CN1327224A - 等离子显示板及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于针对等离子显示器,提供容易抑制隔壁端部隆起的技术,由此,获得可以高品质进行图像显示的等离子显示器。为此,在本发明的等离子显示器中,在隔壁中,相对多个主隔壁部的各端部,形成沿与该主隔壁部的延伸方向相垂直的方向延伸的副隔壁部,通过该副隔壁部,使主隔壁部的宽度扩大,使主隔壁部的端部的宽度大于中间部(除了端部以外的部分)。另外,在本发明中,在形成等离子显示器的隔壁时,局部地将烧成后的隔壁端部,加热处理到隔壁材料的软化点以上的温度。
Description
本发明涉及用于显示器等的等离子显示板及其制造方法。
近年来,作为用于计算机或电视机等的平面型显示器,等离子显示板(等离子显示器)受到人们的关注。
等离子显示器划分为直流型(DC型)与交流型(AC型),但是目前,适合于大型画面的AC型成为主流。
在AC型等离子显示器中,通过对由用于保持放电的感应体层覆盖的电极,施加交流脉冲,将放电单元变亮,人们知道有保持电极对在前面面板侧平行地设置的面放电型,以及保持电极对与前面板和背面板相对地设置的相对放电型。
图10表示一般的AC面放电型等离子显示器的一个实例。
在该等离子显示器中,前面板110与背面板120相对地设置,其外周缘部(图中省略)通过由低熔点的玻璃形成的密封材料密封。
前面板110按照下述方式构成,该方式为:在前面基板111的相对面(与背面板相对的一侧的面)上,形成显示电极对112a,112b,将其覆盖,形成由感应体玻璃形成的感应体层113和由MgO形成的保护膜114。
背面板120按照下述方式形成,该方式为:在背面基板121的相对面9与前面板相对的一侧的面)上,呈条带状形成地址电极122,按照覆盖该电极的方式,形成背面感应体层123,在其上再沿地址电极122,呈条带状形成隔壁130,在隔壁130之间的槽中,形成RGB各种颜色的荧光体层140。
显示电极对112a,112b与地址电极122正交,在交叉的部位,形成放电单元。
在该等离子显示器中,根据所显示的图像数据,在地址电极122与显示电极112a之间,施加地址脉冲,之后,在成对的显示电极112a和显示电极112b之间,施加保持脉冲,由此,在各放电单元中,有选择地产生保持放电。由此,在进行保持放电的放电单元中,产生紫外线,从由该紫外线激励的RGB的各种颜色荧光体层140,产生可视光,显示图像。
在这里,相邻的放电单元之间由隔壁130隔开,由此,防止交调失真(crosstalk)(在放电单元之间的界面,混合有放电的现象)。
但是,作为形成隔壁的方法,一般采用下述方法,即,首先,将玻璃材料等的隔壁材料按照隔壁图案(条带状的隔壁形状)成形,将所形成的隔壁材料在大于隔壁材料中的玻璃材料的软化点的温度,进行烧成。
在这里,作为按照隔壁图案形成隔壁材料的方法,例举有下述方法等,即第1,通过丝网印刷法等方式按照图案印刷包含隔壁材料的膏的印刷法;第2,在背面基板的整个表面上涂敷包含隔壁材料的膏,之后在其上,形成感光性薄膜层,通过照相法,形成规定图案,然后,通过喷砂方式,去除隔壁材料中的不要部分的喷砂法;第3,在背面基板的整个表面上涂敷包含隔壁材料的感光性膏,然后,通过照相法,去除不要部分的感光性膏(photopaste)法。
采用任何一个成形方法,均具有下述倾向,即如图1所示,经烧成步骤而形成的隔壁130的端部130a隆起,该端部130a的高度比中间部130b(端部以外的部分)的高度,高出10~20%。
特别是,在于背面基板121上,形成背面感应体层123,在其上形成隔壁130的场合,容易产生隆起。
如果按照上述方式,隔壁端部产生隆起,则在将该背面基板与前面基板贴合,装配等离子显示器时,难于在隔壁与前面基板之间无间隙的情况下实现贴合。
另外,在装配好的等离子显示器中,在隔壁与前面基板之间,产生间隙,在驱动该等离子显示器时,在相邻的单元中,容易产生误放电,或产生异常放电。此外,由于具有上述间隙,在驱动时,前面面板振动,由此,容易产生噪音。
