CN1442294A - 喷墨打印头 - Google Patents

Abstract

一种喷墨打印头，包括喷出墨水的多个喷嘴；第1平板层，由并列形成连通上述各个对应的上述喷嘴的多个压力室的至少一枚以上的平板构成的；第2平板层，由沿上述压力室并列方向形成长形状的共用墨水室的至少一枚以上的平板构成；墨水供给通路，连接上述共用墨水室和墨水供给源；薄膜状的平板部件，位于上述第1平板层和上述第2平板层之间；限制流路，一端与上述压力室连通，另一端与上述共用墨水室连通，并且调节上述压力室和上述共用墨水室之间的墨水流量，形成在上述平板部件上；以及缓冲室，在上述共用墨水室相反侧面对上述平板部件的平板层上形成。

Description

喷墨打印头

技术领域

本发明涉及在印字面上用微小液滴形成图象的喷墨打印头(ink-iethead)。

背景技术

以往被人们所知的喷墨打印头的一般构成中之一是形成多个压力室的同时，对应各个压力室开设喷嘴，各个喷嘴与对应的压力室的一端连接。

在此构成中，来自墨水供给源(例如墨水槽)的墨水向共用墨水室供给后，从该共用墨水室分配到多个压力室。通过执行元件对于压力室选择性地给予压力，从对应于其压力室的喷嘴喷射墨水，在印字面上形成图象。

该喷墨打印头一般是将金属制等的薄的平板进行多层叠层接合形成的。上述的压力室和共用墨水室是在该金属板上进行蚀刻形成的。

在此，也已知在共用墨水室和压力室之间，设置缩小流路截面积结构的限制流路，在墨水喷射时调整向压力室供给的墨水量，可防止过剩量墨水的喷射的构成。

另外，也已知在共用墨水室内设置缓冲室，在墨水喷射时在压力室内发生的压力变动传播到共用墨水室时，用缓冲室吸收其压力变动，可防止其压力变动影响其他压力室的现象(交叉干扰)的构成。

近年，更要求有如下的喷墨打印头，即根据喷墨打印头记录的高析像度的需要正在进行喷墨打印头结构的微细化.高集成化，在此状况下，可简单地制造在内部具有上述限制流路和缓冲室的喷墨打印头。

发明内容

本发明的第1个目的在于提供在内部具有限制流路及缓冲室，且可简化制造工序的喷墨打印头。

为了达到上述目的的本发明提供一种喷墨打印头，其包括如下，喷出墨水的多个喷嘴；第1平板层，由并列形成连通上述各个对应的上述喷嘴的多个压力室的至少一枚以上的平板构成的；第2平板层，由沿上述压力室并列方向形成长形状的共用墨水室的至少一枚以上的平板构成；墨水供给通路，连接上述共用墨水室和墨水供给源；薄膜状的平板部件，位于上述第1平板层和上述第2平板层之间；限制流路，一端与上述压力室连通，另一端与上述共用墨水室连通，并且调节上述压力室和上述共用墨水室之间的墨水流量，形成在上述平板部件上；以及缓冲室，在上述共用墨水室相反侧面对上述平板部件的平板层上形成。

因此，可以将调节对压力室的墨水供给量的限制流路和吸收上述共用墨水室的压力变动的缓冲室制作在上述平板部件内，所以可简化制造工序。

附图说明

本方发明的其他和进一步的目的、特点、优点，从以下的说明和结合附图将更加清楚。

图1是表示包括本发明的实施方式的喷墨打印头的喷墨打印机的概略图。

图2是表示喷墨打印头的透视图。

图3是表示图2的III-III线剖视图。

图4是表示本发明的第1实施方式的喷墨打印头的平面图。

图5是表示图4的P-P线截面的喷墨打印头的透视图。

图6是表示模腔板组的层叠结构的分解透视图。

图7是表示在平板部件上形成金属膜的形态的模腔板组的层叠结构的分解透视图。

图8是表示在平板部件上形成内部过滤器的形态的喷墨打印头的平面图。

图9是表示在平板部件上形成内部过滤器的形态的喷墨打印头的模腔板组的层叠结构的分解透视图。

图10是表示第2实施方式的喷墨打印头的平面图。

图11是表示图8的P-P线截面的喷墨打印头的透视图。

图12是表示模腔板组的层叠结构的分解透视图。

图13是表示在平板部件上形成金属膜形态的模腔板组的分解透视图。

图14是表示第3实施方式的喷墨打印头的平面图。

图15是表示图14的P-P线截面的喷墨打印头的透视图。

图16是表示第3实施方式的喷墨打印头的模腔板组的层叠结构的分解透视图。

图17是表示第3实施方式的第3平板的放大透视图。

图18(a)是表示第3实施方式的限制流路构成的重要部放大透视图。

图18(b)是表示在限制流路内不配置突起的参考例的重要部放大透视图。

图19是表示在限制流路的变形例的重要部分放大透视图。

图20是表示第4实施方式的喷墨打印头的平面图。

图21是表示图20的P-P线截面的喷墨打印头的透视图。

图22是表示第4实施方式的喷墨打印头的模腔板组的层叠结构的分解透视图。

图23是表示第4平板的放大透视图。

图24是表示第4平板的制造工序的图。

图25是表示形成在第4平板的感光树脂层进行曝光状态的图。

图26是表示在感光树脂层形成过滤器及连络流路的状态的图。

图27是表示除去第4实施方式的第4平板的一侧的树脂的变形例的喷墨打印头的截面透视图。

图28是表示第5实施方式的喷墨打印头的平面图。

图29是表示图28的P-P线截面的喷墨打印头的透视图。

图30是表示第5实施方式的喷墨打印头的模腔板组的层叠结构的分解透视图。

图31是表示第4平板的放大透视图。

发明内容[喷墨打印头记录装置]

图1是表示含有本发明的实施方式的喷墨打印头的喷墨打印机的概略图。图1表示的喷墨打印机901是具有4个喷墨打印头1的彩喷打印机。对于该打印机901是分别由图中左方送纸部、图中右方排纸部构成。

在打印机901内部，形成从送纸部911向排纸部912输送用纸的用纸输送路径。在送纸部911的紧邻的下流侧，配置挟持输送作为图象记录媒体的用纸的一对送纸辊905a、905b。通过一对送纸辊905a、905b将用纸从图中左方输送到图中右方。在用纸输送路径的中间部配置2个皮带轮906、907和跨过2个皮带轮906、907间地卷回的环形传送带908。在输送皮带908的外周面即输送面上进行硅酮处理，用一对送纸辊905a、905b输送来的用纸通过其粘结力保持在输送皮带908的输送面上同时，另一方的皮带轮906通过图中顺时钟方向(箭头904的方向)的旋转驱动向下流侧(右方)输送。

在对于用纸的皮带轮906的插入及排出位置上分别配置压镇部件909a、909b。压镇部件909是为了将用纸挤压在输送皮带908的输送面上，使其确实粘结在输送面上的，以便输送皮带908上的用纸不从输送面上浮起。

在沿着用纸输送路径的输送皮带908紧邻着的下流侧设置剥离机构910。剥离机构910具有将粘结在输送皮带908的输送面上的用纸从输送面上剥离，向着右方的排纸部912输送的结构。

4个喷墨打印头1的下端具有打印头主体1a(如后述的，是将形成含有压力室20的墨水流路的流路单元(ink passage unit)和对于压力室20内的墨水给予压力的执行单元30粘合在一起的)。打印头主体1a相互接近地配置，其具有矩形截面，其纵向对于用纸输送方向成垂直方向(图1的纸面垂直方向)。即，该打印机901是行式打印机。4个打印头主体1a的各底面与用纸输送路径相对，在它们的底面设置具有微小直径的多个墨水喷出口的喷嘴。分别从4个打印头主体1a喷出深红色、黄、青、黑的墨水。

