CN1282179C - 光信息记录介质的制造方法及其制造装置 - Google Patents
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Abstract
一个主要面上具有信号记录层,在该信号记录层上形成放射线固化性树脂光透过层的基板来组成的光信息记录介质制造方法中,在形成光透过层时,在基板的上面,点滴放射线固化性树脂,利用旋转涂布法,一边以所定的涂布转数旋转基板一边在基板全体上涂布放射线固化性树脂,涂布之后,加速基板的转数,在其加速中照射放射线而固化上述放射线固化性树脂。
Description
技术领域
本发明涉及光信息记录介质的制造方法,特别涉及具有非常均匀的光透过层的光信息记录介质的制造方法及其制造装置。
背景技术
近几年在记录介质领域里进行种种光信息记录介质的研究。这些光信息记录介质是高密度化成为可能,并且,可以进行非接触性记录·再生,作为低价实现它的方式,正在实现广泛用途上的应用。现在的光盘中采用:在厚度1.2mm的透明树脂基板上设信息层,利用外套保护其的结构,或是在厚度0.6mm的透明树脂基板的一边或两面上设信息层,粘合其两张的结构。
近几年,作为提高光盘记录密度的方法,研究:增大物镜的数值孔径(NA)的方法或缩短所使用激光波长的方法。此时,记录·再生一侧的基材(激光射入一侧的基板)的厚度薄时,激光点所受的像差影响小,可以增大盘的倾斜角度(倾斜)容许值。从此,有了记录·再生一侧的基材的厚度为0.1mm左右、NA为0.85左右、激光波长为400nm的提案。但此时,由于记录·再生光的焦点或球面像差的影响,最好是记录·再生一侧的基材的厚度偏差抑制在5%以内。
作为可以使厚度偏差这样小的方法,可以考虑:利用放射线固化性树脂来粘合几十微米的厚度均匀的板状基板的方法。然而,使用这样的板状基板时,成本变为非常高,因此,最好是利用旋转涂布法,只是用放射线固化性树脂来制作记录·再生一侧的基材为好。
利用旋转涂布法来制作记录·再生一侧的基材(光透过层)时,从内周(内侧周长)到外周(外侧周长)均匀制作厚度是困难的。特别是存在内周一侧变薄外周端特别变厚的倾向。另外,如果为了使外周端附近厚度均匀,旋转基板的状态固化放射线固化性树脂,则在外周端部产生毛刺,成为机械特性和外观上的问题。
发明内容
本发明提供一种应该解决上述问题的、形成均匀渗透层成为可能的光信息记录介质的制造方法。另外,在基板的外周端部不产生毛刺的光信息记录介质制造方法。
本发明的第一实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成放射线固化性树脂光透过层的基板来组成的光信息记录介质制造方法。根据其制造方法,形成光透过层时,将放射线固化性树脂点滴在基板上,利用旋转涂布法,一边以所定的涂布转数旋转基板一边把上述放射线固化性树脂涂布在基板全体上。涂布之后,加速基板的转数,在加速中照射放射线,固化上述放射线固化性树脂。
本发明的第二实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成放射线固化性树脂光透过层的基板来组成的光信息记录介质制造方法。根据其制造方法,形成光透过层时,放射线固化性树脂点滴在基板上,利用旋转涂布法,一边以所定的涂布转数旋转基板一边把上述放射线固化性树脂涂布在基板全体上。涂布之后,基板的转数加速到大于所定涂布转数的所定的转数,基板的转数达到所定的转数之后,所定转数保持所定的时间。基板的转数达到所定的转数之后,一边以所定的转数旋转基板一边照射放射线而固化放射线固化性树脂。
本发明的第三实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成放射线固化性树脂光透过层的基板来组成的光信息记录介质制造方法。根据其制造方法,形成光透过层时,在基板低于所定速度的慢速旋转中开始点滴放射线固化性树脂,使基板高于其慢速的旋转之后,开始放射线固化性树脂的基板上的涂布。其后,停止放射线固化性树脂的点滴之后,停止放射线固化性树脂的涂布。
本发明的第四实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成放射线固化性树脂光透过层的基板来组成的光信息记录介质制造方法。根据其制造方法,形成光透过层时,信号记录层形成区域的内周一侧区域的区域中,在约同一半径位置的多处,点滴上述放射线固化性树脂,延伸其点滴的放射线固化性树脂而涂布在基板上。
本发明的第五实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成放射线固化性树脂光透过层的基板来组成的光信息记录介质制造方法。根据其制造方法,形成光透过层时,信号记录层形成区域的内周一侧区域的区域中,约在同一半径位置的环状点滴上述放射线固化性树脂,延伸点滴的放射线固化性树脂而涂布在基板上。
本发明的第六实施方式中,提供一种中心孔和在一个主要面上具有信号记录层的基板来组成,并在信号记录层的上面,具有放射线固化性树脂光透过层的光信息记录介质的制造方法。根据其制造方法,将放射线固化性树脂点滴在基板上,延伸其点滴的放射线固化性树脂涂布在基板上而形成光透过层。此时,点滴放射线固化性树脂期间,在接触于基板部分设有密封-为了防止放射线固化性树脂泄露进入的密封-的部件来堵住中心孔。
本发明的第七实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成放射线固化性树脂光透过层的基板来组成的光信息记录介质的制造方法。根据其制造方法,旋转基板的状态照射放射线而固化放射线固化性树脂,在照射放射线时,使基板的端面部分的气氛成为过氧状态。
本发明的第八实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成放由放射线固化性树脂而成的光透过层的基板来组成的光信息记录介质的制造方法。根据其制造方法,旋转基板的状态照射放射线而固化放射线固化性树脂。然后,固化放射线固化性树脂之后,除去基板外周端面部分的毛刺。
本发明的第九实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成由放射线固化性树脂而成的光透过层的基板来组成的光信息记录介质的制造方法。根据其制造方法,利用旋转涂布法在信号记录层上涂布放射线固化性树脂,一边旋转基板一边照射放射线来固化放射线固化性树脂而形成光透过层。此时,把所定的部件布置在近似相切于主要面的外周端状态之后,旋转基板。
本发明的第十实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面形成由放射线固化性树脂而成的光透过层的基板来组成的光信息记录介质的制造方法。根据其制造方法,利用旋转涂布法在信号记录层上涂布放射线固化性树脂,一边旋转基板一边照射放射线来固化放射线固化性树脂而形成光透过层。此时,主要面的外周端的至少一处上,一边高压喷射来吹气体一边旋转基板。
本发明的第十一实施方式中,提供一种在一个主要面上具有信号记录层,在信号记录层的上面,形成由放射线固化性树脂而成的光透过层的基板来组成的光信息记录介质的制造装置。其制造装置,包括点滴放射线固化性树脂的机构、为了涂布或延伸放射线固化性树脂而旋转基板的机构、为了形成光透过层,在基板的旋转中照射放射线的机构和抑制产生基板的外周端部毛刺的机构。
附图说明
图1是为了说明本发明光信息记录介质制造方法的图,特别是说明基板旋转加速中进行树脂固化工序的时间图。
图2是为了实施本发明光信息记录介质制造方法的制造装置构成说明图。
图3A~3C是说明本发明光信息记录介质制造方法的图。
图4A、4B是本发明光信息记录介质制造方法中的表示各个工序定时的时间图。
图5是说明往下方拉帽的机构的一例(旋转工作台的中心设置吸引孔的例子)的图。
图6A~6C是说明往下方拉帽的机构的其他例子(利用磁铁的例子)的图。
图7是说明照射放射线的方法来固化放射线固化性树脂的工序图。
图8A~8C是表示光信息记录介质上形成不均匀光透过层的图。
图9是旋转加速终了后,固化放射线固化性树脂时的照射放射线的定时说明图。
图10A、10B是说明光信息记录介质基板的外周端部产生的毛刺的图。
图10C是说明利用激光来除去毛刺方法的图。
图10D是说明利用铣刀来除去毛刺方法的图。
图11A是在光透过层上实施硬镀层的光信息记录介质的图。
图11B是形成光透过层后,除去帽的光信息记录介质的形状图。
图12是表示本发明的制造方法来制造的光信息记录介质光透过层膜厚的随半径变化的图。
图13A是根据本发明的,把放射线固化性树脂点滴在基板上的喷嘴一例的俯视图。
图13B是根据本发明的,把放射线固化性树脂点滴在基板上的喷嘴一例的剖面图(A-A’断面)。
图13C是根据本发明的,把放射线固化性树脂点滴在基板上的喷嘴一例的轴侧图。
图14A是根据本发明的,把放射线固化性树脂点滴在基板上的喷嘴其他例的上表面俯视图。
图14B是是本发明的,把放射线固化性树脂点滴在基板上的喷嘴其他例的剖面图(A-A’断面)。
图14C是本发明的,把放射线固化性树脂点滴在基板上的喷嘴其他例的轴侧图。
图15是在不同的场所进行树脂的点滴、涂布工序和树脂的固化工序的光信息记录介质制造方法的时间图。
图16是为了实施不同的场所进行树脂的点滴、涂布工序和树脂的固化工序的光信息记录介质制造方法的装置构成图。
图17是为了移动光信息记录介质而用于夹住其光信息记录介质的机构的说明图。
图18是本发明的制造方法中,为了抑制产生基板外周端部毛刺的构成说明图。
图19A~19C是说明可以抑制产生毛刺的、本发明光信息记录介质制造方法的图。
图20A~20C是在基板外周端部产生的毛刺的说明图。
图21A、21B是表示外周端部产生毛刺的除去部件(毛刺除去部件)的例子的形状图。
图21C是从基板的外周端部方向向基板的中心看毛刺除去部件时,毛刺除去部件形状图。
图22A是具有圆筒形状的毛刺除去部件俯视图。
图22B是邻接基板布置的、具有四边形形状的毛刺除去部件的剖面图。
图22C是邻接基板布置的、具有四边形形状的毛刺除去部件的俯视图。
图22D是邻接基板布置的、具有圆弧形状的毛刺除去部件的剖面图。
图23A是说明在毛刺除去部件上布置遮蔽板之后,进行树脂固化情形的图。
图23B是表示遮蔽板的图。
图24A是表示在光透过层上设置保护层的信息记录介质制造工序图。
图24B是表示光透过层上设置保护层的信息记录介质的、拆卸帽之后的形状图。
图24C是表示具有多个信号记录层的光信息记录介质的图。
图25A是表示邻接基板布置的、细绳形状的毛刺除去部件的图。
图25B是表示细绳形状的毛刺除去部件构成圆环状,并邻接基板布置的情况图。
图26A是表示从一个滚筒排出另一个滚筒卷绕的、细绳形状的、毛刺除去部件的图。
图26B是相对于基板主要面水平方向设置的细绳形状(或带状)的毛刺除去部件图。
图27是表示作为除去毛刺机构的空气刀的图。
图28A、28B是说明邻接基板布置的、圆盘状毛刺除去部件的图。
图28C、28D是说明圆盘状毛刺除去部件和邻接它的树脂除去装置的图。
图29是表示在不同的场所进行树脂点滴、涂布工序和树脂的固化工序的光信息记录介质制造方法,抑制产生障蔽可能方法的实施装置的构成图。
图30A~30C是表示为了改善光信息记录介质的非对称性的、光信息记录介质的构成图。
本发明最佳实施方式
下面,结合图详细说明本发明光信息记录介质的制造方法实施例。
实施例1
图1是说明本发明的光信息记录介质制造方法实施例的放射线照射的定时的图。如图1所示,本实施例中,利用旋转涂布法在基板上形成树脂光透过层时,由于基板上的放射线固化性树脂的点滴、旋转,延伸(涂布)放射性固化,然后,照射放射线来固化放射性固化树脂。此时,在照射放射线之前,加速基板的旋转,在其加速中照射放射线而固化放射性固化树脂。由此,形成均匀的光透过层成为可能。对于这样的光信息记录介质的制造方法,下面进行详细的说明。
图2中,表示实施本发明光信息记录介质制造方法的制造装置构成。制造装置包括:装载光信息记录介质的基板101并以所定的转数旋转的旋转工作台106、旋转旋转工作台的电动机131、控制电动机转数的控制电路132、在基板100上点滴形成光透过层的放射性固化树脂的喷嘴113、为了固化形成光透过层的放射性固化树脂的放射线照射灯135。下面说明:利用这样构成的制造装置来制造光信息记录介质的制造方法。
如图3A所示,将具有信号记录层102的厚度为1.1mm、直径为120mm、中心孔105直径为15mm的基板101,如图3B所示安装在旋转工作台106,利用帽107来堵住中心孔105。帽107是金属制造的,与基板101接触的部分有由特氟隆材料而成的密封件105。
然后,停止基板101的状态或小于120rpm(转/分)的低速旋转状态,在帽上的大约中心,由喷嘴113开始点滴放射线固化性树脂104。放射线固化性树脂的室温的粘度为约500mPa·s、点滴速度约为1Cm3/s。放射线固化性树脂的粘度和点滴速度最好是根据所形成光透过层的厚度而变化。另外,光透过层在NA为0.85、利用波长为405nm的激光来记录、再生光盘时,对约100μm的厚度形成±2%的厚度偏差。最好是控制在±1%以内的厚度偏差。
尽可能地在靠近中心部位进行放射线固化性树脂的点滴的方法,可以容易作到形成在信号记录层102上的光透过层的厚度从内周到外周均匀。本实施例中,利用帽107来堵住中心孔,在帽107上点滴放射线固化性树脂的方法,使其效果最大。
另外,利用图3B中所使用的圆锥状的帽107的方法,从帽107供给到信号记录层102的树脂104在圆周方向均匀,半径方向的偏差也可以变小。
如图3C所示,点滴放射线固化性树脂的状态,按照图4A所示的时间图,在开始点滴约3秒之后,以350rpm转数来旋转基板101,在信号记录层上涂布、均匀化放射线固化性树脂104。下面,把这个转数叫做「涂布转数」。涂布转数最好是随着所形成的光透过层厚度、厚度偏差而改变。
点滴放射线固化性树脂104时,有时存在帽107与基板101之间的微小的间隙里浸透放射线固化性树脂104的现象。帽107上设置密封件105的方法,可以防止这种现象。
还设置往下方(工作台106的方向)拉帽107的机构的方法,可以提高防止树脂浸透效果。因此,如图5所示,也可以在旋转工作台106的中心部分设置利用真空来往下方拉帽107的吸引孔15。另外,如图6A~6C所示,在帽107或旋转工作台106或两个部件上埋入磁铁12,也是可以的。在帽107或旋转工作台106的只是一方埋入磁铁12时,另一方的一部分或全部是金属部件来构成。
图4A所示,以350rpm开始旋转约10秒之后,停止点滴放射线固化性树脂。突然停止或逐渐减少量均可以。旋转中连续一段的点滴的方法,产生放射线固化性树脂的供给量与由于延伸的消失量的平衡状态,可以容易均匀形成放射线固化性树脂。
但是,这个平衡状态中,有内周部分多少厚于外周部分的倾向。因此,停止点滴放射线固化性树脂104之后,约15秒期间,以一定的转数旋转基板101的状态,继续延伸(涂布)放射线固化性树脂104。然后,约以100rpm/S来加速基板101的旋转。在其加速中,基板101的转数达到600rpm时,如图7所示,加速基板101的状态照射放射线110而固化放射线固化性树脂。由此,靠近基板101外周端部区域为止,可以使光透过层均匀。固化放射线固化性树脂104之后,停止基板101的旋转。
停止基板101的旋转之后固化时,如图8A所示,外周端的光透过层104变为非常厚。另外,在一定转数的旋转中固化时,如图8B所示,靠近外周端区域里形成极端变薄的放射线固化性树脂区域。另外,减速基板101的旋转中固化时,如图8C所示,形成薄的部分和厚的部分混在一起的光透过层104。如上所述,在本实施例中,加速基板101的旋转状态中进行固化,使靠近最外周端区域为止变为均匀成为可能。但是,如果加速度过大,则厚度的偏差变大,因此,最好是根据放射线固化性树脂的粘度,改变其加速度。
但是,利用旋转的方法在基板101上涂布放射线固化性树脂104时,由于信号记录层102与放射线固化性树脂104之间的润湿性,有时会发生:在外周部分的一部分产生不能涂布放射线固化性树脂的部分的情况。为了解决这个问题,如图4B的时间图所示,在加速前的涂布工序中,一时性地使转数高于通常的涂布转数(约350rpm)的高速(如1000rpm)旋转,以其转数旋转一定时间(如约1秒),在信号记录层102全面上涂布放射线固化性树脂104,然后,回到原来的涂布转数(约350rpm),就可以。
另外,加速后进行树脂的固化来替代加速中固化,也是可以的。即,使基板101的转数加速到高于涂布转数的转数之后,一定时间保持其高的转数之后立即进行固化,也是可以的。例如,如图9所示,提高到高于涂布转数的转数(如1000rpm),停止其加速的一定期间内例如转数提高后的约2秒内,进行固化,也可以获得相同于加速中进行固化的同等效果。
放射线固化性树脂的固化最好是在尽可能在短时间内进行。这里采用了高强度脉冲照射氙光源的装置。因为旋转基板的状态固化放射线固化性树脂时,如果其固化时间长,则会产生固化部分和未固化部分的放射线固化性树脂的向外周方向延伸的方式差异,光透过层厚度不能均匀。照射放射线之后,最好是照射1秒之内可以固化强度的放射线。
照射放射线时,最好是基板的外周端和甩开的放射线固化性树脂里不照射放射线。这是因为回收并过滤被甩开的放射线固化性树脂的方法,可以再利用放射线固化性树脂的缘故。另外,照射放射线中,为了喷嘴113不受放射线的照射,最好是避开放射线。
基板101的外周端面如果受放射线的照射,有时会产生如图10A、10B的毛刺111。毛刺会带来外观上或偏重心等的机械特性上的问题,因此,最好是除去。例如,如图10C所示,可以考虑:照射激光112来切断或锐利的金属刀例如图10D所示的切刀113来切断或是利用热处理融解除去来除去的方法。并且,为了阻碍外周端部的固化,作为放射线固化性树脂可以使用过氧气氛中难以固化的树脂,照射放射线时,使外周端部分处于过氧气氛,也是可以的。
另外,根据所使用的放射线固化性树脂,存在固化后的硬度低而容易受伤、摩擦系数大而容易受伤、容易沾上粉尘等的问题。此时,如图11A所示,在放射线固化性树脂上实施硬镀层114,也是可以的。
放射线固化后,如图11B所示,除去帽107。实施硬镀层时,在硬镀层的前后的哪一方除去帽107,都可以。
这里,作为例子表示了改写可能的记录再生型光盘,但也可以是一次性记录可能的追记型、反射层为Al或Ag为主要成分的再生型,也是可以的。并且,具有两个以上的多个信号记录层的多层光盘,也是可以的。
图12中表示了本发明实施例的光信息记录介质的光透过层膜厚的随半径的变化。根据本发明的制造方法,内周到外周的全圆周上,对100μm的膜厚可以实现正负峰值(peak to Peak)偏差2μm以下的均匀的膜厚分布。由此,利用兰色激光的高密度光信息记录介质中,最内周部位到最外周部位(半径约为58.5mm)可以获得良好的再生特性的显著效果。
上面,说明了本发明的实施例,但本发明不限于上述的实施例,根据本发明的技术思想可以采用其他的实施例。
实施例2
图13A~13C表示本实施例中所利用的点滴放射线固化性树脂104的喷嘴。图13A是从下面看喷嘴的图,而图13B是其剖面图,图13C是其轴侧图。本实施例中,点滴放射线固化性树脂104是使用如图13所示的在近似同一半径上具有多个开口部202的喷嘴201。喷嘴201的半径r(25mm)的位置上有十八个开口部202。
和实施例1同样,基板101安装在旋转工作台106。利用图13A~13C所示喷嘴201,在基板101上近似同一半径上点滴放射线固化性树脂104。由于利用了这样的喷嘴201,没有必要使用实施例1中表示的帽107。实施例1中叙述的帽107上,点滴放射线固化性树脂时,放射线固化性树脂固化后,拆卸帽107来再利用会存在问题,但是,本实施例的情形没有必要进行那样的工序。为了使从内周到外周的光透过层的厚度均匀,最好是喷嘴201的开口部尽可能靠近基板101的中心孔105。
图14A~14C中表示了喷嘴的其他例。图14A是从下方看喷嘴的图,图14B是其剖面图,图14C是其轴侧图。该图中,喷嘴203具有用于喷出树脂的环状的开口部204。由于利用喷嘴203,可以获得同样的效果。
由于放射线固化性树脂104的粘度而弄脏基板的中心孔时,可以同时使用本实施例的喷嘴和实施例1的帽107。另外,基板101的中心孔105的一侧向外周一侧喷出空气的方法,可以防止放射线固化性树脂104的侵入。喷嘴点滴树脂的工序以后的工序相同于实施例1。
实施例3
实施例1和实施例2中,放射线固化性树脂104的涂布和利用放射线的固化是在同一场所进行的。然而,由此而产生:甩开的放射线固化性树脂附着在旋转工作台106等装置的状态被固化,而旋转工作台106工作发生不正常,另外,如果设置为了防止不正常的机构,装置会变得复杂的等问题。
因此,本实施例中,在不同的场所进行放射线固化性树脂104的点滴·涂布和照射放射线的固化。
具体地,在某种程度进行放射线固化性树脂的涂布的时刻,暂时停止基板101的旋转,将基板移动到用于放射线照射的别的场所。然后,在别的场所,一边以100rpm/s加速基板的转数一边照射放射线。图15中表示这种情形的时间图。这样,改变放射线固化性树脂104的涂布工序和固化工序的场所的方法,可以减少甩开的放射线固化性树脂的固化量,还可以容易安装为了减少被甩开放射线固化性树脂的固化量的机构。
图16中表示用于进行上述处理的装置构成。该图中,旋转工作台106是金属制造的,由前端具有磁铁138的移动机构137来和基板101一起提升旋转工作台106,切离与进行树脂的点滴、涂布场所的电动机131的接合之后,被输送到进行树脂固化的别的场所,布置在其场所的电动机131b上。由此,提高放射线固化性树脂的再利用率,从而降低成本,另外,因为分担各个工序,使制造装置的制作变得容易。
如上所述,暂时停止基板101的涂布旋转,即使重新旋转基板101,由于加速中照射放射线而固化放射线固化性树脂,和实施例1相同,可以制作外周部分为止厚度均匀的光透过层,信号记录层全面上可以形成均匀的光透过层。
另外,图16的例子中,装载基板101的旋转工作台106移动到别的场所,但是,只移动基板101,也是可以的。此时,替代上述的磁铁138,例如利用图17所示的三爪针139,以夹住基板101的中心部来提升的方法,可以实现的。
实施例4
说明本发明的实施例4的光信息记录介质制造方法。
在实施例1中,在固化放射线固化性树脂104之后,拆卸帽107。随着固化后的放射线固化性树脂的硬度、厚度,有时,在拆卸帽107时,信号记录层102上的放射线固化性树脂被裂开,在拆卸帽107的部分产生毛刺,给记录·再生时的光信息记录介质的保持带来影响等的问题。
因此,本实施例中,在照射放射线之前,拆卸帽107,固化基板101上的放射线固化性树脂。帽107经过清洗等的工序可以再利用。另外,照射放射线时,最好是拆卸帽107,以便帽107不受放射线的照射。
这样,可以多次利用帽107,并且,信号记录层102的放射线固化性树脂104不会受影响,可以形成均匀的光透过层。
如上述说明,根据上述的实施例1~4的光信息记录介质的制造方法,使以往的旋转涂布法中是困难的、基板的信号区域全面上形成均匀光透过层成为可能,特别是解决了外周端部的光透过层被鼓起、内周部分变薄的问题,可以进行容易的生产。
实施例5
本实施例中说明:光信息记录介质的外周端部中抑制发生毛刺的光信息记录介质制造方法。图18表示:在光信息记录介质的外周端部上布置用于除去毛刺的部件的情形图(从横向看的剖面图)。如图18所示,在光信息记录介质的外周端部上设置了用于除去外周端部露出树脂的部件(除去部件)103。利用这个部件103来可以除去光信息记录介质外周端部中发生的毛刺。
对于本发明的光信息记录介质的制造方法,进行具体一例的说明。如图19A所示的将具有信号记录层102的厚度为1.1mm、直径为120mm、中心孔105直径为15mm的基板101,如图19B所示安装在旋转工作台106,并利用帽107来堵住中心孔105。帽107是金属制造的、并外侧具有圆锥形状,在内部,只是帽107的最外周部分与基板101线接触的环状中空的结构。帽107可以进行特氟隆镀层,由此,可以防止放射线固化性树脂的附着。
然后,停止基板101的状态或小于120rpm(转/分)的低速旋转状态,帽107的大约中心,喷嘴113开始点滴放射线固化性树脂104。放射线固化性树脂104的室温的粘度为约500mPa·s、点滴速度约为1Cm3/s。放射线固化性树脂104的粘度和点滴速度最好是根据所形成光透过层的厚度而改变。
尽可能地在靠近中心部位进行放射线固化性树脂104的点滴的方法,可以容易作到形成在信号记录层102上的光透过层的厚度从内周到外周均匀。本例子中,利用帽107来堵住中心孔、放射线固化性树脂104点滴在帽107的上面的方法,使其效果最大。这里使用直径为23mm的帽。
另外,利用图19B中所示的与基板101只是在最外周部分线接触的具有环状中空的帽107的方法,可以防止帽107与基板101接触面之间由于毛细管现象而侵入放射线固化性树脂的现象。另外,还设置往下方拉帽107的机构例如在旋转工作台106的中心部分设置图5所示的往下方拉帽107中心的吸引孔的方法,提高其效果。另外,采用如图6A~6C所示的结构,也是可以的。
另外,例如利用如图13A~13C、图14A~14C所示的喷嘴,在基板的中心孔附近以圆环状点滴放射线固化性树脂104并延伸它的方法来形成均匀的层时,没有必要使用帽107。
如图19C所示,点滴放射线固化性树脂104的状态,点滴开始3秒以后,约350rpm转数旋转基板101,在信号记录层上涂布、均匀化放射线固化性树脂104。
一边以350rpm转数旋转,约10秒后停止点滴放射线固化性树脂104。突然停止点滴也可以,逐渐减少点滴量,也是可以的。由于旋转中继续片刻的点滴,放射线固化性树脂104的供给量和由于延伸量的消失量发生平衡状态,可以容易均匀形成放射线固化性树脂104。
但是,在这个平衡状态中,因为内周部分稍微厚于外周部分的倾向,停止点滴放射线固化性树脂104之后的约15秒间内,旋转基板的状态,继续延伸放射线固化性树脂。然后,约以100rpm/S加速基板的旋转,在其基板的转数达到600rpm时,如图7所示,加速基板101的状态中照射放射线110来固化放射线固化性树脂104而形成光透过层115。由此,靠近基板外周端部区域为止,可以使光透过层均匀。固化放射线固化性树脂之后,停止基板101的旋转。上述工序的整个时间图,如图4A所示。
特别是本实施例的在上述的放射线固化性树脂104固化工序中,使部件103接触在基板101外周端的状态,旋转旋转工作台106(参照图18)。由此,使放射线固化性树脂104延伸到部件103上面之后,除去它,因此,在基板101的外周端不会产生毛刺,而基板101上形成均匀的光透过层成为可能。此时,也可以使部件103布置成:点滴放射线固化性树脂104之前开始接触基板101。或者,也可以使部件103布置成,在点滴放射线固化性树脂104之后,而照射放射线110之前接触于基板101。
在这里,部件103利用了金属制作的部件,但是在有可能损伤基板101时,可以利用聚氨酯或聚缩醛等的树脂材料。最好是避免使用溶解于放射线固化性树脂104的材料。
基板的旋转中照射放射线而固化放射线固化性树脂时,如果不使用部件103,则产生如图20A、20B所示的毛刺111,成为外观上或偏重心的机械特性的问题。
利用在外周端部设置部件103的方法,产生外周端部毛刺的多余放射线固化性树脂被部件削掉。还在照射放射线时,部件103削掉外周端部产生的半固化状态的毛刺而除去。部件可以不产生毛刺的理由主要在于这两点。
部件103上表面的高度近似相同于基板101的有信号记录层102的面的高度或稍微高于它为好。如果过于低,和没有设置部件103的情形同样,产生图20A、20B所示的毛刺。
在设置了具有高于信号记录层102的上表面的部件103时,基板101与部件103密接的位置关系下,有时会产生如图20C所示的向上的毛刺111。使基板与部件之间保持微小距离(本实施例中保持约1mm距离)的方法,可以不产生毛刺111成为可能。基板101不是中心对称的旋转(偏心)时,保持基板101与部件103之间一定距离是困难的。在旋转工作台106的与基板101接触的面的旋转中心上,设置与基板101的中心孔配合的凸起部的方法来可以容易作到偏心小于100μm,因此,使基板与部件之间具有距离时,最好是设置这样的凸起部。
部件103上表面的高度近似等于基板101具有的信号记录层102并部件103和基板101密接而不产生毛刺时,按住基板一侧的压力施加在部件,也是可能的。如果此时的按压力过大,则有可能影响基板101的旋转,所以最好是不脱落接触程度的微小力为好。例如压力为104~1N/m2、特别是104~102N/m2范围为好。
部件103的上表面不平行于基板101的具有信号记录层102的面,也是可以的。例如,如图21A或图21B的部件123、部件124所示,也可以向外周方向具有角度;也可以如图21C(从基板101的外周方向看基板的中心方向的图)所示,在基板101的旋转方向具有角度的形状125。最好是根据放射线固化性树脂104的粘度和转数、根据毛刺的不同角度和形状,选择最佳部件为好。
部件103是如图22A所示的、也可以在内部包含基板101的圆筒。或者,部件103是如图22B、图22C所示的、四边形形状,也是可以的。另外,可以考虑沿着基板101的外周的形状(例如图22C所示的圆弧形状的部件122)。或者,本实施例中是在一处设置部件,但是在多处设置部件,也是可以的。
照射放射线110时,最好是部件和甩开的放射线固化性树脂104不受放射线照射为好。由此,回收被甩开的放射线固化性树脂104之后,增加过滤等工序,可以再利用放射线固化性树脂104。另外,可以避免由于附着在部件103的放射线固化性树脂104的固化,使部件103变形而降低外周的毛刺的除去效果。
因此,照射放射线时,如图23A所示,为了只固化基板101上的放射线固化性树脂104,最好是利用如图23B所示的遮蔽板111。在这里,将开有151b,其孔半径r等于基板101大小的遮蔽板设置成如图7B,从而只在基板101上照射放射线110。
为了阻碍附着在部件103的放射线固化性树脂104的固化,作为放射线固化性树脂104使用过氧化气氛中不易固化的树脂;照射放射线时,使部件103处于过氧气氛,也有效。
另外,随着所使用的放射线固化性树脂,有时存在固化后的硬度低而容易受伤、摩擦系数大而容易受伤、容易粘接粉尘等的问题。此时,如图24A所示,在光透过层115上形成保护层112,也是可以的。本实施例中,利用以往的旋转涂布法来形成涂布厚度约为3μm的保护层112,但是利用相同于本发明的光透过层形成方法来形成,也是可以的。
作为保护层,还可以利用具有防止光透过层吸收湿气等功能的材料,也是可以的。由此,可以防止光透过层的湿度损伤或由于湿度引起的光透过层的膨胀。具体地,利用溅射法形成3nm至50nm程度的电介体膜,可以获得其效果。
为了保护层上附加上述的多个功能,多个材料组成的保护层形成多层,也是可能的。
根据本实施例,形成光透过层时,利用帽107覆盖中心孔105,形成光透过层之后,拆除帽107。形成保护层112时,形成保护层之前或之后的任意时间里拆除帽107,都可以。如图24B所示,吸引吸引部141并向上推推出部142的方法,容易拆卸帽107。最好是适当选择帽107的直径,以便拆除帽107之后,如图24B所示,基板101的内周区域里产生光透过层的阶差130而记录再生光盘时的支撑区域(夹紧区域)里不产生阶差。
拆卸之后,经过除去附着的放射线固化性树脂的清洗工序,可以再利用帽107。
根据本实施例,可以形成约100μm厚度的光透过层。信号记录层102上的光透过层厚度的偏差可以抑制在3μm以下。由此,NA为约0.85、激光的波长为400nm时,也可以进行良好的记录再生,可以确保和DVD同等的倾斜边界。
信号记录层102可以是改写可能的记录再生型,也可以是只记录一次可能的追记型,也可以是反射层为Al、Ag为主要成分的再生型。另外,如图24C所示的具有多个信号记录层(两个以上)的多层光盘,也是可以的。图24C中的分离层119是隔离两个信号记录层102与18的层。由于记录再生的特性,分离层119的厚度最好是约30μm。
实施例6
在本实施例中,为了除去基板101外周端部里发生的毛刺,利用了如图25A所示的细绳形状的部件401。细绳形状的部件401布置成:上下方向上相切于外周端面。由此也可以获得和实施例1所叙述的部件103效果相同的效果。细绳形状的部件401上,施加相切于基板101外周端部状态程度的拉力。
如图25B所示,使细绳形状的部件401构成圆环状,一边接触在基板101的外周端部一边旋转绳。利用除去装置215来除去附着在部件401的放射线固化性树脂104。这样,回收树脂成为可能,提高生产效率。如图26A所示,也可以一边由滚筒217排出绳401一边回收附着有放射线固化性树脂104的绳401。这样,除去装置215来不能完全除去树脂时,可以回收树脂成为可能。
细绳形状的部件401的断面可以考虑任意形状例如圆形、椭圆形的长方形。至于细绳形状的部件401的材料和表面形状,最好是根据与基板的摩擦或毛刺消除效果来决定。
另外,和实施例5相同,适当地利用不使附着在部件401的放射线固化性树脂104固化的遮蔽板,或是不同的场所进行放射线固化性树脂的延伸和固化,也是可以的。
实施例7
本实施例中,由喷口高压喷射的气体(以下称空气刀)来替代布置在基板101外周端的部件103而除去毛刺。即,如图27所示,从基板101的下方,向外周端部,贴近从喷口317高压喷射的空气刀316的方法,可以获得和实施例5中所叙述的设置部件103的同样效果。
实施例5中,有必要注意附着在部件103的放射线固化性树脂104的固化,但是,在利用空气刀316时,没有必要注意它,从而可以大大提高生产率。空气刀316的喷出,最好是在照射放射线而固化放射线固化性树脂104之前进行。
图27所示的方法中,从基板101的下方,向外周端,由喷口317输出空气刀316。可是,其以外的方向例如从上方或从倾斜方向把空气刀316贴近基板的外周端,也是可以的。另外,对基板101贴近空气刀316的位置,可以是一处,也可以是多处。空气刀的喷口317可以具有近似相同于基板101半径的环状喷口,利用这样的空气刀喷口31的方法,在基板101的外周端全部上可以同时贴近空气刀316。
实施例8
本实施例中,如图28A、28B所示,除去毛刺的部件402为圆盘形状,并布置在其上表面的高度近似等于基板101的具有信号记录层102的高度或稍微高于其高度的位置。部件402是依靠基板101的旋转而旋转。
部件402是由于基板101的旋转而相反于基板101的方向,以相同于外周端速度来旋转。由于旋转,更有效地除去基板101的外周端的多余的放射线固化性树脂104,即使是一边旋转基板101一边照射放射线而固化放射线固化性树脂104,在外周端不会产生毛刺。本实施例中的部件402是受到基板101的旋转而旋转的机构,但是,设置使部件402旋转的驱动机构而独自的驱动力来使部件402旋转,也是可以的。设置这样的驱动机构的情形中,基板101和部件402的旋转方向相同或部件402外周端的线速度不同时,在基板101和部件402之间会产生很大的摩擦,光透过层的均匀性受到损伤。因此,部件402是相反于基板101的方向且近似等于外周端线速度来旋转为好。
部件402旋转时,有时存在附着在部件402的放射线固化性树脂重新作为飞沫附着在基板101的情况。此时,有可能增大所形成光透过层的厚度偏差,因此,最好是在不与部件402接触的部分设置放射线固化性树脂的除去装置415。
替代上述的圆盘状部件402,如图26B所示,对基板101的面水平方向设置上述实施例中所示的细绳形状或带状的部件401并旋转它的方法,也可以获得同样的效果。
如实施例5所述,因为随着放射线固化性树脂104的粘度和转数产生毛刺的容易程度不同,最好是根据各个条件来决定:使部件402与基板101密接或保持微小距离例如1mm。
实施例9
在实施例5中,在同一个场所进行了放射线固化性树脂的涂布·延伸工序和一边旋转基板一边固化放射线固化性树脂的工序。照射放射线时,为了被甩开的放射线固化性树脂不受放射线的照射,利用了遮蔽板,但是,微小泄露的放射线的积累有可能使被甩开的放射线固化性树脂逐渐固化。这样,放射线固化性树脂的回收·再利用不顺利而增加成本的可能。
因此,和实施例3同样,在上述的实施例5至实施例8中,最好也是在放射线固化性树脂的涂布·延伸工序之后,暂时停止旋转并进行移动,并在别的场所进行一边旋转基板一边固化放射线固化性树脂的工序。
图29中表示为此的装置构成。用于基板101的外周端上防止产生毛刺的部件103只设在照射放射线工序的场所,独立两个工序的方法,可以简化装置的构成。
实施例10
如图30A所示,上述的实施例中说明的光信息记录介质(光盘)成为在基板101的一方的主要面上有光透过层115的非对称性盘。已经知道:作为固化放射线固化性树脂的光透过层115一般具有高温中收缩、湿度气氛的变化中吸水膨胀、脱水收缩等特性。从而,非对称结构的光盘时,可以预想:由于高温化或湿度的急剧变化而倾斜的变动大,记录或再生变为恶化。
因此,如图30B所示,具有信号记录层102面相反側的面(里面)上形成相同于光透过层的层(平衡层)来改善非对称性的方法,可以大幅度减少由于温度和湿度变化的倾斜变化。另外,如图30C所示,在里面设置信号记录层502的两面记录再生型光盘的方法,可以提高对称性。
此时,为了提高对称性,最好是在两方的主要面上形成的层的材料特性(例如吸水膨胀或脱水收缩的有关特性(收缩特性))和层的厚度近似相同。需要改变里面形成的层的材料时,要考虑倾斜变化的平衡,改变里面层的厚度为好。保护层112形成在里面,也是可能的。
如上述说明,根据本发明的光信息记录介质的制造方法,在以往的旋转涂布法中是困难的、基板的信号区域前面上形成均匀的光透过层成为可能。另外,可以排除:一边旋转基板一边照射放射线来固化放射线固化性树脂而在外周端部产生的毛刺。
另外,在上述的各个实施例中,当然可以在一个实施例中说明的技术思想和另一个实施例中说明的思想组合起来利用,这是不言而喻的。本发明说明了特定的实施例,但是,对同行业者来说,可以清楚其他很多变形例、修正或其他利用。所以,本发明不限于这里的特定的公开,由本发明的技术方案而限定。
Claims (8)
1、一种光信息记录介质制造方法,是一个主要面上具有信号记录层,在该信号记录层上形成由放射线固化性树脂而成的光透过层的基板组成的光信息记录介质制造方法,其特征在于:形成上述光透过层时,放射线固化性树脂点滴在基板的上面,利用旋转涂布法,一边以所定的涂布转数旋转基板,一边在基板全体上涂布上述的放射线固化性树脂;涂布以后,加速基板的转数,在其加速中,照射放射线来固化上述的放射线固化性树脂。
2、根据权利要求1所述的光信息记录介质制造方法,其特征在于:以上述的涂布转数,在不同的场所分别进行上述的放射线固化性树脂的涂布工序和照射上述的放射线来固化上述放射线固化性树脂的工序。
3、根据权利要求1所述的光信息记录介质制造方法,其特征在于:1秒之内进行上述照射放射线的放射线固化性树脂的固化。
4、根据权利要求1所述的光信息记录介质制造方法,其特征在于:上述基板具有中心孔,在点滴上述放射线固化性树脂期间,在相切于上述基板部分设有密封件以用于防止上述放射线固化性树脂的漏入的部件来堵住中心孔。
5、根据权利要求4所述的光信息记录介质制造方法,其特征在于:上述基板装载在旋转工作台而旋转,为了使堵住上述中心孔的部件密接在上述基板,在该旋转工作台中设置往下方拉堵住上述中心孔部件的机构。
6、根据权利要求1所述的光信息记录介质制造方法,其特征在于:只在上述基板上进行上述放射线的照射。
7、根据权利要求6所述的光信息记录介质制造方法,其特征在于:照射上述的放射线时,利用具有孔的形状近似相同于上述基板的遮蔽板。
8、根据权利要求1所述的光信息记录介质制造方法,其特征在于:利用旋转涂布法涂布上述放射线固化性树脂之后,一旦停止旋转后,加速上述基板的转数而固化上述放射线固化性树脂。
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