CN1359158A - 一种类似绝缘层上硅结构的材料及制备方法 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CNB011392886A CN1172376C (zh) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | 一种类似绝缘层上硅结构的材料及制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CNB011392886A CN1172376C (zh) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | 一种类似绝缘层上硅结构的材料及制备方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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CN1359158A true CN1359158A (zh) | 2002-07-17 |
CN1172376C CN1172376C (zh) | 2004-10-20 |
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ID=4675210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB011392886A Expired - Lifetime CN1172376C (zh) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | 一种类似绝缘层上硅结构的材料及制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1172376C (zh) |
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C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
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C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
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C56 | Change in the name or address of the patentee |
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CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20041020 |
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CX01 | Expiry of patent term |