CN1243644C - 喷墨打印头的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及具有喷嘴、供墨通路、多个平板的喷墨头的制造方法。该方法至少包括以下工序：(A)在金属平板的一侧表面形成第一感光树脂层；(B)在金属平板的另一侧表面形成第二感光树脂层；(C)利用掩模对第一感光树脂层进行有选择的曝光；(D)除去上述第一感光树脂层的曝光部分或者非曝光部分；(E)将与被除去部分相当的形状蚀刻在上述金属平板上并形成上述第一通路；(F)利用掩模对上述第二感光树脂层进行有选择的曝光；(G)除去上述第二感光树脂层的曝光部分或者非曝光部分，从而形成与上述第一通路连接的上述第二通路和过滤器；以及(H)将实施了上述工序的平板与其他平板进行层叠。

Description

喷墨打印头的制造方法

技术领域

本发明涉及一种喷墨头的制造方法，该喷墨头用于通过向打印纸的表面喷射细小的墨滴来形成图象。

背景技术

作为现有的喷墨头的普通结构，其中，有这样一种结构，即，形成多个压力室，同时，对应于各个压力室开设喷嘴，并将各个喷嘴连接到与之对应的压力室的一端上。

在上述结构中，当来自墨水供给源(比如墨水槽)的墨被供应给共用墨水室后，即从该共用墨水室被分配到多个压力室。然后，通过执行机构有选择地向各压力室施加压力，借此，墨从各压力室对应的喷嘴喷出，从而在打印纸表面上形成图象。

上述打印头一般是通过层叠金属制品等的薄板并粘结在一起来形成的。上述压力室和共用墨水室则是通过在该金属板上进行蚀刻来形成的。

在此，已知有这样一种结构，即，为了不使因尘土等造成的喷嘴及压力室的堵塞，在连接共用墨水室及墨水槽(墨水供给源)的供墨通路、以及在共用墨水室及压力室之间的墨的流路上设置过滤器，从而可以在尘土和杂质等到达压力室和喷嘴之前而将其除去。

另外，已知这样一种结构，即，在共用墨水室和压力室之间设置具有用来缩小流路截面的结构的限制流路，借此可以调整喷墨时压力室的供墨量，从而防止喷墨量的过剩或者不足。

近年来，基于喷墨记录的高清晰度化的需求，喷墨头结构的精细化和高度集成化得到不断的进展。在此状况下，要求能够简单地制造其内部设有上述限制流路和过滤器的喷墨头的呼声日渐高涨。

发明内容

本发明之目的是提供一种能够简化制造工序的喷墨头的制造方法。

为了实现上述目的，本发明的喷墨头的制造方法至少包括下述工序(A)～(H)，该喷墨头具有：用于喷墨的喷嘴；连接上述喷嘴和墨水供给源的供墨通路；通过层叠而在内部形成上述供墨通路的多个平板。

(A)在金属平板的一侧表面形成第一感光树脂层的工序；

(B)在金属平板的另一侧表面形成第二感光树脂层的工序；

(C)利用掩模对上述第一感光树脂层进行有选择的曝光的工序，其中，该掩模形成了与构成上述供墨通路的一部分的第一通路相对应的图形；

(D)除去上述第一感光树脂层的曝光部分或者非曝光部分的工序；

(E)将与上述第一感光树脂层的被除去部分相当的形状蚀刻在上述金属平板上并形成上述第一通路的工序；

(F)利用掩模对上述第二感光树脂层进行有选择的曝光的工序，其中，该掩模形成了与构成上述供墨通路的一部分的第二通路及过滤器相对应的图形；

(G)除去上述第二感光树脂层的曝光部分或者非曝光部分，从而形成与上述第一通路连接的上述第二通路、和过滤器的工序；

(H)将实施了上述工序(A)～(G)的平板与其他平板进行层叠的工序；

借此，可以在第二感光树脂层上形成：过滤器；与形成在平板上的第一通路连接的第二通路。所以，和用另一部件设置过滤器，或在另一平板上形成过滤器及第二通路的结构相比较，可以简化部件结构，减少制造工序数。

附图说明

图1为含有本发明实施例的喷墨头的喷墨打印机的简略图。

图2为喷墨头的斜视图。

图3为图2中III-III线的截面图。

图4为本发明实施例1的喷墨头的平面图。

图5为表示图4中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图6为表示空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图7为在平板部件上形成金属膜形态下的空腔板组的分解斜视图。

图8为在平板部件上形成内部过滤器形态下喷墨头的平面图。

图9为表示在平板部件上形成内部过滤器的形态下的喷墨头的空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图10为实施例2的喷墨头的平面图。

图11为表示图8中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图12为表示空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图13为在平板部件上形成金属膜形态下的空腔板组的斜视图。

图14为实施例3的喷墨头的平面图。

图15为表示图14中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图16为表示实施例3的喷墨头的空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图17为实施例3的第3平板的扩大斜视图。

图18(a)为表示实施例3的限制流路的结构的主要部分扩大斜视图。

图18(b)为表示限制流路内未设置突起的参照例的主要部分扩大斜视图。

图19为表示限制流路的变形例的主要部分扩大斜视图。

图20为实施例4的喷墨头的平面图。

图21为表示图20中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图22为表示实施例4的喷墨头的空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图23为第4平板的扩大斜视图。

图24为表示第4平板的制造工序的图。

图25为表示对形成在第4平板上的感光树脂层进行曝光的状态图。

图26为表示在感光树脂层上形成过滤器及联络流路的状态图。

图27为表示除去实施例4的第4平板的一侧的树脂的变形例的喷墨头的截面斜视图。

图28为实施例5的喷墨头的平面图。

图29为表示图28中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图30为表示实施例5的喷墨头的空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图31为表示第4平板的扩大斜视图。

具体实施方式

[喷墨记录装置]

图1为含有本发明实施例的喷墨头的喷墨打印机的简略图。图1所示喷墨打印机901为含有四个喷墨头1的彩色喷墨打印机。该打印机901的结构中，在图中左侧具有送纸部911，在图中右侧具有排纸部912。

在打印机901内部，从送纸部911到排纸部912形成传送纸张的纸张传送路径。在送纸部911的邻近下游侧，设置一对送纸辊905a、905b，用于夹持输送作为图像记录介质的纸张。通过一对送纸辊905a、905b，纸张从图中左方输送到图中右方。在纸张传送路径的中间部分，设置两个皮带轮906、907，和跨越两个皮带轮906、907卷绕的环形传送带908。在传送带908的外周面即传送面上，实施硅酮处理，通过一对送纸辊905a、905b输送的纸张，利用其粘合力保持在传送带908的传送面上，并在此状态下，通过一侧皮带轮906的如图中顺时针方向(箭头904方向)的旋转驱动，可以向下游方向(右方)输送。

在纸张相对皮带轮906的插入及排出位置上，各自设置压镇部件909a、909b。压镇部件909，在传送带908的传送面上挤压纸张使其牢固贴在传送面上，以防止传送带908上的纸张脱离传送面。

在沿纸张传送路径的传送带908的邻近下游一侧，设置剥离机构910。剥离机构910，可以将贴在传送带908的传送面上的纸张从传送面剥离，并向右方的排纸部912输送。

四个喷墨头1，在其下端具有喷墨头本体1a(如同后述，形成包括压力室20的墨的流路的流路单元(ink passage unit)，和向压力室内的墨水施加压力的执行单元30粘合的部件)。喷墨头本体1a，各自具有矩形截面，且相互邻接设置，以便其在长度方向保持与纸张输送方向垂直的方向(图1的纸面垂直方向)。也就是说，该打印机901为行式打印机。四个喷墨头本体1a的各底面对置于纸张传送路径，这些底面上设置了具有多个微小孔径墨水喷出口的喷嘴。从四个喷墨头本体1a，各自喷射出品红色、黄色、青色、黑色墨水。

喷墨头本体1a，其下面与传送带908的传送面之间具有少量间隙，在该间隙部分形成纸张传送路径。在该结构中，被输送到传送带908上的纸张依次通过紧靠四个喷墨头本体1a的下方一侧时，从喷嘴向该纸张的上表面即印刷面喷射出各种颜色的墨水，在纸张上形成所需彩色图像。

