CN1197548A - 压电振子部件、压电振子支撑结构和压电振子安装方法 - Google Patents

压电振子部件、压电振子支撑结构和压电振子安装方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1197548A
CN1197548A CN96197193A CN96197193A CN1197548A CN 1197548 A CN1197548 A CN 1197548A CN 96197193 A CN96197193 A CN 96197193A CN 96197193 A CN96197193 A CN 96197193A CN 1197548 A CN1197548 A CN 1197548A
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
vibrator element
substrate
piezoelectric
lead terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN96197193A
Other languages
English (en)
Inventor
金山光一
高木周作
吉田光伸
岩田靖司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Chemical Industry Co Ltd
Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Original Assignee
Mitsui Chemical Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP9027496A external-priority patent/JPH09260740A/ja
Application filed by Mitsui Chemical Industry Co Ltd filed Critical Mitsui Chemical Industry Co Ltd
Publication of CN1197548A publication Critical patent/CN1197548A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/40Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings

Abstract

一种构成压电变压器的压电振子元件(100)由引线框架(32、34、36)支撑。引线框架(32)的一端在连接部位(31)与初级侧电极(22)焊接,另一端与连接盘(42)焊接。引线框架(34)的一端在连接部位(35)与次级侧电极(26)焊接,另一端与连接盘(46)焊接。连接部位(31和33)位于振动节点。由于通过引线框架(32、34、36)实现电气和机械连接,所以结构简单,容易减小振子的厚度,易于组合振子。

Description

压电振子部件、压电振子支撑结构和压电振子安装方法
本发明涉及压电振子部件、压电振子的支撑结构和压电振子的安装方法,特别是涉及压电变压器部件、压电变压器的支撑结构和压电变压器的安装方法。
对于装载笔记本型个人计算机等液晶显示(以下称为LCD)屏的携带器具,期望成为小型化、低耗能化。作为这种LCD屏的背景照明而广泛使用的冷阴极管(以下称为CFL),电灯开始时需要1kV以上的高电压,而且连续点灯时需要数百V的高电压。作为所用的变压器,可以小型实现高效率的压电变压器引人注目,针对实用化进行了开发。
但是,已经提出的压电变压器的安装方法复杂,还期望开发结构简单容易组装的压电变压器的支撑结构和压电变压器部件。
因此,本发明的主要目的在于提供结构简单容易组装的压电振子部件、压电振子的支撑结构和压电振子的安装方法。
本发明的另一目的在于在此基础上提供耐冲击性高、可靠性高的压电振子部件、压电振子的支撑结构和压电振子的安装方法。
本发明的其他目的在于提供宽度方向尺寸小的压电振子部件及其制造方法。
根据本发明提供一种压电振子的支撑结构,其特征在于,利用导电弹性体制成的引线端子,电气和机械地分别连接设置于压电振子元件表面上的至少一个电极和布线基片的至少一个导电部件,所述压电振子元件的所述电极与所述布线基片的所述导电部件,通过所述引线端子共同电气导通,利用所述引线端子与所述布线基片不接触地支撑所述压电振子元件。
这样,由于利用导电弹性体制成的引线端子,电气和机械地连接压电振子元件表面的电极和布线基片的导电部件,所以可以由此引线端子兼顾电气连接和机械连接。结果,结构变得简单,也容易薄形化。
在此压电振子的支撑结构中,较好的是,使具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面与所述布线基片对置,使所述导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部件连接,设置覆盖所述连接处附近的所述引线端子的缓冲部材。
在这种情况,由于利用导电弹性体制成的引线端子,连接压电振子元件的电极和布线基片的导电部件,所以可以由此引线端子兼顾电气连接和机械连接。结果,结构变得简单,也容易薄形化。再有,由于设置覆盖连接处附近的引线端子的缓冲部材,所以可以使由引线端子的周边部位与压电振子元件相接部分向压电振子元件的集中应力分散,结果,可以获得更大的耐下落冲击强度。这种情况下,使用弹性粘结剂作为缓冲剂,利用缓冲剂在至少与所述连接处对应之处连接压电振子元件和布线基片为好。而且,作为弹性粘结剂最好使用硅酮橡胶。
在上述压电振子的支撑结构中,具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面最好与所述布线基片对置,所述导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部件连接,在至少与所述连接处对应之处,于所述引线端子和所述布线基片之间设置缓冲部材。
在这种情况下,由于利用导电弹性体制成的引线端子,连接压电振子元件的电极和布线基片的导电部件,所以可以由此引线端子兼顾电气连接和机械连接。结果,结构变得简单,也容易薄形化。再有,由于在与所述连接处对应之处,于所述引线端子和所述布线基片之间设置缓冲部材,所以可以缓和引线端子和布线基片之间产生的冲击,获得可靠性高的压电振子的支撑结构。
而且,作为缓冲部材,使用弹性粘结剂为好,使用硅酮橡胶更好。
再有,在上述压电振子的支撑结构中,具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面最好与所述布线基片对置,所述导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部件连接,利用弹性粘结剂制成的缓冲部材,在至少与所述连接处对应之处,连接所述压电振子元件和所述布线基片。
这样,利用由弹性粘结剂制成的缓冲部材连接压电振子元件和布线基片,由此提高对压电振子元件的布线基片的支撑固定的可靠性。而且,由于使用导电弹性体制成的物体作为引线端子,所以对压电振子元件的布线基片的支撑固定,由弹性粘结剂和弹性体制成的引线端子两方来进行,可提高支撑固定的可靠性。作为弹性粘结剂,最好使用硅酮橡胶。而且,可以仅由弹性粘结剂完成压电振子元件的固定,这种情况下,由于对引线端子不要求刚性,所以可使用柔软的细线,减小对压电振动的影响。
最好在与布线基片的所述连接处的对应部分设置贯通孔,在贯通孔填充缓冲部材。如果这样,可在布线基片更确定地保持缓冲部材。而且,通过在布线基片设置贯通孔,可以通过贯通孔注入缓冲部材,使制造方法简单化。
而且,在布线基片设置孔,把压电振子元件的至少一部分容纳于孔内,可以进一步薄型化。
上述引线端子最好是条状导电薄带。使用条状薄带可以抑制使用引线端子所导致的厚度增大,容易实现薄型化。作为这种条状导电薄带,最好使用引线框架。
而且,引线端子与压电振子元件的电极的连接部位的至少一个连接部最好是压电振子元件的振动节点。
引线端子的连接部如果是压电振子元件的振动节点,则可以在不妨碍压电振子的振动的条件下把引线端子电气和机械地连接在压电振子元件,不会使压电振子的特性劣化,可以简单的结构稳定地支撑压电振子元件。
而且,在引线端子与压电振子元件电极的连接部位中的设置缓冲部材的连接部最好是压电振子元件的振动节点。
设置缓冲部材的连接部如果是压电振子元件的振动节点,则可在不降低压电振子的共振特性的条件下设置缓冲部材。
上述压电振子的支撑结构特别适合用于压电振子是压电变压器的情况。
而且,根据本发明,提供一种压电振子部件,具有压电振子元件,其特征在于,
还包括装载所述压电振子元件的布线基片和所述压电振子部件的外部连接端子,
利用导电弹性体制成的引线端子把所述压电振子元件装载于所述布线基片,
在所述布线基片安装或者设置所述外部连接端子,
通过所述布线基片的导电部材,使所述压电振子元件和所述外部连接端子电气地连接。
这样,不是把外部连接端子直接安装于压电振子元件,而是把压电振子元件装载于布线基片,在此布线基片安装或者设置外部连接端子,通过布线基片的导电部材使压电振子元件和外部连接端子连接,由此使压电振子元件和布线基片的连接与外部连接端子独立。结果,即使在压电振子部件安装时,在外部连接端子施加大力,也不会对压电振子元件和布线基片的连接以及压电振子元件施力。因此,不会使压电振子部件的性能劣化,容易进行压电振子部件的表面安装。
再有,由于利用导电弹性体制成的引线端子,电气和机械地连接压电振子元件的表面电极和布线基片的导电部材,所以可用引线端子兼顾电气连接和机械连接,结果,结构简单而且容易实现薄型化。