打印头主体1a，是其下表面和输送皮带908的输送面之间形成少量的间隙地配置的，在此间隙部分形成用纸输送路径。此构成，在输送皮带908上输送的用纸顺次通过4个打印头主体1a紧邻近的下方侧时，对着该用纸的上表面即印刷面从喷嘴喷射各色的墨水，在用纸上形成所希望的彩色图象。

喷墨打印机901具有用于自动地对于喷墨打印头1的维护的维护单元917。在该维护单元917中设置用于盖住4个打印头主体1a的下表面的4个护罩916和未图示的清洗机构等。

维护单元917在用喷墨打印机901中进行印刷时，是位于送纸部911的正下方的位置(退避位置)。在印刷终了后满足规定的条件时(例如，不进行印刷动作的状态持续规定的时间或打印机901的电源OFF时)，移动到4个打印头主体1a的正下方的位置，在此位置(护罩位置)用护罩916分别盖住打印头主体1a的下表面，防止打印头主体1a的喷嘴部分的墨水干燥。

皮带轮906、907和输送皮带908是通过基座913支承的。基座913载置在其下方配置的圆筒部件915上。圆筒部件915以安装在偏移中心位置的轴914为中心进行旋转。因此，若随着轴914的旋转改变圆筒部件915的上端高度时，与其配合的基座913升降。在维护单元917从退避位置移动到护罩位置时，预先将圆筒部件915旋转适宜的角度，使基座913、输送皮带908及皮带轮906、907从图1所示的位置只降低适宜的距离，确保维护单元917移动的空间。

在用输送皮带908围住的区域内，通过与喷墨打印头1相对的位置，即与上侧的输送皮带908的下表面接触，在内周侧配置支承它的大致长方体形状(具有与输送皮带908相同程度宽度)的导向件921。

以下，对于喷墨打印头1的构造进行更详细地说明。图2是表示喷墨打印头1的透视图。图3是表示沿着图2的III-III线的剖视图。如图2及图3所示，本实施方式的喷墨打印头1具有在一方向(主扫描方向)上延伸的矩形平面形状的打印头主体1a和为了支承打印头主体1a的基部931。基部913，除了支持打印头主体1a之外，还支持向后述的独立电极等供给驱动信号的驱动器IC932及基板933。

如图2及图3所示，基板931是由以下部件构成的，即，基块938，其是通过与打印头主体1a上表面部分地接合来支持打印头主体1a；支架939，其是通过与基块938的上表面接合，保持着基块938。基块938是具有与打印头主体1a的长方向长度大致相同的长度的略长方体形状的部件。由不锈钢等金属材料构成的基块938具有加强支架939的轻量结构体的功能。支架939是由配置在打印头主体1a侧的支架主体941和、从支架主体941向与打印头主体1a相反侧伸长的一对支架支承部942构成。一对支架支承部942，都是平板状的部件，沿着支架主体941的长方向按照规定的间隔相互平行地设置。

支架主体941的副扫描方向(与主扫描方向垂直的方向)的两端部设置着一对向下方突出的侧缘部941a。这里，一对侧缘部941a都是横跨支架主体941的长方向全宽度而形成的，所以在支架主体941的下表面，通过一对侧缘部941a形成略长方体状的沟部941b。该沟部941b内收纳着基块938。在基块938的上表面和支架主体941的沟部941b的底面是用粘结剂等粘结着。基块938的厚度，要比支架主体941的沟部941b的深度稍大，所以基块938的下端部，如图3所示从侧缘部941a向下方突出。

在基块938的内部，作为供给打印头主体1a的墨水流路，形成了向纵向延伸的略长方体形状的空隙(中空区域)墨水储存部903。此外，基块938的的下表面945上形成连通墨水储存部903的开口903b。此外，墨水储存部903，通过图中没有表示的管与主墨水槽(墨水供给源)连接着。为此，从主墨水槽向墨水储存部903中可以适宜地补充墨水。

基块938的下表面945，在开口903b的附近从周围向下方突出。而且，基块938只是在开口903b的附近与打印头主体1a的流路单元(后述的空腔板组10x)接触(参照图3)。为此，基块938的下表面945的开口903b附近以外的区域与打印头主体1a隔离，在该隔离部分配置执行单元30。

支架939的支架支持部的外侧面上通过海棉等的弹性部件937固定着驱动器IC932。在驱动器IC932的外侧面，密接地配置着降温装置934。降温装置934是略为长方体形状的部件，可以将驱动器IC932所产生的热有效地散发出去。在驱动器IC932上连接着作为给电部件的可挠的电路印刷板(FPC：Flexible Printer Circuit)936。在驱动器IC932上连接的FPC936是通过锡焊与基板933及打印头主体1a电气地连接着。在驱动器IC932及降温装置934的上方，FPC936的外侧配置着基板933。在降温装置934的上表面和基板933间，及降温装置934的下表面和FPC936间，分别通过密封部件949接合。

支架主体941的侧缘部941a的下表面和流路单元10x的上表面间，可夹住FPC936地配置密封部件950。也就是FPC936是通过密封部件950被固定在流路单元10x及支架主体941上。通过这样，可以防止打印头主体1a在长度化时的弯曲，可以防止加在执行单元30和FPC936的连接部上的作用力以及可确实地保持着FPC936。

如图2所示，沿着喷墨打印头1的主扫描方向的下方角部附近上，沿着喷墨打印头1的侧壁均等地配置着6个突起部18a。这些突起部18a是设置在打印头主体1a的最下层的喷嘴板(后述的第8平板)18的副扫描方向两端部的部分。也就是，如图3所示，喷嘴板18沿着突起部18a和与其以外部分的交界线弯曲成大约90度。在打印机901中，突起部18a设置在对应各种尺寸印刷用纸的两端附近。喷嘴板18的弯曲部分不是直角，而是弯曲成园形的形状，所以在搬送到与打印头1接近方向的用纸顶端部由于与打印头的侧面接触，不会产生用纸堵塞和卡纸的现象。(第1实施方式)

喷墨打印头的打印头主体1a是由如图4所示的作为上述的流路单元的空腔板组10和、图5所示的那样被固定的执行单元30构成的。

该空腔板组10，将从图中没有表示的墨水槽供给墨水的墨水供给口41朝上开口而构成的。该墨水供给口41通过墨水供给通路42连接在空腔板组10内部形成的共用墨水室23上。在墨水供给通路42的途中上设置着第1过滤器61。

墨水供给口41是与上述基块938的下表面945上形成的开口903b(图3所示)的位置相配合地设置着。因此，墨水供给口41中可以适宜地供给上述储存器903内的墨水。

在空腔板组10的上表面凹下地设置着菱形状的压力室20。在图中只是表示了一个压力室20，但是实际上，在共用墨水室23的纵向(图4、图5所示的Q方向)并列地设置着很多个。每个压力室20通过后述的收集过滤器及限制流路56与上述的共用墨水室23连通着。

对应着各个压力室20，在空腔板组10的下表面开设喷射墨水滴的喷嘴21。对应的压力室20和喷嘴21通过连络通路22连通着。

如图5点划线所示，平板状的执行单元30连接在空腔板组10的上表面。执行单元30封闭多个并列设置的压力室20的上侧。

该执行单元30是与特开平3-274159号公报所公开的相同。也就是，压电陶瓷层和电极相互地层叠，夹持压电陶瓷层的电极的至少一方(独立电极)作成与压力室20的平面形状几乎是相似形地而且比其稍小的平面形状。该独立电极与夹持压电陶瓷层的另一个电极一起通过上述的FPC936电气地连接在驱动器IC932上，从而可以在夹持压电陶瓷层的电极间施加电压。这样一来，通过施加的电压使对应于压力室20部分的压电陶瓷层变形，向压力室20内的墨水施加压力，其结果，从喷嘴21可以喷射出墨水。

