CN116457113A - 除尘装置 - Google Patents

Abstract

提供使用方便性良好的除尘装置。该除尘装置具备与相对移动的除尘对象物(100)的表面对置并且沿除尘对象物(100)的相对移动的方向以规定的间隔排列的喷出口(30a(30))和抽吸口(21a、21b、22a、22b)，该除尘装置从喷出口(30)对除尘对象物(100)的表面喷出气体，并且通过抽吸口(21a、21b、22a、22b)抽吸除尘对象物(100)的表面上的气体，其中，该除尘装置构成为具有从与除尘对象物(100)对置的开口(33)到喷出口(30a)逐渐扩大的形状的气体喷出路(32b)。

Description

除尘装置

技术领域

本发明涉及对相对移动的除尘对象物的表面喷出气体，并且抽吸该除尘对象物的表面上的气体，由此去除所述除尘对象物表面的尘埃的除尘装置。

背景技术

以往，已知专利文献1所记载的除尘装置。该除尘装置与片状物(除尘对象物)抵接于引导辊(支承部)的部分对置地配置，该片状物卷绕于所述引导辊，并通过该引导辊的旋转被输送。沿与片状物的输送方向(相对移动方向)垂直的方向(片状物的宽度方向)延伸的缝状的喷出口和抽吸口(吸气箱的开口部)以规定的间隔按照所述喷出口位于比所述抽吸口靠输送方向的上游侧的位置的方式形成于该除尘装置。而且，在片状物被输送的过程中，所述除尘装置从所述喷出口对片状物的表面喷出空气，并且通过所述抽吸口抽吸所述片状物的表面上的空气。附着于片状物的表面的尘埃利用从喷出口喷出的空气而离开该表面并飘浮，该飘浮的尘埃与空气一起从抽吸口被抽吸。由此，附着于片状物的表面的尘埃被去除(除尘)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-138136号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在上述那样的除尘装置中，如图1所示，由于从喷出口O(开口)喷出的空气的高速的流动(参照图1的粗箭头线)，沿着该流动的区域的静压降低，从而可能产生负压BA(伯努利效应)。这样在沿着喷出的空气的流动的区域产生负压BA时，分别在所输送的片状物100进入与该喷出口O对置的区域时以及输送的片状物100从喷出口O退出时，片状物100的输送姿势可能因该负压BA而混乱。这样片状物100的输送姿势混乱时，由于通过抽吸口的空气的抽吸，可能导致片状物100被引入抽吸口，或进一步助长姿势的混乱。这样的现象不限于除尘的对象物为片状的物体的情况，即使是板状的物体，也同样可能由于伯努利效应导致的负压BA而产生这样的现象。

因此，在进行随着引导辊的旋转而被输送的片状物的除尘的情况下，如专利文献1中也记载的那样，这种除尘装置与以某种张力卷绕于引导辊的部分对置地配置。而且，在对玻璃基板、半导体基板等板状的物体的表面进行除尘的情况下，使该除尘装置以与吸附固定于吸附工作台上的板状的物体的表面对置的状态移动，并且利用空气的喷出和抽吸，进行该板状的物体的表面的除尘。而且，在用辊式输送机输送板状的物体的情况下，即使是进行单面的除尘，也使成为该除尘的对象的板状的物体在对置地配置两个除尘装置之间移动。由此，从对置的除尘装置喷出的空气的影响抵消，从而维持输送的板状的物体的稳定的姿势。

这样，在以往的除尘装置中，针对除尘对象的物体的配置自由度较小，而且，为了除尘对象的物体的姿势稳定，需要特别的机构(例如，吸附工作台、附加的除尘装置)，从而其使用方便性未必良好。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，提供使用方便性良好的除尘装置。

用于解决课题的手段

(应用通常喷出口)

本发明的除尘装置具备与相对移动的除尘对象物的表面对置并且沿该除尘对象物的相对移动的方向以规定的间隔排列的喷出口和抽吸口，该除尘装置从所述喷出口对所述除尘对象物的表面喷出气体并且通过所述抽吸口抽吸所述除尘对象物的表面上的气体，其中，该除尘装置构成为具有从与所述除尘对象物对置的开口到所述喷出口逐渐扩大的形状的气体喷出路。

