CN1312970C - 电波吸收体和电波吸收体的制造方法 - Google Patents

电波吸收体和电波吸收体的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种电波吸收体，其特征在于：把以ΔTx＝Tx-Tg(可是，Tx是结晶开始温度，Tg是玻化温度。)式表示的过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金和树脂混合、固化成形，所述树脂是氟类热塑性合成橡胶、氟代聚烯烃树脂、全氟代烷氧基树脂、氟代乙烯丙烯共聚物、聚酰亚胺树脂、环氧树脂中的任意一种。根据本发明，在数百MHz～数GHz的频带的宽广范围中，复数导磁率的虚数部μ″高，高频区域中的电磁波抑制效果优异。

Description

电波吸收体和电波吸收体的制造方法
技术领域
本发明涉及电波吸收体和它的制造方法，特别是涉及对100MHz～数GHz频带的电波屏蔽有效的电波吸收体。
背景技术
以移动电话和笔记本型个人电脑为代表的便携式电子机器正在普及。最近，报告有飞机等内的被认为是便携式电子机器引起的电磁波干扰的问题，在一部分中，禁止了飞机内的便携式电子机器的使用。此外，报告有移动电话引起的医疗仪器的错误动作，有的地方规定了医院内禁止移动电话的使用。
无论是飞机还是医疗仪器，错误动作都会产生关乎人命的重大影响，所以重要的是防止电子机器中的不需要电波的辐射和产生。特别是从便携式电子机器和移动电话等产生的高频不需要电波的防止成为重大课题。
为了抑制不需要电波，优选应用使用频带中的复数导磁率的虚数部μ”显示大的值的电波吸收体，作为这样的电波吸收体，提出了把软磁性合金粉末与树脂等粘结材料一起固化成形为板状的电波吸收体。
所述复数导磁率的虚数部μ”是在高频区域中，在数百MHz～数GHz的频带中显示极大的导磁率，成为电波吸收体的电磁干扰抑制效果的指标的数值，该虚数部μ”越高的，电磁干扰抑制效果越优异。须指出的是，在数百MHz以下的频带中，复数导磁率的实部μ’显示极大。
即，如果使工作频率增大，则最初实部μ’显示极大，如果频率进一步增大，则在实部μ’下降的同时，虚数部μ”增大，在数百MHz～数GHz的频带中，成为虚数部μ”显示极大的关系。
此外，实部μ’和虚数部μ”的极大频率是各自材料中的固有值，因此，有必要根据要屏蔽的电波频率，适当选择电波吸收体的材料。
由所述软磁性合金粉末构成的电波吸收体能形成很薄，所以能应用于小型仪器中，但是在数百MHz～数GHz的频带中，虚数部μ″大致为5以下，即使高也是10以下，存在无法充分取得电磁干扰抑制效果的问题。例如，作为以往的有软磁性合金粉末构成的电波吸收体，已知通过氟树脂等粘结材料把Fe-Al-Si合金和Fe-Ni合金等软磁性合金粉末成形为板状的电波吸收体，但是在这些电波吸收体中，在成形为板状后都不进行热处理，所以无法缓和在成形时作用在软磁性合金粉末上的应力，无法提高所述复数导磁率的虚数部μ″。
为了充分进行软磁性合金粉末的应力缓和，例如在Fe-Al-Si合金中，有必要在800℃左右进行热处理，但是在这样的高温下，粘结材料即氟树脂热分解，所以热处理自身是不可能的状况。
发明内容
本发明是鉴于所述问题而提出的，其目的在于：提供在数百MHz～数GHz的频带的宽广范围中，复数导磁率的虚数部μ″高，高频区域中的电磁波抑制效果优异的电波吸收体。
另外本发明目的在于：提供在1GHz～10GHz的高频区域中的复数导磁率μ″高，在这样高频区域中的电磁波抑制效果优异的电波吸收体。
为了实现所述目的，本发明采用了以下的结构。
本发明的电波吸收体的特征在于：以ΔTx＝Tx-Tg(其中，Tx是结晶开始温度，Tg是玻化温度。)式表示的过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金和树脂混合、固化成形，其中在固化成形的同时或之后进行温度在573K以上773K以下的热处理，所述树脂是氟类热塑性合成橡胶、氟代聚烯烃树脂、全氟代烷氧基树脂、氟代乙烯丙烯共聚物中的任意一种。
此外，所述树脂优选是过氧化物硫化型的氟类热塑性合成橡胶。
温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金具有优异的软磁特性，此外，因为是导磁率高的材料，所以发挥了良好的电波吸收能力。
此外，Fe基非晶体软磁性合金粉末由树脂绝缘，电波吸收体自身的阻抗提高，据此，抑制了过电流的发生，能在宽广的范围内提高数百MHz～数GHz的频带中的复数导磁率的虚数部μ″，能提高高频区域中的电磁波抑制效果。
当树脂由氟类热塑性合成橡胶、氟代聚烯烃树脂、全氟代烷氧基树脂、氟代乙烯丙烯共聚物中的任意一种构成时，能取得作为电波吸收体的软质的材料。例如，能取得板橡胶状的软质电波吸收体或薄铅板那样的可变形的软质电波吸收体。据此，当作为薄板状的电波吸收体而利用时，具有以下特征：没必要选择粘贴的地方，能与粘贴的地方的形状匹配而简单紧贴，粘贴作业变得简单，粘贴作业自身也变得容易。此外，当切断、粘贴时，能容易用剪子切断，也能容易粘贴切断的材料，安装变得容易。因此，能容易地安装或粘贴在小箱状的屏蔽箱、小箱的内表面上。
此外，本发明为了实现所述目的，其特征在于：所述Fe基非晶体软磁性合金包含Fe、过渡金属和B。即作为温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金，优选包含Fe、过渡金属和B。
本发明为了实现所述目的，其特征在于：所述Fe基非晶体软磁性合金包含P、C、Si中的至少一种以上的半金属元素。即作为温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金，优选包含P、C、Si中的至少一种以上的半金属元素。
本发明为了实现所述目的，其特征在于：所述Fe基非晶体软磁性合金的含量为40～55体积％。
如果对于树脂，为所述范围的Fe基非晶体软磁性合金的含量，则在目的的高频区域中，能取得理想的电波吸收特性。
在本发明中，其特征在于：所述Fe基非晶体软磁性合金中包含的过渡金属是选自Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Pt、Pd、Au中的一种或两种以上的元素。即作为温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金，优选包含这些过渡元素中的至少一种以上。
在本发明中，优选以粉末状态包含所述Fe基非晶体软磁性合金，所述粉末的平均粒径优选是1～80μm，厚度是0.1～5μm。
如果粉末的平均粒径和厚度设定在所述范围内，则在高频区域中能够容易得到电波吸收特性优良的电波吸收体。
如果扁平型的粉末粒子的厚度和平均粒径是在所述范围，则由于电波吸收体自身的阻抗增大，抑制了过电流的发生，此外扁平型粒子自身的反磁场不变得过小，抑制了μ’，据此，GHz频带中的虚数部μ″升高，能提高电磁波抑制效果。
在本发明中，优选所述粉末的长宽比为1以上，800以下。在本发明中，更优选所述粉末的长宽比为5以上，300以下的范围。
