JP2004188383A

JP2004188383A - 吐出パターンデータ作成装置、描画システム、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器

Info

Publication number: JP2004188383A
Application number: JP2002362429A
Authority: JP
Inventors: Hayato Takahashi; 隼人高橋
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-12-13
Filing date: 2002-12-13
Publication date: 2004-07-08

Abstract

【課題】所望とするパターンを液滴吐出装置に描画させることが可能な吐出パターンデータを簡易に作成できる吐出パターンデータ作成装置、描画システム、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】吐出パターンデータに基づき、機能液滴吐出ヘッド３４に形成したノズル列４８を構成する複数のノズル４７から選択的に機能液滴を吐出させ、１ラインずつ描画を行う液滴吐出装置３の吐出パターンデータを作成する吐出パターンデータ作成装置４において、描画するライン毎に、ノズル列４８のノズル４７の中から機能液を吐出させる有効ノズルを設定するノズル設定データを作成するノズル設定データ作成手段と、作成されたノズル設定データに基づき、吐出パターンデータを作成する吐出パターンデータ作成手段と、を有することを特徴とする。
【選択図】図５

Description

【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドに形成した複数のノズルから、ワーク上に選択的に機能液滴を吐出させるための吐出パターンを作成する吐出パターンデータ作成装置、描画システム、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタ等の印刷装置では、所定の位置関係にある格子点位置に対して、インク（機能液）を吐出させるか否かを表す二値化した印字イメージに基づいて、インクジェットヘッドからインクを選択的に吐出させ、印刷を行っている。そして、このような印刷装置を用いて入力したデータを印刷する場合には、先ず入力したデータに関して画像処理を行い、印字イメージを作成している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ところで、印刷装置のインクジェットヘッドは、微小なインク滴を精度良く吐出できることから、各種製造分野での応用が期待されており、インクジェットヘッドを応用した一例として、機能液滴吐出ヘッドに特殊なインクや感光性の樹脂液等の機能液を導入し、基板等のワークに対して機能液滴を精度良く吐出させる液滴吐出装置が考えられている。製造分野で液滴吐出装置を用いる場合、ワーク上に何滴の機能液を吐出させるか等の量的な設定を行ったうえで、多種多様なパターンを描画することが必要となる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−３１９０号公報（第８頁−第１３頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、印字イメージは、所定の位置関係にある格子点位置に対してインクを吐出させるか否かを二値化したデータであるため、（機能液の）吐出間隔や吐出回数等を任意に設定することができない。したがって、パターンを描画するための量的な設定をすることができず、所望とするパターンを描画させることができない。
【０００６】
そこで、本発明は、液滴吐出装置に、所望とするパターンを描画させることが可能な吐出パターンデータを簡易に作成できる吐出パターンデータ作成装置、描画システム、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、吐出パターンデータに基づき、ワークに対して機能液滴吐出ヘッドを相対的に走査させながら、当該機能液滴吐出ヘッドに形成したノズル列を構成する複数のノズルから選択的に機能液滴を吐出させることにより、ワーク上に１ラインずつ描画を行う液滴吐出装置の吐出パターンデータを作成する、吐出パターンデータ作成装置において、描画するライン毎に当該ライン上に機能液を吐出させる有効ノズルを、ノズル列を構成する複数のノズルの中から設定するノズル設定データを作成するノズル設定データ作成手段と、作成されたノズル設定データに基づいて、吐出パターンデータを作成する吐出パターンデータ作成手段と、を有していることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、ノズル設定データ作成手段によりノズル設定データを作成し、作成したノズル設定データに基づいて、吐出パターンデータを作成することにより、ライン毎に当該ライン上に機能液を吐出させる有効ノズルを設定することができる。このように、ライン毎に有効ノズルを設定することで、液滴吐出装置に多種多様なパターンを描画させることができる。また、ライン毎に有効ノズルを設定できるため、使用するノズルを限定すること、すなわちノズル列から使用しないノズルを間引くこと、ができる。なお、ここでいう「１ライン」とは、機能液滴吐出ヘッドに形成したノズル列に対応して描画され、走査方向（描画方向）に直交した直線上に吐出された機能液滴のドットパターンのことであり、走査方向に対して複数のラインを連続的に描画することにより、ワーク上にパターンが描画される。
【０００９】
この場合、ノズル設定データ作成手段は、ノズル列を構成する複数のノズルの配置に対応させたノズル列配置画像を表示画面上に表示するノズル列配置画像表示手段と、表示されたノズル列配置画像を構成するノズル画像の中から有効ノズルとするノズル画像を選択することにより、有効ノズルおよび機能液を吐出させない無効ノズルの配置を示す基準配置を作成する基準配置作成手段と、作成した前記基準配置に対応させて、ノズル設定データを生成するノズル設定データ生成手段と、を有していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ノズル列配置画像表示手段によって表示画面上に表示されたノズル列配置画像を見ながら、有効ノズルとするノズル画像を選択することができるので、容易に所望とする基準配置を作成することが可能である。そして、作成された基準配置に対応させて、ライン毎にノズル列の各ノズルを有効ノズルまたは無効ノズルに設定するノズル設定データを生成するノズル設定データ生成手段を備えているので、容易にノズル設定データを生成させることができる。
【００１１】
この場合、ノズル列配置画像表示手段は、一部のノズル列に対応させた部分ノズル列配置画像を表示し、基準配置作成手段は、部分ノズル列配置画像のノズル画像の中から有効ノズルとするノズル画像を選択することにより、有効ノズルおよび無効ノズルの配置を示す部分基準配置を作成する部分基準配置作成手段と、作成した部分基準配置を列方向に繰り返して、基準配置を生成する基準配置生成手段と、を有していることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、部分基準配置作成手段により、一部のノズル列に対応する、すなわちノズル列配置画像の一部分である、部分ノズル列配置画像から、有効ノズルとするノズル画像を選択することにより部分基準配置を作成し、作成した部分基準配置を列方向に繰り返すことにより基準配置を生成するので、容易かつ迅速に基準配置を作成することができる。
【００１３】
この場合、ノズル設定データ作成手段は、作成した基準配置を適用し、連続してラインを描画するときの連続数を設定する連続数設定手段をさらに備えていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、作成した基準配置を適用し、連続してラインを描画するときの連続数を設定する連続数設定手段を備えているので、同一のドットパターンを連続して描画する場合には、当該基準配置を適用する連続数（連続して描画させるライン数）を設定することにより、簡易にノズル設定データを作成することができる。すなわち、同一のドットパターンを連続して描画するラインにおいては、ライン毎に基準配置を作成する必要がなくなるため、容易かつ迅速にノズル設定データを作成可能である。
【００１５】
この場合、ノズル設定データ作成手段は、作成した基準配置を示す基準配置画像の少なくとも一部分を表示する基準配置画像表示手段をさらに備え、基準配置画像表示手段は、複数の基準配置の基準配置画像を表示することが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、作成した基準配置の少なくとも一部分を表示する基準配置画像表示手段を備えていると共に、基準配置画像表示手段では、複数の基準配置を表示することが可能であるので、作成した基準配置を表示画面上で視認することができ、適切なノズル設定データを作成することができる。また、表示された基準配置を見ながら、連続してラインを描画するときの連続数を設定することができるため、連続数を設定する際の操作性および利便性を向上させることができる。
【００１７】
この場合、ワーク上に描画するライン間の描画間隔を設定する描画間隔設定手段をさらに備え、吐出パターンデータ作成手段は、作成されたノズル設定データおよび設定された描画間隔に基づいて、吐出パターンデータを作成することが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ノズル設定データと併せて、描画間隔設定手段によりワーク上に描画するライン間隔を設定することにより、ワーク上に任意のパターンを描画させることが可能である。また、この描画間隔を変化させることにより、ワーク上に吐出させる機能液の量を増減させることができ、ワーク上に吐出させる機能液量の設定を行うことが可能である。すなわち、描画間隔を広く設定すればワーク上に描画されるライン数を減少させることができ、描画間隔を狭く設定すれば、ライン数を増加させて、ワークに対して密に機能液を吐出させることができる。
【００１９】
この場合、吐出パターンデータは、単位吐出パターンデータを繰り返し配置することにより構成されており、吐出パターンデータ作成手段は、単位吐出パターンデータを作成する単位吐出パターンデータ作成手段と、単位吐出パターンデータの配置パターンを設定する配置パターン設定手段と、作成した単位吐出パターンデータおよび設定した配置パターンに基づいて、吐出パターンデータを生成する吐出パターンデータ生成手段と、を備えていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、吐出パターンデータ作成手段は、吐出パターンデータの一部を構成する単位吐出パターンデータと当該単位吐出パターンデータの配置を表す配置パターン、すなわち単位吐出パターンデータの繰り返しパターン、に基づいて、吐出パターンデータを生成するので、単位吐出パターンデータ作成手段で単位吐出パターン作成し、配置パターン設定手段で配置パターンを設定することにより、容易に吐出パターンデータを作成することが可能である。
【００２１】
本発明の描画システムは、上記した吐出パターンデータ作成装置と、ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、上記した吐出パターンデータ作成装置により多様な吐出パターンデータを簡易に作成することができるので、多様な吐出パターンを描画システムに容易に描画させることが可能である。
【００２３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した描画システムを用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置は、上記した描画システムを用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、多様な吐出パターンを容易に描画可能な、上記の描画システムを用いた製造を行っているので、多様な製品に容易に対応することが可能となり、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２５】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２６】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態の描画システムは、いわゆるフラットディスプレイの一種である液晶表示装置を製造する描画システムに本発明の吐出パターンデータ作成装置を適用したものであり、液晶表示装置におけるカラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青））を形成するものである。
【００２８】
描画システムの説明に先立ち、液晶表示装置の構造および製造方法について説明する。図７は、液晶表示装置３０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置３０１は、カラーフィルタ３０２と、対向基板３０３と、カラーフィルタ３０２と対向基板３０３との間に封入された液晶組成物３０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板３０３の内側の面には、画素電極３０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。そして、画素電極３０５に対向する位置に、カラーフィルタ３０２の赤、緑、青の着色層３１３が配列するようになっている。また、カラーフィルタ３０２および対向基板３０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜３０６が形成されており、カラーフィルタ３０２および対向基板３０３のそれぞれ外側の面には、偏光板３０７が接着されている。
【００２９】
カラーフィルタ３０２は、透光性の透明基板３１１と、透明基板３１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）３１２と、画素３１２上に形成された着色層３１３と、各画素３１２を仕切る遮光性の仕切り３１４と、を備えており、着色層３１３および仕切り３１４の上面には、オーバーコート層３１５および電極層３１６が形成されている。
【００３０】
液晶表示装置３０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板３１１に仕切り３１４を作り込んだ後、画素３１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層３１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層３１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（indium tin oxide）から成る電極層３１６を形成して、カラーフィルタ３０２を作成する。また、対向基板３０３には、画素電極３０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ３０２および画素電極３０５が形成された対向基板３０３に配向膜３０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ３０２および対向基板３０３との間に液晶組成物３０４を封入した後、偏光板３０７およびバックライトを積層する。
【００３１】
次に、描画システム１について説明する。この描画システム１は、仕切り３１４を作りこんだ透明基板３１１の画素３１２部分に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の３色に対応させた機能液を吐出させ、カラーフィルタ３０２の着色層３１３を形成するものである。図１に示すように、描画システム１は、処理前のワークＷ（透明基板３１１）を搬入する搬入マガジンローダ２と、３台の液滴吐出装置３と、各液滴吐出装置３を制御する３台の制御ＰＣ４（吐出パターンデータ作成装置）と、ワークＷをシステム内で移載するワーク移載装置５と、処理後のワークＷを搬出する搬出マガジンローダ６と、を備えている。３台の液滴吐出装置３は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色に対応しており、搬入マガジンローダ２から搬入されたワークＷは、ワーク移載装置５によって移載され、各液滴吐出装置３で１色ずつ描画された後、搬出マガジンローダ６に送り出される。
【００３２】
ここで、液滴吐出装置３について説明する。図２および図３に示すように、液滴吐出装置３は、機能液を吐出するための吐出手段１１と、吐出手段１１のメンテナンスを行うメンテナンス手段１２と、各手段に液体（例えば、機能液）を供給すると共に不要となった液体を回収する液体供給回収手段１３と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段１４と、を備えている。吐出手段１１の主要部は、架台２１上に設けた石定盤２２上に配設され、これらと一体的に添設した共通機台２３には、メンテナンス手段１２、液体供給回収手段１３、およびエアー供給手段１４の主要部が配設されている。
【００３３】
吐出手段１１は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド３４を有するヘッドユニット３１と、ヘッドユニット３１を支持するメインキャリッジ３２と、メインキャリッジ３２を介して、ヘッドユニット３１（機能液滴吐出ヘッド３４）をワークＷに対して相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構３３と、を有している。
【００３４】
図４に示すように、ヘッドユニット３１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド３４と、機能液滴吐出ヘッド３４を搭載するサブキャリッジ３５と、各機能液滴吐出ヘッド３４をサブキャリッジ３５に取り付けるためのヘッド保持部材３６と、で構成されている。
【００３５】
同図に示すように、機能液滴吐出ヘッド３４は、いわゆる２連のものであり、機能液の供給を受ける機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４２と、機能液導入部４１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４３と、を備えている。ヘッド本体４３は、２連のポンプ部４４（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル４７を形成したノズル形成プレート４５と、を有しており、機能液滴吐出ヘッド３４では、ポンプ部４４の作用により吐出ノズル４７から機能液滴を吐出するようになっている。ノズル形成プレート４５の下面は、ノズル形成面４６となっており、ノズル形成面４６には、２列のノズル列４８が形成されている。各ノズル列４８は、等間隔に並べられた１８０個の吐出ノズル４７で構成されている。
【００３６】
サブキャリッジ３５には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３４が６個ずつに二分され、ワークＷへの十分な塗布密度を確保すると共に、ノズル間隔を調整するために、所定角度傾けてサブキャリッジ３５に固定されている。また、二分された６個の機能液滴吐出ヘッド３４は、機能液滴吐出ヘッド３４のノズル列４８が副走査方向において連続するようサブキャリッジ３５に固定されており、副走査方向に連続する吐出ノズル４７により、ワークＷ上に１ラインずつ描画するよう構成されている。ここでいう「１ライン」とは、副走査方向に連続する吐出ノズル４７（ノズル列４８）によって描画される、主走査方向に直交した直線のことである。なお、吐出ノズル４７が副走査方向に連続して、１ラインの描画が可能となるように配置されていれば、機能液滴吐出ヘッド３４の個数や配列は上記したものに限られず任意であり、例えば、機能液滴吐出ヘッド３４に利用目的に合わせた専用のものを用いれば、あえて機能液滴吐出ヘッド３４を傾ける構成とする必要はない。
【００３７】
図３に示すように、メインキャリッジ３６は、後述するＹ軸テーブル６３に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材５１と、吊設部材５１の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット３１の）θ方向に対する位置補正を行うためのθテーブル５２と、θテーブル５２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体５３と、で構成されている。キャリッジ本体５３には、ヘッドユニット３１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット３１を位置決め固定するようになっている。なお、キャリッジ本体５３には、ワークＷを認識するためのワーク認識カメラ（図示省略）が配設されている。
【００３８】
図２および図３に示すように、Ｘ・Ｙ移動機構３３は、ワークＷを吸着（固定）する吸着テーブル６２を有し、吸着テーブル６２を介してワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル６１と、メインキャリッジ３２を介してヘッドユニット３１をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるＹ軸テーブル６３と、を備えている。Ｘ・Ｙ移動機構３３は、上記した石定盤２２上に配設されており、ワークＷの平坦度を維持すると共に、ヘッドユニット３１を正確に移動させることができるようになっている。なお、Ｘ軸テーブル６１には、ワークＷのホーム位置を基準としてワークＷの位置を検出するためのＸ軸リニアスケール６４が、Ｙ軸テーブル６３には、ヘッドユニット３１のホーム位置を基準としてヘッドユニット３１の位置を検出するためのＹ軸リニアスケール６５が、それぞれ併設されている。そして、Ｘ軸リニアスケール６４は、０．５μｍ間隔で、ワークＷの位置を検出できるようになっている。
【００３９】
ここで、吐出手段１１の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、ヘッドユニット３１およびセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、Ｘ・Ｙ移動機構３３（Ｘ軸テーブル６１）が、ホーム位置からワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動させる。ワークＷの往動と同期して、複数の機能液滴吐出ヘッド３４が駆動し、ワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出動作が１ラインずつ行われる。ワークＷの往動が終了すると、Ｘ・Ｙ移動機構３３はワークＷを復動させ、ホーム位置に移動させる。（なお、本実施形態では、復動時には機能液滴吐出ヘッド３４の駆動は行われない。）ワークＷがホーム位置に戻ると、Ｘ・Ｙ移動機構３３（Ｙ軸テーブル６３）は、ヘッドユニット３１を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。このように、ワークＷの主走査方向への往復動と副走査方向への移動とを繰り返しながら、１色分についてのパターンをワークＷ上に描画していく。
【００４０】
なお、本実施形態では、ヘッドユニット３１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット３１を主走査方向に移動させる構成であってもよいし、ヘッドユニット３１を固定とし、ワークＷを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷの主走査方向への往復動時に機能液滴吐出ヘッド３４を駆動させる構成とすることも可能である。
【００４１】
次に、メンテナンス手段１２について説明する。メンテナンス手段１２は、機能液滴吐出ヘッド３４を保守して、機能液滴吐出ヘッド３４が適切に機能液を吐出できるようにするものであり、吸引ユニット７１、ワイピングユニット７２、およびフラッシングユニット７３を備えている（図２参照）。吸引ユニット７１は、機能液滴吐出ヘッド３４の全吐出ノズル４７から吸引を行い、全吐出ノズル４７から機能液を強制的に吐出させるためのもので、機能液滴吐出ヘッド３４のクリーニング時等に用いられる。また、ワイピングユニット７２は、クリーニング等を行うことにより汚れた機能液滴吐出ヘッド３４のノズル形成面４６を拭き取るためのものである。
【００４２】
フラッシングユニット７３は、機能液滴吐出ヘッド３４の吐出ノズル４７内で目詰まりが生じることを防止するために、機能液滴吐出ヘッド３４の全吐出ノズル４７から吐出される（フラッシングされる）機能液を受けるためのものである。フラッシングユニット７３は、上記した吸着テーブル６２を挟み、Ｘ軸テーブル６１に固定された１対のフラッシングボックス７４（片側のみ図示）を備えており、この１対のフラッシングボックス７４に対して、フラッシングを行うようになっている。フラッシングボックス７４は、吸着テーブル６２に載置されたワークＷと共に移動していくので、ワークＷの移動と同期して定期的にフラッシングを行うことができるようになっている。
【００４３】