但是，执行单元30，除了上述压电或者压电变形外也可以利用静电、磁性、热对墨水的局部的沸腾的力对墨水给予压力的物质。

空腔板组10，如图5所示，是将8枚薄板11～18层叠后相互地结合的结构。图6是空腔板组10的层叠结构。在图6中，是以分解透视图表示了空腔板组10的层叠结构。

以下为了方便地说明结构，在特定各平板11～18时，从远离喷嘴21侧计数为“第O个平板”。图中所示的最上侧所示的平板11称为第一平板，最下侧所示的平板18称为第八平板，此外，在本实施方式的描述中，八枚平板11～14中，其中第四平板最为重要，有时将其称为“平板部件”。

在第1实施方式中，平板11～18，除了第四平板14(平板部件)外都是用金属制的。第四平板是用聚酰亚胺构成的。

图5所示的那样，在第一平板11中，上述的复数个压力室20是用蚀刻形成的。另外，在第八平板18中，上述的每个压力室20所对应的喷嘴21是通过冲压贯穿形成的。

如图6所示，从第二到第七平板12～17，分别具有贯通状的连通孔82～87。各连通孔82～87在第一到第八的平板11～18层叠时互相地连接着，如图5那样形成连接压力室20和喷嘴21的连络通路22。

以下说明共用墨水室22的结构。第六.第七平板16.17都是施以蚀刻后，形成了第1空间71。另外，其上表面的第五平板15也是施以蚀刻后形成比第一空间71的宽度狭窄的第二空间72。

通过第五到第七平板15～17的层叠，第一空间和第二空间接合，构成了共用墨水室23。

本实施方式中，如上所述，由于在第一平板11上形成压力室20，该第一平板11相当于压力室形成层(以下称为“第一平板层”)A。另外，由于在第五到第七平板15～17形成了共用的墨水室23，所以该第五到第七平板15～17相当于共用墨水室形成层(以下称为“第二平板层”)B。

作为平板部件的第四平板14位于第一平板层A和第二平板层B之间。

该第1实施方式中，吸收共用墨水压力室23的压力变动的缓冲结构是设置在第四平板(平板部件)14上。也就是，构成共用墨水室23的上述第二空间72由于是贯通穿过第五平板15，所以共用墨水室23相对于平板部件的第四平板14是位于下侧面。另外，在与共用墨水室23反向侧(远离喷嘴21侧)，面对该平板14的第三平板13也施以蚀刻，形成了与上述第二空间72对应的形状的空间73。

平板部件14是用具有适当弹性的材料构成的，通过形成上述的空间73，平板部件14的符号80所显示的部位(缓冲部)既可以在共用墨水室23侧，也可以在上述空间73侧进行自由地振动。

其结果，在墨水喷射时，即使在压力室20发生的变动传播到共用墨水室23，由于该平板部件14的缓冲部80发生弹性变形后而振动，可以吸收衰减该压力变动(缓冲作用)，可以防止压力变动传播到其他压力室20的干扰。也就是，上述压力空间73起到缓冲室的作用，该平板部件14至少构成缓冲室的一部分壁(缓冲部80)。

以下，说明共用墨水室23和压力室20间的墨水流路。为了从共用墨水室23向上述压力室20导入墨水的导入孔51.52贯通设置在第五平板及平板部件14上。

在第3平板13中，贯通设置其一端与上述导入孔51、52连接的过滤器连络孔53。该过滤器连络孔形成近似三角形，与贯通设置在第四平板14(平面部件)上的收集过滤器70相连接着。

如图4和图6所示，收集过滤器70是由三根并列的细流路54构成的。各流路54是通过在平面部件14上打孔加工成贯通状的细孔而构成的，每个流路54的一端与上述连络孔53连接着。如图4所示，各流路54的途中部收缩得特别细，在该收缩部可以捕获墨水中的杂质。

该收集过滤器70是在表面方向将墨水流过上述平板部件14，形成过滤墨水的过滤器。

这里，平板部件14用比其他的平板(11～13，15～18)相对薄(薄膜状)地构成，特别是平板部件14的厚度要作成比喷嘴的直径小。这样，可以堵塞喷嘴21的大的脏物或杂质，通过在喷嘴流路中的该平板部件14上形成的过滤器70的上述收缩部，在到达喷嘴21前可以去掉。因此，可以确实地避免喷嘴21的堵塞，所以可以提供难以发生印点飞白等的印字质量问题的喷墨打印头。

收集过滤器70的三根流路另端都是与贯通第三平板13的限制流路连络孔55连接着。该限制流路连络孔55进而与贯通第四平板(平板部件)14的限制流路56连接着。

该限制流路56是在上述收集过滤器70的近腋下的位置设置的贯通状的长孔，在第三和第五平板的13、15间，限制通过该限制流路56的墨水流量，来调节供给压力室的墨水供给量，起到适当地调节来自喷嘴21的墨水喷射量的作用。

该限制流路56设置在上述第四平板14上，该第4平板(平板部件)14是与形成压力室20的第1平板11和、形成共用墨水室23的第5～第7平板15～17具有不同高度的平板。其结果，限制流路56，在平板的层叠方向上可以设置成与压力室20、共用墨水室23不同高度。

如图5所示，该限制流路56向平板11～18的层叠方向的投射区域，包括在上述共用墨水室23的区域内。

这样一来，通过限制流路56的投射区域与共用墨水室23的区域大部分重叠地布置，可以将共用墨水室23、限制流路56、压力室20三者配置在紧凑的空间内。因此，可以适合对打印头1的小型化的要求，也适合基于高析像度的压力室20和限制流路56的密集配置的要求。

限制流路56的另一端，通过第三平板13及第二平板12上分别设置的连通孔57、58与压力室20的端部连接。

这里，上述限制流路56的截面积由于直接影响供给压力室20的墨水量(补充量)，进而影响从喷嘴21来的墨水喷射量，所以为了防止从喷嘴21来的墨水喷射量的过剩或者不足，正确而精度高地形成限制流路56的尺寸是非常重要的。

此点上，将此限制流路在层叠的平板中的一枚上通过半蚀刻进行沟加工时，由于蚀刻速度容易受蚀刻液的温度和浓度等各条件的影响，半蚀刻的深度容易产生不均匀，所以正确而精度高地形成限制流路的尺寸是非常困难的。

鉴于以上的情况，本实施方式中，第4平板(平面部件)14是用聚酰亚胺形成薄膜状的同时，上述限制流路56是使用金属膜的掩模进行激光加工来形成贯通孔的。其结果，限制流路56的形状、大小都可以精度很高地形成，限制流路56的流路阻力不均匀性消失，可以提高印字质量。

通过以上的构成，共用墨水室23的墨水，从导入孔51、52经过过滤器连络孔53到达平板部件14的内部(收集过滤器570)，在这里，墨水通过在平板部件14的面方向流动被而过滤，除去杂质。进而，经过限制流路连络孔55后到达限制流路56，一边调节其流量，一边通过连通孔57、58供给到压力室20。

也就是，该图4～图6所示的实施方式中，上述收集过滤器70相当于第2过滤器62，其过滤从共用墨水室23流向压力室20的墨水。通过设置该收集过滤器70(第2过滤器62)可以将共用墨水室23的墨水内的脏物和杂质在到达压力室20前被除去。

以下说明从外部墨水供给源向共用墨水室23供给墨水的墨水供给通路42。

如图6所示，与共用墨水室23连接，在第5平板15上贯通供给孔95。在紧邻其上表面的第4平板(平板部件)14上，在相当于上述供给孔位置上并列贯穿多个过滤器孔59、59…，构成上述第1过滤器61。

与第1过滤器61的对应位置，在第1～第3平板11～13上分别形成连络孔91～93。通过这些供给孔95、连络孔91～93构成了上述的墨水供给通路，可以从外部将墨水到共用墨水室23。在该结构中，由于有第1过滤器61，所以可以将该墨水供给通路42的墨水内的脏物和杂质除去。

在本实施方式中，如图6所明确表示的那样，限制流路56是在第4平板(平板部件)14上形成，另外吸收共用墨水室23压力变动的缓冲部80也是在第4平板(平板部件)14上形成的。因此，与限制流路56及缓冲部80分别设置在平板上相比，结构可更简单化，另外，限制流路56及缓冲部80可以同时制作，所以制作工序能简单化，成本降低。

在本实施方式中，在上述平板部件14上，进而，形成过滤墨水的过滤器61、70。通过该构成，除了限制流路56及缓冲部之外，过滤器61、70也可以同时在该平板部件14上制作，制作工序更简单化。

另外，在平板部件14上，由于设置了在面方向流过墨水的过滤器(收集过滤器70)和、在厚度方向流过墨水的过滤器(第1过滤器61)，所以使用过滤器的流路配置自由度提高，由此流路的小型化、高集成化、喷墨打印头的小型化都可以容易地作到。

此外，形成在平板部件14上的第三平板13的上述空间73中充满了空气，进而，平板部件14是用聚酰亚胺薄薄地形成的，所以该空间73内的空气透过平板部件14部分，造成充满墨水的共用墨水室23侧形成气泡的原因。

图7公开了为了解决这个问题的构成的第1实施方式的变形例a。在图7所示的空腔板组10xa中，在平板部件14上，其至少振动部分(上述缓冲部80)是用蒸镀或者溅射而形成金属97的，可以防止空气透过平板部件14。该金属膜97可以在平板部件14的缓冲室(空间73)侧的表面上形成，也可以在共用墨水室23侧形成，但是从防止墨水的蚀刻和金属成分向墨水内的溶解等观点看，优选的是在缓冲室(空间73)侧形成。此外，如果该金属膜，与形成限制流路56和过滤器61、70时的激光加工的图形掩模的金属膜同时形成，可以简化制造工序。

也就是，上述部件14是树脂作的，作为平板部件14的加工方法，可以采用激光加工等的各种方法的同时，用金属膜防止上述缓冲室(空间73)内的空气通过上述缓冲部80进入共用墨水室23形成气泡。

本实施方式中的平板部件14是用聚酰亚胺制造的，但是也可以用环氧树脂制造。聚酰亚胺和环氧树脂由于很耐墨水的蚀刻，所以作为形成上述限制流路56和缓冲构造等的材料是合适的，可以提高喷墨打印头1的耐久性。这意味着墨水的可选择的范围大了。

另外，平板部件14的材料不限定于树脂，例如用金属形成也可以。此时，为了有上述的缓冲作用，可选择具有适宜弹性的金属。另外，在平板部件14上形成限制流路56、过滤器61、70时也可以不用激光，而使用蚀刻方法形成贯通孔。

上述本实施方式中的平板部件14上，不形成导入孔52，代替它的是在该处形成多个微细的贯通孔(与上述过滤器孔59、59…相同)，在该部分构成过滤器。此时，在导入孔52上的过滤器也可以代替上述实施方式中的收集过滤器70，作成与上述的实施方式中的两个过滤器61、70并存的构成(三个过滤器的构成)也可以。

上述并存的三个过滤器的构成，作为第1实施方式的变形例b，表示在图8及图9中。此空腔板组10xb在上述平板部件14‘中代替多个导入孔52形成多个微细贯通孔99、99……，从而形成内部过滤器98。上述第1过滤器61及上述三根流路54(上述收集过滤器70)，与上述实施方式完全相同地设置。

因此，从共用墨水室23向压力室20的墨水，首先在平板部件14′的厚度方向通过上述内部过滤器98被过滤，而后，在平板部件14′的面方向通过三根流路54构成的收集过滤器70进行过滤。也就是，在该图8、图9所表示的第1实施方式的变形例b中，过滤从共用墨水室23向压力室20的墨水的第2过滤器62′是由内部过滤器98和、收集过滤器70构成的。

这样，通过设置内部过滤器98和、第1过滤器61和、收集过滤器70，可以有效地防止脏物和杂质到达压力室20和喷嘴21。

这样，由于在平板部件14′设置面方向流过墨水的过滤器(收集过滤器70)和、厚度方向流过墨水的过滤器(第1过滤器61及内部过滤器98)，所以使用过滤器的流路的配置自由度提高，由此，也可容易地实现流路的小型化、高集成化、喷墨打印头的小型化。

进而，作为其他的实施方式，在使用导入孔52上的上述内部过滤器98代替上述收集过滤器70时，仅形成一根流路54(不收缩中途部的构成)，通过与限制流路56连接而形成新的限制流路，不用形成限制流路连络孔55就可以实现。

上述实施方式的第1过滤器61或者收集过滤器70也可以形成在与形成限制流路56的平板部件14不同的平板上。但是，两个过滤器61、70都是设置在平板部件14上的构成方式，可以进一步简化制造工序。(第2实施方式)

以下，说明第2实施方式。第2实施方式是将第1实施方式的限制流路56和过滤器61、62的结构进行若干地变更而构成的。

图10是第2实施方式的喷墨打印头的平面图。图11表示图10的P-P线剖面的喷墨打印头透视图。

在第2实施方式的喷墨打印头的打印头主体1a中，空腔板组10y如图11所示，是8枚薄平板111～118层叠，相互接合的构造。图12中的空腔板组10y的叠层结构是用分解透视图表示的。

此外，在此第2实施方式中，在分别特定每个平板111～118时，从远离喷嘴21计数，称为“第O平板”。另外，在第2实施方式的说明中，8枚平板111～118中，第5平板115重要，将其称为“平板部件”。

在本实施方式中，平板111～118，除去第5平板(平板部件)115都是用金属制成的。第5平板115是用聚酰亚胺构成的。

压力室20与第1实施方式相同，作成菱形地贯通第1平板111的孔而形成，在图10、图11所表示的Q方向多个并列地设置着。共用墨水室23′是蚀刻第6和第7平板116、117而被设置的，与上述压力室20并列的Q方向纵向形成的。

因此，在第2实施方式中，第1平板111相当于形成压力室20的“第1平板层”A。另外，第6、第7平板116、117相当于形成共用墨水室23′的“第2平板层”B。作为平板部件的第5平板115是位于此第1平板层A和第2平板层B之间。

第8平板层118开设了可以喷射出墨水的喷嘴21。第2～第7的平板112～117上分别设置连通孔122～127，形成与压力室20和喷嘴21连接的连络通路22。

以下，说明从共用墨水室23′至压力室20的墨水流路。

共用墨水室23′如上所述，设置了第6、第7平板116、117，但是，紧邻其上的第5平板115(平板部件)上、并列贯通设置多个小径过滤孔65、65……，构成了第2过滤器162。

与第2过滤器162的过滤孔65的位置相对应，在第4平板114上开设导入孔152。

在第3平板113上形成贯通成长孔状的限制流路156，该限制流路156的一端连接着上述导入孔152。该限制流路156与第1实施方式的限制流路56相同地限制通过该限制流路156的墨水流量，调节供给到压力室20内的墨水流量。而且，限制流路56的另一端和上述压力室20相接的连通孔157开口在第2平板112上。

在该构成中，共用墨水室23′内的墨水通过上述第2过滤器162后被过滤，到达导入孔152。进而，墨水一边用限制流路156进行限制，一边通过连通孔157供给到压力室20。

以下说明从外部墨水供给源向共用墨水室23供给墨水的墨水供给通路42′的构成。如图12所表示的，与共用墨水室23′连接，在第5平板115上并列贯通多个孔59、59……，构成过滤墨水的第1过滤器161，而且，对应着第1过滤器161的位置，在第1～第4的平板111～114上，分别形成连络孔131～134。在层叠上述平板111～118时，直线状地连接连络孔131～134，形成上述的墨水供给通路42′。

这样，在配置在墨水供给通路42′上的第1过滤器161和、配置在共用墨水室23、压力室20间的墨水流路上的第2过滤器162都是设置在第5平板(平板部件)115上。

其结果，这样可以在平板部件115 上一次地形成两个过滤器161、162，所以可以将制造工序简化。相对于用聚酰亚胺构成的上述平板部件115，在本实施方式中是使用形成两个过滤器的过滤孔59、65的图形的金属掩模，通过激光加工，一次地进行两个过滤器161、162的过滤器孔(59、65)的开孔。