根据这种电波吸收体，因为所述非晶体软磁性合金由长宽比高的扁平型粒子构成，所以与长宽比小的情况相比，电波吸收体自身的阻抗升高，抑制了过电流的发生，GHz频带中的虚数部μ″升高，能提高该频带中的电磁波抑制效果。
根据这种电波吸收体，因为扁平型粒子的长宽比为1以上，优选在5以上，所以电波吸收体自身的阻抗增大，抑制了过电流的发生，GHz频带的μ″变为5以上，所以能提高电磁波抑制效果。
此外，因为刚才的长宽比为800以下，优选在300以下，所以扁平粒子自身的反磁场不变得过小，据此，抑制了低频区域中的复数导磁率的实部μ′，而虚数部μ″变为5以上，所以能提高电磁波抑制效果。
此外，本发明的电波吸收体是前面所述的电波吸收体，其特征在于：1GHz中的复数导磁率虚数部μ″为5以上。此外，更优选1GHz中的复数导磁率虚数部μ″为10以上。
根据这种电波吸收体，因为1GHz中的复数导磁率虚数部μ″为5以上，更优选为10以上，所以能提高GHz频带中的电磁波抑制效果。
此外，本发明的电波吸收体是前面所述的电波吸收体，其特征在于：密度是3.0g/cm3以上，所述Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率为30体积％以上，80体积％以下。
根据这种电波吸收体，因为密度是3.0g/cm3以上，所以密集地填充了Fe基非晶体软磁性合金，在构成粉末的扁平粒子彼此间不产生间隙，据此，GHz频带中的μ″提高，能提高电磁波抑制效果。
此外，因为Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率为30体积％以上，所以能有效发挥电磁波抑制效果，此外，因为Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率为80体积％以下，所以能防止粉末彼此的过密化引起的电波吸收体的阻抗下降，能有效发挥电磁波抑制效果。
本发明的电波吸收体是前面所述的电波吸收体，其特征在于：所述Fe基非晶体软磁性合金的粉末粒子是由水玻璃覆盖的。
根据这种电波吸收体，因为扁平型的粉末粒子由水玻璃覆盖，所以提高了粒子彼此的绝缘性，电波吸收体自身的阻抗进一步提高，能进一步提高高频区域中的μ″，能提高电磁波抑制效果。
此外，本发明的电波吸收体是前面所述的电波吸收体，其特征在于：所述Fe基非晶体软磁性合金，其中以ΔTx＝Tx-Tg(可是，Tx是结晶开始温度，Tg是玻化温度。)式表示的过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上，包含P、C、Si、B中的一种以上的元素和Fe，由以非晶体相为主相的组织构成。
根据这种电波吸收体，Fe基非晶体软磁性合金粉末由具有过冷液体温度间隔ΔTx的金属玻璃合金构成，该金属玻璃合金与以往的软磁性合金相比，复数导磁率的实部μ′高，所以通过把该合金粉末化，添加粘结材料，提高绝缘性，由此显现了反映该实部μ′的高虚数部μ″，能提高电磁波抑制效果。
此外，本发明的电波吸收体是前面所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金粉末和所述粘结材料混合、固化成形后，在所述非晶体软磁性合金的居里点温度(Tc)以上、结晶开始温度(Tx)以下的范围中进行热处理。
根据这种电波吸收体，通过热处理缓和了电波吸收体的变形，所以磁致伸缩的影响减小，据此，复数导磁率的虚数部μ″提高，能提高电磁波抑制效果。
特别是本发明的树脂具有耐热性，所以能与Fe基非晶体软磁性合金一起在固化成形后进行热处理，据此，充分缓和了应力，复数导磁率的虚数部μ″提高，发挥了优异的电波吸收能力。
所述Fe基非晶体软磁性合金优选由以下的组成式表示：
Fe100-x-y-z-w-tMxPyCzBwSit
其中，M是从Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Pt、Pd、Au中选择的一种或两种以上的元素，表示组成比的x、y、z、w、t为0.5原子％≤x≤8原子％，2原子％≤y≤15原子％，0原子％＜z≤8原子％，1原子％≤w≤12原子％，0原子％≤t≤8原子％，70原子％≤(100-x-y-z-w-t)≤79原子％。
此外，在所述组成式中，优选表示所述组成比的y、z、w、t满足17原子％≤(x+y+z+w+t)≤29.5原子％的关系。
在所述组成式中，更优选表示所述组成比的x、y、z、w、t满足1原子％≤x≤4原子％，4原子％≤y≤14原子％，0原子％＜z≤6原子％，2原子％≤w≤10原子％，2原子％≤t≤8原子％，72原子％≤(100-x-y-z-w-t)≤79原子％的关系。
此外，在所述组成式中，更优选表示所述组成比的x、y、z、w、t满足1原子％≤x≤3原子％，6原子％≤y≤11原子％，1原子％＜z≤4原子％，4原子％≤w≤9原子％，2原子％≤t≤7原子％，73原子％≤(100-x-y-z-w-t)≤79原子％的关系。
本发明的电波吸收体的制造方法的特征在于：把包含P、C、Si、B中的一种以上的元素和Fe的熔融合金急速冷却，形成包含球状粒子的Fe基非晶体合金粉末，把该Fe基非晶体软磁性合金粉末投入磨碎机中，通过以10分钟～16小时的范围粉碎混合，取得以扁平粒子为主的Fe基非晶体软磁性合金粉末，把所述Fe基非晶体软磁性合金粉末和由氟类热塑性合成橡胶构成的粘结材料混合、固化成形后，用573K以上773K以下的热处理温度进行热处理。
根据这种电波吸收体的制造方法，因为通过热处理缓和了固化成形时作用在电波吸收体上的变形，所以磁致伸缩的影响减变小，据此，复数导磁率的虚数部μ″提高，能制造电磁波抑制效果优异的电波吸收体。
此外，把Fe基非晶体软磁性合金和由氟类热塑性合成橡胶构成的粘结材料混合后，在以573K以上773K以下的温度固化成形的同时，进行热处理。
根据这种电波吸收体的制造方法，因为能在固化成形的同时进行处理出，所以能省略制造工序，减小磁致伸缩，提高复数导磁率的虚数部μ″，能得到电磁波抑制效果优异的电波吸收体。
须指出的是，熔融合金为了提高非晶体形成能和耐腐蚀性，分别可以添加Al和Ga的任意一种或两种的元素X、或选自Cr、Mo、V中的一种或两种以上的元素构成的元素R的金属元素。
根据这种电波吸收体的制造方法，把Fe基非晶体合金粉末投入磨碎机中，通过以所述条件粉碎混合，能取得以具有适当长宽比的扁平型粒子为主的Fe基非晶体软磁性合金粉末。
附图说明
图1是表示适用于制造本发明中使用的包含球状粒子的非晶体合金粉末时的高压气体喷雾装置(喷雾装置)的一个构造例的剖视模式图。
图2是表示组成为Fe77Al1P9.23C2.2B7.7Si2.87的Fe基非晶体软磁性合金粉末的X射线衍射结果的曲线图。
图3是组成为Fe77Al1P9.23C2.2B7.7Si2.87的Fe基非晶体软磁性合金粉末的DSC曲线的曲线图。
图4是表示磨碎机处理前的Fe基非晶体软磁性合金的SEM照片。
图5是进行磨碎机处理1小时后的Fe基非晶体软磁性合金的SEM照片。
图6是进行磨碎机处理2小时后的Fe基非晶体软磁性合金的SEM照片。
图7是进行磨碎机处理4小时后的Fe基非晶体软磁性合金的SEM照片。
图8是进行磨碎机处理8小时后的Fe基非晶体软磁性合金的SEM照片。
图9是表示实施例1的薄板状试样的虚数导磁率μ″的频率特性的曲线图。
图10是表示实施例4的有效导磁率μ′和虚数导磁率μ″的频率特性的曲线图。
图11是表示实施例5的有效导磁率μ′和虚数导磁率μ″的频率特性的曲线图。
符号的说明。
图中：1-高压水喷雾装置；2-熔融金属坩埚；3-水喷雾器；4-室；5-熔融合金；6-熔融金属喷嘴；7-导入流路；8-水喷射喷嘴；10-高压水；21、31、41-压粉磁心；g-高压水流；p-喷雾点；θ-水喷射角。
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的电波吸收体的实施例。
本发明的电波吸收体的一个形态是把以ΔTx＝Tx-Tg(其中，Tx是结晶开始温度，Tg是玻化温度。)式表示的过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金和树脂混合，固化成形为板状。这里使用的树脂能选择氟类热塑性合成橡胶、氟代聚烯烃树脂、全氟代烷氧基树脂、氟代乙烯丙烯共聚物、聚酰亚胺、环氧树脂，这些树脂中，过氧化物硫化型的氟类热塑性合成橡胶，从加工性方面来看，特别优选。此外，也可以使用硅酮树脂等耐热性优异的树脂。
这种过氧化物硫化型的氟类热塑性合成橡胶，是通过交联剂使氟类热塑性合成橡胶交联而成，能够使用压缩永久变形小、耐热性优异、比重为例如为1.9左右、延伸率例如为190％左右、孟纳粘度约76(ML1+10∶100℃)等特性的材料。
此外，刚才的电波吸收体中，除了Fe基非晶体软磁性合金和作为粘结材料的树脂，还可以添加由硬脂酸铝构成的润滑剂。
刚才的电波吸收体，由于Fe基非晶体软磁性合金粉末是与作为粘结材料的树脂一起固化成形，因此形成Fe基非晶体软磁性合金粉末分散在树脂内部的构造，进而成为构成Fe基非晶体软磁性合金粉末的各粒子被树脂绝缘的构造。
这样，非晶体软磁性合金粉末由树脂的粘结材料绝缘，所以电波吸收体自身的阻抗增高，据此，抑制了过电流的发生，能在宽广的范围中提高数百MHz～数GHz的频带中的复数导磁率的虚数部μ″(下面，表示为虚数导磁率μ″)，能提高高频区域中的电磁波抑制效果。
在刚才的电波吸收体中，在使用所述树脂作为粘结材料的电波吸收体中，1GHz中的虚数导磁率μ″是5以上，更优选是10以上。如果虚数导磁率μ″是5以上或10以上，则GHz的频带中的电磁波抑制效果提高，能有效地屏蔽高频电波，所以是优选的。此外，通过选择软质树脂，能取得软质的电波吸收体，能取得象板橡胶那样，用指尖的力就能变形的形态的电波吸收体。
此外，所述树脂除了提高电波吸收体的阻抗，还粘结非晶体软磁性合金粉末，保持电波吸收体的形状。氟类热塑性合成橡胶在电波吸收体内部也显示充分的弹性，例如即使使用显示1×10-6～50×10-6的磁致伸缩常数的非晶体软磁性合金粉末时，也能缓和变形，能缓和电波吸收体的内部应力，能提高虚数导磁率μ″。
须指出的是，如果在所述树脂中添加由硬酯酸铝构成的润滑剂，则密集地填充了非晶体软磁性合金粉末，电波吸收体的密度提高。据此，虚数导磁率μ″提高。
Fe基非晶体软磁性合金粉末主要包含扁平型粒子，该扁平型粒子是长宽比(长径/厚度)为1以上800以下的范围。具体而言，粒子的厚度为0.1～5μm(优选1～2μm)，并且长径为1～80μm(优选2～80μm)的范围。
Fe基非晶体软磁性合金粉末由于由长宽比比较高的扁平型粒子构成，所以与长宽比小的情况相比，电波吸收体自身的阻抗提高，抑制了过电流的发生，GHz频带中的虚数导磁率μ″进一步提高，该频带的电磁波抑制效果提高。
具体而言，如果扁平型粒子的长宽比为1以上，就抑制了过电流的发生，电波吸收体自身的阻抗增大，GHz频带的虚数导磁率μ″容易变为6以上，据此，电波吸收体的电磁波抑制效果提高。
如果扁平型粒子的长宽比为10以上，就进一步抑制了过电流的发生，电波吸收体自身的阻抗增大比例增加，GHz频带的虚数导磁率μ″容易变为10以上，据此，电波吸收体的电磁波抑制效果提高。
优选长宽比的上限是800以下。长宽比如果是800以下，则维持了扁平粒子和树脂的密接性，由于扁平粒子间的间隙减小，并且也能确保扁平粒子间的绝缘性，因此虚数导磁率μ″容易变为6以上，电磁波抑制效果提高。
更优选长宽比的上限是300以下。长宽比如果是300以下，则维持了扁平粒子和树脂的密接性，由于扁平粒子间的间隙减小，并且也能确保扁平粒子间的绝缘性，因此虚数导磁率μ″容易变为10以上，电磁波抑制效果进一步提高。
优选电波吸收体的密度是3.0g/cm3以上。如果密度是3.0g/cm3以上，则密集地填充了Fe基非晶体软磁性合金粉末，扁平粒子间的间隙减小，据此，GHz频带中的虚数导磁率μ″容易变为10以上，电磁波抑制效果提高。
电波吸收体的密度越高越好，但是如果变得过高，则扁平粒子填充过密，电波吸收体的阻抗下降，发生过电流，虚数导磁率μ″下降。因此，优选把电波吸收体的密度上限设定为6.5g/cm3以下。
优选电波吸收体中的Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率为30体积％以上、80体积％以下。Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率如果为30体积％以上，则磁性体的量充分，能有效发挥电磁波抑制效果。此外，如果含有率在80体积％以下，则合金粉末彼此接触，阻抗不会下降，能可靠地把虚数导磁率μ″维持在很高，能有效发挥电磁波抑制效果。
树脂的含有率是除去Fe基非晶体软磁性合金粉末的剩下部分。
当添加润滑剂时，优选在相对于电波吸收体为0.1重量％以上5重量％以下的范围中添加。
另外，可以用水玻璃覆盖所述扁平粒子。如果用水玻璃覆盖所述扁平粒子，则粒子彼此间的绝缘性进一步提高，电波吸收体的阻抗进一步提高，能进一步提高高频区域中的虚数导磁率μ″，能提高电磁波抑制效果。
本发明的Fe基非晶体软磁性合金以Fe为主成分，由至少包含p、C、B的非晶体相构成。另外，该合金是以ΔTx＝Tx-Tg(其中，Tx是结晶开始温度，Tg是玻化温度。)式表示的过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上的合金。
本发明的Fe基非晶体软磁性合金，在制作非晶体粉末的基础上，充分维持必要的非晶体形成能，并且与以往的Fe-Al-Ga-C-P-Si-B类合金相比，能提高磁特性，并且当采用水喷雾法作为急速冷却法时，能取得耐水喷雾法的耐腐蚀性。此外，即使不添加Ga，也能进行非晶体化，所以能降低成本，能同时实现高的饱和磁化和低的铁心损耗。
本发明的Fe基非晶体软磁性合金具有显示磁性的Fe、具有非晶体形成能的P、C、B等半金属元素，所以在以非晶体相为主相的同时，显示了优异的软磁特性。此外，除了P、C、B，还可以添加Si。
此外，可以添加M(Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Pt、Pd、Au中的一种或两种以上的元素)，提高耐腐蚀性。
该非晶体软磁性合金是显示25K以上的过冷液体的温度间隔ΔTx的金属玻璃合金，根据组成，具有ΔTx为30K以上、进而具有50K以上的显著温度间隔，此外，关于软磁性，在室温具有优异的特性。
本发明的Fe基非晶体软磁性合金比以往的Fe-Al-Ga-C-P-Si-B类合金含有更多强磁性元素的Fe，所以显示高饱和磁化。
此外，本发明的Fe基非晶体软磁性合金，由于整个组织是完全的非晶体相，所以当在适度的条件下进行热处理时，不析出结晶体相，能缓和内部应力，进一步提高软磁特性。
此外，通过水喷雾法而急速冷却取得的本发明的Fe基非晶体软磁性合金粉末能显示与用气体喷雾法制作的以往的非晶体软磁性合金粉末同等或更高的饱和磁化。
Fe基非晶体软磁性合金粉末的制造中使用的熔融合金(熔融状态的合金)，使用与Fe基非晶体软磁性合金相同组成或大致相同组成的材料。该熔融合金中，如上所述，包含具有P、C、B非晶体形成能的元素，并且ΔTx为25K以上。因此，当通过水喷雾法粉碎、冷却熔融合金(熔融状态的合金)时，能使冷却速度延缓到与气体喷雾法同等程度。即，即使让冷却速度延缓，也不会发生结晶，能容易形成非晶体相。此外，通过把冷却熔融合金时的冷却速度控制到在熔融合金上表面张力充分作用的程度，能取得近球状，即，表面系数小的非晶体软磁性合金粉末。因此，难以氧化、即使慢的冷却速度下也能形成非结晶的所述合金组成成为必要。
作为本发明的Fe基非晶体软磁性合金粉末的一个例子，以ΔTx＝Tx-Tg表示的过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上，能列举出用以下组成式表示的材料。
Fe100-x-y-z-w-tMxPyCzBwSit
其中，M是选自Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Pt、Pd、Au中的一种或两种以上的过渡元素，表示组成比的x、y、z、w、t为0.5原子％≤x≤8原子％，2原子％≤y≤15原子％，0原子％＜z≤8原子％，1原子％≤w≤12原子％，0原子％≤t≤8原子％，70原子％≤(100-x-y-z-w-t)≤79原子％。
此外，由所述组成式表示的Fe基非晶体软磁性合金的所述组成式中的表示组成比的y、z、w、t优选满足17原子％≤(x+y+z+w+t)≤29.5原子％的关系。
下面，说明本发明的Fe基非晶体软磁性合金的组成限定理由。首先，Fe是产生磁性的元素，是本发明的Fe基非晶体软磁性合金中必须的元素。如果提高Fe的组成比，就能提高Fe基非晶体软磁性合金的饱和磁化σs。
Fe的添加量优选为70原子％以上79原子％以下，更优选为72原子％以上79原子％以下，更优选为73原子％以上78原子％以下。当Fe的添加量低于70原子％，则饱和磁化σs下降到低于150×10-6Wb·m/kg，所以不理想。此外，如果Fe的添加量超过79原子％，则表示合金的非晶体形成能的程度的Tg/Tm变为低于0.57，非晶体形成能下降，所以不理想。须指出的是，Tm是合金的熔点。
此外，如果Fe的添加量是76原子％以上，则可以使合金的饱和磁化σs为170×10-6Wb·m/kg以上，若为77原子％以上，可以使合金的饱和磁化σs为180×10-6Wb·m/kg以上。
此外，Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf能在合金粉末的表面形成非动态氧化薄膜，能提高合金粉末的耐腐蚀性。在这些元素中，对耐腐蚀性的提高最具效果的是Cr。在水喷雾法中，当熔融合金直接接触水时，能防止在合金粉末的干燥过程中产生的锈的发生(目视水平)。此外，这些元素可以单独添加，也可以用两种以上的组合来复合添加。例如，可以以Mo、V与Mo、Cr和V、Cr以及Cr、Mo、V等的组合进行复合添加。这些元素中，Mo、V比Cr的耐腐蚀性稍差，但是为了提高非晶体形成能，根据需要选择这些元素。此外，选自Cr、Mo、W、V、Nb、Ta中的元素的添加量如果超过8原子％，则磁特性(饱和磁化)下降。
此外，作为所述组成式中的元素M而采用的元素中，玻璃形成能是Zr、Hf最高。由于Ti、Zr、Hf的氧化性强，所以如果超过8原子％添加这些元素，一旦在大气中溶解合金粉末原料，则在原料溶解中熔融金属氧化，此外磁特性(饱和磁化)下降。
此外，通过添加选自Pt、Pd、Au中的一种或两种以上的贵重金属也能取得提高合金的耐腐蚀性的效果，通过把这些贵重金属元素分散到合金粉末的表面，耐腐蚀性提高。此外，可以单独添加这些贵重金属元素，或与所述Cr等具有提高耐腐蚀性的效果的元素组合添加。所述贵重金属元素由于与Fe不相混合，所以如果超过8原子％添加，则玻璃形成能下降，此外磁特性(饱和磁化)也下降。为了使Fe基非晶体软磁性合金具有耐腐蚀性，所述M的添加量有必要为0.5原子％以上。
因此，组成式中的M是选自Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Pt、Pd、Au中的一种或两种以上的元素，特别优选使用选自Cr、Mo、W、V、Nb、Ta中的一种或两种以上。所述M的组成比x，优选为0.5原子％以上8原子％以下，优选为1原子％以上4原子％，更优选为1原子％以上3原子％。
C、P、B和Si是提高非晶体形成能的元素，通过在Fe和所述M中添加这些元素，成为多元系列，与只有Fe和所述M的2元系列情况相比，能稳定地形成非晶体相。特别是P与Fe在低温(约1050℃)具有共晶组成，所以整个组织的变为非晶体相，并且容易显现过冷液体的温度间隔ΔTx。此外，如果同时添加P和Si，则过冷液体的温度间隔ΔTx变得更大，非晶体形成能增大，能够将取得非晶体单相的组织时的制造条件缓和在比较简易的方向上。
当不添加Si时的P的组成比y优选为2原子％以上15原子％以下，更优选为4原子％以上14原子％以下，最优选为6原子％以上11原子％以下。当P的添加量低于2原子％时，无法取得非晶体软磁性合金，如果超过15％，则饱和磁化下降。如果P的组成比y是所述范围，则显现过冷液体的温度间隔ΔTx，合金的非晶体形成能提高。
此外，如果添加Si，则热稳定性提高，所以优选添加2原子％以上。此外，如果Si的添加量超过8原子％，则熔点上升。因此，Si的组成比t优选为0原子％以上8原子％以下，更优选为2原子％以上8原子％以下，更优选为2原子％以上7原子％以下。
此外，当B的添加量不足2原子％时，很难取得Fe基非晶体软磁性合金，如果超过12原子％，则熔点上升。因此，B的组成比w优选为1原予％以上12原子％以下，更优选为2原子％以上10原子％以下，最优选为4原子％以上9原子％以下。
此外，如果添加C，则热稳定性提高，所以优选添加1原子％以上。此外，如果C的添加量超过8原子％，则熔点上升。因此，C的组成比z优选为0原子％以上8原子％以下，更优选为0原子％以上6原子％以下，更优选为1原子％以上4原子％以下。
而且，这些半金属元素C、P、B和Si的合计组成比(y+z+w+t)为17原子％以上29.5原子％以下，更优选为18原子％以上26原子％以下，进一步优选为18原子％以上25原子％以下。如果半金属元素的合计组成比超过29.5原子％，则Fe的组成比相对下降，饱和磁化σs下降，所以是不理想的。如果半金属元素的合计组成比低于17原子％，则非晶体形成能下降，很难取得非晶体单相组织。
此外，当Fe的组成比为76原子％以上时，通过使半金属元素C、P、B和Si的合计组成比(y+z+w+t)设为18原子％以上24原子％以下，能使合金粉末的饱和磁化σs为170×10-6Wb·m/kg以上。
当Fe的组成比为77原子％以上时，通过使半金属元素C、P、B和Si的合计组成比(y+z+w+t)为18原子％以上23原子％以下，能使合金粉末的饱和磁化σs为180×10-6Wb·m/kg以上。
此外，在本发明的Fe基非晶体软磁性合金粉末中，所述组成中可以包含4原子％的Ge。
在所述任意的组成中，在本发明中，可以取得过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上，根据组成，能取得35K以上。
此外，除了用所述组成表示的元素外，还可以包含不可避免的杂质。
熔炼后，通过基于单辊或双辊急速冷却法，再通过液中纺丝法或溶液萃取法，或者通过气体喷雾法或水喷雾法，或通过注射模塑成形法，作为块状、带状、线状体、粉末等各种形状，制造了本发明的Fe基非晶体软磁性合金。
特别是相对于把以往众所周知的非晶体软磁性合金薄带粉碎而得的薄片状的粒子构成的粉末，在本发明中，通过所述气体喷雾法或水喷雾法，能得到由形状为近球状的粒子构成的合金粉末。
由水喷雾法取得的所述组成的Fe基非晶体软磁性合金，在室温下具有磁性，此外，通过热处理显示了良好的磁性。因此，作为具有优异的软磁特性的材料，成为对于各种应用有用的材料。须指出的是，如果附带说明制造方法，则根据合金的组成、用于制造的手段和制品的大小、形状等，决定适合的冷却速度，但是通常可以以1～104K/s为标准。而且，实际上，可以通过确认玻璃相(glassy phase)中是否析出作为结晶相的Fe3B、Fe2B、Fe3P来决定。
下面，说明通过水喷雾法制造本发明的Fe基非晶体软磁性合金的一个例子。水喷雾法是指在大气气氛中，把有与上述Fe基非晶体软磁性合金相同组成或大致同样组成构成的熔融合金与高压水一起在室内喷雾成雾状，把所述熔融合金粉碎、急速冷却，制造近球状的Fe基非晶体软磁性合金。
图1是表示适用于基于水喷雾法的合金粉末制造中的高压水喷雾装置的一个例子的剖面模式图。该高压水喷雾装置1以熔融金属坩埚2、水喷雾器3和室4为主体构成。该高压水喷雾装置1配置在大气气氛中。在熔融金属坩埚2的内部填充了熔融合金5。此外，在熔融金属坩埚2中设置有加热部件的线圈2a，加热熔融合金5，保持熔融状态。而且，在熔融金属坩埚2的底部设置有熔融金属喷嘴6，熔融合金5从熔融金属喷嘴6向室4的内部滴下。
水喷雾器3配置在熔融金属坩埚2的下方。在该水喷雾器3中设置有水导入流路7和该导入流路7的顶端部的水喷射喷嘴8。
通过未图示的液体加压泵(加压部件)加压的高压水10通过导入流路7导入到水喷射喷嘴8，从该喷嘴8向室4内部变为高压水流g，喷雾。在室4的内部形成为与高压水喷雾装置1的周围气氛相同的大气气氛。室4内部的压力保持在100kPa左右，此外温度保持在室温温度。
在制造包含近球状的粒子的Fe基非晶体软磁性合金粉末时，首先填充在熔融金属坩埚2中的熔融合金5从熔融金属喷嘴6向室4内滴下。同时，从水喷雾器3的水喷射喷嘴8喷射高压水10。喷射的高压水10成为高压水流g，到达所述滴下的熔融金属，在喷雾点p与熔融金属冲撞，使熔融金属雾化，同时进行急速冷却固化，形成由所述组成的非晶体相构成的近球状粉末。这些近球状粉末与水一起贮存在室4的底部。
这里，熔融合金的冷却速度为能在熔融合金上表面张力充分作用的程度。熔融合金的冷却速度根据合金的组成、成为目的的合金粉末的粒径等决定适当的冷却速度，但是可以使1～104K/s左右的范围作为标准。而且，实际上，也可以通过确认是否取得了接近近球状和在玻璃相(glassyphase)中是否析出作为结晶相的Fe3B、Fe2B、Fe3P等的相来决定。
接着，在大气气氛中把这些近球状粉末干燥后，把这些粉末分级，得到具有规定平均粒径的球状或近球状的非晶体软磁性合金粉末。
当通过水喷雾法制造近球状的Fe基非晶体软磁性合金粉末时，通过控制水的喷射压力、喷射流量、熔融合金流量等，控制熔融合金的冷却速度，此外，通过控制水喷射喷嘴裂缝宽度、水喷射喷嘴倾斜角度、水喷射角、熔融合金的温度或粘度、雾化点(雾化点距离)等，控制制造条件，能取得数μm～一百数十μm的粒径。
而且，把这样取得的非晶体合金粉末投入磨碎机中，通过以10分钟～16小时的范围粉碎混合，取得以扁平粒子为主的所述Fe基非晶体软磁性合金。
基于磨碎机的粉碎混合优选以10分钟～16小时的范围进行，更优选是4～8小时的范围。
如果粉碎混合时间不足10分钟，则因为扁平化不充分，所以存在无法使扁平型粒子的长宽比为1以上例如10以上的倾向，如果粉碎混合时间超过16小时，则扁平型粒子的长宽比超过800以上。
可以根据需要对取得的合金粉末进行热处理。通过进行热处理，缓和了合金内部应力，能进一步提高Fe基非晶体软磁性合金的软磁特性。热处理温度Ta优选在合金的居里温度Tc以上、玻化温度Tg以下的范围中。热处理温度Ta如果低于居里温度Tc，则无法取得基于热处理的软磁性特性的提高效果，所以不理想。此外，热处理温度Ta如果超过玻化温度Tg，则合金组织中容易析出结晶体相，软磁特性有可能下降，所以不理想。
此外，热处理时间优选是充分缓和合金的内部应力，并且没有结晶体相析出的范围，例如优选为30～300分钟的范围。
接着，在所述Fe基非晶体软磁性合金粉末中加入并且混合氟类热塑性合成橡胶，根据需要添加润滑剂，把该混合物在室温以上的温度、或323K以上573K以下的温度下固化成形，形成板状，再在573K以上773K以下的热处理温度进行热处理，取得本发明的电波吸收体。
须指出的是，在本发明的电波吸收体中，作为利用形态，优选形成板状，但是并不局限于把形状形成板状，当然也可以加工成网眼状、袋状等其他形状。
根据所述方法，通过热处理缓和了薄板状成形时外加在电波吸收体上的变形，所以磁致伸缩的影响减小，据此，复数导磁率的虚数部μ″提高，能取得电磁波抑制效果优异的电波吸收体，
须指出的是，使用氟类热塑性合成橡胶作为粘结材料进行固化成形时的温度优选是室温以上的温度、或323K以上573K以下的范围。当固化成形时的温度低于室温时，因为温度不充分，所以无法把所述混合物固化成形，所以不理想，如果温度超过623K，则固化成形时，氟类热塑性合成橡胶有可能渗出，所以不理想。此外，为了缩短工时，优选在室温附近的温度下进行固化成形，但是为了更可靠地固化成形，优选在323K以上的温度固化成形。
此外，使用氟类热塑性合成橡胶作为粘结材料进行固化成形时的热处理温度优选是573K以上773K以下的范围，更优选是623K以上723K以下的范围。更优选是金属玻璃合金的居里温度Tc以上结晶开始温度Tx以下。
当热处理温度低于573K时，温度不充分，所以无法缓和电波吸收体的内部应力，无法提高虚数导磁率μ″，所以不理想。此外，如果热处理温度超过773K，则Fe基非晶体软磁性合金有可能结晶，所以不理想。
此外，作为别的方法，在所述Fe基非晶体软磁性合金粉末中加入并混合氟类热塑性合成橡胶，根据需要添加润滑剂，通过在573K以上623K以下的温度固化成形的同时进行热处理，也能取得本发明的电波吸收体。
根据该方法，因为与成形为板状的同时进行热处理，所以能省略制造步骤，并且减小磁致伸缩，能提高导磁率虚数部μ″，能取得电磁波抑制效果优异的电波吸收体。
须指出的是，当除了氟类热塑性合成橡胶外还添加润滑剂时，优选固化成形和热处理的温度为573K以上623K以下的范围。如果温度低于573K时，温度不充分，所以无法把所述混合物固化成形，并且无法缓和电波吸收体的内部应力，无法提高虚数导磁率μ″，所以不理想。此外，如果超过623K，则氟类热塑性合成橡胶有可能渗出，并且金属合金玻璃有可能结晶，所以不理想。
作为这里使用的固化成形装置的一个例子，可以使用放电等离子体烧结装置。放电等离子体烧结装置是在上冲头和下冲头之间夹着被成形物的状态下，一边使脉冲电流流过，一边能固化成形被成形物，进而通过继续使脉冲电流流过，能同时进行热处理的装置，也是在固化成形此种Fe基非晶体软磁性合金粉末时，本发明者们使用的装置，该构造的一个例子记载在特愿2000-79062号等的说明书中。
该放电等离子体烧结装置是下述装置，即，配置在能抽真空或能调整为惰性气体气氛的室内，在真空或惰性气体气氛中，一边外加脉冲电流，一边用上下冲头把被成形物快速升温到目的温度，在维持非晶体的状态下，直接能够加压成形。
通过以上的加压成形处理，能取得把包含扁平型粒子的Fe基非晶体软磁性合金粉末和树脂固化成形而成的电波吸收体。此外，能取得除了这些还添加润滑材料而形成的电波吸收体。
作为其他方法，把Fe基非晶体软磁性合金粉末、树脂、溶剂混合，形成膏，在基体材料上涂敷该膏后进行干燥，形成薄膜，再对该薄膜涂敷膏，通过重复干燥，形成多层体，对该多层体进行热压，成为薄板，再通过热处理取得本发明的电波吸收体。
须指出的是，当使用氟类热塑性合成橡胶作为树脂时，优选使用四氢呋喃作为溶剂，为了把氟类热塑性合成橡胶交联，优选在膏中添加交联剂。此外，在进行了热压后，再进行用于交联的热压。
用于交联的热压优选在388K以上488K以下的温度、30MPa以上50MPa以下程度的压力下进行，用于交联的热压优选在403K以上503K以下的温度、30MPa以上50MPa以下程度的压力下进行。
也可以与薄板化同时进行交联化的热压。
根据本方法，通过调整薄膜的层叠次数，能控制电波吸收体的厚度，能取得更薄的电波吸收体。此外，由于能在便携式电子机器的框体上直接涂敷膏，形成电波吸收体，所以对于复杂形状的便携式电子机器也能无间隙地形成电波吸收体，能防止不需要电波的泄漏。
在按如上所述而取得的电波吸收体中，作为树脂使用氟类热塑性合成橡胶的电波吸收体，在1GHz中的虚数导磁率μ″为5以上，成为电磁波抑制效果优异的电波吸收体。
[实施例]
实施例1：Fe基非晶体软磁性合金粉末的特性
以Fe和Al、Fe-C合金、Fe-P合金、B和Si为原料，分别称量规定量，使成为Fe77Al1P9.23C2.2B7.7Si2.87的组成比，在减压Ar气氛中，用高频感应加热装置把这些原料溶解，制作坯料。
把该坯料放入气体喷雾用高压气体喷雾装置的熔融金属坩埚内，加热到1300℃，溶解，从熔融金属坩埚的熔融金属喷嘴滴下，并且从气体喷雾器以100kg/cm2的压力喷射氩气流，使熔融合金为雾状，通过在室内使雾状熔融合金急速冷却的气体喷雾法，取得粒径62μm以下的球状粒子构成的Fe基非晶体合金粉末(雾化粉)。这里取得的Fe基非晶体合金粉末为粒径62μm以下的粉末，实质上的平均粒径为30μm左右，也包含比30μm更细的球状粒子。此外，之所以使粒径为62μm以下，是因为通过为62μm以下，能更容易取得非晶体的合金粉末。
接着，把包含所述球状粒子的Fe基非晶体合金粉末投入磨碎机中，在处理时间1、2、4、8小时的条件下粉碎混合，使球状粒子为扁平型粒子，取得了本发明的Fe基非晶体软磁性合金粉末。
关于基于磨碎机的处理时间为4小时的Fe基非晶体软磁性合金粉末，通过X射线衍射法进行结晶构造的解析，并且通过DSC测定(Differential scanning caloriemetry：示差扫描热量测定)，测定了玻化温度Tg和结晶开始温度Tx。图2表示了刚才的X射线衍射的结果，图3表示DSC测定的结果。
通过扫描型电子显微镜(SEM)观察了合金粉末中包含的粒子的外观。在图4～图8中表示SEM相片。图4是磨碎机处理前，图5是处理时间为1小时，图6是处理时间为2小时，图7是处理时间为4小时，图8是处理时间为8小时。
如图2所示，可知取得的Fe基非晶体软磁性合金粉末的X射线衍射图案是宽的图案，整个组织以非晶体相为主体。
此外，如图2所示，从Fe基非晶体软磁性合金粉末的DSC曲线可知，玻化温度Tg为774K(501℃)，结晶开始温度Tx为811K(538℃)，如果从该结果求解ΔTx，则为37K。
从以上结果可知，取得的Fe基非晶体软磁性合金粉末具有25K以上的ΔTx，并且是以非晶体相为主体的金属玻璃合金。
接着，如图4所示，磨碎机处理前的非晶体合金粉末(喷雾粉)中包含的粒子是长宽比大致为1的球状粒子。如果用磨碎机把该球状粒子粉碎混合，则如图5～图8所示，伴随着处理时间的经过，扁平化，长宽比提高。即图8所示的处理时间8小时后的扁平型粒子，成为厚度1～2μm、粒子的最长径20～50μm、长宽比10～50范围的的扁平型粒子。
实施例2：电波吸收体的特性(之一)
实施例1～3的板状试样
与实施例1的情况相同，通过气体喷雾法，取得了由Fe77Al1P9.23C2.2B7.7Si2.87的球状粒子构成的非晶体合金粉末(雾化粉)。
接着，把包含所述球状粒子的非晶体合金粉末投入磨碎机中，在处理时间4小时的条件下，使球状粒子为针状粒子或扁平型粒子，取得了Fe基非晶体软磁性合金粉末。把取得的Fe基非晶体软磁性合金粉末筛选为由粒径105μm以下并且长宽比50的针状粒子构成的粉末、粒径63m以下并且长宽比30的粉末、粒径63～105μm并且长宽比20～50的粉末。
接着，把筛选后的各合金粉末68.9重量份、氟类热塑性合成橡胶(大金工业公司制造的大LG-912(注册商标))25.0重量份、四氢呋喃4.7重量份、交联剂(DCP1.0重量份，异氰尿酸三烯丙酯1.0重量份)混合，形成膏。
接着，使用涂药器，把各膏涂敷在PET薄膜上，通过干燥形成了薄膜。对于取得的薄膜，通过反复进行膏的涂敷、干燥，取得了多层体。
对于取得的多层体，在433K、压力39MPa的条件下进行热压、薄板化，以453K、压力39MPa的条件进行热压、交联。这样，就制造了实施例1～3的热处理前的薄板状试样。
关于热处理前的薄板状试样，投入红外线显像(image)炉中，在氮气流气氛中，以40K/分钟的比例升温，在673K进行30分钟的热处理，制造了实施例1～3的热处理后的薄板状试样。
实施例4的薄板状试样
以Fe和Cr、Fe-C合金、Fe-P合金、B和Si为原料，分别称量规定量，使成为Fe74.43Cr1.96P9.04C2.16B7.54Si4.87的组成比，在减压Ar气氛中，用高频感应加热装置把这些原料溶解，制作坯料。
把该坯料放入图1所示的水气喷雾用高压气体喷雾装置的熔融金属坩埚内，加热到1300℃，溶解，从熔融金属坩埚的熔融金属喷嘴滴下，并且从图1所示的水气喷雾器以喷射高压水，使熔融合金为雾状，通过在室内使雾状熔融合金急速冷却的水喷雾法，取得粒径62μm以下的球状粒子构成的Fe基非晶体合金粉末(雾化粉)。这里取得的Fe基非晶体合金粉末为粒径62μm以下的粉末，实质上的平均粒径为12μm左右，也包含比12μm更细的球状粒子。此外，之所以使粒径为62μm以下，是因为通过为62μm以下，能更容易取得非晶体的合金粉末。
接着，把在包含所述球状粒子的Fe基非晶体合金粉末中添加了硬酯酸铝的材料投入磨碎机中，在处理时间12小时的条件下粉碎混合，通过使球状粒子为扁平型粒子，取得了本发明的Fe基非晶体软磁性合金粉末。
接着在取得的合金粉末中混合硅酮树脂(GE东芝硅酮公司制造的XE-B8951)，使成为膏。
接着，使用涂药器，把取得的膏涂敷在PET薄膜上，通过干燥形成了薄膜。对于取得的薄膜，通过反复进行膏的涂敷、干燥，取得了薄板。
对于取得的薄板在423K、压力39MPa的条件下进行热压，进行了薄板化。这样，制造了实施例4的薄板状试样。
实施例5的薄板状试样
除了硅酮树脂为DOREYCORNING SLICONE公司制造的SE9140以外，与实施例4同样制造了实施例5的板状试样。
比较例1和2的板状试样
与实施例1的情况相同，通过气体喷雾法，取得了组成为Fe77Al1P9.23C2.2B7.7Si2.87的球状粒子构成的非晶体合金粉末(雾化粉)。
接着，把包含所述球状粒子的非晶体合金粉末投入磨碎机中，在处理时间4小时的条件下粉碎混合，使球状粒子为针状粒子或扁平型粒子，取得了Fe基非晶体软磁性合金粉末。把取得的Fe基非晶体软磁性合金粉末筛选为粒径63μm以下并且长宽比30的粉末、粒径63～105μm并且长宽比200～50的粉末。
接着，在筛选后的各合金粉末中以40体积％的比例混合聚氯乙烯，在100℃热压成形，用冷压进行固定，取得了比较例1和2的板状试样。须指出的是，在所述聚氯乙烯中以20％的比例包含有可塑剂的氯化石蜡。
关于实施例1～3和比较例1，分别求出Fe基非晶体软磁性合金粉末的粒径和长宽比、板状试样的密度、1GHz的虚数导磁率μ″。表1表示了结果。此外，关于实施例1的电波吸收体，图9表示了测定频率和虚数导磁率μ″的关系。
须指出的是，虚数导磁率μ″的测定是从板状试样切出试验片，用阻抗法(使用材料分析仪)，在1MHz～1.8GHz的频带中进行了测定。
关于实施例4和5，求出薄板密度、薄板厚度、Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率、硬酯酸铝的含有率和1GHz的有效导磁率μ′和虚数导磁率μ″。表2表示了结果。此外，关于实施例4和5的电波吸收体，图10和图11表示了测定频率和有效导磁率μ′以及虚数导磁率μ″的关系。
[表1]
[表2]
如表1所示，关于实施例1～3的板状试样，在热处理前后，虚数导磁率μ″增加。在实施例1中，通过热处理，虚数导磁率μ″增加27％，在实施例2和实施例3中，分别增加30％。这样，通过在薄板化后进行热处理，能把虚数导磁率μ″提高20～30％左右，能取得优异的电波吸收体。
而在比较例1和2中，虚数导磁率μ″显示了与实施例2和3的虚数导磁率μ″几乎相同的值。可是，因为作为粘结材料而使用的聚氯乙烯在120℃左右燃烧了，所以比较例1和2的板状试样的热处理是不可能的，无法进一步提高虚数导磁率μ″。
须指出的是，如表2、图10和图11所示，关于实施例4和5，虚数导磁率μ″是14.6，取得了与表1的实施例2或3的有热处理的试样几乎同程度的虚数导磁率μ″。这被认为是使用的硅酮树脂具有弹性，所以具有硬化应力小的特性，由于该特性，残留在Fe基非晶体软磁性合金粉末中的内部应力减小。即，残留在合金粉末中的内部应力减小，消除了磁致伸缩的影响，Fe基非晶体软磁性合金粉末的软磁性特性提高，虚数导磁率μ″提高。
实验例3：电波吸收体的特性(之二)
与实验例4的情况相同，通过水喷雾法，取得了Fe-Cr-P-C-B(-Si)类的非晶体合金粉末(雾化粉)。
接着，把在包含所述球状粒子的非晶体合金粉末中添加了硬酯酸铝的材料投入磨碎机中，在处理时间12小时的条件下粉碎混合，使球状粒子为针状粒子或扁平型粒子，取得了Fe基非晶体软磁性合金粉末。
接着，在各合金粉末中混合硅树脂(DOREY CORNING SLICONE公司制造的SE9140)，使成为膏。
接着，使用涂药器，把各膏涂敷在PET薄膜上，通过干燥形成了薄膜。对于取得的薄膜，通过反复进行膏的涂敷、干燥，取得了薄板。
对于取得的薄板在423K、压力39MPa的条件下进行热压，进行了薄板化。这样，制造了板状试样。
把板状试样投入红外线显影炉中，在氮气流气氛中，以40K/分钟的比例升温，在673K进行30分钟的热处理，制造了实施例6～13的热处理后的电波吸收体。
关于实施例6～13，求出磨碎机处理后的粉末粒子的形状尺寸、薄板中的Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率(体积％)、板密度、板厚度和1GHz的有效导磁率μ′和虚数导磁率μ″。表3表示了结果。
如表3所示，关于实施例6～13，有效导磁率μ′变为14.2～17.1的范围，此外，虚数导磁率μ″变为14.2～14.9的范围，都显示了优异的软磁特性，具有优异的电磁波抑制效果。这被认为是因为使用具有弹性的硅酮树脂作为树脂，并且进行了充分的热处理的缘故。
[表3]
如上所述，根据本发明的电波吸收体，具备温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金，因为所述合金为导磁率高的材料，所以发挥了电波吸收能力。
此外，Fe基非晶体软磁性合金粉末由树脂绝缘，提高了电波吸收体自身的阻抗，据此，抑制了过电流的发生，能在宽广的范围中提高数百MHz～数GHz的频带中的复数导磁率的虚数部μ″，能提高高频区域中的电磁波抑制效果。
树脂为氟类热塑性合成橡胶、氟代聚烯烃树脂、全氟代烷氧基树脂、氟代乙烯丙烯共聚物中的任意一种构成时，能取得软质的电波吸收体。
此外，当树脂为硅酮树脂时，也能取得优异的虚数导磁率。
表1
合金粒径 软磁性合金的含有率 热处理 密度(g/cm3)  虚数导磁率μ″
实施例1 105μm以下 40体积％ 无 3.0  4.48
有 3.0  5.68
实施例2 105μm以下 40体积％ 无 3.2  10.76
有 3.2  13.99
实施例3 63～105μm以下 40体积％ 无 3.0  11.61
有 3.0  15.09
比较例1 105μm以下 40体积％ 无 3.3  10.76
比较例2 63～105μm以下 40体积％ 无 3.2  11.61
表2
合金的含有率(体积％) 硬脂酸铝含有率(质量％) 板密度(g/cm3) 板厚度(mm) μ′(1GHz) μ″(1GHz)
实施例4 45 5 3.205 0.091 17.2 14.6
实施例5 45 5 3.055 0.194 14.7 14.6
表3
合金组成                磨碎后的形状长宽比  合金粉末含有率(体积％) 板密度(g/cm3)  板厚度(mm) μ′(1GHz) μ″(1GHz)
   厚度    最长径    长度比
实施例6 Fe75Cr2P13C5B5 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 2.9  0.15   14.9  14.2
实施例7 Fe73.4Cr1.96P12.74C4.9B7 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 3.0  0.16   15.1  14.7
实施例8 Fe75.21Cr1.98P9.14C2.18B7.62Si3.87 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 2.9  0.15   15.5  14.4
实施例9  Fe73.84Cr2.5P9.04C2.16B7.54Si4.87 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 2.9  0.15   15.7  14.5
实施例10  Fe72.39Cr4P9.04C2.16B7.54Si4.87 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 2.8  0.16   14.2  13.9
实施例11  Fe74.43Mo1.96P9.04C2.16B7.54Si4.87 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 2.9  0.15   14.8  14.2
实施例12  Fe76.19V1P9.14C2.18B7.62Si3.87 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 3.0  0.17   17.1  14.7
实施例13  Fe74.99Cr1.4P8.04C2.16B7.54Si4.87 0.1～1μm 10～50μm 20～100  45％ 2.9  0.16   15.3  14.9

Claims (20)

1.一种电波吸收体，其特征在于：
把以ΔTx＝Tx-Tg式表示的过冷液体的温度间隔ΔTx为25K以上的Fe基非晶体软磁性合金和树脂混合、固化成形，其中在固化成形的同时或之后进行温度在573K以上773K以下的热处理，所述树脂是氟类热塑性合成橡胶、氟代聚烯烃树脂、全氟代烷氧基树脂、氟代乙烯丙烯共聚物中的任意一种，其中，Tx是结晶开始温度，Tg是玻化温度。
2.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
所述树脂是过氧化物硫化型的氟类热塑性合成橡胶。
3.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金包含Fe、过渡金属和B。
4.根据权利要求3所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金包含P、C、Si中的至少一种以上的半金属元素。
5.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金的含量为40～55体积％。
6.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金中包含的过渡金属是选自Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Pt、Pd、Au中的一种或两种以上的元素。
7.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
以粉末状态包含所述Fe基非晶体软磁性合金，所述粉末的平均粒径是1～80μm，厚度是0.1～5μm。
8.根据权利要求7所述的电波吸收体，其特征在于：
所述粉末的长宽比为1以上，800以下。
9.根据权利要求7所述的电波吸收体，其特征在于：
所述粉末的长宽比为5以上，300以下的范围。
10.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
1GHz中的复数导磁率的虚数部μ”为5以上。
11.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
1GHz中的复数导磁率的虚数部μ”为10以上。
12.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
密度为3.0g/cm3以上，所述Fe基非晶体软磁性合金粉末的含有率为30体积％以上，80体积％以下。
13.根据权利要求7所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金的粉末粒子是由水玻璃覆盖的。
14.根据权利要求1所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金包含P、C、Si、B中的一种以上的元素和Fe，由以非晶体相为主相的组织构成。
15.根据权利要求14所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金粉末和所述粘结材料混合、固化成形后，在所述非晶体软磁性合金的居里点温度Tc以上、结晶开始温度Tx以下的范围中进行热处理。
16.根据权利要求14所述的电波吸收体，其特征在于：
所述Fe基非晶体软磁性合金由以下的组成式表示：
Fe100-x-y-z-w-tMxPyCzBwSit
其中，M是选自Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Pt、Pd、Au中的一种或两种以上的元素，表示组成比的x、y、z、w、t为0.5原子％≤x≤8原子％、2原子％≤y≤15原子％、0原子％＜z≤8原子％、1原子％≤w≤12原子％、0原子％≤t≤8原子％、70原子％≤(100-x-y-z-w-t)≤79原子％。
17.根据权利要求16所述的电波吸收体，其特征在于：
表示所述组成比的y、z、w、t满足17原子％≤(x+y+z+w+t)≤29.5原子％的关系。
18.根据权利要求16所述的电波吸收体，其特征在于：
表示所述组成比的x、y、z、w、t满足1原子％≤x≤4原子％、4原子％≤y≤14原子％、0原子％＜z≤6原子％、2原子％≤w≤10原子％、2原子％≤t≤8原子％、72原子％≤(100-x-y-z-w-t)≤79原子％的关系。
19.根据权利要求16所述的电波吸收体，其特征在于：
表示所述组成比的x、y、z、w、t满足1原子％≤x≤3原子％、6原子％≤y≤11原子％、1原子％＜z≤4原子％、4原子％≤w≤9原子％、2原子％≤t≤7原子％、73原子％≤(100-x-y-z-w-t)≤79原子％的关系。
20.一种电波吸收体的制造方法，其特征在于：
把包含P、C、Si、B中的一种以上的元素和Fe的熔融合金急速冷却，形成包含球状粒子的Fe基非晶体合金粉末，把该Fe基非晶体软磁性合金粉末投入磨碎机中，通过以10分钟～16小时的范围粉碎混合，取得以扁平粒子为主的Fe基非晶体软磁性合金粉末，然后把所述Fe基非晶体软磁性合金粉末和由氟类热塑性合成橡胶构成的粘结材料混合、固化成形后，用573K以上773K以下的热处理温度进行热处理。
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