在本说明书中,布线基片的导电部材包含连接盘,而且,例如压电振子元件通过引线端子与第1连接盘连接,外部连接端子与第2连接盘连接,在这些第1和第2连接盘利用布线和通孔连接的情况中,第1和第2连接盘、布线以及通孔构成的导电部材均也是本说明书所述的导电部材。
这种压电振子部件中,利用导电弹性体制成的引线端子,电气和机械地连接在压电振子元件表面设置的至少一个电极和布线基片的至少一个导电部材,利用引线端子电气导通压电振子元件的电极和布线基片的连接盘,同时利用引线端子在不与布线基片接触的情况下支撑压电振子元件。
而且,在上述压电振子部件中,具有压电振子元件的至少一个电极的面最好与布线基片对置,导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与电极连接,引线端子的另一端与布线基片的导电部材连接,在所述连接处附近设置覆盖所述引线端子的缓冲部材。
在这种情况,由于利用导电弹性体制成的引线端子,连接压电振子元件的电极和布线基片的导电部材,所以可用弹性体制成的引线端子兼顾电气连接和机械连接,结果,结构简单而且容易实现薄型化。再有,由于在连接处附近设置覆盖引线端子的缓冲部材,所以可使由引线端子周边部位和压电振子元件相接部分向压电振子元件施加的集中应力分散,结果可以获得更大的耐下落冲击强度。此时,事业弹性粘结剂周围缓冲剂,利用缓冲剂在至少与所述连接处对应之处接合压电振子元件和布线基片为好。
而且,在上述压电振子部件中,具有压电振子元件的至少一个电极的面最好与布线基片对置,导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与电极连接,引线端子的另一端与布线基片的导电部材连接,在至少与所述连接处对应之处引线端子和布线基片之间设置缓冲部材。
在这种情况,由于利用导电弹性体制成的引线端子,连接压电振子元件的电极和布线基片的连接盘,所以可用弹性体制成的引线端子兼顾电气连接和机械连接,结果,结构简单而且容易实现薄型化。再有,由于在连接处的对应处在引线端子和布线基片之间设置缓冲部材,所以可缓和引线端子和布线基片之间产生的冲击,可以获得可靠性高的压电振子部件。
而且,作为缓冲部材,使用弹性粘结剂为好,使用硅酮橡胶更好。
再有,在上述压电振子的支撑结构中,具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面最好与所述布线基片对置,导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与电极连接,引线端子的另一端与布线基片的导电部材连接,利用弹性粘结剂制成的缓冲部材,在至少与所述连接处对应之处,连接压电振子元件和布线基片。
这样,利用由弹性粘结剂制成的缓冲部材连接压电振子元件和布线基片,由此提高对压电振子元件的布线基片的支撑固定的可靠性,进而提高压电振子部件的可靠性。而且,由于使用导电弹性体制成的物体作为引线端子,所以对压电振子元件的布线基片的支撑固定,由弹性粘结剂和弹性体制成的引线端子两方来进行,可进一步提高支撑固定的可靠性,进而进一步提高压电振子部件的可靠性。在此压电振子部件中,也可以仅用弹性粘结剂来固定压电振子元件,此时可使用柔软的细线,减小对压电振动的影响。作为弹性粘结剂,最好使用硅酮橡胶。
在本发明的压电振子部件中,最好在与布线基片的所述连接处的对应部分设置贯通孔,在贯通孔填充缓冲部材。
本发明的压电振子部件中,所述引线端子最好是条状导电薄带。
本发明的压电振子部件中,所述引线端子与所述压电振子元件的所述电极的连接部位中的至少一个连接部最好是压电振子元件的振动节点。
本发明的压电振子部件中,在所述引线端子与所述压电振子元件的所述电极的连接部位中的设置缓冲部材的连接部最好是压电振子元件的振动节点。
而且,最好在布线基片设置覆盖压电振子元件和引线端子的外壳。这样,如果用外壳覆盖压电振子元件和引线端子,则可用外壳保护压电振子元件和引线端子,不使压电振子部件的性能劣化,容易进行压电振子部件的表面安装。
上述压电振子部件特别适合用于压电振子是压电变压器的情况。
根据本发明,提供一种压电振子的安装方法,其特征在于包括以下步骤:
具有压电振子元件的至少一个电极的面与布线基片的一个主面对置,导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部材连接;
通过在与所述布线基片的所述连接处的对应部分设置的贯通孔,从与所述布线基片的一个主面相反侧的另一主面注入缓冲部材,在至少与所述连接处对应之处在所述引线端子和所述布线基片之间设置缓冲部材。
所述在所述引线端子和所述布线基片之间设置缓冲部材的步骤,最好是在至少与所述连接处对应之处在所述引线端子和所述布线基片之间设置所述缓冲部材,同时利用所述缓冲部材覆盖所述连接部附近的所述连接端子。
而且,所述缓冲部材最好是弹性粘结剂,在所述引线端子和所述布线基片之间设置所述缓冲部材的步骤,最好是在至少与所述连接处对应之处在所述引线端子和所述布线基片之间设置所述缓冲部材,同时利用所述缓冲部材覆盖所述连接部附近的所述连接端子。
这样,通过在布线基片设置的贯通孔,从与所述布线基片的一个主面相反侧的另一主面注入缓冲部材,由此可容易地注入缓冲部材,结果,制造方法变得简单。
上述压电振子的安装方法特别适合用于压电振子是压电变压器的情况。
以上所述中,与连接处对应之处是指从与布线基片的所述连接处相对处直到所述连接处的区域。
而且,导电弹性体制成的引线端子最好由金属材料构成,由磷青铜或者铁镍4-2合金构成更好。
根据本发明,提供一种压电变压器部件,具有压电振子元件,其特征在于,
还包括装载所述压电振子元件的装载基片和所述压电振子部件的外部连接端子,
在所述装载基片上装载所述压电振子元件,
在所述装载基片上安装或者设置所述外部连接端子,
通过所述装载基片的导电部材,使所述压电振子元件和所述外部连接端子电气地连接。
如上所述,由此使压电振子元件和装载基片的连接与外部连接端子独立。结果,即使在安装压电变压器部件时,在外部连接端子施加大力,也不会对压电振子元件和装载基片的连接以及压电振子元件施力。因此,不会使压电变压器部件的性能劣化,容易进行压电变压器部件的表面安装。而且,通过在装载基片纵向的端部设置外部连接端子,可减小压电变压器部件的宽度。
在此压电变压器部件中,最好在所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一个以上的位置,通过弹性体接合所述压电振子元件和所述装载基片。
而且,在此压电变压器部件中,最好在所述压电振子元件的振动节点的相当位置中的一个以上的位置,通过弹性体接合所述压电振子元件和所述装载基片。
压电振子元件的宽度方向的振动节点位于压电振子元件的宽度方向的中心线上。而且,压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置成为纵向的振动节点。因此,压电振子元件在振动节点与装载基片接合。
这样,由于用弹性体支撑压电振子元件的振动节点,所以可抑制对振动的妨碍。而且,由于用弹性体对压电振子元件支撑,用于引出电极的引线对压电振子元件的支撑不是必需的,所以无需刚性可以自由地布线。因此,在利用具有刚性的引线端子的情况下,引线端子在压电振子元件的侧端侧引出,与外部的引出点连接,但是在上述压电变压器部件中,引出用的引线端子可以仅在压电振子元件的纵向引出。结果,可以使压电变压器部件的宽度尺寸为压电振子元件的宽度程度,可以减小液晶显示屏内的压电变压器部件的宽度方向的空间,结果可以在不使液晶显示屏宽度方向增大的条件下增大液晶显示部分。
接合处最好是2个以上,3个以上也可以。例如,设定初级输入侧的振动数以使长度方向出现1.5波长的振动的情况下,n为6,m为1、3、5构成的3处中的适当2处或者全部3处适合用做接合处。而且,在2波长的情况,n为8,m为1、3、5、7构成之处中的适当2处的组合位置、适当3处的组合位置或者全部4处的位置用于连接。
这样,如果在2处以上接合,由于可以仅用所述弹性体支撑压电振子元件,所以本发明的作用更为有效。
最好在与装载基片的压电振子元件接合部分对应的部分设置贯通孔,如果这样,则可以通过贯通孔注入弹性体,使得压电变压器部件容易组装。
而且,所述弹性体最好是弹性粘结剂,作为这种弹性粘结剂,例如可以使用硅酮橡胶。
根据本发明,提供一种压电变压器部件的制造方法,该压电变压器部件具有压电振子元件和装载所述压电振子元件的装载基片,该方法的特征在于包括以下步骤:
在所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
通过所述贯通孔,从所述装载基片的装载所述压电振子元件的面相反侧的面,注入弹性粘结剂,利用所述弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
在所述装载基片的预定部分设置贯通孔的步骤,最好是在所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔。
而且,在所述装载基片的预定部分设置贯通孔的步骤,最好是在所述压电振子元件的振动节点相当的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔。
这样,通过在装载基片设置的贯通孔,从装载基片的一主面的相反侧的另一主面侧注入弹性粘结剂,由此可以容易地注入弹性粘结剂,制造方法简化。而且,由于用弹性粘结剂支撑压电振子元件的振动节点,所以抑制了对振动的妨碍,引出电极用的引线也可以无刚性,从而可以自由地布线,减小压电变压器部件的宽度尺寸。
根据本发明,提供一种压电变压器的支撑结构,把压电振子元件支撑在布线基片上,其特征在于,