本发明是针对上述问题而提出的,本发明的目的在于针对等离子显示器,提供可容易形成没有端部的隆起的技术,由此,实现可以高品质,进行图像显示的等离子显示器。
在本发明的等离子显示器中,在隔壁中,以大于中间部(除了端部以外的部分)的宽度,形成主隔壁部的端部。
按照该等离子显示器,如果在隔壁形成时,对其进行烧成,可抑制端部隆起的情况。
此外,在形成隔壁图案时,可照样采用以喷砂法,丝网印刷法作为首先的一般的方法。
下面对可按照上述方式防止隔壁端部的隆起的原因进行描述。
一般在隔壁烧成时,由于烧成前的隔壁图案将会收缩,故沿主隔壁部延伸的方向,作用有较大的拉力。在这里,与主隔壁的中间部处于沿主隔壁延伸的方向,朝向相反方向张拉的状态的情况相对,在主隔壁部的端部,朝向主隔壁部的中间部的方向受到张拉,而朝向外部,不受到张拉。
可认为,由于在按照上述方式进行烧成时,沿中间部方向张拉隔壁端部,端部的表面附近的材料移动,由此产生隆起。
但是,如果主隔壁部的端部的宽度大于中间部的宽度,由于作用于主隔壁部的端部的拉力在较大的宽度范围分散,故隔壁材料难于移动。另外,由于在该端部,其尺寸沿宽度方向增加,这样除了朝向主隔壁部的中间部的张拉力以外,还沿主隔壁部的宽度方向,作用有拉力。由此,人们认为,也可通过此拉力,抑制隆起。
为了使隔壁的端部的宽度大于中间部,则可相对多个主隔壁部的各端部,形成沿与该主隔壁部的延伸方向相垂直的方向延伸的副隔壁部,通过该副隔壁部,扩大主隔壁部的宽度。
还有,形成副隔壁部的形式有多种,可通过副隔壁,将相邻接的主隔壁的端部之间连接,也可通过在主隔壁的端部,形成副隔壁,形成T形状或L形状。
特别是,如果通过副隔壁将相邻接的主隔壁部的端部之间连接,由于沿副隔壁的延伸方向,作用有较大的拉力,故减小主隔壁的端部的高度的效果较大。
为了沿副隔壁部的延伸方向作用足够的拉力,最好副隔壁部的宽度大于主隔壁部的宽度,特别是最好是大于该主隔壁部的宽度的1.5倍,但是在打算通过副隔壁部将多个主隔壁部的端部全部连接的场合,即使在副隔壁部的宽度小于主隔壁部的宽度的情况下,仍可沿副隔壁部的延伸方向,施加足够的拉力。
再有,按照本发明,在形成等离子显示器的隔壁时,可在隔壁材料的软化点以上的温度,局部地对烧成后的隔壁端部进行加热处理。
在此场合,即使在于烧成后,隔壁端部隆起的情况下,仍使该隆起程度减小。
可认为,通过局部地软化隔壁端部的方式,减小隆起程度的原因在于由于局部软化的部分发生固化,在该部分作用有表面张力,由此,隆起的部分的隔壁材料分散于周围。
作为局部地加热隔壁端部的具体方法,最好采用对隔壁端部照射激光的方法。
按照上述方式采用本发明,由于可减小等离子显示器的隔壁端部的隆起,故与隔壁相对的基板之间难于产生间隙。于是,可防止在驱动时,在相邻的单元中产生误放电,或产生异常放电,另外还可防止在驱动时,基板振动。
参照结合表示本发明的实施例的附图的下面的描述,容易得出本发明的上述和其它目的,优点和特征,这些附图包括:
图1为表示第1实施例的交流面放电型等离子显示器的结构的主要部分的透视图。
图2为表示上述等离子显示器中的,在背面面板上的背侧感应体层上,形成隔壁的状态的顶视图;
图3为说明采用喷砂法的隔壁形成步骤的图;
图4为实施例和已有实例的烧成前隔壁的部分放大图;
图5为第1实施例的等离子显示器的部分放大图;
图6为说明第1实施例的等离子显示器的特征的剖视图;
图7为表示实施例的隔壁的变换实例的图;
图8为表示第2实施例中的,对隔壁的端部照射激光的状态的图;
图9为表示对隔壁的端部照射激光的状态的图;
图10为表示一般的AC面放电型等离子显示器的一个实例的图;
图11为表示上述等离子显示器中的,端部隆起的状态的图。
(第1实施例)
(等离子显示器的整体结构)
图1为表示第1实施例的交流面放电型等离子显示器的结构的主要部分的透视图。
该等离子显示器按照下述方式构成,该方式为:按照将显示电极12和地址电极22相对的方式相互平行地以一定间隔设置前面面板10和背面面板20,该前面面板10在前面玻璃基板11上,设置有显示电极对(扫描电极12a和保持电极12b),透明感应体层13,保护层14;该背面面板20在背面玻璃基板21上,设置有地址电极22,背侧感应层23。
