且，带状线电极425配置在从第1电极指422和第2电极指424各自的中心偏离SAW波长λ的1/2的位置，以使各个电极指交叉。而且，该带状线电极425在IDT电极42的几乎中央部弯成直角，形成所谓的犬腿形状。这里，取各个交叉宽度相同，沿着传播方向同样地配置。除此之外的结构与实施例2的SAW谐振器10是相同的，所以省略说明。
通过以上的结构，第1区域20作为第1谐振器单元，第2区域22作为第2谐振器单元，它们分别具有作为SAW谐振器的特性。而且，第1谐振器单元和第2谐振器单元通过带状线电极425声耦合，所以等价于2个谐振器单元串联连接的结构。
本实施例的SAW谐振器40不需要使用现有的SAW谐振器1540所示的公共汇流条电极，第1区域20的谐振器单元和第2区域22的谐振器单元等价于串联连接，因此，可在降低损耗的同时实现小型的形状。
图7是表示使用该SAW谐振器40时从第1端子16到第2端子17的通过特性的图。这样，虽然本实施例的SAW谐振器40的第1电极指422和第2电极指424是不交叉的结构，但是通过带状线电极425声耦合，可获得良好的通过特性。而且图7中横轴为频率，纵轴为衰减量，右侧放大表示衰减量。
图8是表示本实施例的变形例的SAW谐振器45的结构的平面图。该变形例的SAW谐振器45的特征为，反射器电极23和24的结构与本实施例的SAW谐振器40不同，而与实施例1的变形例的SAW谐振器25相同。采用这样的结构，也可获得同样的特性。
图9是表示本实施例的另外的变形例的SAW谐振器50的结构的平面图。该变形例的SAW谐振器50的特征为，反射器电极25和26的结构也与本实施例的SAW谐振器40不同，而与实施例1的另外的变形例的SAW谐振器30相同。采用这样的结构，也可获得同样的特性。
而且，本实施例的SAW谐振器的反射器电极的结构并不限定为上述那样，只要是能封住SAW的结构就可以。
而且，本实施例中，为第1电极指422和第2电极指424互相沿SAW的传播方向只偏离SAW波长λ的1/2相对的结构，但本发明并不限定于此。例如，偏离SAW波长λ的1/4相对的结构或者其他结构，只要是通过带状线电极声耦合的结构就可以。
上述SAW谐振器40、45、50中，第1区域20的谐振器单元和第2区域22的谐振器单元中的各个电极指422和424，与带状线电极425的交叉宽度相同，但本发明并不限定于此。可以改变各个交叉宽度并调整电容值。
而且，即使第1谐振器单元和第2谐振器单元的各个谐振频率不同，只要是通过带状线电极声耦合的结构就没可以。
而且本实施例中，构成IDT电极42的全部的第1电极指422和第2电极指424通过带状线电极声耦合，但本发明并不限定于此。例如，部分区域为声耦合的结构也可以。而且，包含现有的SAW谐振器1500采用的IDT电极结构的结构也可以。
而且，在本实施例的结构的情况下，与实施例1中说明的SAW谐振器35同样地配置虚拟电极也可以。
如以上的说明，本发明的SAW谐振器由带状线电极声耦合构成2个谐振器单元，并将其串联连接，因此，可在降低损耗的同时小型化，可获得通过特性良好的SAW谐振器。
实施例3
图10表示本发明实施例3的SAW谐振器60的结构的平面图。本实施例的SAW谐振器60由IDT电极62、配置在其两侧的反射器电极63和64构成。IDT电极62由第1汇流条电极621和与其连接的多个第1电极指622、第2汇流条电极623和与其连接的多个第2电极指624以及配置在不同位置的孤立形状的第1带状线电极625和第2带状线电极626构成。
第1电极指622与第2电极指624分别以SAW的波长λ的周期配置。但是，各个电极指互相不交叉，而且在SAW的传播方向上只偏离SAW波长λ的1/2，并在设有一定间隔的位置配置。而且，在与第1电极指622和第2电极指624的各自的中心偏离SAW波长λ的1/2的位置，配置第1带状线电极625和第2带状线电极626。由图可知，第1带状线电极625和第2电极指624在沿SAW的传播方向的相同位置相对配置。而且，第2带状线电极626和第1电极指622也在沿SAW的传播方向的相同位置相对配置。
由此，第1电极指622和第1带状线电极625交叉，第2带状线电极626和第2电极指624交叉，而且第1带状线电极625和第2带状线电极626交叉。而且，第1带状线电极625和第2带状线电极626在第1电极指622和第2电极指624之间的一定间隔区域交叉。这里，取各个交叉宽度相同，沿SAW的传播方向为一样。
而且，反射器电极63和64为对应IDT电极62的结构的形状。即，左侧的反射器电极63由4个公共反射器电极631、633、635、637和与它们电气性连接的多个带状线电极632、634、636构成。右侧的反射器电极64同样由4个公共反射器电极641、643、645、647和与它们电气性连接的多个带状线电极642、644、646构成。
通过上述的结构，第1区域65、第2区域66以及第1带状线电极625和第2带状线电极626交叉的第3区域67，分别构成具有SAW谐振器特性的第1谐振器单元、第2谐振器单元以及第3谐振器单元。
第1区域65的谐振器单元和第3区域67的谐振器单元通过第1带状线电极625声耦合。而且，第3区域67的谐振器单元和第2区域66的谐振器单元通过第2带状线电极626声耦合。因此，等价于3个谐振器单元串联连接的结构。
结果，不使用公共汇流条电极，第1区域65的谐振器单元、第3区域67的谐振器单元以及第2区域66的谐振器单元等价于串联连接，因此，可在降低损耗的同时实现小型的形状。
而且，本发明并不限定本实施例的反射器电极63和64的结构。例如，与实施例1和实施例2相同的结构也可以。而且，并不只是这样的结构，只要是可封住SAW的结构，其他的结构也可以。
而且，本实施例中，谐振器单元为3级串联连接，但本发明并不限定于此。例如，如果增加带状线电极的段数，可进一步得到多级结构，可得到与本实施例的SAW谐振器同样的效果。而且，本实施例中是使3个区域的谐振器单元取相同的交叉宽度，但也可以改变各个交叉宽度并调整电容值。
而且，可进行设计使这些谐振器单元的各个谐振频率不同，此时，只要是通过带状线电极声耦合的结构就可以。
而且本实施例中，构成IDT电极62的全部的第1电极指622和第2电极指624通过第1带状线电极625或第2带状线电极626声耦合，但本发明并不限定于此。例如，部分区域是声耦合的结构也可以。而且，包含现有的SAW谐振器1500采用的IDT电极结构的结构也可以。
如以上的说明，本实施例的SAW谐振器利用由配置位置不同的第1带状线电极和第2带状线电极声耦合，构成谐振器单元，同时将其串联连接。由此，具有良好的特性，可在降低损耗的同时实现更小型化的SAW谐振器。
实施例4
图11是表示本发明实施例4的SAW谐振器70的结构的平面图。本实施例的SAW谐振器70与实施例3的SAW谐振器60相比，IDT电极的带状线电极的结构不同。即，本实施例的SAW谐振器70的IDT电极72由第1汇流条电极721和与其连接的多个第1电极指722、第2汇流条电极723和与其连接的多个第2电极指724以及配置在不同位置且分别为犬腿形状的第1带状线电极725和第2带状线电极726构成。
第1电极指722与第2电极指724分别以SAW的波长λ的周期配置。但是，各个电极指互相不交叉，在SAW的传播方向上只偏离SAW波长λ的1/2，并在设有一定间隔的位置配置。在偏离该第1电极指722和第2电极指724的各自的中心SAW波长λ的1/2的位置，配置犬腿形状的第1带状线电极725和第2带状线电极726。
由图11可知，第1带状线电极725和第1电极指722交叉，而且弯曲成直角方向，在中央部与第2带状线电极726交叉。第2带状线电极726和第2电极指724交叉，同样弯曲成直角方向，如上述那样在中央部与第1带状线电极725交叉。即，第1带状线电极725和第2带状线电极726在第1电极指722和第2电极指724之间的一定间隔区域交叉。这里，取各个交叉宽度相同，沿SAW的传播方向为一样。
而且，反射器电极63和64与实施例3的SAW谐振器60为同样的结构，所以省略说明。
第1区域65的谐振器单元和第3区域67的谐振器单元通过第1带状线电极725声耦合。而且，第3区域67的谐振器单元和第2区域66的谐振器单元通过第2带状线电极726声耦合。通过这样的耦合，等价于3个谐振器单元串联连接的结构。
通过以上的结构，第1区域65作为第1谐振器单元动作，第2区域66作为第2谐振器单元动作，而且第3区域67的第1带状线电极725和第2带状线电极726交叉的区域作为第3谐振器单元动作。而且，这些谐振器单元通过第1带状线电极725和第2带状线电极726声耦合，所以等价于3个谐振器单元串联连接的结构。因此，不使用公共汇流条电极，第1区域65的谐振器单元、第3区域67的谐振器单元以及第2区域66的谐振器单元等价于串联连接，因此，可抑制由于公共汇流条电极的阻抗分量造成的特性恶化，可在降低损耗的同时实现小型的形状。
而且，本发明并不限定本实施例的反射器电极63和64的结构。例如，与实施例1和实施例2为同样的结构也可以。而且，并不只是这样的结构，只要是可封住SAW的结构，其他的结构也可以。
而且，本实施例中，谐振器单元为3级串联连接，但本发明并不限定于此。例如，如果增加带状线电极的段数，可进一步得到多级结构，可得到与本实施例的SAW谐振器同样的效果。而且，本实施例中是使3个区域的谐振器单元取相同的交叉宽度，但也可以改变各个交叉宽度并调整电容值。
而且，可进行设计使这些谐振器单元的各个谐振频率不同，此时要求是通过带状线电极声耦合的结构。
而且，在本实施例中说明了第1区域65、第2区域66以及第3区域67的谐振器单元3级串联连接的结构，但本发明并不限定为3级结构。而且，增加串联连接的谐振器单元的级数也可以。为了增加级数，增加带状线电极的级数就可以。
例如，带状线电极包括多个第1带状线电极到多个第N带状线电极(这里，N为2以上的整数)，在SAW的传播波长为λ时，第1带状线电极的一部分配置在以与第1电极指的中心偏离λ/2的位置交叉的位置，在SAW的传播波长为λ时，第N带状线电极的一部分配置在以与第2电极指的中心偏离λ/2的位置交叉的位置。而且，配置第1带状线电极的延长部与第2带状线电极、第m带状线电极与第m+1带状线电极(这里，m为2以上、N-2以下的整数)以及第N-1带状线电极与第N带状线电极的延长部，以便具有互相以规定的长度交叉的区域。通过这样的结构，第1电极指与第1带状线电极交叉的区域、第2电极指与第N带状线电极交叉的区域、以及从第m带状线电极到第m+1带状线电极分别以规定长度交叉的区域，构成各个谐振器单元，并且第1谐振器单元到第N+1谐振器单元经由第1带状线电极到第N带状线电极串联连接，实现SAW谐振器的结构。
通过这样的结构，可增加谐振器单元的级数并可分割SAW谐振器，所以对于象天线共用器那样要求耐电力性的情况是有效的。
而且，本实施例中，第1电极指722和第2电极指724互相沿SAW的传播方向只偏离SAW波长λ的1/2相对构成，但本发明并不限定于此。例如，只偏离SAW波长λ的1/4相对构成或者其他的构成，只要是通过带状线电极声耦合的结构就可以。
图12是表示本实施例的变形例的SAW谐振器75的结构的平面图。本变形例的SAW谐振器75的IDT电极74的结构与本实施例的SAW谐振器70不同。即，本实施例的SAW谐振器75的IDT电极74由第1汇流条电极741和与其连接的多个第1电极指742、第2汇流条电极743和与其连接的多个第2电极指744以及犬腿形状的第1带状线电极745和直线形状的第2带状线电极746构成。
第1电极指742与第2电极指744分别以SAW的波长λ的周期配置。而且，各个电极指互相不交叉，在相对于SAW的传播方向的相同位置相对配置。第1带状线电极745和第1电极指742交叉，并且沿SAW的传播方向只偏离SAW波长λ的1/2配置。该第1带状线电极745在中间弯曲成直角，与第2带状线电极746交叉。而且，第2带状线电极746为直线形状，相对第2电极指744沿SAW的传播方向只偏离SAW波长λ的1/2配置。该第2带状线电极746与第1带状线电极745在中央部区域交叉。虽是这样的结构，也可得到同样的特性。
而且，3个区域的谐振器单元在本实施例中其交叉宽度取为相同，也可以改变各个交叉宽度并调整电容值。
而且，可进行设计使这些谐振器单元的谐振频率互相不同，此时如果为通过带状线电极声耦合的结构就可以。
而且本实施例中，构成IDT电极74的全部的第1电极指742和第2电极指744通过第1带状线电极745或第2带状线电极746声耦合，但本发明并不限定于此。例如，部分区域声耦合的结构也可以。而且，包含现有的SAW谐振器1500采用的IDT电极结构的结构也可以。
如以上的说明，本实施例的SAW谐振器利用由第1带状线电极和第2带状线电极声耦合，可在降低损耗的同时实现小型化。而且，本实施例的SAW谐振器的情况下，各个谐振器单元之间未设置公共汇流条电极等，因此不产生向该汇流条电极的泄漏。
实施例5
图13是表示本发明实施例5的SAW滤波器80的结构的平面图。本实施例的SAW滤波器80利用实施例1的SAW谐振器10配置为2级的L型的结构。
SAW滤波器80由在压电基板11上形成的第1SAW谐振器82和第2SAW谐振器84构成。第1SAW谐振器82在第1端子86和第2端子88之间串联连接，第2SAW谐振器84则连接在第1端子86和接地面(接地端子)89之间。
这些第1SAW谐振器82和第2SAW谐振器84与实施例1的SAW谐振器10为同样的结构，设定第1SAW谐振器82的谐振频率比第2SAW谐振器84的谐振频率高。
通过以上的结构，得到SAW滤波器80。这里，第1SAW谐振器82以及第2SAW谐振器84各自未设置公共汇流条电极，所以没有因为汇流条的阻抗损失。因此，作为SAW滤波器80也可降低损耗，优化耐电力性，可实现高性能的特性。
而且，本实施例中的SAW滤波器为将SAW谐振器配置为2级的L型结构，但本发明为此外的结构也没关系。而且，SAW谐振器不仅可以是实施例1的结构，已说明的实施例1到实施例4的结构都可以。此时，只要为通过带状线电极声耦合的结构就可以。而且，在多个SAW谐振器中，至少一个可以是实施例1-4说明的结构。而且，将本发明的SAW谐振器与纵模型的SAW滤波器组合也可以。
而且，将本发明的SAW谐振器适用于天线共用器也可以。由此，可增大衰减频带的阻抗，即反射特性中的反射系数。因此，可降低天线共用器的损耗，可实现高性能的动作。
如以上的说明，本实施例中，通过带状线电极声耦合形成谐振器单元，串联连接该谐振器单元形成SAW谐振器，将该SAW谐振器配置成2级的L型构成SAW滤波器或天线共用器。因此，可降低损耗。而且，SAW谐振器在各个谐振器单元之间不需要公共汇流条电极等，所以还可降低向汇流条电极的SAW的泄漏。
而且，本实施例说明了采用图1所示SAW谐振器的情况，但本发明SAW滤波器以及天线共用器并不限定于此。可以使用实施例1到实施例4说明的各种SAW谐振器。而且，它们的组合也可以。
实施例6
图14是表示本发明实施例6的SAW滤波器90的结构的平面图。SAW滤波器90由在压电基板11上形成的第1IDT电极92、第2IDT电极93、第3IDT电极94以及配置在这些IDT电极外侧的反射器电极95和96构成。在第1IDT电极92的两侧相邻配置第2IDT电极93和第3IDT电极94，而且在其外侧配置反射器电极95和96。
第1IDT电极92由第1汇流条电极921和与其连接的第1电极指922、第2汇流条电极923和与其连接的第2电极指924以及与第1电极指922和第2电极指924分别交叉的带状线电极925构成。
而且，第2IDT电极93由第1汇流条电极931和与其连接的第1电极指932、第2汇流条电极933和与其连接的第2电极指934、同样与第2汇流条电极933连接的第3电极指935、第3汇流条电极936和与其连接的第4电极指937构成。
同样地，第3IDT电极94由第1汇流条电极941和与其连接的第1电极指942、第2汇流条电极943和与其连接的第2电极指944、同样与第2汇流条电极943连接的第3电极指945、第3汇流条电极946和与其连接的第4电极指947构成。
而且，左侧的反射器电极95由分别连接公共反射器电极951、953和955的带状线电极952和954构成。
同样地，右侧的反射器电极96由分别连接公共反射器电极961、963和965的带状线电极962和964构成。
而且，第2IDT电极93的第1汇流条电极931和第3汇流条电极936、第3IDT电极94的第1汇流条电极941和第3汇流条电极946以及第1IDT电极92的第1汇流条电极921分别连接接地端子99。
第2IDT电极93的第2汇流条电极933与第3IDT电极94的第2汇流条电极943通过连接布线100公共连接，该连接布线100与第1端子16连接。
另一方面，第1IDT电极92的第2汇流条电极923与第2端子17连接。
因此，第1IDT电极92的结构为第1电极指922和第2电极指924通过带状线电极925耦合。而且，第2IDT电极93和第3IDT电极94分别为并联连接2个IDT电极图形的结构。在第1区域97和第2区域98中，如果设定各个电极指的位置关系使SAW不被消去，则SAW滤波器90作为纵向耦合型滤波器动作。
这里，第1IDT电极92等价于串联连接，第2IDT电极93为并联连接。因此，通过调整电极指的根数和交叉宽度，可进行阻抗变换。而且，第1IDT电极92与实施例1同样是通过带状线电极925耦合的结构，所以不需要公共汇流条电极等，可降低其阻抗造成的损耗。
而且，在本实施例中，第1IDT电极为通过带状线电极进行耦合的结构，但这并不限于第1IDT电极。例如，与实施例1同样地配置虚拟电极的结构也可以。而且，采用从实施例1到实施例4说明过的谐振器单元的结构也可以。
而且，对本实施例的SAW滤波器90有3个IDT电极的情况进行了说明，但本发明并不限定于此。IDT电极进一步增多也可以。
而且，在本实施例中说明了SAW滤波器，将该结构用于天线共用器也可以。

Claims (18)

1.一种弹性表面波谐振器，包含以下的结构：具有
压电基板；
形成在所述压电基板上的内部数字变换器电极；
与所述内部数字变换器电极相邻的反射器电极，
所述内部数字变换器电极，包括第1电极指和第2电极指以及带状线电极，所述第1电极指与所述第2电极指互相不交叉，通过所述带状线电极声耦合。
2.如权利要求1所述的弹性表面波谐振器，其中
所述内部数字变换器电极具有：
第1汇流条电极；
与所述第1汇流条电极连接的多个第1电极指；
第2汇流条电极；
与所述第2汇流条电极连接的多个第2电极指；
与所述第1电极指和所述第2电极指的至少一方交叉并配置在激励起弹性表面波的位置的多个带状线电极，
通过所述内部数字变换器电极和与其相邻的所述反射器电极构成2个以上的谐振器单元，所述谐振器单元通过所述带状线电极串联连接。
3.如权利要求2所述的弹性表面波谐振器，其中
多个所述第1电极指与所述第2电极指相对配置。
4.如权利要求2所述的弹性表面波谐振器，其中
多个所述第1电极指与所述第2电极指以各自弹性表面波的传播波长的1波长的周期进行配置，并且配置在相对于弹性表面波的传播方向相同的位置。
5.如权利要求2所述的弹性表面波谐振器，其中
多个所述第1电极指与所述第2电极指以各自弹性表面波的传播波长的1波长的周期进行配置，并且互相配置在相对于弹性表面波的传播方向偏离一定距离的位置。
6.如权利要求5所述的弹性表面波谐振器，其中
所述一定距离在弹性表面波的传播波长为λ时，为λ/2或λ/4。
7.如权利要求4所述的弹性表面波谐振器，其中
在弹性表面波的波长为λ时，多个所述带状线电极配置在与所述第1电极指以及所述第2电极指的中心偏离λ/2的位置；
多个所述第1电极指与多个所述带状线电极交叉的区域构成第1谐振器单元；
多个所述第2电极指与所述带状线电极交叉的区域构成第2谐振器单元。
8.如权利要求5所述的弹性表面波谐振器，其中
多个所述带状线电极相对于所述第1电极指以及第2电极指分别离开相同的间隔进行配置，并且具有犬腿形状。
9.如权利要求2所述的弹性表面波谐振器，其中
所述带状线电极包括从多个第1带状线电极到多个第N带状线电极(这里，N为2以上的整数)；
在弹性表面波的传播波长为λ时，所述第1带状线电极的一部分在与所述第1电极指的中心偏离λ/2的位置与所述第1电极指交叉配置；
在弹性表面波的传播波长为λ时，所述第N带状线电极的一部分在与所述第2电极指的中心偏离λ/2的位置与所述第2电极指交叉配置；
所述第1带状线电极的延长部与第2带状线电极、第m带状线电极与第m+1带状线电极(这里，m为2以上N-2以下的整数)、以及第N-1带状线电极与第N带状线电极的延长部，互相以规定的长度交差配置，
所述第1电极指与所述第1带状线电极交叉的区域构成第1谐振器单元，
所述第2电极指与所述第N带状线电极交叉的区域构成第2谐振器单元；
通过各第m带状线电极到第m+1的带状线电极按规定的长度交叉的区域构成N-1个谐振器单元，
所述第1谐振器单元到所述第N+1谐振器单元，通过所述第1带状线电极到第N带状线电极串联连接。
10.如权利要求9所述的弹性表面波谐振器，其中
所述带状线电极为N＝2，
所述第1带状线电极与所述第2带状线电极之中的至少一方具有犬腿形状。
11.如权利要求2所述的弹性表面波谐振器，其中
在所述第1电极指间或所述第2电极指间的至少一方中，与带状线电极相对配置虚拟电极。
12.如权利要求11所述的弹性表面波谐振器，其中
在弹性表面波谐振器的波长为λ时，所述虚拟电极的长度为λ/2以上。
13.如权利要求11所述的弹性表面波谐振器，其中
在弹性表面波的波长为λ时，所述虚拟电极与相对的所述带状线电极的间隔为λ/4以下。
14.如权利要求11所述的弹性表面波谐振器，其中
所述虚拟电极的电极宽度为比所述第1电极指以及所述第2电极指的电极宽度大的形状。
15.一种弹性表面波滤波器，包括以下的结构：
压电基板；
在所述压电基板上排列构成多个弹性表面波谐振器，
所述多个弹性表面波谐振器的至少一部分的结构为：
所述内部数字变换器电极，包括第1电极指与第2电极指以及带状线电极，所述第1电极指和所述第2电极指互相不交叉，通过所述带状线电极声耦合。
16.一种弹性表面波滤波器，包括以下的结构：
压电基板；
沿弹性表面波的传播方向靠近所述压电基板配置的多个内部数字变换器电极，将所述内部数字变换器电极的外侧配置并纵向耦合的滤波器图形设置在与多个弹性表面波的传播方向垂直相交的方向，
多个所述滤波器图形中的至少一个所述内部数字变换器电极包括第1电极指与第2电极指以及带状线电极，所述第1电极指和所述第2电极指互相不交叉，通过所述带状线电极声耦合。
17.如权利要求16所述的弹性表面波滤波器，其中
所述内部数字变换器电极有3个，
设置在中央部的内部数字变换器电极，包括第1电极指与第2电极指以及带状线电极，所述第1电极指和所述第2电极指互相不交叉，通过所述带状线电极声耦合，
所述中央部的内部数字变换器电极的两侧配置的内部数字变换器电极，分别并联连接2个内部数字变换器电极图形。
18.一种天线共用器，包括以下的结构：
一体化构成通过频带和阻止频带特性不同的多个弹性表面波滤波器，
所述弹性表面波滤波器包括：
压电基板；
在所述压电基板上排列构成多个弹性表面波谐振器，
所述多个弹性表面波谐振器的至少一部分的结构为：
所述内部数字变换器电极包括第1电极指、在与第1电极指相对的位置配置的第2电极指以及带状线电极，所述第1电极指和所述第2电极指通过所述带状线电极声耦合。
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