喷墨打印机901，具有用于对喷墨头1自动进行维护的维护单元917。该维护单元917中，设置了覆盖四个喷墨头本体1a下表面的四个护罩916，和未示出的清洗机构等。

维护单元917，在喷墨打印机901进行印刷时，位于紧靠送纸部911的下方的位置(退避位置)。并且，在印刷完成之后并满足规定条件时(例如，不进行印刷操作的状态持续至规定时间，或进行打印机901的电源被关闭操作时)，移动至紧靠四个喷墨头本体1a的下方位置，在该位置(护罩位置)上，通过护罩916覆盖各个喷墨头本体1a的下表面，防止喷墨头本体1a的喷嘴部分的墨水干燥。

皮带轮906、907和传送带908由底座913支撑。底座913，设置在其下方的圆筒部件915上。圆筒部件915，以安装在偏离其中心位置上的轴914为中心，可以旋转。因此，随着轴914的旋转，圆筒部件915的上端高度发生变化时，底座913也随着升降。维护单元917从退避位置移动到护罩位置时，首先将圆筒部件915旋转适当角度，使底座913、传送带908及皮带轮906、907从图1所示位置下降适当距离，以便确保维护单元917移动所需空间。

被传送带908包围的区域内，设置近似长方体形状(具有与传送带908相同的宽度)导向件921，该导向件921通过与喷墨头1的对置位置上、位于也就是上侧的传送带908的下表面接触而从内周侧将其支撑。

下面，进一步详细说明喷墨头1的结构。图2为喷墨头1的斜视图。图3为图2中III-III线的截面图。如图2及图3所示，本实施例的喷墨头1，包括：基部931，支撑单方向(主扫描方向)延伸的矩形平面状的喷墨头本体1a；支撑喷墨头本体1a的基部931。基部931，除了喷墨头1a之外，还支撑后述的向个别电极等提供驱动信号的驱动器IC932及基板933。

基部931，如图2及图3所示，由部分地接触喷墨头本体1a上表面而支撑打印头本体1a的基块938和与基块938的上表面接触而支撑基块938的支架939构成。基块938为具有与喷墨头本体1a的长度方向的长度几乎相同的近似长方体形状部件。由不锈钢等金属材料构成的基块938，具有作为加固支架939的轻量结构的功能。支架939，由设置在喷墨头本体1a侧的支架本体941，和从支架本体941向喷墨头本体1a的相反一侧延伸的一对支架支撑部件942构成。一对支架支撑部件942，任何一个都为平板状部件，相互以规定间隔沿着支架本体941的长度方向平行设置。

在支架本体941的副扫描方向(与主扫描方向垂直的方向)的两端，设置向下方突出的一对套筒式部件941a。在这里，一对套筒式部件941a，均横跨支架本体941长度方向的整个宽度而形成，所以，在支架本体941的下表面，通过一对套筒式部件941a形成近似长方体形状的槽部941b。在该槽部941b内，容纳着基块938。基块938的上面和支架本体941的槽部241b的底面，通过粘合剂等粘合。基块938的厚度，略大于支架本体941的槽部941b深度，所以基块938的下端部，如图3所示，从套筒式部件向下方凸出。

在基块938的内部，作为向喷墨头本体1a供给墨水的通路，形成向其长度方向延伸的近似长方体形状空隙(空心区域)的墨水池903。在基块938的下表面945，形成与墨水池903连通的开口903b。并且，墨水池903，通过未示出的供给管与打印机本体内未示出的主墨水槽(墨水供给源)连接。因此，主墨水容器的墨水可以适当补充到墨水池903中。

基块938的下表面945，从开口903b的附近的周围向下方凸出。而且，基块938，只在开口903b附近与喷墨头本体1a的流路单元(后面所述空腔板组10x)接触(参照图3)。因此，基块938的下表面945的开口903b附近的以外区域与打印头本体1a隔离，在该隔离部分中设置了执行单元30。

在支架939的支架支撑部件942的外侧面，通过硬海棉等弹性部件937固定驱动器IC932。在驱动器IC932的外侧面，紧密设置散热片934。散热片934为近似长方体形状的部件，可以将驱动器IC932产生的热量有效分散。在驱动器IC932上，连接作为供电部件的软性印刷电路板(FPC：Flexible Printed Circuit)936。连接在驱动器IC932的FPC936，通过软焊与基板933及打印头本体1a电连接。驱动器IC932及散热片934的上方，在FPC936的外侧，设置基板933。在散热片934的上表面与基板933之间，及散热片934的下表面与FPC936之间，各自用密封部件949接合。

在支架本体941的套筒部件941a的下表面与流路单元10x上表面之间，设置密封部件950，以便夹持FPC936。也就是说，FPC936相对流路单元10x及支架本体941，通过密封部件950被固定。这样，可以防止打印头本体1a长大化时的弯曲，防止执行单元30与FPC936的连接部分附加应力，且可以确保FPC936的牢固保持。

如图2所示，在沿喷墨头1的主扫描方向的下角附近，沿喷墨头1的侧壁以均等间隔设置6个凸部18a。这些凸部18a为设置在打印头本体1a的最下层喷嘴板(后述的第八平板)18的副扫描方向的两端部的部分。即，如图3所示，喷嘴板18，沿凸部18a与其他部分之间的界线大约弯曲90度。凸部18a，设置在打印机901中与印刷用的各种规格纸张的两端部附近所对应的位置。喷嘴板18的弯曲部分不是直角而形成弧形，从而不易导致向接近打印头1的方向输送的纸张前端部与打印头1侧面接触而产生的纸张堵塞即卡纸。

[实施例1]

喷墨头的打印头本体1a，由如图4所示的作为上述流路单元的空腔板组10x，以及如图5所示的固定在其上面的执行单元30构成。

该空腔板组10x，具有将墨水供给口41的上面开口的结构，用来从未示出的墨水槽(墨水供给源)供给墨水。该墨水供给口41，通过墨水供给通路42，与形成在空腔板组10x内部的共用墨水室23连接。在墨水供给通路42的中部，设置第一过滤器61。

墨水供给口41，设置在上述基块938下表面945形成的开903b(如图3所示)的位置上。所以，上述墨水池903内的墨水可以酌量供给墨水供给口41。

在空腔板组10x的上面，凹设菱形的压力室20。压力室20，在图中作为代表只表示出了一个，实际上，在共用墨水室23的长度方向(如图4、图5所示的Q方向)上并排设置了多个。该压力室20，分别通过后述的收集过滤器70及限制流路56，与上述共用墨水室23连通。

与各压力室20对应，用于喷射墨滴的喷嘴21开口在空腔板组10x的下表面。相对应的压力室20及喷嘴21通过联络通路22进行连通。

如图5中点划线所示，平板状的执行单元30，粘结在空腔板组10x的上表面。执行单元30，可以封闭上述多个并排设置的压力室20的上侧。

该执行单元30，与日本特开平3-274159号公报中所公开的内容相同。即，交替层叠压电陶瓷层和电极，夹持压电陶瓷层的电极中的至少一个(个别电极)形成为与压力室20的平面形状大致相似的形状且略小于该形状的平面形状。该个别电极，与夹持压电陶瓷层的其他电极一起，通过上述FPC936，与驱动器IC932电连接，可以对夹持压电陶瓷层的2个电极间施加电压。通过上述施加的电压，使压力室20的对应部分的压电陶瓷层变形，从而给压力室20内的墨水增加压力，其结果，可以从喷嘴21喷射墨水。

但是，执行单30，除了上述压电或电变形之外，也可以使用利用静电、磁、热引起的墨水的局部沸腾等的力而向墨水施加喷射压力的部件。

空腔板组10x，如图5所示，其结构为层叠并相互粘结8个平板11～18。在图6中，以分解斜视图来表示空腔板组10x的层叠结构。

以下，为了便于说明该结构，特定化各平板11～18时，从远离喷嘴的一侧起称之为[第×个平板]。在图中最上侧表示的平板11为第一平板，最下侧表示的平板18为第八平板。另外，在该实施例中，集中叙述八张平板11～18中的第四平板14，有时称之为“平板部件”。

