CN1194359C - 固体电解电容器的制造方法和制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明包括：(a)提供电容器元件制造装置的工序，其中，该制造装置具有：聚合槽、聚合槽内设置的聚合液、以及聚合液中设置的阴极；(b)提供具有多个电容器元件部的芯材的工序，其中，每一元件部具有阳极引出部和阴极引出部；(c)在芯材表面形成化成被膜的工序；(d)在化成被膜上设置导电物质的工序；(e)将具有导电物质的多个电容器元件的每一阳极引出部贴在导电性带上的工序；(f)在聚合液内浸渍将阳极引出部贴在导电性带上的芯材的工序；以及(g)在导电性带上加上电压，在阴极引出部形成聚合膜的工序。

Description

固体电解电容器的制造方法和制造装置
技术领域
本发明涉及一种具有固体电解质的固体电解电容器的制造方法和制造装置。
背景技术
近年来，随着电子设备电源电路的高频化，需要有优异的高频特性的电解电容器。为了适应这种需要，实现高频波段的低阻抗，提出了将电解聚合得到的高导电率导电性高分子用作固体电解质的固体电解电容器方案。
现有的固体电解电容器中，在多个电容器元件的阴极引出部同时靠电解聚合形成高分子聚合膜时，需要如图22所示，在聚合液1中使供电用电极3接触每一个阳极引出部2，将该电极3作为正极，在正极3和阴极14之间加上电压，进行电解聚合。
但上述现有固体电解电容器制造方法中，需要电容器元件逐个准备聚合电极13，并且使各自的聚合电极13与每一个阳极引出部2接触这种烦琐工序，因此，难以高效率大批量生产。
发明内容
本发明提供一种适合大批量生产的固体电解电容器的制造方法。
本发明的固体电解电容器的制造方法，包括：
(a)提供电容器元件制造装置的工序，
其中，所述电容器元件制造装置具有：聚合槽；所述聚合槽内设置的聚合液；以及所述聚合槽内所述聚合液中设置的阴极；
(b)提供具有多个电容器元件部的芯材的工序，
其中，所述多个电容器元件部中每一电容器元件部具有阳极引出部和阴极引出部；
(c)在所述芯材表面形成化成被膜的工序；
(d)在所述化成被膜上设置导电物质的工序；
(e)将具有所述导电物质的所述多个电容器元件的所述每一阳极引出部贴在导电性带上的工序；
(f)在所述聚合液内浸渍将所述阳极引出部贴在所述导电性带上的所述芯材的工序；以及
(g)在所述导电性带上加上电压，在所述电容器元件的阴极引出部形成聚合膜的工序。
本发明的固体电解电容器的制造装置，包括：
提供具有多个电容器元件部的芯材的提供装置，其中，所述多个电容器元件部中各个电容器元件部具有阳极引出部和阴极引出部；
在所述芯材表面上形成化成被膜的化成被膜形成装置；
在所述化成被膜上设置导电物质的导电物质形成装置；
将具有所述导电物质的所述多个电容器元件贴在导电性带上的贴附装置；
所述导电性带上贴附的所述芯材的所述阴极引出部表面形成具有导电性的聚合膜的聚合装置，所述聚合装置具有聚合液；以及
从形成了所述聚合膜的所述芯材上剥离所述导电性带的剥离装置。
最好，所述芯材具有带状形状。
最好，所述聚合槽具有长条形状。
通过在该导电性带上加上电压，便从该导电性带表面上开始聚合反应，该聚合扩展至多个电容器元件中各电容器元件的阴极引出部。这样，便在各电容器元件阴极引出部上同时形成聚合膜。因此，生产效率显著提高。
本发明第一方面的固体电解电容器制造方法，采用电容器元件制造装置，其中包括：提供芯材的工序，其中芯材的两端具有多个通过贴上绝缘带分离为阳极引出部和阴极引出部的电容器元件部；靠化成处理槽在该芯材上形成化成被膜的工序；靠导电物质形成槽在所述阴极引出部上形成导电物质层的工序；以及靠聚合槽通过电解聚合在该导电物质层上形成聚合膜的工序，其特征在于，所述聚合膜的形成工序包括：
(a)在所述芯材的所述阳极引出部上贴上导电性带的工序；
(b)将贴上所述导电性带的所述芯材浸渍于所述聚合槽的聚合液内的工序；
(c)在所述导电性带和所述聚合槽的所述聚合液中设置的阴极之间加上电压，在所述电容器元件部的所述阴极引出部上形成所述聚合膜的工序；以及
(d)从所述芯材上剥离所述导电性带的工序。
本发明第二方面的固体电解电容器制造装置，其特征在于，包括：
提供芯材的提供装置，其中芯材的两端具有多个通过贴上绝缘带分离为阳极引出部和阴极引出部的电容器元件部；
在所述芯材表面形成化成被膜的化成被膜形成装置；
在所述化成被膜上设置导电物质的导电物质形成装置；
在所述芯材的所述阳极引出部上贴上导电性带的贴附装置；
包括具有聚合液的聚合槽和所述聚合槽中具有的阴极，将贴上所述导电性带的所述芯材浸渍于所述聚合槽的所述聚合液内，在所述导电性带和所述阴极之间加上电压，在所述阴极引出部表面形成聚合膜的聚合装置；以及
从形成了所述聚合膜的所述芯材上剥离所述导电性带的剥离装置。
附图说明
图1示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法的框图。
图2示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法所用的电容器元件一制造状态的平面图。
图3示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法所用的电容器元件另一制造状态的平面图。
图4示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法所用的电容器元件又一制造状态的平面图。
图5示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法所用的电容器元件一制造状态的截面图。
图6示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽的截面图。
图7示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽的立体图。
图8示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽的截面图。
图9示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽的电气框图。
图10示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的另一聚合槽的电气框图。
图11示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第一从动辊子的截面图。
图12示出图11所示的第一从动辊子主要部位的放大截面图。
图13示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第一张紧辊子的截面图。
图14示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第二张紧辊子的立体图。
图15示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第一通电辊子部的立体图。
图16示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第一通电辊子的截面图。
图17示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的电压加接端子部的立体图。
图18示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的拉剥辊子部的立体图。
图19示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第一拉剥爪的平面图。
图20示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第一拉剥爪的侧视图。
图21示出本发明一实施例固体电解电容器制造方法形成聚合膜所用的聚合槽中用的第二通电辊子部的立体图。
图22示出现有的固体电解电容器制造方法中形成聚合膜所用的聚合槽的截面图。
具体实施方式
标号说明
5                     芯材
6                     缝隙
7                     电容器元件部
8                     绝缘带
9                     阳极引出部
10                    阴极引出部
16                    导电性带
17                    聚合槽
18                    聚合液
19                    阴极
23                    第一从动辊子
24                    第一张紧辊子
25                    贯通轴
26                    滚珠轴承
27                    驱动轴
28                    盖
29                    间隔片
30                    围边
31                    第一通电辊子
33                    废物刮除板
34                    第二从动辊子
35                    第三从动辊子
36                    分离带
37                    卷轴
38a、38b              第二张紧辊子
39                    位置约束板
42                    电压加接端子
45                    拉剥辊子
46                    割缝辊子
47                    第一剥离爪
48                    第二剥离爪
49                    辊子
50                    第二通电辊子
53a、53b              拉紧辊子
70                    聚合装置
71                    供给装置
72                    化成被膜形成装置