根据这样的结构，在除尘对象物相对移动时，气体从开口通过逐渐扩大的气体喷出路并从喷出口朝向除尘对象物的表面喷出。从所述开口沿着气体喷出路的内周壁并从喷出口的周缘部分喷出的气体的喷出压力小于不沿着所述气体喷出路的内壁而从喷出口的与所述开口对置的部分直接喷出的气体的喷出压力。由此，能够将从喷出口的与所述开口对置的部分喷出的气体的喷出压力维持在期望的压力，并且能够降低从喷出口的周缘部分喷出的气体的喷出压力。通过从喷出口的周缘部分喷出的气体的喷出压力降低，难以在该喷出口的周缘部分的对置区域产生由伯努利效应导致的负压状态。由此，被吹送有从喷出口喷出的气体的除尘对象物难以受到由伯努利效应导致的负压状态的影响，从而被吹送有该气体的除尘对象物能够稳定地相对移动。从喷出口喷出的气体被吹向该稳定地相对移动的除尘对象物的表面，并且除尘对象物的表面上的气体通过抽吸口被抽吸，从而该除尘对象物的表面的尘埃被去除(除尘)。

在本发明的除尘装置中，能够构成为，所述气体喷出口的与所述除尘对象物的表面垂直的截面具有呈圆弧状逐渐扩大的形状。

根据这样的结构，气体从开口沿着气体喷出路的截面圆弧状的逐渐扩大的内周壁从喷出口喷出，并且从所述喷出口的与所述开口对置的部分直接喷出。由此，如前所述，能够将从所述喷出口的与所述开口对置的部分喷出的气体的喷出压力维持在期望的压力，并且能够降低从所述喷出口的周缘部分喷出的气体的喷出压力。

(多个缝类型)

另外，本发明的除尘装置构成为具备与相对移动的除尘对象物的表面对置并且沿该除尘对象物的相对移动的方向以规定的间隔排列并延伸的喷出口和抽吸口，该除尘装置从所述喷出口对所述除尘对象物的表面喷出气体，并且通过所述抽吸口抽吸所述除尘对象物的表面上的气体，其中，所述喷出口包含沿横穿所述除尘对象物的相对移动的方向的方向排列并且分别沿横穿该排列方向的方向延伸的多个缝，该除尘装置还具有分别相对于所述多个缝设置并且从与所述除尘对象物对置的开口延伸至缝的气体喷出路，所述气体喷出路的与所述缝垂直的截面具有从所述开口到所述缝逐渐扩大的形状。

根据这样的结构，在除尘对象物相对移动时，气体分别从开口通过逐渐扩大的气体喷出路并从多个缝喷出。从所述开口沿着气体喷出路的内周壁并从缝的所述除尘对象物的相对移动方向的两端部喷出的气体的喷出压力小于不沿着所述气体喷出路的内周壁而从缝与所述开口对置的部分直接喷出的气体的喷出压力。由此，能够将从各缝与所述开口对置的部分喷出的气体的喷出压力维持在期望的压力，并且能够降低从各缝的两端部喷出的气体的喷出压力。通过从各缝的两端部喷出的气体的喷出压力降低，难以在各缝的两端部的对置区域产生由伯努利效应导致的负压状态。由此，被吹送有分别从构成喷出口的多个缝喷出的气体的除尘对象物难以受到由伯努利效应导致的负压状态的影响，从而被吹送有该气体的除尘对象物能够稳定地相对移动。从所述多个缝(喷出口)喷出的气体被吹向该稳定地相对移动的除尘对象物的表面，并且除尘对象物的表面上的气体通过抽吸口被抽吸，从而该除尘对象物的表面的尘埃被去除(除尘)。

在本发明的除尘装置中，能够构成为，所述截面的形状为呈圆弧状逐渐扩大的形状。

根据这样的结构，气体从开口沿着气体喷出路的截面圆弧状的逐渐扩大的内周壁从各缝的两端部喷出，同时不沿着所述气体喷出路的内周壁而从各缝的与所述开口对置的部分直接喷出。由此，如前所述，能够将从各缝的与所述开口对置的部分喷出的气体的喷出压力维持在期望的压力，并且降低从各缝的两端部喷出的气体的喷出压力。

在本发明的除尘装置中，能够构成为，所述多个缝分别相对于所述除尘对象物的相对移动的方向斜向地倾斜形成。

根据这样的结构，能够在除尘对象物的相对移动中，从离散地排列的多个缝向该除尘对象物的表面的更大的区域吹送气体，而不是仅向多个条状的区域吹送气体。

在本发明的除尘装置中，能够构成为，所述多个缝平行地排列。

根据这样的结构，分别从平行地配置的多个缝喷出的气体向相对移动中的除尘对象物的表面吹送。

在本发明的除尘装置中，能够构成为，所述喷出口包含横穿所述多个缝并延伸的长度方向缝。

根据这样的结构，在相对移动的除尘对象物的表面上，能够以将从长度方向缝喷出的气体以及从与所述开口对置的部分喷出的气体的喷出压力维持在期望的压力并且降低从两端部喷出的气体的喷出压力的状态吹送分别从多个缝喷出的气体。这样，从长度方向缝喷出的气体与分别从多个缝喷出的气体相互作用，从而能够有效地从相对移动中的除尘对象物的表面去除尘埃。

在本发明的除尘装置中，能够构成为，所述多个缝分别与所述除尘对象物的相对移动的方向平行地延伸。

根据这样的结构，从长度方向缝喷出的气体以及从多个缝喷出的气体向相对移动中的除尘对象物的表面按照沿其相对移动的方向延伸的多个条状被吹送。

发明效果

根据本发明的除尘装置，难以因从喷出口高速地喷出的气体而产生由伯努利效应导致的负压状态，从而被吹送有从喷出口喷出的气体的除尘对象物能够稳定地相对移动。其结果，能够简化用于使承受从喷出口喷出的气体的除尘对象物稳定地相对移动的机构，从而使用方便性更加良好。

附图说明

图1是示出由于从喷出口喷出的空气(气体)而输送的片状物变得不稳定的原理的图。

图2是示出本发明实施方式的除尘装置的应用例的图。

图3是示出本发明的第1实施方式的除尘装置的主视图。

图4是示出本发明的第1实施方式的除尘装置的俯视图。

图5是示出本发明的第1实施方式的除尘装置的侧视图。

图6是示出本发明的第1实施方式的除尘装置的仰视图。

图7是示出除尘装置的沿图6的A-A线的截面的剖视图。

图8是将到达喷出口(缝)的气体喷出路放大并示出的剖视图。

图9是示出从喷出口(缝)喷出的空气的喷出压力的线状图。

图10是示出本发明的第2实施方式的除尘装置的仰视图。

图11是示出除尘装置的沿图10的A-A线的截面的剖视图。

图12是示出除尘装置的沿图10的B-B线的截面的剖视图。

图13是示出喷出口的变形例的图。

图14是示出本发明实施方式的除尘装置的其他应用例的图。

图15是示出本发明实施方式的除尘装置的另一个应用例的图。

具体实施方式

以下，使用附图对本发明实施方式进行说明。

本发明实施方式的除尘装置10例如应用于进行片状物100的除尘的系统。在该系统中，如图2所示，作为从送出辊51送出的除尘对象物的片状物100经由张力辊52、53向卷绕辊54延伸。通过卷绕辊54与送出辊51的同步的旋转，片状物100承受某种张力(tension)，并从送出辊51朝向卷绕辊54(输送方向Dcv)被输送。除尘装置10能够以与片状物100中的卷绕于张力辊52的部分对置的方式配置。而且，除尘装置10在背后不存在辊等支承部，例如，也能够以与片状物100的送出辊51与张力辊52之间的部分对置的方式配置。

在进行片状物100的除尘的系统中如上述那样配置的(参照图2)本发明的第1实施方式的除尘装置10例如如图3～图6所示那样构成。另外，图3是示出除尘装置的主视图，图4是示出除尘装置的俯视图，图5是示出除尘装置的侧视图，图6是示出除尘装置的仰视图。

在图2以及图3至图5中，该除尘装置10具备沿与片状物100的输送方向Dcv(相对移动方向)垂直的方向(与图2中的纸面垂直的方向)延伸的长条块状的除尘头11以及沿着除尘头11的上表面延伸的排气管道单元13。排气管道单元13的底部开口，其开口缘部分形成有凸缘13a(参照图3、图4以及后述的图7)。排气管道单元13的凸缘13a通过多个螺栓固定于除尘头11的上表面，由此除尘单元11与排气管道单元13成为一体，从而在排气管道单元13的内部形成有作为排气路径的空间。排气管道单元13的侧面设置有排气端口14。排气端口14与抽吸机构(例如，真空泵：省略图示)连接，利用该抽吸机构的动作，通过排气管道单元13的排气路径的空气(气体)通过排气端口14向外部被排出。