共用墨水室23′是面向平板部件115的下侧形成的。另外，在共用墨水室23′的相反侧，面向平板部件115的第4平板114上通过蚀刻形成作为缓冲室的空间73，在该部分平板部件115可通过弹性变形而振动，形成与第1实施方式相同作用的缓冲结构。

此外，与第1实施方式相同地，在对应该空间73的平板部件115的部位上，为了防止空气通过的金属膜197可用蒸镀或者溅射形成(参照图13所表示的第2实施方式的变形例a的空腔板组10ya)。该金属膜197可以形成在平板部件115的任何一侧的面。但是从防止与墨水的化学反应产生蚀刻和溶解的不利的观点看，最好是形成在缓冲室侧(空间73)。

如第2实施方式中所说的，在单一的平板部件115上，设置两个过滤器161、162，使该平板部件115进而能起到缓冲作用，所以构成可进一步简化，制造容易。(第3实施方式)

参照图图14～图19说明喷墨打印头的第3实施方式。

图14是第3实施方式的喷墨打印头的平面图。

图15表示图14的P-P线的截面的、喷墨打印头的透视图。

图16表示第3实施方式的喷墨打印头的空腔板组的叠层构造的分解透视图。

图17表示第3平板的放大的透视图。

图18(a)表示第3实施方式的限制流路构成的要部扩大的透视图。图18(b)表示限制流路内不设置突起的参考例的要部扩大的透视图。

图19表示限制流路的变形例的要部扩大的透视图。

在第3实施方式的喷墨打印头的头主体1a中，空腔板组10z，如图14所表示的是叠层8枚平板211～218相互接合的结构。图15中用分解透视图表示了空腔板组10z的叠层结构。

在第3实施方式中，在分别特定每一个的平板211～218时，从远离喷嘴21侧计数为“第O个平板”。另外第3实施方式的叙述中，8枚平板211～218中的第三平板213最为重要，有时将其称为“平板部件”。

本实施方式中，平板211～218都是金属制造的。

压力室20与其他的实施方式相同，作成菱形地贯通第1平板211而形成，在图14、图15所表示的Q方向多个并列地设置着。共用墨水室23′是蚀刻第5和第6平板215、216而被设置的，在上述压力室20并列的Q方向上纵向形成的。

第8平板218上开设喷出墨水的喷嘴21。在第2～第7的平板212～217上设置连通孔222～227，形成连接压力室20和喷嘴21的连络流路22。

在第5～第6的平板215～216上都是贯通该平板地进行蚀刻，形成共用墨水室23′。该共用墨水室23′在上述压力室20并列的Q方向上纵向形成的。

第3实施方式如上所述，由于在第1平板211上形成压力室，所以第1平板211相当于第一平板层A。另外在第5第6平板215、216上形成共用墨水室23′，所以第5第6平板215、216相当于第2平板层B。

作为平板部件的第3平板213是位于第1平板层A和第2平板层B之间。

上述共用墨水室23′的下侧面对的第7平板217，其下表面实施半蚀刻后，在与第8平板218间形成空间(挖空部)。

该第7平板217是由具有适宜弹性的金属板构成的，通过形成上述空间273，该处薄的地方(缓冲部280)既可在共用墨水室23’侧也可以在上述空间273侧自由振动。

其结果，即使喷墨时在压力室20发生的压力变动传播给共用墨水室23’，由于上述缓冲器280弹性变形，产生振动，可以吸收衰减该压力变动(缓冲作用)，可以防止压力变动向其他的压力室20传播的干扰。

以下，说明共用墨水室23’和压力室20间的墨水流路。

如图15、图16所示，从共用墨水室23’向压力室20导入墨水的导入孔252，贯通设置在第4平板214上。紧邻其上的第3平板213上，一端连接着上述导入孔252，下凹设置着限制流路256。

该限制流路256，如图17所示，在第3平板213的上表面作成通过半蚀刻实施沟加工而形成的、细长凹部。

用这样的构成，层叠平板211～218形成空腔板组10z时，相当于该限制流路256的凹部通过上侧的第2平板212封闭。因此，从导入孔252到限制流路256一端的墨水，在第2平板212的下表面和上述凹部内底面间的空间，向着限制流路256另一端流动。

此外，上述的半蚀刻沟加工可以用以下所述的公知方法。

也就是，(1)第3平板213实施前处理后，涂敷适宜的感光树脂，形成感光树脂层。(2)使用相当于上述限制流路256的轮廓形状的图形掩模，对感光树脂进行选择性的曝光。(3)通过显影，除去感光树脂的上述轮廓形状部分，使第3平板213的对应部分露出。(4)涂敷蚀刻液，对于第3平板213的上述露出部分进行规定深度的蚀刻，形成该限制流路256。(5)剥离感光树脂并除去。

这样，在平板212上通过蚀刻(在内部形成后述的过滤器262)可以形成限制流路256，所以与在该平板213上用激光开孔加工形成过滤器和限制流路的情况比较，可以简化制造工序。

限制流路256的一端连接在上述导入孔252的部分中，从第3平板213的下表面实施蚀刻后形成贯通孔263，通过该孔263可以从导入孔252向着限制流路256流入墨水。

限制流路256的另一端通过设置在第2平板212上的连通孔257与压力室20的端部连接。

该限制流路256，如图18(a)表示的，流路宽度w及流路深度d1作成小尺寸，使流路截面积变小。通过这样的结构，该限制流路256，通过控制流过该流路256的墨水流量，调节向压力室20的墨水供给量，起到适宜地调节从喷嘴21来的墨水喷射量。

在该限制流路256的内侧，圆柱状的突起(凸部)269，以微细的间隔形成多个并列凸状且是独立的岛状，构成上述的过滤器262。用这样的构成，可以使含有在共用墨水室23’内的杂质不能通过突起269和突起269的孔隙间而被捕获。

该突起269，与在第3平板213上为形成上述限制流路256而进行的半蚀刻沟加工时一同形成。

也就是，在上述的半蚀刻的方法中所说明的选择的曝光时的图形掩模上，也形成相当多个上述突起269的图形，在以后的显影工序中，即使限制流路256的内部部分，相当于该突起269的部分也不要除去感光树脂层。通过这样方式，在后续的工序涂敷蚀刻液时，相当平板213的突起269部分以外的部分被蚀刻，结果是该突起残留成凸状。这样，对于第3平板213，在残留突起269部分条件下，进行限制流路256的加工，其结果，成为突起269与限制流路256内部一体地形成的上述结构。

用以上的构成，共用墨水室23’内的墨水从导入孔252到限制流路256，通过该流路256内的过滤器262时被过滤，除去杂质。而且，同时由于限制流路256的作用可一边调节其流量，一边通过连通孔257供给到压力室20内。

这里，上述限制流量256的流路阻力是直接影响供给压力室墨水的量(补充量)，进而影响来自喷嘴21的墨水喷射量。

因此，为了防止来自喷嘴21的墨水喷射量过大或者过小，有必要适当地设定该限制流路256的流路阻力。

该流路的阻力是与限制流路256的纵向的长度L成正比，与流路截面积，(也就是流路宽w和流路深d的积)成反比。

可是，在本发明的实施方式中，由于将上述的多个岛状的突起269适当地并列设置在限制流路256内，所以通过该突起269可以调节流路的阻力。也就是，除了使上述限制流路256的长度L和流路宽w、流路深d的参数积不同外，也可以通过形成上述突起269的个数和排列方法的不同，可以自由地调节墨水的流动性难度(流路阻力)。

这样一来，可以容易地将限制流路256内的流路阻力精确地调节到最适宜的值，从喷嘴21来的墨水喷射量也可达到最佳，提高了打印的质量。

特别是，如本实施方式所述的那样，当用半蚀刻形成上述的限制流路256时，对在限制流路256内部配置突起269的结构是极其有用的。

也就是，上述限制流路256的形状尺寸中，关于纵向的长度L和流路宽度w，对于上述选择的曝光用的掩模，可以用自动描绘装置正确地描绘用CAD作成的曝光图形，其误差可停留在很微小的值。

另一方面，在半蚀刻中，蚀刻的速度是容易地受到蚀刻液的温度和浓度等的各种条件的影响，所以严密地控制是困难的，容易产生蚀刻深度的不均匀。因此，对于限制流路256的深度d，与上述长度L和流路宽度w的其他参数比较，不可避免地产生大的相对误差。

流路d的大小由于直接影响流路的阻力，所以，控制流路256的流路阻力上产生不均匀时，则发生从一些喷嘴21大量地喷射墨水，而从其他喷嘴21喷射少量的墨水的现象，这样会降低打印质量。

关于此点，如图18所示的本实施方式那样，在限制流路256内排列突起256的构成中，由于突起的存在，可以增大墨水的通过难度(流路阻力)。因此，即使用同样的长度L、同样的宽度w只是想得到同样的流路阻力，与没有配置突起269的图18(b)的构成比较，按照图18(a)的构成，通过该突起269增大的流路阻力，可以使流路深度d作成大值(d1＞d2)。

半蚀刻的蚀刻深度的误差(相当于流路深度d的误差)Δd可以控制在正负几μ的绝对值的范围内。因此，按照流路深度d可作大的本实施方式，可以将该流路深度的误差Δd的影响相对地变小，将限制流路256的流路阻力的误差也变小。这意味着可以抑制从各喷嘴21来的墨水的喷射量的不均匀，提高打印质量。

另外，在限制流路256的内部，由于形成了可以除去从共用墨水室23’流向压力室20的墨水杂质的过滤器262，所以，含有限制流路256和过滤器262的流路构成能够简单化，可以适当地节省空间。为此，可以高密度集成配置多个喷嘴21和与其连接的压力室20和流路，可容易地实现图象的高析像度化和喷墨打印头的小型化所对应的要求。

进而，本实施方式中，构成过滤器262的突起269是与形成限制流路256的平板213成为一体地形成的。因此，与用另外的部件形成过滤器的结构相比较，可以削减部件个数，减少制造工序和降低成本。

上述“凸部”，在本实施方式中相当于上述的突起269，但是其形状不限于圆柱状，也可以作成棱柱状等的任意形状。另外，多个凸部未必互相是具有相同的形状，各凸部可以自由地选择形状。

突起269和突起269的间隔及突起269和限制流路256的侧壁的间隔，也兼起着上述限制流路256的流路阻力作用，所以希望比喷嘴21的径(直径)的长度要短。这样的话，可以堵塞喷嘴21的大的脏物和杂质必然在突起269部分(上述过滤器262)上被捕获，可以确实地防止喷嘴21的堵塞。

本实施方式中，在第3平板213上形成了限制流路256的凹部，但是不受此限制，根据流路的结构上的情况，在其他的板上形成也是可以的。

另外，不限于在平板213的上表面(远离喷嘴21侧的表面)形成限制流路256的构成，也可以在下表面(靠近喷嘴21侧的表面)形成凹部。此时，凹部由位于第3平板213的邻近下侧的第4平板214封闭。

本实施方式中，限制流路256的宽度w是一定的，但是可以在有突起269的部分和没有突起269的部分变化宽度，来调节流路阻力。另外，如图19的限制流路256’(过滤器262’)那样，在有突起269的部分，也可以根据突起269的排列和形状在限制流路256’的侧壁上形成凹凸。

如图16所表示的那样，在第1～第4平板211～214上彼此对应位置上可以分别形成连络孔231～234。因此，层叠上述平板211～218时，如图15所示，连络孔231～234连接成直线，形成墨水供给通路242。该墨水供给通路242在空腔板组10z的上表面(与形成喷嘴21侧的相反侧面)形成上述墨水供给口41。

另外，可盖住上述墨水供给口41，或者在上述墨水供给通路242的中途配置过滤器时，可以将含有在墨水内的杂质在到达共用墨水室23’前捕获。(第4实施方式)

参照图20～图23说明喷墨打印头的第4实施方式。该第4实施方式的特征在于限制流路及该限制流路部分的过滤器的形成方法。

图20是第4实施方式的喷墨打印头的平面图。

图21表示图20的P-P线截面的、喷墨打印头的透视图。

图22表示第4实施方式的喷墨打印头的空腔板组的叠层构造的分解透视图。

图23表示第4平板的扩大的透视图。

在第4实施方式的喷墨打印头的打印头主体1a中，空腔板组10v，如图21所表示的是叠层7枚平板311～317相互接合的结构。图22中用分解透视图表示了空腔板组10z的叠层结构。

在第4实施方式中，在分别特定各平板311～317时，从远离喷嘴21侧计数规定为“第O个平板”。

本实施方式中，平板311～317都是金属制造的。但是，在第4平板314中，是在金属制的平板的下表面配置树脂层314a，上表面配置树脂层314b的结构。另外在本实施方式中，第4平板314的上表面侧的树脂层314b是重要的，将其称为“平板部件”。

与其他的实施方式相同，压力室20如图20所示，是贯通第1平板111而形成的菱形孔。该压力室20在图20、图21所表示的Q方向上多个并列地设置着。

如图21所示，第7的平板317上开口设置可喷射墨水的喷嘴21。如图22所示，在第2～第6平板312～316上设置连通孔322～326，形成连接压力室20和喷嘴21的像图21那样的连络流路22。

以下说明共用墨水室23的构成。

在第5～第6平板315～316上，都是进行蚀刻后，形成第1空间71。另外，在靠近上表面的第4平板314上实施蚀刻的同时，其下侧的树脂层314a也被除去，形成了比第1空间71宽度小的第2空间72。

用这样的构成，通过层叠第4～第6的平板314～316，接合第1空间和第2空间72构成了共用墨水室23，该共用墨水室23在上述压力室20并列的Q方向上纵向形成的。

此第4实施方式中如上所述，在第1平板311上形成了压力室，该第1平板311相当于上述“第1平板层”A。在第4～第6的平板314～316上形成了共用墨水室23，所以，第4～第6的平板314～316(包括第4平板314下表面的树脂层314a)相当于上述“第2平板层”B。

第4平板层314上表面的树脂层(平板部件)314b是位于第1平板层A和第2平板层B之间。

以下，说明共用墨水室23和压力室20间的墨水流路。

从共用墨水室23向压力室20导入墨水的导入孔352(第1通路)，贯通设置在第4平板314上。而且，配置在第4平板314上表面的一样厚度的连续平板状的树脂层314b中，一端连接着上述导入孔252，贯通设置着限制流路(第2通路)367。

该限制流路367，使用后述的方法，作为只是去掉上述上表面的树脂层314b的厚度形成凹部而构成的。层叠平板311～317时，相当于该限制流路367的树脂层314b中上述缺陷部通过上述第3平板313封闭。因此流往限制流路367的墨水，在第3和第4的平板313、314间的空间沿着该限制流路367流动。

限制流路367另一端，通过设置在第3平板313上的连通孔357及设置在第2平板312上的连通孔358与压力室20的端部连接着。

如图20所示，该限制流路367的导入孔352侧宽度扩展地形成，在该扩展的部分(即限制流路367的内部)圆柱状的突起369以微细的间隔，多数地并列成岛状而且形成凸状，形成了第2过滤器362。这样的构成，使含有在共用墨水室23内的墨水中的杂质不能通过突起369和突起369的间隙而被捕获。

限制流路367的连通孔357侧构成收缩部356，该收缩部356，其流路宽度构成被收缩形状，在第3～第4的平板313～314间限制通过该流路部356的墨水的流量，调节去往压力室20的墨水供给量，起到了适当地调节来自喷嘴21的墨水喷射量。

以上的构成，共用墨水室23内的墨水在从导入孔352到限制流路367，通过该流路367内的第2过滤器362时被过滤，杂质被除去。而且，到限制流路367内的收缩部356后调节其流量，通过连通孔357、358供给到压力室20。

以下，说明墨水供给通路342的构成，该墨水供给通路342是为了从外部墨水供给源向共用墨水室23供给墨水用的。

如图21～23的虚线所示，在第4平板314上贯通设置供给孔334，该供给孔334是与共用墨水室23连接着。位于第4平板314上的树脂层314b，在相当于上述供给孔334的位置上并列设置多个过滤孔59，构成第1过滤器361。

图22所示，对应第1过滤器361的位置，在第1～第3的平板311～313上分别形成连络孔331～333。通过这些供给孔334、连络孔331～333，构成了从外部向共用墨水室23供给墨水的上述墨水供给通路342。

本实施方式中，上述说明的包括墨水供给通路342、共用墨水室23、导入孔352、限制流路367(含有收缩部356)、连通孔357、358、压力室20、连络通路22的全体的通路相当于连接喷嘴21和墨水供给源的“墨水通路”。通过该墨水通路，墨水供给源和上述喷嘴21被连接，其结果，从墨水供给源来的墨水从喷嘴21喷射出，形成打字面的图象。

以下说明吸收共用墨水室23的压力变动的缓冲构造。

构成共用墨水室23的上述第2空间72如上所述，缺口地设置第4平板314的同时，去除第4平板314的下表面的树脂层后形成的。另一方面，配置在第4平板314的上表面的树脂层314b，在相当于上述第2的空间72的部分也不去除，原样地残留下来。

在共用墨水室23相反侧(远离喷嘴21侧)，面向上述树脂层314b的第3平板13也实施蚀刻形成与上述第2空间72对应形状的空间373(挖空部)。

该树脂层(平板部件)314b是具有适当的弹性构成的，通过形成上述空间373，该处的树脂层314b(缓冲部380)在共用墨水室23侧和上述空间373侧都可以自由振动。

其结果，在墨水喷射时压力室20所发生的压力变动，即使传播到共用墨水室23，由于上述缓冲部380弹性变形而振动，可以吸收减弱该压力变动(缓冲作用)，可以防止压力变动传播到其他压力室的干扰。

以下，说明本形成实施方式的两个过滤器361、362、限制流路367及缓冲部380的工序。这些也都是在第4平板314上配置的树脂层(平板部件)314b上形成的。

图24～图26是表示了第4平板314的制造工序(p1)～(p6)的工序，以下按照顺序说明。

图24是表示了第4平板的制造工序图。

图25是表示对在第4平板上形成的感光树脂层进行曝光的状态图。

图26是表示了在感光树脂层上形成过滤器及连络流路的状态图。

图24的(p1)表示了构成第4平板材料的金属，在该状态下，对该平板314的上下表面进行清洗、研磨等的预处理后，如(p2)所示，将感光树脂涂敷在一面，抗蚀刻剂涂敷在另一面。感光树脂及抗蚀刻剂材料可以使用各种，但是从耐墨水性的观点看，优选的是使用酰亚胺系和环氧树脂系的树脂。作为涂敷的方法，可以使用辊涂和喷射涂等。

而后，将平板314置于高温的环境下，去掉感光树脂及抗蚀刻剂内的溶剂(预焙烧)，其结果，如图24的(p2)所示的那样，在平板314上形成抗蚀刻剂层314a及感光树脂层314b。以下将标号314a的树脂层称为“第1感光树脂层”，标号314b的树脂层称为“第2感光树脂层”。

为了说明的方便，在图24～图26中，表示了第4平板314的上下相反的状态，与图21～图23所表示的上下关系相反。

如图25的(p3)所示，使用光掩模对该平板314的上下表面进行选择的曝光。

光掩模有上表面用和下表面用两个，图25的上表面侧的掩模381形成了对应上述的连通孔324、导入孔352、供给孔334及第2空间72的图形(324p、352p、334p、72p)。

图25的下表面侧的掩模382上形成了对应上述的连通孔324、第1过滤器361的过滤孔59及限制流路367的图形(324p、59p、369p)。在下表面侧的掩模382上也形成了对应构成限制流路367一部分的收缩部356和第2过滤器362的突起369的图形。

在平板314上确定该两个掩模381、382的位置，而且，从上下两面照射具有适宜波长的紫外线。用此方法，将上侧的掩模381上的图形复制到第1感光树脂314a上，将下表面侧的光掩模382上的图形复制到第2感光树脂314b上。

然后，使用喷射器将显影液涂敷到第1感光树脂314a上，除去该树脂层314a的非曝光部分，进行显影。其结果，如图26的(p4)所示，除去部分的树脂层314a，也就是除去与形成在上表面侧的掩模381上的图形324p、352p、334p、72p对应的部分，在该处，暴露出平板314的表面。

在第1感光树脂314a侧涂敷蚀刻液时对暴露的部分进行蚀刻作用，如图26(P5)所示，形成连通孔324、导入孔352、供给孔334及第2空间72。此外，在第2空间72处的第2感光树脂314b构成上述缓冲部380。

最后，在第2感光树脂314b侧涂敷蚀刻液时，在对应下表面层的掩模382上形成的324p、356p、59p、367p的地方(非曝光部分)除去该树脂层314b。

其结果，如图26(p6)所示，形成过滤孔59，构成第1过滤器361。进而，含有收缩部356的限制流路367形成在第2感光树脂层314b上，与上述导入孔352连接。此外，相当于该树脂层314b的上述图形369p的地方被曝光而没有除去的结果，在限制流路367内部上述的突起369成为凸状被残留下来，形成第2过滤器362。

经过以上的工序，完成了第4平板314，而后，如图22所示与其他的平板(311～313，315～317)重叠结合，构成了喷墨打印头的空腔板组10v。

在第4平板以外的平板(311～313，315～317)中，与以往相同地，在各金属平板层的两面形成感光树脂层后，使用对应于压力室20和连通孔324和共用墨水室23等形状的图形的掩模，两面曝光显影，对露出的平板的基质进行蚀刻，形成上述的掩模通路。蚀刻完了后剥离除去感光树脂层。

本实施方式中，通过采用以上的工序，在第4平板314的两面形成了感光树脂层314a、314b，第1感光树脂314a是用于在平板314上形成导入孔(第1通路)352而进行选择性蚀刻，第2感光树脂层314b是用于通过显影在平板314上形成过滤器362及限制流路(第2通路)367，所以与用其他部件形成过滤器、或者在其他金属板上形成过滤器和上述流路相比，可以简化部件的结构，起到降低制造工序的效果。

特别是这种构成中，不仅是过滤器362，而且构成墨水通路的一部分的限制流路367也设置在第2感光树脂层314b上，所以流路结构简化，可以减少层叠的平板个数。

第2过滤器362是需要与各个压力室20(喷嘴21)对应地形成，本实施方式的那样，在多个压力室20并列构成中，必须构成多个第2过滤器362，但是使用形成多个该过滤器362的图形(突起部369的图形369p)的掩模382时，用一次曝光、显影，就可以一次地形成多个过滤器362，其制造是极其容易的。

在掩模382上形成上述第2过滤器(即配置在连通上述压力室20和上述共用墨水室23间的流路上的过滤器)362的同时，形成上述的第1过滤器(即配置在上述墨水供给通路上的过滤器)361。因此，用第1过滤器361可以防止杂质混入共用墨水室23的同时，用第2过滤器362可以阻止杂质混入共用墨水室23和喷嘴21。另外这两个过滤器361、362都是用墨水382的图形形成的，所以制造工序可以简化。

本实施方式中，由于第2过滤器362是设置在限制流路367内，所以在小的空间内就可以配置限制流路367和过滤器362，简化了流路的结构，可以使喷墨打印头进行小型化。另外流路是在高密度下适宜地配置，所以喷嘴21的高集成配置也容易适应需要高解像度的打印状态。

进而，将调节进入压力室20的墨水流的限制流路367作为上述的第2流路，构成在感光树脂314b上，所以该限制流路367的流路阻力能够精度高地确定。

即，限制流路367的阻力直接影响供给压力室20的墨水供给量(补充量)、进而影响来自喷嘴21的墨水喷射量，所以为了防止来自喷嘴21的墨水喷射量的过剩或者不足，正确地形成限制流路367的尺寸形状是重要的。

按照本实施方式，通过选择适宜的涂敷条件可以精确地设定感光树脂层314b的厚度，所以在显影工序中，完全地可以按照相应的厚度除去对应于曝光工序掩模图形的限制流路367的轮廓形状，所以可以形成正确尺寸的限制流路367。即，与在金属平板上用半蚀刻进行沟加工后，形成限制流路367的构成比较(例如上述的第3实施方式的构成)，可以提高限制流路367的深度精度，所以可以减少流路阻力的误差和不均匀，提高了打印的质量。

与第3实施方式同样，通过改变形成上述突起369的个数和排列方法等，能够自由地调节墨水的流动难度(流路阻力)。由此，可以精确地设定限制流路367的流路阻力到最佳值，从喷嘴21来的墨水喷射量也达到最佳，这样提高了打印质量。

如图22所示，作为平板部件的第2感光树脂层314b(构成上述“墨水通路”的一部分)是面向共用墨水室23，在夹住该树脂层314b的反向侧的平板(第3平板313)上形成挖空部的空间373，所以通过空间373和墨水通路间的第2感光树脂层314b(缓冲部380)的振动，可以吸收减弱传播到墨水通路的压力变动。因此，可以抑制影响喷嘴21喷射墨水质量的压力变动，可以适宜地控制打印。本实施方式，缓冲部380也是在第2感光树脂层(上述平板部件)314b上形成的，其结果，部件的结构和组装更加简化。

本实施方式中，感光树脂、抗蚀刻剂可以使用正型(光固化型)，但是也不受此限制，也可以采用负型(光分解型)。此时，曝光部分，是与显影时相反地被除去，将形成的图形作为掩模381、382使用时，可以形成与上述同样的构造，其上述的图形是曝光的部分和未曝光的部分互相交换了的图形。

但也不一定按照上述的顺序进行。例如，也可在形成第2感光树脂层314b后，形成第1感光树脂层314a。另外如图25所表示，可以不同时对平板314的两面进行曝光，也可每个单面分别地进行曝光。

本实施方式中，第1过滤器361的过滤孔59也可形成在上述的第2感光树脂层314b上，但是不受此限制，形成在其他的平板等上也可以。但是，按照将第1过滤器361配置在的第2感光树脂层314b上的本实施方式的构成，只是对第2感光树脂层314b曝光显影，不仅形成第2过滤器362和限制流路367，也可以一次地形成第1过滤器361，所以制作工序更加简化。

上述说明的第4实施方式中，是在第1感光树脂层314a残留的状态下，平板11～17被层叠，形成了喷墨打印头，但是可以在层叠前除去该第1感光树脂层314a。除去第1感光树脂层314a的构成，在第4实施方式的变形例a的空腔板组10va(图27)中已说明。该第1感光树脂层314a的除去可在要层叠前除去，但是，图24～图26的工序中，也可以在(p5)和(p6)间追加第1感光树脂层314a的除去工序。

此时，进行第1感光树脂层314a的显影(根据曝光、未曝光选择的除去)的显影液(溶剂)不要浸渍未曝光或者曝光后的第2感光树脂层314b地，适宜地选择第1感光树脂层314a及第2感光树脂层314b的材质可实现。(第5实施方式)

参照图28～图31，对第5实施方式进行说明。该第5实施方式与上述第4实施方式不同的地方，是在第2感光树脂层314b上形成的流路(第2流路)是与第4平板314上形成的流路(第1流路)不直接连接。

图28是第5实施方式的喷墨打印头的平面图。

图29表示图28的P-P线截面的、喷墨打印头的透视图。

图30表示第5实施方式的喷墨打印头的空腔板组的叠层构造的分解透视图。

图23表示第5平板的放大的透视图。

从图28～图31所表示的第5实施方式的喷墨打印头与第4实施方式不同的地方在于，从空腔板组10w内形成的共用墨水室23向压力室20的流路的构成。

说明该流路的构成。如图29所表示的第1通路的导入孔352’形成在第4平板314’上，与共用墨水室23连接。进而，对应该导入孔352’的位置，在第4平板314’上的树脂层314b上并列贯通多数个过滤孔365，构成第2过滤器362’。进而，在该树脂层314b中，第2过滤器362’的胁部位置形成长孔状的限制流路(第2通路)356’，该限制流路(第2通路)356’的一端和上述的导入孔352通过第3平板313’上形成的连接流路353而连通着。限制流路356’的他端连通孔357’、358与压力室20连通着。

在本实施方式中，在限制流路356’的内部不形成过滤器，而代替它的是将上述的第2过滤器362’配置在导入孔352’部分上。

在该喷墨打印头中，上述第2过滤器362’的过滤孔365及限制流路356’是通过在第2感光树脂层314b上使用掩模进行显影而形成的。其构成及第4平板314’的制作方法与上述的第4实施方式的喷墨打印头相同。

此外，代替图25～27，也可以使用以下的工序，即(1)在第4平板314上进行与上述的实施方式相同的预处理后，(2)在第4平板314上的一个表面上仅形成第1感光树脂层314a，(3)将其图形曝光，(4)将第1感光树脂层314a与上述实施方式(p5)相同地显影，(5)与上述实施方式(p5)相同地通过蚀刻形成流路，(6)在第4平板314另一个表面上形成第二感光树脂层314b，(7)将其进行图形曝光，(8)与上述实施方式(p6)相同地显影，形成过滤器部。

此时，第2感光树脂层314b最好使用贴合膜的方法，以便不堵塞由于上述(5)的蚀刻工序形成的流路，但是，适宜调节形成第2感光树脂层314b的抗蚀刻剂的粘度和干燥性等的物理特性(流体物性)时，也可以利用液状的。

上述1～5的实施方式中，第1平板层A是由1枚平板构成的，第2平板层B是由多枚平板构成的，对此没有特别的限制。即第1平板层A也可以由2枚以上平板构成，第2平板层B也可以只由1枚平板构成。

本发明结合具体的实施方式进行了说明，很明显本领域的技术人员可以进行各种的替换、变型、和变化。然而，上述的实施方式只是对本发明的解释，但是本发明不受此限制，在不脱离本发明的精神下的各种变化也都是属于本发明的权利要求的范围。

Claims (4)

1.一种喷墨打印头，包括

喷出墨水的多个喷嘴；

第1平板层，由并列形成连通上述各个对应的上述喷嘴的多个压力室的至少一枚以上的平板构成的；

第2平板层，由沿上述压力室并列方向形成长形状的共用墨水室的至少一枚以上的平板构成；

墨水供给通路，连接上述共用墨水室和墨水供给源；

薄膜状的平板部件，位于上述第1平板层和上述第2平板层之间；

限制流路，一端与上述压力室连通，另一端与上述共用墨水室连通，并且调节上述压力室和上述共用墨水室之间的墨水流量，形成在上述平板部件上；以及

缓冲室，在上述共用墨水室相反侧面对上述平板部件的平板层上形成。

2.根据权利要求1所述的喷墨打印头，在上述平板部件内，夹在上述缓冲室和上述共用墨水室中的部分作成可以振动的缓冲部。

3.根据权利要求1所述的喷墨打印头，上述平板部件是树脂制的，同时对上述平板部件，至少在上述缓冲室所对应的区域内进行金属膜的镀层或者蒸镀。

4.根据权利要求1所述的喷墨打印头，上述平板部件是聚酰亚胺或者环氧树脂制的。

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