在该实施例1中，平板11～18，除了第四平板14(平板部件)之外，任何一个都由金属构成。第四平板14由聚酰亚胺树脂构成。

如图5所示，在第一平板11中，通过蚀刻形成上述多个压力室20。另外，在第八平板18中，通过冲压冲出(设置)上述各压力室20对应的喷嘴21。

如图6所示，第二到第七平板12～17分别设有贯通状连通孔82～87。各连通孔82～87，在第一～第八平板11～18层叠时相互连接，如图5所示，形成连接压力室20和喷嘴21的联络通路22。

下面，说明共用墨水室23的结构。第六、第七平板16、17，都通过蚀刻而形成第一空间71。而且，紧靠其上方的第五平板15也通过蚀刻而形成比第一空间71窄的第二空间72。

通过层叠第五～第七平板15、16、17，接合第一空间71与第二空间72，构成共用墨水室23。

在该实施例中，如上所述，在第一平板11中形成压力室20，所以该第一平板11，相当于压力室形成层A(以下，称之为第一平板层)。而且，在第五～第七平板15、16、17中形成共用墨水室23，所以该第五～第七平板15、16、17，相当于共用墨水室B(以下，称之为第二平板层)。

平板部件第四平板14，处在该第一平板层A与第二平板层B之间。

在该实施例中，在第四平板(平板部件)14上设置用来吸收共用墨水室23的压力变动的减震装置。即，构成共用墨水室23的上述第二空间72，贯通状穿设在第五平板上，所以，共用墨水室23变为以下侧面对平板部件第四平板14。并且，在共用墨水室23的相反一侧(远离喷嘴21的一侧)，面向该平板部件14的第三平板13也通过实施蚀刻而形成具有与上述第二空间72对应的形状的空间73。

该平板部件14由有一定弹性的材料构成，通过形成上述空间73，平板部件14的以标号80所示的部位(减震部)在共用墨水室23一侧及上述空间73的一侧均可以自由地振动。

其结果是，在喷墨时由压力室20所产生的压力变动被传播到共用墨水室23，即使如此，也可以通过该平板部件14的减震部80的弹性变形振动而吸收并减弱该压力变动(减震作用)，防止压力变动传播至其他压力室的交叉干扰。即，上述空间73具有减震室的作用，该平板部件14构成减震室的至少一部分壁部(减震部80)。

下面，说明共用墨水室23与压力室20之间的墨的流路。

从共用墨水室23向上述压力室20导入墨水的导入孔51、52，穿设在第五平板15及平板部件14中。

在第三平板13中，其一端穿设与上述导入孔51、52连接的过滤器连接孔53。该过滤器连接孔53形成近似三角形，且与穿设在第四平板(平板部件)14的收集过滤器70连接。

如图4和图6所示，收集过滤器70具有三个细流路54并置的结构。各流路54，在平板部件14上穿孔加工形成贯通状的细长孔，各个流路54的一端与上述过滤器连接孔53连接。如图4所示，各流路54的中间部分收缩成特别细的形状，使得该收缩部分可以捕捉墨水内的杂质。

该收集过滤器70是通过墨水在表面方向流过上述平板部件14之中而过滤墨水的过滤器。

这里，该平板部件14与其他平板(11～13、15～18)相比具有相对薄的结构，特别是，平板部件14的厚度，比喷嘴21的直径还要小。因此，堵塞喷嘴21大的尘土或杂质，通过在墨的流路中的该平板部件14中形成的收集过滤器70的上述收缩部，在到达喷嘴21之前就可以捕捉。所以，可以确保避免喷嘴21的堵塞，提供不易产生漏打等打印质量故障的喷墨头。

收集过滤器70的三个流路54的另一端，均与穿设在第三平板13上的限制流路连接孔55连接。该限制流路连接孔55进而与穿设在第四平板(平板部件)14上的限制流路56连接。

该限制流路56为设置在上述收集过滤器70的侧面位置上的呈贯通状的长孔，通过在第三和第五平板13、15之间限制通过该限制流路56的墨流量，起到调节墨水向压力室20的供给量，且适当调节喷嘴21的喷墨量的作用。

该限制流路56设置在上述第四平板14上，该第四平板(平板部件)14的高度与形成压力室20的第一平板以及形成共用墨水室23的第五～第七平板15～17不同。其结果是，限制流路56在平板的层叠方向上与压力室20以及共用墨水室23的高度均不同。

并且，如图5所示，该限制流路56，其在平板11～18的层叠方向上的投射区域被包含在上述共用墨水室23的区域中。

如上，限制流路56的投射区域和共用墨水室23的区域布局成至少有大部分重叠，因此可以将共用墨水室23、限制流路56和压力室20配置在紧凑的空间内。所以，可以满足喷墨头1的紧凑化的要求，同时满足基于高清晰度化的压力室20及限制流路56的密集配置的要求。

限制流路56的另一端，通过各自设置在第三平板13及第二平板12的连通孔57、58，与压力室20的端部连接。

在这里，上述限制流路56的截面面积，直接影响向压力室20的供墨量(补充量)，甚至于自喷嘴21的喷墨量，所以，要防止喷嘴21的喷墨量过剩或不足，精确地形成限制流路56的尺寸形状是极其重要的。

关于这一点，在通过对层叠平板中的一个进行半蚀刻而进行沟槽加工来构成该限制流路时，由于蚀刻速度易受腐蚀液的温度及浓度等诸多条件的影响，所以半蚀刻的深度容易产生偏差，要精确地形成限制流路的尺寸是极为困难的。

鉴于上述情况，本实施例中，第四平板(平板部件)14由聚酰亚胺树脂形成为薄膜状，同时，使用金属掩模进行激光加工而开出贯通状孔，并由此形成上述限制流路56。其结果是，可以精确地形成限制流路56的形状、大小，限制流路56的流路阻力偏移消失而可以提高打印质量。

在以上结构中，共用墨水室23内的墨水，从导入孔51、52经过过滤器连接孔53到达平板部件14的内部(收集过滤器70)，在此，墨水因流向平板部件14的表面方向而被过滤，并被除去杂质。而且经过限制流路连接孔55到达限制流路56，调整其流量，同时，通过连接孔57、58被供给压力室20。

即，如图4～6所示的实施例中，上述上述收集过滤器70相当于过滤由共用墨水室23流向压力室20的墨水的第二过滤器62。通过设置该收集过滤器70(第二过滤器62)，能够在到达压力室20之前除去共用墨水室23的墨水内含有的尘土或杂质。

下面，说明从外部墨水供给源向共用墨水室23供给墨水的墨水供给通路42的结构。

如图6所示，连接共用墨水室23，在第五平板15中穿设供给孔95。在其正上面的第四平板(平板部件)14，在上述供给孔95的对应位置上，并排穿设多个过滤孔59、59...，构成上述第一过滤器61。

对应第一过滤器61的位置，在第一～第三平板11～13上，分别形成连接孔91～93。通过该供给孔95、连接孔91～93，形成用来从外部向共用墨水室23供给墨水的上述墨水供给通路42。在该结构中，通过设置上述第一过滤器61，可以除去该墨水供给通路42的墨水内的尘土或杂质。

在该实施例中，如图6所明确的，限制流路56形成在第四平板(平板部件)14上，并且，在第四平板14上还形成了吸收共用墨水室23的压力变动的减震部80。所以，和分别在不同的平板上设置限制流路56及减震部80的结构相比，该结构被简化，而且，由于可以同时对限制流路56及减震部80进行制作，能够进一步简化其加工工序，及降低制造成本。

并且，在该实施例中，在上述平板部件14上还形成了过滤墨水的过滤器61、70。由此，除了限制流路56及减震器外，还与该平板部件14同时对过滤器61、70进行制作，能够进一步简化其加工工序。

并且，如上所述，在平板部件14上，设置：使墨水流经表面方向，而进行过滤的过滤器(收集过滤器70)；使墨水流经厚度方向而进行过滤的过滤器(第一过滤器61)。因此，使用过滤器的流路的配置具有很高的自由度，可以因此更为容易地实现流路的紧凑化和高集成化，以及喷墨头的小型化。

另外，在平板部件14上的第三平板13上形成的上述空间73内充满了空气，并且，平板部件14由很薄的聚酰亚胺制品构成，所以，其成为该空间内的空气透过平板部件14，并在充满了墨水的共用墨水室23出现气泡的原因。

图7中揭示了实施例1的变形实施例a，为解决该问题的结构。在图7所示的空腔板组10xa中，在平板部件14中，至少在其振动部分(上述减震部80)，通过蒸镀或溅射形成金属膜97，可以防止空气透过平板部件14。该金属膜97，可以在平板部件14的减震室(空间73)一侧表面形成，也可以在共用墨水室23一侧形成，从避免墨水引起的腐蚀或金属成分溶入墨水等角度考虑，优选在减震室(空间73)一侧形成。而且，该金属膜，如果在形成上述限制流路56及过滤器61、62时与激光加工的图像掩模的金属膜同时形成，可以使制造工序简略化。

即，由于上述平板部件14由树脂构成，作为平板部件14的加工方法可以采用激光加工等多种方法，同时可以防止上述减震室(空间73)内的空气透过上述减震部80进入共用墨水室23内形成气泡。

在本实施例中，平板部件14由聚酰亚胺树脂制成，但也可以由环氧树脂等制成。聚酰亚胺树脂和环氧树脂具有很强的抗墨水腐蚀性，所以适合做上述限制流路56及减震结构的制作材料，可以提高喷墨头1的耐用性能。这意味着扩大了墨水种类的选择范围。

并且，平板部件14的材料并不限于树脂，比如也可以用金属制成。此时，由于上述减震作用，选择有适度弹性的金属。另外，在平板部件14上形成上述限制流路56及过滤器61、70时，优选以蚀刻法，而非激光加工法形成为贯通状。

另外，在上述实施例中，取代在平板部件14上形成导入孔52，而在该位置形成多个微细贯通孔(与上述过滤器孔59、59.....同样)，由此，也可以在该部分构成过滤器。此时，导入孔52的过滤器，可以取代上述实施例的收集过滤器70，也可以和上述实施例的二个过滤器61、70并存(构成三个过滤器)。

作为实施例1的变形实施例b，图8和图9中揭示了三个过滤器并存的结构。该空腔板组10xb，在上述平板部件14′中，取代上述导入孔52而形成多个微细贯通孔99、99.....，形成内部过滤器98。和上述实施例完全相同地设置上述第一过滤器61、以及上述三个流路54(上述收集过滤器70)。

所以，由共用墨水室23流向压力室20的墨水，首先沿平板部件14′的厚度方向通过上述内部过滤器98而被过滤，然后沿平板部件14′的表面方向通过由三个流路构成的收集过滤器70而被过滤。即，在图8和图9中揭示的实施例1的变形实施例b中，用于过滤由共用墨水室23流向压力室20的墨水的第二过滤器62′，由内部过滤器98以及收集过滤器70构成。

如此，通过设置内部过滤器98、第一过滤器61以及收集过滤器70三个过滤器，可以有效防止尘土和杂质到达压力室20和喷嘴21。

并且，如上所述，在平板部件14′上，设置：使墨水流经表面方向而进行过滤的过滤器(收集过滤器70)；使墨水流经厚度方向而进行过滤的过滤器(第一过滤器61和内部过滤器98)。因此，使用过滤器的流路的配置具有很高的自由度，可以因此更为容易地实现流路的紧凑化和高度集成化，以及喷墨头的小型化。

并且，作为其他的实施例，即，不使用上述收集过滤器70，取而代之地使用导入孔52位置上的上述内部过滤器98。其实现方式为：通过仅仅形成一个流路54(其中间不窄的结构)并和限制流路56连接，从而形成新的限制流路，但不形成限制流路联络孔55。

另外，上述实施例的第一过滤器61或收集过滤器70，可以形成为与平板部件14不同的平板，该平板部件14形成了限制流路56。但是，基于进一步简化加工工序来考虑，优选的结构是，将二个过滤器61、70都设置在平板部件14上。

[实施例2]

下面，说明实施例2。该实施例2，略微变更实施例1的限制流路56和过滤器61、62的结构。

图10为实施例2的喷墨头的平面图。图11为表示图10中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

在第二实施例中的喷墨头的打印头本体1a中，空腔板组10y，如图11所示，其结构为层叠并相互粘结8个薄板111～118。在图12中，以分解斜视图来表示空腔板组10y的层叠结构。

另外，在该实施例2中，特定化各平板11～18时，也从远离喷嘴21的一侧起称之为[第×个平板]。另外，在该实施例中，集中叙述八张平板111～118中的第五平板115，有时称之为“平板部件”。

在该实施例2中，平板111～118，除了第五平板115(平板部件)之外，其余都由金属构成。第五平板115由聚酰亚胺树脂构成。

压力室20与实施例1相同，形成为贯通第一平板111的菱形孔，在图10、图11所示的Q方向上并排设置多个。共用墨水室23′，通过蚀刻第六和第七平板116、117而设置，且在上述压力室20的排列方向即Q方向上形成为长条形。

因此，在实施例2中，第一平板111相当于形成压力室20的‘第一平板层’A。而且，第六、第七平板116、117相当于形成共用墨水室23′的‘第二平板层’B。平板部件第五平板115，处在该第一平板层A与第二平板层B之间。

用于喷射墨水的喷嘴21开口在该第八平板118上。第二～第七平板112～117上，分别设置连通孔122～127，形成连接压力室20和喷嘴21的连接通路22。

下面说明从共用墨水室23′到压力室20的墨的流路。

共用墨水室23′，如上所述，设有第六和第七平板116、117，但是在紧靠其上面的第五平板(平板部件)115中，并排穿设多个小孔径过滤孔65、65...，构成第二过滤器162。

在与该第二过滤器162的过滤孔65的对应位置，在第四平板114上开设导入孔152。

贯通第三平板113而形成长孔状限制流路156，该限制流路156的一端与上述导入孔152连接。该限制流路156与实施例1中的限制流路56一样，可以限制通过该限制流路156的墨流量，调节供给压力室20内的供墨量。并且，在第二平板112上开设连接限制流路156的另一端和上述压力室20的连通孔157。

在该结构中，共用墨水室23′内的墨水，流经上述第二过滤器162而被过滤，然后到达导入孔152。然后，墨水在限制流路156被限制流量的条件下，通过连通孔157提供给压力室20。

下面，说明从外部墨水供给源向共用墨水室23′供给墨水的墨水供给通路142的结构。如图12所示，连接共用墨水室23′，在第五平板115中并排穿设多个过滤孔59、59...，构成用于过滤墨水的第一过滤器161。然后，在与第一过滤器161的对应位置，在第一～第四平板111～114中分别形成连接孔131～134。在将上述平板111～118层叠时，连接孔131～134呈直线状连接，形成上述墨水供给通路142。

这样，配置在墨水供给通路142上的第一过滤器161、配置在共用墨水室23′与压力室20之间的墨水通路上的第二过滤器162，都设置在第五平板(平板部件)115上。

其结果是，可以在平板部件115上一次形成两个过滤器161、162，所以可以简化制造工序。在本实施例中，相对由聚酰亚胺树脂构成的上述平板部件115，使用形成了两个过滤孔59、65图形的金属膜掩模进行激光加工，一次进行两个过滤器161、162的过滤孔(59、65)的开孔。

共用墨水室23′，面向平板部件115下侧形成。而且，相对平板部件115位于与共用墨水室23′相反一侧的第四平板114上，通过蚀刻形成作为减震室的空间73，在该部分上平板部件115弹性变形振动，形成减震结构，执行与实施例1相同的功能。

另外，与实施例1一样，可以通过蒸镀法或溅射法，在与该空间73对应的平板部件115的部位上形成防止空气通过的金属膜197(请参照图13所示的作为实施例2的变形实施例a的空腔板组10ya)。该金属膜197，可以形成在平板部件115的任何一侧，但是，基于避免因与墨水的化学反应所产生的腐蚀及溶解等的不利情形，优选的是，如图13所示，形成在减震室(空间73)。

在实施例二中，也如上所述，在单独的平板部件115上同时设置两个过滤器161、162，使该平板部件115进一步具有减震功能，所以，其结构更为简化，加工也更容易。

[实施例3]

下面，参照附图14～19，说明喷墨头的实施例3。

图14为实施例3的喷墨头的平面图。

图15为表示图14中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图16为表示实施例3的喷墨头的空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图17为第3平板的扩大斜视图。

图18(a)为表示实施例3的限制流路的结构的主要部分扩大斜视图。

图18(b)为表示限制流路内未设置凸起的参照例的主要部分扩大斜视图。

图19为表示限制流路的变形例的主要部分扩大斜视图。

在第三实施例中的喷墨头的打印头本体1a中，空腔板组10z，如图14所示，其结构为层叠并相互粘结8个薄板211～218。在图15中，以分解斜视图来表示空腔板组10z的层叠结构。

另外，在该实施例3中，特定化各平板211～218时，也从远离喷嘴的一侧起称之为[第×个平板]。另外，在第三实施例中，集中叙述八张平板211～218中的第三平板213，有时称之为“平板部件”。

在该实施例中，平板211～218，任何一个都由金属构成。

压力室20与其他实施例相同，形成为贯通第一平板211的菱形孔，在图14、图15所示的Q方向上并排设置多个。共用墨水室23′，通过蚀刻第五和第六平板216、217而设置，且在上述压力室20的排列方向即Q方向上形成为长条形。

在第八平板218上开设喷射墨水的喷嘴21。在第二第七平板212～217上，设置连通孔222～227，形成连接压力室20及喷嘴21的联络流路22。

蚀刻并贯穿第五、第六平板215216，从而形成共用墨水室23′。该共用墨水室23′沿上述压力室20的排列方向即Q方向形成为长条形。

在该第三实施例中，如上所述，在第一平板211中形成压力室20，所以该第一平板211，相当于上述第一平板层A。而且，在第五、第六平板215、216中形成共用墨水室23′，所以该第五、第六平板215、216，相当于上述‘第二平板层’B。

平板部件第三平板213，处在该第一平板层A与第二平板层B之间。

位于上述共用墨水室23′的下侧的第七平板217上，对其下表面进行蚀刻，从而与第八平板218之间形成空间273。

该第七平板217由具有适度弹性的金属板构成，通过形成上述空间273，该处变薄的部位(减震部280)在共用墨水室23′侧及上述空间273侧均可以自由地振动。

其结果是，在喷墨时由压力室20所残剩的压力变动被传播到共用墨水室23′，即使如此，也可以通过上述减震部280的弹性变形振动而吸收并减弱该压力变动(减震作用)，防止压力变动传播至其他压力室的交叉干扰。

下面说明从共用墨水室23′到压力室20的墨的流路。

如图15、16所示，导入孔252穿设在第四平板214上，该导入孔252墨水从共用墨水室23′引导到上述压力室20。并且，在位于紧靠其上方的第三平板213上，凹设限制流路256，并将其一端连接在上述导入孔252上。

该限制流路256，如图17所述，是对第三平板的上表面以半蚀刻法进行沟槽加工而形成，为细长形的凹部。

在该结构中，在层叠平板211～218形成空腔板组10z时，相当于该限制流路256的凹部的部分被上侧的第二平板封闭。所以，从导入孔252到达限制流路256一端的墨水，则朝向该限制流路256的另一端，流经第二平板212的下表面与上述凹部内底面之间的空间。

另外，上述的半蚀刻法槽加工，通过下述公知技术进行。

即，1.对第三平板213进行前处理后，涂敷适宜的感光树脂并形成感光树脂层。2.利用形成了与上述限制流路256的轮廓形状相当的形状的图形掩模对感光树脂层进行有选择的曝光。3.通过显影去掉感光树脂层的上述轮廓形状的部分，露出与第三平板213的对应部分。4.涂敷蚀刻液，对第三平板213的上述露出部分进行规定深度的腐蚀，形成该限制流路256。5.剥离并除去感光树脂层。

如上所述，通过蚀刻平板213(内部形成了后述的过滤器262)可以形成限制流路256，所以，与通过对该平板213进行激光开孔加工来形成过滤器及限制流路比较，可以简化加工工序。

在与限制流路256一端的上述导入孔252连接的部分上，也可以对第三平板213的下表面进行蚀刻加工形成贯通孔263，墨水通过该孔263从导入孔252流到限制流路256。

限制流路256的另一端通过设置在第二平板212上的连通孔257，和压力室20的端部连接。

如图18(a)所示，该限制流路256的流路宽度w及流路深度d1较小，流路截面小。通过该结构，该限制流路256可以通过限制流经该流路256的墨流量来调节向压力室20的供墨量，并适当地调整来自喷嘴21的喷墨量。

而且，在该限制流路256的内侧，形成上述的过滤器262，多个圆柱状突起(凸部)269以细小的间隔排列并形成为突起状且是独立的岛状。在该结构中，共用墨水室23′内的墨水所含的杂质难以通过突起269之间的空隙而被捕捉。

在以半蚀刻法进行沟槽加工而在第三平板213上形成上述限制流路256时，同时形成该突起269。

即，在上述半蚀刻法中所说明的选择性曝光时的图形掩模上，也形成与多个上述突起269相当的图形，在其后的显影工序中，即使是限制流路256的内部部分，与该突起269相当的部分的感光树脂层也不会被除去。由此，在其后的工序中涂敷蚀刻液时，对与平板213的突起269相当的部分以外的部分进行腐蚀的结果是，该突起269将残留为凸状。如此，对第三平板213进行限制流路256的沟槽加工以保留突起269部分，其结果是，构成如前所述的突起269将一体地形成在限制流路256的内部的结构。

在上述结构中，共用墨水室23′内的墨水，从导入孔252到达限制流路256，流经该流路256内的过滤器262时被过滤，被除去杂质。并且，通过限制流路256的作用来调节流量的条件下，通过连通孔257向压力室20供给。

在此，上述限制流路256的流路阻力直接影响到压力室20的供墨量(补充量)，甚至于来自喷嘴21的喷墨量。

因此，为了防止自喷嘴21的喷墨量出现过多或过少的问题，必须适当确定该限制流路256的流路阻力。

该流路阻力，和限制流路256的长度方向的长度L成正比，和流路截面面积(即流路宽度W和流路深度D之积)成反比。

但是在本实施例中，由于在限制流路256的内部适当地并列配置了上述的多个呈岛状的突起269，所以，可以通过该突起269来调整流路阻力。即，除了通过使上述限制流路256的长度L、流路宽度W和流路深度d的数值互不相同外，还可以通过使形成上述突起269的个数及排列方法等各不相同，从而可以自由调节墨流阻滞(流路阻力)。

由此，能够比较容易地精确设定限制流路256的最适当的流路阻力，自喷嘴21的喷墨量也将实现最适化从而提高印刷质量。

特别是，在按照本实施例以半蚀刻法形成上述限制流路256时，限制流路256内配置突起269的结构是极其有用的。

即，关于上述限制流路256的形状尺寸中的长度方向的长度L及流路宽度W，针对上述选择性曝光的掩模，利用自动绘图装置来精确绘制通过CAD制作的曝光图形，由此可以将其误差降低到最小。

另一方面，在半蚀刻法中，由于蚀刻速度易受腐蚀液的温度及浓度等诸多条件的影响而难以控制，所以半蚀刻的深度容易产生偏差。因此，关于限制流路256的流路深度d，与上述长度L及流路宽度W等其它参数相比较，则难以避免产生相对较大的误差。

如上所述，流路深度d的大小直接影响着流路阻力，所以，如果限制流路256的流路阻力产生误差，且某个喷嘴21的喷墨量过大，而自其他喷嘴21的喷墨量则过小，从而导致印刷质量的下降。

关于这一点，在图18(a)所示的实施例的限制流路256内排列突起269的结构中，由于设置了突起269，所以墨流的通过难度(流路阻力)将增大。因此，即使在以相同长度L及流路宽度W来得到相同的流路阻力时，和未设置突起269的图18(b)的结构相比而言，如果按照图18(a)的结构，可以增加与由上述突起269导致的流路阻力的增大部分相当(d1＞d2)的流路深度d。

半蚀刻的腐蚀深度误差(相当于流路深度d的误差)Δd可以控制在正负几μm的绝对值的范围以内。因此，根据可以增大流路深度d的本实施例，能相对减少对该流路深度的误差Δd，也可以减少限制流路256的流路阻力误差。这样，可以控制自各喷嘴21的喷墨量，提高印刷质量。

并且，可以在限制流路256内部形成用来除去由共用墨水室23′流向压力室20的墨水中的杂质的过滤器262，所以，包括有限制流路256及过滤器262的流路结构得以简化，适于节省空间。因此，可以高密度地集成配置多个喷嘴21、压力室20及流路，也可以较容易地满足图象高清晰化及喷墨头小型化的要求。

并且，在本实施例中，构成过滤器262的突起269一体地形成在平板213上，该平板213形成了限制流路256。因此，和设置了由另外部件形成的过滤器的结构相比较，可以减少部件数量，减少加工工序和成本。

在本实施例中，上述突起269与上述“凸部”相当，其形状并不限于圆柱形状，可以为棱柱等的任意形状。而且，多个凸部并不能被解释为一定是相互为同一形状，各个凸部可以选择各种形状。

另外，两个突起269之间的间隔以及突起269与限制流路256之间的间隔与上述限制流路256的流路阻力保持均衡，但是，优选小于喷嘴21的直径长度。如此，堵塞喷嘴21的较大的尘土及杂质必定被突起269的部分(所述过滤器262)捕捉，可以切实防止喷嘴21的堵塞。

在本实施例中，限制流路256被形成在第三平板上，但不限于此，可以结合流路结构上的具体情况而形成在其他平板上。

并且，也不限于在平板213的上表面(远离喷嘴21的面)形成限制流路256的凹部，也可以形成在下表面(临近喷嘴21的表面)。此时，凹部被位于紧靠第三平板213的下面的第四平板所封闭。

并且，在本实施例中，限制流路256的宽度W是一定的，但是，通过使具有突起269的部分和不具有突起269的部分的宽度发生变化，也可以调整流路阻力。另外，如图19的限制流路256′(过滤器262′)，即使是在具有突起269的部分，也可以根据突起269的排列及形状，在限制流路256′的侧壁形成凹凸。

如图16所示，在第一～第四平板211～214上，分别形成联络孔231～234并使其位置相互对应。所以，在层叠上述平板211～218时，如图15所示把联络孔231～234连接成直线状，形成墨水供给通路242。该墨水供给通路242，在空腔板组10z的表上面(与形成喷嘴21的一侧的相反一侧的表面)上形成上述墨水供给口41。

另外，如果是采取这样一种结构：配置过滤器使得覆盖上述墨水供给口41，或者在上述墨水供给通路242的中间配置过滤器，则该墨水内所含的杂质在到达共用墨水室23′之前就被捕捉。

[实施例4]

下面，参照付图20～23，说明喷墨头的实施例4。该实施例4的特征在于，其限制流路及该限制流路部分的过滤器的形成方法。

图20为实施例4的喷墨头的平面图。

图21为表示图20中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图22为表示实施例4的喷墨头的空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图23为第4平板的扩大斜视图。

在实施例四的喷墨头的打印头本体1a中，空腔板组10v，如图21所示，其结构为层叠并相互粘结7个薄板311～317。在图22中，以分解斜视图来表示空腔板组10v的层叠结构。

另外，在该实施例4中，在特定化各平板311～317时，也从远离喷嘴21的一侧起称之为“第×个平板”。

该实施例层叠的平板311～317都由金属构成。但是，在第四平板314中，分别在金属平板的下表面及上表面配置树脂层314a及树脂层314b。另外，在该实施例中，集中叙述第四平板314的上表面一侧的树脂层314b，有时称之为“平板部件”。

压力室20与其他实施例相同，如图20所示，形成为贯通第一平板311的菱形孔。该压力室20在图20、图21所示的Q方向上并排设置多个。

如图21所示，用于喷墨的喷嘴21开口在第七平板317上。如图22所示，在第二～第六平板312～316上，设置连通孔322～326，并按照图21所示形成连接压力室20及喷嘴21的联络流路22。

下面，说明共用墨水室23的结构。

第五、第六平板315、316，都通过蚀刻而形成第一空间71。而且，位于紧靠其上方的第四平板314也进行蚀刻，同时除去其下侧的树脂层314a，而形成其宽度比第一空间71窄的第二空间72。

在此结构中，通过层叠第四～第六平板314～316，连接第一空间71与第二空间72，构成共用墨水室23。该共用墨水室23，在上述压力室20的排列方向即Q方向上形成为长条形。

在该实施例四中，如上所述，在第一平板311上形成压力室，所以该第一平板311，相当于上述‘第一平板层’A。而且，在第四～第六平板314～316上形成共用墨水室23，所以该第四～第六平板314～316(包括第四平板314下表面的树脂层314a)，相当于上述‘第二平板层’B。

第四平板314上表面的树脂层(平板部件)314b，处在该第一平板层A与第二平板层B之间。

下面，说明从共用墨水室23到压力室20的墨的流路。

导入孔352(第一通路)穿设在第四平板314上，该导入孔352引导墨水由共用墨水室23到上述压力室20。并且，在配置在第四平板314上表面的相同厚度的连续的平板状的树脂层314b上，穿设限制流路367(第二通路)，并将其一端连接在上述导入孔352上。

该限制流路367，是通过采用下面的方法在上述树脂层314b中剔除其厚度部分而形成的凹部。在层叠平板平板311～317时，相当于该限制流路367的树脂层314b的上述凹部被上侧的第三平板313所封闭。所以，到达限制流路367的墨水沿该限制流路367流经第三及第四平板313.314之间的空间。

限制流路367的另一端，通过设置在第三平板313的连通孔357以及设置在第二平板312上的连通孔358与压力室20的端部连接。

如图20所示，该限制流路367，其导入孔367形成为宽幅状，在该宽幅状的部分上(及限制流路367的内部)，形成上述的第二过滤器362，圆柱状突起369以细小的间隔排列并形成为多个突起状且是独立的岛状。在该结构中，共用墨水室23内的墨水所含的杂质难以通过突起369之间的空隙而被捕捉。

限制流路367的连通孔357构成收缩部356。该收缩部356，其流路宽度变细，通过在第三及第四平板313.314之间限制流经该限制流路356的墨流量来调节向压力室20的供墨量，并适当地调整自喷嘴21的喷墨量。

在上述结构中，共用墨水室23内的墨水，从导入孔352到达限制流路367，流经该流路367内的第二过滤器362时被过滤时，除去杂质。并且，墨水到达限制流路367内的收缩部356，其流量被调整，同时，通过连通孔357.358向压力室20供给。

下面，说明墨水供给通路342的结构，该墨水供给通路342用于从墨水供给源向共用墨水室23供给墨水。

如图21～23中虚线所示，在第四平板314上，穿设供给孔334，该供给孔334连接共用墨水室23。在位于第四平板314上表面的树脂层314b上，在相当于上述供给孔334的位置上并列穿设多个过滤孔59，构成第一过滤器361。

如图22所示，在第一～第三平板311～313上，分别形成联络孔331～333，并使其位置与第一过滤器361相对应。通过该供给孔334、联络孔331～333构成上述墨水供给通路342，该墨水供给通路342用于从外部向共用墨水室23供应墨水。

另外，在本实施例中，包含上述的墨水供给通路342、共用墨水室23、导入孔352、限制流路367(包括收缩部356)、连通孔357.358、压力室20以及联络通路22的整个通路，相当于连接喷嘴21及墨水供给源的“墨水通路”。通过该“墨水通路”连接喷嘴21及墨水供给源的结果是，由该墨水供给源供给的墨水从喷嘴21喷出，并在打印纸上形成图象。

下面对吸收共用墨水室23的压力变动的减震结构进行说明。

构成共用墨水室23的上述第二空间72，是如上述通过对第四平板314进行欠设，同时除去第四平板314下表面的树脂层而形成的。另一方面，配置在第四平板314上表面的树脂层314b，即使是在相当于上述第二空间72的部分内，也不进行任何剔除而予以保留。

并且，对相对于上述树脂层314b位于与共用墨水室23相反的一侧(远离喷嘴21的一侧)的第三平板313也实施蚀刻，并形成具有与上述第二空间72对应的形状的空间373。

该树脂层(平板部件)314b具备适度的弹性，通过形成上述的空间373，该处的树脂层314b(减震部380)在共用墨水室23侧及上述空间373侧均可以自由振动。

其结果是，在喷墨时由压力室20所产生的压力变动被传向共用墨水室23，即使如此，也可以通过上述减震部380的弹性变形振动而吸收并减弱该压力变动(减震作用)，防止压力变动传播至其他压力室20的交叉干扰。

下面，对本实施例的二个过滤器361.362、限制流路367、及减震部380的形成工序进行说明。上述部件均形成在第四平板314上表面所配置的树脂层(平板部件)314b上。

自图24至图26顺次表示第四平板314的制作工序(p1)～(p6)，说明如下。

图24为表示第4平板的制造工序的扩大斜视图。

图25为表示对形成在第4平板的感光树脂层进行曝光的状态图。

图26为表示在感光树脂层形成过滤器及联络流路的状态图。

图24(p1)中揭示了构成第四平板的材料的金属平板314。在此形态下，对该平板314的上、下表面进行洗净、研磨等前处理后，如(p2)所示，在其一侧的表面上涂敷感光树脂，在另一表面上涂敷蚀刻用抗蚀材料。感光树脂及蚀刻用抗蚀材料，有很多种可以考虑，但是基于耐墨性的考虑，优选亚胺系和环氧系树脂。作为涂敷方法，例如可以采用滚涂法和旋涂法等。

其后，将平板314置于高温环境下，除去感光树脂及蚀刻用抗蚀材料内的溶剂(前烘)。结果是，如图24(p2)所示，在平板314上形成蚀刻用抗蚀材料层314a及感光树脂层314b。以下，将标号314a的树脂层称为“第一感光树脂层”，将标号314b的树脂层称为“第二感光树脂层”。

另外，为方便说明，在图24～26中第四平板314以上下反转的状态进行表示，与在图21～23所示的，其上下关系则相反。

下面，如图25(p3)所示，利用光掩模对该平版314的上下表面进行选择性曝光。

光掩模，有上表面用光掩模和下表面用光掩模，在图25的上表面的掩模381上形成与上述连通孔324、导入孔352、供给孔334及第二空间72对应的图形(324p、352p、334p、72p)。

在图25的下表面的掩模382上形成与连通孔324、第一过滤器361的过滤孔59及限制流路367对应的图象(324p、59p、367p)。另外，与构成限制流路367的一部分的收缩部356、第二过滤器362的突起369相对应的图形也形成在下表面一侧的掩模382上(356p、369p)。

相对于平板314，正确地定位上述两个掩模381.382，然后，从上下两面照射具有适当波长的紫外线。由此，上侧的掩模381上的图形以及下侧的掩模382上的图形被分别转印到第一感光树脂层314a以及第二感光树脂层314b。

接着，采用喷射法等将显影液涂敷在用在第一感光树脂层314a上，除去该树脂层314a的非曝光部分并显影。其结果是，如图26的(p4)所示，与形成在上表面一侧的掩模381上的图形324p、352p、334p、72p相对应的部分的树脂被除去，并在该处露出平板314的表面。

其后，在第一感光树脂层314a涂敷蚀刻液，对露出的部分进行腐蚀，如图26的(p5)所示，形成连通孔324、导入孔352、供给孔334及第二空间72。另外，在第二空间72的第二感光树脂层314b成为上述减震部380。

最后，在第二感光树脂层314b上涂敷显影液后，在与上述下表面的掩模382上所形成的图象324p、356p、59p、367p对应的地方(非曝光部分)除去该树脂层314b。

其结果是，如图26的(p6)所示，形成过滤孔59并构成第一过滤器361。进而，在第二感光树脂层314b上形成包含收缩部356的限制流路367，并和上述导入孔352连接。另外，与该树脂层314b的上述图形369p相当的地方被曝光而未被除去，其结果是，在限制流路367内部，上述突起369被保留为凸状，并形成第二过滤器362。

通过上述工序完成第四平板，其后，如图22所示，通过与其他平板(311～313，315～317)重叠粘结，构成喷墨头的空腔板组10v。

另外，在第四平板以外的平板(311～313，315～317)上，和过去一样，在各金属板层的两面形成感光树脂层，然后，利用其形成了与压力室20、连通孔324、共用墨水室23等对应的图形的掩模进行两面曝光并显影，对露出的平板进行蚀刻，形成上述的墨的流路。蚀刻工序结束后，剥离并除去感光树脂层。

在本实施例中，通过如上所示的加工工序，在第四平板314的两面上形成感光树脂层314a和314b，第一感光树脂层314a用于选择性的蚀刻，通过该选择性蚀刻，在平板314上形成导入孔(第一通路)352，第二感光树脂层314b通过显影在平板314上形成过滤器362及限制流路(第二通路)367，因此，和利用另外部件设置过滤器，或在其他的金属平板上形成过滤器及上述流路的结构相比较，可以简化部件结构，并减少加工工序数。

特别是，在该结构中，不仅是过滤器362，而且将构成墨的流路的一部分的限制流路367也设置在第二感光树脂层314b，所以，可以简化流路结构，减少层叠的平板数量。

并且，第二过滤器362必须对应于各个压力室20(喷嘴21)来形成，在本实施例所示的多个压力室20并列设置的结构中，也必须构成多个第二过滤器362，但是，如果使用其中形成了多个该过滤器362的图形(突起部369的图形369p)的掩模382，可以通过一次曝光.显影而一次形成多个过滤器362，加工非常容易。

在掩模382上，形成上述第二过滤器(即，配置在连接在上述压力室20及上述共用墨水室23之间的流路上的过滤器)362，同时形成上述第一过滤器(即，配置在上述墨水供给通路342上的过滤器)361。所以，可以通过第一过滤器361来防止混入共用墨水室23内的杂质，同时还能通过第二过滤器362来阻止杂质到达压力室20及喷嘴21。并且，二个过滤器361.362都可以通过掩模382的图形来形成，所以简化了加工工序。

而且，在本实施例中，采用了限制流路367内设第二过滤器362的结构，所以可以在较小的空间内统括配置限制流路367和过滤器362，简化了流路结构，对喷墨头的紧凑化作出了贡献。并且，适于流路的高密度配置，也比较容易适于需要高度集成化地配置喷嘴21的高清晰度的印刷形态。

并且，在上述第二感光树脂层314b上构成调整流向压力室20的墨流的限制流路367，其作为上述第二流路，所以，可以比较容易地精确设定该限制流路367的流路阻力。

即，限制流路367的流路阻力直接影响到向压力室20的供墨量(补充量)，甚至于自喷嘴21的喷墨量。因此，为了防止自喷嘴21的喷墨量出现过多或过少的问题，必须适当确定该限制流路367的流路尺寸、形状。

在这一点上，根据本实施例的结构，通过选择适当的涂敷条件可以精确设定第二感光树脂层314b的厚度，所以，在显影工序中，限制流路367的轮廓形状对应于曝光工序中的掩模图形形状，从该限制流路367的轮廓形状完全去除该厚度，由此，可以形成尺寸精确的限制流路367。即，例如对金属平板进行蚀刻法沟槽加工并形成限制流路，和这种结构(如上述实施例三的结构)相比而言，可以提高限制流路367的深度的精确度，所以，能够减少流路阻力的误差或偏差，提高印刷质量。

另外，与第三实施例同样，通过使形成上述突起369的个数及排列方法等各不相同，从而来自由调节墨流阻滞(流路阻力)。由此，能够比较容易地精确设定限制流路367的最适当的流路阻力，自喷嘴21的喷墨量也将实现最佳化从而提高印刷质量。

另外，如图22所示，作为平板部件的第二感光树脂层314b(构成上述“墨流通路”的一部分)面对共用墨水室23，在夹持该树脂层314b的相反一侧的平板(第三平板313)上形成剔除部的空间373，所以，可以通过空间373与墨流通路之间的第二感光树脂层314b的振动来吸收并减弱传播至墨流通路的压力变动。因此，通过控制给喷嘴21的喷墨质量带来恶劣影响的压力变动，可以实现适宜的印刷控制。在本实施例中，在第二感光树脂层(上述平板部件)314b上还加入了上述的减震部380，其结果是，可以进一步简化部件结构和安装工序。

在本实施例中，感光树脂.蚀刻用抗蚀液采用正型(光固化型)材料，但不限于上述，也可以使用负型(光分解型)材料。此时，曝光部分在显影时除去相反部分，如果将形成了曝光部分和非曝光部分被替换的图形的掩模作为掩模381.382使用的话，可以形成和上述相同的结构。

另外，工序的进行并不一定要按照上述顺序。比如，也可以在形成第二感光树脂层314b后再形成第一感光树脂层314a。而且，也可以不遵循图25所示一次曝光平板314的两面，而逐面进行曝光。

在本实施例中，在上述第二感光树脂层314b上还形成了第一过滤器361的过滤孔59，但不限于此，也可以形成在其他的平板上。但，在本实施例的结构中，第二感光树脂层314b还配置了第一过滤器361，如果根据该结构，只要通过曝光.显影，就能在第二感光树脂层314b上一次形成第二过滤器362及限制流路367，但不仅仅如此，还能同时一次形成第一过滤器361，所以，可以进一步简化加工工序。

在上述的实施例4中，在保留第一感光树脂层314a的状态下层叠平板11～17、形成喷墨头，但是，也可以至少在层叠前除去该第一感光树脂层314a。在作为实施例4的变形实施例a的空腔板组10va中揭示除去了第一感光树脂层314a的结构。可以在层叠前马上除去该第一感光树脂层314a，但是，在图24～26的工序中，可以在(p5)和(p6)之间追加除去第一感光树脂层314a的工序。

此时，可以通过适当选择第一感光树脂层314a和第二感光树脂层314b的材质，以免用于显影(根据曝光.未曝光的选择性去除)第一感光树脂层314a的显影液(溶剂)浸入曝光前或曝光后的第二感光树脂层314b，从而实现上述追加工序。

[实施例5]

下面，参照附图28～31来说明实施例5。本实施例与上述实施例4的不同在于，形成在第二感光树脂层314b上的流路(第二通路)和形成在第四平板314上的流路(第一通路)不直接相连。

图28为实施例5的喷墨头的平面图。

图29为表示图28中P-P线截面的喷墨头的斜视图。

图30为表示实施例5的喷墨头的空腔板组的层叠结构的分解斜视图。

图31为第4平板的扩大斜视图。

图28～31所示的实施例5的喷墨头，在形成在空腔板组10w内的共用墨水室23至压力室20的流路结构方面和上述实施例4不同。

下面说明该流路结构。如图29所示，作为第一通路的导入孔352′形成在第四平板314′上，并与共用墨水室23连接。并且，与该导入孔352′的位置相对应，将多个过滤孔365并列穿设在第四平板314′上表面所配置的树脂层314b上，从而构成第二过滤器362′。并且，在该树脂层314b上，长孔状的限制流路(第二通路)356′形成在该第二过滤器362′的旁边的位置，该限制流路356′的一端和上述导入孔352通过形成在第三平板313′上的连接流路353来连接。限制流路356′的另一端通过连通孔357′、358与压力室20连接。

另外，在实施例5中，过滤器未形成在限制流路356′内，上述第二过滤器362′被配置在导入孔352′部分。

即使是在该喷墨头上，上述第二过滤器362′的过滤孔365以及限制流路356′也是通过使用掩模进行曝光显影而形成在第二感光树脂层314b上的。其他结构及第四平板314′的制造方法和上述第四实施例的喷墨头完全相同。

另外，也可以用以下工序来代替图25～27的工序，即：1.对第四平板314实施与上述实施例相同的前处理；2.在第四平板314的一表面上仅仅形成第一感光树脂层314a；3.对其进行图形曝光；4.对第一感光树脂层314a实施与上述实施例(p5)同样的显影；5.与上述实施例(p5)相同，通过蚀刻形成流路；6.在第四平板314的另一表面上形成第二感光树脂层314b；7.对其进行图形曝光；8.与上述实施例(p6)相同，通过显影形成过滤器等。

此时，第二感光树脂层314b，为了不堵塞由上述5.的蚀刻工序所形成的流路，优选采用薄膜材料的粘合来形成，但是，如果调整用于形成第二感光树脂层314b的抗蚀材料的黏度和干燥性能等的物理特性(流体特性)，也可以采用液状材料。

在上述实施例1～5中，第一平板层A由一个平板构成，第二平板层B由多个平板构成，但不限于此。即，第一平板层A可以由多个平板构成，第二平板层B也可以仅由一个平板构成。

尽管参考上述具体实施例说明了本发明，但是对于本区域技术人员来说各种改变、修改和变形是显而易见的。因此，如上所述的本发明的优选实施例目的在于说明，而不是限制。可以进行各种修改而不脱离如所附权利要求确定的本发明的实质和范围。

Claims (7)

1.一种具有用于喷墨的喷嘴、连接上述喷嘴和墨水供给源的供墨通路、通过层叠而在内部形成上述供墨通路的多个平板的喷墨头的制造方法，该方法至少包括下述工序(A)～(H)：

(A)在金属平板的一侧表面形成第一感光树脂层的工序；

(B)在上述金属平板的另一侧表面形成第二感光树脂层的工序；

(C)利用掩模对上述第一感光树脂层进行有选择的曝光的工序，其中，该掩模形成了与构成上述供墨通路的一部分的第一通路相对应的图形；

(D)除去上述第一感光树脂层的曝光部分或者非曝光部分的工序；

(E)在上述金属平板上蚀刻出与上述第一感光树脂层的被除去部分相对应的形状，并形成上述第一通路的工序；

(F)利用掩模对上述第二感光树脂层进行有选择的曝光的工序，其中，该掩模形成了与构成上述供墨通路的一部分的第二通路及过滤器相对应的图形；

(G)除去上述第二感光树脂层的曝光部分或者非曝光部分，从而形成与上述第一通路连接的上述第二通路和过滤器的工序；以及

(H)将实施了上述工序(A)～(G)的平板与其他平板进行层叠的工序。

2.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，具有在所述第二通路上形成了所述过滤器的图形的掩模被使用在所述(F)工序中。

3.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述喷墨头包括用来控制所述喷嘴的墨水喷出的压力室、分配墨水至该压力室的共用墨水室，

具有在连接所述压力室及所述共用墨水室之间的流路上形成了所述过滤器的图形的掩模被使用在所述(F)工序中。

4.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述喷墨头包括用来控制所述喷嘴的墨水喷出的压力室、分配墨水至该压力室的共用墨水室，以及将来自供墨水供给源的墨水供给该共用墨水室的墨水供给通路，

具有在所述墨水供给通路形成了所述过滤器的图形的掩模被使用在所述(F)工序中。

5.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述喷墨头包括用来控制所述喷嘴的墨水喷出的压力室、分配墨水至该压力室的共用墨水室、以及将来自墨水供给源的墨水供给该共用墨水室的墨水供给通路，

具有在连接所述压力室及所述共用墨水室的流路上形成过滤器、且在所述墨水供给通路上形成过滤器的图形的掩模被使用在所述(F)工序中。

6.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述喷墨头包括用来控制所述喷嘴的墨水喷出的压力室、调整所述压力室的墨流的限制流路，

在所述(G)工序形成的所述第二通路构成所述限制流路。

7.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，所述喷墨头包括用来控制所述喷嘴的墨水喷出的压力室、分配墨水至该压力室的共用墨水室，相对于实施了上述(A)～(G)工序的平板，在上述(H)工序中所层叠的其它平板中，在夹持所述第二感光树脂层，位于在所述共用墨水室的相反侧相面对的平板上形成剔除部。

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