除尘头11的侧面设置有供气端口12。供气端口12与供给加压空气的供气机构(例如，加压泵：省略图示)连接，利用该供气机构的动作，加压空气通过供气端口12被引入除尘头11(后述的空气喷射室15)内。除尘头11成为头块11a与抽吸调整板11b重叠的结构(参照图3和后述的图7)。

如图6所示，沿着前侧缘(片状物100的输送方向Dcv的上游侧的缘)延伸的细长矩形状的前侧第1抽吸口21a和前侧第2抽吸口21b以排列的方式形成于除尘头11(头块11a)的与片状物100对置的面(底面)。而且，沿着后侧缘(片状物100的输送方向Dcv的下游侧的缘)延伸的细长矩形状的后侧第1抽吸口22a和后侧第2抽吸口22b以排列的方式形成于该面。进而，由多个缝30a构成的喷出口30以被并列排列的两个前侧抽吸口21a、21b和并列排列的两个后侧抽吸口22a、22b夹着的方式形成于除尘头11(头块11a)的与片状物100对置的面(底面)。

构成喷出口30的多个缝30a沿除尘头11(头块11a)的长度方向(横穿(例如，垂直于)片状物100的输送方向Dcv的方向)排列。而且，多个缝30a分别沿横穿其排列方向的方向(横穿片状物100的宽度方向即除尘头11长度方向的方向)延伸，并相对于片状物100的输送方向Dcv斜向地倾斜。

如图7(示出沿图6的A-A线的截面的剖视图)所示，在头块11a中，分别作为在与抽吸调整板11b的接合面开口的空间，形成有空气喷射室15、前侧空气抽吸室16a和后侧空气抽吸室16b。空气喷射室15在头块11a的宽度方向的中央部沿长度方向(与图7中的纸面垂直的方向)延伸。前侧空气抽吸室16a沿着头块11a的前侧缘(与片状物100的输送方向Dcv的上游侧对应)形成，后侧空气抽吸室16b沿着头块11a的后侧缘(与片状物100的输送方向Dcv的下游侧对应)形成。

另外，前侧抽吸调整孔17a和后侧抽吸调整孔17b分别以贯通的方式形成于抽吸调整板11b。前侧抽吸调整孔17a沿着抽吸调整板11b的前侧缘(片状物100的输送方向Dcv的上游侧的缘)形成，后侧抽吸调整孔17b沿着抽吸调整板11b的后侧缘(片状物100的输送方向Dcv的下游侧的缘)形成。头块11a和抽吸调整板11b以重叠的状态与前述排气管道单元13(凸缘13a)一起通过多个螺栓固定。在这样头块11a与抽吸调整板11b重叠的状态下，头块11a的空气喷射室15被抽吸调整板11b封闭。而且，在头块11a与抽吸调整板11b重叠的状态下，头块11a的前侧空气抽吸室16a和后侧空气抽吸室16b分别与抽吸调整板11b的前侧抽吸调整孔17a和后侧抽吸调整孔17b对置。

形成于头块11a的底面的前侧第1抽吸口21a(前侧第2抽吸口21b也相同)通过前侧空气抽吸室16a和形成于抽吸调整板11b的前侧抽吸调整孔17a与排气管道单元13内的空间(排气路径)连通。形成于头块11a的底面的后侧第1抽吸口22a(后侧第2抽吸口22b也相同)通过后侧空气抽吸室16b和形成于抽吸调整板11b的后侧抽吸调整孔17b与排气管道单元13内的空间(排气路径)连通。由此，伴随着通过排气管道单元13的排气路径(空间)的空气通过排气端口14向外部被排出，空气通过与排气管道单元13内的空间连通的前侧第1抽吸口21a(前侧第2抽吸口21b也相同)和后侧第1抽吸口22a(后侧第2抽吸口22b也相同)被抽吸。

构成形成于头块11a的底面的喷出口30的多个缝30a分别与在空气喷射室15的底部以沿头块11a的长度方向(与图7中的纸面垂直的方向)延伸的方式形成的槽31连通，从而从供气端口12导入空气喷射室15的加压空气分别从多个缝30a喷出。详细而言，如图8所示，从槽31延伸的连结路32a通过开口33与到达缝30a的气体喷出路32b连接。气体喷出路32b的与缝30a垂直的截面(图8所示的沿图6的A-A线的截面)成为从开口33到缝30a逐渐扩大的形状，具体而言，成为呈圆弧状逐渐扩大的形状。

对上述那样的结构的除尘装置10的动作进行说明。

片状物100通过送出辊51和卷绕辊54的同步旋转而承受某种张力(tension)并且从送出辊51朝向卷绕辊54(输送方向Dcv)被输送(参照图2)。在该过程中，例如，配置于送出辊51与张力辊52之间的除尘装置10如下那样去除片状物100表面的尘埃。

在片状物100移动的过程中，从除尘装置10的构成喷出口30的多个缝30a喷出的空气被向片状物100的表面吹送，并且片状物100表面上的空气分别通过前侧第1抽吸口21a、前侧第2抽吸口21b、后侧第1抽吸口22a以及后侧第2抽吸口22b被抽吸。因从多个缝30a(喷出口30)喷出的空气而从片状物100的表面上浮起来的尘埃通过前侧第1抽吸口21a、前侧第2抽吸口21b、后侧第1抽吸口22a以及后侧第2抽吸口22b与空气一起被抽吸。由此，片状物100的表面被除尘。

在这里，着眼于通过气体喷出路32b并分别从构成喷出口30的多个缝30a喷出的空气。

如图8所示，从空气喷射室15通过槽31和连结部32a的高压空气从开口33通过逐渐扩大的气体喷出路32b并从缝30a喷出。从缝30a喷出的空气的喷出压力如图9所示那样分布。即，从开口33沿着气体喷出路32b的内周壁分别从缝30a的上游侧端部和下游侧端部喷出的空气的喷出压力Pe1、Pe2小于不沿着气体喷出路32b的内周壁而从缝30b的与开口33对置的部分直接喷出的空气的喷出压力Pc。

由此，能够将从各缝30a的与开口33对置的部分喷出的空气的喷出压力维持在期望的压力，并且降低从各缝30a的两端部喷出的空气的喷出压力Pe1、Pe2。通过从各缝30a的两端部喷出的空气的喷出压力降低，难以在各缝30a的两端部的对置区域Eb1、Eb2(参照图8)产生由伯努利效应导致的负压状态。由此，被吹送有分别从构成喷出口30的多个缝30a喷出的空气的片状物100难以受到由伯努利效应导致的负压状态的影响，从而被吹送有该空气的片状物100能够稳定地移动(能够被输送)。而且，向该稳定地输送的片状物100的表面如前所述那样吹送从多个缝30a喷出的空气，并且片状物100的表面上的空气通过前侧第1抽吸口21a、前侧第2抽吸口21b、后侧第1抽吸口22a和后侧第2抽吸口22b被抽吸，从而该片状物100的表面的尘埃被去除(除尘)。

根据上述那样的除尘装置10，难以因从喷出口30(多个缝30a的每一个缝30a)高速地喷出的空气而产生由伯努利效应导致的负压状态，从而能够在被吹送从多个缝30a(喷出口30)喷出的空气的情况下稳定地输送片状物100。其结果，即使将除尘装置10配置为背后不存在辊等(例如，图2的张力辊52)支承部的、与片状物100的例如送出辊51与张力辊52之间的部分对置(参照图2)，也能够稳定地输送片状物100，并且去除其表面的尘埃。这样，为了使承受从喷出口30喷出的空气的片状物100稳定地移动的除尘装置10的配置位置的限制变少(这关系到使承受空气的片状物100稳定地移动的机构的简化)，从而该除尘装置10的使用方便性更加良好。

另外，构成喷出口30的多个缝30a的每一个缝30a相对于片状物100的输送方向Dcv斜向地倾斜，因此在该片状物100的输送中，能够从离散地排列的多个缝30a向该片状物100的表面的更大的区域吹送空气，而不是仅向多个条状的区域吹送气体。

对本发明的第2实施方式的除尘装置10进行说明。

第2实施方式的除尘装置10与第1实施方式的除尘装置相同，如图3至图5所示那样构成。而且，该除尘装置10与第1实施方式的除尘装置的不同之处在于，喷出口如图10所示那样形成。

在图10中，喷出口36以被两个前侧抽吸口21a、21b与两个后侧抽吸口22a、22b夹着的方式形成于头块11a(除尘头11)的与片状物100(除尘对象物)对置的面(底面)。该喷出口36包含长度方向缝36a和多个缝36b，该长度方向缝36a在除尘头11a的宽度方向(片状物100的输送方向Dcv)的中央部沿其长度方向(横穿片状物100的输送方向Dcv的方向)延伸。多个缝36b沿头块11a的长度方向(横穿(垂直于)片状物100的输送方向Dcv的方向)排列，并分别沿横穿其长度方向的方向延伸，具体而言，沿与其长度方向垂直的方向(片状物100的输送方向Dcv)延伸。即，长度方向缝36a与多个缝36b的关系为长度方向缝36a横穿多个缝36b的关系，具体而言为长度方向缝36a与多个缝36b垂直的关系。

如图11(沿图10的A-A线的截面)所示，长度方向缝36a通过形成于空气喷射室15的底部的槽31与空气喷射室15连通。由此，从供气端口12导入空气喷射室15的空气从长度方向缝36a喷出。多个缝36b分别也如图12所示，通过形成于空气喷射室15的底部的槽31与空气喷射室15连通，从而从供气端口12导入空气喷射室15的加压空气分别从多个缝36b喷出。如果更详细地观察各缝36b，与第1实施方式的除尘装置的情况相同，如图8所示，从槽31延伸的连结路32a通过开口33与到达缝36b的气体喷出路32b连接。气体喷出路32b的与缝36b垂直的截面(图12所示的沿图10的B-B线的截面)成为从开口33到缝36b逐渐扩大的形状，具体而言，成为呈圆弧状逐渐扩大的形状。

在具有上述那样的除尘头11的除尘装置10中，从长度方向缝36a和多个缝36b喷出空气，并且空气通过前侧第1抽吸口21a、前侧第2抽吸口21b、后侧第1抽吸口22a和后侧第2抽吸口22b被抽吸。由此，与第1实施方式的除尘装置的情况相同，从与除尘装置10(除尘头11)对置地输送的片状物100的表面去除尘埃(除尘)。

进而，在详细地观察时，与前述的第1实施方式的除尘装置的情况(参照图8、图9)相同，从多个缝36b各自的与开口33对置的部分喷出的空气的压力维持在期望的压力，并且朝向该缝36b的两端部(上游侧端部、下游侧端部)，空气的喷出压力逐渐降低(参照图9)。这样，通过从各缝36b的两端部喷出的空气的喷出压力降低，难以在各缝36b的两端部的对置区域Eb1、Eb2(参照图8)产生由伯努利效应导致的负压状态。另一方面，从长度方向缝36a直接喷出期望的压力的空气。

片状物100进入从多个缝36b喷出的空气(对置区域Eb1：参照图8)，并一边承受压力逐渐上升的空气一边移动，而不会受到由伯努利效应导致的负压状态的影响。由此，片状物100能够以姿势不混乱的状态移动。而且，片状物100一边承受从长度方向缝36a以期望的压力喷出的空气和从多个缝36b各自的与开口33对置的部分以期望的压力喷出的空气一边移动。这时，在长度方向缝36a的两个缝36b之间的部分，由于喷出的空气的高速的流动，沿着该流动的区域的静压降低，从而可能产生负压(伯努利效应：参照图1)。在该区域中，即使产生了负压状态，移动的片状物100处于被从相邻的两个缝36b喷出的压力逐渐上升的空气按压的状态，因此也能够抑制该片状物100的姿势变得混乱。

而且，通过了从长度方向缝36a喷出的空气的片状物100一边承受从多个缝36b以逐渐降低的压力喷出的空气，一边从与其下游侧端部对置的区域(对置区域Eb2：图8参照)脱离。在与各缝36b的下游侧端部对置的区域，如前述那样难以产生由伯努利效应导致的负压状态，由此片状物100能够以其姿势不混乱的方式通过与多个缝36b的下游侧端部对置的区域(对置区域Eb2)。

根据上述本发明的第3实施方式的除尘装置10，以将从长度方向缝36a喷出的空气以及从与开口33对置的部分喷出的空气的喷出压力维持在期望的压力，并且降低从两端部(上游侧端部、下游侧端部)喷出的空气的喷出压力的状态，向所输送的片状物100的表面吹送分别从多个缝36b喷出的空气。这样，从长度方向缝36a喷出的空气和分别从多个缝36b喷出的空气相协同，能够有效地从其表面去除尘埃，而不使输送中的片状物100的姿势混乱。

这样能够稳定地输送片状物100，并且去除其表面的尘埃，因此为了使承受从喷出口36(长度方向缝36a、多个缝36b)喷出的空气的片状物100稳定地移动的除尘装置10的配置位置的限制变少。因此，第2实施方式的除尘装置10也与第1实施方式的除尘装置相同，使用方便性更加良好。

另外，在上述除尘装置10(第2实施方式)中，多个缝36b沿与头块11a的长度方向(横穿(垂直于)片状物100的输送方向Dcv的方向)垂直的方向(片状物100的输送方向Dcv)延伸，但并不限于此，与第1实施方式的情况相同，也可以相对于片状物100的输送方向Dcv斜向地倾斜。

另外，在上述各除尘装置10中，喷出口包含多个缝，但并不限定于此。例如，如图13所示，能够形成喷出口作为沿横穿片状物100的输送方向Dcv的方向(例如，垂直于片状物100的输送方向Dcv的方向)，即除尘头11的宽度方向延伸的细长孔45。在这种情况下，在除尘头11(头块11a)中，从与空气喷射室15连续的槽31进一步延伸的连结路46a通过开口47与到达细长孔45的气体喷出路46b连接。气体喷出路46b的与细长孔45垂直的截面(在图13中用虚线表示)与前述的内容(参照图8)相同，成为从开口47到细长孔45逐渐扩大的形状，具体而言，成为呈圆弧状逐渐扩大的形状。

在这样喷出口由细长孔45构成的除尘装置10中，与前述相同，从开口47沿着气体喷出路46b的内周壁从细长孔45的所输送的片状物100的输送方向Dcv的上游侧端部EG1喷出的空气的喷出压力小于不沿着气体喷出路46b的内周壁而从细长孔45的与开口47对置的部分直接喷出的空气的喷出压力。由此，能够将从细长孔45的与开口47对置的部分喷出的空气压力维持在期望的压力，并且降低从细长孔45的上游侧端部EG1和下游侧端部EG2喷出的空气的喷出压力。

这样通过从细长孔45的上游侧端部EG1和下游侧端部EG1喷出的气体的喷出压力降低，与上述相同，在细长孔45的上游侧端部EG1和下游侧端部EG2各自的对置区域Eb中难以产生由伯努利效应导致的负压状态。由此，被吹送有从细长孔45喷出的空气的片状物100难以受到由伯努利效应导致的负压状态，从而被吹送该空气的片状物100能够稳定地移动。而且，向该稳定地输送的片状物100的表面吹送从细长孔45(喷出口)喷出的空气，并且片状物100的表面上的空气通过前侧第1抽吸口21a、前侧第2抽吸口21b、后侧第1抽吸口22a以及后侧第2抽吸口22b被抽吸，从而该片状物100的表面的尘埃被去除(除尘)。

在这种情况下，也能够稳定地输送片状物100，并且去除其表面的尘埃，因此用于使承受从细长孔45(喷出口)喷出的空气的片状物100稳定地移动的除尘装置10的配置位置的限制变少。因此，除尘装置的使用方便性更加良好。

上述各除尘装置10能够应用于进行玻璃基板、半导体基板这样的板状物的除尘的系统。例如，不将成为除尘对象物的板状物150吸附固定于昂贵的吸附工作台，而是如图14所示，载置于简易的底座60，并在这种状态下使与板状物150的表面对置的除尘装置10移动。在这种情况下，在从除尘装置10(除尘头)的喷出口30(36)喷出空气时，难以产生由伯努利效应导致的负压状态，因此能够稳定地维持载置于简易的底座60的板状物150的姿势(防止浮起)，并且能够去除该板状物150的表面的尘埃。

另外，例如，如图15所示，不是以分别与由辊式输送机62输送的除尘对象的板状物150的两面对置的方式配置除尘装置10，而是以与板状物150的单面对置的方式配置除尘装置10。在这种情况下，在从除尘装置10(除尘头)的喷出口30(36)喷出空气时也难以产生由伯努利效应导致的负压状态，因此能够稳定地维持由辊式输送机62输送的板状物150的姿势(防止浮起)，并且能够去除该板状物150的表面(单面)的尘埃。

这样，在上述除尘装置10中，在将板状物150作为除尘对象物的情况下，也能够简化用于使承受从喷出口30(36)喷出的空气的该除尘对象物(板状物150)稳定地相对移动的机构(采用简易的底座60而非吸附工作台，采用与辊式输送机150对置的1个除尘装置10而非与辊式输送机150对置的2个除尘装置)。其结果，上述除尘装置10的使用方便性更加良好。

以上，对本发明实施方式进行了说明，但该实施方式或各部分的变形例是作为一例而提出的，并不意图限定发明的范围。上述这些新的实施方式能够以其他各种方式实施，能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式或其变形包含于发明的范围或主旨，并且包含于权利要求书记载的发明。

产业上的可利用性

本发明的除尘装置的使用方便性良好，作为对相对移动的除尘对象物的表面喷出气体，并且抽吸该除尘对象物的表面上的气体，由此去除所述除尘对象物表面的尘埃的除尘装置有用。

标号说明

10：除尘装置；11：除尘头；11a：头块；11b：抽吸调整板；12：供气端口；13：排气管道单元；13a：凸缘；14：排气端口；15：空气喷射室；16a：前侧空气抽吸室；16b：后侧空气抽吸室；17a：前侧抽吸调整孔；17b：后侧抽吸调整孔；21a：前侧第1抽吸口；21b：前侧第2抽吸口；22a：后侧第1抽吸口；22b：后侧第2抽吸口；30：喷出口；30a：缝；31：槽；32a：连结路；32b：气体喷出路；33：开口；36：喷出口；36a：长度方向缝；36b：缝；45：细长孔；46a：连结路；46b：气体喷出路；47：开口；60：底座；62：辊式输送机；100：片状物；150：板状物。

Claims (8)

1.一种除尘装置，其具备与相对移动的除尘对象物的表面对置并且沿该除尘对象物的相对移动的方向以规定的间隔排列的喷出口和抽吸口，

该除尘装置从所述喷出口对所述除尘对象物的表面喷出气体并且通过所述抽吸口抽吸所述除尘对象物的表面上的气体，

其中，

该除尘装置具有从与所述除尘对象物对置的开口到所述喷出口逐渐扩大的形状的气体喷出路。

2.根据权利要求1所述的除尘装置，其中，

所述气体喷出口的与所述除尘对象物的表面垂直的截面具有呈圆弧状逐渐扩大的形状。

3.一种除尘装置，其具备与相对移动的除尘对象物的表面对置并且沿该除尘对象物的相对移动的方向以规定的间隔排列并延伸的喷出口和抽吸口，

该除尘装置从所述喷出口对所述除尘对象物的表面喷出气体并且通过所述抽吸口抽吸所述除尘对象物的表面上的气体，

其中，

所述喷出口包含沿横穿所述除尘对象物的相对移动的方向的方向排列并且分别沿横穿该排列方向的方向延伸的多个缝，

该除尘装置还具有分别相对于所述多个缝设置并且从与所述除尘对象物对置的开口延伸至缝的气体喷出路，

所述气体喷出路的与所述缝垂直的截面具有从所述开口到所述缝逐渐扩大的形状。

4.根据权利要求3所述的除尘装置，其中，

所述截面的形状为呈圆弧状逐渐扩大的形状。

5.根据权利要求3或4所述的除尘装置，其中，

所述多个缝分别相对于所述除尘对象物的相对移动的方向斜向地倾斜形成。

6.根据权利要求3至5中的任意一项所述的除尘装置，其中，

所述多个缝平行地排列。

7.根据权利要求3至6中的任意一项所述的除尘装置，其中，

所述喷出口包含横穿所述多个缝并延伸的主缝。

8.根据权利要求7所述的除尘装置，其中，

所述多个缝分别与所述除尘对象物的相对移动的方向平行地延伸。