上述显示电极12和地址电极22均为条带状,显示电极12沿背面玻璃基板21的纵向(X方向)设置,地址电极22沿与上述纵向相垂直的方向(Y方向)设置。
另外,形成下述面板结构,其中在显示电极12和地址电极22交叉的位置,形成发出红,绿,蓝的相应颜色的光的单元。
地址电极22为金属电极(比如,银电极或Cr—Cu—Cr电极)。
显示电极12也可与地址电极22相同,由金属电极形成,但是该显示电极12也可这样形成,如图1所示,在由ITO,SnO2,ZnO等形成的,具有较大宽度的透明电极121上,叠置宽度较小的偏置(bias)电极122(银电极;Cr—Cu—Cr电极)。
透明感应层13为由按照覆盖前面玻璃基板11中的设有显示电极12的整个表面的方式设置的,感应物质形成的层,其通过比如,铅系低熔点玻璃或铋系低熔点玻璃形成。
保护层14为由氧化镁(MgO)形成的薄层,其覆盖透明感应体层13的整个表面。
在背面面板20中的感应体层23上,设置有隔壁30,前面面板10与背面面板20之间的间隙通过该隔壁30确定。
关于隔壁30,将在后面进行具体描述,其由条带状的主隔壁部31,相对主隔壁部31的端部伸出的副隔壁部32形成。
各主隔壁部31位于相邻的地址电极22之间,在主隔壁部31之间,设置红,绿,蓝的荧光体层40。另外,在主隔壁部31之间,密封有放电气体,形成放电空间。
在用于40英寸的高清晰度(high vision)电视机的场合,一般为下述的类型。
相邻的地址电极22之间的间距小于0.2mm。典型的隔壁间距针对每种颜色为360μm,主隔壁部31的顶部宽度在50~100μm的范围内,主隔壁部31的高度在100~150μm的范围内。
此外,作为密封的放电气体,采用由He,Ne,Xe形成的稀有气体,其密封压力设定在66.5~80kPa的范围内。
在驱动该等离子显示器时,通过驱动电路(图中未示出),对扫描电极12a和地址电极22,施加地址放电脉冲,由此在打算发光的单元中,累积壁电荷,此后,在显示电极对12之间,施加保持放电脉冲。此时,在累积壁电荷的单元中,进行保持放电,实现发光。通过反复进行这样的动作,在等离子显示器的中间部(图像显示区域),实现图像显示。
(关于隔壁的形状)
图2为表示在背面面板20中,在背侧感应体层23上,形成隔壁30的状态的顶视图。
隔壁30由主隔壁部31和副隔壁部32形成,该主隔壁部31沿地址电极22,呈按照Y方向延伸的条带状,该副隔壁部32按照将该主隔壁部的端部之间连接的方式,沿X方向延伸,在主隔壁部31之间,形成槽33。
在这里,“主隔壁部31的端部”指相对主隔壁部31的末端(图2的31c),主隔壁部31中的等于宽度的长度范围。
(等离子显示器的制造方法)
下面对制造上述结构的等离子显示器的方法进行描述。
前面面板制作步骤:
在由厚度约为2.8mm的钠钙玻璃形成的前面玻璃基板11的表面上,通过ITO(Indium Tin Oxide)或SnO2等的导电体材料,按照平行的方式制作厚度约为3000埃的透明电极。另外,在该透明电极上,通过叠置由银或铬—铜—铬这3个层形成的bias电极,形成显示电极12。
这些电极可通过丝网印刷法,照相平版法等的,公知的制作方法来制作。
接着,在形成有显示电极12的前面面板11的整个表面上,涂敷包含铅系玻璃的感应体膏,对其进行烧成,由此形成厚度约在20~30μm的范围内的透明感应体层13。然后,在透明感应体层13的表面上,采用蒸镀法或CVD等方式,形成由氧化镁(MgO)形成的保护膜14。按照上述方式,便制成前面面板10。
背面面板制作步骤:
在由厚度约2.6mm的钠钙玻璃形成的背面玻璃基板21上,通过丝网印刷法,呈条带状,涂敷以银为主成分的导电体材料,由此,按照在5~10μm的范围内的厚度,形成地址电极22。
然后,在形成有地址电极22的背面板玻璃21的整个表面上,涂敷感应体玻璃膏,对其进行烧成,因此按照在20~30μm的范围内的厚度,形成背侧感应体层23。
之后,采用后面将要描述的喷砂法等,形成隔壁30。
另外,在隔壁30之间的间隙中,通过丝网印刷法,涂敷红色,绿色,蓝色的相应颜色的荧光体膏,通过在空气中对其进行烧成,形成相应颜色的荧光体层40,由此,制成背面基板20。
