JP3340588B2 - アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法 - Google Patents
アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法Info
- Publication number
- JP3340588B2 JP3340588B2 JP12018895A JP12018895A JP3340588B2 JP 3340588 B2 JP3340588 B2 JP 3340588B2 JP 12018895 A JP12018895 A JP 12018895A JP 12018895 A JP12018895 A JP 12018895A JP 3340588 B2 JP3340588 B2 JP 3340588B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foil
- aluminum foil
- aluminum
- electrode
- electrode plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 title claims description 167
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims description 152
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 151
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 53
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims description 46
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 44
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 10
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 50
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 35
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000012527 feed solution Substances 0.000 description 5
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical class [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- -1 chlorine ions Chemical class 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 4
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 3
- FLDCSPABIQBYKP-UHFFFAOYSA-N 5-chloro-1,2-dimethylbenzimidazole Chemical compound ClC1=CC=C2N(C)C(C)=NC2=C1 FLDCSPABIQBYKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001741 Ammonium adipate Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019293 ammonium adipate Nutrition 0.000 description 2
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N sebacic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCCC(O)=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHUUTDBJXJRKMK-UHFFFAOYSA-N Glutamic acid Natural products OC(=O)C(N)CCC(O)=O WHUUTDBJXJRKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHUUTDBJXJRKMK-VKHMYHEASA-N L-glutamic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CCC(O)=O WHUUTDBJXJRKMK-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- 241001676573 Minium Species 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 235000013922 glutamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000004220 glutamic acid Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/0029—Processes of manufacture
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/04—Anodisation of aluminium or alloys based thereon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/10—Electrodes, e.g. composition, counter electrode
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
- C25D7/06—Wires; Strips; Foils
- C25D7/0614—Strips or foils
- C25D7/0628—In vertical cells
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
- C25D7/06—Wires; Strips; Foils
- C25D7/0614—Strips or foils
- C25D7/0642—Anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S204/00—Chemistry: electrical and wave energy
- Y10S204/07—Current distribution within the bath
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルミニウム電解コンデ
ンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法に関するもの
である。
ンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウム電解コンデンサは高純度の
アルミニウム箔を塩素イオン（Ｃｌー）を含む電解液中
で陽極エッチングを行いピットを作成して表面積（Ａ）
を増大させた後、電解液中で陽極酸化処理を行い誘電体
皮膜（膜厚ｔ、誘電率ε）を形成する化成を行う。この
ようにして形成した電極箔の静電容量Ｃは下記の式で求
められる。
アルミニウム箔を塩素イオン（Ｃｌー）を含む電解液中
で陽極エッチングを行いピットを作成して表面積（Ａ）
を増大させた後、電解液中で陽極酸化処理を行い誘電体
皮膜（膜厚ｔ、誘電率ε）を形成する化成を行う。この
ようにして形成した電極箔の静電容量Ｃは下記の式で求
められる。
【０００３】
【数１】
【０００４】静電容量Ｃを増大させるためには表面積の
増大化と誘電体皮膜の厚さを薄くしていくことが有効な
手段である。誘電体皮膜を形成する化成方法も種々検討
されており、その中で１５０ｗｖ以下の低圧用は、パル
ス電流を用いて電解エッチングしたアルミニウム箔をア
ジピン酸アンモニウム水溶液を用いて化成するようにし
たものが特開昭６１−１２１４１９号公報に提案されて
いる。中高圧用は、直流電流を用いて電解エッチングし
たアルミニウム箔を、表面に水酸化膜を与える処理を行
った後、主にリン酸系またはホウ酸系電解液で低圧より
も液電導度を小さくしたものが広く採用されているが、
化成方法は低圧用とほとんど同じである。
増大化と誘電体皮膜の厚さを薄くしていくことが有効な
手段である。誘電体皮膜を形成する化成方法も種々検討
されており、その中で１５０ｗｖ以下の低圧用は、パル
ス電流を用いて電解エッチングしたアルミニウム箔をア
ジピン酸アンモニウム水溶液を用いて化成するようにし
たものが特開昭６１−１２１４１９号公報に提案されて
いる。中高圧用は、直流電流を用いて電解エッチングし
たアルミニウム箔を、表面に水酸化膜を与える処理を行
った後、主にリン酸系またはホウ酸系電解液で低圧より
も液電導度を小さくしたものが広く採用されているが、
化成方法は低圧用とほとんど同じである。
【０００５】その一般的な化成方法を図１９に基づいて
説明する。図１９は化成槽の構成を示したもので、１は
直流電流を供給するとともにアルミニウム箔を供給する
ための給電ローラ、２は直流電源、３はアルミニウム箔
を化成処理するための化成槽、４は化成液に電流を流す
ための電極板、５は基板のアルミニウム箔、６は電解
液、７はアルミニウム箔を送るための槽内ローラ、８は
化成処理されたアルミニウム箔、９は化成処理されたア
ルミニウム箔を外部に送り出すための走行ローラであ
る。前記において、ＣｕまたはＡｇなどの金属からなる
給電ローラ１には、直流電源２の陽極が接続され、かつ
直流電源２の陰極は化成槽３中の電極板４に接続されて
いる。アルミニウム箔５の化成は、アルミニウム箔５が
給電ローラ１に接触しながら連続的に走行し、そして化
成槽３内の電解液６中に配設された２個の電極板４の間
を通過し、かつ化成槽３の下部に位置した槽内ローラ７
で反転して再び２個の電極板４の間を通過して液面より
外に出て、その後、走行ローラ８に接触しながら走行す
ることにより行われる。
説明する。図１９は化成槽の構成を示したもので、１は
直流電流を供給するとともにアルミニウム箔を供給する
ための給電ローラ、２は直流電源、３はアルミニウム箔
を化成処理するための化成槽、４は化成液に電流を流す
ための電極板、５は基板のアルミニウム箔、６は電解
液、７はアルミニウム箔を送るための槽内ローラ、８は
化成処理されたアルミニウム箔、９は化成処理されたア
ルミニウム箔を外部に送り出すための走行ローラであ
る。前記において、ＣｕまたはＡｇなどの金属からなる
給電ローラ１には、直流電源２の陽極が接続され、かつ
直流電源２の陰極は化成槽３中の電極板４に接続されて
いる。アルミニウム箔５の化成は、アルミニウム箔５が
給電ローラ１に接触しながら連続的に走行し、そして化
成槽３内の電解液６中に配設された２個の電極板４の間
を通過し、かつ化成槽３の下部に位置した槽内ローラ７
で反転して再び２個の電極板４の間を通過して液面より
外に出て、その後、走行ローラ８に接触しながら走行す
ることにより行われる。
【０００６】次に、一般的な給電槽による給電方法を図
２０に基づいて説明する。図２０は、給電槽の構成を示
したもので、１０は直流電流を供給するための直流電
源、１１はアルミニウム箔１３に電流を付与するための
給電槽、１２は給電液１４内に浸漬されている電極板、
１５は槽内ローラ、１６は走行ローラである。そして、
直流電源１０の陽極は給電槽１１中に配置された電極板
１２に接続され、かつ直流電源１０の陰極は図１９に示
す化成槽３中の電極板４（Ｚ）に接続されている。直流
電源１０からの電流は電極板１２から給電液１４を経て
アルミニウム箔１３に供給される。
２０に基づいて説明する。図２０は、給電槽の構成を示
したもので、１０は直流電流を供給するための直流電
源、１１はアルミニウム箔１３に電流を付与するための
給電槽、１２は給電液１４内に浸漬されている電極板、
１５は槽内ローラ、１６は走行ローラである。そして、
直流電源１０の陽極は給電槽１１中に配置された電極板
１２に接続され、かつ直流電源１０の陰極は図１９に示
す化成槽３中の電極板４（Ｚ）に接続されている。直流
電源１０からの電流は電極板１２から給電液１４を経て
アルミニウム箔１３に供給される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来法
においては、例えば未化成のアルミニウム箔５が連続的
に走行して化成槽３内の２個の電極板４の間に入る際に
おいて、アルミニウム箔５の表面に酸化皮膜が形成され
ていないため、電解液の電導度とＡｌ箔と電極板距離に
もよるが図１９のＡの部分で電流密度として、１０2 ｍ
Ａ／ｃｍ2 〜１０ 3 ｍＡ／ｃｍ2 オーダー程度の大きな
突入電流が流れ、その後、酸化皮膜の成長と共に電流密
度は減少する。この場合、大きな突入電流が流れること
により、アルミニウム箔の表面の微妙な凹凸部が表面溶
解を受けるため、エッチングによる高い拡面倍率が減少
していた。また前記した大きな突入電流が流れた時、ジ
ュール熱が発生してアルミニウム箔５および電解液６が
温度上昇するという問題点があった。前記した個々の事
項により、アルミニウム箔５の表面から大量のアルミニ
ウムイオンが溶出し、このアルミニウムイオンはアルミ
ニウム箔５の表面で水酸化物となる。この水酸化アルミ
ニウムがアルミニウム箔５の酸化皮膜に取り込まれた
り、あるいは付着すると、酸化皮膜の厚みが増大した
り、あるいはエッチピットを封孔することになる。そし
てこれらと上記の表面溶解等により目標とする十分な静
電容量が得られないとともに、酸化皮膜の欠陥が生じや
すい構造となって、漏れ電流が経時的に増大するという
問題点を有していた。また、給電槽１１でも化成槽３と
同様に図２０のＤの部分に電流が集中して流れて、アル
ミニウム箔３から水素ガス等が発生し、この水素ガス等
により、アルミニウム箔１３の歪みを起こすという問題
点を有していた。
においては、例えば未化成のアルミニウム箔５が連続的
に走行して化成槽３内の２個の電極板４の間に入る際に
おいて、アルミニウム箔５の表面に酸化皮膜が形成され
ていないため、電解液の電導度とＡｌ箔と電極板距離に
もよるが図１９のＡの部分で電流密度として、１０2 ｍ
Ａ／ｃｍ2 〜１０ 3 ｍＡ／ｃｍ2 オーダー程度の大きな
突入電流が流れ、その後、酸化皮膜の成長と共に電流密
度は減少する。この場合、大きな突入電流が流れること
により、アルミニウム箔の表面の微妙な凹凸部が表面溶
解を受けるため、エッチングによる高い拡面倍率が減少
していた。また前記した大きな突入電流が流れた時、ジ
ュール熱が発生してアルミニウム箔５および電解液６が
温度上昇するという問題点があった。前記した個々の事
項により、アルミニウム箔５の表面から大量のアルミニ
ウムイオンが溶出し、このアルミニウムイオンはアルミ
ニウム箔５の表面で水酸化物となる。この水酸化アルミ
ニウムがアルミニウム箔５の酸化皮膜に取り込まれた
り、あるいは付着すると、酸化皮膜の厚みが増大した
り、あるいはエッチピットを封孔することになる。そし
てこれらと上記の表面溶解等により目標とする十分な静
電容量が得られないとともに、酸化皮膜の欠陥が生じや
すい構造となって、漏れ電流が経時的に増大するという
問題点を有していた。また、給電槽１１でも化成槽３と
同様に図２０のＤの部分に電流が集中して流れて、アル
ミニウム箔３から水素ガス等が発生し、この水素ガス等
により、アルミニウム箔１３の歪みを起こすという問題
点を有していた。
【０００８】本発明は、前記従来の問題を解決するた
め、高い静電容量が得られ、しかも漏れ電流の小さな電
極箔を製造することができるアルミニウム電解コンデン
サ用電極箔の製造装置及び製造方法を提供することを目
的とするものである。
め、高い静電容量が得られ、しかも漏れ電流の小さな電
極箔を製造することができるアルミニウム電解コンデン
サ用電極箔の製造装置及び製造方法を提供することを目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製
造装置は、電解液の入った電解槽と、前記電解槽内に設
けた少なくとも２枚の陰極となる電極板と、アルミニウ
ム箔を前記電極板の間に送る複数のローラとを有し、前
記電解槽内でアルミニウム箔を陽極とし、前記電極板と
の間に直流電流を流して前記アルミニウム箔の連続化成
を行う装置であって、前記電極板の表面を少なくとも一
部が前記電解液に露出する窓部を設けて電気絶縁性物質
にて覆い、前記窓部は、前記電解槽の表面から深さ方向
に１２５ｍｍ以上の位置に存在し、前記アルミニウム箔
に対向するように成し、電流密度の最大値を前記電解液
の表面ではなく前記窓部と前記アルミニウム箔との間に
存在させることを特徴とする。
め、本発明のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製
造装置は、電解液の入った電解槽と、前記電解槽内に設
けた少なくとも２枚の陰極となる電極板と、アルミニウ
ム箔を前記電極板の間に送る複数のローラとを有し、前
記電解槽内でアルミニウム箔を陽極とし、前記電極板と
の間に直流電流を流して前記アルミニウム箔の連続化成
を行う装置であって、前記電極板の表面を少なくとも一
部が前記電解液に露出する窓部を設けて電気絶縁性物質
にて覆い、前記窓部は、前記電解槽の表面から深さ方向
に１２５ｍｍ以上の位置に存在し、前記アルミニウム箔
に対向するように成し、電流密度の最大値を前記電解液
の表面ではなく前記窓部と前記アルミニウム箔との間に
存在させることを特徴とする。
【００１０】次に本発明のアルミニウム電解コンデンサ
用電極箔の別の製造装置は、電解液の入った電解槽と、
前記電解槽内に設けた少なくとも２枚の陽極となる電極
板と、アルミニウム箔を前記電極板の間に送る複数のロ
ーラとを有し、前記電解槽内でアルミニウム箔を陰極と
し、前記電極板との間に直流電流を流して前記アルミニ
ウム箔に連続給電を行う装置であって、前記電極板の表
面を少なくとも一部が前記電解液に露出する窓部を設け
て電気絶縁性物質にて覆い、前記窓部は、前記電解槽の
表面から深さ方向に１２５ｍｍ以上の位置に存在し、前
記アルミニウム箔に対向するように成し、電流密度の最
大値を前記電解液の表面ではなく前記窓部と前記アルミ
ニウム箔との間に存在させることを特徴とする。
用電極箔の別の製造装置は、電解液の入った電解槽と、
前記電解槽内に設けた少なくとも２枚の陽極となる電極
板と、アルミニウム箔を前記電極板の間に送る複数のロ
ーラとを有し、前記電解槽内でアルミニウム箔を陰極と
し、前記電極板との間に直流電流を流して前記アルミニ
ウム箔に連続給電を行う装置であって、前記電極板の表
面を少なくとも一部が前記電解液に露出する窓部を設け
て電気絶縁性物質にて覆い、前記窓部は、前記電解槽の
表面から深さ方向に１２５ｍｍ以上の位置に存在し、前
記アルミニウム箔に対向するように成し、電流密度の最
大値を前記電解液の表面ではなく前記窓部と前記アルミ
ニウム箔との間に存在させることを特徴とする。
【００１１】前記装置においては、化成電流密度の最大
値を電解液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質を用
いて電極の少なくとも電解液面付近の部分を覆う手段で
あることが好ましい。このようにすると、化成電流密度
の最大値を電解液表面ではなく、電解液中に効果的に存
在させることができる。
値を電解液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質を用
いて電極の少なくとも電解液面付近の部分を覆う手段で
あることが好ましい。このようにすると、化成電流密度
の最大値を電解液表面ではなく、電解液中に効果的に存
在させることができる。
【００１２】また前記装置においては、化成電流密度の
最大値を電解液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質
を用いて、電極の電解液中に存在する部分であって、か
つアルミニウム箔に対向する面部分に窓部を設けたこと
が好ましい。このようにすると、同様に化成電流密度の
最大値を電解液中に効果的に存在させることができる。
最大値を電解液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質
を用いて、電極の電解液中に存在する部分であって、か
つアルミニウム箔に対向する面部分に窓部を設けたこと
が好ましい。このようにすると、同様に化成電流密度の
最大値を電解液中に効果的に存在させることができる。
【００１３】また前記装置においては、化成電流密度の
最大値を電解液中に存在させる手段が、電極板とアルミ
ニウム箔との間の電気絶縁物の邪魔板であることが好ま
しい。このようにすると、同様に化成電流密度の最大値
を電解液中に効果的に存在させることができる。
最大値を電解液中に存在させる手段が、電極板とアルミ
ニウム箔との間の電気絶縁物の邪魔板であることが好ま
しい。このようにすると、同様に化成電流密度の最大値
を電解液中に効果的に存在させることができる。
【００１４】また前記装置においては、窓部の開口面積
及び／または開口位置を調節可能に設けたことが好まし
い。このようにすると、化成条件に応じてコントロール
が容易になる。
及び／または開口位置を調節可能に設けたことが好まし
い。このようにすると、化成条件に応じてコントロール
が容易になる。
【００１５】また前記装置においては、電解槽内の陰極
が少なくとも２枚の電極板からなり、アルミニウム箔を
送る手段が複数のローラーで構成され、電解槽内でアル
ミニウム箔の方向を変え電極板の間を走行させ連続化成
を行うことが好ましい。このようにすると、効率良く大
量に生産できる。
が少なくとも２枚の電極板からなり、アルミニウム箔を
送る手段が複数のローラーで構成され、電解槽内でアル
ミニウム箔の方向を変え電極板の間を走行させ連続化成
を行うことが好ましい。このようにすると、効率良く大
量に生産できる。
【００１６】また前記装置においては、電解槽内でアル
ミニウム箔の方向を変える手段が樹脂製のローラーであ
ることが好ましい。このようにすると、電気的絶縁を保
持してアルミニウム箔の方向を変えることができる。
ミニウム箔の方向を変える手段が樹脂製のローラーであ
ることが好ましい。このようにすると、電気的絶縁を保
持してアルミニウム箔の方向を変えることができる。
【００１７】また前記装置においては、窓部の大きさが
電解液面から槽内ローラ上部までの大きさの２／３以下
であることが好ましい。このようにすると、同様に化成
電流密度の最大値を電解液中に効果的に存在させること
ができる。
電解液面から槽内ローラ上部までの大きさの２／３以下
であることが好ましい。このようにすると、同様に化成
電流密度の最大値を電解液中に効果的に存在させること
ができる。
【００１８】また前記装置においては、電気絶縁性物質
が、合成樹脂、繊維強化合成樹脂、合成ゴムから選ばれ
る少なくとも一つの物質であることが好ましい。電気的
絶縁に優れるからである。
が、合成樹脂、繊維強化合成樹脂、合成ゴムから選ばれ
る少なくとも一つの物質であることが好ましい。電気的
絶縁に優れるからである。
【００１９】また前記装置においては、電解液の電導度
Ｅが、１ｍＳ／ｃｍ＜Ｅ＜５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）
の範囲であることが好ましい。このようにすると、効率
良く大量に生産できる。
Ｅが、１ｍＳ／ｃｍ＜Ｅ＜５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）
の範囲であることが好ましい。このようにすると、効率
良く大量に生産できる。
【００２０】
【００２１】次に本発明のアルミニウム電解コンデンサ
用電極箔の製造方法は、電解液の入った電解槽内に少な
くとも２枚の陰極となる電極板を設け複数のローラによ
りアルミニウム箔を前記電極板の間に送りかつ前記アル
ミニウム箔の進行方向を変え前記電解槽内でアルミニウ
ム箔を陽極とし前記陰極となる電極板との間に直流電流
を流して前記アルミニウム箔の連続化成を行う方法であ
って、前記電極板の表面を少なくとも一部が前記電解液
に露出する窓部を設けて電気絶縁性物質にて覆い、前記
窓部は前記電解槽の表面から深さ方向に１２５ｍｍ以上
の位置に存在させ、電流密度の最大値を前記電解液の表
面ではなく前記窓部とアルミニウム箔の間の電解液中に
存在させながら化成することを特徴とする。
用電極箔の製造方法は、電解液の入った電解槽内に少な
くとも２枚の陰極となる電極板を設け複数のローラによ
りアルミニウム箔を前記電極板の間に送りかつ前記アル
ミニウム箔の進行方向を変え前記電解槽内でアルミニウ
ム箔を陽極とし前記陰極となる電極板との間に直流電流
を流して前記アルミニウム箔の連続化成を行う方法であ
って、前記電極板の表面を少なくとも一部が前記電解液
に露出する窓部を設けて電気絶縁性物質にて覆い、前記
窓部は前記電解槽の表面から深さ方向に１２５ｍｍ以上
の位置に存在させ、電流密度の最大値を前記電解液の表
面ではなく前記窓部とアルミニウム箔の間の電解液中に
存在させながら化成することを特徴とする。
【００２２】前記方法においては、給電電流密度の最大
値を給電液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質を用
いて電極の少なくとも給電液面付近の部分を覆う手段で
あることが好ましい。
値を給電液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質を用
いて電極の少なくとも給電液面付近の部分を覆う手段で
あることが好ましい。
【００２３】また前記方法においては、給電電流密度の
最大値を給電液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質
を用いて、電極の給電液中に存在する部分であって、か
つアルミニウム箔に対向する面部分に窓部を設けたこと
が好ましい。
最大値を給電液中に存在させる手段が、電気絶縁性物質
を用いて、電極の給電液中に存在する部分であって、か
つアルミニウム箔に対向する面部分に窓部を設けたこと
が好ましい。
【００２４】また前記方法においては、給電電流密度の
最大値を給電液中に存在させる手段が、電極板とアルミ
ニウム箔との間の電気絶縁物の邪魔板であることが好ま
しい。
最大値を給電液中に存在させる手段が、電極板とアルミ
ニウム箔との間の電気絶縁物の邪魔板であることが好ま
しい。
【００２５】また前記方法においては、窓部の開口面積
及び／または開口位置を調節可能に設けたことが好まし
い。また前記方法においては、給電槽内の陰極が少なく
とも２枚の電極板からなり、アルミニウム箔を送る手段
が複数のローラーで構成され、給電槽内でアルミニウム
箔の方向を変え電極板の間を走行させ連続化成を行うこ
とが好ましい。
及び／または開口位置を調節可能に設けたことが好まし
い。また前記方法においては、給電槽内の陰極が少なく
とも２枚の電極板からなり、アルミニウム箔を送る手段
が複数のローラーで構成され、給電槽内でアルミニウム
箔の方向を変え電極板の間を走行させ連続化成を行うこ
とが好ましい。
【００２６】また前記方法においては、給電槽内でアル
ミニウム箔の方向を変える手段が樹脂製のローラーであ
ることが好ましい。また前記方法においては、窓部の大
きさが給電液面から槽内ローラ上部までの大きさの２／
３以下であることが好ましい。
ミニウム箔の方向を変える手段が樹脂製のローラーであ
ることが好ましい。また前記方法においては、窓部の大
きさが給電液面から槽内ローラ上部までの大きさの２／
３以下であることが好ましい。
【００２７】また前記方法においては、電気絶縁性物質
が、合成樹脂、繊維強化合成樹脂、合成ゴムから選ばれ
る少なくとも一つの物質であることが好ましい。また前
記方法においては、給電液の電導度が１ｍＳ／ｃｍ＜Ｅ
＜５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）の範囲であることが好ま
しい。
が、合成樹脂、繊維強化合成樹脂、合成ゴムから選ばれ
る少なくとも一つの物質であることが好ましい。また前
記方法においては、給電液の電導度が１ｍＳ／ｃｍ＜Ｅ
＜５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）の範囲であることが好ま
しい。
【００２８】
【作用】前記した本発明のアルミニウム電解コンデンサ
用電極箔の製造装置の構成によれば、電解液の入った電
解槽内でアルミニウム箔を陽極とし、陰極となる電極板
との間に直流電流を流して前記アルミニウム箔の連続化
成を行う装置であって、化成電流密度の最大値を電解液
表面ではなく電解液中に存在させる手段を備えたことに
より、高い静電容量が得られ、しかも漏れ電流の小さな
電極箔を製造することができる。たとえば、陰極となる
少なくとも２枚の電極板を電解液の入った電解槽に配設
し、アルミニウム箔を陽極としてこのアルミニウム箔と
電極板との間に直流電流を流し、複数のローラーを介し
てアルミニウム箔の方向を変え電極板の間を走行させ連
続化成を行うに際し、化成電流密度の最大値が電解液面
でなく電解液中になるように電極板有効部長さ（電極板
の開口部の縦の長さをいう）と、電極板有効部位置（電
極板の開口部の浸漬深さをいう）により調整した電極板
構造を有している。電極板の有効部とは、電極板として
機能する部分である。例えば、絶縁物により遮蔽されて
いる電極板部分は電極板有効部でない。
用電極箔の製造装置の構成によれば、電解液の入った電
解槽内でアルミニウム箔を陽極とし、陰極となる電極板
との間に直流電流を流して前記アルミニウム箔の連続化
成を行う装置であって、化成電流密度の最大値を電解液
表面ではなく電解液中に存在させる手段を備えたことに
より、高い静電容量が得られ、しかも漏れ電流の小さな
電極箔を製造することができる。たとえば、陰極となる
少なくとも２枚の電極板を電解液の入った電解槽に配設
し、アルミニウム箔を陽極としてこのアルミニウム箔と
電極板との間に直流電流を流し、複数のローラーを介し
てアルミニウム箔の方向を変え電極板の間を走行させ連
続化成を行うに際し、化成電流密度の最大値が電解液面
でなく電解液中になるように電極板有効部長さ（電極板
の開口部の縦の長さをいう）と、電極板有効部位置（電
極板の開口部の浸漬深さをいう）により調整した電極板
構造を有している。電極板の有効部とは、電極板として
機能する部分である。例えば、絶縁物により遮蔽されて
いる電極板部分は電極板有効部でない。
【００２９】化成を行う場合、電解液を介してＡｌ箔を
＋極とし、電極板との間に定電流あるいは定電圧が印加
される。Ａｌ箔が連続で走行する場合は、定電流で行っ
てもほぼ定電圧になる。一方、Ａｌエッチング箔上に化
成で作られる酸化膜は化成が進行するほど厚くなるため
化成の反応抵抗が高くなる。そのため、化成初期（化成
膜の薄い時）は大電流が流れ化成が進行すると減少する
状態になる（図２１）。図２１において、＋、−極間が
一定電圧であり、かつ＋極になるＡｌ箔上の反応抵抗が
変わる状態で化成電流をコントロールして流すためには
陰極の反応抵抗を利用するか、または電解液中の抵抗を
コントロールする必要がある。すなわち、Ｒ（−）は一
定でＲ（＋）は化成が進むにつれて増加する。そのた
め、Ｒ（Ｌ）を一定のままにすると化成電流は初期にＲ
（＋）が少ないため大きく、化成が進むにつれてＲ
（＋）が増加し小さくなる。Ｒ（−）はほぼ一定であ
り、Ｒ（＋）は化成の進行により変わるが、例えばＲ
（＋）＋Ｒ（Ｌ）＝一定になるように電解液の液抵抗Ｒ
（Ｌ）を設定するとほぼ一定の電流密度が得られる。ま
たＲ（Ｌ）を自由に変えることにより、最適な電流分布
に調整することが可能となる。
＋極とし、電極板との間に定電流あるいは定電圧が印加
される。Ａｌ箔が連続で走行する場合は、定電流で行っ
てもほぼ定電圧になる。一方、Ａｌエッチング箔上に化
成で作られる酸化膜は化成が進行するほど厚くなるため
化成の反応抵抗が高くなる。そのため、化成初期（化成
膜の薄い時）は大電流が流れ化成が進行すると減少する
状態になる（図２１）。図２１において、＋、−極間が
一定電圧であり、かつ＋極になるＡｌ箔上の反応抵抗が
変わる状態で化成電流をコントロールして流すためには
陰極の反応抵抗を利用するか、または電解液中の抵抗を
コントロールする必要がある。すなわち、Ｒ（−）は一
定でＲ（＋）は化成が進むにつれて増加する。そのた
め、Ｒ（Ｌ）を一定のままにすると化成電流は初期にＲ
（＋）が少ないため大きく、化成が進むにつれてＲ
（＋）が増加し小さくなる。Ｒ（−）はほぼ一定であ
り、Ｒ（＋）は化成の進行により変わるが、例えばＲ
（＋）＋Ｒ（Ｌ）＝一定になるように電解液の液抵抗Ｒ
（Ｌ）を設定するとほぼ一定の電流密度が得られる。ま
たＲ（Ｌ）を自由に変えることにより、最適な電流分布
に調整することが可能となる。
【００３０】上記した本発明の製造方法によれば、アル
ミニウム箔を陽極として、このアルミニウム箔と陰極と
なる電極板との間に直流電流を流してアルミニウム箔の
連続化成を行うに際し、化成電流密度の最大値が電解液
面でなく電解液中になるように電極板の有効部長さと電
極板の有効部位置により構成した。これにより、大きな
突入電流が流れないのでアルミニウム箔表面の微細な凹
凸部が表面溶解を受けることも、水酸化アルミニウムが
形成されるということもほとんどなくなり、その結果、
高い静電容量が得られるとともに、漏れ電流の小さいア
ルミニウム電解コンデンサ用電極箔を得ることができ
る。
ミニウム箔を陽極として、このアルミニウム箔と陰極と
なる電極板との間に直流電流を流してアルミニウム箔の
連続化成を行うに際し、化成電流密度の最大値が電解液
面でなく電解液中になるように電極板の有効部長さと電
極板の有効部位置により構成した。これにより、大きな
突入電流が流れないのでアルミニウム箔表面の微細な凹
凸部が表面溶解を受けることも、水酸化アルミニウムが
形成されるということもほとんどなくなり、その結果、
高い静電容量が得られるとともに、漏れ電流の小さいア
ルミニウム電解コンデンサ用電極箔を得ることができ
る。
【００３１】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は化成槽の構成を示したもので、２０は電解液
２４を貯溜した化成槽、２１は化成を行うためのアルミ
ニウム箔、２２はアルミニウム箔を供給するとともに直
流電流を供給する給電ローラ、２３は電極板、２５は槽
内ローラ、２６は槽内ローラ上部、２７は電極板有効
部、２８は電極板有効部長さ（電極板の開口部の縦の長
さ）、２９は電極板有効部位置（電極板の開口部の浸漬
深さ）、３０は走行ローラ、３１は直流電源である。前
記において、電極板の開口部の大きさは、全電極板面積
の２０〜８０％程度が好ましい。また電極板の開口部の
浸漬深さは、液面から１０ｃｍ以上が好ましく、より好
ましくは２０ｃｍ以上、とくに好ましくは５０〜６０ｃ
ｍ以上である。
る。図１は化成槽の構成を示したもので、２０は電解液
２４を貯溜した化成槽、２１は化成を行うためのアルミ
ニウム箔、２２はアルミニウム箔を供給するとともに直
流電流を供給する給電ローラ、２３は電極板、２５は槽
内ローラ、２６は槽内ローラ上部、２７は電極板有効
部、２８は電極板有効部長さ（電極板の開口部の縦の長
さ）、２９は電極板有効部位置（電極板の開口部の浸漬
深さ）、３０は走行ローラ、３１は直流電源である。前
記において、電極板の開口部の大きさは、全電極板面積
の２０〜８０％程度が好ましい。また電極板の開口部の
浸漬深さは、液面から１０ｃｍ以上が好ましく、より好
ましくは２０ｃｍ以上、とくに好ましくは５０〜６０ｃ
ｍ以上である。
【００３２】ＣｕまたはＡｇなどの金属からなる給電ロ
ーラ２２には直流電源３１の陽極が接続され、かつ直流
電源３１の陰極は化成槽２０中の電極板２３に接続され
ている。アルミニウム箔２１の化成は、アルミニウム箔
２１が給電ローラ２２に接触しながら連続的に走行し、
化成槽２０内の電解液２４中に配設された２個の電極板
２３の間を通過し、かつ化成槽２０の下部に位置した槽
内ローラ２５で反転して再び２個の電極板２３の間を通
過して液面より外に出て、その後走行ローラ３０に接触
しながら走行することにより行われる。
ーラ２２には直流電源３１の陽極が接続され、かつ直流
電源３１の陰極は化成槽２０中の電極板２３に接続され
ている。アルミニウム箔２１の化成は、アルミニウム箔
２１が給電ローラ２２に接触しながら連続的に走行し、
化成槽２０内の電解液２４中に配設された２個の電極板
２３の間を通過し、かつ化成槽２０の下部に位置した槽
内ローラ２５で反転して再び２個の電極板２３の間を通
過して液面より外に出て、その後走行ローラ３０に接触
しながら走行することにより行われる。
【００３３】図２は、化成槽中のアルミニウム箔２１の
位置を給電ローラ２２に接触しながら連続的に走行し、
そして化成槽２０内の電解液２４中に入るが、その点を
液面からの距離０ｍｍとし槽内ローラ２５の手前を５０
０ｍｍとし槽内ローラ部はほとんど電流が流れないので
槽内ローラ２５で反転して再び２個の電極板２３の間を
通過する点を同じく５００ｍｍとし、通過して液面より
外に出る点を１０００ｍｍとした。このように電解液の
液面からの距離と電流密度分布を測定した。化成機は下
記の条件のものを用いて化成を行った。 （１）箔種：エッチング箔 （２）箔送りスピード：５０ｃｍ／ｍｉｎ （３）給電：ローラ給電 （４）ピッチ数：１ピッチ （５）電極長：５００ｍｍ（ステンレス鋼ＳＵＳ３０
１） （６）電解液：アジピン酸アンモニウム水溶液 （７）電解液電導度：５０ｍＳ/cm （ａｔ４５℃） （８）電解液温度：４５℃ （９）アルミ箔の幅：５０ｍｍ （10）アルミ箔の厚さ：１００μｍ （11）電解槽の大きさ：縦１００ｍｍ、横５００ｍｍ、
深さ７００ｍｍ（容量：３５リットル） 以下具体的実施例を用いて説明する。
位置を給電ローラ２２に接触しながら連続的に走行し、
そして化成槽２０内の電解液２４中に入るが、その点を
液面からの距離０ｍｍとし槽内ローラ２５の手前を５０
０ｍｍとし槽内ローラ部はほとんど電流が流れないので
槽内ローラ２５で反転して再び２個の電極板２３の間を
通過する点を同じく５００ｍｍとし、通過して液面より
外に出る点を１０００ｍｍとした。このように電解液の
液面からの距離と電流密度分布を測定した。化成機は下
記の条件のものを用いて化成を行った。 （１）箔種：エッチング箔 （２）箔送りスピード：５０ｃｍ／ｍｉｎ （３）給電：ローラ給電 （４）ピッチ数：１ピッチ （５）電極長：５００ｍｍ（ステンレス鋼ＳＵＳ３０
１） （６）電解液：アジピン酸アンモニウム水溶液 （７）電解液電導度：５０ｍＳ/cm （ａｔ４５℃） （８）電解液温度：４５℃ （９）アルミ箔の幅：５０ｍｍ （10）アルミ箔の厚さ：１００μｍ （11）電解槽の大きさ：縦１００ｍｍ、横５００ｍｍ、
深さ７００ｍｍ（容量：３５リットル） 以下具体的実施例を用いて説明する。
【００３４】（実施例１）上記の条件で印加電圧を４０
ｖにし、電極板有効部長２８が５００ｍｍ、４００ｍ
ｍ、３３０ｍｍ、２５０ｍｍ、５０ｍｍ（図３）と電解
液面の電流集中を緩和できるように電極板有効部２７が
電解液面から遠くなるように電極板有効部長２８を短く
し化成を行った時の液面からの距離と電流密度分布（図
４）を示した。最大電極板有効部長の２／３の３３２ｍ
ｍ以下で化成電流密度の最大値が電解液面でなく電解液
中になり電解液面の電流集中を緩和できた。すなわち、
電極板有効部長を短くすると電流密度のピークは電解液
面から電極板有効部にシフトした。電解液の電導度を１
〜５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）を変化させると化成電流
密度の最大値が変化するが、電流密度のピーク位置はほ
とんど同じであった。次に、例えば電極板２３の５００
ｍｍ長に絶縁物コート３２を行うかあるいは絶縁物シー
ト３２を設けた。絶縁物コートまたは絶縁物シートとし
ては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフ
ッ素樹脂、シリコーンゴム、フッ素ゴム等の合成ゴム等
を使用できる。本実施例では厚さ０．２ｍｍのフッ素ゴ
ムを用い、電極板有効部長２８を５０ｍｍにし、設定有
効部位置２９を電解液面より０ｍｍ、１２５ｍｍ、２５
０ｍｍ、３７５ｍｍ、４５０ｍｍ（図５）になるよう
に、化成を行った時の電流密度分布（図６）を示した。
電極板有効部位置２９が電解液面より離れると化成電流
密度の最大位置は電解液面から電極板有効部２７にシフ
トし、化成電流密度の最大値は小さくなる。このよう
に、電極板有効部長２８と有効部位置２９を調節するこ
とにより電流密度の最大値を移動させ、電解液面の電流
集中を緩和させることができる。これにより、最適な電
流密度分布で連続して化成することが可能となった。
ｖにし、電極板有効部長２８が５００ｍｍ、４００ｍ
ｍ、３３０ｍｍ、２５０ｍｍ、５０ｍｍ（図３）と電解
液面の電流集中を緩和できるように電極板有効部２７が
電解液面から遠くなるように電極板有効部長２８を短く
し化成を行った時の液面からの距離と電流密度分布（図
４）を示した。最大電極板有効部長の２／３の３３２ｍ
ｍ以下で化成電流密度の最大値が電解液面でなく電解液
中になり電解液面の電流集中を緩和できた。すなわち、
電極板有効部長を短くすると電流密度のピークは電解液
面から電極板有効部にシフトした。電解液の電導度を１
〜５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）を変化させると化成電流
密度の最大値が変化するが、電流密度のピーク位置はほ
とんど同じであった。次に、例えば電極板２３の５００
ｍｍ長に絶縁物コート３２を行うかあるいは絶縁物シー
ト３２を設けた。絶縁物コートまたは絶縁物シートとし
ては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフ
ッ素樹脂、シリコーンゴム、フッ素ゴム等の合成ゴム等
を使用できる。本実施例では厚さ０．２ｍｍのフッ素ゴ
ムを用い、電極板有効部長２８を５０ｍｍにし、設定有
効部位置２９を電解液面より０ｍｍ、１２５ｍｍ、２５
０ｍｍ、３７５ｍｍ、４５０ｍｍ（図５）になるよう
に、化成を行った時の電流密度分布（図６）を示した。
電極板有効部位置２９が電解液面より離れると化成電流
密度の最大位置は電解液面から電極板有効部２７にシフ
トし、化成電流密度の最大値は小さくなる。このよう
に、電極板有効部長２８と有効部位置２９を調節するこ
とにより電流密度の最大値を移動させ、電解液面の電流
集中を緩和させることができる。これにより、最適な電
流密度分布で連続して化成することが可能となった。
【００３５】また、図３、図５の電極板有効部長と位置
を電極板と絶縁物シートを組み合わせることにより、電
極板有効部長と位置の設定がをそれぞれ可変可能とな
る。例えば、図７（ａ）〜（ｄ）、（ａ´）〜（ｄ´）
のように一部覆いをした電極板と絶縁シートを準備する
ことによって、電極有効部長さ５０ｍｍ（図７ｂ，ｃ1
〜ｃ4 ，ｄ）、または３０ｍｍ（図７ｂ´ ，ｃ1´〜ｃ
4´，ｄ´ ）を、液面から２００ｍｍ（図７ｃ1 ，ｃ1
´）、２５０ｍｍ（図７ｃ2 ，ｃ2´），３００ｍｍ
（図７ｃ3 ，ｃ3´），３５０ｍｍ（図７ｃ4 ，ｃ4´）
の深さに変化させた。図７ｄは図７ｃ4 の断面図であ
り、図７ｄ´ は図７ｃ4´の断面図である。図７におい
て、２３Ａは上側絶縁シート、２３Ｂは下側絶縁シー
ト、３２Ａは上側絶縁シートの上に取り付ける絶縁シー
ト、３２Ｂは下側絶縁シートの上に取り付ける絶縁シー
ト、６１Ａ，６１Ｂは取り付けボルトとナット、２７Ａ
は電極板の開口部である。
を電極板と絶縁物シートを組み合わせることにより、電
極板有効部長と位置の設定がをそれぞれ可変可能とな
る。例えば、図７（ａ）〜（ｄ）、（ａ´）〜（ｄ´）
のように一部覆いをした電極板と絶縁シートを準備する
ことによって、電極有効部長さ５０ｍｍ（図７ｂ，ｃ1
〜ｃ4 ，ｄ）、または３０ｍｍ（図７ｂ´ ，ｃ1´〜ｃ
4´，ｄ´ ）を、液面から２００ｍｍ（図７ｃ1 ，ｃ1
´）、２５０ｍｍ（図７ｃ2 ，ｃ2´），３００ｍｍ
（図７ｃ3 ，ｃ3´），３５０ｍｍ（図７ｃ4 ，ｃ4´）
の深さに変化させた。図７ｄは図７ｃ4 の断面図であ
り、図７ｄ´ は図７ｃ4´の断面図である。図７におい
て、２３Ａは上側絶縁シート、２３Ｂは下側絶縁シー
ト、３２Ａは上側絶縁シートの上に取り付ける絶縁シー
ト、３２Ｂは下側絶縁シートの上に取り付ける絶縁シー
ト、６１Ａ，６１Ｂは取り付けボルトとナット、２７Ａ
は電極板の開口部である。
【００３６】絶縁シートをさらに有効部長が１０ｍｍ、
２０……ｍｍのように数枚準備すれば、電極板を変えな
くても電極板有効部を電流密度分布・箔特性に合わせ自
由に調整できる。
２０……ｍｍのように数枚準備すれば、電極板を変えな
くても電極板有効部を電流密度分布・箔特性に合わせ自
由に調整できる。
【００３７】電極板有効部長と位置の設定をそれぞれ可
変可能な次の例を図８（ａ）〜（ｃ）に示した。図８
（ａ）〜（ｃ）はガラス繊維補強ポリエステル樹脂２３
Ａ，２３Ｂを枠体３２Ｃと電極板２７の間に設定したも
ので、図８（ｂ1 ）は有効部長さが５０ｍｍまたは３０
ｍｍ、有効部位置が４５０ｍｍの例、同図（ｂ2 ）は有
効部長さが５０ｍｍまたは３０ｍｍ、有効部位置が３５
０ｍｍの例、同図（ｂ3）は有効部長さが５０ｍｍまた
は３０ｍｍ、有効部位置が３００ｍｍの例、同図
（ｂ4 ）は有効部長さが５０ｍｍまたは３０ｍｍ、有効
部位置が４００ｍｍの例である。
変可能な次の例を図８（ａ）〜（ｃ）に示した。図８
（ａ）〜（ｃ）はガラス繊維補強ポリエステル樹脂２３
Ａ，２３Ｂを枠体３２Ｃと電極板２７の間に設定したも
ので、図８（ｂ1 ）は有効部長さが５０ｍｍまたは３０
ｍｍ、有効部位置が４５０ｍｍの例、同図（ｂ2 ）は有
効部長さが５０ｍｍまたは３０ｍｍ、有効部位置が３５
０ｍｍの例、同図（ｂ3）は有効部長さが５０ｍｍまた
は３０ｍｍ、有効部位置が３００ｍｍの例、同図
（ｂ4 ）は有効部長さが５０ｍｍまたは３０ｍｍ、有効
部位置が４００ｍｍの例である。
【００３８】このように有効部長さを有する電極板を、
任意の位置に設定できるようにすれば、電流密度分布・
箔特性に合わせ自由な位置調整できる。また、有効部長
さの異なる電極板を数種類用意すれば、耐圧・電流密度
分布・箔特性に合わせ自由な有効部長さに調整できる。
さらに、図７と図８を組み合わせれば電極板有効部長と
位置の微調整が可能になる。
任意の位置に設定できるようにすれば、電流密度分布・
箔特性に合わせ自由な位置調整できる。また、有効部長
さの異なる電極板を数種類用意すれば、耐圧・電流密度
分布・箔特性に合わせ自由な有効部長さに調整できる。
さらに、図７と図８を組み合わせれば電極板有効部長と
位置の微調整が可能になる。
【００３９】（実施例２）図９の化成槽２０を用いてア
ルミニウム箔２１と電極板２３の間で電極板２３上に絶
縁物３２を設けて調整した電極板有効部２７から１ｃｍ
離して絶縁物（たとえば厚さ２ｍｍのガラス繊維強化ナ
イロン樹脂板）の邪魔板３３を用いると、電流密度分布
がどのように変化するかエッチドアルミニウム箔２１を
陽極として、アルミニウム箔２１と電極板２３との間に
直流電流を流し電流密度の測定を行った。
ルミニウム箔２１と電極板２３の間で電極板２３上に絶
縁物３２を設けて調整した電極板有効部２７から１ｃｍ
離して絶縁物（たとえば厚さ２ｍｍのガラス繊維強化ナ
イロン樹脂板）の邪魔板３３を用いると、電流密度分布
がどのように変化するかエッチドアルミニウム箔２１を
陽極として、アルミニウム箔２１と電極板２３との間に
直流電流を流し電流密度の測定を行った。
【００４０】電極板有効部長２８が２５ｍｍで有効部位
置２９が液面より３７５ｍｍ下で（図９）、邪魔板長３
４を０ｍｍ、５０ｍｍ、１００ｍｍ、１５０ｍｍで化成
を行った時の電流密度分布（図１０）を示した。図１１
に邪魔板長３４とピーク電流密度の関係を示した。電極
板有効部長２８の倍の長さ５０ｍｍの邪魔板３３を設け
るとピーク電流密度が半減した。さらに長く１００ｍｍ
にすると比例して小さくなリ、１５０ｍｍではさらにピ
ーク電流密度が小さくなった。このように絶縁物の邪魔
板長１５０ｍｍを用いるとピーク電流密度を約１／３に
でき、化成電流密度の最大値は邪魔板３３の両端にで
き、電解液面の電流密度が変化することもなかった。絶
縁物の邪魔板長３４を電極板有効部長２８の２／３以下
にすると邪魔板３３の効果がほとんどなり、また邪魔板
長３４を電極板有効部長２８の１５倍以上に長くすると
ほとんど電流が流れなくなった。邪魔板３３に１つ以上
の孔または１つ以上スリットを設けることにより、邪魔
板の両端にできるピーク電流密度の谷間、すなわち邪魔
板３３上に電流を流すことができた。一方、スリット幅
が電極板有効部長２８の１／３以上と広すぎると、化成
電流密度の最大がスリット部にできた。したがつて細い
スリット部を数本設けることが望ましい。スリット幅を
１ｍｍ以下にすると流れないので電解液の電導度と化成
条件に合った孔あるいはスリットを邪魔板３３に設ける
ことにより要望する電流が流れるようにできる。また、
多孔質材料の邪魔板３３を使用したり、邪魔板３３を複
数枚用いても最適電流密度分布に調整できる。
置２９が液面より３７５ｍｍ下で（図９）、邪魔板長３
４を０ｍｍ、５０ｍｍ、１００ｍｍ、１５０ｍｍで化成
を行った時の電流密度分布（図１０）を示した。図１１
に邪魔板長３４とピーク電流密度の関係を示した。電極
板有効部長２８の倍の長さ５０ｍｍの邪魔板３３を設け
るとピーク電流密度が半減した。さらに長く１００ｍｍ
にすると比例して小さくなリ、１５０ｍｍではさらにピ
ーク電流密度が小さくなった。このように絶縁物の邪魔
板長１５０ｍｍを用いるとピーク電流密度を約１／３に
でき、化成電流密度の最大値は邪魔板３３の両端にで
き、電解液面の電流密度が変化することもなかった。絶
縁物の邪魔板長３４を電極板有効部長２８の２／３以下
にすると邪魔板３３の効果がほとんどなり、また邪魔板
長３４を電極板有効部長２８の１５倍以上に長くすると
ほとんど電流が流れなくなった。邪魔板３３に１つ以上
の孔または１つ以上スリットを設けることにより、邪魔
板の両端にできるピーク電流密度の谷間、すなわち邪魔
板３３上に電流を流すことができた。一方、スリット幅
が電極板有効部長２８の１／３以上と広すぎると、化成
電流密度の最大がスリット部にできた。したがつて細い
スリット部を数本設けることが望ましい。スリット幅を
１ｍｍ以下にすると流れないので電解液の電導度と化成
条件に合った孔あるいはスリットを邪魔板３３に設ける
ことにより要望する電流が流れるようにできる。また、
多孔質材料の邪魔板３３を使用したり、邪魔板３３を複
数枚用いても最適電流密度分布に調整できる。
【００４１】（実施例３）例えばアルミニウム箔２１と
電極板２３の間に絶縁物の邪魔板３３を用いた図１２の
化成槽２０で、アルミニウム箔２１と電極板２３とが対
向する位置のみで直流電流が流れるよう、Ａ側とＢ側を
電流防御壁３５により分離し（図１３）、Ｂ側の電解液
面付近に電極板有効部を設け電流密度分布がどのように
なるかエッチドアルミニウム箔２１を陽極として、アル
ミニウム箔２１と電極板２３との間に直流電流を流し電
流密度の測定を行った。Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓはほぼ同一の距
離を示す。
電極板２３の間に絶縁物の邪魔板３３を用いた図１２の
化成槽２０で、アルミニウム箔２１と電極板２３とが対
向する位置のみで直流電流が流れるよう、Ａ側とＢ側を
電流防御壁３５により分離し（図１３）、Ｂ側の電解液
面付近に電極板有効部を設け電流密度分布がどのように
なるかエッチドアルミニウム箔２１を陽極として、アル
ミニウム箔２１と電極板２３との間に直流電流を流し電
流密度の測定を行った。Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓはほぼ同一の距
離を示す。
【００４２】電極板有効部長２８が２５ｍｍで有効部位
置２９が液面より３７５ｍｍ下でジャマ板長３４を５０
ｍｍでＢ側の液面付近の電極板有効部の有無（図１３）
で電流密度分布（図１４）がどのようになるか示した。
液面付近の電極板有効部３３の無いとき、図１３に示す
Ａ側に比べＢ側で流れるトータル電流は小さく、Ｂ側の
液面近くに電極板有効部２７を設けると電流が回り込み
Ａ側の液面近くに電流集中した。このように槽内ローラ
２５上の電極板２３サイドに電流防御壁３５によりＡ側
とＢ側を分離することにより、Ｂ側の液面付近の電極板
有効部２７を設けてもＡ側は影響を受けず、化成槽２０
Ｂ側だけの電流密度分布の制御が可能となり、電極板構
造による化成槽２０全体の電流密度分布設計が可能とな
った。また、電極板２３の正面のアルミニウム箔２１の
面以外への回り込み電流は１０ｍＡ／ｃｍ2 以下となっ
た。
置２９が液面より３７５ｍｍ下でジャマ板長３４を５０
ｍｍでＢ側の液面付近の電極板有効部の有無（図１３）
で電流密度分布（図１４）がどのようになるか示した。
液面付近の電極板有効部３３の無いとき、図１３に示す
Ａ側に比べＢ側で流れるトータル電流は小さく、Ｂ側の
液面近くに電極板有効部２７を設けると電流が回り込み
Ａ側の液面近くに電流集中した。このように槽内ローラ
２５上の電極板２３サイドに電流防御壁３５によりＡ側
とＢ側を分離することにより、Ｂ側の液面付近の電極板
有効部２７を設けてもＡ側は影響を受けず、化成槽２０
Ｂ側だけの電流密度分布の制御が可能となり、電極板構
造による化成槽２０全体の電流密度分布設計が可能とな
った。また、電極板２３の正面のアルミニウム箔２１の
面以外への回り込み電流は１０ｍＡ／ｃｍ2 以下となっ
た。
【００４３】（実施例４）前記した実施例１〜３によ
り、最適電流密度分布にすることができる。すなわち、
表面が粗面化されたアルミニウム箔２１の程度・電解液
２４電導度・アルミニウム箔２１送り速度等により、電
極板有効部長２８・電極板有効部位置２９・絶縁物の邪
魔板長３４・邪魔板３３の孔あるいはスリット形状等を
調整し、またはＡとＢ側を電流防御壁３５により分離
し、最適電流密度分布にし、図１に示した化成装置を用
いてアルミニウム電解コンデンサ用電極箔を製造したも
ので、つまり、アルミニウム箔２１を、アジピン酸、グ
ルタミン酸、セバシン酸、リン酸、ホウ酸およびそれら
のアンモニウム塩のいずれか１種類以上含む水溶液から
なり、かつ電導度が１−５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）で
ある電解液２４を用い電圧印加し、連続化成を行い、ア
ルミニウム電解コンデンサ用電極箔を製造した。図１５
は本発明の一実施例のアルミニウム電解コンデンサ用電
極箔の製造方法における表面が粗面化されたアルミニウ
ム箔２１の化成時の電流密度と電解液２４の電導度との
関係を示したもので、Ａは電解液２４の電導度が２０ｍ
Ｓ／ｃｍ（９０℃）、Ｂは３０ｍＳ／ｃｍ（９０℃）、
Ｃは１００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）、Ｄは２００ｍＳ／ｃ
ｍ（９０℃）、Ｅは５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）の場合
であり、この図１５からも明らかなように、電解液２４
の電導度が大きくなるに従い、電流密度を大きくしても
静電容量は低下しなくなる。また、５００ｍＳ／ｃｍ
（９０℃）以上になると液抵抗が小さくなり電極板有効
部長２８等による電流密度制御の効果がなくなる。逆
に、１ｍＳ／ｃｍ（９０℃）未満になると液抵抗が大き
く、電極板有効部長等による電流密度制御しなくても電
流集中は問題ないレベルになる。
り、最適電流密度分布にすることができる。すなわち、
表面が粗面化されたアルミニウム箔２１の程度・電解液
２４電導度・アルミニウム箔２１送り速度等により、電
極板有効部長２８・電極板有効部位置２９・絶縁物の邪
魔板長３４・邪魔板３３の孔あるいはスリット形状等を
調整し、またはＡとＢ側を電流防御壁３５により分離
し、最適電流密度分布にし、図１に示した化成装置を用
いてアルミニウム電解コンデンサ用電極箔を製造したも
ので、つまり、アルミニウム箔２１を、アジピン酸、グ
ルタミン酸、セバシン酸、リン酸、ホウ酸およびそれら
のアンモニウム塩のいずれか１種類以上含む水溶液から
なり、かつ電導度が１−５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）で
ある電解液２４を用い電圧印加し、連続化成を行い、ア
ルミニウム電解コンデンサ用電極箔を製造した。図１５
は本発明の一実施例のアルミニウム電解コンデンサ用電
極箔の製造方法における表面が粗面化されたアルミニウ
ム箔２１の化成時の電流密度と電解液２４の電導度との
関係を示したもので、Ａは電解液２４の電導度が２０ｍ
Ｓ／ｃｍ（９０℃）、Ｂは３０ｍＳ／ｃｍ（９０℃）、
Ｃは１００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）、Ｄは２００ｍＳ／ｃ
ｍ（９０℃）、Ｅは５００ｍＳ／ｃｍ（９０℃）の場合
であり、この図１５からも明らかなように、電解液２４
の電導度が大きくなるに従い、電流密度を大きくしても
静電容量は低下しなくなる。また、５００ｍＳ／ｃｍ
（９０℃）以上になると液抵抗が小さくなり電極板有効
部長２８等による電流密度制御の効果がなくなる。逆
に、１ｍＳ／ｃｍ（９０℃）未満になると液抵抗が大き
く、電極板有効部長等による電流密度制御しなくても電
流集中は問題ないレベルになる。
【００４４】このように電解液２４の電導度に合った電
流密度分布にすることにより、従来の静電容量（２２μ
Ｆ／ｃｍ2 ）に対し、静電容量の大幅な向上、つまり高
い静電容量（２４μＦ／ｃｍ2 ）を得ることができるも
のである。中圧・高圧用化成は水和処理しているので水
酸化アルミニウムの発生量が低圧用より少ないが同じ傾
向にある。中圧・高圧化成でもこのように図１のＡの位
置に集中する電流密度を分散することにより、最大電流
密度を２×１０2 ｍＡ／ｃｍ2 以下に下げることがで
き、従来の静電容量（０．６μＦ／ｃｍ2 ）に対し、静
電容量の大幅な向上、つまり高い静電容量（０．６５μ
Ｆ／ｃｍ2 ）を得ることができるものである。図１６に
本発明の一実施例と、従来例とにおいて、５０Ｖ用のア
ルミニウム電解コンデンサに直流を印加した場合の漏れ
電流の比較を示したもので、（イ）は従来の化成方法に
より得られた電極箔を用いてなるアルミニウム電解コン
デンサの漏れ電流を示し、（ロ）は本発明の一実施例に
おける化成方法により得られた電極箔を用いてなるアル
ミニウム電解コンデンサの漏れ電流を示す。この図１６
らも明らかなように、本発明の一実施例の化成方法によ
り得られた電極箔を用いれば、漏れ電流を小さくするこ
とができるものである。なお、漏れ電流に限っては、電
極箔を製造するための化成前のアルミニウム箔２１は、
表面が粗面化されたアルミニウム箔２１、あるいは表面
が平滑であるアルミニウム箔２１のいずれにも適用でき
るものである。
流密度分布にすることにより、従来の静電容量（２２μ
Ｆ／ｃｍ2 ）に対し、静電容量の大幅な向上、つまり高
い静電容量（２４μＦ／ｃｍ2 ）を得ることができるも
のである。中圧・高圧用化成は水和処理しているので水
酸化アルミニウムの発生量が低圧用より少ないが同じ傾
向にある。中圧・高圧化成でもこのように図１のＡの位
置に集中する電流密度を分散することにより、最大電流
密度を２×１０2 ｍＡ／ｃｍ2 以下に下げることがで
き、従来の静電容量（０．６μＦ／ｃｍ2 ）に対し、静
電容量の大幅な向上、つまり高い静電容量（０．６５μ
Ｆ／ｃｍ2 ）を得ることができるものである。図１６に
本発明の一実施例と、従来例とにおいて、５０Ｖ用のア
ルミニウム電解コンデンサに直流を印加した場合の漏れ
電流の比較を示したもので、（イ）は従来の化成方法に
より得られた電極箔を用いてなるアルミニウム電解コン
デンサの漏れ電流を示し、（ロ）は本発明の一実施例に
おける化成方法により得られた電極箔を用いてなるアル
ミニウム電解コンデンサの漏れ電流を示す。この図１６
らも明らかなように、本発明の一実施例の化成方法によ
り得られた電極箔を用いれば、漏れ電流を小さくするこ
とができるものである。なお、漏れ電流に限っては、電
極箔を製造するための化成前のアルミニウム箔２１は、
表面が粗面化されたアルミニウム箔２１、あるいは表面
が平滑であるアルミニウム箔２１のいずれにも適用でき
るものである。
【００４５】なお、上記実施例においてはアルミニウム
箔２１の化成を行う場合、１ピッチ槽に電極板有効部１
箇所ついて示したが、窓部を複数箇所設けてもよい。す
なわち、窓部は水平方向のスリットとして複数個設けて
も良い。この場合、スリット幅は１０ｍｍ以上が好まし
い。また、多ピッチ槽である場合、それぞれのピッチの
どこに用いてもよいものである。なお給電ローラ２５に
より給電を行うようにしていたが、給電ローラ２２を用
いずに給電槽５０内でアルミニウム箔に給電を行うよう
にしてもよい。なお、上記実施例においてはアルミニウ
ム箔への給電槽５０の電流密度制御についても同じ効果
がある。
箔２１の化成を行う場合、１ピッチ槽に電極板有効部１
箇所ついて示したが、窓部を複数箇所設けてもよい。す
なわち、窓部は水平方向のスリットとして複数個設けて
も良い。この場合、スリット幅は１０ｍｍ以上が好まし
い。また、多ピッチ槽である場合、それぞれのピッチの
どこに用いてもよいものである。なお給電ローラ２５に
より給電を行うようにしていたが、給電ローラ２２を用
いずに給電槽５０内でアルミニウム箔に給電を行うよう
にしてもよい。なお、上記実施例においてはアルミニウ
ム箔への給電槽５０の電流密度制御についても同じ効果
がある。
【００４６】図１７は、給電槽の構成を示したもので、
５０は給電槽、５１は直流電源、５２は電極板、５３は
アルミニウム箔、５４は給電液、５５は槽内ローラ、５
６は走行ローラである。そして、直流電源５１の陽極は
給電槽５０中に配置された電極板５２に接続され、かつ
直流電源５１の陰極は図１に示す化成槽２０中の電極板
２３（Ｚ）に接続されている。直流電源５１からの電流
は電極板５２から給電液５４を経てアルミニウム箔５３
に供給される。図１７の給電槽５０を用いて電極板有効
部位置２７、有効部長２８及び邪魔板３３により電流密
度分布がどのように変化するか、アルミニウム箔５３と
電極板５２との間に直流電流を流し、給電液５４面Ｄか
ら槽内ローラ５５、及び液面Ｃ方向に“液面からの距
離”（図１８）として電流密度の測定を行った。化成槽
２０と電流の流れは逆になるが、“液面からの距離”と
電流密度関係は、化成槽２０と同じになった。図１８か
ら、液面から下２００〜５００ｍｍの範囲に開口部があ
れば好ましい給電が可能なことが確認できた。また、化
成と同じ手段を給電槽５０用いた場合においても同様の
効果が得られる。また、液抵抗により給電槽５０も電流
密度分布のコントロールが可能である。
５０は給電槽、５１は直流電源、５２は電極板、５３は
アルミニウム箔、５４は給電液、５５は槽内ローラ、５
６は走行ローラである。そして、直流電源５１の陽極は
給電槽５０中に配置された電極板５２に接続され、かつ
直流電源５１の陰極は図１に示す化成槽２０中の電極板
２３（Ｚ）に接続されている。直流電源５１からの電流
は電極板５２から給電液５４を経てアルミニウム箔５３
に供給される。図１７の給電槽５０を用いて電極板有効
部位置２７、有効部長２８及び邪魔板３３により電流密
度分布がどのように変化するか、アルミニウム箔５３と
電極板５２との間に直流電流を流し、給電液５４面Ｄか
ら槽内ローラ５５、及び液面Ｃ方向に“液面からの距
離”（図１８）として電流密度の測定を行った。化成槽
２０と電流の流れは逆になるが、“液面からの距離”と
電流密度関係は、化成槽２０と同じになった。図１８か
ら、液面から下２００〜５００ｍｍの範囲に開口部があ
れば好ましい給電が可能なことが確認できた。また、化
成と同じ手段を給電槽５０用いた場合においても同様の
効果が得られる。また、液抵抗により給電槽５０も電流
密度分布のコントロールが可能である。
【００４７】上記実施例の説明から明らかなように、本
発明のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置
は、陰極となる少なくとも２枚の電極板を電解液の入っ
た電解槽に配設し、アルミニウム箔を陽極としてこのア
ルミニウム箔と電極板との間に直流電流を流し、複数の
ローラーを介してアルミニウム箔の方向を変え電極板の
間を走行させ連続化成を行うに際し、化成電流密度の最
大値が電解液面でなく電解液中になるように電極板有効
部長さと電極板有効部位置により調整した電極板構造を
有している。これにより、大きな突入電流が流れるない
のでアルミニウム箔表面の微細な凹凸部が表面溶解を受
けることも、水酸化アルミニウムが形成されるというこ
ともほとんどなくなり、その結果、高い静電容量が得ら
れるとともに、漏れ電流の小さいアルミニウム電解コン
デンサ用電極箔を得ることができる。
発明のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置
は、陰極となる少なくとも２枚の電極板を電解液の入っ
た電解槽に配設し、アルミニウム箔を陽極としてこのア
ルミニウム箔と電極板との間に直流電流を流し、複数の
ローラーを介してアルミニウム箔の方向を変え電極板の
間を走行させ連続化成を行うに際し、化成電流密度の最
大値が電解液面でなく電解液中になるように電極板有効
部長さと電極板有効部位置により調整した電極板構造を
有している。これにより、大きな突入電流が流れるない
のでアルミニウム箔表面の微細な凹凸部が表面溶解を受
けることも、水酸化アルミニウムが形成されるというこ
ともほとんどなくなり、その結果、高い静電容量が得ら
れるとともに、漏れ電流の小さいアルミニウム電解コン
デンサ用電極箔を得ることができる。
【００４８】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明のアルミニウ
ム電解コンデンサ用電極箔の製造装置によれば、電解液
の入った電解槽内でアルミニウム箔を陽極とし、陰極と
なる電極板との間に直流電流を流して前記アルミニウム
箔の連続化成を行う装置であって、化成電流密度の最大
値を電解液表面ではなく電解液中に存在させる手段を備
えたことにより、高い静電容量が得られ、しかも漏れ電
流の小さな電極箔を製造することができる。
ム電解コンデンサ用電極箔の製造装置によれば、電解液
の入った電解槽内でアルミニウム箔を陽極とし、陰極と
なる電極板との間に直流電流を流して前記アルミニウム
箔の連続化成を行う装置であって、化成電流密度の最大
値を電解液表面ではなく電解液中に存在させる手段を備
えたことにより、高い静電容量が得られ、しかも漏れ電
流の小さな電極箔を製造することができる。
【００４９】また本発明のアルミニウム電解コンデンサ
用電極箔の製造方法によれば、効率良く合理的に電解コ
ンデンサ用電極箔を製造できる。
用電極箔の製造方法によれば、効率良く合理的に電解コ
ンデンサ用電極箔を製造できる。
【図１】 本発明の一実施例におけるアルミニウム電解
コンデンサ用電極箔の製造方法に用いられる化成槽を示
す構造図である。
コンデンサ用電極箔の製造方法に用いられる化成槽を示
す構造図である。
【図２】 同化成槽のアルミニウム箔の電流密度の測定
位置を示した図である。
位置を示した図である。
【図３】 同電極板有効部長が５００ｍｍ、４００ｍ
ｍ、３３０ｍｍ、２５０ｍｍ、５０ｍｍの電極板図であ
る。
ｍ、３３０ｍｍ、２５０ｍｍ、５０ｍｍの電極板図であ
る。
【図４】 図３の電極板で化成を行った時の電流密度分
布図である。
布図である。
【図５】 本発明の一実施例の電極板有効部長５０ｍｍ
で電極板有効部位置を電解液面より０ｍｍ、１２５ｍ
ｍ、２５０ｍｍ、３７５ｍｍ、４５００ｍｍの電極板図
である。
で電極板有効部位置を電解液面より０ｍｍ、１２５ｍ
ｍ、２５０ｍｍ、３７５ｍｍ、４５００ｍｍの電極板図
である。
【図６】 図５の電極板で化成を行った時の電流密度分
布図である。
布図である。
【図７】 本発明の一実施例の電極板有効部長さと位置
を可変可能にした構成図である。
を可変可能にした構成図である。
【図８】 同電極板有効部長さと位置を可変可能にした
構成図である。
構成図である。
【図９】 同電極板有効部長が２５ｍｍで電極板有効部
位置が液面より３７５ｍｍ下で邪魔板長１５０ｍｍの化
成槽の構造図である。
位置が液面より３７５ｍｍ下で邪魔板長１５０ｍｍの化
成槽の構造図である。
【図１０】 図７で邪魔板長を０ｍｍ、５０ｍｍ、１０
０ｍｍ、１５０ｍｍで化成を行ったときの電流密度分布
図である。
０ｍｍ、１５０ｍｍで化成を行ったときの電流密度分布
図である。
【図１１】 同邪魔板長とピーク電流密度の関係図であ
る。
る。
【図１２】 本発明の一実施例の電極板有効部長が２５
ｍｍで電極板有効部位置が液面より３７５ｍｍ下で邪魔
板長を５０ｍｍでＢ側の液面付近の電極板有効部有の化
成槽の構造図である。
ｍｍで電極板有効部位置が液面より３７５ｍｍ下で邪魔
板長を５０ｍｍでＢ側の液面付近の電極板有効部有の化
成槽の構造図である。
【図１３】 本発明の一実施例のアルミニウム箔と電極
板の間に絶縁物の邪魔板を用いた化成槽の図１を電流防
御壁によりＡ側とＢ側を分離した化成槽の構造図であ
る。
板の間に絶縁物の邪魔板を用いた化成槽の図１を電流防
御壁によりＡ側とＢ側を分離した化成槽の構造図であ
る。
【図１４】 図１０の電極板で化成を行った時の電流密
度分布図である。
度分布図である。
【図１５】 本発明の一実施例のアルミニウム電解コン
デンサ用電極箔の製造方法における化成時の電流密度と
電解液の電導度との関係を示す特性図である。
デンサ用電極箔の製造方法における化成時の電流密度と
電解液の電導度との関係を示す特性図である。
【図１６】 本発明の一実施例と従来例のアルミニウム
電解コンデンサの漏れ電流の比較を示す図である。
電解コンデンサの漏れ電流の比較を示す図である。
【図１７】 本発明の一実施例の給電槽の構造図であ
る。
る。
【図１８】 同給電槽のアルミニウム箔の電流密度の測
定位置を示した図である。
定位置を示した図である。
【図１９】 従来の化成槽構造図である。
【図２０】 従来の給電槽の構造図である。
【図２１】 本発明の一実施例の作用を説明する図であ
る。
る。
１ 給電ローラ ２，１０ 直流電源 ３ 化成槽 ４ 電極板 ５ 基板のアルミニウム箔 ６ 電解液 ７ 槽内ローラ ８ 化成処理されたアルミニウム箔 ９，１６，３０，５６ 走行ローラ １１ 給電槽 １２ 電極板 １３ アルミニウム箔 １４ 給電液 １５ 槽内ローラ ２０ 化成槽 ２１ アルミニウム箔 ２２ 給電ローラ ２３ 化成槽の電極板 ２３Ａ 上側絶縁シート ２３Ｂ 下側絶縁シート ２４ 電解液 ２５ 化成槽の槽内ローラ ２６ 化成槽の槽内ローラ上部 ２７ 電極板有効部 ２７Ａ 電極板の開口部 ２８ 電極板有効部長 ２９ 電極板有効部位置 ３２ 電極板上絶縁物 ３２Ａ 絶縁シート ３２Ｂ 絶縁シート ３３ 邪魔板 ３４ 邪魔板の長さ ３５ 電流防御壁 ５１ 給電槽 ５２ 給電槽の電極板 ５３ アルミニウム箔 ５４ 給電液 ５５ 給電槽の槽内ローラ ６１Ａ，６１Ｂ 取り付けボルトとナット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 大介 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 岡林 正則 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 壁谷 進自 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−126216（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−81708（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−97831（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭39−4211（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭47−38572（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01G 4/00 - 4/10 H01G 4/14 - 4/42 H01G 9/02 H01G 13/00 - 13/06
Claims (11)
- 【請求項１】 電解液の入った電解槽と、前記電解槽内
に設けた少なくとも２枚の陰極となる電極板と、アルミ
ニウム箔を前記電極板の間に送る複数のローラとを有
し、前記電解槽内でアルミニウム箔を陽極とし、前記電
極板との間に直流電流を流して前記アルミニウム箔の連
続化成を行う装置であって、 前記電極板の表面を少なくとも一部が前記電解液に露出
する窓部を設けて電気絶縁性物質にて覆い、 前記窓部は、前記電解槽の表面から深さ方向に１２５ｍ
ｍ以上の位置に存在し、前記アルミニウム箔に対向する
ように成し、電流密度の最大値を前記電解液の表面では
なく前記窓部と前記アルミニウム箔との間に存在させる
ことを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ用電極箔
の製造装置。 - 【請求項２】 前記窓部の開口面積及び／または開口位
置を調整可能とした請求項１に記載のアルミニウム電解
コンデンサ用電極箔の製造装置。 - 【請求項３】 前記窓部の長さは前記電解液の表面から
槽内ローラ上部までの長さの２／３以下である請求項１
に記載のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装
置。 - 【請求項４】 前記窓部とアルミニウム箔との間に電気
絶縁物である邪魔板を配置した請求項１に記載のアルミ
ニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置。 - 【請求項５】 電解液の伝導度Ｅが、１ｍＳ／ｃｍ＜Ｅ
＜５００ｍＳ／ｃｍの範囲である請求項１に記載のアル
ミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置。 - 【請求項６】 電解液の入った電解槽と、前記電解槽内
に設けた少なくとも２枚の陽極となる電極板と、アルミ
ニウム箔を前記電極板の間に送る複数のローラとを有
し、前記電解槽内でアルミニウム箔を陰極とし、前記電
極板との間に直流電流を流して前記アルミニウム箔に連
続給電を行う装置であって、 前記電極板の表面を少なくとも一部が前記電解液に露出
する窓部を設けて電気絶縁性物質にて覆い、 前記窓部は、前記電解槽の表面から深さ方向に１２５ｍ
ｍ以上の位置に存在し、前記アルミニウム箔に対向する
ように成し、電流密度の最大値を前記電解液の表面では
なく前記窓部と前記アルミニウム箔との間に存在させる
ことを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ用電極箔
の製造装置。 - 【請求項７】 前記窓部の開口面積及び／又は開口位置
を調整可能とした請求項６に記載のアルミニウム電解コ
ンデンサ電極箔の製造装置。 - 【請求項８】 前記窓部の長さは、前記電解液の表面か
ら槽内ローラ上部までの長さの２／３以下である請求項
６に記載のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造
装置。 - 【請求項９】 前記窓部とアルミニウム箔との間に電気
絶縁物である邪魔板を配置した請求項６に記載のアルミ
ニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置。 - 【請求項１０】 電解液の入った電解槽内に少なくとも
２枚の陰極となる電極板を設け複数のローラによりアル
ミニウム箔を前記電極板の間に送りかつ前記アルミニウ
ム箔の進行方向を変え前記電解槽内でアルミニウム箔を
陽極とし前記陰極となる電極板との間に直流電流を流し
て前記アルミニウム箔の連続化成を行う方法であって、 前記電極板の表面を少なくとも一部が前記電解液に露出
する窓部を設けて電気絶縁性物質にて覆い、前記窓部は
前記電解槽の表面から深さ方向に１２５ｍｍ以上の位置
に存在させ、 電流密度の最大値を前記電解液の表面ではなく前記窓部
とアルミニウム箔の間の電解液中に存在させながら化成
することを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ用電
極箔の製造方法。 - 【請求項１１】 前記窓部の開口面積及び／又は開口位
置を調整可能とすることを特徴とする請求項１０に記載
のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12018895A JP3340588B2 (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法 |
| US08/647,695 US6099709A (en) | 1995-05-18 | 1996-05-15 | Method of producing an electrode foil for use in aluminum electrolytic capacitors |
| US08/760,722 US6113755A (en) | 1995-05-18 | 1996-12-05 | Apparatus for producing an electrode foil for use in aluminum electrolytic capacitors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12018895A JP3340588B2 (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08316111A JPH08316111A (ja) | 1996-11-29 |
| JP3340588B2 true JP3340588B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=14780095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12018895A Expired - Lifetime JP3340588B2 (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6099709A (ja) |
| JP (1) | JP3340588B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004093206A1 (ja) * | 1996-12-06 | 2004-10-28 | Takashi Inoue | 2端子型非線形素子の製造のための非水系電解液、2端子型非線形素子の製造方法、2端子型非線形素子および液晶表示パネル |
| DE60035916T2 (de) * | 1999-02-17 | 2007-12-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Herstellungsverfahren und Vorrichtung zur Herstellung von einem Festelektrolytkondensator |
| US20060201359A1 (en) * | 2005-03-14 | 2006-09-14 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Anodization process of long-length aluminum plate, anodization apparatus and aluminum support for planographic printing plate material |
| US20070221507A1 (en) * | 2006-02-23 | 2007-09-27 | Greatbatch Ltd. | Anodizing Electrolytes Using A Dual Acid System For High Voltage Electrolytic Capacitor Anodes |
| CN101454486B (zh) * | 2006-04-04 | 2013-03-13 | 索罗能源公司 | 用于卷绕处理光电薄膜的组分控制 |
| US20070227633A1 (en) * | 2006-04-04 | 2007-10-04 | Basol Bulent M | Composition control for roll-to-roll processed photovoltaic films |
| JP4750007B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2011-08-17 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法 |
| WO2008078777A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Jm Energy Corporation | 塗布電極及び有機電解質キャパシタ |
| JP5218505B2 (ja) * | 2010-09-15 | 2013-06-26 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 鋼板の連続電解処理装置およびそれを用いた表面処理鋼板の製造方法 |
| AT514447B1 (de) * | 2013-06-28 | 2015-10-15 | Pramer Gerhard Dipl Ing Fh | Verfahren zur elektrochemischen Herstellung spektral selektiver Absorberschichten auf einem Aluminiumsubstrat |
| CN104562168B (zh) * | 2015-01-07 | 2017-02-22 | 中冶南方工程技术有限公司 | 电镀槽阳极板位置调整装置 |
| KR101690172B1 (ko) * | 2016-06-10 | 2016-12-27 | 주식회사 티티엠 | Fe Flash 도금 또는 Fe 도금을 위한 가용성 전극을 갖는 수직형 도금조 구조 |
| JP7057176B2 (ja) * | 2018-03-16 | 2022-04-19 | 日本軽金属株式会社 | アルミニウム電解コンデンサ用電極の製造方法 |
| CN112853457B (zh) * | 2021-01-22 | 2024-05-14 | 广西贺州市桂东电子科技有限责任公司 | 一种高压铝电解电子铝箔的腐蚀发孔装置 |
| CN117187930B (zh) * | 2023-09-06 | 2024-04-16 | 惠州市冠业新材料科技有限公司 | 一种用于超级电容器集流体铝箔腐蚀的电解槽 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2538317A (en) * | 1945-12-28 | 1951-01-16 | Reynolds Metals Co | Treatment of aluminum sheets |
| US3079308A (en) * | 1958-10-07 | 1963-02-26 | Reynolds Metals Co | Process of anodizing |
| US3471389A (en) * | 1966-08-26 | 1969-10-07 | Du Pont | Electrocoating process wherein the initial amperage surge is controlled |
| US3827951A (en) * | 1969-12-10 | 1974-08-06 | Mallory & Co Inc P R | Continuous forming of anodes for capacitors |
| US3865700A (en) * | 1973-05-18 | 1975-02-11 | Fromson H A | Process and apparatus for continuously anodizing aluminum |
| US4077864A (en) * | 1973-09-10 | 1978-03-07 | General Dynamics | Electroforming anode shields |
| JPS5432426B2 (ja) * | 1974-06-08 | 1979-10-15 | ||
| US4323433A (en) * | 1980-09-22 | 1982-04-06 | The Boeing Company | Anodizing process employing adjustable shield for suspended cathode |
| JPS58171597A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-08 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | アルミニウムストリツプの電解処理方法 |
| JPH0474406A (ja) * | 1990-07-16 | 1992-03-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
-
1995
- 1995-05-18 JP JP12018895A patent/JP3340588B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-05-15 US US08/647,695 patent/US6099709A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-05 US US08/760,722 patent/US6113755A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6099709A (en) | 2000-08-08 |
| US6113755A (en) | 2000-09-05 |
| JPH08316111A (ja) | 1996-11-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3340588B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造装置及びその製造方法 | |
| US4574037A (en) | Vertical type electrolytic cell and electrolytic process using the same | |
| CN1061055A (zh) | 对金属箔进行表面处理的方法和装置 | |
| CN1041850C (zh) | 电极、其制造方法及电极的用途 | |
| US4214961A (en) | Method and apparatus for continuous electrochemical treatment of a metal web | |
| US9368284B2 (en) | Anode electrode for aluminum electrolytic capacitor and respective production method | |
| US4502933A (en) | Apparatus for electrolytic treatment to metal web | |
| US3640854A (en) | Continuous forming of metal oxides | |
| JPH0334645B2 (ja) | ||
| KR910003643B1 (ko) | 전해조 장치 | |
| EP1233432B1 (en) | Electrode foil for aluminum electrolytic capacitor and method of manufacturing the same | |
| US3563863A (en) | Method of anodizing sintered tantalum powder anodes | |
| US5087344A (en) | Electrolysis cell for gas-evolving electrolytic processes | |
| US3374159A (en) | Marking of steel strip electrolytically using electrolyte adhering to the strip | |
| US5120404A (en) | Method of producing an electrode foil for use in aluminum electrolytic capacitors | |
| US4396469A (en) | Process and apparatus for continuously coating a solid electrolyte with a catalytically active metal | |
| JP3729013B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JP4423813B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の化成方法 | |
| US4536264A (en) | Method for electrolytic treatment | |
| EP0077982A1 (en) | An electrolysis process and electrolytic cell | |
| KR890000435B1 (ko) | 알루미늄박막의 액중급전방법 | |
| US5213666A (en) | Method of preparing support for printing plate | |
| CN214458423U (zh) | 一种高压铝箔生产用电解腐蚀装置 | |
| JPH05148687A (ja) | 金属箔連続電解製造装置 | |
| JP3855336B2 (ja) | 連続電解エッチング装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070816 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120816 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130816 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |