CN1250397C - 液滴喷出装置及方法、成膜装置及方法、器件制造方法 - Google Patents

液滴喷出装置及方法、成膜装置及方法、器件制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液滴喷出装置及方法，成膜装置及方法、器件制造方法及电子仪器。液滴喷出装置具有规格互不相同的多种液滴喷出头(8)(第1喷出头8a～第3喷出头8c)、对液滴喷出头(8)提供电负载的多个假负载电路(31a～31c)、对应所驱动的液滴喷出头(8)的种类，切换与液滴喷出头(8)连接的假负载电路的模拟开关(32a～32c)。通过构成这样的结构，将不会造成打印品质的下降，能够实现功能液的多样化的液滴喷出，由此可高效率地进行工件处理。

Description

液滴喷出装置及方法、成膜装置及方法、器件制造方法
技术领域
本发明涉及通过液滴喷出头向基板等工件喷出功能液的液滴喷出装置及方法、成膜装置及成膜方法、器件制造方法及电子仪器。
背景技术
可进行彩色印刷的喷墨打印机等的液滴喷出装置在滑架上设有多个液滴喷出头，在各个液滴喷出头导入各种颜色的墨水(液滴)。在这种结构的液滴喷出装置中，通过按照打印数据对各个头进行独立的驱动，控制各种颜色液滴的喷出，进行彩色打印。这样，虽然设计出了具有多个液滴喷出头的液滴喷出装置，但该结构的液滴喷出装置中所设置的液滴喷出头具有同样的规格。关于具有多个液滴喷出头的液滴喷出装置的具体结构，例如可参照以下的专利文献1。
专利文献1：特开2001-277658
但是，对应不同的成为功能液喷出对象的工件，为了形成多种功能膜，有时需要喷出粘性不同的多种功能液。例如，在显微镜用标本上的检验体上涂敷染色体，用覆膜材料将其密封固定，从而可作成省去了玻璃盖片的显微镜标本。在这种技术中，需要由液滴喷出头同时进行低粘性检验体染色剂(功能液)的喷出和高粘性覆膜材料(功能液)的喷出。
在喷出低粘性检验体染色剂时和喷出高粘性覆膜材料时，需要使用规格不同的功能液滴喷出头。为此，简单地讲，或者使用2台分别配置有不同规格的液滴喷出头的液滴喷出装置，或者使用1台可适当更换液滴喷出头(包括功能液供给系统)的液滴喷出装置。
但是，如果使用前者的液滴喷出头，则需要将工件搬运到其它液滴喷出装置的时间，如果使用后者的液滴喷出装置，则需要更换液滴喷出头等的更换时间，因此，总体来说，使对各个工件的液滴喷出处理变得非常复杂。为了解决上述的问题点，则希望构成在1个液滴喷出装置中设置不同规格的液滴喷出头，进一步简化装置的结构，因此，理想的是采用具有兼容的液滴喷出头驱动电路的结构。
在液滴喷出头的驱动电路中设置有为了防止因寄生电容等导致的打印品质下降的假负载电路。该假负载的最佳值虽然是根据不同的头的规格而不同，但是，存在着如果如上述那样地使用兼容的驱动电路驱动规格不同的液滴喷出头，则不能针对不同头的种类设定最佳的假负载值，因此导致打印品质下降的问题。
发明内容
本发明就是为了解决上述的问题而提出的，其目的是，提供一种不会导致打印品质下降、能够喷出多种功能液液滴、可高效地进行工件处理的液滴喷出装置及方法、成膜装置及方法、器件制造方法及电子仪器。
为了解决上述的问题，本发明之1的液滴喷出装置是一种向工件喷出液滴的液滴喷出装置，其特征在于：包括：多种液滴喷出头；具有用于抑制施加与所述液滴喷出头的驱动波形的振荡的电路的多个控制装置；对应从所述液滴喷出头喷出的所述液滴的种类选择出所述多个所述控制装置其中之一的选择装置，通过由所述选择装置所选择的所述控制装置将所述驱动波形施加于所述液滴喷出头。
根据本发明，由于对应喷出的液滴的种类选择控制装置，通过所选择的控制装置向液滴喷出头施加驱动波形，所以，对应驱动的液滴喷出头选择出用于抑制驱动波形的振荡的最佳的电路，不会导致打印品质的下降，而且能够实现各种功能液的多样化的液滴喷出。另外，由于不需要进行更换液滴喷出头的操作，从而可进行高效率的工件处理。
这里，理想的是，所述选择装置具有与所述控制装置和所述液滴喷出头连接的多个电开关，通过切换该电开关的连接状态，选择与所述液滴喷出头连接的多个所述控制装置其中之一。
而且，所述选择装置最好具有切换与所述控制装置和所述液滴喷出头的电连接状态的多个机械开关。
并且，所述电开关最好是模拟开关，所述机械开关最好是由用户操作的拨动开关。
而且，根据本发明之1的液滴喷出装置的又一特征是：具有：配置有所述多种液滴喷出头的滑架；分别向所述多种液滴喷出头供给功能液的功能液供给机构；通过所述滑架使所述多种液滴喷出头相对所述工件移动的移动机构；与所述移动机构同步地控制所述液滴喷出头的某一个的喷出驱动的驱动控制装置。
为了解决上述的问题，本发明之2的液滴喷出装置，是一种向工件喷出液滴的液滴喷出装置，其特征在于：包括：具有各个规格互不相同的液滴喷出头，并具有可更换的结构的头单元；对被设置在所配置的头单元上的所述液滴喷出头进行驱动的驱动装置，各个所述头单元包括具有用于抑制对应所设置的所述液滴喷出头的电特性而选择的驱动波形的振荡的电路的多个控制装置。
根据本发明，由于由液滴喷出头和用于抑制对应液滴喷出头而选择的驱动波形的振荡的电路构成头单元，并能够对驱动装置更换该头单元，所以，只需更换(安装)头单元，便完成了液滴喷出头及用于抑制驱动波形的振荡的电路与驱动装置的连接，从而，能够进行保证打印品质的液滴喷出。而且，即使是具有各个特性互不相同的液滴喷出头的头单元，由于也能够与同一驱动装置连接，所以可降低装置的成本。
这里，在本发明之1及本发明之2的液滴喷出装置中，所述控制装置最好包括电阻成分和电容成分。
为了解决上述的问题，本发明之1的液滴喷出方法，是一种向工件喷出液滴的液滴喷出方法，其特征在于：包括：从规格互不相同的多个液滴喷出头选择出应驱动的液滴喷出头的头选择工序；对应从所述液滴喷出头喷出的所述液滴的种类，从具有用于抑制施加于所述液滴喷出头的驱动波形的振荡的电路的多个控制装置中选择某一个的控制装置选择工序；通过由所述控制装置选择工序所选择的控制装置向由所述头选择工序所选择的液滴喷出头供给驱动信号，使其喷出所述液滴的驱动工序。
为了解决上述的问题，本发明之2的液滴喷出方法，是一种向工件喷出液滴的液滴喷出方法，其特征在于：包括：配置具有液滴喷出头和对应该液滴喷出头的电特性的所述控制装置的头单元的头单元配置工序；通过在所述头单元配置工序所配置的头单元所具有的所述控制装置向所述液滴喷出头供给驱动信号，使其喷出液滴的驱动工序。
本发明的成膜装置，其特征是：具有上述的任意一种液滴喷出装置。
本发明的成膜方法，其特征在于：包括使用上述的任意液滴喷出装置或上述的任意液滴喷出方法，喷出液滴，进行成膜的工序。
本发明的器件制造方法，是一种具有在规定的部位上形成具有功能性图形的工件的器件制造方法，其特征在于：包括在所述工件的规定部位上，使用上述的任意液滴喷出装置或上述的任意液滴喷出方法，喷出液滴，在所述工件上形成所述图形的工序。
本发明的电子仪器是通过使用上述的任意液滴喷出装置或上述的任意液滴喷出方法制造而成。
附图说明
图1是表示本发明实施例1的液滴喷出装置的概略构成的方框图。
图2是表示具有本发明实施例1的液滴喷出装置的头单元6的构成的图。
图3是表示使用本发明实施例1的液滴喷出装置的第1基板处理例的图。
图4是表示使用本发明实施例1的液滴喷出装置的第2基板处理例的图。
图5是表示具有本发明实施例1的液滴喷出装置的头驱动器及液滴喷出头的电路结构的图。
图6是表示具有本发明实施例2的液滴喷出装置的头驱动器及液滴喷出头的电路结构的图。
图7是表示具有本发明实施例3的液滴喷出装置的头驱动器及液滴喷出头的电路结构的图。
图8是说明使用本发明的液滴喷出装置制造的光内部连接器装置用的微透镜阵列的说明图。
图9是说明使用本发明的液滴喷出装置制造的光内部连接器装置用的微透镜阵列的说明图。
图10是示意表示使用了运用本发明的液滴喷出装置制造的彩色滤色基板的液晶装置的结构的剖面图。
图11A及图11B是表示在彩色滤色基板上的各色的配置状态的说明图。
图12是表示有机EL装置的构成的一例的剖面图。
图13是表示等离子型显示装置的构成的一部分的分解立体图。
图14A～14C是表示具有电场发射元件的电场发射显示器(FED)的构成的图。
具体实施方式
下面，参照附图，对本发明的实施例的液滴喷出装置及方法、成膜装置及成膜方法、器件制造方法及电子仪器进行详细的说明。
(实施例1)
图1是表示本发明实施例1的液滴喷出装置的概略构成的方框图。如图1所示，本实施例的液滴喷出装置1具有设置在机座2上的作为移动机构的X轴移动台3及Y轴移动台4。在X轴移动台3上安装有移动自如的主滑架5，在该主滑架5上设置有头单元6。此外，虽然将在下面进行详细地说明，在头单元6上通过副滑架7配置有规格不同的多种(在本实施例中为3种)液滴喷出头8(8a、8b、8c)。另外，作为工件的基板W被配置在Y轴移动台4上。
另外，液滴喷出装置1具有作为将功能液供给到多种液滴喷出头8各个头的功能液滴供给装置的功能液供给装置9，并且具有用于对X轴移动台3及Y轴移动台4以及多种液滴喷出头8等的驱动进行控制的控制装置10。该控制装置10与为了生成多种液滴喷出头8的喷出图形数据的个人计算机11连接。
此外，虽然在图1中未示出，但液滴喷出装置1具有接受液滴喷出头8的定期冲洗(从全部喷嘴舍弃喷出功能液)的冲洗单元、对液滴喷出头8的喷嘴面进行清洗的清洗单元及进行液滴喷出头8的功能液吸收及保管的清洁单元等。
X轴移动台3具有包括电机12、由电机12驱动的X轴滑块13而构成的X轴方向的驱动系，在其上移动自如地配置主滑架5。另外，Y轴移动台4具有包括电机14、由电机14驱动的X轴滑块15而构成的Y轴方向的驱动系，在其上移动自如地配置由吸附台等构成的装载台16。而且，在装载台16上将基板W保持成被定位的状态。
本实施例的液滴喷出装置1构成了与通过X轴移动台3的驱动的液滴喷出头8的移动同步地驱动(功能液滴的选择性的喷出)各个液滴喷出头8的结构。即，液滴喷出头8的所谓的主扫描是在X轴移动台3的X方向上进行往复的运动。而且，与之对应，所谓的副扫描是由Y轴移动台4使基板W在Y轴方向上进行往复运动。而且，与上述扫描同步进行的各个液滴喷出头8的驱动是根据由上述的个人计算机11作成的喷出图形数据而进行。
功能液供给装置9具有与各个液滴喷出头8相对应的3种副墨水盒17(17a、17b、17c)、与副墨水盒17连接的3种主墨水盒及将各个主墨水盒的功能液输送到对应的副墨水盒17的压力液体输送装置(均未图示)。各个主墨水盒的功能液分别被压力输送到对应的第1副墨水盒17a、第2副墨水盒17b、第3副墨水盒17c。在各个副墨水盒17中被压力挤出的功能液分别在对应的各个液滴喷出头8的泵作用下，被输送到各个液滴喷出头8。另外，虽省略了图示，但上述的压力液体输送装置也受上述的控制装置10的控制。
下面，说明具有本实施例的液滴喷出装置的头单元6的结构。图2是表示具有本发明实施例1的液滴喷出装置的头单元6的构成的图。如图2所示，头单元6具有包括由不锈钢等的厚板构成的副滑架9和被高精度地定位固定在副滑架9上的3种液滴喷出头8的结构。
如图2所示，液滴喷出头8由第1喷出头8a、第1喷出头8b及第3喷出头8c构成。如果设位于第1喷出头8a～第3喷出头8c的各个最外端位置的喷嘴为基准喷嘴N1～N3，则，设置在在第1喷出头8a～第3喷出头8c中的喷嘴被整列配置成在副操作方向(Y方向)上使基准喷嘴N1～N3被排列在与主扫描方向(X方向)平行的点划线L上。而且，在X方向上的副滑架9的中间位置的在Y方向上的两端部上，设置有一对定位基准销P1、P2。
上述的基准喷嘴N1～N3被用于例如第1喷出头8a的两喷嘴列之间的喷射位置的补偿(喷出图形数据的补偿)或作为第1喷出头8a、第2喷出头8b及第3喷出头8c相互之间的喷射位置补偿等的定位基准。另外，在将各个喷出头8a、8b、8c固定在副滑架9上时，也把基准喷嘴N1～N3作为基准进行定位。另外，上述的一对基准销P1、P2被用于作为头单元6的定位基准。
上述的3种液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c)其规格互不相同。例如，第1喷出头8a为具有2列排列设置了180个喷嘴的喷嘴列的规格，而第2喷出头8b为具有3列排列设置了96个喷嘴的喷嘴列的规格，第3喷出头8c为具有1列排列设置了3个喷嘴的喷嘴列的规格。
这样，之所以配备多个不同规格的液滴喷出头8，是为了例如将不同种类的液滴，改变其液滴量(重量、体积)喷射到基板W上。
下面，对使用了液滴喷出装置的基板处理进行说明。图3是表示使用本发明实施例1的液滴喷出装置的第1基板处理例的图。
如图3所示，在向作为被设定了形成有堤岸B1的矩阵状的绘图区域R1的工件的基板W的各个凹部K1喷出挥发性的第1功能液D1的同时，向全体绘图区域R1喷出覆膜用的第2功能液D2，将各个凹部K1中的第1功能液D1密封，并且在发生了第1功能液D1及第2功能液D2的喷射不良的情况下，作为不良品，可在标记区域R2上使用第3功能液D3绘制表示不良的标记。
在这种情况下，例如将上述的挥发性第1功能液D1导入第1喷出头8a，将覆膜用第2功能液D2导入第2喷出头8b，将标记用第3功能液D3导入第3喷出头8c，边改变基板W与液滴喷出头8之间的相对位置，边将液滴从第1喷出头8a～第3喷出头8c喷出。另外，第1功能液D1使用粘度比较低的功能液，第2功能液D2使用粘度比较高的功能液，并且标记用的第3功能液D3使用具有与第2功能液D2基本相同粘性的功能液。
图4是表示使用本发明实施例1的液滴喷出装置的第2基板处理例的图。如图4所示，在向作为被设定了形成有堤岸B1的矩阵状的绘图区域R1的工件的基板W的各个凹部K1顺序地喷出成为2种类型的发光功能液(或彩色滤色片的滤色片功能液)的A功能液(发光剂)D11和B功能液(固化剂)的同时，与上述同样地会存在在标记区域R2上使用第3功能液D3绘制表示不良的标记的情况。
在这种情况下，例如将A功能液D11导入第1喷出头8a，将B功能液D12导入第2喷出头8b，将第3功能液D3导入第3喷出头，边改变基板W与液滴喷出头8之间的相对位置，边将液滴从第1喷出头8a～第3喷出头8c喷出。这样，通过具备多个液滴喷出头，可以点状高精度地喷出微小的不同种类的液滴，因此，只要在功能液(喷出对象液)中使用特殊的墨水、发光性或感光性的树脂，便可应用于各种元器件的制造领域中。
另外，在图3及图4所示的基板处理例中，考虑到第1功能液D1～第3功能液D3的种类及其喷出的方式，采用了第1喷出头8a的单位喷嘴的功能液滴喷出量少，第2喷出头8b的单位喷嘴的功能液滴喷出量多，第3喷出头8c的单位喷嘴的功能液滴喷出量极其多的规格。
再返回图1，控制装置10具有控制部18、头驱动器19、X轴电机驱动器20及Y轴电机驱动器21，对液滴喷出装置1中的各个装置进行统一控制。控制部18与个人计算机11连接，响应从个人计算机11输出的控制指令，驱动头驱动器19、X轴电机驱动器20及Y轴电机驱动器21。头驱动器19驱动液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c)。
下面，说明头驱动器19的内部结构。图5是表示具有本发明实施例1的液滴喷出装置的头驱动器及液滴喷出头的电路结构的图。另外，在图5中，只图示了为了说明本发明的必要的构成。如图5所示，头驱动器19包括将用于驱动液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c)的驱动波形COM进行放大的放大器30、成为假负载的控制装置的假负载电路31a～31c及模拟开关32a～32c、33a～33c。
假负载电路31a是电阻与电容的串联电路，对应第1喷出头8a～第3喷出头8c的电特性设定其电阻值和电容值。模拟开关32a～32c、33a～33c是对应打印数据DATA进行开关的电开关，其相当于本发明中的切换装置的一部分。
将串联连接模拟开关32a、33a的电路、串联连接模拟开关32b、33b的电路、串联连接模拟开关32c、33c的电路并联连接，并连接放大器30和液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c)。此外，假负载电路31a与模拟开关32a、33a连接、假负载电路31b与模拟开关32b、33b连接、假负载电路31c与模拟开关32c、33c连接。
液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c)具有与设置的喷出头数相同数量模拟开关35和压电元件等的压力发生元件36。全部的模拟开关35与设置在头驱动器19中的模拟开关33a～33c连接，通过假负载电路31a～31c将驱动波形COM供给到压力发生元件36。
另外，将打印数据DATA供给到各个模拟开关35，对应该打印数据DATA控制其开状态及关状态。例如，被供给了作为打印数据DATA的值的[1]的模拟开关35成为开状态，使通过假负载电路31a～31c的驱动波形COM通过处于开状态的模拟开关35被供给到压力发生元件36，由此从压力发生元件36喷出液滴。
如上所述，由于打印数据DATA被供给到液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c)所具有的全部模拟开关35，所以，根据该打印数据DATA的值可选择出应驱动的液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c)。而且，打印数据DATA还被供给到上述的模拟开关32a～32c、33a～33c。
模拟开关32a～32c、33a～33c被设定成根据打印数据分别成为独立的开关状态。因此，通过使模拟开关32a、33a、模拟开关32b、33b及模拟开关32c、33c中的任意一对成为开状态，可使液滴喷出头8只与假负载电路31a～31c中的任意一个连接。
另外，通过使模拟开关32a、33a、模拟开关32b、33b及模拟开关32c、33c中的多对成为开状态，可使液滴喷出头8与假负载电路31a～31c中的多个连接。这样，只要将液滴喷出头8与假负载电路31a～31c中的多个连接，可将预先准备好的电负载(假负载电路31a～31c的各个负载)以外的电负载与液滴喷出头8连接。因此，即使在液滴喷出头8的负载发生变化的情况下，也可以稳定地喷出液滴。
通常的打印数据DATA虽然只用于控制压力发生元件36的压力发生动作，进行液滴的喷出控制，但在本实施例中，除此以外，还根据打印数据DATA的内容，进行应驱动的液滴喷出头8的选择、与液滴喷出头8连接的假负载电路31a～31c的切换。此外，应注意的是，在进行液滴喷出的过程中，不能进行根据打印数据DATA的液滴喷出头8及假负载电路31a～31c的切换。
在上述的构成中，在开始进行向基板W喷出液滴的动作之前，从控制部18向头驱动器19输出选择液滴喷出头8的控制信号。根据该控制信号，头驱动器19输出表示选择(切换)液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c中的任意头)的打印数据DATA。当该打印数据DATA被输出后，应被驱动的液滴喷出头便被选择(头选择工序)。这里被选择的是第1喷出头8a。
当选择了液滴喷出头后，接下来头驱动器19根据从控制部18输出的控制信号，想被选择的液滴喷出头输出表示选择(切换)应连接的假负载电路含义的打印数据DATA(假负载选择工序)。根据该打印数据DATA，模拟开关32a、33a、模拟开关32b、33b及模拟开关32c、33c中的一对或多对成为开状态，使假负载电路31a～31c中的一个或多个与液滴喷出头构成电连接。
当完成了液滴喷出头8及假负载电路的选择后，例如在图3所示的基板上，通过驱动电机使头单元6沿X方向进行扫描，将驱动波形COM经过被选择的假负载电路供给到第1喷出头8a，从而将第1功能液D1喷出到各个凹部K1中(驱动工序)。然后，与上述同样地按照从控制部18输出的控制信号，进行根据打印数据DATA的液滴喷出头8及假负载电路的选择。这里，令第2喷出头8b被选择。当选择结束后，接着由第2喷出头8b在绘图区域R1上实施第2功能液D2的粘稠涂抹式的喷涂。
另外，在图4所示的基板处理中，在头单元6的扫描过程中，使第1喷出头8a先于第2喷出头8b进行扫描(只向一个方向的扫描)，由第1喷出头8a向各个凹部K1喷出A功能液D11，然后立即由第2喷出头8b在A功能液D11上喷涂B功能液D12。此外，标记用的第3喷出头8c，是在上述的基板处理之后，由未图示的基板识别照相机进行缺墨点的图像识别，由该识别结果进行适当的驱动。由第3喷出头8c所做的标记是用于区分不良品的图像识别，通过功能液喷出量极多的第3喷出头8c，能够在短时间内完成绘制。
如以上的说明，在本发明实施例1中，由于可对应被选择的液滴喷出头选择最佳的假负载，将驱动波形COM通过该假负载供给到液滴喷出头，所以，不会导致喷出量不均等的打印品质的下降，可进行功能液的多样化的喷出。其结果，可进行效率良好的基板处理。特别是在图3所示的基板处理中，可在挥发性的第1功能液D1挥发之前将其用第2功能液D2密封。另外，在图4的示例中，可将2液类型的功能液的A功能液D11和B功能液D12基本在同一时间进行混合。
以上，说明了本发明实施例1的液滴喷出装置。在上述实施例中，虽然举出了以模拟开关作为电开关的例子，但本发明并不局限于模拟开关，也可以是晶体管、FET等电开关。
(实施例2)
其次，说明本发明实施例2的液滴喷出装置。图6是表示具有本发明实施例2的液滴喷出装置的头驱动器及液滴喷出头的电路结构的图。此外，在图6中，与图5相同，只图示了为了说明本发明的必要的构成。而且，由于本发明实施例2的液滴喷出装置的全体结构及液滴喷出头的结构与图1及图2所示的结构相同，故省略其说明。
设置在图6所示的本发明实施例2的液滴喷出装置中的头驱动器19与设置在图5所示的本发明实施例1的液滴喷出装置中的头驱动器的不同点在于，取代图5中的模拟开关32a～32c、33a～33c，而设置拨动开关40a～40c、41a～41c。拨动开关40a～40c、41a～41c相当于本发明所述的机械开关，通过用户的操作来设定开状态和关状态。通过设定这些拨动开关40a～40c、41a～41c的开状态和关状态，可选择与液滴喷出头连接的假负载。
在上述的构成中，在开始进行向基板W喷出液滴的动作之前，用户通过操作拨动开关中的一个(一对)或多个(多对)，选择出与液滴喷出头8连接的假负载(假负载选择工序)。然后，从控制部18向头驱动器19输出选择液滴喷出头8的控制信号。此外，该控制信号是表示选择与在上述的工序中所选择的假负载相适应的液滴喷出头8的含义的信号。换言之，用户预先决定预先选择的液滴喷出头8，在上述的工序中通过操作拨动开关选择出与该液滴喷出头相适应的液滴喷出头8，从控制部18输出选择预先决定的液滴喷出头8的控制信号。
根据该控制信号，头驱动器19输出表示选择(切换)液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c中的任意)的打印数据DATA。当输出该打印数据DATA后，应驱动的液滴喷出头被选择出(头选择工序)。在这里，设第1喷出头8a被选择。
当应驱动的液滴喷出头8a被选择后，与上述实施例1同样地在图3所示的基板处理中，通过驱动电机12使头单元6向X方向扫描，将驱动波形COM通过被选择的假负载电路供给到第1喷出头8a，将第1功能液喷出到各个凹部K1中(驱动工序)。接下来，与上述同样地按照从控制部18输出的控制信号，进行根据打印数据DATA的液滴喷出头8及假负载电路的选择。这里，设第2喷出头8b被选择。当选择结束后，接下来由第2喷出头8b在绘图区域R1上进行第2功能液D2的粘稠涂抹式的喷涂。
另外，在图4所示的基板处理中，在头单元6的扫描过程中，使第1喷出头8a先于第2喷出头8b进行扫描(只向一个方向的扫描)，由第1喷出头8a向各个凹部K1喷出A功能液D11，然后立即由第2喷出头8b在A功能液D11上喷涂B功能液D12。这样，能够使应驱动的液滴喷出头8(第1喷出头8a～第3喷出头8c中的任意)与最适合的假负载连接，能够进行稳定的液滴喷出。
以上，说明了本发明实施例2的液滴喷出装置。在上述的实施例中，举例说明了作为机械开关而设置拨动开关的情况。但本发明不限于使用拨动开关，只要能够对假负载电路与液滴喷出头之间的电连接状态进行切换，可使用任意的开关。而且，在上述实施例中，例举了由用户通过手动操作拨动开关的情况，但也可以使用电机、驱动装置等，通过机械设定开关的开、关状态。
(实施例3)
下面说明本发明实施例3的液滴喷出装置。图7是表示具有本发明实施例3的液滴喷出装置的头驱动器及液滴喷出头的电路结构的图。此外，在图7中，与图5及图6同样，只图示了为了说明本发明所必要的结构。
在上述的实施例1及实施例2中，在头单元6上设置不同规格的多种液滴喷出头8(8a、8b、8c)，并且在头驱动器19中设置了假负载31a～31c，由模拟开关32a～32c、33a～33c或拨动开关40a～40c、41a～41c选择与应驱动的液滴喷出头对应连接的假负载。
而在本实施例中，省略了头驱动器19的假负载电路及模拟开关等，由与喷嘴数相等数量的模拟开关35及压电元件等的压力发生元件36构成的1个液滴喷出头45，并且将具有假负载电路46的头单元47与头驱动器19连接。各个头驱动器47所具有的液滴喷出头45具有相互不同的规格，并设置与液滴喷出头45的规格相匹配的假负载电路46。
这样，在本实施例中，通过在头单元47侧设置与液滴喷出头45的规格相匹配的假负载电路46，配置(更换)设置了迎娶懂得液滴喷出头45的头单元47，使液滴喷出头45与头驱动器19构成电连接。根据该构成，只需要配置用户所选择的液滴喷出头45便可在头驱动器19与液滴喷出头45之间连接最适合液滴喷出头45的假负载电路46，可稳定地进行液滴的喷出。
在上述的结构中，在开始进行向基板W喷出液滴的动作之前，用户对应需要喷出液滴的喷出量选择出应安装的头单元47，然后把其安装在主滑架5(参照图1)上(头单元安装工序)。通过执行该操作，使头驱动器19与假负载电路46及液滴喷出装置45电连接。在安装完头单元47后，通过由控制部18驱动电机12使头单元6在X方向上进行扫描，将驱动波形COM通过假负载电路供给到头单元47，在工件W上喷出液滴(驱动工序)。
在本实施例中，由于伴随有头单元47的更换，所以不适合进行图3及图4所示的一边切换液滴喷出头一边连续地喷出第1功能液D1～第3功能液D3的动作。但是，例如在制造微透镜阵列等的在中途不需更换液滴喷出头的器件的情况下，可稳定地进行液滴的喷出。
(成膜装置及方法、器件制造方法、电子仪器)
以上对本发明的液滴喷出装置的实施例进行了说明，该液滴喷出装置也可以作为形成膜的成膜装置或作为微透镜阵列、液晶显示装置、有机EL装置，等离子显示装置、电场放射显示器(FED；Field EmissionDisplay)等的器件制造装置而使用。图8及图9分别是是说明使用本发明的液滴喷出装置制造的光内部连接器装置用的微透镜阵列的说明图。在液滴喷出装置中在图8及图9所示的由透明基板构成的对象物W1的规定的位置上从液滴喷出头喷出感光性的透明树脂(液状粘性物)，然后进行紫外线固化，只要在透明基板上的规定的位置上形成了具有规定大小的微透镜L，便可制造出光内部连接器装置用的微透镜阵列50a、50b。
这里，在图8所示的微透镜阵列50a中，微透镜L在X方向和Y方向上被排列成矩阵状。而在图9所示的微透镜阵列50b中，微透镜L在X方向和Y方向上形成不规则的分散。另外，微透镜阵列除了用于光内部连接器装置，还可用于液晶显示板，但是即使在制造液晶显示用的微透镜时，只要使用应用本发明的喷墨式装置，由于不需要使用光刻技术，所以可提高微透镜阵列的生产效率。
图10是示意表示使用了运用本发明的液滴喷出装置制造的彩色滤色基板的液晶装置的结构的剖面图，图11A及图11B是分别表示在彩色滤色基板上的各色的配置状态的说明图。在图10中，在液晶装置60中，例如是将彩色滤色基板61与TFT阵列基板62在中间间隔规定的间隙进行贴合，且在这两基板之间封填作为电光物质的液晶63。在TFT阵列基板62中，在透明基板64的内侧面上矩阵状地配置像素切换用的TFT(未图示)及像素电极65，在其表面上形成取向膜66。对此，在彩色滤色基板61中，在透明基板67上在与像素电极65对向的位置上形成R、G、B的彩色滤色层72R、72G、72B，在其表面上形成平坦化膜68、对向电极70及取向膜71。
在彩色滤色基板61上，彩色滤色层71R、72G、72B形成在堤岸68的内侧，四周由竖直的或阶梯状的堤岸68包围。这里，彩色滤色层72R、72G、72B被配置成如图11A所示的交错排列，或者如图11B所示的直线排列等的规定的形状。
在制造具有这样结构的彩色滤色基板61时，首先，在透明基板67的表面上形成堤岸68，然后使用在上述的实施例1～实施例3中说明的液滴喷出装置，向各个堤岸68的内侧填充规定的颜色的树脂(液状粘性物)，之后进行紫外线固化或热固化，由此形成彩色滤色层72R、72G、72B。从而，由于不需使用光刻技术便可形成彩色滤色层72R、72G、72B，所以，可提高彩色滤色基板的生产效率。
图12是表示有机EL装置的构成的一例的剖面图。如图12所示，有机EL装置301在由基板311、电路元件部321、像素电极331、堤岸部341、发光元件351、阴极361(对向电极)及密封用基板371构成的有机EL元件302上连接有柔性基板(未图示)的布线及驱动IC(未图示)。电路元件部321形成在基板311上，在电路元件部321上整齐排列多个像素电极331。而且，在各个像素电极331之间形成格子状的堤岸部341，在由堤岸部341构成的凹部开口344内，形成发光元件351。阴极361形成在堤岸部341及发光元件351的上部的全体面上，在阴极361的上面叠层密封用基板371。
包含有机EL元件的有机EL装置301的制造工序包括形成堤岸部341的堤纳部形成工序、为了准确地形成发光元件351的等离子处理工序、形成发光元件351的发光元件形成工序、形成阴极361的对向电极形成工序和在阴极361上叠层密封用基板371构成密封的密封工序。
发光元件形成工序是通过在凹部开口344，即，像素电极331上形成空穴注入/输送层352及发光层353而形成发光元件351，因此具有空穴注入/输送层形成工序和发光层形成工序。而且，空穴注入/输送层具有将为了形成空穴注入/输送层352的第1组成物(功能液)喷吐到各个像素电极331上的第1液滴喷出工序和使喷出的第1组成物干燥，形成空穴注入/输送层352的第1干燥工序，发光层形成工序具有将为了形成发光层353的第2组成物(功能液)喷吐到空穴注入/输送层352上的第2液滴喷出工序和使喷出的第2组成物干燥，形成发光层353的第2干燥工序。在该发光元件形成工序中，使用液滴喷出装置形成上述发光元件。
图13是表示等离子型显示装置的构成的一部分的分解立体图。如图13所示，等离子型显示装置400包括相互向配置的基板401、402及形成在基板401、402之间的放电显示部410。放电显示部410是多个放电室416的集合。在多个放电室416中，将红色放电室416(R)、绿色放电室416(G)、兰色放电室416(B)的3个放电室416配置成1组，构成1个像素。
在基板401的上面以规定的间隔，直线状地形成地址电极411，形成覆盖在地址电极411和基板401的上面的介电体层419。在介电体层419上位于地址电极411、411之间且沿着各个地址电极411形成隔壁415。隔壁415具有邻接于地址电极411的宽度方向左右两侧的隔壁和在与地址电极411直角交叉方向上延伸设置的隔壁。而且，对应由隔壁415分隔的长方形状的区域形成放电室416。另外，在由隔壁415划分的长方形状的区域的内侧配置有荧光体417。荧光体417可发出红、绿、兰的任意色的荧光，分别在红色放电室416(R)的底部配置有红色荧光体417(R)、在绿色放电室416(G)的底部配置有绿色荧光体417(G)、在兰色放电室416(B)的底部配置有兰色荧光体417(B)。
另一方面，在基板402上，在上述的与地址电极411直角交叉的方向上直线状地以规定的间隔形成多个显示电极412。并且，形成覆盖这些的由介电体层413及MgO等构成的保护膜414。基板401与基板402使地址电极411与显示电极412相互直角交叉地相互对向地相互帖合。地址电极411及显示电极412与未图示的交流电源连接。通过向各个电极通电，使在放电显示部410中的荧光体417激励发光，从而实现彩色显示。本发明实施例的液滴喷出装置用于在由隔壁415划分的长方形状的区域内侧配置荧光体417。
图14A～14C是表示具有电场发射元件的电场发射显示器(FED)的构成的图。图14A是简要表示构成FED的阴极基板与阳极基板的配置关系分解立体图。图14B是表示设置在FED的阴极基板上的驱动电路的主要结构的电路图。图14C是表示阴极基板的主要部分的立体图。如图14A所示，FED500为将阴极基板500a与阳极基板500b对向配置的结构。
如图14A、14B所示，阴极基板500a具有由栅极线501、发射极线502、与栅极线501及发射极线502连接的电场发射元件503构成的所谓的纯矩阵驱动电路。向栅极线501供给栅极信号V1、V2、...、Vm，向发射极线502供给发射极信号W1、W2、...、Wm。另外，阳极基板500b具备具有通过受电子的撞击而发光的性质的荧光体，作为该荧光体，设置有可发出红、绿、兰的任意色的荧光的荧光体。
如图14所示，电场发射元件503包括与发射极线502连接的发射极电极503a、与栅极线501连接的栅极电极503b。另外，发射极电极503a具有从发射极电极503a侧朝向栅极电极503b其直径变小的被称为发射极端子505的突起部，在栅极电极503b的对应该发射极端子505的位置上形成孔部504，将发射极端子505的前端配置在该孔部504内。
当将电压供给在被设置在电场发射元件503上的发射极电极503a与栅极电极503b之间，在电场的作用下电子510从发射极端子505向孔部504移动，电子510从发射极端子505被发射出来。通过使发射出来的电子510撞击与阴极基板500a对向配置的阳极基板500b的荧光体，使荧光体发光。由此，只要通过控制栅极线501的栅极信号V1、V2、...、Vm及发射极线502的发射极信号W1、W2、...、Wm，驱动FED500，便可进行所希望的色彩显示。本发明实施例的液滴喷出装置用于在阳极基板500b上配置荧光体。
上述的液晶装置、有机EL装置、等离子型显示装置、FED等的器件可配置在笔记本型计算机及移动电话机等的电器仪器中。但是，本发明所指的电器仪器，不限于上述的笔记本型计算机及移动电话机，可应用于各种的电器仪器中。例如，可应用于液晶投影仪、多媒体个人计算机(PC)及工程工作站(EWS)、寻呼机、文字处理机、电视机、寻像型或监视器直视型的录象机、电子记事本、台式计算机、车辆导航装置、POS终端、具有触摸屏的装置等的电子仪器。

Claims (13)

1.一种液滴喷出装置，是一种向工件喷出液滴的液滴喷出装置，其特征在于：包括：
多种液滴喷出头；
具有用于抑制施加与所述液滴喷出头的驱动波形的振荡的电路的多个控制装置；
对应从所述液滴喷出头喷出的所述液滴的种类选择出所述多个所述控制装置其中之一的选择装置，
通过由所述选择装置所选择的所述控制装置将所述驱动波形施加于所述液滴喷出头。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：所述选择装置具有与所述控制装置和所述液滴喷出头连接的多个电开关，通过切换该电开关的连接状态，选择与所述液滴喷出头连接的多个所述控制装置其中之一。
3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：所述选择装置具有切换所述控制装置和所述液滴喷出头的电连接状态的多个机械开关。
4.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于：所述电开关是模拟开关。
5.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于：所述机械开关是由用户操作的拨动开关。
6.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：具有：
配置有所述多种液滴喷出头的滑架；
分别向所述多种液滴喷出头供给功能液的功能液供给机构；
通过所述滑架使所述多种液滴喷出头相对所述工件移动的移动机构；
与所述移动机构同步地控制所述液滴喷出头的某一个的喷出驱动的驱动控制装置。
7.一种液滴喷出装置，是一种向工件喷出液滴的液滴喷出装置，其特征在于：包括：
具有各个规格互不相同的液滴喷出头，并具有可更换的结构的头单元；
对被设置在所配置的头单元上的所述液滴喷出头进行驱动的驱动装置，
各个所述头单元包括具有用于抑制对应所设置的所述液滴喷出头的电特性而选择的驱动波形的振荡的电路的多个控制装置。
8.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：所述控制装置包括电阻成分和电容成分。
9.一种液滴喷出方法，是一种向工件喷出液滴的液滴喷出方法，其特征在于：包括：
从规格互不相同的多个液滴喷出头选择出应驱动的液滴喷出头的头选择工序；
对应从所述液滴喷出头喷出的所述液滴的种类，从具有用于抑制施加于所述液滴喷出头的驱动波形的振荡的电路的多个控制装置中选择某一个的控制装置选择工序；
通过由所述控制装置选择工序所选择的控制装置向由所述头选择工序所选择的液滴喷出头供给驱动信号，使其喷出所述液滴的驱动工序。
10.一种成膜装置，其特征在于：具有权利要求1所述的液滴喷出装置。
11.一种成膜方法，其特征在于：包括使用权利要求1所述的液滴喷出装置或权利要求9所述的液滴喷出方法，喷出液滴进行成膜的工序。
12.一种器件制造方法，是一种具有在规定的部位上形成具有功能性图形的工件的器件制造方法，其特征在于：包括在所述工件的规定部位上，使用权利要求1所述的液滴喷出装置或权利要求9所述的液滴喷出方法，喷出液滴，在所述工件上形成所述图形的工序。
13.一种具有使用权利要求1所述的液滴喷出装置或权利要求9所述的液滴喷出方法所制造的器件的电子仪器。
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