此外,在荧光体层40的形成中,除了丝网印刷以外,也可通过下述方法形成,该方法指在从喷嘴喷射荧光体墨的同时进行扫描的方法,或贴附包含各种颜色的荧光体材料的感光性树脂片,通过照相平版法,制作图案,实现显影的方法。
密封步骤,真空排气和放电气体封入步骤:
在按照上述方式制作的前面面板10和背面面板20中的任何一者或两者的外周部上,涂敷密封材料(密封用玻璃料膏),形成密封材料层,前面面板10的显示电极12与背面面板20的地址电极22按照垂直相对的方式重合,对其进行加热,使密封材料软化,由此,实现密封。
在按照上述方式密封后,在对密封后的面板的内部空间进行真空排气的同时,对面板进行烧成(在350℃下3个小时)。此后,按照规定压力,将放电气体封入,由此制成等离子显示器。
(采用喷砂法的隔壁形成步骤)
图3(a)~(d)为说明采用喷砂法的隔壁形成步骤。
该隔壁的形成由下述步骤组成,该步骤包括:图3(a)所示的第1步骤(隔壁膜涂敷形成步骤),图3(b)所示的第2步骤(感光性覆盖膜图案形成步骤),图3(c)所示的第3步骤(喷砂加工步骤),图3(d)所示的第4步骤(覆盖膜剥离步骤),以及第5步骤(隔壁烧成步骤)。下面对各步骤进行描述。
隔壁膜形成步骤(a)
将高分子树脂乙基纤维素与下述有机溶剂混合,制成展色料,该有机溶剂是按照50∶50的重量比,将α萜品醋与二甘醇单正丁基醚(BCA)混合而形成的。
将与用于感应体膏的材料相同的铅系玻璃(PbO—B2O3—SiO2—CaO)粉末,由铝形成的体质颜料粉末(骨材),氧化钛(TiO2)形成的颜料粉末,按照80∶10∶10的重量比混合,制作隔壁材料混合物。之后,在该隔壁材料混合物中,混合上述展色料,制成隔壁用膏。
在背侧感应体层23上的整个中间部(相当于图象显示区域的区域),采用丝网印刷法,均匀地印刷隔壁用膏,对其进行燥,反复进行此过程,形成厚度约为150μm的隔壁膜300。
感光性覆盖膜图案形成步骤(b)
在按照上述方式形成的隔壁膜300上,通过感光性材料形成覆盖膜310。在本实施例中,采用厚度为50μm的感光性干燥薄膜保护层(下面称为DFR),对该DRF进行叠置,形成覆盖膜310。
接着,在该覆盖膜310上,设置仅仅覆盖相当于隔壁30的图案(参照图2)的部分的光掩模,照射紫外线光(UV光),进行曝光处理。在这里,由于适合的曝光量对应于光掩模的图案宽度和间距而变化,故考虑这些因素而设定上述曝光量。
然后,采用1%的碳酸钠水溶液的显影液,进行显影处理,在显影后,马上用水进行清洗。由此,在覆盖膜310上,形成条带状的槽311(开口部)。该槽311相当于图2中的主隔壁部31之间的槽33,典型的槽的尺寸是这样的,槽顶部的开口宽度为80μm,间距为360μm。
喷砂加工步骤(c)
在按照上述方式,制造覆盖膜310的图案后,对隔壁膜300进行喷砂加工。
具体来说,在Air流量为1500NL/min,研磨材料供给量为1500g/min的条件下,从喷嘴400,喷射研磨材料(比如,玻璃空心粒料)401,同时,如图3中的空白箭头所示,使喷砂嘴400沿覆盖膜310的整个表面,进行扫描。
在这里,作为喷砂嘴400,也可采用其长度与槽33相等(Y方向的长度)的类型,使其沿X方向进行扫描,作为喷砂嘴400,还可采用长度较小的类型,在使其沿Y方向进行扫描的同时,沿X方向进行扫描。
按照上述方式,对覆盖膜310的整个表面,吹拂研磨材料401,由此,在隔壁膜300中,仅仅对从槽311中露出的部分进行喷砂加,形成槽301(开口部)。
还有,对于此喷砂加工的程度,作为典型方式,进行该加工,直至通过喷砂方式将相当于隔壁膜300中的槽301的部分完全去除。
覆盖膜剥离步骤(d)
将按照上述方式在隔壁膜300中形成槽301后的背面玻璃基板21浸泡于剥离液(比如,5%的氢氧化钠水溶液)中,由此,将覆盖膜310剥离掉。图4(a)表示按照上述方式形成的烧成前隔壁302的局部放大图。
该烧成前隔壁302的图案与图2所示的隔壁30的图案相同,其由副隔壁部304(相当于图2中的标号32)形成,该副隔壁部304按照将沿V方向延伸的主隔壁部303(相当于图2中的标号31)的端部303a之间连接的方式,沿X方向延伸。
隔壁烧成步骤:
将覆盖膜剥离后的背面玻璃基板21放入下述烧成炉中,进行加热,该烧成炉是按照温度比隔壁材料的软化温度高一定程度的方式,通过靠模加工(profile)形成的。由此,对烧成前的隔壁302的隔壁材料烧结,形成隔壁30。在此烧成时,由于按照上述方式,在各主隔壁部303的端部303a,形成副隔壁部304,故如下面所描述的那样,防止在主隔壁部的端部,产生隆起。
另外,由于隔壁30的端部隆起程度减小,故难于在隔壁30与前面面板10之间,产生间隙,于是,可防止在等离子显示器的驱动时,产生误放电或异常放电,另外,可防止前面面板10产生振动。
(关于副隔壁部的隆起起的防止效果)
下面对副隔壁部的隆起的防止效果进行具体描述。
图4(b)为表示已有实例的条带状的烧成前隔壁500的图,其形状与在上述已有技术中所描述的等离子显示器的隔壁130的相同。
一般在隔壁烧成时,烧成前的隔壁图案将会收缩,在图4(a)的烧成前隔壁302和图4(b)的烧成前隔壁500中的任何一个中,均沿主隔壁的延伸方向(图4的上下方向)作用有拉力。
在这里,主隔壁部303的中间部303b(除了主隔壁部303的端部303a以外的部分),以及在烧成前隔壁500的中间部500b(除了烧成前隔壁500中的端部500a以外的部分),如空白箭头A所示,均沿主隔壁的延伸方向(图4的上下方向),处于朝向相反方向的拉伸状态。
与此相对,如空白箭头B所示,朝向隔壁中间(图4的上方),对主隔壁部303的端部303a和烧成前隔壁500的端部拉伸,但是,不朝向与上述方向相反的方向,对上述端部拉伸。
于是,便认为在烧成前隔壁500的端部500a,由于在其烧成时朝向中间部的拉伸力(空白箭头B)的作用,该端部500a的表面附近的隔壁材料移动。特别是,终端附近的隔壁材料靠近中间移动,隔壁材料集中于端部中的较窄的区域,由此产生隆起。
对于烧成前隔壁302中的主隔壁部303的端部303a,作用有在烧成时朝向隔壁中间的拉伸力(空白箭头B)的方面是相同的,但是由于在端部303a,副隔壁部304沿与主隔壁部303相垂直的方向延伸,故作用于端部的拉伸力也分散于副隔壁部304处。由此,隔壁材料难于移动。另外,由于即使在端部303a的终端附近的隔壁材料朝向主隔壁部303的中间部303b移动的情况下,其仍分散于副隔壁部304中,故难于产生隆起。
此外,随着副隔壁部304沿其延伸方向(主隔壁部303的宽度方向)收缩,在端部303a,沿.此方向作用有拉力(空白箭头C)。可认为,这样的拉力作用于端部303a上的情况也会获得使端部303a的高度减小的效果。
还有,由于副隔壁部304的宽度越大,在烧成时,作用于端部303a上的拉力越大,故为了减小烧成后的端部31a和副隔壁部32的高度,最好副隔壁部304的宽度大于主隔壁部303的宽度(在1.5~2倍的范围内)。
虽然也依赖于烧成时的条件等,但是由于按照上述方式,通过增加副隔壁部304的宽度,或使副隔壁部304延伸较大尺寸,在烧成时,对副隔壁部304的延伸方向(主隔壁部303的宽度方向)施加较大的拉力,故如图5所示,也可使端部31a和副隔壁部32的高度小于主隔壁部31的中间部31b的高度。
按照上述方式,如果副隔壁部32的高度小于主隔壁部31的中间部31b,如图6所示,在密封步骤中,当将前面面板10与背面面板20重合时,在副隔壁部32和前面面板110之间,确保间隙34。于是,在密封步骤后的排气步骤和放电电气体封入步骤中,由于副隔壁部32的内侧的空间(槽33)与外侧的空间(副隔壁部32与密封材料)处于通过间隙34连通的状态,故获得在不受到副隔壁部32的妨碍的情况下,实现排气和放电气体封入的效果。
但是,按照本实施例,在使副隔壁部304沿X方向延伸较大尺寸,通过副隔壁部304,连接所有多个主隔壁部303的端部303a的场合,由于即使在副隔壁部304的宽度小于主隔壁部303的宽度的情况下,在烧成时,仍沿副隔壁部304的延伸方向,作用有足够大的拉力,故可使端部31a与副隔壁部32的高度,与主隔壁部31的中间部31b的高度相等。
(隔壁图案的变换实例等)
