JP2008188525A - 成膜方法及び配向膜形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板上に吐出した複数の液滴を好適に結合させて均一な膜厚の液状膜を形成する
成膜方法及び配向膜形成方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴Ｆｂ１を、それぞれＸ矢印方向には、隣接する液滴Ｆ
ｂ１との間隔が吐出間隔Ｗよりも大きい間隔である各目標吐出位置Ｐ１，Ｐ２に、相互に
接触しないように配置する。次に、液滴吐出装置は、液滴Ｆｂ２を、それぞれＸ矢印方向
に、目標吐出位置Ｐ１，Ｐ２から吐出間隔Ｗの半分の間隔だけずれた各目標吐出位置Ｐ３
，Ｐ４に配置する。従って、各目標吐出位置Ｐ３，Ｐ４に配置された液滴Ｆｂ２は、先に
配置された隣接する液滴Ｆｂ１に略均一に接触する。その結果、液滴Ｆｂ２が、どれか一
方の液滴Ｆｂ１とだけ引き合って、収縮してスジを生じたり、引き寄せられてバルジを生
じてしまうことなく、基板上に均一な膜厚の液状膜を形成することができる。
【選択図】図８

Description

本発明は、成膜方法及び配向膜形成方法に関する。

液晶表示装置は、素子基板と対向基板の間にシール材を介して液晶を封入している。そ
して、素子基板及び対向基板の液晶の接する面には、液晶を配向するための配向膜が形成
されている。配向膜は、素子基板及び対向基板の略全面に形成されていて、その形成方法
のひとつに、インクジェット法がある。インクジェット法は、基板上に吐出された液滴同
士を相互に結合させて、基板上に配向膜のパターンを形成させる。ところが、基板上に吐
出された液滴は、基板上で均一に広がらない場合があり、例えば、収縮してスジを生じた
り、他の液滴に引き寄せられてバルジを生じてしまうなど、均一な配向膜を成膜すること
が難しかった。

そこで、インクジェット法によって吐出された液滴から、均一な薄膜を形成する成膜方
法が提案されている（特許文献１）。特許文献１は、インクジェット法に用いる複数ノズ
ルを有するヘッドを備え、基板をＹ方向に駆動すると、基板に径がｒの溶液のドットを、
Ｘ方向にはそれぞれ４ｒの間隔で、Ｙ方向にはそれぞれ連続して塗布するようになってい
る。前記ヘッドからは、最初に塗布した一方の第１のドットに隣接して第２のドットを、
次に、第２のドットに隣接して第３のドットを、そして、第３のドットに隣接して第４の
ドットを塗布し、第４のドットを他方の第１のドットと隣接するようにして、溶液を塗布
した。このとき、第１のドットの大きさを小、第２のドットの大きさを中、第３のドット
の大きさを大、そして、第４のドットの大きさを中として、Ｘ方向に沿う膜厚の均一化を
図ることができた。つまり、同じ大きさのドットであると、隣り合うドット同士が引き合
い、先にドットを隣接して塗布される側が、後からドットを塗布される側よりも膜厚が厚
くなり易くなることを防いだ。
特開２００５−７２１号公報

しかしながら、特許文献１は、先にＹ方向に連続して塗布したドット同士が互いにＹ方
向に引き合ってＸ方向に収縮することは防げなかった。また、後から、先のドットに隣接
するように塗布したドットが、先のドットに引き寄せられることも防ぐことはできなかっ
た。さらに、Ｘ方向には、塗布するドットの大きさを変化させる必要があり、ヘッドの構
造や制御装置の複雑化が避けられなかった。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板上に吐出
した複数の液滴を好適に結合させて均一な膜厚の液状膜を形成する成膜方法及び配向膜形
成方法を提供することにある。

本発明の成膜方法は、液滴吐出手段にて機能液状体を液滴にして相対移動する基板に吐
出して、前記基板に液状膜を形成する成膜方法であって、前記基板に前記液滴が相互に接
触しない複数の第１位置に、第１の液滴をそれぞれ着弾配置した後に、前記着弾配置され
た各第１の液滴の間の第２位置に、第２の液滴を着弾配置して、前記第２の液滴を、隣接
する複数の第１の液滴と接触させて、液状膜を形成した。

本発明の成膜方法によれば、第２の液滴を隣接する複数の第１の液滴の間に配置して、
第２の液滴を隣接する複数の第１の液滴と接触させる。従って、基板に先に着弾配置され
る第１の液滴は互いに接触せずに配置されることから、第１の液滴同士が引き合って、収
縮してスジを生じたり、引き寄せられてバルジを生じることがない。さらに、第１の液滴
の間に配置される第２の液滴は、周囲の第１の液滴に略均一に接するので、どれか一方の
第１の液滴とだけ引き合って、収縮してスジを生じたり、引き寄せられてバルジを生じて
しまう虞が少ない。従って、好適に均一な膜厚の液状膜を基板上に形成することができる
。

この成膜方法は、前記第１位置は、等間隔に設けられ、前記第２位置は、隣接する４つ
の第１位置で形成する四角形状の範囲内に設けられ、その第２位置に第２の液滴が配置さ
れると好適である。

この成膜方法によれば、第１位置で形成する四角形状の範囲に、第２位置が設けられる
。従って、第１位置に配置された第１の液滴が形成する隙間を補完できるように、第２位
置を設けることができる。その結果、第２位置に配置された第２の液滴は、隣接する第１
の液滴と好適に接触結合して、基板上に均一な膜厚の液状膜を形成することができる。

この成膜方法は、前記第２の液滴は、隣接する４つの第１位置で形成する四角形状の範
囲内に複数配置されてもよい。
この成膜方法によれば、第２の液滴は、隣接する４つの第１位置で形成する四角形状の
範囲内に複数配置される。従って、第２の液滴の液量が増加して、容易に第１の液滴と第
２の液滴を接触させることができる。また、液滴吐出手段が基板上を相対的に移動する回
数を減らすことができるので素早く成膜することができる。

この成膜方法は、第１の液滴を形成する液滴と、第２の液滴を形成する液滴とは、同じ
吐出量であってもよい。
この成膜方法によれば、第１の液滴と第２の液滴を形成する液滴は、同じ吐出量である
。従って、第１の液滴及び第２の液滴を形成する液滴吐出手段の構成を簡単にすることが
できる。

本発明の配向膜形成方法は、液滴吐出手段にて配向膜形成材料を液滴にして相対移動す
る液晶表示装置用基板に吐出して、前記液晶表示装置用基板に配向膜を形成する配向膜形
成方法であって、前記液晶表示装置用基板の前記液滴が相互に接触しない複数の第１位置
に、第１の液滴をそれぞれ着弾配置した後に、前記着弾配置された各第１の液滴の間の第
２位置に、第２の液滴を着弾配置して、前記第２の液滴を、隣接する複数の第１の液滴と
接触させて、配向膜を形成する工程を有する。

本発明の配向膜形成方法によれば、第１の液滴同士が引き合って、収縮してスジを生じ
たり、引き寄せられてバルジを生じることがない。さらに、第２の液滴は、どれか一方の
第１の液滴とだけ引き合って、収縮してスジを生じたり、引き寄せられてバルジを生じて
しまう虞が少ない。従って、好適に均一な膜厚の配向膜を液晶表示装置用基板上に形成す
ることができる。

本発明の成膜方法は、基板との相対走査により当該基板に対して所定ピッチの走査軌跡
を描くように配設された複数のノズルから、機能液状体を液滴として吐出して前記基板上
に液状膜を形成する成膜方法であって、複数の前記液滴を前記基板上で相互に接触しない
ように前記ノズルから吐出する第１吐出工程と、前記第１吐出工程で配置された液滴の間
の位置に対し、当該液滴と相互に接触する他の前記液滴を前記ノズルから吐出する第２吐
出工程と、を有し、前記第１吐出工程において各前記ノズルから吐出される前記液滴は、
走査方向に所定間隔で配置され、前記第２吐出工程において互いに隣接する走査軌跡に係
るノズルから吐出される前記液滴は、互いに走査方向に対して異なる位置に配置される。

本発明の成膜方法によれば、第１吐出工程で吐出される液滴は互いに接触せずに配置さ
れることから、液滴同士が引き合って、収縮してスジを生じたり、引き寄せられてバルジ
を生じることがない。さらに、第２吐出工程で吐出される液滴は、周囲の液滴に接するの
で、いずれかの液滴とだけ引き合う虞が少ない。従って、好適に均一な膜厚の液状膜を基
板上に形成することができる。

この成膜方法は、前記第２吐出工程において互いに隣接する走査軌跡に係るノズルから
吐出される前記液滴は、互いに走査方向に対して前記所定間隔の略半間隔分異なる位置に
配置されると好適である。

この成膜方法によれば、第２吐出工程で吐出される液滴は、周囲の液滴に略均一に接す
るので、より好適に均一な膜厚の液状膜を基板上に形成することができる。
この成膜方法は、前記所定ピッチおよび前記所定間隔は、前記基板上に配置された状態
における前記液滴の直径の１ないし２倍であることよい。

この成膜方法によれば、所定ピッチ及び間隔は、第１吐出工程で吐出された液滴の１な
いし２倍以下であるので、第２吐出工程で吐出する液滴は、隣接する液滴と好適に接触し
て、均一な膜厚の液状膜を基板上に形成することができる。

本発明の配向膜形成方法は、液晶表示装置用基板との相対走査により当該基板に対して
所定ピッチの走査軌跡を描くように配設された複数のノズルから、配向膜形成材料を液滴
として吐出して前記液晶表示装置用基板上に配向膜を形成する配向膜形成方法であって、
複数の前記液滴を前記液晶表示装置用基板上で相互に接触しないように前記ノズルから吐
出する第１吐出工程と、前記第１吐出工程で配置された液滴の間の位置に対し、当該液滴
と相互に接触する他の前記液滴を前記ノズルから吐出する第２吐出工程と、を有し、前記
第１吐出工程において各前記ノズルから吐出される前記液滴は、走査方向に所定間隔で配
置され、前記第２吐出工程において互いに隣接する走査軌跡に係るノズルから吐出される
前記液滴は、互いに走査方向に対して異なる位置に配置される。

本発明の配向膜形成方法によれば、第１吐出工程で吐出される液滴は互いに接触せずに
配置されることから、液滴同士が引き合って、収縮してスジを生じたり、引き寄せられて
バルジを生じることがない。さらに、第２吐出工程で吐出される液滴は、周囲の液滴に接
するので、いずれかの液滴とだけ引き合う虞が少ない。従って、好適に均一な膜厚の配向
膜を液晶表示装置用基板上に形成することができる。

（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図１〜図１０に従って説明する。まず、本発
明の成膜方法によって形成した配向膜を有する液晶表示装置１０について説明する。図１
は、液晶表示装置１０の斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。

図１において、液晶表示装置１０の下側には、ＬＥＤなどの光源１１を有して四角板状
に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。バックライト１２の
上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の液晶パネル１３が備
えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１３に向かって照射さ
れるようになっている。

液晶パネル１３には、相対向する液晶表示装置用基板としての素子基板１４と液晶表示
装置用基板としての対向基板１５が備えられている。これら素子基板１４と対向基板１５
は、図２に示すように、光硬化性樹脂からなる四角枠状のシール材１６を介して貼り合わ
されている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５との間の間隙に、液晶１７が封
入されている。

素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相差板などの光学
基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２からの光を直線偏光
にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向基板１５側の側
面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ矢印方向）略全幅にわたって延びる複数の走査
線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に配設され
る走査線駆動回路１９に電気的に接続されるとともに、走査線駆動回路１９からの走査信
号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。また、素子形成面１４ａには、
Ｙ矢印方向略全幅にわたって延びる複数のデータ線Ｌｙが配列形成されている。各データ
線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線駆動回路２１に電気的に接
続されるとともに、データ線駆動回路２１からの表示データに基づくデータ信号が、所定
のタイミングで入力されるようになっている。素子形成面１４ａであって、走査線Ｌｘと
データ線Ｌｙの交差する位置には、対応する走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙに接続されてマ
トリックス状に配列される複数の画素２２が形成されている。各画素２２には、それぞれ
ＴＦＴなどの図示しない制御素子や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２３が
備えられている。

図２において、各画素２２の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施され
た配向膜２４が積層されている。配向膜２４は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子か
らなる薄膜パターンであって、対応する画素電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の
配向に設定するようになっている。この配向膜２４は、インクジェット法によって形成さ
れている。すなわち、配向膜２４は、配向性高分子を所定の溶媒に溶解した機能液状体と
しての配向膜形成材料Ｆ（図５参照）を液滴Ｆｂ（図５参照）として各画素２２の上側全
体に吐出し、着弾した液滴Ｆｂを乾燥させることによって形成されている。

前記対向基板１５の上面には、前記光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外
方（図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。一方、対向基板１５の
下面（素子基板１４側の側面）には、各画素電極２３と相対向するように形成された光透
過性の導電膜からなる対向電極２６が積層されている。対向電極２６は、前記データ線駆
動回路２１に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路２１からの所定の共通
電位が付与されるようになっている。対向電極２６の下面全体には、ラビング処理などに
よる配向処理の施された配向膜２７が積層されている。この配向膜２７は、前記配向膜２
４と同じく、インクジェット法によって形成されて、前記対向電極２６の近傍で、液晶１
７の配向を所定の配向に設定するようになっている。

そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、
各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子
に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信
号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電
極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち
、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光
が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の
上側に表示される。

次に、上記配向膜２７（配向膜２４）を形成するための液滴吐出手段としての液滴吐出
装置３０を図３〜５に従って説明する。
図３において、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成された基台３１が備えられる
とともに、その基台３１の上面には、その長手方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる一対の
案内溝３２が形成されている。その基台３１の上方には、基台３１に設けられたＸ軸モー
タＭＸ（図１０の左上参照）の出力軸に駆動連結される移動手段としての基板ステージ３
３が備えられるとともに、その基板ステージ３３が、前記案内溝３２に沿って、所定の速
度（搬送速度Ｖｘ）でＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動する（Ｘ矢印方向に沿って走
査される）ようになっている。

基板ステージ３３の上面には、対向電極２６を上側にした対向基板１５を載置可能にす
る載置面３４が形成されて、載置された状態の対向基板１５を基板ステージ３３に対して
位置決め固定するようになっている。尚、本実施形態では、載置面３４に、説明の便宜上
、対向基板１５を載置する構成にしているが、対向電極２６を形成した対向基板１５とな
るセルを複数区画形成したマザーガラス基板を載置するように構成してもよい。また、こ
れに限らず、前記各画素電極２３を上側にした素子基板１４や、素子基板１４となるセル
を複数区画形成したマザーガラス基板を載置する構成にしてもよい。また、載置面３４に
は、種々のサイズの基板を位置決め固定することができる。

基台３１のＹ矢印方向両側には、門型に形成されたガイド部材３５が配設されるととも
に、そのガイド部材３５には、Ｙ矢印方向に延びる上下一対のガイドレール３６が形成さ
れている。また、ガイド部材３５には、ガイド部材３５に設けられたＹ軸モータＭＹ（図
１０の左下参照）の出力軸に駆動連結されるキャリッジ３７が備えられるとともに、その
キャリッジ３７が、ガイドレール３６に沿ってＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に往復動する
（Ｙ矢印方向に沿ってフィードされる）ようになっている。キャリッジ３７の内部には、
前記配向膜形成材料Ｆ（図５参照）を収容するインクタンク３８が配設されるとともに、
そのインクタンク３８内の配向膜形成材料Ｆが、キャリッジ３７の下方に搭載される液滴
吐出ヘッド４１まで導出されるようになっている。

図４は、キャリッジ３７（液滴吐出ヘッド４１）を下方（対向基板１５側）から見た概
略斜視図であって、図５は、液滴吐出ヘッド４１をＹ矢印方向側から見た概略側面図であ
る。

図４において、キャリッジ３７の下側（図４における上側）には、Ｙ矢印方向に延びる
直方体形状の筐体４０が配設され、その取着面４０ｂには、Ｙ矢印方向に沿って延びる直
方体形状に形成された液滴吐出ヘッド（以下単に、吐出ヘッドという。）４１が備えられ
ている。吐出ヘッド４１の下側（図４において上側）には、ノズルプレート４２が備えら
れるとともに、そのノズルプレート４２の対向基板１５側（図４における上側）には、取
着面４０ｂと平行なノズル形成面４２ａが形成されている。

そのノズル形成面４２ａには、Ｙ矢印方向に沿って延びる２本の第１ノズル列ＮＬ１と
第２ノズル列ＮＬ２が相互に平行に形成されていて、第２ノズル列ＮＬ２は、第１ノズル
列ＮＬ１からＸ矢印方向に間隔ＮＬＷだけ離れて配設されている。尚、本実施形態では、
間隔ＮＬＷの値は、２ミリメートルであるが、間隔ＮＬＷの値は、これに限られない。

第１ノズル列ＮＬ１は、それぞれ吐出口としての複数（１８０個）のノズルＮ１がＹ矢
印方向に沿って等ピッチＮＷに配列形成されている。また、第２ノズル列ＮＬ２も第１ノ
ズル列ＮＬ１と同様に、それぞれ吐出口としての複数（１８０個）のノズルＮ２がＹ矢印
方向に沿って等ピッチＮＷに配列形成されている。

さらに、第１ノズル列ＮＬ１と第２ノズル列ＮＬ２をＸ矢印方向から見ると、ノズルＮ
１とノズルＮ２とは、Ｙ矢印方向に互いにピッチＮＷの半分のピッチ（以下、半ピッチと
いう）ＮＷ２だけずれた状態でノズル形成面４２ａに配設されている。本実施形態では、
Ｘ矢印方向から見て、第１ノズル列ＮＬ１の隣接する各ノズルＮ１の間のピッチＮＷ、及
び、第２ノズル列ＮＬ２の隣接する各ノズルＮ２の間のピッチＮＷは、いずれも１４０マ
イクロメートルであり、各ノズルＮ１とそれに隣接する各ノズルＮ２との間の半ピッチＮ
Ｗ２は、７０マイクロメートルである。従って、第１ノズル列ＮＬ１と第２ノズル列ＮＬ
２をＸ矢印方向から見ると、合わせて３６０個の両ノズルＮ１，Ｎ２は、半ピッチＮＷ２
の間隔で、つまり、７０マイクロメートルの間隔で配列された状態になっている。

図５において、第１ノズル列の各ノズルＮ１（第２ノズル列ＮＬ２の各ノズルＮ２も同
様）は、ノズル形成面４２ａ（取着面４０ｂ）の法線方向、すなわち吐出方向Ａに沿って
ノズルプレート４２に貫通形成されている。

各ノズルＮ１（Ｎ２）の吐出方向Ａの反対側には、前記インクタンク３８に連通するキ
ャビティ４３が形成されて、インクタンク３８からの配向膜形成材料Ｆを、対応するノズ
ルＮ１（Ｎ２）に供給させるようになっている。各キャビティ４３の吐出方向Ａの反対側
には、吐出方向Ａ及びその反対方向に振動可能な振動板４４が貼り付けられていて、キャ
ビティ４３内の容積を拡大・縮小させるようになっている。振動板４４の上側には、各ノ
ズルＮ１（Ｎ２）に対応する複数の圧電素子ＰＺ１（ＰＺ２）が配設されている。各圧電
素子ＰＺ１（ＰＺ２）は、収縮・伸張して、対応する振動板４４を吐出方向Ａ及びその反
対方向に振動させるようになっている。

振動板４４が振動すると、各キャビティ４３の容積が拡大・縮小して、各ノズルＮ１（
Ｎ２）内のメニスカス（配向膜形成材料Ｆの界面）が振動する。各ノズルＮ１（Ｎ２）内
のメニスカスが振動すると、所定重量の配向膜形成材料Ｆが、対応するノズルＮ１（Ｎ２
）から、所定の外径、つまり所定の吐出量からなる液滴Ｆｂとして吐出される。吐出され
た各液滴Ｆｂは、吐出方向Ａに沿って、飛行距離Ｌだけ飛行して、直下を通過する対向電
極２６を形成した対向基板１５に着弾配置する。

尚、本実施形態では、第１ノズル列ＮＬ１の各ノズルＮ１の吐出方向Ａに対応する位置
を、それぞれ着弾位置ＰＦ１という。また、第２ノズル列ＮＬ２の各ノズルＮ２の吐出方
向Ａに対応する位置を、それぞれ着弾位置ＰＦ２という。

また、各ノズルＮ１，Ｎ２から吐出される液滴Ｆｂの吐出量は、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ
２の駆動量によって制御され、その駆動量は、圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２に出力される後述
する圧電素子駆動信号ＣＯＭ１，ＣＯＭ２（図１０参照）によって制御される。

尚、本実施形態の圧電素子駆動信号ＣＯＭ１，ＣＯＭ２は、予め試験等に基づいて設定
された波形データＷＤ１，ＷＤ２（図１０参照）に基づいて生成されて、メニスカスを円
滑に振動させて、所定の吐出量の液滴Ｆｂが吐出されるように設定されている。

さらに、本実施形態では、各ノズルＮ１，Ｎ２から吐出される液滴Ｆｂの吐出量は、同
じになるように設定しているとともに、対向基板１５に着弾した第１の液滴としての液滴
Ｆｂ１の径が、所定の径（着弾径Ｒ１）になるように設定している。そして、本実施形態
では、着弾径Ｒ１が８０マイクロメートルとなるように、波形データＷＤ１，ＷＤ２が設
定されている。

そして、液滴吐出装置３０は、着弾径Ｒ１が８０マイクロメートルとなる液滴Ｆｂ１を
、対向基板１５に着弾配置することによって、対向基板１５に配向膜２７となる液状膜Ｚ
（図９参照）を形成する。

ここで、液滴吐出装置３０を使って、対向基板１５に配向膜２７となる液状膜Ｚを形成
するための、液滴の配置方法について図６〜図９に従って説明する。
吐出ヘッド４１の直下を、対向基板１５を１往復させて、その往動（Ｘ矢印方向に移動
）及び復動（反Ｘ矢印方向に移動）の時にそれぞれ液滴Ｆｂを吐出させた後、新たな位置
にキャリッジ３７をフィードさせて、対向基板１５を再び１往復動させて、前記と同様に
液滴Ｆｂを吐出させる。以降、同様な動作を繰り返すことによって、対向基板１５に配向
膜２７となる液状膜Ｚを形成する。

説明の便宜上、第１ノズル列ＮＬ１の各ノズルＮ１による液滴Ｆｂの対向基板１５上の
吐出位置を、第１位置及び第２位置としての第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１という。また
、第２ノズル列ＮＬ２の各ノズルＮ２による液滴Ｆｂの対向基板１５上の吐出位置を、第
１位置及び第２位置としての第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２という。

図６は、往動した時の、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１と第２ノズル列目標吐出位置Ｐ
２を示す。図６に示すように、第１ノズル列ＮＬ１の各ノズルＮ１による各第１ノズル列
目標吐出位置Ｐ１は、Ｘ矢印方向に着弾配置された隣り合う各液滴Ｆｂ１が相互に接触し
ない位置である。同様に、第２ノズル列ＮＬ２の各ノズルＮ２による各第２ノズル列目標
吐出位置Ｐ２は、Ｘ矢印方向に着弾配置された隣り合う各液滴Ｆｂ１が相互に接触しない
位置である。

そして、Ｘ矢印方向の隣り合う第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１の間隔を吐出間隔Ｗとす
る。同様に、Ｘ矢印方向の隣り合う第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２の間隔は、隣り合う第
１ノズル列目標吐出位置Ｐ１の間隔と同じ吐出間隔Ｗとする。

また、図６に示すように、第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２は、Ｘ矢印方向において隣り
合う第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１に対して、Ｘ矢印方向に前記吐出間隔Ｗの半分の間隔
Ｗ２（＝Ｗ／２）ずらした位置である。

従って、対向基板１５を往動させて、吐出ヘッド４１を駆動させて液滴Ｆｂを吐出させ
たとき（１パス目）、各第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１にそれぞれ配置された液滴Ｆｂ１
と、各第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２にそれぞれ配置された液滴Ｆｂ１は、図８（ｂ）に
示すように、それぞれ離間した位置に配置される。その結果、各位置Ｐ１，Ｐ２に配置さ
れた、液滴Ｆｂ１は、互いに重ならず、一方向の液滴Ｆｂ１に、他方の液滴Ｆｂ１が、引
き寄せられて、１つの塊になる虞がない（第１吐出工程）。

そして、往動（Ｘ矢印方向）して、図６に示した第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１と第２
ノズル列目標吐出位置Ｐ２に液滴Ｆｂ１を着弾配置すると、対向基板１５を復動させて、
新たに設定した第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１と第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２に液滴Ｆ
ｂ１を配置する。

ここで、復動時の第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１は、往動時のＸ矢印方向に設定された
隣り合う第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１の中間位置である。同様に、復動時の第２ノズル
列目標吐出位置Ｐ２は、往動時のＸ矢印方向に設定された隣り合う第２ノズル列目標吐出
位置Ｐ２の中間位置である。従って、復動時のＸ矢印方向の隣り合う第１ノズル列目標吐
出位置Ｐ１の間隔を吐出間隔Ｗとする。同様に、復動時のＸ矢印方向の隣り合う第２ノズ
ル列目標吐出位置Ｐ２の間隔は、復動時の隣り合う第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１の間隔
と同じ吐出間隔Ｗとする。

そして、対向基板１５を復動させて、吐出ヘッド４１を駆動させて液滴Ｆｂを吐出させ
る（２パス目）。２パス目において液滴Ｆｂを吐出したとき、各第１ノズル列目標吐出位
置Ｐ１にそれぞれ配置された第２の液滴としての液滴Ｆｂ２と、各第２ノズル列目標吐出
位置Ｐ２にそれぞれ配置された液滴Ｆｂ２は、図８（ｄ）に示すように、先に着弾配置さ
れた各液滴Ｆｂ１の間にそれぞれ配置される（第２吐出工程）。

従って、２パス目に配置される各液滴Ｆｂ２は、１パス目に配置された隣接する四方の
液滴Ｆｂ１と接合する。このとき、２パス目に配置される各液滴Ｆｂ２は、隣接する四方
の液滴Ｆｂ１と接合されることから、いずれか一方に引き寄せられることがない。その結
果、図９に示すように、その位置で先の液滴Ｆｂ１と接合して平坦な液状膜Ｚが形成され
る。

次に、上記のように構成した液滴吐出装置３０の電気的構成を図１０に従って説明する
。
図１０において、制御装置５１には、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどが備えられている。
そして、制御装置５１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラ
ムに従って、基板ステージ３３を走査させて、キャリッジ３７をフィードさせるとともに
、吐出ヘッド４１の各圧電素子ＰＺ１，ＰＺ２を駆動制御させるようになっている。

制御装置５１には、入力装置５２、Ｘ軸モータ駆動回路５３、Ｙ軸モータ駆動回路５４
及び第１及び第２の吐出ヘッド駆動回路５５，５６が接続されている。
入力装置５２は、起動スイッチ、停止スイッチなどの操作スイッチを有して各種操作信
号を制御装置５１に入力する。また、入力装置５２は、対向基板１５に形成される液滴Ｆ
ｂ１の着弾径Ｒ１に関する情報を、既定形式の着弾径情報Ｉｒとして制御装置５１に入力
するようになっている。そして、着弾径情報Ｉｒを入力装置５２から制御装置５１に入力
する。

すると、制御装置５１は、入力装置５２からの着弾径情報Ｉｒを受けて、前記した往動
時（１パス目）と復動時（２パス目）において、対向基板１５上に吐出する液滴Ｆｂの第
１及び第２ノズル列目標吐出位置Ｐ１，Ｐ２をそれぞれ演算する。そして、制御装置５１
は、この第１及び第２ノズル列目標吐出位置Ｐ１，Ｐ２に基づいて、第１ノズル列ＮＬ１
のノズルＮ１によるビットマップデータＢＭＤ１ａ，ＢＭＤ１ｂと、第２ノズル列ＮＬ２
のノズルＮ２によるビットマップデータＢＭＤ２ａ，ＢＭＤ２ｂを作成する。

ビットマップデータＢＭＤ１ａは、往動時の対向基板１５上の各第１ノズル列目標吐出
位置Ｐ１に、それぞれ各ビットの値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビ
ットの値に応じて、各圧電素子ＰＺ１のオンあるいはオフを規定したデータである。そし
て、ビットマップデータＢＭＤ１ａは、各ノズルＮ１の直下を、対応する第１ノズル列目
標吐出位置Ｐ１が通過するたびに、液滴Ｆｂを吐出させるように規定される。

ビットマップデータＢＭＤ１ｂは、復動時の対向基板１５上の各第１ノズル列目標吐出
位置Ｐ１に、それぞれ各ビットの値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビ
ットの値に応じて、各圧電素子ＰＺ１のオンあるいはオフを規定したデータである。そし
て、ビットマップデータＢＭＤ１ｂは、各ノズルＮ１の直下を、対応する第１ノズル列目
標吐出位置Ｐ１が通過するたびに、液滴Ｆｂを吐出させるように規定される。

ビットマップデータＢＭＤ２ａは、往動時の対向基板１５上の各第２ノズル列目標吐出
位置Ｐ２に、それぞれ各ビットの値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビ
ットの値に応じて、各圧電素子ＰＺ２のオンあるいはオフを規定したデータである。そし
て、ビットマップデータＢＭＤ２ａは、各ノズルＮ２の直下を、対応する第２ノズル列目
標吐出位置Ｐ２が通過するたびに、液滴Ｆｂを吐出させるように規定される。

ビットマップデータＢＭＤ２ｂは、復動時の対向基板１５上の各第２ノズル列目標吐出
位置Ｐ２に、それぞれ各ビットの値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビ
ットの値に応じて、各圧電素子ＰＺ２のオンあるいはオフを規定したデータである。そし
て、ビットマップデータＢＭＤ２ｂは、各ノズルＮ２の直下を、対応する第２ノズル列目
標吐出位置Ｐ２が通過するたびに、液滴Ｆｂを吐出させるように規定される。

Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御装置５１からのＸ軸モータ駆動回路５３に対応する駆
動制御信号に応答して、基板ステージ３３を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆
転させるようになっている。そのＸ軸モータ駆動回路５３には、Ｘ軸モータ回転検出器Ｍ
ＥＸが接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号が入力されるようになっ
ている。Ｘ軸モータ駆動回路５３は、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号に基づ
いて、基板ステージ３３（対向基板１５）の移動方向及び移動量を演算するとともに、基
板ステージ３３の現在位置に関する情報をステージ位置情報ＳＰＩとして生成するように
なっている。そして、制御装置５１は、Ｘ軸モータ駆動回路５３からのステージ位置情報
ＳＰＩを受けて、各種信号を出力するようになっている。

Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御装置５１からのＹ軸モータ駆動回路５４に対応する駆
動制御信号に応答して、キャリッジ３７を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転
させるようになっている。そのＹ軸モータ駆動回路５４には、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥ
Ｙが接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号が入力されるようになって
いる。Ｙ軸モータ駆動回路５４は、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号に基づい
て、キャリッジ３７の移動方向及び移動量を演算するとともに、キャリッジ３７の現在位
置に関する情報をキャリッジ位置情報ＣＰＩとして生成するようになっている。そして、
制御装置５１は、Ｙ軸モータ駆動回路５４からのキャリッジ位置情報ＣＰＩを受けて、各
種信号を出力するようになっている。

詳述すると、制御装置５１は、対向基板１５がキャリッジ３７の直下に侵入する前に、
吐出制御信号ＳＩ１，ＳＩ２を生成するようになっている。つまり、制御装置５１は、ス
テージ位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基づいて、対向基板１５の走査分
（往動もしくは復動）に対応するビットマップデータＢＭＤ１ａ，ＢＭＤ１ｂ，ＢＭＤ２
ａ，ＢＭＤ２ｂに基づいて所定のクロック信号に同期させた、吐出制御信号ＳＩ１，ＳＩ
２を生成する。そして、制御装置５１は、基板ステージ３３をＸ矢印方向（往動）もしく
は反Ｘ矢印方向（復動）に走査する都度、その前に、生成した吐出制御信号ＳＩ１，ＳＩ
２を、第１及び第２の吐出ヘッド駆動回路５５，５６にそれぞれ順次シリアル転送するよ
うになっている。

また、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩに基づいて、ノズルＮ１の各着弾位置
ＰＦ１が、それぞれ対応する第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１に位置するたびに、波形デー
タＷＤ１に基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭ１を、圧電素子ＰＺ１に出力させるための信号
（吐出タイミング信号ＬＰ１）を生成するようになっている。そして、制御装置５１は、
生成した吐出タイミング信号ＬＰ１を、第１の吐出ヘッド駆動回路５５に順次出力するよ
うになっている。

圧電素子駆動信号ＣＯＭ１は、ノズルＮ１から吐出される液滴Ｆｂの吐出量を決定する
信号であって、波形データＷＤ１に基づいて生成される。波形データＷＤ１は、対向基板
１５に着弾配置される液滴Ｆｂ１及び液滴Ｆｂ２の着弾径Ｒ１に対するそれぞれの液滴Ｆ
ｂ１，Ｆｂ２の吐出量を決める波形データであって、予め試験等に基づいて設定される。
本実施形態では、波形データＷＤ１は、着弾径Ｒ１が８０マイクロメートルとなる液滴Ｆ
ｂ１及び液滴Ｆｂ２の吐出量を決める波形データである。

第１の吐出ヘッド駆動回路５５は、第１ノズル列ＮＬ１の各ノズルＮ１に対応して設け
られた圧電素子ＰＺ１にそれぞれ接続されている。第１の吐出ヘッド駆動回路５５は、制
御装置５１からの波形データＷＤ１、吐出制御信号ＳＩ１及び吐出タイミング信号ＬＰ１
が供給されるようになっている。第１の吐出ヘッド駆動回路５５は、制御装置５１からの
吐出制御信号ＳＩ１を受けて、その吐出制御信号ＳＩ１を、それぞれ各圧電素子ＰＺ１に
対応させて順次シリアル／パラレル変換するようになっている。

そして、第１の吐出ヘッド駆動回路５５は、制御装置５１からの吐出タイミング信号Ｌ
Ｐ１を受けるたびに、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩ１に基づいて、波形
データＷＤ１に基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭ１を、各圧電素子ＰＺ１に供給するように
なっている。すなわち、第１の吐出ヘッド駆動回路５５は、第１ノズル列ＮＬ１の各ノズ
ルＮ１の直下を、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１が通過するたびに、対応するノズルＮ１
の圧電素子ＰＺ１に圧電素子駆動信号ＣＯＭ１を供給するようになっている。

同様に、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩに基づいて、各ノズルＮ２の各着弾
位置ＰＦ２が、それぞれ対応する第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２に位置するたびに、波形
データＷＤ２に基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭ２を、圧電素子ＰＺ２に出力させるための
信号（吐出タイミング信号ＬＰ２）を生成するようになっている。そして、制御装置５１
は、生成した吐出タイミング信号ＬＰ２を、第２の吐出ヘッド駆動回路５６に順次出力す
るようになっている。

圧電素子駆動信号ＣＯＭ２は、ノズルＮ２から吐出される液滴Ｆｂの吐出量を決定する
信号であって、波形データＷＤ２に基づいて生成される。波形データＷＤ２は、対向基板
１５に着弾配置される液滴Ｆｂ１及び液滴Ｆｂ２の着弾径Ｒ１に対するそれぞれの液滴Ｆ
ｂ１，Ｆｂ２の吐出量を決める波形データであって、予め試験等に基づいて設定される。
本実施形態では、波形データＷＤ２は、着弾径Ｒ１が８０マイクロメートルとなる液滴Ｆ
ｂ１及び液滴Ｆｂ２の吐出量を決める波形データである。

第２の吐出ヘッド駆動回路５６は、第２ノズル列ＮＬ２の各ノズルＮ２に対応して設け
られた圧電素子ＰＺ２にそれぞれ接続されている。第２の吐出ヘッド駆動回路５６は、制
御装置５１からの波形データＷＤ２、吐出制御信号ＳＩ２及び吐出タイミング信号ＬＰ２
が供給されるようになっている。そして、第２の吐出ヘッド駆動回路５６は、第１の吐出
ヘッド駆動回路５５と同様な方法で、圧電素子駆動信号ＣＯＭ２を、第２ノズル列ＮＬ２
の各ノズルＮ２の直下を、第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２が通過するたびに、対応するノ
ズルＮ２の圧電素子ＰＺ２に供給するようになっている。

次に、上記する液滴吐出装置３０を使用して対向基板１５に配向膜２７を形成する方法
について説明する。
説明を容易にするために、図７に示すように、対向基板１５の上面のうち、少なくとも
パターンが形成される範囲に、仮想的な複数ブロックＢを対応付ける。これらの複数のブ
ロックＢは、Ｘ矢印方向とＹ矢印方向で決まるアレイ状に並んでいる。ここで、複数のブ
ロックＢのそれぞれのＸ矢印方向に沿った長さは、７０マイクロメートルであり、Ｙ矢印
方向に沿った長さは、７０マイクロメートルである。尚、Ｘ矢印方向とＹ矢印方向は互い
に直交する方向である。

複数のブロックＢの各々は、液滴Ｆｂが着弾して配置されえる領域である。本実施形態
では、ある１つのブロックＢに液滴Ｆｂが配置される場合には、そのブロックＢの中心と
、配置される液滴Ｆｂの中心が略一致するように、液滴Ｆｂが配置される。また、複数の
ブロックＢのＸ矢印方向のピッチは、Ｘ矢印方向から見た各ノズルＮ１と各ノズルＮ２の
間の距離である半ピッチＮＷ２に対応する。同様に、複数ブロックＢのＹ矢印方向のピッ
チは、吐出間隔Ｗの半分の距離である間隔Ｗ２に対応する。

尚、図７では、説明の便宜上、２４個（＝４×６）のブロックＢが描かれているが、実
際のブロックＢの数はこの数に限定されない。
そして、本実施形態では、２ブロック×２ブロックで決まる４個のブロックＢの集合を
ブロック群ＢＧと定義する。そして、説明の便宜上、１つのブロック群ＢＧにおける４個
のブロックＢをそれぞれ識別するために、それら４個のブロックＢのそれぞれについて、
文字「Ｂ」と２桁のサフィックスとからなる符号（例えば、Ｂ１１）で表記する。ここで
、サフィックスの右側の数値は、ブロック群ＢＧにおけるＹ矢印方向に沿った位置を表し
、「１」又は「２」の整数である。一方、サフィックスの左側の数値は、ブロック群ＢＧ
におけるＸ矢印方向に沿った位置を表し、「１」又は「２」の整数である。

そして、例えば、各ブロック群ＢＧのブロックＢ１１に着目すると、対向基板１５の表
面上では、各ブロックＢ１１が、Ｘ矢印方向及びＹ矢印方向で決まるアレイ状に並んでい
る。具体的には、各ブロックＢ１１が、Ｘ矢印方向にも、Ｙ矢印方向にも、それら合成方
向Ｕにも、周期的に位置するようになっている。本実施形態では、Ｘ矢印方向に隣り合う
２つのブロックＢ１１の中心間の距離は、いずれも１４０マイクロメートルである。また
、Ｙ矢印方向に隣り合う２つのブロックＢ１１の中心間の距離は、いずれも１４０マイク
ロメートルである。さらに、Ｘ矢印方向とＹ矢印方向との合成方向Ｕにおいて、隣り合う
ブロックＢ１１の中心間距離は、いずれも、およそ１９８．０マイクロメートルである。
尚、Ｘ矢印方向とＹ矢印方向との合成方向Ｕは、ブロックＢの対角線方向である。

まず、図３に示すように、基板ステージ３３上に、対向基板１５を載置する。このとき
、基板ステージ３３は、キャリッジ３７よりも反Ｘ矢印方向側に配置されて、キャリッジ
３７は、ガイド部材３５の最も反Ｙ矢印方向に配置されている。

この状態から、入力装置５２を操作して着弾径情報Ｉｒを制御装置５１に入力する。す
ると、制御装置５１は、着弾径情報Ｉｒに基づいて往動時のビットマップデータＢＭＤ１
ａ，ＢＭＤ２ａを生成して格納する。

各ビットマップデータＢＭＤ１ａ，ＢＭＤ２ａを生成すると、制御装置５１は、Ｙ軸モ
ータＭＹを駆動制御して、キャリッジ３７を配置移動（フィード）させる。次に、Ｘ軸モ
ータＭＸを駆動制御して、対向基板１５をＸ矢印方向にのみ移動（走査）する。この時、
各ノズルＮ１の直下を対向基板１５が通過する際の、各ノズルＮ１の対向基板１５上の通
過軌跡をそれぞれ走査軌跡としての走査経路ＤＬ１（図６参照）とする。また、各ノズル
Ｎ２の対向基板１５上の通過軌跡をそれぞれ走査軌跡としての走査経路ＤＬ２（図６参照
）とする。

そして、対向基板１５がＸ矢印方向に搬送（往動）されるときに、制御装置５１は、各
ノズルＮ１の直下を、各走査経路ＤＬ１であって、対応する第１ノズル列目標吐出位置Ｐ
１が通過するとき、各ノズルＮ１から液滴Ｆｂを吐出させる。また、制御装置５１は、各
ノズルＮ２の直下を、各走査経路ＤＬ２であって、対応する第２ノズル列目標吐出位置Ｐ
２が通過するとき、各ノズルＮ２から液滴Ｆｂを吐出させる。

図８（ａ）は、各第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１に液滴Ｆｂが配置された状態を示す。
図８（ｂ）は、各第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２に液滴Ｆｂが配置された状態を示す。
ところで、第１ノズル列ＮＬ１と第２ノズル列ＮＬ２とは、Ｘ矢印方向に間隔ＮＬＷ（
２ミリメートル）だけ離れている。従って、目標吐出位置Ｐ１（ブロックＢ２１）に液滴
Ｆｂが供給されてから、同じブロック群ＢＧにある目標吐出位置Ｐ２（ブロックＢ１２）
の直上を各ノズルＮ２が通過するのは、基板ステージ３３が、前記目標吐出位置Ｐ１から
Ｘ矢印方向に間隔ＮＬＷ＋間隔Ｗ２（＝２ミリメートル＋７０マイクロメートル）だけ移
動（走査）してからである。

このとき、Ｘ矢印方向から見て、各ノズルＮ１と隣接する各ノズルＮ２との間は、半ピ
ッチＮＷ２（７０マイクロメートル）離れていて（図４参照）、各第１ノズル列目標吐出
位置Ｐ１と隣接する各第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２との間も半ピッチＮＷ２（７０マイ
クロメートル）離れている（図６参照）。

その結果、本実施形態では、同じブロック群ＢＧ内の第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１と
第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２の距離は、およそ９９マイクロメートルであるので、各目
標吐出位置Ｐ１，Ｐ２に形成された、着弾径Ｒ１が８０マイクロメートルの液滴Ｆｂ１は
、相互に接しない位置に配置されることとなる。

往動による液滴Ｆｂ１の着弾配置が終了すると、制御装置５１は、一旦、基板ステージ
３３（対向基板１５）を停止する。
次に、制御装置５１は、対向基板１５（基板ステージ３３）を復動する際の、各ビット
マップデータＢＭＤ１ｂ，ＢＭＤ２ｂを生成する。

各ビットマップデータＢＭＤ１ｂ，ＢＭＤ２ｂを生成すると、制御装置５１は、Ｙ軸モ
ータＭＹを駆動制御して、対向基板１５を反Ｘ矢印方向にのみ移動する。
そして、対向基板１５が反Ｘ矢印方向に搬送（復動）されるときに、制御装置５１は、
各ノズルＮ１の直下を、各走査経路ＤＬ１であって、対応する第１ノズル列目標吐出位置
Ｐ１が通過するとき、各ノズルＮ１から液滴Ｆｂを吐出させる。また、制御装置５１は、
各ノズルＮ２の直下を、各走査経路ＤＬ２であって、対応する第２ノズル列目標吐出位置
Ｐ２が通過するとき、各ノズルＮ２から液滴Ｆｂを吐出させる。図８（ｃ）は、各第２ノ
ズル列目標吐出位置Ｐ２に液滴Ｆｂが配置された状態を示す。図８（ｂ）は、各第１ノズ
ル列目標吐出位置Ｐ１に液滴Ｆｂが配置された状態を示す。

第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２（図８（ｃ）でＰ３で示す）、すなわち、ブロックＢ２
２に着弾した液滴Ｆｂが形成する液滴Ｆｂ２は、四方、つまり、ブロックＢ１２及びブロ
ックＢ２１に配置されている液滴Ｆｂ１と接触する。

ブロックＢ２２の液滴Ｆｂ２は、例えば、一方向の液滴Ｆｂ１にのみ接触した場合には
、接触した液滴Ｆｂ１と引き合って中心位置が移動することもあるが、略同時に、四方に
接触するので、接触した液滴Ｆｂ１と相互にバランスよく引き合って好適に液面を形成す
ることができる。尚、角部や縁部の第２位置としての目標吐出位置Ｐ３（ブロックＢ２２
）に配置される液滴Ｆｂ２は、二方向もしくは三方向のブロックＢ１２もしくはブロック
Ｂ２１に配置された液滴Ｆｂ１としか接触しないが、いずれの場合も配向膜２７を形成す
る必要がある範囲の液滴Ｆｂ１には接触するので、好適に液面を形成できる。

ところで、第１ノズル列ＮＬ１と第２ノズル列ＮＬ２とは、Ｘ矢印方向に間隔ＮＬＷ（
２ミリメートル）だけ離れている。そのため、ノズルＮ２が、１のブロック群ＢＧ内の目
標吐出位置Ｐ３に液滴Ｆｂを吐出してから、対向基板１５が反Ｘ矢印方向に２ミリメート
ル−７０マイクロメートルだけ移動したとき、ノズルＮ１が同じブロック群ＢＧ内の第１
ノズル列目標吐出位置Ｐ１（図８（ｄ）でＰ４で示す）への各液滴Ｆｂの吐出を開始する
ようになっている。

従って、ノズルＮ１から吐出される各液滴Ｆｂは、図８（ｄ）に示すように、Ｘ矢印方
向に沿って吐出間隔Ｗだけ離間する第２位置としての目標吐出位置Ｐ４（ブロックＢ１１
）に順次着弾する。

目標吐出位置Ｐ４（ブロックＢ１１）に着弾した液滴Ｆｂは、対向基板１５の上面に着
弾径Ｒ１（＝８０マイクロメートル）の液滴Ｆｂ２を形成すると、略同時に、四方、つま
り、ブロックＢ１２及びブロックＢ２１に配置されている液滴Ｆｂ１と接触する。ブロッ
クＢ１１の液滴Ｆｂ１は、例えば、一方向の液滴Ｆｂ１にのみ接触した場合には、接触し
た液滴Ｆｂ１と引き合って中心位置が移動することもあるが、略同時に、四方に接触する
ので、接触した液滴Ｆｂ１と相互にバランスよく引き合って好適に液面を形成することが
できる。

尚、角部や縁部の目標吐出位置Ｐ４（ブロックＢ１１）に配置される液滴Ｆｂ２は、二
方向もしくは三方向のブロックＢ１２もしくはブロックＢ２１に配置された液滴Ｆｂ１と
しか接触しないが、いずれの場合も配向膜２７を形成する必要がある範囲の液滴Ｆｂ１に
は接触するので、好適に液面を形成できる。

復動による液滴Ｆｂ２の着弾配置が終了すると、制御装置５１は、一旦、基板ステージ
３３（対向基板１５）を停止する。そして、制御装置５１は、キャリッジ３７を新たな位
置にフィードさせる。キャリッジ３７がフィードした後、制御装置５１は、前記と同様に
、往動する際のビットマップデータＢＭＤ１ａ，ＢＭＤ２ａ、復動する際のビットマップ
データＢＭＤ１ｂ，ＢＭＤ２ｂをその時々で生成して、対向基板１５への液滴Ｆｂ１及び
液滴Ｆｂ２の配置を繰り返して図９に示すように、対向基板１５に平坦な液状膜Ｚが形成
される。

対向基板１５は、対向電極２６の上面に配向膜形成材料Ｆからなる液状膜Ｚの形成が終
了したら、焼成などにより配向膜形成材料Ｆに含まれる溶媒を乾燥させて、配向膜２７が
形成される。

本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態によれば、吐出間隔Ｗを着弾径Ｒ１よりも大きくした。従って、各目
標吐出位置Ｐ１，Ｐ２に着弾する液滴Ｆｂ１を相互に接触させることなく配置することが
できた。その結果、各目標吐出位置Ｐ１，Ｐ２に配置された液滴Ｆｂ１は、引き合って、
収縮してスジを生じたり、引き寄せられてバジルを生じることがない。また、各目標吐出
位置Ｐ３，Ｐ４は、それぞれ、Ｘ矢印方向に目標吐出位置Ｐ１，Ｐ２から間隔Ｗ２だけ、
Ｙ矢印方向には半ピッチＮＷ２ずれているだけなので、各目標吐出位置Ｐ３，Ｐ４に配置
された液滴Ｆｂ２は、略均一に周囲の液滴Ｆｂ１に接触する。その結果、液滴Ｆｂ２がど
れか一方の液滴Ｆｂ１とだけ引き合って、収縮してスジを生じたり、引き寄せられてバル
ジを生じてしまう虞が少ない。それにより、好適に均一な膜厚の膜を基板上に形成するこ
とができる。

（２）本実施形態によれば、液滴Ｆｂ１は、ノズルＮ１から順次吐出配置された液滴Ｆ
ｂと、ノズルＮ２から順次吐出配置された液滴Ｆｂとから形成した。従って、液滴吐出装
置３０によって、相互に接触しない液滴Ｆｂ１を容易に形成することができる。また、液
滴Ｆｂ２は、ノズルＮ２から順次吐出配置された液滴Ｆｂと、ノズルＮ１から順次吐出配
置された液滴Ｆｂとから形成した。従って、液滴吐出装置３０によって、液滴Ｆｂ１と接
触する液滴Ｆｂ２を容易に形成することができる。その結果、基板上により均一な膜厚の
配向膜２７を容易に形成することができる。

（３）本実施形態によれば、２つの第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１と２つの第２ノズル
列目標吐出位置Ｐ２が形成する四角形状の範囲の中央に、各目標吐出位置Ｐ３，Ｐ４を設
定した。従って、基板上の液滴Ｆｂ１にできるだけ均一に液滴Ｆｂ２を接触させることが
できた。その結果、基板上により均一な膜厚の配向膜２７を形成することができる。

（４）本実施形態によれば、目標吐出位置Ｐ１の液滴Ｆｂ１のピッチＮＷの間を，目標
吐出位置Ｐ２の液滴Ｆｂ１によって補完した。従って、基板上により細かく相互に引き合
わない液滴Ｆｂ１を吐出することができる。さらに、目標吐出位置Ｐ３の液滴Ｆｂ２のピ
ッチＮＷの間を、目標吐出位置Ｐ４の液滴Ｆｂ２によって補完した。従って、基板上でよ
り細かく液滴Ｆｂ１と液滴Ｆｂ２とを接触させることができる。その結果、基板上により
均一な膜厚の配向膜２７を形成することができる。

（５）本実施形態によれば、液滴Ｆｂは同一の吐出量とした。従って、各ノズルＮ１，
Ｎ２から液滴Ｆｂを吐出する液滴吐出ヘッド４１の構成を簡単にすることができ、また、
各ノズルＮ１，Ｎ２から液滴を吐出するための制御も容易にすることができた。

（６）本実施形態によれば、配向膜形成材料Ｆからなる液滴Ｆｂを吐出した。従って、
対向基板１５に、膜厚の均一な配向膜２７を好適に形成することができた。
（７）本実施形態によれば、液晶表示装置１０の対向基板１５に配向膜２７を形成した
。従って、液晶表示装置１０を好適に形成することができる。
（第２実施形態）
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図１１に従って説明する。

尚、第１実施形態が往動及び復動で、即ち、２パスで、対向基板１５に液滴Ｆｂを吐出
させて、配向膜２７となる液状膜Ｚを形成するのに対して、第２実施形態では、往動又は
復動で、即ち、１パスで、配向膜２７となる液状膜Ｚを形成するのが相違する。これに伴
って、第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２の間隔が相違する。

つまり、第１ノズル列ＮＬ１と第２ノズル列ＮＬ２とは、Ｘ矢印方向に間隔ＮＬＷ（２
ミリメートル）だけ離れている。そのため、先行して液滴Ｆｂを吐出するノズル、例えば
、対向基板１５を往動するときは、第１ノズル列ＮＬ１のノズルＮ１を、第１実施形態と
同様に、図１１（ａ）に示すように、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１に、先行して液滴Ｆ
ｂ１を着弾配置する。そして、後続の第２ノズル列ＮＬ２のノズルＮ２のための第２ノズ
ル列目標吐出位置Ｐ２を、図１１（ｂ）に示すように、Ｘ矢印方向に隣接する第１ノズル
列目標吐出位置Ｐ１の間に２つ設定する。具体的には、第２実施形態の２つの第２ノズル
列目標吐出位置Ｐ２は、第１実施形態の第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２を中心にＸ矢印方
向及び反Ｘ矢印方向に距離αだけ偏倚した第２位置としての吐出位置Ｐ５，Ｐ６である。
本実施形態では、距離αを５マイクロメートルに設定している。

また、第２実施形態では、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１及び第２ノズル列目標吐出位
置Ｐ２に配置する第１の液滴としての液滴Ｆｂ３の着弾径Ｒ２は、９０マイクロメートル
となるように、液滴Ｆｂの吐出量を設定している。従って、吐出位置Ｐ５と、該吐出位置
Ｐ５に最も近い第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１との間の距離は、９５．５マイクロメート
ルとなり、該吐出位置Ｐ５と該目標吐出位置Ｐ１に着弾径Ｒ２（９０マイクロメートル）
の各液滴Ｆｂ３を配置したとき、前記各液滴Ｆｂ３は相互に接触しないようになっている
。同様に、吐出位置Ｐ６と、該吐出位置Ｐ６に最も近い第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１と
の間の距離は、９５．５マイクロメートルであって、該吐出位置Ｐ６と該目標吐出位置Ｐ
１に着弾径Ｒ２（９０マイクロメートル）の各液滴Ｆｂ３を配置したとき、前記各液滴Ｆ
ｂ３は相互に接触しないようになっている。

各吐出位置Ｐ５及び各吐出位置Ｐ６の位置座標を演算すると、制御装置５１は、ノズル
列ＮＬ２から液滴Ｆｂを吐出させるためのビットマップデータＢＭＤ５を生成して格納す
るようになっている。

ビットマップデータＢＭＤ５は、対向基板１５上の各吐出位置Ｐ５及び各吐出位置Ｐ６
に、それぞれ各ビットの値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビットの値
に応じて、各圧電素子ＰＺ２のオンあるいはオフを規定したデータである。つまり、ビッ
トマップデータＢＭＤ５は、各吐出位置Ｐ５及び各吐出位置Ｐ６を合成して生成されてい
る。そして、ビットマップデータＢＭＤ５は、各ノズルＮ２の直下を、対応する各吐出位
置Ｐ５又は各吐出位置Ｐ６が通過するたびに、液滴Ｆｂを吐出させるように規定される。

つまり、本実施形態では、ノズルＮ１からはビットマップデータＢＭＤ１ａに基づいて
液滴Ｆｂが吐出され、ノズルＮ２からはビットマップデータＢＭＤ５に基づいて液滴Ｆｂ
が吐出されるようになっている。

次に、上記する液滴吐出装置３０を使用して配向膜２７を形成する方法について説明す
る。
まず、図３に示すように、基板ステージ３３上に、対向基板１５を載置する。

この状態から、入力装置５２を操作して着弾径情報Ｉｒを制御装置５１に入力する。す
ると、制御装置５１は、着弾径情報Ｉｒに基づくビットマップデータＢＭＤ１ａ，ＢＭＤ
５を生成して格納し、キャリッジ３７を配置移動する。各ノズルＮ１の走査経路ＤＬ１を
対応する第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１上にセットして、各ノズルＮ２の走査経路ＤＬ２
を対応する各吐出位置Ｐ５，Ｐ６上にセットされると、制御装置５１は、基板ステージ３
３（対向基板１５）のＸ矢印方向への搬送（走査）を開始する。

対向基板１５が吐出ヘッド４１に対してＸ矢印方向に走査されると、第１ノズル列ＮＬ
１の各ノズルＮ１の直下を、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１が通過する。第１ノズル列Ｎ
Ｌ１の各ノズルＮ１の直下を、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１が通過するごとに、ノズル
Ｎ１から吐出される各液滴Ｆｂは、図１１（ａ）に示すように、Ｘ矢印方向に沿って吐出
間隔Ｗ（＝１４０マイクロメートル）だけ離間する第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１（ブロ
ックＢ２１）に順次着弾配置される（第１吐出工程）。

ところで、第１ノズル列ＮＬ１と第２ノズル列ＮＬ２とは、Ｘ矢印方向に間隔ＮＬＷ（
２ミリメートル）だけ離れている。従って、ノズルＮ１が、１つのブロック群ＢＧ内の第
１ノズル列目標吐出位置Ｐ１に液滴Ｆｂを吐出してから、対向基板１５がＸ矢印方向に所
定間隔走査して、第２ノズル列ＮＬ２の直下を、同じブロック群ＢＧ内の吐出位置Ｐ５及
び吐出位置Ｐ６が通過すると、図１１（ｂ）に示すように、該ノズルＮ２から各液滴Ｆｂ
を吐出させる（第２吐出工程）。

尚、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１から同じブロックＢ内の吐出位置Ｐ５（第２ノズル
列目標吐出位置Ｐ２）までのＸ矢印方向の間隔Ｗ５は、間隔Ｗ２から距離α（＝５マイク
ロメートル）を引いた長さ（＝６５マイクロメートル）である。また、第１ノズル列目標
吐出位置Ｐ１から同じブロックＢ内の吐出位置Ｐ６（第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２）ま
でのＸ矢印方向の間隔Ｗ６は、間隔Ｗ２に距離αを加えた長さ（＝７５マイクロメートル
）である。

つまり、まず、第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１（ブロックＢ２１）に液滴Ｆｂが供給さ
れる。その後、同じブロック群ＢＧにある吐出位置Ｐ５（ブロックＢ１２内）に各ノズル
Ｎ２からの液滴Ｆｂが配置されるのは、前記第１ノズル列目標吐出位置Ｐ１から基板ステ
ージ３３がＸ矢印方向に間隔ＮＬＷ＋間隔Ｗ５（＝２ミリメートル＋６５マイクロメート
ル）移動（走査）してからである。また同様に、同じブロック群ＢＧにある吐出位置Ｐ６
（ブロック１２内）に各ノズルＮ２からの液滴Ｆｂが配置されるのは、前記第１ノズル列
目標吐出位置Ｐ１から基板ステージ３３がＸ矢印方向に間隔ＮＬＷ＋間隔Ｗ６（＝２ミリ
メートル＋７５マイクロメートル）移動（走査）してからである。

すなわち、制御装置５１は、各ノズルＮ２の直下を、吐出位置Ｐ５もしくは吐出位置Ｐ
６が通過するタイミングで、各圧電素子ＰＺ２に、波形データＷＤ２に対応する圧電素子
駆動信号ＣＯＭ２を供給することになる。

吐出位置Ｐ５に液滴Ｆｂ３が着弾配置され、次に吐出位置Ｐ６に液滴Ｆｂ３が着弾配置
されると、既に吐出位置Ｐ５に配置されている液滴Ｆｂ３と接触結合する。
接触結合した、吐出位置Ｐ５の液滴Ｆｂ３と吐出位置Ｐ６の液滴Ｆｂ３は、１つの第２
の液滴としての液滴Ｆｂ４を形成する。両吐出位置Ｐ５，Ｐ６の両液滴Ｆｂ３を合わせた
中心位置は、第１実施形態での第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２となることから、液滴Ｆｂ
４は、第１実施形態での第２ノズル列目標吐出位置Ｐ２（ブロックＢ１２）を中心に形成
されている。結合した直後の液滴Ｆｂ４の径は、およそ着弾径Ｒ２（＝９０マイクロメー
トル）に長さ２α（＝１０マイクロメートル）を加えた値であるが、液滴Ｆｂ４の重量（
液量）は、その径では安定しない重量になっているので、液滴Ｆｂ４の径は、大きく広が
っていく。

やがて、図１１（ｃ）に示すように、広がった液滴Ｆｂ４は、略同時に、四方、つまり
、ブロックＢ２１に配置されている液滴Ｆｂ３と接触する。ブロックＢ１２の液滴Ｆｂ４
は、例えば、一方向の液滴Ｆｂ３にのみ接触した場合には、接触した液滴Ｆｂ３と引き合
ってその中心位置が移動することもあるが、略同時に、四方に接触するので、接触した液
滴Ｆｂ３と相互にバランスよく引き合って好適に液面を形成することができる。尚、角部
や縁部のブロックＢ１２に形成される液滴Ｆｂ４は、二方向もしくは三方向のブロックＢ
２１に配置された液滴Ｆｂ３としか接触しないが、いずれの場合も配向膜２７を形成する
必要がある範囲の液滴Ｆｂ３には接触するので、好適に液面を形成できる。

往動して、各目標吐出位置Ｐ１及び各吐出位置Ｐ５，Ｐ６への液滴Ｆｂの着弾配置を終
えると、制御装置５１は、Ｘ軸モータＭＸを停止制御して、基板ステージ３３（対向基板
１５）のＸ矢印方向への搬送を停止する。

次に、制御装置５１は、キャリッジ３７をＹ矢印方向に移動（フィード）して、同様な
方法で、対向基板１５への液滴Ｆｂの着弾配置を繰り返す。
そして、対向基板１５は、対向基板１５の上面に配向膜形成材料Ｆよりなる液状膜Ｚの
形成が終了したら、焼成などにより配向膜形成材料Ｆに含まれる溶媒を乾燥させて、配向
膜２７が形成される。

本実施形態によれば、前記第１実施形態の効果に加えて以下のような効果を得ることが
できる。
（１）本実施形態によれば、同じブロックＢ１２に、ノズルＮ２から２つの液滴Ｆｂ３
を配置して、該２つの液滴Ｆｂ３を接触結合させて液滴Ｆｂ４を形成し、該液滴Ｆｂ４を
ノズルＮ１が形成した液滴Ｆｂ３に接触するようにした。従って、液滴吐出ヘッド４１を
一度走査するだけで、対向基板１５上に、液滴Ｆｂ３と液滴Ｆｂ４とを結合させて液状膜
Ｚを形成することができた。その結果、より早く、対向基板１５上に配向膜形成材料Ｆか
らなる液状膜Ｚを形成して、配向膜２７を形成することができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、液滴吐出装置３０によって、対向基板１５には、配向膜２７を形
成した。しかし、これに限らず、素子基板１４や対向基板１５のその他の膜や層を形成し
てもよいし、成膜工程におけるレジストなどを形成してもよい。

・上記実施形態では、液晶表示装置１０の対向基板１５に配向膜２７を形成した。しか
し、これに限らず、基板は、どのような基板でもよい。例えば、液晶表示装置以外の電気
光学装置として、有機エレクトロルミネッセンス装置、電気泳動表示装置などの基板でも
よい。

・上記実施形態では、吐出ヘッド４１は、Ｘ矢印方向に平行に２つのノズル列ＮＬ１，
ＮＬ２を備えた。しかし、これに限らず、ノズル列は１つでもよい。
この場合、第１実施形態においては、基板ステージ３３をＸ矢印方向に走査して、全て
の目標吐出位置Ｐ１に液滴Ｆｂを吐出して、キャリッジ３７をＹ矢印方向に間隔Ｗ２だけ
フィードしてから、基板ステージ３３を反Ｘ矢印方向に走査して、目標吐出位置Ｐ２に液
滴Ｆｂを吐出する。次に、基板ステージ３３をＸ矢印方向に走査して、全ての目標吐出位
置Ｐ３に液滴Ｆｂを吐出して、キャリッジ３７を反Ｙ矢印方向に間隔Ｗ２だけフィードし
てから、基板ステージ３３を反Ｘ矢印方向に走査して、目標吐出位置Ｐ４に液滴Ｆｂを吐
出すればよい。

また、第２実施形態においては、基板ステージ３３をＸ矢印方向に走査して、全ての目
標吐出位置Ｐ１に液滴Ｆｂを吐出して、キャリッジ３７をＹ矢印方向に間隔Ｗ２だけフィ
ードしてから、基板ステージ３３を反Ｘ矢印方向に走査して、吐出位置Ｐ５，Ｐ６に液滴
Ｆｂを吐出すればよい。

・上記実施形態では、吐出ヘッド４１は、Ｘ矢印方向に平行に２つのノズル列ＮＬ１，
ＮＬ２を備えた。しかし、これに限らず、ノズル列は２つより多くてもよい。
・上記実施形態では、ノズル列ＮＬ１，ＮＬ２は、それぞれ吐出ヘッド駆動回路５５，
５６によって吐出制御された。しかし、これに限らず、両ノズルＮ１，Ｎ２は同一の吐出
ヘッド駆動回路で吐出制御されてもよいし、もしくは、より多くの吐出ヘッド駆動回路で
吐出制御されてもよい。

・上記実施形態では、目標吐出位置Ｐ１と目標吐出位置Ｐ２は、Ｘ矢印方向に吐出間隔
Ｗの半分の間隔Ｗ２だけずらした。しかし、これに限らず、Ｘ矢印方向の間隔Ｗ２より小
さくてもよい。つまり、第１実施形態においては、先に配置した液滴Ｆｂ１に後から配置
した液滴Ｆｂ２が好適に接触し、同様に、第２実施形態においては、先に配置した、液滴
Ｆｂ３に後から配置した液滴Ｆｂ４が好適に接触する間隔であればよい。

液晶表示装置を示す斜視図。 図１のＡ−Ａ線から見た液晶表示装置を示す断面図。 滴吐出装置を示す斜視図。 液滴吐出ヘッドを示す斜視図。 液滴吐出ヘッドを示す側面図。 目標位置を説明するための説明図。 パターン形成のため基板の表面に対応付けられたブロックを示す模式図。 第１実施形態の対向基板上に配置された液滴を説明する図であって、（ａ）は往動の走査で第１のノズル列が液滴を配置した状態を示す図、（ｂ）は往動の走査で第２のノズル列が液滴を配置した状態を示す図、（ｃ）は復動の走査で第２のノズル列が液滴を配置した状態を示す図、（ｄ）は復動の走査で第１のノズル列が液滴を配置した状態を示す図。 第１実施形態で配置された配向膜形成材料の模式図。 液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック図。 第２実施形態対向基板上に配置された液滴を説明する図であって、（ａ）は第１のノズル列が液滴を配置した状態を示す図、（ｂ）は第２のノズル列が液滴を配置した状態を示す図、（ｃ）は第２のノズル列が配置した液滴が広がった状態を示す図。

符号の説明

Ｆｂ，Ｆｂ１，Ｆｂ２，Ｆｂ３，Ｆｂ４…液滴、Ｚ…液状膜、１０…液晶表示装置、１３
…液晶パネル、１４…素子基板、１５…対向基板、１７…液晶、２４，２７…配向膜、２
６…対向電極、３０…液滴吐出装置、３１…基台、３３…基板ステージ、３４…載置面、
３７…キャリッジ、３８…インクタンク、４１…液滴吐出ヘッド、５１…制御装置。

Claims (9)

1. 液滴吐出手段にて機能液状体を液滴にして相対移動する基板に吐出して、前記基板に液
   状膜を形成する成膜方法であって、
   前記基板に前記液滴が相互に接触しない複数の第１位置に、第１の液滴をそれぞれ着弾
   配置した後に、前記着弾配置された各第１の液滴の間の第２位置に、第２の液滴を着弾配
   置して、前記第２の液滴を、隣接する複数の第１の液滴と接触させて、液状膜を形成する
   ことを特徴とする成膜方法。
2. 請求項１に記載の成膜方法において、
   前記第１位置は、等間隔に設けられ、
   前記第２位置は、隣接する４つの第１位置で形成する四角形状の範囲内に設けられ、そ
   の第２位置に第２の液滴が配置されることを特徴とする成膜方法。
3. 請求項２に記載の成膜方法において、
   前記第２の液滴は、隣接する４つの第１位置で形成する四角形状の範囲内に複数配置さ
   れることを特徴とする成膜方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載の成膜方法において、
   第１の液滴を形成する液滴と、第２の液滴を形成する液滴とは、同じ吐出量であること
   を特徴とする成膜方法。
5. 液滴吐出手段にて配向膜形成材料を液滴にして相対移動する液晶表示装置用基板に吐出
   して、前記液晶表示装置用基板に配向膜を形成する配向膜形成方法であって、
   前記液晶表示装置用基板の前記液滴が相互に接触しない複数の第１位置に、第１の液滴
   をそれぞれ着弾配置した後に、前記着弾配置された各第１の液滴の間の第２位置に、第２
   の液滴を着弾配置して、前記第２の液滴を、隣接する複数の第１の液滴と接触させて、配
   向膜を形成する工程を有することを特徴とする配向膜形成方法。
6. 基板との相対走査により当該基板に対して所定ピッチの走査軌跡を描くように配設され
   た複数のノズルから、機能液状体を液滴として吐出して前記基板上に液状膜を形成する成
   膜方法であって、
   複数の前記液滴を前記基板上で相互に接触しないように前記ノズルから吐出する第１吐
   出工程と、
   前記第１吐出工程で配置された液滴の間の位置に対し、当該液滴と相互に接触する他の
   前記液滴を前記ノズルから吐出する第２吐出工程と、を有し、
   前記第１吐出工程において各前記ノズルから吐出される前記液滴は、走査方向に所定間
   隔で配置され、
   前記第２吐出工程において互いに隣接する走査軌跡に係るノズルから吐出される前記液
   滴は、互いに走査方向に対して異なる位置に配置されることを特徴とする成膜方法。
7. 請求項６に記載の成膜方法において、
   前記第２吐出工程において互いに隣接する走査軌跡に係るノズルから吐出される前記液
   滴は、互いに走査方向に対して前記所定間隔の略半間隔分異なる位置に配置されることを
   特徴とする成膜方法。
8. 請求項６又は７に記載の成膜方法において
   前記所定ピッチおよび前記所定間隔は、前記基板上に配置された状態における前記液滴
   の直径の１ないし２倍であることを特徴とする成膜方法。
9. 液晶表示装置用基板との相対走査により当該基板に対して所定ピッチの走査軌跡を描く
   ように配設された複数のノズルから、配向膜形成材料を液滴として吐出して前記液晶表示
   装置用基板上に配向膜を形成する配向膜形成方法であって、
   複数の前記液滴を前記液晶表示装置用基板上で相互に接触しないように前記ノズルから
   吐出する第１吐出工程と、
   前記第１吐出工程で配置された液滴の間の位置に対し、当該液滴と相互に接触する他の
   前記液滴を前記ノズルから吐出する第２吐出工程と、を有し、
   前記第１吐出工程において各前記ノズルから吐出される前記液滴は、走査方向に所定間
   隔で配置され、
   前記第２吐出工程において互いに隣接する走査軌跡に係るノズルから吐出される前記液
   滴は、互いに走査方向に対して異なる位置に配置されることを特徴とする成膜方法。

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