75                    导电物资形成装置
76                    贴附装置
79                    剥离装置
本发明一实施例的固体电解电容器制造方法，包括：
(a)提供聚合槽，所述聚合槽内设置的聚合液，以及所述聚合槽内聚合液中设置的阴极的工序；
(b)提供具有多个电容器元件部的芯材的工序，所述多个电容器元件部中每一电容器元件部具有阳极引出部和阴极引出部；
(c)在所述芯材表面形成化成被膜的工序；
(d)在所述化成被膜上设置导电物质的工序；
(e)将每一阳极引出部贴在导电性带上的工序；
(f)在所述聚合液内浸渍贴在所述导电性带上的芯材的工序；以及
(g)在所述导电性带上加上电压，在所述电容器元件的阴极引出部形成聚合膜的工序。
此构成当中，通过在所述导电性带上加上电压，便从所述导电性带表面上开始聚合，该聚合扩展至各个阴极引出部，在各电容器元件阴极引出部上形成聚合膜。靠这种构成显著提高生产效率。
本发明装置实施例的固体电解电容器制造装置，包括：
提供具有多个电容器元件部的芯材的提供装置，其中，所述多个电容器元件部中各个电容器元件部具有阳极引出部和阴极引出部；在所述芯材表面上形成化成被膜的化成被膜形成装置；在所述化成被膜上设置导电物质的导电物质形成装置；将具有所述导电物质的所述多个电容器元件贴在导电性带上的贴附装置；所述导电性带上贴附的所述芯材的所述阴极引出部表面形成具有导电性的聚合膜的聚合装置，以及从形成了所述聚合膜的所述芯材上剥离所述导电性带的剥离装置。
利用此构成，可得到具有优异电容特性的固体电解电容器。此外，聚合膜可容易形成，生产效率显著提高。
最好，所述芯材具有带状形状，提供所述芯材的工序，具有沿所述芯材纵向形成为在与所述纵向相正交方向上使多个电容器元件部一体突出的工序，所述各阳极引出部位于各电容器元件部所突出根基一侧。
利用此构成，可以在形成聚合膜时将多个电容器元件按一整体进行处理。因此，生产效率进一步提高。
最好，提供所述芯材的工序，具有沿带状芯材纵向两侧形成为在与该芯材纵向相正交方向上使电容器元件部一体突出的工序。利用此构成，可以在形成聚合膜时将多个电容器元件按一整体进行处理。因此，生产效率进一步提高。
最好，所述芯材具有带状形状，提供所述芯材的工序，具有沿所述芯材纵向每隔规定间隔在与其纵向相正交方向上形成多个缝隙的工序，各个缝隙间形成各个电容器元件部。利用此构成，可通过在带状纵向上每隔规定间隔形成缝隙这种工序，很容易地形成多个电容器元件部。
最好，所述芯材具有带状形状，提供所述芯材的工序，具有沿所述带状芯材纵向一体形成在与所述纵向相正交方向上突出的所述多个电容器元件部的工序，所述阳极引出部位于所突出的所述多个电容器元件部的根基一侧，在所述阳极引出部表面上贴所述导电性带。利用此构成，通过将导电性带贴在带状芯材纵向方向，各电容器元件部的阴极引出部和导电性带间的距离稳定，因此，可在各电容器元件部的阴极引出部形成大致均匀的聚合膜。
固体电解电容器制造方法，还具有在所述带状芯材纵向中央区域贴长条状绝缘带的工序，所述导电性带贴在所述绝缘带上。利用此构成，该绝缘带面比形成有化成被膜的芯材具有更加平滑的平面度，因而容易贴导电性带。而后续工序中也容易将该导电性带从芯材上剥离。因此，生产效率提高。此外，各电容器元件导电性带下面的阳极引出部和阴极引出部靠该绝缘带分离，因而阴极部形成的聚合膜难以进入到阳极引出部一侧。
所述聚合槽具有长条形状。通过使聚合槽成为长条状，可减少浸渍贴有芯材的导电性带的聚合液用量。
所述长条形状的聚合槽具有一并设置的多个长条形聚合槽，将所述芯材浸渍在所述聚合液内的工序，具有将所述阳极引出部贴在所述导电性带上的所述带状芯材浸渍在多个长条形聚合槽中各长条形聚合槽中各聚合液内的工序。利用此构成，生产效率显著提高。
贴上所述导电性带的所述带状芯材移动时，从所述长条状聚合槽一端进入所述聚合液中，从另一端移出至聚合液外面。利用此构成，可依次连续地从聚合槽一侧向另一侧在各电容器元件部阴极引出部上形成聚合膜。此外，形成聚合膜后，可以将形成了聚合膜的芯材拉出至聚合槽以外，移至下一工序。因此，生产效率提高。
所述聚合液从所述长条形聚合槽一端流入所述聚合槽中，从所述聚合槽另一端流出至所述聚合槽以外。利用此构成，可抑制该聚合槽内聚合液的浓度下降，可稳定地进行聚合膜的形成。
贴上所述导电性带的所述带状芯材移动时，从所述长条状聚合槽一端进入所述聚合液中，从另一端移出至聚合液外面，所述聚合液从所述长条形聚合槽一端流入所述聚合槽中，从所述聚合槽另一端流出至所述聚合槽以外，所述聚合液的流动速度和所述芯材的移动速度大致相同。通过使从聚合槽一侧移至另一侧的聚合液和芯材的速度大致相同，芯材各电容器元件部和与之接触的聚合液之间的相对状态大致固定，这种状态，便为在两者之间均未移动这种滞留状态下进行该聚合膜的形成。因此，容易在各电容器元件部的阴极形成部上形成聚合膜。
所述电容器元件制造装置具有所述聚合槽中一侧设置的第一从动辊子和所述聚合槽中另一侧设置的第一张紧辊子，所述第一从动辊子至少下部浸渍在所述聚合液内，第一张紧辊子至少下部浸渍在所述聚合液内，贴上所述导电性带的所述带状芯材与所述第一从动辊子下部和所述第一张紧辊子下部碰接，从所述聚合槽所述一侧移动至所述另一侧。利用此构成，可由聚合槽一侧的第一从动辊子将带状芯材浸没在聚合液内。而且，可由另一侧第一张紧辊子，在该芯材上加上适当张力的状态下，在聚合槽内移动。因此，可以防止这样移动时芯材触及聚合槽的底部，形成适合各电容器元件部的聚合被膜。
贴上所述导电性带的所述芯材，从所述聚合槽所述一侧的上方，向所述第一从动辊子下部，按低于30度的倾斜状态移至聚合液当中。利用此构成，便在导电性带不会从芯材上剥离的情况下平滑地移至聚合液内。因此，可稳定地进行带状芯材纵向设有多个的各电容器元件部上聚合膜的形成。
所述聚合液从所述聚合槽所述一侧的所述第一从动辊子上方流入所述聚合槽内，所述一端的所述聚合槽具有朝向设置所述第一从动辊子的方向上向下倾斜的底面。利用此构成，流入该聚合槽内的聚合液便成为层流，防止聚合槽内聚合液发生波浪。因此，可稳定地进行各电容器元件部上聚合膜的形成。
贴上所述导电性带的所述芯材，从所述聚合槽所述另一侧的所述第一张紧辊子的下部，向所述聚合槽上方，按低于30度的倾斜状态移至所述聚合液外面。利用此构成，可防止导电性带从芯材上剥离。因此，可以使芯材与导电性带一起稳定移至下游一侧。
所述聚合液从所述聚合槽所述另一侧流出至所述聚合槽外面，所述另一端的所述聚合槽具有从所述张紧辊子部朝向所述另一端向上倾斜的底面。利用此构成，流出至该聚合槽外面的聚合液便成为层流，可防止聚合槽内聚合液起波浪。因此，可稳定地进行各电容器元件部上聚合膜的形成。
所述电容器元件制造装置，具有所述多个聚合槽当中各聚合槽所述一侧设置的各第一从动辊子，一根贯通轴在所述各第一从动辊子的中心轴上贯通。利用此构成，可简化多个第一从动辊子轴承构成。而且，各聚合槽中各第一从动辊子的位置均匀。因此，每一聚合槽中芯材浸入聚合液内的位置均匀，每一芯材的电容器元件部上聚合膜形成稳定。
所述电容器元件制造装置具有：所述各第一从动辊子上形成的贯通轴；和设置于所述第一从动辊子和所述贯通轴之间的滚珠轴承，所述滚珠轴承配置在所述聚合液液面上。第一从动辊子和贯通轴之间设有轴承，因而第一从动辊子旋转平滑。此外，此用途的轴承设置在聚合液面上，因而可防止发生因聚合液附着造成的轴承旋转不良。因此，第一从动辊子可通过贴导电性带，并与带状芯材一起动作，来防止芯材移动发生障碍。
所述第一从动辊子，具有中心线部位向外周方向突出的弯曲外周面，所述芯材与所述中心线部位边碰接边移动。通过在聚合槽内一侧，使张贴导电性带的带状芯材所碰接的第一从动辊子其外周面成为中心线部位向外周方向突出的弯曲面，可防止所述芯材与第一从动辊子中心线部位存在位移。因此，可由第一从动辊子将芯材稳定地导入聚合槽内一侧。
所述电容器元件制造装置，具有所述多个聚合槽当中各聚合槽所述另一侧设置的各第一张紧辊子，一根贯通轴在所述各第一张紧辊子的中心轴上贯通，所述各第一张紧辊子靠所述贯通轴的驱动而驱动。此构成中，通过由一根驱动轴驱动并排设置的多个第一张紧辊子，简化驱动机构。此外，并排设置的每一聚合槽通过第一张紧辊子，使带状芯材所加的张力大致均匀。因此，各聚合槽内带状芯材的移动状态稳定，还可稳定地进行聚合膜的形成。
所述第一张紧辊子，具有平面状的外周面，所述芯材与所述第一张紧辊子的平面状外周面边碰接边移动。通过使第一张紧辊子外周面成为平面，该外周面和张贴导电性带的带状芯材相互在平面状态下碰接，具有相互滑动状态。因此，靠该第一张紧辊子稳定地施加张力。
所述聚合槽具有设置于该聚合槽底面下的温度控制手段，温度控制手段控制所述聚合液温度。利用此构成，可以稳定聚合反应。
通过控制为规定温度的水来控制达到规定温度。所述聚合槽在聚合槽底面下具有温度控制为规定温度的水流构成。温度控制为规定温度的水其热容量比气体大，因而容易将聚合槽内聚合液温度稳定为规定温度。因此，聚合反应也稳定。
所述聚合槽具有伸入所述聚合液中以便分隔所述聚合液液面的间隔片。聚合液量即便很少，也可通过使间隔片伸入，提高液面位置。因而可以使阴极和芯材间保持距离。因此，阴极部所发生的气泡难以附着于带状芯材。由此，便可在带状芯材电容器元件部阴极输出部上稳定地形成聚合膜。
所述聚合槽具有设置于上面开口部的盖和设置于所述盖下面的间隔片，所述间隔片至少一部分伸入所述聚合液当中。通过在聚合槽上面开口部装上盖，而且盖下面一侧设有间隔片，并使之伸入聚合槽内，聚合液上面的蒸发空间和聚合液表面外露面积减少。因此，聚合液蒸发量减少，经济效益提高。
将贴上所述导电性带的所述芯材浸渍在所述聚合液中的所述工序，具有将贴上所述导电性带的所述芯材经所述间隔片下侧，从所述聚合槽一侧向另一侧移动的工序。通过在间隔片下面的聚合槽内下部移动贴上导电性带的芯材，聚合膜形成时产生的低聚物沉降至下面芯材部位。因此，聚合膜形成效率提高。
所述间隔片具有向上倾斜的斜面下部。可通过将间隔片下部做成向上倾斜的斜面，使阴极部产生的气泡移至上方。因此，对下面移动的带状芯材电容器元件部来说，聚合膜形成效率提高。
所述阴极设置在所述间隔片下端的上方，在所述导电性带上加上所述电压的工序，具有在所述导电性带和所述阴极间加上所述电压的工序。利用此构成，阴极部产生的气泡难以滞留于间隔片下端部。因此，对下面移动的带状芯材电容器元件部来说，聚合膜形成效率提高。
所述间隔片由氯乙烯制成。通过用氯乙烯形成间隔片，可防止间隔片变质和由此而产生的聚合液变质。因此，可稳定地对带状芯材的电容器元件部形成聚合膜。
所述阴极具有向上倾斜形状的底部。通过使阴极部产生的气泡上升至上方，可防止该气泡移至下面带状芯材的电容器元件部而造成聚合膜形成效率变差。
所述聚合槽具有上部空间和下部空间，所述下部空间具有比所述上部空间小的截面积，所述间隔片和所述阴极设置于所述上部空间，所述芯材经过所述下部空间。通过使聚合槽下部的芯材移动部的截面积比其上方间隔片阴极接收部截面积小，可防止上方间隔片和阴极接收部产生的聚合液紊流对下面芯材移动部的影响。因此，芯材移动部可稳定地在电容器元件部上形成聚合膜。
所述导电性带仅贴在所述芯材上面一侧。
作为上面阴极一侧的芯材上面一侧贴上导电性带，可毫无障碍地由该导电性带上面形成聚合膜。接着，形成聚合膜时，由该导电性带从电容器元件部阴极引出部表面向内面生成。而且，芯材底面一侧未设置导电性带，因而这部分生产效率提高。
所述聚合槽具有所述芯材进入所述聚合液的浸渍部，并具有设置于所述浸渍部与所述第一从动辊子之间液面的围边。利用此构成，可防止阴极部产生的气泡浮至聚合液液面上而附着在芯材上。因此，可防止此后工序对聚合的阻碍。具体来说，通过设置围边，阻止浮至液面上的气泡沿芯材方向移动，防止对芯材的附着以及由此造成的所形成聚合膜不合格。
所述阴极具有在所述纵向设置的多个阴极。利用此构成，可确保带状芯材上贴着的导电性带在纵向上导电性带各个位置同阴极间的电位差在规定范围内。因此，可使得带状芯材各个位置的电容器元件部所形成的聚合膜实际上均匀。
所述多个阴极中各个阴极按规定间隔设置，所述各个阴极上所加的电压值相互不同。可通过使各阴极间存在规定间隔，来防止各阴极部产生的气泡滞留于相邻阴极部。而且，可防止气泡滞留部分对聚合反应的阻碍。因此，可稳定地进行各电容器元件部聚合膜的形成。
所述阴极由不锈钢和镍当中至少之一制成。通过由不锈钢或镍形成阴极，不论是否发生聚合反应总可防止阴极变差。因此，可长时间稳定进行带状芯材各个位置电容器元件聚合膜的形成。
所述电容器元件制造装置具有设置于所述聚合槽所述一侧的第一电压加接手段；设置于所述另一侧的第二电压加接手段，所述第一电压加接手段和所述第二电压加接手段分别在所述导电性带上加上电压。可通过在导电性带聚合膜一侧和另一侧分别加上电压，来抑制导电性带纵向的大幅度电位变动。因此，带状芯材纵向设置的多个电容器元件部的聚合反应稳定。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述聚合槽一侧的第一通电辊子，所述第一通电辊子具有将所述导电性带张贴于所述芯材上的作用；将导电性带按压在所述芯材上的作用；以及将电压加在导电性带上的作用。通过将导电性带按压在芯材上的第一通电辊子构成第一电压加接手段，来实现构成的简化。此外，第一通电辊子将导电性带按压在芯材上，使该导电性带处于按压状态。因此，可稳定地对导电性带加上电压，还可稳定电容器元件部上聚合膜的形成。
所述电容器元件制造装置，具有与所述第一通电辊子外周面碰接的废物刮除板，由所述废物刮除板除去所述第一通电辊子的所述外周面所附着的附着物。可通过使废物刮除板与第一通电辊子外周面碰接，将废物和无用的附着物从该第一通电辊子等外周面上除去。因此，可以由该第一通电辊子稳定地在导电性带上加上电压，可稳定地进行电容器元件部上聚合膜的形成。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一通电辊子上游一侧的第二从动辊子，所述第二从动辊子具有中心线部位向外周方向突出的外周面，所述芯材通过所述第二从动辊子，朝向所述第一通电辊子方向进给。利用此构成，带状芯材的偏移可由第二从动辊子矫正。因此，带状芯材移动时不会偏离第一通电辊子的方向。因此，可利用该第一通电辊子稳定地进行导电性带的张贴和电压的施加。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一通电辊子上游一侧的卷轴，所述卷轴通过分离带将所述导电性带卷绕为迭层状态，所述分离带在所述卷轴和所述第一通电辊子间从所述导电性带上拉剥。导电性带在与分离带相迭合状态下卷绕在卷轴上，因而从卷轴卷出的导电性带，即便分离带拉剥后，也可防止留有卷边。因此，可稳定地进行向下游第一通电辊子的进给和这里带状芯材上的张贴。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述卷轴和所述第一通电辊子之间的第二张紧辊子，所述第二张紧辊子夹住所述导电性带和所述分离带的迭层体，所述分离带在所述第二张紧辊子下游一侧从所述导电性带上剥离。具体来说，在卷轴和第一通电辊子间设有第二张紧辊子，该第二张紧辊子夹住导电性带和分离带的迭合体，张力加在聚合槽一侧外面。此构成当中，导电性带和分离带变成为迭层体，因而作为该迭层体的强度增强。因此，可加上足够的张力。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第二张紧辊子两侧的位置约束板，所述位置约束板约束所述导电性带的位置。通过在第二张紧辊子两侧设置位置约束板，该第二张紧辊子部可防止导电性带和分离带的迭层体偏移。因此，可以由该第二张紧辊子稳定地增加所需张力。
所述导电性带由不锈钢和镍当中至少之一制成。利用此构成，在该导电性带上加上电压进行聚合反应时，也可防止该导电性带溶出至聚合液内。因此，可利用该导电性带稳定地进行聚合反应。
加接所述电压的工序，具有在所述第一通电辊子上游一侧使电压加接端子与所述芯材阳极引出部碰接、由所述电压加接端子在所述芯材上加上电压的工序，所述加接电压为所述第一通电辊子的通电电压和所述阴极的通电电压之间的电压，具有与所述导电性带浸渍于所述聚合液部分电压相等或以上电压。利用此构成，可以将带状芯材上形成的电容器元件部的负载电压抑制在耐压以下。因此，可防止电容器元件部发生损坏。
所述芯材的所述化成被膜具有氧化铝膜，所述电压加接端子由不锈钢制成。电压加接端子能够很容易地破坏其氧化铝膜。因此，能够稳定通电。此外，电压加接端子可由不锈钢制作，因而耐风化性提高。此外，硬的氧化铝膜与该不锈钢制端子擦伤时，不锈钢面也发生伤痕，因而真面外露。因此，便可由电压加接端子在芯材上稳定地加上电压。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一张紧辊子下游一侧所述聚合槽中聚合液外面的拉剥辊子，所述拉剥辊子部从所述芯材按正交方向拉剥所述导电性带。利用此构成，导电性带不发生随机误差，可从芯材上顺利地拉剥。因此，可平滑地向导电性带和芯材下游一侧移动。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述拉剥辊子下游一侧所述导电性带走带路径上的割缝辊子，所述割缝辊子具有比所述拉剥辊子小的直径，所述割缝辊子使所述导电性带的所述走带路径按正交方向弯曲。利用此构成，容易在导电性带上的聚合膜上产生割缝。因此，后续工序当中从导电性带上除去聚合膜的工序方便。
所述拉剥辊子和所述割缝辊子之间的所述导电性带的所述走带路径，具有所述导电性带表面上形成的所述聚合膜的干燥空间。利用此构成，可方便地在导电性带上的聚合膜上产生割缝。因此，后续工序的除去作业方便。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述割缝辊子下游一侧的第一剥离爪，所述第一剥离爪与所述割缝辊子弯曲的所述导电性带表面碰接。利用此构成，产生割缝的聚合膜可由第一剥离爪方便地除去。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一剥离爪下游一侧的第二剥离爪，所述第二剥离爪与所述导电性带上表面碰接。在第一剥离爪下游通过使第二剥离爪与导电性带上表面碰接，可方便地由该第二剥离爪将第一剥离爪无法除去的一些聚合膜也除去。因此，后续工序中可由导电性带上表面稳定地加上电压。
所述第一剥离爪和所述第二剥离爪中至少之一具有多个分支的前端。利用此构成，该前端部可提高聚合膜除去效果。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一剥离爪和所述第二剥离爪中至少之一的所述导电性带下表面一侧的辊子。利用此构成，可将第一剥离爪或第二剥离爪牢固地按压在导电性带上表面一侧。因此，可提高该聚合膜剥离效果。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一剥离爪上的吸引手段。第一剥离爪部除去大量聚合膜，因而，可通过由吸引手段吸引这种除去的聚合膜，来防止所除去的聚合膜在其上游或下游位置重新附着。因此，可防止发生各种弊病。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一剥离爪下游一侧的第二通电辊子。通过在除去聚合膜的导电性带上面设置有作为第二电压加接手段的第二通电辊子，靠该导电性带聚合槽一侧和另一侧加上电压，使聚合膜形成效率提高。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第二剥离爪下游一侧的作为第二电压加接手段的第二通电辊子。在第二剥离爪下游一侧，可通过在干净地除去聚合膜的导电性带上面设置有作为第二电压加接手段的第二通电辊子，靠该导电性带聚合槽一侧和另一侧加上电压，使聚合膜形成效率提高。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述拉剥辊子下游一侧所述导电性带走带路径上的拉紧辊子，所述拉紧辊子将所述导电性带拉紧。可通过由该拉紧辊子拉紧导电性带，使带状芯材从聚合槽一侧移至另一侧。可通过仅由拉紧辊子将该张力加在导电性带上，防止拉紧带状芯材造成芯材断线。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第二通电辊子下游一侧的拉紧辊子。此构成当中，第二通电辊子处于也对通过时的导电性带加有张力的状态。因此，可防止第二通电辊子和导电性带之间形成间隙。因此，可稳定进行第二通电辊子向导电性带通电。
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述拉紧辊子下游一侧的卷绕卷轴，所述卷绕卷轴卷绕所述导电性带。利用此构成，可顺利地进行后续工序中导电性带的卷绕工序。因此，可防止导电性带混乱等造成动作不良。
所述导电物质具有二氧化锰层。利用此构成，导电物质的形成明显方便。此外，可有效地形成具有优异导电性的聚合膜。
形成所述导电物质的工序具有：在所述化成被膜上涂敷硝酸锰水溶液的工序；对所涂敷的所述硝酸锰水溶液进行热分解，形成二氧化锰层的工序。利用此构成，可方便地形成作为导电层的二氧化锰层。
所述聚合液包含砒咯、噻吩、呋喃和这些电介质所组成的组合当中选出的至少之一单体，形成所述聚合膜的工序，具有对所述至少之一单体进行电解聚合的工序。利用此构成，可通过聚合反应在电容器元件部形成适当的聚合膜。
所述聚合液，具有第一聚合液和所述聚合槽另一侧流出的第二聚合液的混合聚合液。具体来说，从聚合槽一侧提供给该聚合槽内的聚合液，混有从聚合槽另一侧流出至该聚合槽外的聚合液。从聚合槽另一侧流出至槽外的聚合液内，形成有聚合反应产生的低聚物。通过从聚合槽一侧将具有该低聚物的聚合液流入槽内，混入聚合液中，可有效地在聚合槽内各电容器元件部上形成聚合膜。
以下用附图说明本发明典型实施例的固体电解电容器制造方法及其制造装置。
图1示出本发明一实施例固体电解电容器制造装置的概念图。图2示出的是通过在带状芯材5两侧每隔规定间隔切断形成缝隙6，在两侧设置多个电容器元件部7的状态。
先从供给装置71当中提供具有多个电容器元件的芯材5。芯材5采用铝箔(厚度100μm)。铝箔正反面以电化学方式使之粗糙。阳极化成被膜形成于经粗糙的铝箔正反面。通过加上35V电压进行化成处理。通过在具有化成被膜的铝箔表面和背面贴上绝缘带8，分离为阳极引出部9和阴极引出部10。另外，阴极引出部10的尺寸为3mm×4mm。
接着在化成被膜形成装置72中形成化成被膜。具体来说，在图2所示的具有缝隙6的铝箔5表面上，在槽11内进行化成处理，形成作为化成被膜的阳极氧化被膜(图1化成工序12)。
接着在导电物质形成装置75中形成导电物质层。具体来说，聚合槽13内的硝酸锰水溶液涂敷于阴极引出部10。然后在炉14内按300℃热分解5分钟。利用该工序，在阴极引出部10上形成作为导电物质层的二氧化锰层(图1导电物质层形成工序15)。
接下来如图3、图4、图5所示，在贴附装置76中张贴导电性带。具体来说，在形成二氧化锰层的芯材5两侧绝缘性带8上贴附导电性带16。导电性带16具有形成电解聚合膜所用的聚合电极作用。起到导电性带16聚合时正极的作用。
接着在聚合装置70中形成聚合膜。具体来说，贴上导电性带16的芯材5依次浸渍到聚合槽17内聚合液18当中，移动到聚合槽17中。聚合液18是含有0.2摩尔/升砒咯和0.1摩尔/升烷基萘磺酸盐的水溶液。作为4个独立阴极19的4块不锈钢板配置在聚合槽17内液面以下。作为共同正极的导电性带16和4块独立阴极19每一块之间均加上电压。通过加上该电压，从导电性带16开始聚合，从进入聚合槽17至取出大约30分钟，在表面和背面阴极引出部10整体上形成导电性高分子聚合膜(图1聚合膜形成工序20)。
最后在剥离装置79中剥离导电性带16。具体来说，从聚合液18当中取出后，导电性带16从形成导电性高分子膜的铝箔上拉剥下来。
如图1所示连续进行上述化成生成至聚合这一连串处理。这时进行一连串处理，以避免进行输送的各辊子与阴极引出部10接触。
接着，形成导电性高分子聚合膜后，在该导电性高分子膜表面部分形成碳涂层和银涂层。接着分别切断以具有图2虚线所示的阳极引出部9和阴极引出部10，来制作单个电容器元件。从阴极引出部10取出阴极引线，从阳极引出部9取出阳极引线，接着覆盖该电容器元件，外面封装环氧树脂。这样便完成固体电解电容器。
测定这样制作的固体电解电容器的初始特性。作为其测定结果，表1示出固体电解电容器的静电电容、损耗角的正切、漏电流(加上10V、2分钟的值)、耐压(0.2V/1秒电压上升时制品破坏电压)。
典型实施例2
在如前文所述的典型实施例1中利用下述方法制作固体电解电容器。
阴极引出部10的尺寸为2mm×2mm。电解聚合时，以作为聚合电极的导电性带16为正极，单一不锈钢板为阴极19。在正极和阴极之间加上电压。这时，利用大约10分钟在阴极引出部10整体上面形成导电性高分子聚合膜。除上述以外的制造方法与前述典型实施例1相同。这样便制作出固体电解电容器。表1示出所得到的固体电解电容器的上述特性。
对比例1
粗糙处理、形成缝隙后具有氧化被膜的铝箔上面设置导电体层。作为导电体层，设置砒咯的化学氧化聚合导电性高分子膜。另外，作为化学氧化聚合的氧化剂，采用的是过硫酸铵。这样便形成多个电容器元件部。
然后，如图22所示，使电极3与每一个元件的各阳极引出部和各阴极引出部接触，在化学氧化聚合导电性高分子膜上进行电解聚合。这样便在导电体层上形成导电性高分子膜。这样便制作出对比例的固体电解电容器。表1示出该对比例的固体电解电容器的上述特性。
[表1]
静电电容(μF) 损耗角正切(％) 漏电流(μA)  耐压V(V)
典型实施例1     3.42     1.2     0.02    23.1
典型实施例2     1.08     1.1     0.01    22.6
对比例     3.54     1.6     2.4    16.0
额定：典型实施例1：10V，3.3μF
      典型实施例2：10V，1.1μF
      典型实施例3：10V，3.3μF
如上所述，本实施例的固体电解电容器具有小漏电流和高耐压。此外，可通过将导电性带16用作聚合初始电极，进行高效率的电解聚合，可以在多个阴极部高效地形成导电性高分子膜。而且，带状芯材上形成多个电容器元件部7，因而可连续进行电解聚合。因此，与对比例相比，生产效率显著提高。
另外，芯材5还可用钽或钛等金属来替代铝箔。而且，芯材的形状和大小也不限于上述实施例，可以用任意形状、大小。
图6、图7、图8示出图1聚合膜形成工序20的具体构成。
聚合膜形成工序20中的聚合膜形成装置，包括聚合槽17、设置于该聚合槽17内的聚合液18、和设置于上述聚合槽17内聚合液18当中部分的阴极19。该聚合膜形成工序20具有：在芯材5表面上形成化成被膜的工序；和在设置导电物质的多个电容器元件部7各个阳极引出部9贴在导电性带16上的状态下边浸渍于上述聚合液18当中，边在该导电性带16上加上电压，在上述电容器元件部7阴极引出部10表面形成聚合膜的工序。
该工序中，处于导电性带16贴上多个电容器元件部7的阳极引出部9的状态，因而通过在该导电性带16和阴极19之间加上电压，从导电性带16表面上开始的聚合便扩展至各电容器元件部7的各阴极引出部10，因此，可在各电容器元件部7的阴极引出部10上形成聚合膜。这样，生产效率明显提高。
另外，本典型实施例中，如图4所示，在带状芯材5纵向两侧，沿该芯材5纵向串行方向上一体突出形成多个电容器元件部7。因此，聚合膜形成时可将多个电容器元件部7按一整体进行处理，因此生产效率提高。
通过在带状芯材5纵向如图4所示每隔规定间隔，形成与芯材纵向相正交方向上的缝隙6，这些电容器元件部7便很容易形成。
此外，如图2所示，在带状芯材5纵向两侧在正交方向上突出的电容器元件部7的突出根基为阳极引出部9，该阳极引出部9表面上贴有导电性带16。芯材5两侧各电容器元件部7的突出根基一侧为阳极引出部9，其突出根基一侧为芯材5中央部位，该芯材5中央部位贴着一根导电性带16。利用此方法，芯材5两侧各电容器元件部7的阴极引出部10和导电性带16间的距离稳定。因此，可以在各电容器元件部7的阴极引出部10上面形成均匀的聚合膜。
而且，如图4、图5所示，在导电性带16纵向两侧所对应的芯材5区域贴上长条状绝缘带8。该绝缘带8具有比芯材5表面高的平面度。导电性带16贴在绝缘带8上。可利用此构成得到以下效果。具体来说，绝缘带8表面具有比形成化成被膜的芯材5高的平面度，因而容易贴导电性带16。此外，后续作业当中导电性带16的剥离作业容易。因此，生产效率高。接着，靠该绝缘带8分离各电容器元件部7的阳极引出部9和阴极引出部，因此，形成电解聚合膜时，可以防止聚合膜进入阳极引出部9一侧。
如图6和图7所示，聚合槽17也可用图6和图7所示构成。具体来说，聚合槽17具有长条形状，并排设有多个这种长条形状的聚合槽。通过在该多个聚合槽17中各聚合槽的聚合液18当中，浸渍贴上导电性带16的带状芯材5，生产效率进一步提高。
而且，可通过使各聚合槽呈长条状，减少聚合液18量。
还可用如图6、图7所示，贴导电性带16的带状芯材5在长条状聚合槽17一侧进入聚合液18当中，该带状芯材5从聚合槽17另一侧从聚合液18当中取出这样移动的方法。利用此方法，可从作为导电性高分子膜的聚合膜17内一侧至另一侧，在各电容器元件部7的阴极引出部10上依次连续形成聚合膜。此外，可以将形成聚合膜的芯材拉出到聚合层17外面，移至下一工序。因此，生产效率进一步提高。
而且还可采用使聚合液18从聚合槽17一侧的第一溢出部21流入至聚合槽17内，再从该聚合槽17另一侧第二溢出部22流出至该聚合槽17以外这种方法。这样，通过使聚合液18依次流入聚合槽17内再流出，可抑制该聚合槽17中聚合液18的浓度下降，稳定进行聚合膜的形成。
而且，此时希望从聚合槽17一侧移至另一侧的聚合液18的速度，最好保持与芯材5速度大致相同的速度。利用此方法，芯材5各个电容器元件部7和与之相接触的聚合液18之间相对位置状态大致一定。这两者的相对状态处于没有移动的滞留状态，处于聚合膜形成过程中这种状态。因此，容易在各电容器元件部7的阴极形成部10上形成聚合膜。
此外，设置在聚合槽17内一侧至少下部浸渍在聚合液18中的第一从动辊子23。设置在聚合槽17内另一侧至少下部浸渍的聚合液18中的第一张紧辊子24。使贴导电性带16的带状芯材5与第一从动辊子23和第一张紧辊子24的底部碰接，从聚合槽17一侧移至另一侧。具体来说，通过聚合槽17一侧第一从动辊子23使带状芯材5沉入聚合液18，而且靠另一侧第一张紧辊子24，在该芯材5加上适当张力的状态下在聚合槽17内移动。由此可在各电容器元件部7上形成适当的聚合被膜。
而且，如图6所示，从聚合槽17一侧上方至第一从动辊子23底部，按低于30度的倾斜状态在聚合液18内移动贴导电性带16的芯材5。利用此方法，导电性带16不会从芯材5上剥离，顺畅地移至聚合液18内。因此，聚合膜可稳定地形成在带状芯材5纵向上设有多个的各电容器元件部7上。
而且，聚合液可从聚合槽17靠第一从动辊子23的一端的溢出部21流入该聚合槽17内。该一端的聚合槽17的底面17a具有在第一从动辊子23一侧向下倾斜的面。利用此构成，流入该聚合槽17内的聚合液18便成为层流，因此可防止聚合槽17内聚合液18起波浪。因此，各电容器元件部7可稳定形成聚合膜。
具有从聚合槽17另一侧的第一张紧辊子24底部向聚合槽17上方，按低于30度的倾斜状态将贴上导电性带16的芯材5移至聚合液18外这种构成。利用此构成，可防止导电性带16从芯材5上剥离。因此，可以稳定地将芯材5与导电性带16一起移至下游一侧。
而且，还有使聚合液18从聚合槽17另一端靠第一张紧辊子24另一端的溢出部22流出至聚合槽17外这种构成。该另一端聚合槽17的底面17b具有从第一张紧辊子24至聚合槽17另一端向上倾斜的面。因此，流出至聚合槽17以外的聚合液成为层流，因而可防止聚合槽17内聚合液18起波浪。因此，聚合膜可稳定形成于各电容器元件部7。
如图7所示并排设置的多个聚合槽17当中各聚合槽17内一侧，分别设置第一从动辊子23。这些多个从动辊子23的中心轴由一根贯通轴25贯通。因此，设置多个的第一从动辊子23的轴承构成简化。而且，各个聚合槽17中从动辊子23的位置均匀。因此，每一聚合槽17的芯材5浸入至聚合液18内的位置均匀。因此，聚合膜可稳定地形成于每一芯材5的电容器元件部7上。
如图11所示，上述多个第一从动辊子23具有设置在贯通轴25和第一从动辊子23之间的多个滚珠轴承26。该滚珠轴承26配置在聚合液18面上。利用此构成，第一从动辊子23旋转顺畅。可防止聚合液18附着造成的滚珠轴承26旋转不良。因此，第一从动辊子23在贴上导电性带16后与带状芯材5一起动作。因此，芯材5毫无障碍地移动。
而且，如图11、图12所示，第一从动辊子23外周面23a的中心线部分，具有在外周方向上突出的弯曲面。利用此构成，可防止芯材5与第一从动辊子23中心线部位存在位移。因此，芯材5可由第一从动辊子23稳定地导入至聚合槽17内一侧。
如图7、图13所示，多个第一张紧辊子24的中心轴由一根驱动轴27贯通。这样，可通过用一根驱动轴27驱动并排设置的多个第一张紧辊子24，可简化驱动机构。此外，并排设置的各种聚合槽17每一个可大致统一第一张紧辊子24。此外，可大致均匀带状芯材5上加的张力。因此，各聚合槽17内带状芯材5的移动状态稳定，聚合膜也稳定形成。
而且，如图13所示，各第一张紧辊子24的外周面24a具有平面。利用此构成，外周面24a和贴导电性带16的带状芯材5以平面碰接滑动。利用此构成，第一张紧辊子24施加张力稳定。
另外，尽管未图示，但图7聚合槽17底面下具有温度控制为规定温度的流水构成。温度控制为规定温度的水与气体相比，热容量较大，因而聚合槽17内的聚合液18温度容易稳定为规定温度。因此，聚合反应也稳定。
而且，如图7、图8所示，长条状各聚合槽17的上面开口部装上盖28。此盖28底面一侧设置的间隔片29的底部伸入聚合液18内。利用此构成，聚合液18上面的蒸发空间和聚合液18表面的外露面积减少。因此，聚合液18蒸发量减少，经济效益提高。
而且，可通过将间隔片伸入聚合液内的构成，聚合液18量即便减少，也可以提高液面。利用此构成，可使阴极19和带状芯材5保持距离。因此，阴极19部产生的气泡不容易附着在带状芯材5部分。因此，可在带状芯材5电容器元件部7的阴极引出部10上稳定地形成聚合膜。
尽管前面未说明，但如图8所示，聚合槽17内的间隔片29下方具有使贴导电性带16的芯材5从聚合槽17一侧移至另一侧的构成。通过在间隔片29下方聚合槽17内底部移动贴导电性带16的芯材5，形成聚合膜时产生的低聚物沉降至下方芯材5部分。因此，聚合膜形成效率提高。
间隔片29的底部具有向上倾斜的倾斜面。利用此构成，阴极19部产生的气泡向上方移动。下方移动的带状芯材5的电容器元件部8上聚合膜形成效率提高。
而且，与此相对应靠间隔片29下端在上方设置阴极19。该阴极19向上方倾斜。因此，阴极19部产生的气泡移至上方，不容易滞留于间隔片29的下端部。因此，下方移动的带状芯材5的电容器元件部7上聚合膜形成效率提高。
该间隔片29由氯乙烯制成。因此，不会发生间隔片29变质，以及其变质所造成的聚合液18变质。因此，带状芯材5的电容器元件部7可稳定地形成聚合膜。
如图8所示，聚合槽17底部芯材5的移动部17a具有比上部间隔片29和阴极19的收容部17b小的截面积。利用此构成，收容部7b产生的聚合液18紊流不容易影响下方移动部7a。因此，对于芯材5的移动部7a，在电容器元件部7上可稳定地形成聚合膜。
如图8所示，导电性带16可仅仅贴在芯材5上表面一侧。上方阴极19一侧的芯材5上表面一侧贴上导电性带16。因此，从导电性带16上表面起开始聚合膜形成，接着从该导电性带16开始向电容器元件部7阴极引出部10的表面和背面，生长形成聚合膜。而且，芯材5底面一侧未设置导电性带16，因而不需要导电性带16至该底面一侧的张贴工序。因此，生产效率提高。
如图6所示，至聚合槽17一侧聚合液18内芯材5的浸渍部和第一从动辊子23间的液面部分设置有围边30。利用该围边30芯材5移至浸渍于聚合液18的部分时，可防止阴极部产生的气泡附着在芯材5上。可阻止阴极部发生浮至液面上的气泡朝向芯材5移动。可防止气泡附着在芯材5上。而且，可防止气泡所造成的聚合膜形成不良。
如图6、图15、图16所示，在聚合槽17一侧设置有构成第一电压加接手段的第一通电辊子31。靠该第一通电辊子31和下方辊子32，在芯材5上贴导电性带16。可利用将导电性带16按压在芯材5上的第一通电辊子31构成第一电压加接手段，实现构成的简化。此外，第一通电辊子31将导电性带16按压在芯材5上，因而该导电性带16处于按压状态。因此，导电性带16上加电压稳定。因此，电容器元件部7可稳定地形成聚合膜。
该第一通电辊子31的外周面碰接有废物刮除板33。利用此构成，可从第一通电辊子31外周面除去废物或无用附着物。由此，可由该第一通电辊子31将电压稳定地加在导电性带16上。因此，可在电容器元件部7上稳定地形成聚合膜。
如图16所示，可设置防止导电性带16左右错开的引导体34。另一方面，图15中第二、第三从动辊子34、35防止芯材5左右错开。
具体来说，构成第一电压加接手段的第一通电辊子31的上游一侧，设置外周面中心线部位突出至外周方向的第二、第三从动辊子34、35。经过这些第二、第三从动辊子34、35将芯材5朝向第一通电辊子31提供。第二、第三从动辊子34、35外周面中心线部位处于向外周方向突出的状态，因而可由该第二、第三从动辊子34、35矫正带状芯材5的错开。因此，芯材5无错开地移至第一通电辊子31。因此，可稳定地进行芯材5在导电性带16上的张贴和加电压至导电性带16。
另外，图15中设置有将第一通电辊子31蓄势至辊子32一侧的弹簧36。
如图6、图14所示，在第一通电辊子31上游一侧设置导电性带16和树脂制成的分离带36处于迭层状态卷绕的卷轴37。该卷轴37和第一通电辊子31之间设置第二张紧辊子38a、38b。该第二张紧辊子38a、38b下游一侧，可从导电性带16将分离带36拉剥下来。具体来说，导电性带16和分离带36相互迭层，这种迭层的导电性带16和分离带36卷绕在卷轴37上。因此，从卷轴37卷出的导电性带16即便处于此后分离带36拉剥下来的状态，也不容易残留所谓的卷边。因此，导电性带16稳定地提供给下游第一通电辊子31，进而导电性带16可稳定地贴在带状芯材5上。
图6中，由第二张紧辊子38a、38b夹住导电性带16和分离带36的迭层体。聚合槽17一侧以外的张力加在分离带上。这时，导电性带16和分离带36成为迭层体，因而该迭层体强度较强，可加上足够张力。
如图14所示，可在第二张紧辊子38a两侧设置导电性带16的位置约束板39。利用此构成，可防止导电性带16和分离带36的迭层体错开。因此，可以由该第二张紧辊子38a、38b稳定地加上所需张力。
图14中，弹簧40具有使第二张力辊子38b蓄势至38a一侧的作用。
吸收管道41具有吸引拉剥下来的分离带36并回收的作用。
如图17所示，在图6中第二、第三从动辊子34、35上游一侧使电压加接端子42与芯材5的阳极引出部9碰接。该电压加接端子42加在芯材5上的电压为后面叙述的第一通电辊子31加到导电性带16上的通电电压和加到阴极19上的通电电压之间电压，为导电性带浸渍在聚合液中部分相同电压或更高电压。这些电压关系后面详细说明。
芯材5表面上的化成被膜为氧化铝膜。电压加接端子42由不锈钢制成。不锈钢具有优异耐老化特性。由弹簧43将电压加接端子42压至下方辊子44一侧时，可用电压加接端子42破坏带状芯材5表面的氧化铝膜，以稳定地进行通电。此外，硬的氧化铝膜被端子擦伤时，不锈钢面也发生损伤，因此，露出不锈钢真面目。因而，可由端子42稳定地向芯材加上电压。
如图18所示，在图6第一张紧辊子24下游一侧聚合槽17中聚合液18以外设置拉剥辊子45。该拉剥辊子45中，从芯材5上按正交方向拉剥导电性带16。利用该构成，可顺畅地从芯材5上拉剥导电性带16。因此，这部分可稳定处于良好状态，稳定地实现顺畅的拉剥。因此，导电性带16和芯材5可分别顺畅地移至下游一侧。而且，可防止切断铝箔制成的芯材5。
图6、图18中拉剥辊子45下游一侧的导电性带16走带路径设置直径比该拉剥辊子45小的割缝辊子46。靠该割缝辊子46使导电性带16运行路径在正交方向上弯曲。
利用此构成，在导电性带16上聚合膜上产生割缝，通过该割缝，利用后面第一剥离爪47、第二剥离爪48，容易从导电性带上除去聚合膜。
所述第一剥离爪47和第二剥离爪48的导电性带16下面一侧设置有拉剥辊子46和辊子49。利用此构成，可在导电性带16上表面一侧牢靠地按压第一剥离爪47和第二剥离爪48。因此，从导电性带16上面剥离聚合膜的效果提高。
如图19、图20所示，这些第一剥离爪47和第二剥离爪48当中至少之一具有多个分支的前端。利用此构成，该前端部提高聚合膜的除去效果。
割缝辊子46使导电性带16弯曲后，第一剥离爪47与导电性带16表面碰接。利用此构成，产生割缝的聚合膜容易靠第一剥离爪47除去。第一剥离爪47除去的大量聚合膜可由第一剥离爪47表面上设置的吸引手段50吸引并除去。因此，可防止聚合膜重新附着在此处的上游或下游一侧，防止发生各种弊端。
拉剥辊子45和割缝辊子46之间的导电性带16的走带路径，具有干燥导电性带16表面聚合膜用的空间。通过将聚合膜置于此位置进行充分干燥，可以有效地用割缝辊子46在导电性带16聚合膜上产生割缝。因此，后续工序中第一剥离爪47和第二剥离爪48的除去作业更为容易。
如图21所示，可在图6第二剥离爪48下游一侧设置构成第二电压加接手段的第二通电辊子51，和在该部分导电性带16下方设置辊子52。利用此构成，导电性带16聚合槽17一侧由第一通电辊子31加上电压，而且另一侧由第二通电辊子51加上电压，从而聚合膜形成效率提高。
图6第二通电辊子51下游一侧的导电性带16的运行路径设置有拉紧导电性带16用的拉紧辊子53a、53b。可通过由该拉紧辊子53a、53b拉紧导电性带，将带状芯材5从聚合槽17一侧移至另一侧。由拉紧辊子53a、53b仅在导电性带16上加上该拉力，可防止带状芯材5断线。
通过在第二通电辊子51下游一侧设置拉紧辊子53a、53b，导电性带16通过第二通电辊子51时，导电性带16均处于加上张力的状态。因此，可防止第二通电辊子51和导电性带16之间形成间隙。因此，可由第二通电辊子51稳定地对导电性带16通电。
如图6所示，拉紧辊子53a、53b下游一侧设置有导电性带16的卷绕卷轴54。利用此构成，可顺畅地进行拉紧辊子53a、53b在后续工序中对导电性带16的卷绕。因此，可防止导电性带16因缠绕等造成动作不良。
如上所述，在聚合槽17一侧设置将电压加到导电性带16上作为第一电压加接手段的第一通电辊子31，在聚合槽17另一侧设置将电压加到导电性带16上作为第二电压加接手段的第二通电辊子51。利用这种构成，如图9中A线所示，导电性带16纵向的中央部位为最低电位。因此，可以抑制大幅度的电位变动。
而在聚合槽17内的纵向上每隔规定间隔设置多个阴极19。上述多个阴极19内外两边阴极均如图9所示，第一通电辊子31和第二通电辊子51加在导电性带16上的电压由于如A线那样高，因而如B线那样提高。而且，导电性带16中央部位电压变低，因而阴极19的电压也慢慢向中央部位一侧降低。因此，纵轴方向各部的导电性带16的电位和与此相对的阴极19电位之间电位差(A-B)基本上一定。因此，可稳定形成聚合膜。
电压加接端子42加到芯材5上的电压如图9中“C”所示。该电压下没有电流流过，因而一定。
加到芯材5上的箔负载电压为(C-B)。通过降低“C”电压，可防止箔负载电压变大。因此，可以防止芯材5表面和背面形成的化成被膜被破坏。
另外，化成被膜的耐压为(C-D)。需要加上电压，使(B-C)收敛于该(C-D)间。而且，通过在多个各阴极19间保持规定距离，可防止各阴极19部产生的气泡滞留于相邻阴极19部，该部分聚合反应便毫无障碍地反应。因此，可稳定形成各电容器元件部7的聚合膜。
阴极19可由不锈钢或镍制成。利用此构成，可防止阴极19变差。因此，聚合膜可长期稳定地形成于带状芯材5各个位置上的电容器元件部7上。
导电性带16可由不锈钢或镍制成。利用此构成，在导电性带16加上电压进行聚合反应时，也可以防止导电性带16溶出至聚合液18内。因此可通过利用导电性带16稳定进行聚合反应。
图10示出如图7那样在多个聚合槽17当中各个聚合槽17内的通电。每一聚合槽17中独立设置开关55-57。利用此构成，每一槽可独立进行聚合反应。
图6中聚合槽一侧溢出部21提供给各聚合槽17内的聚合液18，具有混有聚合槽17另一侧溢出部21流出至该聚合槽17外的聚合液18的混合聚合液。从聚合槽17另一侧流出至槽外的聚合液18内，可利用聚合反应形成低聚物，因而通过将它混入从聚合槽17一侧流入至槽内的聚合液18，可以在聚合槽17内电容器元件部7上有效形成聚合膜。
综上所述，在导电性带上贴多个电容器元件阳极引出部，因而，通过在导电性带上加电压，从导电性带表面上开始的聚合扩展至该导电性带上贴着的各电容器元件的阴极引出部，可在各电容器元件阴极引出部上形成聚合膜。可获得优异的电容器特性，并且生产效率显著提高。

Claims (98)

1.一种固体电解电容器制造方法，采用电容器元件制造装置，其中包括：提供芯材的工序，其中芯材的两端具有多个通过贴上绝缘带分离为阳极引出部和阴极引出部的电容器元件部；靠化成处理槽在该芯材上形成化成被膜的工序；靠导电物质形成槽在所述阴极引出部上形成导电物质层的工序；以及靠聚合槽通过电解聚合在该导电物质层上形成聚合膜的工序，其特征在于，所述聚合膜的形成工序包括：
(a)在所述芯材的所述阳极引出部上贴上导电性带的工序；
(b)将贴上所述导电性带的所述芯材浸渍于所述聚合槽的聚合液内的工序；
(c)在所述导电性带和所述聚合槽的所述聚合液中设置的阴极之间加上电压，在所述电容器元件部的所述阴极引出部上形成所述聚合膜的工序；以及
(d)从所述芯材上剥离所述导电性带的工序。
2.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述芯材具有带状形状。
3.如权利要求2所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合槽具有长条形状。
4.如权利要求2所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述芯材的提供工序，具有沿所述带状芯材纵向一体形成在与所述纵向相正交方向上突出的所述多个电容器元件部的工序，
所述阳极引出部位于所突出的所述多个电容器元件部的根基一侧。
5.如权利要求2所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述芯材的提供工序，具有沿所述带状芯材纵向两侧一体形成在与所述芯材纵向相正交方向上突出的所述多个电容器元件部的工序。
6.如权利要求2所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述芯材的提供工序，具有沿所述带状芯材纵向每隔规定间隔在与所述芯材纵向相正交方向上形成多个缝隙的工序，
所述多个缝隙中各个缝隙间形成有所述多个电容器部当中的各个电容器元件部。
7.如权利要求2所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述芯材的提供工序，具有沿所述带状芯材纵向一体形成在与所述纵向相正交方向上突出的所述多个电容器元件部的工序，
所述阳极引出部位于所突出的所述多个电容器元件部的根基一侧，
在所述阳极引出部表面上贴所述导电性带。
8.如权利要求2所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
还具有在所述带状芯材纵向中央区域贴长条状绝缘带的工序，
所述绝缘带具有比所述芯材平滑的表面，
所述导电性带贴在所述绝缘带上。
9.如权利要求3所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述长条形状的聚合槽具有一并设置的多个长条形聚合槽，
所述芯材浸渍于所述聚合液内的工序，具有将所述阳极引出部贴在所述导电性带上的所述带状芯材浸渍在多个长条形聚合槽中各长条形聚合槽中各聚合液内的工序。
10.如权利要求3所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
贴上所述导电性带的所述带状芯材移动时，从所述长条状聚合槽一端进入所述聚合液中，从另一端移出至聚合液外面。
11.如权利要求3所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合液从所述长条形聚合槽一端流入所述聚合槽中，从所述聚合槽另一端流出至所述聚合槽以外。
12.如权利要求3所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
贴上所述导电性带的所述带状芯材移动时，从所述长条状聚合槽一端进入所述聚合液中，从另一端移出至聚合液外面，
所述聚合液从所述长条形聚合槽一端流入所述聚合槽中，从所述聚合槽另一端流出至所述聚合槽以外，
所述聚合液的流动速度和所述芯材的移动速度大致相同。
13.如权利要求3所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置具有所述聚合槽中一侧设置的第一从动辊子和所述聚合槽中另一侧设置的第一张紧辊子，
所述第一从动辊子至少下部浸渍在所述聚合液内，
第一张紧辊子至少下部浸渍在所述聚合液内，
贴上所述导电性带的所述带状芯材与所述第一从动辊子下部和所述第一张紧辊子下部碰接，从所述聚合槽所述一侧移动至所述另一侧。
14.如权利要求13所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
贴上所述导电性带的所述芯材，从所述聚合槽所述一侧的上方，向所述第一从动辊子下部，按低于30度的倾斜状态移至聚合液当中。
15.如权利要求14所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合液从所述聚合槽的所述一侧的所述第一从动辊子上方流入所述聚合槽内，
所述一侧的所述聚合槽具有一朝向设置所述第一从动辊子的方向上向下倾斜的底面。
16.如权利要求13所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
贴上所述导电性带的所述芯材，从所述聚合槽所述另一侧的所述第一张紧辊子的下部，向所述聚合槽上方，按低于30度的倾斜状态移至所述聚合液外面。
17.如权利要求13所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合液从所述聚合槽所述另一侧流出至所述聚合槽外面，
所述另一端的所述聚合槽具有从所述张紧辊子部朝向所述另一端向上倾斜的底面。
18.如权利要求9所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有所述多个聚合槽当中各聚合槽所述一侧设置的各第一从动辊子，
一根贯通轴在所述各第一从动辊子的中心轴上贯通。
19.如权利要求18所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置具有：所述各第一从动辊子上形成的贯通轴；和设置于所述第一从动辊子和所述贯通轴之间的滚珠轴承，
所述滚珠轴承配置在所述聚合液液面上。
20.如权利要求13所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述第一从动辊子，具有中心线部位向外周方向突出的弯曲外周面，
所述芯材与所述中心线部位边碰接边移动。
21.如权利要求9所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有所述多个聚合槽当中各聚合槽所述另一侧设置的各第一张紧辊子，
一根贯通轴在所述各第一张紧辊子的中心轴上贯通，
所述各第一张紧辊子靠所述贯通轴的驱动而驱动。
22.如权利要求13所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述第一张紧辊子，具有平面状的外周面，
所述芯材与所述第一张紧辊子的平面状外周面边碰接边移动。
23.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合槽具有温度控制装置，
温度控制装置控制所述聚合液温度。
24.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合槽是通过控制为规定温度的水来控制达到规定温度的。
25.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合槽具有伸入所述聚合液中以便分隔所述聚合液液面的间隔片。
26.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合槽具有设置于上面开口部的盖和设置于所述盖下面的间隔片，
所述间隔片至少一部分伸入所述聚合液当中。
27.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合槽具有设置于上面开口部的盖和设置于所述盖下面一侧的间隔片，
而且具有将贴上所述导电性带的所述芯材经所述间隔片下侧从所述聚合槽一侧向另一侧移动的工序。
28.如权利要求27所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述间隔片具有向上倾斜的斜面下部。
29.如权利要求27所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述阴极设置在所述间隔片下端的上方，
所述导电性带加上所述电压的工序中，
具有在所述导电性带和所述阴极间加上所述电压的工序。
30.如权利要求25所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述间隔片由氯乙烯制成。
31.如权利要求29所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述阴极具有向上倾斜形状的底部。
32.如权利要求27所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合槽具有上部空间和下部空间，
所述下部空间具有比所述上部空间小的截面积，
所述间隔片和所述阴极设置于所述上部空间，
所述芯材经过所述下部空间。
33.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述导电性带仅贴在所述芯材上面一侧。
34.如权利要求2所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述阴极具有在所述纵向设置的多个阴极。
35.如权利要求34所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述多个阴极中各个阴极按规定间隔设置，
所述各个阴极上所加的电压值相互不同。
36.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述阴极由不锈钢和镍当中至少之一制成。
37.如权利要求34所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置具有设置于所述聚合槽所述一侧的第一电压加接装置；设置于所述另一侧的第二电压加接装置，
所述第一电压加接装置和所述第二电压加接装置分别在所述导电性带上加上电压。
38.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述聚合槽一侧的第一通电辊子，
所述第一通电辊子具有将所述导电性带张贴于所述芯材上的作用；将导电性带按压在所述芯材上的作用；以及在所述导电性带和所述聚合槽的聚合液中设置的阴极之间加上电压的作用。
39.如权利要求38所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有与所述第一通电辊子外周面碰接的废物刮除板，
由所述废物刮除板除去所述第一通电辊子的所述外周面所附着的附着物。
40.如权利要求38所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一通电辊子上游一侧的第二从动辊子，
所述第二从动辊子具有中心线部位向外周方向突出的外周面，
所述芯材通过所述第二从动辊子，朝向所述第一通电辊子方向进给。
41.如权利要求37所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有为所述第一电压加接装置的第一通电辊子上游一侧设置的卷轴，
所述卷轴通过分离带将所述导电性带卷绕为迭层状态，
所述分离带在所述卷轴和所述第一通电辊子间从所述导电性带上拉剥。
42.如权利要求41所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述卷轴和所述第一通电辊子之间的第二张紧辊子，
所述第二张紧辊子夹住所述导电性带和所述分离带的迭层体，
所述分离带在所述第二张紧辊子下游一侧从所述导电性带上剥离。
43.如权利要求42所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述第二张紧辊子两侧的位置约束板，
所述位置约束板约束所述导电性带的位置。
44.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述导电性带由不锈钢和镍当中至少之一制成。
45.如权利要求38所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件部的所述阴极引出部上形成聚合膜的工序中，
具有在所述第一通电辊子上游一侧使电压加接端子与所述芯材的所述阳极引出部碰接、由所述电压加接端子在所述芯材和所述聚合槽中设置的阴极之间加上电压的工序，
所述加接电压为所述第一通电辊子的通电电压和所述阴极的通电电压之间的电压，具有与所述导电性带浸渍于所述聚合液部分电压相等或以上电压。
46.如权利要求45所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述芯材的所述化成被膜具有氧化铝膜，
所述电压加接端子由不锈钢制成。
47.如权利要求13所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述第一张紧辊子下游一侧所述聚合槽中聚合液外面的拉剥辊子，
所述拉剥辊子从所述芯材上按正交方向拉剥所述导电性带。
48.如权利要求47所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述拉剥辊子下游一侧所述导电性带走带路径上的割缝辊子，
所述割缝辊子具有比所述拉剥辊子小的直径，
所述割缝辊子使所述导电性带的所述走带路径按正交方向弯曲。
49.如权利要求48所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述拉剥辊子和所述割缝辊子之间的所述导电性带的所述走带路径，
具有所述导电性带表面上形成的所述聚合膜的干燥空间。
50.如权利要求48所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述割缝辊子下游一侧的第一剥离爪，
所述第一剥离爪与所述割缝辊子弯曲的所述导电性带表面碰接。
51.如权利要求50所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一剥离爪下游一侧的第二剥离爪，
所述第二剥离爪与所述导电性带上表面碰接。
52.如权利要求50所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述第一剥离爪具有多个分支的前端。
53.如权利要求50所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述第一剥离爪所述导电性带下表面一侧的辊子。
54.如权利要求50所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述第一剥离爪上的吸引机构。
55.如权利要求50所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一剥离爪下游一侧的第二通电辊子。
56.如权利要求50所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置具有所述第一剥离爪下游一侧设置的第二剥离爪，
并且具有设置于所述第二剥离爪下游一侧的作为第二电压加接装置的第二通电辊子。
57.如权利要求47所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述拉剥辊子下游一侧所述导电性带走带路径上的拉紧辊子，
所述拉紧辊子将所述导电性带拉紧。
58.如权利要求55所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述第二通电辊子下游一侧的拉紧辊子。
59.如权利要求58所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述拉紧辊子下游一侧的卷绕卷轴，
所述卷绕卷轴卷绕所述导电性带。
60.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述导电物质具有二氧化锰层。
61.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
形成所述导电物质的工序具有：
在所述化成被膜上涂敷硝酸锰水溶液的工序；
对所涂敷的所述硝酸锰水溶液进行热分解，形成二氧化锰层的工序。
62.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合液包含砒咯、噻吩、呋喃和这些电介质所组成的组合当中选出的至少之一单体，
形成所述聚合膜的工序，具有对所述至少之一单体进行电解聚合的工序。
63.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述聚合液，具有第一聚合液和所述聚合槽另一侧流出的第二聚合液的混合聚合液。
64.如权利要求1所述的固体电解电容器制造方法，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，
具有设置于所述聚合槽下游一侧的拉剥辊子和设置于所述拉剥辊子下游一侧的其他装置，
拉剥辊子从所述芯材拉剥所述导电性带，
所述其他装置具有割缝辊子、剥离爪、辊子、吸引机构、第二通电辊子、拉紧辊子、卷绕卷轴所组成的组合当中选出的至少之一。
65.一种固体电解电容器制造装置，其特征在于，包括：
提供芯材的提供装置，其中芯材的两端具有多个通过贴上绝缘带分离为阳极引出部和阴极引出部的电容器元件部；
在所述芯材表面形成化成被膜的化成被膜形成装置；
在所述化成被膜上设置导电物质的导电物质形成装置；
在所述芯材的所述阳极引出部上贴上导电性带的贴附装置；
包括具有聚合液的聚合槽和所述聚合槽中具有的阴极，将贴上所述导电性带的所述芯材浸渍于所述聚合槽的所述聚合液内，在所述导电性带和所述阴极之间加上电压，在所述阴极引出部表面形成聚合膜的聚合装置；以及
从形成了所述聚合膜的所述芯材上剥离所述导电性带的剥离装置。
66.如权利要求65所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述芯材具有带状形状。
67.如权利要求66所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置具有长条形状。
68.如权利要求66所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述芯材具有沿所述带状芯材纵向一体形成、在与所述纵向相正交方向上突出的所述多个电容器元件部，
所述阳极引出部位于所突出的所述多个电容器元件部的根基一侧。
69.如权利要求65所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有在所述带状芯材纵向中央区域贴长条状绝缘带的绝缘带贴附装置，
所述绝缘带具有比所述芯材平滑的表面，
所述导电性带贴在所述绝缘带上。
70.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述长条形状的聚合装置具有一并设置的多个长条形聚合槽，
将所述阳极引出部贴在所述导电性带上的所述带状芯材浸渍在多个长条形聚合槽中各长条形聚合槽中各聚合液内。
71.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合液从所述长条形聚合装置一端流入所述聚合装置中，从所述聚合装置另一端流出至所述聚合装置以外。
72.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
贴上所述导电性带的所述带状芯材移动时，从所述长条状聚合装置一端进入所述聚合液中，从另一端移出至聚合液外面，
所述聚合液从所述长条形聚合装置一端流入所述聚合装置中，从所述聚合装置另一端流出至所述聚合槽以外，
所述聚合液的流动速度和所述芯材的移动速度大致相同。
73.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还包括所述聚合装置中一侧设置的第一从动辊子和所述聚合装置中另一侧设置的第一张紧辊子，
所述第一从动辊子至少下部浸渍在所述聚合液内，
第一张紧辊子至少下部浸渍在所述聚合液内，
贴上所述导电性带的所述带状芯材与所述第一从动辊子下部和所述第一张紧辊子下部碰接，从所述聚合装置所述一侧移动至所述另一侧。
74.如权利要求73所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
贴上所述导电性带的所述芯材，从所述聚合装置所述一侧的上方，向所述第一从动辊子下部，按低于30度的倾斜状态移动至聚合液当中。
75.如权利要求73所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合液从所述聚合装置的所述一侧的所述第一从动辊子上方流入所述聚合装置内，
所述一侧的所述聚合装置具有一朝向设置所述第一从动辊子的方向上向下倾斜的底面。
76.如权利要求70所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还包括所述多个聚合槽当中各聚合槽所述一侧设置的各第一从动辊子，
一根贯通轴在所述各第一从动辊子的中心轴上贯通。
77.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还包括：所述各第一从动辊子上形成的贯通轴；和设置于所述第一从动辊子和所述贯通轴之间的滚珠轴承，
所述滚珠轴承配置在所述聚合液液面上。
78.如权利要求73所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述第一张紧辊子，具有平面状的外周面，
所述芯材与所述第一张紧辊子的平面状外周面边碰接边移动。
79.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置具有伸入所述聚合液中以便分隔所述聚合液液面的间隔片。
80.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置具有设置于上面开口部的盖和设置于所述盖下面一侧的间隔片，
所述间隔片至少一部分伸入所述聚合液当中。
81.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置具有上部空间和下部空间，
所述下部空间具有比所述上部空间小的截面积，
所述间隔片和所述阴极设置于所述上部空间，
所述芯材经过所述下部空间。
82.如权利要求67所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置具有在所述纵向设置的多个阴极。
83.如权利要求82所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述多个阴极中各个阴极按规定间隔设置，
所述各个阴极上所加的电压值相互不同。
84.如权利要求82所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述多个阴极由不锈钢和镍当中至少之一制成。
85.如权利要求65所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置具有设置于该聚合装置一侧的第一电压加接装置；设置于另一侧的第二电压加接装置，
所述第一电压加接装置和所述第二电压加接装置分别在所述导电性带上加上电压。
86.如权利要求65所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置，具有设置于该聚合装置一侧的第一通电辊子，
所述第一通电辊子具有将所述导电性带张贴于所述芯材上的作用；将导电性带按压在所述芯材上的作用；以及在所述导电性带和所述聚合槽中设置的阴极之间加上电压的作用。
87.如权利要求86所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述聚合装置，具有与所述第一通电辊子外周面碰接的废物刮除板，
由所述废物刮除板除去所述第一通电辊子的所述外周面所附着的附着物。
88.如权利要求86所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
所述电容器元件制造装置，具有设置于所述第一通电辊子上游一侧的第二从动辊子，
所述第二从动辊子具有中心线部位向外周方向突出的外周面，
所述芯材通过所述第二从动辊子，朝向所述第一通电辊子方向提供。
89.如权利要求86所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述第一通电辊子上游一侧的卷轴，
所述卷轴通过分离带将所述导电性带卷绕为迭层状态，
所述分离带在所述卷轴和所述第一通电辊子间从所述导电性带上拉剥。
90.如权利要求89所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述卷轴和所述第一通电辊子之间的第二张紧辊子，
所述第二张紧辊子夹住所述导电性带和所述分离带的迭层体，
所述分离带在所述第二张紧辊子下游一侧从所述导电性带上剥离。
91.如权利要求90所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述第二张紧辊子两侧的位置约束板，
所述位置约束板约束所述导电性带的位置。
92.如权利要求73所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述第一张紧辊子下游一侧所述聚合槽中聚合液外面的拉剥辊子，
所述拉剥辊子从所述芯材上按正交方向拉剥所述导电性带。
93.如权利要求92所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述拉剥辊子下游一侧所述导电性带走带路径上的割缝辊子，
所述割缝辊子具有比所述拉剥辊子小的直径，
所述割缝辊子使所述导电性带的所述走带路径按正交方向弯曲。
94.如权利要求93所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述割缝辊子下游一侧的第一剥离爪，
所述第一剥离爪与所述割缝辊子弯曲的所述导电性带表面碰接。
95.如权利要求94所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述第二剥离爪下游一侧的作为第二电压加接装置的第二通电辊子。
96.如权利要求92所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述拉剥辊子下游一侧所述导电性带走带路径上的拉紧辊子，
所述拉紧辊子将所述导电性带拉紧。
97.如权利要求96所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述拉紧辊子下游一侧的卷绕卷轴，
所述卷绕卷轴卷绕所述导电性带。
98.如权利要求65所述的固体电解电容器制造装置，其特征在于，
还具有设置于所述聚合槽另一端的拉剥辊子和设置于所述拉剥辊子下游一侧的另一装置，
拉剥辊子从所述芯材拉剥所述导电性带，
所述另一装置具有割缝辊子、剥离爪、辊子、吸引机构、第二通电辊子、拉紧辊子、卷绕卷轴所组成的组合当中选出的至少之一。
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