在所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
在所述预定位置,利用弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
根据本发明,提供一种压电变压器的支撑结构,把压电振子元件支撑在布线基片上,其特征在于,
在所述压电振子元件的振动节点相当的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
在所述预定位置,利用弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
如果这样,由于用弹性体接合压电振子元件的振动节点,所以抑制了对振动的妨碍,引出电极用的引线也可以无刚性,从而可以自由地布线。而且,可以在贯通孔内填充弹性体,使弹性体更确实地保持在布线基片上。而且,通过贯通孔注入弹性体成为可能,制造方法被简化。
再有,根据本发明,提供一种压电变压器的安装方法,在布线基片上安装压电振子元件,其特征在于包括以下步骤:
在所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
通过所述贯通孔,从所述布线基片的装载所述压电振子元件的面相反侧的面注入弹性粘结剂,利用所述弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
再有,根据本发明,提供一种压电变压器的安装方法,在布线基片上安装压电振子元件,其特征在于包括以下步骤:
在与所述压电振子元件的振动节点相当的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
通过所述贯通孔,从所述布线基片的装载所述压电振子元件的面相反侧的面注入弹性粘结剂,利用所述弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
如果这样,由于用弹性粘结剂支撑压电振子元件的振动节点,所以抑制了对振动的妨碍。而且,通过贯通孔,从布线基片的一个主面相反侧的另一主面,注入弹性粘结剂构成的缓冲部材,由此可容易地注入缓冲部材,制造方法被简化。
如上所述,布线基片是用于支撑构成例如压电变压器的压电振子元件、构成作为个别部件的压电变压器部件或者压电振子部件,或者是用于把压电振子元件、压电变压器部件或压电振子部件和其他电路部件装载印刷电路板。
图1A是说明本发明第一实施例的平面图。
图1B是沿图1A中X1-X1线的纵向剖面图。
图1C是本发明第一实施例中使用的压电振子元件100的振幅分布示意图。
图1D是沿图1A中Y1-Y1线的纵向剖面图。
图2是说明本发明第二实施例的纵向剖面图。
图3A是说明本发明第三实施例的横向剖面图,即沿图3C中Z3-Z3线的横向剖面图。
图3B是本发明第二实施例中使用的压电振子元件100的振幅分布示意图。
图3C是沿图3A中X3-X3线的纵向剖面图。
图4A、4B是说明本发明第三实施例中的外部连接端子的透视示意图。
图4C是沿图4B中X4-X4线的纵向剖面图。
图5A、5B是说明本发明第四实施例中的外部连接端子的透视示意图。
图5C是沿图5B中X5-X5线的纵向剖面图。
图6A是说明本发明第五实施例的横向剖面图,即沿图6C中Z6-Z6线的横向剖面图。
图6B是本发明第五实施例中使用的压电振子元件100的振幅分布示意图。
图6C是沿图6A中X6-X6线的纵向剖面图。
图7是沿图6A中Y6-Y6线的纵向剖面图。
图8是图6C的A部部分放大剖面图。
图9A、9B是说明本发明第六实施例的图,分别是从压电变压器部件500的里侧和表侧看的透视图。
图9C是沿图9B的Y8-Y8线的部分放大剖面图。
图9D是沿图9B中X8-X8线的纵向剖面图。
图9E是本发明第六实施例中使用的压电振子元件100的振幅分布示意图。
图10A-10E是本发明第六实施例的压电变压器部件500的制造方法的说明图。
图11A、11B是说明本发明第七实施例的图,分别是从压电变压器部件500的里侧和表侧看的透视图。
图11C是沿图11B中X11-X11线的纵向剖面图。
图11D是本发明第七实施例中使用的压电振子元件100的振幅分布示意图。
实施例
以下参考附图说明本发明的实施例。
(第一实施例)
参看图1A-1D,在印刷电路板50上装载构成压电变压器的压电振子元件100。压电振子元件100具有矩形体状压电陶瓷基片10,在压电陶瓷基片10的上面12左侧(初级侧)一半上设置初级侧电极22,在压电陶瓷基片10的下面14与初级侧电极22对应地还设置初级侧电极24,初级侧电极22与初级侧电极24之间的压电陶瓷基片10,在上面12与下面14之间的厚度方向产生极化。在靠近次极侧端面18的下面14设置次极侧电极26,初级侧电极22、24与次极侧电极26之间的压电陶瓷基片10,在作为上面12和下面14延长方向的纵向产生极化。
如果在初级侧电极22、24之间施加电压,则左半部分在厚度方向施加电场,在与极化方向垂直的方向形变的压电横向效果下,激励起纵向的纵振动,使压电振子元件100整体振动。而右半部分在纵向产生机械形变,通过在极化方向产生电位差的压电纵向效果,从次极侧电极26取出频率与在初级侧电极22、24之间施加的初级电压相同的电压。如果在初级侧电极22、24之间施加频率与压电振子元件100的共振频率相等的驱动电压,则可获得非常高的升压比。
本实施例的压电振子元件100,例如可以是在初级侧端面16与次极侧端面18之间存在1波长的应力分布的共振模式下驱动。如果在初级侧电极22、24之间施加频率与这种1波长模式的共振频率相等的电压,则由于压电陶瓷基片10的初级侧端面16和次极侧端面18均是开放的,所以压电陶瓷基片10的纵向两端应力为零,振幅最大。因此,由于按1波长模式产生共振,所以振幅分布如图1C所示,振动节点形成在距压电陶瓷基片10的初级侧端面16为压电陶瓷基片10的长度的1/4处(节点A)、和距压电陶瓷基片10的初级侧端面16为压电陶瓷基片10的长度的3/4处(节点B)。
在印刷电路板50上面,设置由铜箔制成的连接盘42、44、46。
压电振子元件100由引线框架32、34和36支撑。引线框架32的一端附近通过在连接部位31的焊接与初级侧电极22固定连接,引线框架32的另一端通过软钎焊等固定连接于连接盘42。引线框架34的一端附近通过在连接部位33的焊接与初级侧电极24固定连接,引线框架34的另一端通过软钎焊等固定连接于连接盘44。引线框架36的一端附近通过在连接部位35的焊接与次级侧电极26固定连接,引线框架36的另一端通过软钎焊等固定连接于连接盘46。在压电陶瓷基片10的下面14侧固定连接的引线框架34、36是直线状,在压电陶瓷基片10的上面12侧固定连接的引线框架32是在中间向上弯曲。
连接部位31、33在距离压电陶瓷基片10的初级侧端面16的1/4处,设置在与压电陶瓷基片10的纵向垂直的宽度方向的中央处。连接部位35在压电陶瓷基片10的次极侧端面18附近,设置在压电陶瓷基片10的宽度方向的中央处。
本实施例中,利用引线框架32、34使初级侧电极22、24与连接盘42、44分别电气和机械连接,利用引线框架36使次极侧电极26与连接盘46电气和机械连接,因而构造简单,易于实现薄型化。
而且,把初级侧电极22与引线框架32的连接部位31、和初级侧电极24与引线框架34的连接部位33设置在振动节点A,并且引线框架32、34、36较薄并极富弹性,所以利用其对压电振子元件100进行电气连接、支撑压电振子元件100,可以减少对压电振子元件100的振动的阻碍。
本实施例中,由于可以利用弹性体构成的引线框架34、32支撑压电振子元件100,所以也可用引线代替引线框架36。这样,由于仅用与振动节点连接的引线框架来支撑,所以可减少对振动的阻碍。
(第二实施例)
在上述第一实施例中,压电振子元件100安装在印刷电路板50上面,而本实施例,如图2所示,其与第一实施例不同之处如下,在印刷电路板150的中央部位,形成可容纳构成压电变压器的压电振子元件100的孔155,在此孔155中容纳压电振子元件100;其一端在与初级侧电极22的连接点31焊接连接的引线框架132,另一端通过软钎焊与印刷电路板150的上面152上的连接盘142连接,其一端在与初级侧电极24的连接点33焊接连接的引线框架134,另一端通过软钎焊与印刷电路板150的下面154上的连接盘144连接,除此之外其他相同。
本实施例中,也是利用由弹性体制成的引线框架132、134使初级侧电极22、24与连接盘142、144分别电气和机械连接,因而构造简单,易于实现薄型化。本实施例中,特别是把压电振子元件100容纳于印刷电路板150的中央部位的孔155中,所以可以明显薄型化。
而且,把初级侧电极22与引线框架132的连接部位31、和初级侧电极24与引线框架134的连接部位33设置在振动节点A,并且引线框架132、134较薄并极富弹性,所以利用其对压电振子元件100进行电气连接、支撑压电振子元件100,可以减少对压电振子元件100的振动的阻碍。
本实施例的这种结构也可适用于压电振子元件100是图3A、图3C、图6A和图6C所示压电振子元件100的情况。
(第三实施例)
参看图3A-3C,在印刷电路板250上装载构成压电变压器的压电振子元件100,压电振子元件100与布线基片250的连接盘92、94、96、98通过引线框架72、74、76、78、82、84连接,在布线基片250的周边部位上安装外壳,覆盖压电振子元件100、引线框架72、74、76、78、82、84和连接盘92、94、96、98。连接盘92、94、96、98由铜箔制成。与连接盘92、94、96、98分别连接的外部连接端子110,设置成向外壳160外侧突出。这样,利用布线基片250、压电振子元件100、引线框架72、74、76、78、82、84和外部连接端子110构成压电变压器部件500,通过软钎焊使外部连接端子110与印刷电路板120上的电路图形122连接,由此使压电变压器部件500与印刷电路板120电气和机械连接。