次に、液体供給回収手段１３について説明する。液体供給回収手段１３は、ヘッドユニット３１の各機能液滴吐出ヘッド３４に機能液を供給する機能液供給系８１と、メンテナンス手段１２の吸引ユニット７１で吸引した機能液を回収する機能液回収系８２と、ワイピングユニット７２に機能材料の溶剤を洗浄用として供給する洗浄液供給系８３と、フラッシングユニット７３で受けた機能液を回収する廃液回収系８４と、で構成されている（図３参照）。
【００４４】
次に、エアー供給手段１４について説明する。エアー供給手段１４は、不活性ガス（Ｎ₂）を圧縮した圧縮エアーを吸着テーブル６２等の各部に供給するためものである。図示省略したが、エアー供給手段１４は、不活性ガスを圧縮するエアーポンプ（コンプレッサー）と、エアーポンプからの圧縮エアーを供給先に応じて一定圧力に保つレギュレータと、エアーポンプと各部とを配管接続して、圧縮エアーを各部に供給するエアー供給チューブと、を備えている。
【００４５】
次に、液滴吐出装置３の制御方法について説明する。液滴吐出装置３は、上記したように、制御ＰＣ４によって制御されており、制御ＰＣ４は、記憶領域に制御プログラムや制御データを記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。
【００４６】
例えば、制御ＰＣ４には、カラーフィルタ３０２（の着色層３１３）を作成するための吐出パターンデータが格納されており、制御ＰＣ４は、吐出パターンデータに基づいて機能液滴吐出ヘッド３４の駆動を制御し、吐出ノズル４７から選択的に機能液を吐出させるようにしている。具体的に説明すると、先ず、上記したＸ軸リニアスケール６４およびＹ軸リニアスケール６５で検出されるワークＷの位置およびヘッドユニット３１の位置に対応させて、順次吐出パターンデータを取り出す。取り出した吐出パターンデータは、機能液滴吐出ヘッド３４の駆動信号に変換された後、機能液滴吐出ヘッド３４に送られる。そして、送られた駆動信号に基づいて、機能液滴吐出ヘッド３４のポンプ部４４が駆動され、各吐出ノズル４７から選択的に機能液が吐出されるようになっている。
【００４７】
また、制御ＰＣ４に格納されている吐出パターンデータは、ユーザにより制御ＰＣ４の表示画面７上で設定された種々の設定情報に基づいて制御ＰＣ４の作業領域で生成されるようになっており、本実施形態では、吐出パターンデータを生成するために、「ヘッドパラメータ」、「フラッシングパラメータ」、吐出パターンデータを構成する単位吐出パターンデータを作成するための「ノズルＯＮ／ＯＦＦ配列」、および設定されたノズルＯＮ／ＯＦＦ配置に基づいて、単位吐出パターンデータを作成すると共に、作成した単位吐出パターンデータの配列方法を設定する「パターン配置」を設定する構成となっており、これらの設定情報は、制御ＰＣ４の表示画面７上に表示された専用の設定画面である吐出パターンデータ設定画面１０１上から入力するようになっている（図５参照）。
【００４８】
そして、吐出パターンデータ設定画面１０１上で「ヘッドパラメータ」、「フラッシングパラメータ」、「ノズルＯＮ／ＯＦＦ配列」、および「パターン配置」を設定した後、吐出パターンデータ設定画面１０１上のスタートボタン１０２をクリックすると、所定のアルゴリズムに基づいて、制御ＰＣ４の作業領域で各種データが処理され、吐出パターンデータが作成される。そして、作成された吐出パターンデータは、制御ＰＣ４の記憶領域に記憶される。
【００４９】
図５に示すように、ヘッドパラメータは、ヘッドパラメータ設定ボックス１１１に表示されるテキストボックスに数値入力することにより設定される。ヘッドパラメータ設定ボックス１１１には、サブキャリッジ３５への機能液滴吐出ヘッド３４の「取付け角度θ（Head angle）」を設定する取付け角度設定ボックス１１２と、主走査方向に対する吐出ノズル４７の「吐出間隔ＤＰ(Drop pitch)」を設定する吐出間隔設定ボックス１１３と、主走査方向に対するカラーフィルタ３０２の「１画素の長さＰＰ（Pixel pitch）」を設定する画素長設定ボックス１１４と、機能液滴吐出ヘッド３４の「使用ノズル数」を設定するノズル数設定ボックス１１５と、を有している。
【００５０】
取付け角度設定ボックス１１２では、任意の数値を入力することにより、サブキャリッジ３５への取付け角度θを設定できるようになっており、カラーフィルタ３０２の副走査方向に対する画素間隔に合わせて、機能液滴吐出ヘッド３４の吐出ノズル４７の間隔を任意に調整可能となっている。例えば、カラーフィルタ３０２の１画素に対し、１個の吐出ノズル４７を対応させるようにサブキャリッジ３５への取付け角度θを設定することで、ワークＷ（カラーフィルタ３０２の透明基板３１１）に効率良く描画を行うことができる。また、カラーフィルタ３０２の１画素に対して、２個以上の吐出ノズル４７を対応させる取付け角度θに設定すれば、機能液の十分な塗布密度を確保することも可能である。
【００５１】
吐出間隔設定ボックス１１３では、吐出ノズル４７の吐出間隔ＤＰを設定可能である（図５および６参照）。上述したように、液滴吐出装置３はノズル列４８（吐出ノズル４７）が副走査方向に連続して、１ラインずつ描画を行っており、吐出間隔設定ボックス１１３では、１ラインずつ描画を行った際のライン間隔を設定することができる。また、画素長設定ボックス１１４では、機能液滴の吐出対象である透明基板３１１の１画素の長さ（ＰＰ）に対応させ、吐出間隔と同様に、数値入力するようになっている。なお、吐出間隔ＤＰおよび１画素の長さＰＰを設定する際の単位は、μｍである。
【００５２】
ノズル数設定ボックス１１５では、１個の機能液滴吐出ヘッド３４あたりの使用ノズル数を設定できるようになっており、ノズル列４８を構成する１８０個の吐出ノズル４７から、使用を開始する開始ノズルと、使用を終了する終了ノズルと、を設定するようになっている（図５参照）。例えば、開始ノズルを１１、終了ノズルを１７１とした場合、１８０個の吐出ノズル４７のうち、１１番目の吐出ノズル４７から１７１番目の吐出ノズル４７までが、カラーフィルタ３０２の描画に使用される使用ノズルとして設定される。
【００５３】
次に、「フラッシングパラメータ」について説明する。フラッシングパラメータは、フラッシングパラメータ設定ボックス１２１内のテキストボックスにより、ワークＷ（透明基板３１１）のホーム位置を基準として設定される。図５および図６に示すように、フラッシングパラメータ設定ボックス１２１には、ワークＷが移動を開始してから機能液滴吐出ヘッド３４がフラッシングを開始するまでの「助走距離α」を設定する助走距離設定ボックス１２２と、助走距離Ａを経て機能液滴吐出ヘッド３４がフラッシングを行う「フラッシング範囲β」を設定するフラッシング範囲設定ボックス１２３と、フラッシング範囲β内における「フラッシング回数」を設定するフラッシング回数設定ボックス１２４と、フラッシングを終えてからワークＷに描画を開始するまでの「空走距離γ」を設定する空走距離設定ボックス１２５と、が設けられている。すなわち、フラッシングパラメータを設定することにより、ワークＷのホーム位置から機能液滴吐出ヘッド３４が描画を開始するまでの描画開始位置も設定可能となっている。なお、フラッシング回数を除く、フラッシングパラメータの設定単位は、μｍである。
【００５４】
次に、「ノズルＯＮ／ＯＦＦ配列」について説明する。「ノズルＯＮ／ＯＦＦ配列」は、機能液滴吐出ヘッド３４に形成したノズル列４８の各吐出ノズル４７に対応した、機能液を吐出させる有効ノズル（ノズルＯＮ）と機能液を吐出させない無効ノズル（ノズルＯＦＦ）とで構成される基準配列を作成するために、ノズルＯＮ／ＯＦＦ設定ボックス１３１内に表示される部分ノズル列配置画像１３２を用いて、基準配列の一部である部分基準配列を作成するものである。
【００５５】
基準配列は、部分ノズル列配置画像１３２で作成された部分基準配列を（ノズル列４８の）列方向に繰り返すことにより作成される。例えば、１６個分の吐出ノズル４７に対応する部分基準配列を用い、１８０個の使用ノズルに対する基準配列を作成する場合、部分基準配列を１１回繰り返し、最後残りの４吐出ノズル４７分は部分基準配列の最初の４吐出ノズル４７分を割り当てるようにする。このように、基準配列を部分基準配列に基づいて作成することにより、吐出ノズル４７が多数配設されている場合でも容易かつ迅速に基準配列を作成することができる。また、必要に応じて、使用ノズルを無効ノズルに設定することにより、使用ノズルを間引くことが可能となる。
【００５６】
基準配列は、１ラインの描画において、吐出される機能液滴のドットパターンに対応しており、「ノズルＯＮ／ＯＦＦ配列」は、ワークＷ上に描画する描画パターン、すなわち仕切り３１４を作り込まれた透明基板３１１の画素３１２の配置に対応させて設定するようになっている。
【００５７】
図５に示すように、部分ノズル列配置画像１３２は、機能液滴吐出ヘッド３４のノズル列４８の一部分が対応しており、１６個の吐出ノズル画像１３３（ラジオ・ボタン）から構成されている。そして、部分ノズル列配置画像１３２の各吐出ノズル画像１３３を有効ノズルまたは無効ノズルに設定することにより、１６個の吐出ノズル４７に対応する部分基準配列を作成するようになっている。また、同図に示すように、ノズルＯＮ／ＯＦＦ設定ボックス１３１には、２列の部分ノズル列配置画像１３２が表示されており、２種類ずつ部分基準配列を作成可能である。
【００５８】
１６個の各吐出ノズル画像１３３は、表示画面７上のカーソル（図示省略）を合わせてクリックすることにより、有効ノズル（ノズルＯＮ）と無効ノズル（ノズルＯＦＦ）とを切り替えられるようになっており、有効ノズルに設定されると赤く表示され、無効ノズルに設定されると黒く表示される。また、部分ノズル列配置画像１３２の各吐出ノズル画像１３３には、部分基準配列の設定を容易にするために、１から１６までの番号が付されている。なお、部分ノズル列配置画像１３２を構成する吐出ノズル画像１３３数は、任意に設定することが可能であり、例えば、３２個としても良いし、８個としても良い。
【００５９】
なお、各部分ノズル列配置画像１３２の上部には、それぞれＯＦＦボタン１３４が設けられており、ＯＦＦボタン１３４を押すことにより、対応する部分ノズル列配置画像１３２の全吐出ノズル画像１３３を無効ノズルに設定することができる（すなわち、吐出ノズル画像１３３の設定をリセットすることができる）。また、図示省略したが、ノズルＯＮ／ＯＦＦ設定ボックス１３１には、規則性を持って繰り返される部分基準配列を作成するためのボタンが用意されている。このボタンをカーソルで選択すると、部分基準配列を設定するためのメニューが表示され、表示されたメニュー項目から所望とする配列を選択することにより、部分基準配列を容易かつ迅速に設定可能となっている。メニュー項目には、例えば、偶数番号のみ有効ノズルに設定、奇数番号のみ有効ノズルに設定、または４の倍数番号のみ有効ノズルに設定、といったような、有効ノズル（無効ノズル）の配列設定に関する表示が為される。
【００６０】
ノズルＯＮ／ＯＦＦ設定ボックス１３１で作成された部分基準配列は、吐出パターンデータ設定画面１０１上の配列表示ボックス１４１に表示される。配列表示ボックス１４１には、図５に示すように、Ａ〜Ｈ列までの計８列の部分基準配列を表示可能であり、表示指定ボックス１４２により、作成した部分基準配列を表示させる列をＡ列〜Ｈ列の中から指定することができるようになっている。なお、詳細は後述するが、単位吐出パターンデータは、Ａ〜Ｈ列までの配列順に作成され、配列されていく。
【００６１】
表示指定ボックス１４２では、２種類ずつ部分基準配列を作成できるノズルＯＮ／ＯＦＦ設定ボックス１３１の表示に対応して、配列表示ボックス１４１の表示列を２列ずつ指定するようになっている。また、表示指定ボックス１４２で配列表示ボックス１４１の表示列を指定することにより、配列表示ボックス１４１に表示されている部分基準配列をノズルＯＮ／ＯＦＦ設定ボックス１３１の部分ノズル列配置画像１３２として表示できるようになっており、作成した部分基準配列を変更可能となっている。
【００６２】
次に、「パターン配置」について説明する。「パターン配置」では、パターン設定ボックス１５１内のテキストボックスを用いて、部分基準配列に基づいた単位吐出パターンデータの設定を行うと共に、設定した単位吐出パターンデータの配置パターン（配置方法）を指定する。ここでいう「単位吐出パターンデータ」とは、１つの基準配列を適用して作成される吐出パターンデータのことであり、パターン設定ボックス１５１には、配列表示ボックス１４１のＡ〜Ｈ列に対応して、ライン数設定ボックス１５２が設けられており、配列表示ボックス１４１に表示されているＡ〜Ｈ列の部分基準配列に対応させ、当該部分基準配列に基づいて作成された基準配列を適用して描画するラインの本数を設定することにより、単位吐出パターンデータの設定ができるようになっている（図５参照）。なお、本実施形態では、（Ａ〜Ｈ列の）８列の部分基準配列を配列表示ボックス１４１に表示できるようになっているが、配列表示ボックス１４１に表示する部分基準配列数は任意に設定可能であり、同様に、設定可能な単位吐出パターンデータ数も任意に設定可能である。
【００６３】
基準配列（部分基準配列）に対応して設定された単位吐出パターンデータは、Ａ〜Ｈ列の順に主走査方向（Ｘ軸方向）に配置され、組合せパターンデータが作成される。そして、作成された組合せパターンデータによって機能液滴吐出ヘッド３４に描画される組合せパターンは、吐出パターンデータ設定画面上に表示されるプレビューボタン（図示省略）をクリックすることにより、専用のプレビュー画面に表示されるようになっている。
【００６４】
なお、本実施形態では、各単位吐出パターンデータの後に、機能液滴吐出ヘッド３４の全吐出ノズル４７を無効ノズルに設定して、ラインの描画に際して機能液滴を一切吐出させない空吐出パターンデータを挿入できるようになっており、Ａ〜Ｈ列の部分基準配列に対応した空吐出ライン数設定ボックス１５３で空吐出パターンデータを構成するライン数も設定するようになっている。
【００６５】
また、「パターン配置」では、吐出パターンデータを構成する組合せパターンデータ数、すなわち組合せパターンデータの繰り返し配置数、を設定可能となっており、パターン設定ボックス１５１には、組合せパターンデータ数を設定するための組合せパターンデータ数設定ボックス１５４が設けられている。本実施形態では、設定した組合せパターンデータ数に基づいて、組合せパターンデータは、主走査方向に繰り返し配置されるようになっている。このように、吐出パターンデータを、組合せパターンデータを繰り返し配置して作成することで、容易に吐出パターンデータを作成可能である。
【００６６】
次に、吐出パターンデータ設定画面上における「ヘッドパラメータ」、「フラッシングパラメータ」、「ノズルＯＮ／ＯＦＦ配列」、および「パターン配置」の設定例と、これらの設定に基づいて作成したカラーフィルタ３０２の一例を示す。図６に示すように、吐出パターンデータ設定画面では、１画素に対して１つの吐出ノズル４７が対応するように、サブキャリッジ３５への機能液滴吐出ヘッド３４の取付け角度が設定されている。そして、Ａ〜Ｃ列の３つの部分基準配列が設定され、３つの単位吐出パターンデータが作成されるようになっている。Ａ列に対応する単位吐出パターンデータは２ライン、Ｂ列に対応する単位吐出パターンデータは４ライン、Ｃ列に対応する単位吐出パターンデータは１ラインで構成されるよう設定されている。また、各単位吐出パターンデータの後には、空吐出パターンデータが挿入されており、それぞれ３ライン、３ライン、１ラインの空吐出ラインが挿入される。そして、同図に示すように、３つの単位吐出パターンデータを組み合わせた組合せパターンデータが、カラーフィルタ３０２の１画素に対応するようになっている。
【００６７】
このように本実施形態では、基準配列と当該基準配列を適用して描画するライン数を設定することにより単位吐出パターンデータを作成し、これを複数組み合わせることにより、多様な組合せパターンを簡易に作成することが可能となっている。そして、作成した組合せパターンを所定のアルゴリズムに従って配置することにより、カラーフィルタ３０２の画素３１２内に機能液を適切に吐出させることが可能な吐出パターンデータを作成することができる。また、組合せパターンの繰り返しにより、吐出パターンデータが作成されているので、カラーフィルタ３０２の１画素内に機能液滴を均一に吐出させることが可能である。さらに、基準配列を適用して描画するライン数と吐出間隔とを任意に設定可能であるので、１画素内に吐出させる機能液滴数を調整することができる。
【００６８】
ところで、上記した描画システム１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができ、吐出パターンデータを簡易に作成して、これらを効率よく製造することが可能である。
【００６９】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した描画システム１を応用した例を簡単に説明する。有機ＥＬ装置は、図８に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００７０】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００７１】
上記した描画システム１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３１に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、描画システム１を利用して作成することも可能である。
【００７２】
また、他の電気光学装置としては、レンズ形成、金属配線形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、上記したプレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した描画システム１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。例えば、描画システムを用いて、眼鏡レンズをコーティングするコーティング膜を作成する場合のように、ワークＷ（眼鏡レンズ）の全面に機能液を吐出させる場合（すなわち、オーバーコートする場合）では、「吐出間隔」を調整すると共に、基準配列基準配列を適宜設定して単位吐出パターンデータを組み合わせることにより、機能液の吐出密度を調整して、コーティング膜の膜厚を調整することが可能である。例えば、偶数番号のみ有効ノズルに設定した（部分）基準配列と、奇数番号のみ有効ノズルに設定した（部分）基準配列と、を用いて単位吐出パターンデータを作成し、これらを組み合わせれば、ワークＷ上に吐出させる機能液滴量を均一に半減させることができ、コーティング膜の膜厚を薄く調整することができる。
【００７３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の吐出パターンデータ作成装置によれば、ノズル設定データを作成し、このノズル設定データに基づいて吐出パターンデータを作成するので、ワーク上に描画するライン毎に当該ライン上に機能液を吐出させる有効ノズルを設定して、液滴吐出装置に多種多様なパターンを描画させることができる。また、吐出パターンデータを作成するに際し、ノズル設定データと併せて、ワーク上に描画するライン間隔を設定することにより、液滴吐出装置に任意のパターンを描画させることができる。さらに、単位吐出パターンデータを繰り返し配置することにより吐出パターンデータを作成しているので、機能液滴の吐出回数を単位吐出パターンデータで設定することにより、ワークＷ上に吐出させる機能液滴を調整することができる。
【００７４】
また、本発明の描画システムは、上記の吐出パターンデータ作成装置を備えているので、多様な吐出パターンデータを容易に作成して、多様なパターンを描画することが可能である。さらに、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の描画システムを用いて製造されるので、これらを効率よく製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の描画システムを示した模式図である。
【図２】本実施形態における機能液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図３】本実施形態における機能液滴吐出装置の右側面図である。
【図４】ヘッドユニット廻りを説明した図であり、（ａ）はヘッドユニットを下面視した模式図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｃ）は機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに装着したときの断面図である。
【図５】制御ＰＣの表示画面に表示される吐出パターンデータ設定画面を示した図である。
【図６】吐出パターンデータ設定方法の説明図で、（ａ）は吐出パターンデータ設定画面におけるデータ設定例を示した図、（ｂ）はその描画結果を示した図である。
【図７】本発明の製造方法を用いて製造した液晶表示装置の断面図である。
【図８】本発明の製造方法を用いて製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１描画システム３液滴吐出装置
４制御ＰＣ７表示画面
１１吐出手段３４機能液滴吐出ヘッド
４７吐出ノズル４８ノズル列
１０１吐出パターンデータ設定画面１０２スタートボタン
１１３吐出間隔設定ボックス
１３１ノズルＯＮ／ＯＦＦ設定ボックス
１３２部分ノズル列配置画像１３３吐出ノズル画像
１４１配列表示ボックス１５１パターン設定ボックス
１５２ライン数設定ボックス
１５４組合せパターンデータ数設定ボックス
３０１液晶表示装置４０１有機ＥＬ装置
Ｗワーク

Claims

吐出パターンデータに基づき、ワークに対して機能液滴吐出ヘッドを相対的に走査させながら、当該機能液滴吐出ヘッドに形成したノズル列を構成する複数のノズルから選択的に機能液滴を吐出させることにより、前記ワーク上に１ラインずつ描画を行う液滴吐出装置の吐出パターンデータを作成する、吐出パターンデータ作成装置において、
描画するライン毎に当該ライン上に機能液を吐出させる有効ノズルを、前記ノズル列を構成する複数のノズルの中から設定する、ノズル設定データを作成するノズル設定データ作成手段と、
作成された前記ノズル設定データに基づいて、前記吐出パターンデータを作成する吐出パターンデータ作成手段と、を有していることを特徴とする吐出パターンデータ作成装置。
前記ノズル設定データ作成手段は、前記ノズル列を構成する複数のノズルの配置に対応させたノズル列配置画像を表示画面上に表示するノズル列配置画像表示手段と、
表示された前記ノズル列配置画像を構成するノズル画像の中から前記有効ノズルとする前記ノズル画像を選択することにより、前記有効ノズルおよび前記機能液を吐出させない無効ノズルの配置を示す基準配置を作成する基準配置作成手段と、
作成した前記基準配置に対応させて、前記ノズル設定データを生成するノズル設定データ生成手段と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の吐出パターンデータ作成装置。
前記ノズル列配置画像表示手段は、一部のノズル列に対応させた部分ノズル列配置画像を表示し、
前記基準配置作成手段は、前記部分ノズル列配置画像のノズル画像の中から前記有効ノズルとするノズル画像を選択することにより、前記有効ノズルおよび前記無効ノズルの配置を示す部分基準配置を作成する部分基準配置作成手段と、
作成した前記部分基準配置を列方向に繰り返して、前記基準配置を生成する基準配置生成手段と、を有していることを特徴とする請求項２に記載の吐出パターンデータ作成装置。
前記ノズル設定データ作成手段は、作成した前記基準配置を適用し、連続してラインを描画するときの連続数を設定する連続数設定手段をさらに備えていることを特徴とする請求項２または３に記載の吐出パターンデータ作成装置。
前記ノズル設定データ作成手段は、作成した前記基準配置を示す基準配置画像の少なくとも一部分を表示する基準配置画像表示手段をさらに備え、
前記基準配置画像表示手段は、複数の前記基準配置の前記基準配置画像を表示することを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の吐出パターンデータ作成装置。
前記ワーク上に描画するライン間の描画間隔を設定する描画間隔設定手段をさらに備え、
前記吐出パターンデータ作成手段は、作成された前記ノズル設定データおよび設定された前記描画間隔に基づいて、前記吐出パターンデータを作成することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の吐出パターンデータ作成装置。
前記吐出パターンデータは、単位吐出パターンデータを繰り返し配置することにより構成されており、
前記吐出パターンデータ作成手段は、前記単位吐出パターンデータを作成する単位吐出パターンデータ作成手段と、
前記単位吐出パターンデータの配置パターンを設定する配置パターン設定手段と、
作成した前記単位吐出パターンデータおよび設定した前記配置パターンに基づいて、前記吐出パターンデータを生成する吐出パターンデータ生成手段と、を備えていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の吐出パターンデータ作成装置。
請求項１ないし７のいずれかに記載の吐出パターンデータ作成装置と、
ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする描画システム。
請求項８に記載の描画システムを用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項８に記載の描画システムを用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。