在上面的描述中,如图1,图2所示,针对在主隔壁部31延伸的方向(Y方向)的两端侧,相邻的主隔壁部31的端部之间通过副隔壁部32全部连接的情况进行了描述,但是,如果主隔壁部31的端部的宽度大于中间部的宽度,则可认为通过同样的作用,获得抑制隆起的效果的情况。
作为隔壁30的变换实例,例举图7(a)~(d)所示的形式。这些隔壁30均包括条带状的主隔壁部31,在各主隔壁部31的端部,形成副隔壁部32,此方面是共同的,但是副隔壁部32的形状分别是不同的。
其中,在图7(a),图7(b)中,按照线对称的方式形成副隔壁部32。即,在主隔壁31的两端部(图7的上下两端部),并且在第n个主隔壁31与第(n+1)个(但是,n为奇数)的主隔壁31的端部之间,形成连接有副隔壁部32,在第m个主隔壁31与第(m+1)个(但是,m为偶数)的主隔壁31的端部之间,未形成副隔壁部。
在图7(a)的场合,由于在奇数位的槽33的两端,按照封闭的方式,形成有副隔壁部32,故与上述图2的场合相同,为了顺利地进行密封步骤后的排气步骤和放电气体封入步骤,最好使副隔壁部32的高度低于主隔壁部31的中间部31b。
在图7(b)所示的形式中,副隔壁部32不保持线对称,其整体按照呈连续状的隔壁图案的方式形成。即,在主隔壁部31的一端侧(图中底侧),第n个主隔壁部31与第(n+1)个(但是,n为奇数)的主隔壁部31的端部之间通过副隔壁部32连接,在主隔壁部31的另一端侧(图中顶侧),第m个主隔壁部31与第(m+1)个(但是,m为偶数)的主隔壁部31的端部之间通过副隔壁部32连接,
在图7(b)的图案的场合,由于在全部的槽33中,仅仅在任何一个的端部,具有副隔壁部32,故即使在副隔壁部32的高度与主隔壁部31的高度31b的相同的情况下,仍可顺利地进行密封步骤后的排气步骤和放电气体封入步骤。
再有,在图7(c),(d)所示的形式中,在各隔壁部31的两个端部,形成副隔壁部32,但是主隔壁部31的端部之间不连接。
在图7(c)的形式中,在各主隔壁部31的两端部,按照沿宽度朝向两个方向扩大的方式(沿图7的左右两个方向),形成副隔壁部32,该两端部呈T字形。
在图7(d)的形式中,在各主隔壁部31的两端部,按照沿其中1个宽度方向(图7的右方向)扩大的方式,形成副隔壁部32,该两端部呈L字形。
在这样的图7(c),(d)的图案的场合,由于槽33的两端部未为副隔壁部32封闭,故即使在副隔壁部32的高度等于主隔壁部31的中间部31b的高度的情况下,仍可顺利地进行密封步骤后的排气步骤和放电气体封入步骤。
另外,在图7(a)~(d)所示的任何一种形式中,与上述图2的场合相同,为了使主隔壁部31的端部31a和副隔壁部32的高度小于中间部31b的高度,最好使副隔壁部32的宽度为主隔壁部31的宽度的1.5~2倍,但是根据情况,也可使副隔壁部304的宽度小于主隔壁部303的宽度,还可考虑使端部31a和副隔壁部32的高度等于主隔壁部31的中间部31b的高度。
(其它的变换实例)
在本实施例中,针对主隔壁部31与地址电极相并排,沿直线延伸的场合进行了描述,但是该主隔壁部31也可不必为直线状。
比如,即使在于波浪形延伸的同时,并排设置地址电极的情况下,或在主隔壁部31之间的间隙(槽33)上,设置辅助隔壁的情况下同样可进行实施,获得同样的效果。
此外,即使在主隔壁部31沿与地址电极相垂直的方向延伸的情况下,同样可进行实施,获得同样的效果。
(第2实施例)
本实施例的等离子显示器与整体结构有关,与上述第1实施例相同。
另外,在本实施例等离子显示器中,隔壁的形状呈与在已有技术中所描述的等离子显示器的隔壁130相同的条带状,但是对烧成后的隔壁端部,局部地进行隔壁材料的软化点以上的加热处理,使隔壁端部的隆起减少。
该等离子显示器的制作方法在整体上与在第1实施例中所描述的相同,而不同的是隔壁形成步骤。
下面对该隔壁形成步骤进行描述。
在本实施例的隔壁形成步骤中,首先,与在第1实施例中通过图3所描述的相同,进行第1步骤(隔壁膜涂敷形成步骤),第2步骤(感光性覆盖膜图案形成步骤),第3步骤(喷砂加工步骤),第4步骤(覆盖膜剥离步骤),第5步骤(隔壁烧成步骤),由此,形成条带状的隔壁。
但是,在第5步骤结束的阶段,与图11所示的隔壁130相同,由于有在隔壁端部产生隆起的倾向,故在第5步骤后,作为第6步骤,还对隔壁端部照射激光,局部地对其进行加热处理,通过该处理,按照减小隔壁端部的隆起的方式进行形状加工。
下面对该第6步骤(局部加热步骤)进行具体描述。
图8为表示相对进行完第5步骤的背面玻璃基板21上的隔壁230的端部,照射激光的状况的图。
作为激光照射装置410,比如,也可采用输出功率为30W的YAG型激光器,还可采用碳酸气体(CO2)的激光器。图8表示相对激光照射装置410,在使基板21沿空白箭头方向移动的同时,照射激光,由此对多个隔壁230依次进行端部加热处理的状况。
图9为表示对隔壁230的端部230a,照射激光411的状况。
在进行完第5步骤的阶段,在背面玻璃基板21上,形成地址电极22和背侧感应体层23,在该背侧感应体层23上,形成条带状的隔壁230。在图9中,隔壁230的端部230a隆起,比中间部230,高出10~20%。
在该隔壁230的两端部,采用激光照射装置410,照射激光411,由此,将隔壁230的两端部,局部地加热到隔壁材料的软化点以上的温度(550℃或此温度以上)。
这里所述的“局部地加热端部”指仅仅将隔壁230的端部230a加热到软化温度以上,隔壁230的中间部230b(端部230a以外的地方)按照保持在软化点以下的温度的方式加热,通过该局部的加热,仅仅将产生隆起的部位和其附近软化。
按照上述方式,在端部230a的隆起部分和其周边软化后,如果其再次固化,则端部230a的形状变化,隆起减小。人们认为,这样的形状变化是这样产生的,即由于在隔壁材料软化的部分,作用有表面张力,如图9中的空白箭头所示,隆起的部分的隔壁材料分散于周边区域。
此外,在按照上述方式,对端部230a,进行局部加热处理时,还可通过调整其条件,按照端部230a的高度与中间部230b的高度相等的方式,使端部230a的形状变化,还可按照端部230a的高度低于中间部230b的高度的方式,使端部230a的形状变化。
还有,为了获得这样的隆起减小效果,也可不必将整个端部230a加热到软化点以上的温度,不将端部230a的深层部加热到软化温度,仅仅将端部230a的表层部加热到软化温度以上。
按照上述方式,在本实施例中,在隔壁烧成步骤后,通过设置局部地加热隔壁端部的步骤,可减小在烧成时所产生的隔壁端部的隆起。因此,按照本实施例的等离子显示器的制造方法,可容易制造可以高品质进行图像显示的等离子显示器。
再有,在本实施例中,给出的是对隔壁端部进行局部加热是通过从隔壁的表面侧,照射激光的方式进行的实例,但是作为局部加热的方法,除了激光照射以外,还可考虑通过相对隔壁端部,照射电子束,或吹拂高温的空气,与高温加热的部件相接触的方法,来实施。另外,也可不必从隔壁的表面侧进行加热,比如,还可考虑通过比如,从背面玻璃基板21的背面侧,进行加热的方法来实施。
另外,与第1实施例相同,隔壁230也可不必为直线状,即使在沿与地址电极相垂直的方向延伸的情况下,可同样地实施,获得同样的效果。
(第1,2实施例的变化实例)
在上述第1,2实施例中,以在隔壁形成步骤中,形成隔壁图案采用喷砂法进行的场合为实例进行描述的,但是,即使在采用比如,通过丝网印刷法按照图案印刷隔壁用膏的印刷法,在整个表面涂敷感光性的隔壁用膏,之后,通过照相法,去除不要部分的感光性膏(photo paste)法的情况下,同样可进行实施,获得同样的效果。
在上述第1,2实施例中,针对在背面面板侧形成隔壁的场合进行了描述,但是即使在前面panel侧形成隔壁的情况下,同样可进行实施,获得同样的效果。
在上述第1,2实施例中,以交流面放电型等离子显示器为实例进行了描述,但是,同样对于对向放电型的等离子显示器,或DC型的等离子显示器,同样可进行实施,获得同样的效果。
虽然通过参照附图的实例对本发明进行了全面描述,但是应注意到,对于本领域的普通技术人员来说,各种变化和改进是显然的。于是,如果这些变化和改进不脱离本发明的范围,它们应按照包含于本发明内的方式构成。
Claims (18)
1.一种等离子显示器,其中在表面并排设置有多个第1电极的第1基板和在表面并排设置有多个第2电极的第2基板,按照第1电极和第2电极呈交叉状的方式相对地设置;
在第1基板的相对面上,形成隔壁,在由所述第1基板和第2基板之间的该隔壁划分的空间内,密封有气体介质:
其特征在于,上述隔壁包括:
多个主隔壁部,其沿上述第1电极或第2电极延伸;
在上述多个主隔壁部的各端部,呈其宽度大于该主隔壁部的中间部的形状。
2.根据权利要求1所述的等离子显示器,其特征在于:
上述各主隔壁部的各端部呈T字形或L字形。
3.一种等离子显示器,其中在表面并排设置有多个第1电极的第1基板和在表面并排设置有多个第2电极的第2基板,按照第1电极和第2电极呈交叉状的方式相对地设置;
在第1基板的相对面上,形成隔壁,在由所述第1基板和第2基板之间的该隔壁划分的空间内,密封有气体介质:
其特征在于,上述隔壁包括:
多个主隔壁部,其沿上述第1电极或第2电极延伸;
从所述多个主壁部的各个端部沿该主壁部的宽度方向延伸的副隔壁部。
4.根据权利要求3所述的等离子显示器,其特征在于:
上述副隔壁部,在上述多个主隔壁部延伸方向的至少一端侧,在上述多个主隔壁部中,第n个与第n+1个(n为奇数)的端部连接。
5.根据权利要求3所述的等离子显示器,其特征在于:
上述副壁部在所述多个主隔壁部延伸方向的一端侧,在所述多个主隔壁部中,从第1端部数起,第n个与第n+1个(n为奇数)连接;
在所述多个主隔壁部延伸方向的另一端侧,在所述多个主隔壁部中,从位于所述第1端部的主隔壁部数起,第n+1个与第n+2个连接。
6.根据权利要求3所述的等离子显示器,其特征在于:
上述副隔壁部在所述多个主隔壁部的延伸方向的两端侧,将所述主隔壁部全体连接起来。
7.根据权利要求3所述的等离子显示器,其特征在于:
上述副隔壁部的宽度小于上述主隔壁部的宽度。
8.根据权利要求3所述的等离子显示器,其特征在于:
上述副隔壁部的高度小于上述主隔壁部的中间部的高度。
9.根据权利要求3所述的等离子显示器,其特征在于:
上述副隔壁部的宽度大于上述主隔壁部的宽度。
10.根据权利要求1或3所述的等离子显示器,其特征在于:
上述副隔壁部的宽度为上述主隔壁部的宽度的1.5倍以上。
11.一种等离子显示器,其中在表面并排设置有多个第1电极的第1基板和在表面并排设置有多个第2电极的第2基板,按照第1电极和第2电极呈交叉状的方式相对地设置;
在第1基板的相对面上,形成隔壁,在由上述第1基板和第2基板之间的该隔壁划分的空间内,密封有气体介质;
其特征在于:
上述各隔壁这样形成,采用隔壁材料,呈隔壁状形成,对其进行烧成;
对其端部而到达隔壁材料的软化点以上的温度。
12.根据权利要求1或11所述的等离子显示器,其特征在于,上述各隔壁的端部通过激光的照射进行加热处理。
13.根据权利要求1或11所述的等离子显示器,其特征在于,上述各隔壁的端部的高度小于中间部的高度。
14.一种等离子显示器的制造方法,该方法包括:
在表面并排设置有多个第1电极的第1基板的表面上,设置多个隔壁的隔壁形成步骤;
将在表面并排设置有多个第2电极的第2基板,与上述第1基板按照第1电极和第2电极呈交叉状的方式相对地设置的设置步骤;
其特征在于上述隔壁形成步骤包括:
使隔壁材料呈隔壁状,进行成形的成形步骤;
对所形成的隔壁材料进行烧成处理的烧成步骤;
将烧成后的隔壁材料成形体的端部,局部地加热到隔壁材料的软化点以上的温度的加热步骤。
15.根据权利要求1或14所述的制造方法,其特征在于:
在上述加热步骤中,在烧成后的隔壁材料成形体的端部,通过照射激光,进行加热处理。
16.根据权利要求1或15所述的制造方法,其特征在于:
在上述加热步骤中,采用YAG型激光器或二氧化碳气体型激光器。
17.根据权利要求1或14所述的制造方法,其特征在于:
在上述加热步骤中,按照使烧成后的隔壁材料成形体的端部的高度小于中间部的高度的方式进行形状加工。
18.根据权利要求1或14所述的制造方法,其特征在于:
在上述加热步骤中,从第1基板的顶面侧或背面侧,对烧成后的隔壁材料成形体的端部进行加热处理。
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