在矩形体状压电陶瓷基片10的上面12的左侧1/3处设置初级侧电极62,与初级侧电极62对置、在压电陶瓷基片10的下面14也设置初级侧电极64,初级侧电极62与初级侧电极64之间的压电陶瓷基片10在上面12与下面14之间的厚度方向产生极化。
在压电陶瓷基片10的上面12,从距初级侧端面16压电陶瓷基片10的纵向长度为1/3的距离间隔的位置,到距初级侧端面16压电陶瓷基片10的纵向长度为2/3的距离间隔的位置,设置初级侧电极66,与初级侧电极66对置、在压电陶瓷基片10的下面14也设置初级侧电极68。初级侧电极66与初级侧电极62间隔设置,初级侧电极68与初级侧电极64间隔设置。初级侧电极66与初级侧电极68之间的压电陶瓷基片10在上面12与下面14之间的厚度方向产生极化。初级侧电极62与初级侧电极64之间的压电陶瓷基片10的极化方向,初级侧电极66与初级侧电极68之间的压电陶瓷基片10的极化方向相反。
距压电陶瓷基片10的初级侧端面16压电陶瓷基片10的纵向长度为2/3之处与次极侧端面18之间的压电陶瓷基片10中,在初级侧电极68附近的下面14,与初级侧电极68间隔预定距离地设置次极侧电极61,在次极侧电极18附近的下面12,设置次极侧电极63。次极侧电极61与次极侧电极63之间的压电陶瓷基片10在压电陶瓷基片10的纵向产生极化。
如果在初级侧电极62、64之间和初级侧电极66、68之间施加电压,则左侧2/3的区域在厚度方向施加电场,在与极化方向垂直的方向产生形变的压电横向效果下,激励起纵向的纵振动,使压电振子元件100整体振动。
本实施例的压电振子元件100,可以是在初级侧端面16与次极侧端面18之间存在1.5波长的应力分布的共振模式下驱动。本实施例中,如果从电源(图中未示出)施加频率与这种1.5波长模式的共振频率相等的电压,则由于压电陶瓷基片10的初级侧端面16和次极侧端面18均是开放的,所以压电陶瓷基片10的纵向两端的应力为零,振幅最大。因此本实施例中,由于按1.5波长模式产生共振,所以振幅分布如图3B所示。
如果按这种1.5波长模式驱动,则振动节点在距压电陶瓷基片10的初级侧端面16为1/6的距离处(节点C)、距压电陶瓷基片10的初级侧端面16为1/2的距离处(节点D)和距压电陶瓷基片10的初级侧端面16为5/6的距离处(节点E)这三处。本实施例中,连接部位71、171设置在振动节点C处,连接部位75、175设置在振动节点D处。
本实施例中,在初级侧电极62、64的基础上增加设置初级侧电极66、68。因此,增大了初级侧电极面积,这样,压电振子元件100的输入阻抗变小。结果,从电源(图中未示出)向压电振子元件100提供电能变得容易。
而且,设置初级侧电极62、64的区域的应力方向与设置初级侧电极66、68的区域的应力方向相反。初级侧电极62与初级侧电极64之间的压电陶瓷基片10的极化方向与初级侧电极66与初级侧电极68之间的压电陶瓷基片10的极化方向相反,但是电场施加方向为同一方向。因此,如果从电源(图中未示出)在初级侧电极66、68之间施加电压,则通过从电源(图中未示出)在初级侧电极62、64之间施加电压,使初级侧电极66、68之间的压电陶瓷基片10以激励的共振进一步增大的方式而振动。结果,可以使从初级侧供给的电能更有效地转变为机械的弹性能。
本实施例中,在距压电陶瓷基片10的初级侧端面16压电陶瓷基片10的纵向长度为2/3的距离之处与次极侧端面18之间的压电陶瓷基片10的下面14,次极侧电极61和次级侧电极63在纵向间隔预定距离地设置,由此通过改变次级侧电极61和次级侧电极63之间的间隔,可以改变输出阻抗,增大设计自由度。
这样,由于在次级侧与初级侧电极62、64、66和68直流独立地设置次级侧电极61和次级侧电极63,所以可以使初级侧电路和次级侧电路直流地分离,在次级侧分别形成与初级侧独立的接地电极(例如,以初级侧电极64、68和次级侧电极61作为相互独立的接地电极),可以使初级侧的接地与次级侧的接地绝缘,另外可使次级侧不接地而浮置(例如使次级侧电极61不接地而浮置),提高抗噪声性。
在布线基片250的上面252,设置由铜箔制成的连接盘92、94、96、98。
压电振子元件100由引线框架72、74、76、78支撑。引线框架72的一端附近通过在连接部位71的焊接与初级侧电极62固定连接,引线框架72的另一端通过软钎焊等固定连接于连接盘92。同样,引线框架74、76、78的一端附近分别通过在连接部位171、75、175的焊接与初级侧电极64、66、68分别固定连接,引线框架74、76、78的另一端通过软钎焊等分别固定连接于连接盘94、92、96。引线框架82、84的一端附近通过在连接部位81、83的焊接与次级侧电极61、63固定连接,引线框架82、84的另一端通过软钎焊等分别固定连接于连接盘96、98。在压电陶瓷基片10的下面14侧固定连接的引线框架74、78、82、84是直线状,在压电陶瓷基片10的上面12侧固定连接的引线框架72、76是在中间向上弯曲。
连接部位71、171在纵向距离压电陶瓷基片10的初级侧端面16的1/6处,设置在与压电陶瓷基片10的纵向垂直的宽度方向的中央处。连接部位75、175在纵向距离压电陶瓷基片10的初级侧端面16的1/2处,设置在压电陶瓷基片10的宽度方向的中央处。连接部位81、83也设置在压电陶瓷基片10的宽度方向的中央处。
本实施例中,利用引线框架72、76使初级侧电极62、66分别与连接盘92电气和机械连接,利用引线框架74、78使初级侧电极64、68分别与连接盘94电气和机械连接,利用引线框架82使次级侧电极61与连接盘96电气和机械连接,利用引线框架84使次级侧电极63与连接盘98电气和机械连接,因而构造简单,易于实现薄型化。
而且,把初级侧电极62与引线框架72的连接部位71、和初级侧电极64与引线框架74的连接部位171设置在振动节点C,把初级侧电极66与引线框架76的连接部位75、和初级侧电极68与引线框架78的连接部位175设置在振动节点D,并且引线框架72、74、76、78、82、84较薄并极富弹性,所以利用其对压电振子元件100进行电气连接、支撑压电振子元件100,可以减少对压电振子元件100的振动的阻碍。
本实施例中,由于可以利用引线框架74、78支撑压电振子元件100,所以也可用引线代替引线框架82、84。这样,由于仅用与振动节点连接的引线框架来支撑,所以可减少对振动的阻碍。图3A、图3C中,包含次级侧电极61、63的下面14与布线基片250对置,但也可以与相反的上面12对置。另外还可用引线代替引线框架72、76。此时,引线框架可以采用全平的形状,节省成型加工。
本实施例中,在布线基片250的周边部位上还安装外壳160,覆盖压电振子元件100、引线框架72、74、76、78、82、84和连接盘92、94、96、98。这样,用外壳160覆盖压电振子元件100和引线框架72、74、76、78、82、84,则可利用外壳160保护压电振子元件100和引线框架72、74、76、78、82、84,不使压电变压器部件500的性能劣化,容易进行压电变压器部件500的表面安装。
而且,分别设置与连接盘92、94、96、98分别连接的外部连接端子110,把这些外部连接端子110向外壳160的外侧突出地设置。
按照本实施例,不是把外部连接端子110直接安装于压电振子元件100,而是把压电振子元件100装载于布线基片250,把外部连接端子110安装于此布线基片250,利用布线基片250的连接盘92、94、96、98使压电振子元件100与外部连接端子110连接,由此可以使压电振子元件100与布线基片250的连接上使用的引线框架72、74、76、78、82、84,和外部连接端子110独立。结果,即使向压电变压器500的印刷电路板120等安装时,对外部连接端子110施加较大的力,连接压电振子元件100与布线基片的引线框架72、74、76、78、82、84和压电振子元件100也不会受力。因此,不会使压电变压器部件500的性能劣化,而容易进行压电变压器部件500的表面安装。
参看图4A-4C,本实施例的外部连接端子110构成为在连接部116上形成断面为コ字形的连接部111。连接部111与装载压电振子元件100的布线基片250连接,连接部116与印刷电路板120上的布线图形122等外部电路连接。本实施例中,例如在布线基片250的上面252设置连接盘98,而且在布线基片250的下面254也设置铜箔制成的连接盘198,连接部111上侧的连接部112通过焊料170与连接盘98连接,连接部111下侧的连接部114通过焊料270与连接盘198连接。布线基片250下面254的连接盘198不必一定设置,但是如果设置,则可增大外部连接端子的结合强度,提高可靠性。
另外,在本实施例中,也可以如图9C所示,通过使通孔663进行通孔电镀来构成外部连接端子。
(第四实施例)
上述第三实施例中,是使用夹持布线基片250的形状的外部连接端子110作为外部连接端子,而本实施例中,如图5A-5C所示,除了使用气眼端子200作为外部连接端子这一点与第三实施例不同外,其它均相同。
气眼端子200由基底204和圆筒部202构成。基底204与印刷电路板120上的电路图形122等外部电路等连接。从下面254侧把圆筒部202插入布线基片250的孔182、184中,从上面252突出的圆筒部202经冲压而铆接,形成多处开放的顶端部206。之后,利用焊料270施加软钎料,可提高电气导通的可靠性。
而且,本实施例中,布线基片250下面254侧的铜箔等的连接盘全都没有,通过气眼的铆接也可获得端子强度。因此,即使使用布线基片250单面存在电路图形的单面布线基片,也能获得可靠性高的端子连接构造。
(第五实施例)
本实施例中以下说明的方面与第三实施例不同,其余均相同。
本实施例所用的压电振子元件100的初级侧结构与第三实施例所用的压电振子元件100的结构相同。
参看图6A-6C、图7、图8说明本实施例。
引线框架72、74的一端,分别通过连接部71和171,利用软钎焊在振动节点C与初级侧电极62和64分别连接(如图7所示,例如引线框架74的一端通过软钎料174与初级侧电极64连接)。引线框架76和78的一端,分别通过连接部75和175,利用软钎焊在振动节点D与初级侧电极66和68分别连接。引线框架72和76的另一端利用软钎焊与连接盘92连接,引线框架74和78的另一端利用软钎焊与连接盘94连接(如图7、图8所示,例如引线框架74的另一端通过软钎料274与连接盘94连接)。
在布线基片250与引线框架74和初级侧电极64的连接部对应处,和与引线框架78和初级侧电极68的连接部对应处,分别形成直径2mm的贯通孔300。在贯通孔300内填充属于市售的弹性粘结剂的一种的硅酮橡胶400,硅酮橡胶400的顶端覆盖引线框架74和初级侧电极64的连接部附近的引线框架74,而且覆盖引线框架78和初级侧电极68的连接部附近的引线框架78。利用硅酮橡胶400使压电振子元件100和布线基片250,在引线框架74和初级侧电极64的连接部和引线框架78和初级侧电极68的连接部分别接合固定。
通过这样利用硅酮橡胶400使压电振子元件100和布线基片250接合固定,可以提高对压电振子元件100的布线基片250的支持固定的可靠性。而且,引线框架74与初级侧电极64的连接部在压电振子元件100的振动节点C,引线框架78与初级侧电极68的连接部在压电振子元件100的振动节点D,由于利用有弹性的硅酮橡胶把压电振子元件100弹性地接合固定在这些振动节点及其附近,所以可抑制压电振子元件100的振动的共振特性的降低。
而且。由于在引线框架74、78与布线基片250之间设置硅酮橡胶,所以可缓和引线框架74、78与布线基片250之间产生的冲击,提高可靠性。
再有,利用硅酮橡胶300覆盖引线框架74与初级侧电极64的连接部附近的引线框架74,并覆盖引线框架78与初级侧电极68的连接部附近的引线框架78,所以可以使引线框架74、78的边缘70(参看图8)和压电振子元件100相接部分向压电振子元件100施加的集中应力被分散,结果可获得较大的耐下落冲击强度。与此相反,在不设置硅酮橡胶,仅由引线框架74、78与初级侧电极64、68连接时,要考虑引线框架74、78的边缘70(参看图8)与压电振子元件100相接部分使应力集中于压电振子元件100,压电振子元件100被破坏的情形。设置硅酮橡胶时,与不设置硅酮橡胶的情况相比,可获得2倍以上的耐下落冲击强度。
本实施例中,把引线框架72、74、76、78的一端预先分别软钎焊接在初级侧电极62、64、66、68的压电振子元件100的下面,与布线基片250相对配置,引线框架72、76的另一端分别软钎焊接在连接盘92,引线框架74、78的另一端分别软钎焊接在连接盘94。在引线框架74与初级侧电极64的连接部对应处和引线框架78与初级侧电极68的连接部对应处,在布线基片250上预先形成贯通孔300,利用投放器向贯通孔300注入一定量的市售硅酮橡胶400。
本实施例中,使用有粘结性的硅酮橡胶400,但是也可使用无粘结性的硅酮橡胶。此时,利用硅酮橡胶的弹性,可以缓和冲击。
在次级侧,在次级侧端面18附近的上面12和下面14分别设置次级侧电极65、67。初级侧电极66、68与次级侧电极65、67之间的压电陶瓷基片10在纵向产生极化。次级侧电极65通过连接部165利用引线199与连接盘99连接。连接部165设置在压电陶瓷基片10的宽度方向的中央部位。外部连接端子110b安装在连接盘99上。在布线基片250上还设置连接盘97,外部连接端子110a安装在连接盘97上,但是此连接盘97和外部连接端子110a不与压电振子元件100电气连接,是用于把压电变压器部件500机械装载于电路板120上。
(第六实施例)
参看图9A-9E说明本实施例。
本实施例的压电变压器部件500包括玻璃环氧基片710和在玻璃环氧基片710的表面上装载的压电陶瓷基片610。
压电陶瓷基片610的左侧2/3是初级侧,在压电陶瓷基片610上面612设置初级侧电极622、626,在下面614设置初级侧电极624、628。初级侧电极622、624之间的压电陶瓷基片610在厚度方向向下产生极化,初级侧电极626、628之间的压电陶瓷基片610在厚度方向向上产生极化,初级侧电极622和626连接,初级侧电极624和628连接,由此,基于初级侧电极622、624之间的压电陶瓷基片610激励的压电陶瓷基片610的整体共振,和基于初级侧电极626、628之间的压电陶瓷基片610激励的压电陶瓷基片610的整体共振,相互增大其它的共振。
压电陶瓷基片610的右侧1/3是次级侧,在压电陶瓷基片610的纵向产生极化。在压电基片右端上面设置次级侧电极629,由此取出升压的电压。
上述构成的压电陶瓷基片610起压电变压器的功能,在初级侧端面616与次级侧端面618之间,可以明显地驱动例如1.5波长的振动模式。此时,从初级侧端面616到压电陶瓷基片610的纵向长度的1/6、3/6和5/6处分别成为纵向振动的节点C、D和E。宽度方向的振动节点在压电陶瓷基片610的宽度方向的中心线上。
根据本实施例,在压电陶瓷基片610的宽度方向的中心线上存在的纵向振动节点C、D和E的位置所分别对应的位置,对玻璃环氧基片710的部分分别设置贯通孔722、724和726,分别通过这些贯通孔722、724和726,从玻璃环氧基片710的里面714注入硅酮橡胶粘结剂,由此利用点状硅酮橡胶732、734、7 36分别使压电陶瓷基片610与玻璃环氧基片710接合。而且,贯通孔622、624、626的直径D1、D2、D3均是2.5mm,压电陶瓷基片610的下面614与玻璃环氧基片710的表面712的距离是0.3mm。
这样,在本实施例中,由于压电振子元件100的振动节点C、D、E分别由硅酮橡胶732、734、736支撑,所以可抑制对振动的阻力。而且,由于是用弹性体的硅酮橡胶支撑压电振子元件100,不必由引出电极的引线来支撑压电陶瓷基片610,所以即使无刚性也可以自由布线。
根据本实施例,作为引出电极用的引线,使用直径0.03mm×7支的绞合引线。绞合引线630通过软钎料634、632分别与初级侧电极626、622连接,其一端通过软钎料631连接在玻璃环氧基片710表面712上设置的连接盘662。绞合引线640通过软钎料644、642分别连接在初级侧电极628、624,其一端通过软钎料连接在玻璃环氧基片710表面712上设置的连接盘672。绞合引线650通过软钎料652连接在次级侧电极629,其一端通过软钎料连接在玻璃环氧基片710表面712上设置的连接盘682。
这样,根据本实施例,绞合引线6 30、640、650仅在压电陶瓷基片610的纵向引出,由此可使压电变压器部件500的宽度与压电陶瓷基片610的宽度基本相同。
而且,连接盘662、672、682分别作为外部连接端子660、670、680的一部分来形成,这些外部连接端子660、670、680,例如以外部连接端子660为例说明,如图9C所示,利用通孔电镀形成的电镀层664形成通孔663。
以下,参考图10A-10E说明本实施例的压电变压器的制造方法。
首先,如图10A所示,分别在压电振子元件100的初级侧电极622、626软钎焊接绞合引线630,在初级侧电极624、628软钎焊接绞合引线640,在次级侧电极629软钎焊接绞合引线650。
然后,如图10B所示,对软钎焊接了绞合引线630、640、650的压电振子元件100机械超声波清洗。超声波清洗是在乙醇中清洗30秒,然后在纯水中清洗30秒,最后在丙酮中清洗。
随后,如图10C所示,利用硅酮橡胶890接合压电陶瓷基片610和玻璃环氧基片710。此时,在压电陶瓷基片610和玻璃环氧基片710之间夹持厚0.3mm的衬板822、824的状态下,用夹具832、834固定,从玻璃环氧基片710的里面714分别通过通孔722、724、726注入硅酮橡胶890,机械接合。
之后,如图10D所示,把绞合引线630、640、650分别软钎焊接在玻璃环氧基片上的连接盘662、672、682。
接着,如图10E所示,利用粘结剂投放器840把ABS树脂制成的盖850用丙烯型UV固化粘结剂接合。
(第七实施例)
参考图11A-11D说明本实施例。
本实施例的压电变压器部件500包括玻璃环氧基片710和在玻璃环氧基片710的表面上装载的压电陶瓷基片610。
压电陶瓷基片610的左侧1/2是初级侧,在压电陶瓷基片610上面612、下面614设置初级侧电极621、623。初级侧电极621、623之间的压电陶瓷基片610在厚度方向产生极化。
压电陶瓷基片610的右侧1/2是次级侧,在压电陶瓷基片610的纵向产生极化。在压电基片右端上面设置次级侧电极625,由此取出升压的电压。
上述构成的压电陶瓷基片610起压电变压器的功能,在初级侧端面616与次级侧端面618之间,可以明显地驱动例如1波长的振动模式。此时,从初级侧端面616到压电陶瓷基片610的纵向长度的1/4和3/4处分别成为纵向振动的节点A和B。宽度方向的振动节点在压电陶瓷基片610的宽度方向的中心线上。
根据本实施例,在压电陶瓷基片610的宽度方向的中心线上存在的纵向振动节点A和B的位置所分别对应的位置,对玻璃环氧基片710的部分分别设置贯通孔721、723,分别通过这些贯通孔721、723,从玻璃环氧基片710的里面714注入硅酮橡胶粘结剂,由此利用点状硅酮橡胶731、733分别使压电陶瓷基片610与玻璃环氧基片710接合。而且,贯通孔721、72 3的直径D4、D5均是2.5mm,压电陶瓷基片610的下面614与玻璃环氧基片710的表面712的距离是0.3mm。
这样,在本实施例中,由于压电振子元件100的振动节点A、B分别由硅酮橡胶731、733支撑,所以可抑制对振动的阻力。而且,由于是用弹性体的硅酮橡胶支撑压电振子元件100,不必由引出电极的引线来支撑压电陶瓷基片610,所以即使无刚性也可以自由布线。
根据本实施例,作为引出电极用的引线,使用直径0.03mm×7支的绞合引线635、645。绞合引线635通过软钎料637与初级侧电极621连接,其一端通过软钎料连接在玻璃环氧基片710表面712上设置的连接盘662。绞合引线645通过软钎料647连接在初级侧电极623,其一端通过软钎料连接在玻璃环氧基片710表面712上设置的连接盘672。绞合引线655通过软钎料657连接在次级侧电极625,其一端通过软钎料连接在玻璃环氧基片710表面712上设置的连接盘682。
这样,根据本实施例,绞合引线633、645、655仅在压电陶瓷基片610的纵向引出,由此可使压电变压器部件500的宽度与压电陶瓷基片610的宽度基本相同。
在上述第六、第七实施例中,外部连接端子660、670、680设置在上述纵向的玻璃环氧基片710的端部,所以在电路中组装压电变压器部件500时可以缩小宽度。
如上所述,根据本发明,可使压电振子元件的支撑结构和压电振子部件的结构简单,易于实现薄型化,而且容易进行表面安装。
此外,还提供了宽度方向尺寸小的压电变压器部件。
结果,本发明特别适合应用于作为液晶显示屏的背景照明的冷阴极管点灯用的压电变压器、其支撑结构及其安装方法。

Claims (38)

1.一种压电振子的支撑结构,其特征在于,利用导电弹性体制成的引线端子,电气和机械地分别连接设置于压电振子元件表面上的至少一个电极和布线基片的至少一个导电部材,所述压电振子元件的所述电极与所述布线基片的所述导电部件通过所述引线端子电气导通,并且利用所述引线端子与所述布线基片不接触地支撑所述压电振子元件。
2.根据权利要求1的压电振子的支撑结构,其特征在于,具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面与所述布线基片对置,所述导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部材连接,设置覆盖所述连接处附近的所述引线端子的缓冲部材。
3.根据权利要求1的压电振子的支撑结构,其特征在于,具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面与所述布线基片对置,所述导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部材连接,在至少与所述连接处对应之处,于所述引线端子和所述布线基片之间设置缓冲部材。
4.根据权利要求1的压电振子的支撑结构,其特征在于,具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面与所述布线基片对置,所述引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部材连接,利用弹性粘结剂制成的缓冲部材,在至少与所述连接处对应之处,连接所述压电振子元件和所述布线基片。
5.根据权利要求2-4中任一项的压电振子的支撑结构,其特征在于,在与所述布线基片的所述连接处的对应部分设置贯通孔,在所述贯通孔填充所述缓冲部材。
6.根据权利要求1的压电振子的支撑结构,其特征在于,在所述配线基板上设置孔,所述压电振子元件的至少一部分容纳于孔内。
7.根据权利要求1-6中任一项的压电振子的支撑结构,其特征在于,所述引线端子是条状导电薄带。
8.根据权利要求1-6中任一项的压电振子的支撑结构,其特征在于,所述引线端子与所述压电振子元件的所述电极的连接部位中的至少一个连接部是所述压电振子元件的振动节点。
9.根据权利要求2-5中任一项的压电振子的支撑结构,其特征在于,所述引线端子与所述压电振子元件的所述电极的连接部位中设置所述缓冲部材的连接部是所述压电振子元件的振动节点。
10.根据权利要求1-9中任一项的压电振子的支撑结构,其特征在于,所述压电振子是压电变压器。
11.一种压电振子部件,具有压电振子元件,其特征在于,
还包括装载所述压电振子元件的布线基片和所述压电振子部件的外部连接端子,
利用导电弹性体制成的引线端子把所述压电振子元件装载于所述布线基片,
在所述布线基片安装或者设置所述外部连接端子,
通过所述布线基片的导电部材,使所述压电振子元件和所述外部连接端子电气地连接。
12.根据权利要求11的压电振子部件,其特征在于,利用所述引线端子,电气和机械地分别连接在所述压电振子元件表面设置的至少一个电极和所述布线基片的至少一个导电部材,利用所述引线端子电气导通所述压电振子元件的所述电极和所述布线基片的所述导电部材,同时利用所述引线端子在不与所述布线基片接触的情况下支撑所述压电振子元件。
13.根据权利要求11的压电振子部件,其特征在于,具有所述压电振子元件的所述至少一个电极的面与所述布线基片对置,所述引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部材连接,设置覆盖所述连接处附近的所述引线端子的缓冲部材。
14.根据权利要求11的压电振子部件,其特征在于,具有所述压电振子元件的至少一个电极的面与所述布线基片对置,所述引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部材连接,在至少与所述连接处对应之处,在所述引线端子和之间设置缓冲部材。
15.根据权利要求11的压电振子部件,其特征在于,具有所述压电振子元件的至少一个电极的面与所述布线基片对置,所述引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的所述导电部材连接,利用弹性粘结剂制成的缓冲部材,在至少与所述连接处对应之处,连接所述压电振子元件和所述布线基片。
16.根据权利要求13-15中任一项的压电振子部件,其特征在于,在与所述布线基片的所述连接处的对应部分设置贯通孔,在所述贯通孔填充所述缓冲部材。
17.根据权利要求11-16中任一项的压电振子部件,其特征在于,所述引线端子是条状导电薄带。
18.根据权利要求12的压电振子部件,其特征在于,所述引线端子与所述压电振子元件的所述电极的连接部位中的至少一个连接部是所述压电振子元件的振动节点。
19.根据权利要求13-16中任一项的压电振子部件,其特征在于,所述引线端子与所述压电振子元件的所述电极的连接部位中设置所述缓冲部材的连接部是所述压电振子元件的振动节点。
20.根据权利要求11-19中任一项的压电振子部件,其特征在于,在所述布线基片上安装覆盖所述压电振子元件和所述引线端子的外壳。
21.根据权利要求11-20中任一项的压电振子部件,其特征在于,所述压电振子是压电变压器。
22.一种压电振子的安装方法,其特征在于包括以下步骤:
具有压电振子元件的至少一个电极的面与布线基片的一个主面对置,导电弹性体制成的引线端子的一端在所述电极的预定连接处与所述电极连接,所述引线端子的另一端与所述布线基片的导电部材连接;
通过在与所述布线基片的所述连接处的对应部分设置的贯通孔,从与所述布线基片的一个主面相反侧的另一主面注入缓冲部材,在至少与所述连接处对应之处在所述引线端子和所述布线基片之间设置缓冲部材。
23.根据权利要求22的压电振子的安装方法,其特征在于,在所述引线端子和所述布线基片之间设置所述缓冲部材的步骤,是在至少与所述连接处对应之处在所述引线端子和所述布线基片之间设置所述缓冲部材,同时利用所述缓冲部材覆盖所述连接部附近的所述连接端子。
24.根据权利要求22的压电振子的安装方法,其特征在于,所述缓冲部材是弹性粘结剂,在所述引线端子和所述布线基片之间设置所述缓冲部材的步骤,是在至少与所述连接处对应之处在所述引线端子和所述布线基片之间设置所述缓冲部材,同时利用所述缓冲部材连接所述压电振子元件和所述布线基片。
25.根据权利要求22-24中任一项的压电振子的安装方法,其特征在于,所述压电振子是压电变压器。
26.一种压电变压器部件,具有压电振子元件,其特征在于,
还包括装载所述压电振子元件的装载基片和所述压电振子部件的外部连接端子,
在所述装载基片上装载所述压电振子元件,
在所述装载基片上安装或者设置所述外部连接端子,
通过所述装载基片的导电部材,使所述压电振子元件和所述外部连接端子电连接。
27.根据权利要求26的压电变压器部件,其特征在于,在所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,在所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一个以上的位置,通过弹性体接合所述压电振子元件和所述装载基片。
28.根据权利要求26的压电变压器部件,其特征在于,在所述压电振子元件的振动节点的相当位置中的一个以上的位置,通过弹性体接合所述压电振子元件和所述装载基片。
29.根据权利要求27或28的压电变压器部件,其特征在于,通过所述弹性体接合的接合处是2个以上。
30.根据权利要求27-29中任一项的压电变压器部件,其特征在于,在与所述装载基片的所述压电振子元件的所述接合部分所对应的部分设置贯通孔。
31.根据权利要求27-30中任一项的压电变压器部件,其特征在于,所述弹性体是弹性粘结剂。
32.一种压电变压器部件的制造方法,该压电变压器部件具有压电振子元件和装载所述压电振子元件的装载基片,该方法的特征在于包括以下步骤:
在所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
通过所述贯通孔,从所述装载基片的装载所述压电振子元件的面相反侧的面,注入弹性粘结剂,利用所述弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
33.根据权利要求32的压电变压器部件的制造方法,其特征在于,在所述装载基片的预定部分设置贯通孔的步骤,是在与所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔。
34.根据权利要求32的压电变压器部件的制造方法,其特征在于,在所述装载基片的预定部分设置贯通孔的步骤,是在与所述压电振子元件的振动节点相当的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔。
35.一种压电变压器的支撑结构,把压电振子元件支撑在布线基片上,其特征在于,
在所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
在所述预定位置,利用弹性体接合所述压电振子元件和所述装载基片。
36.一种压电变压器的支撑结构,把压电振子元件支撑在布线基片上,其特征在于,
在与所述压电振子元件的振动节点相当的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
在所述预定位置,利用弹性体接合所述压电振子元件和所述装载基片。
37.一种压电变压器的安装方法,在布线基片上安装压电振子元件,其特征在于包括以下步骤:
在所述压电振子元件的宽度方向的中心线上,所述压电振子元件纵向长度的1/n(n是2以上的整数)的m倍(m是比n小的整数)的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
通过所述贯通孔,从与所述布线基片的装载所述压电振子元件的面相反侧的面注入弹性粘结剂,利用所述弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
38.一种压电变压器的安装方法,在布线基片上安装压电振子元件,其特征在于包括以下步骤:
在与所述压电振子元件的振动节点相当的位置中的一处以上的位置对应的所述装载基片的预定部分设置贯通孔;
通过所述贯通孔,从与所述布线基片的装载所述压电振子元件的面相反侧的面注入弹性粘结剂,利用所述弹性粘结剂接合所述压电振子元件和所述装载基片。
CN96197193A 1995-08-25 1996-08-22 压电振子部件、压电振子支撑结构和压电振子安装方法 Pending CN1197548A (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24083195 1995-08-25
JP240831/95 1995-08-25
JP90274/96 1996-03-19
JP9027496A JPH09260740A (ja) 1996-03-19 1996-03-19 圧電トランスおよびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1197548A true CN1197548A (zh) 1998-10-28

Family

ID=26431774

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN96197193A Pending CN1197548A (zh) 1995-08-25 1996-08-22 压电振子部件、压电振子支撑结构和压电振子安装方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6172446B1 (zh)
EP (1) EP0847093A1 (zh)
KR (1) KR19990044074A (zh)
CN (1) CN1197548A (zh)
CA (1) CA2230269C (zh)
WO (1) WO1997008760A1 (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100403571C (zh) * 2002-08-21 2008-07-16 松下电器产业株式会社 共振器件的制造方法
CN101884168A (zh) * 2007-12-06 2010-11-10 株式会社村田制作所 压电振动部件
CN102192113A (zh) * 2011-01-28 2011-09-21 余义伦 一种弹性触发压电装置及其应用
CN104900797A (zh) * 2015-06-10 2015-09-09 中国科学技术大学 一种压电振子
CN105489752A (zh) * 2014-10-06 2016-04-13 株式会社田村制作所 压电变压器以及电源用电路模块
CN106913356A (zh) * 2015-11-30 2017-07-04 精工爱普生株式会社 压电器件、压电模块以及电子设备
CN106935700A (zh) * 2017-03-24 2017-07-07 苏州权素船舶电子有限公司 一种电子元器件
CN111373649A (zh) * 2017-08-16 2020-07-03 高压马达乌普萨拉有限公司 超声谐振马达
CN111682103A (zh) * 2020-05-29 2020-09-18 深圳振华富电子有限公司 一种带电极片式压电驱动器堆栈的制备方法
CN111682102A (zh) * 2020-05-29 2020-09-18 深圳振华富电子有限公司 一种压电驱动器堆栈的制备方法

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1131856A (ja) * 1997-07-10 1999-02-02 Mitsui Chem Inc 圧電トランス用圧電基板の支持構造およびそれを備えた圧電トランス
JP4344023B2 (ja) * 1998-06-05 2009-10-14 Necトーキン株式会社 圧電トランス用素子の実装構造及び圧電トランスの製造方法
JP3468163B2 (ja) * 1999-07-05 2003-11-17 株式会社村田製作所 圧電共振子の支持構造、電子部品、ラダーフィルタおよび通信機器
JP3820823B2 (ja) 1999-12-02 2006-09-13 株式会社村田製作所 ケース基板の製造方法及び圧電共振部品
JP3538707B2 (ja) * 2000-02-21 2004-06-14 株式会社村田製作所 シリコーンゴム硬化方法および硬化装置
JP4583190B2 (ja) * 2005-01-28 2010-11-17 富士通株式会社 共振器、超音波接合ヘッド及び超音波接合装置
US7420933B2 (en) * 2005-02-19 2008-09-02 Cisco Technology, Inc. Techniques for zero touch provisioning of edge nodes for a virtual private network by pushing configuration from a server
DE102006015980A1 (de) * 2006-04-05 2007-10-18 Epcos Ag Elektrisches Bauelement
US8189301B2 (en) * 2009-04-24 2012-05-29 Magnecomp Corporation Wireless microactuator motor assembly for use in a hard disk drive suspension, and mechanical and electrical connections thereto
TWI422282B (zh) * 2009-07-24 2014-01-01 Midas Wei Trading Co Ltd A lighting device for driving a light emitting diode using an insulated piezoelectric transformer
CN102597932B (zh) * 2009-11-19 2014-12-10 株式会社村田制作所 带触摸面板的电子设备
JP5343179B1 (ja) * 2011-10-19 2013-11-13 パナソニック株式会社 電子機器
US9117468B1 (en) * 2013-03-18 2015-08-25 Magnecomp Corporation Hard drive suspension microactuator with restraining layer for control of bending
US11205449B2 (en) 2013-03-18 2021-12-21 Magnecomp Corporation Multi-layer PZT microacuator with active PZT constraining layers for a DSA suspension
US10607642B2 (en) * 2013-03-18 2020-03-31 Magnecomp Corporation Multi-layer PZT microactuator with active PZT constraining layers for a DSA suspension
US9330694B1 (en) 2013-03-18 2016-05-03 Magnecomp Corporation HDD microactuator having reverse poling and active restraining layer
US9070394B1 (en) 2013-03-18 2015-06-30 Magnecomp Corporation Suspension microactuator with wrap-around electrode on inactive constraining layer
US9741376B1 (en) 2013-03-18 2017-08-22 Magnecomp Corporation Multi-layer PZT microactuator having a poled but inactive PZT constraining layer
US9330698B1 (en) 2013-03-18 2016-05-03 Magnecomp Corporation DSA suspension having multi-layer PZT microactuator with active PZT constraining layers
JP6519136B2 (ja) 2014-09-26 2019-05-29 ブラザー工業株式会社 圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータの製造方法
US9750124B2 (en) * 2015-04-03 2017-08-29 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Piezoelectric particle accelerator
US10128431B1 (en) 2015-06-20 2018-11-13 Magnecomp Corporation Method of manufacturing a multi-layer PZT microactuator using wafer-level processing
DE102018113190B4 (de) 2018-06-04 2020-03-12 Epcos Ag Vorrichtung mit einem elektrokeramischem Bauteil

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6015343Y2 (ja) * 1978-08-16 1985-05-14 松下電器産業株式会社 圧電トランスの支持構造
JPS55100719A (en) * 1979-01-25 1980-07-31 Noto Denshi Kogyo Kk Support structure of piezoelectric element
JPH04127486A (ja) * 1990-09-18 1992-04-28 Fujitsu Ltd 圧電トランス
DE59100463D1 (de) 1991-02-07 1993-11-11 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern.
US5392012A (en) 1991-09-18 1995-02-21 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Piezoelectric filter in a casing sealed by an insulating filler and having cranked connecting legs
JPH06350376A (ja) * 1993-01-25 1994-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 気密封止された圧電デバイスおよび気密封止パッケージ
JP2967564B2 (ja) 1993-06-17 1999-10-25 株式会社大真空 圧電トランス
JPH07131088A (ja) 1993-06-25 1995-05-19 Daishinku Co 圧電トランス
JP2591850Y2 (ja) * 1993-09-22 1999-03-10 株式会社村田製作所 オンボード型電源
JPH0851242A (ja) * 1994-08-05 1996-02-20 Hitachi Ferrite Denshi Kk 圧電トランスの実装方法
JPH08125246A (ja) * 1994-10-25 1996-05-17 Hitachi Ferrite Ltd 圧電トランスの実装方法
JP3301262B2 (ja) * 1995-03-28 2002-07-15 松下電器産業株式会社 弾性表面波装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100403571C (zh) * 2002-08-21 2008-07-16 松下电器产业株式会社 共振器件的制造方法
CN101884168A (zh) * 2007-12-06 2010-11-10 株式会社村田制作所 压电振动部件
US8330336B2 (en) 2007-12-06 2012-12-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric vibration component
CN101884168B (zh) * 2007-12-06 2013-07-03 株式会社村田制作所 压电振动部件
CN102192113A (zh) * 2011-01-28 2011-09-21 余义伦 一种弹性触发压电装置及其应用
CN105489752A (zh) * 2014-10-06 2016-04-13 株式会社田村制作所 压电变压器以及电源用电路模块
CN104900797A (zh) * 2015-06-10 2015-09-09 中国科学技术大学 一种压电振子
CN104900797B (zh) * 2015-06-10 2017-10-03 中国科学技术大学 一种压电振子
CN106913356A (zh) * 2015-11-30 2017-07-04 精工爱普生株式会社 压电器件、压电模块以及电子设备
CN106913356B (zh) * 2015-11-30 2021-01-08 精工爱普生株式会社 压电器件、压电模块以及电子设备
CN106935700A (zh) * 2017-03-24 2017-07-07 苏州权素船舶电子有限公司 一种电子元器件
CN111373649A (zh) * 2017-08-16 2020-07-03 高压马达乌普萨拉有限公司 超声谐振马达
CN111682103A (zh) * 2020-05-29 2020-09-18 深圳振华富电子有限公司 一种带电极片式压电驱动器堆栈的制备方法
CN111682102A (zh) * 2020-05-29 2020-09-18 深圳振华富电子有限公司 一种压电驱动器堆栈的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990044074A (ko) 1999-06-25
US6172446B1 (en) 2001-01-09
CA2230269A1 (en) 1997-03-06
EP0847093A1 (en) 1998-06-10
WO1997008760A1 (fr) 1997-03-06
CA2230269C (en) 2001-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1197548A (zh) 压电振子部件、压电振子支撑结构和压电振子安装方法
CN1210795C (zh) 电子装置及其制造方法
CN1083173C (zh) 应用宽度振动模式的谐振器和谐振元件
CN1271746C (zh) 通信适配器和便携式电子设备
CN1100280C (zh) 液晶显示器和数据处理装置
CN1220417C (zh) 平板天线和电路基板的连接结构
CN1532860A (zh) 电子部件
CN1753201A (zh) 超声波振子
CN1469469A (zh) 功率半导体装置
CN1265666C (zh) 表面声波滤波单元、表面声波滤波器和应用这类器件的通信装置
CN1882224A (zh) 配线基板及其制造方法
CN1258096A (zh) 半导体器件接触器、采用它的检测装置和方法及清洗方法
CN101064329A (zh) 光学器件和使用该光学器件的光学模块
CN1441475A (zh) 超声波漏斗型辐射体及使用该超声波漏斗型辐射体的超声波接合装置
CN1638118A (zh) 半导体装置
CN1898998A (zh) 冷阴极管点亮装置
CN1565078A (zh) 压电部件及制造方法
CN1284270C (zh) 高频无线电设备天线装置、高频无线电设备以及手表形无线电设备
CN1199080C (zh) 液晶显示装置
CN1813487A (zh) 压电致动器
CN1441489A (zh) 半导体装置及其制造方法、电路板和电子仪器
CN1229879C (zh) 压电变压器
CN1747311A (zh) 振动波电机
CN1180533C (zh) 纵向耦合型多模压电滤波器
CN1294756A (zh) 半导体装置、安装基板及其制造方法、电路基板和电子装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication