KR20230030655A - 제진 장치 - Google Patents

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KR20230030655A
KR20230030655A KR1020237003365A KR20237003365A KR20230030655A KR 20230030655 A KR20230030655 A KR 20230030655A KR 1020237003365 A KR1020237003365 A KR 1020237003365A KR 20237003365 A KR20237003365 A KR 20237003365A KR 20230030655 A KR20230030655 A KR 20230030655A
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damping
gas
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slits
discharge port
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KR1020237003365A
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요시히코 카타오카
토모히로 시라네
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휴글 가이하쓰 가부시키가이샤
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Abstract

<과제> 사용하기 편리한 제진 장치를 제공하는 것이다.
<해결 수단> 상대 이동하는 제진 대상물(100)의 표면에 대향하고, 제진 대상물(100)의 상대 이동의 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열된 토출구(30a)(30)와 흡인구(21a, 21b, 22a, 22b)를 구비하고, 토출구(30)로부터 제진 대상물(100)의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 흡인구(21a, 21b, 22a, 22b)를 통해 제진 대상물(100)의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서, 제진 대상물(100)에 대향하는 개구(33)로부터 토출구(30a)까지 서서히 퍼지는 형상의 기체 토출로(32b)를 가지는 구성으로 된다.

Description

제진 장치
본 발명은 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 그 제진 대상물의 표면 상의 기체를 흡인함으로써, 상기 제진 대상물 표면의 먼지를 제거하는 제진(除塵) 장치에 관한 것이다.
종래, 특허 문헌 1에 기재된 제진 장치가 알려져 있다. 이 제진 장치는, 가이드 롤(roll)(지지부)에 감아 걸리고, 그 가이드 롤의 회전에 의해 반송되는 시트(sheet) 형상물(제진 대상물)의 상기 가이드 롤(roll)에 맞닿은 부분에 대향하여 배치된다. 이 제진 장치에는, 시트 형상물의 반송 방향(상대 이동 방향)에 직교하는 방향(시트 형상물의 폭방향)으로 뻗는 슬릿 형상의 토출구와 흡인구(석션(suction) 박스의 개구부)가, 소정의 간격을 가지고, 상기 토출구가 상기 흡인구보다 반송 방향의 상류측에 위치하도록 형성되어 있다. 그리고, 시트 형상물이 반송되는 과정에서, 상기 제진 장치는, 상기 토출구로부터 시트 형상물의 표면에 대해 에어를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 시트 형상물의 표면 상의 에어를 흡인한다. 시트 형상물의 표면에 부착된 먼지가 토출구로부터 토출되는 에어에 의해 그 표면으로부터 떨어져 부유하고, 그 부유하는 먼지가 흡인구로부터 에어와 함께 흡인된다. 이에 의해 시트 형상물의 표면에 부착된 먼지가 제거된다(제진된다).
일본국 특허공개 1993-138136호 공보
그런데, 상술한 것 같은 제진 장치에 있어서는, 도 1에 나타내듯이, 토출구 O(개구)로부터 토출되는 에어의 고속의 흐름(도 1에 있어서의 굵은 화살표선, 참조)에 의해 그 흐름을 따르는 영역의 정압이 저하하여 부압 BA가 발생할 수가 있다(베르누이 효과). 이와 같이 토출되는 에어의 흐름을 따르는 영역에 부압 BA가 발생하면, 반송되는 시트 형상물(100)이 그 토출구 O에 대향하는 영역에 진입할 때, 및 토출구 O로부터 퇴출할 때의 각각에 있어서, 그 부압 BA에 의해 시트 형상물(100)의 반송 자세가 흐트러질 수가 있다. 이와 같이 시트 형상물(100)의 반송 자세가 흐트러지면, 흡인구를 통한 에어의 흡인에 의해, 시트 형상물(100)이 흡인구로 인입되거나, 또한 자세의 흐트러짐이 조장되거나 할 가능성이 있다. 이러한 현상은, 제진의 대상물이 시트(sheet) 형상의 물건에 한정되지 않고, 판(板) 형상의 물건이라도, 마찬가지로 베르누이 효과에 기인한 부압 BA에 의해 발생할 수가 있다.
이 때문에, 이런 종류의 제진 장치는, 가이드 롤의 회전과 함께 반송되는 시트 형상물의 제진을 행하는 경우에는, 특허 문헌 1에도 기재되듯이, 가이드 롤에 어느 장력을 가지고 감아 걸린 부분에 대향하여 배치된다. 또, 유리 기판, 반도체 기판 등의 판 형상의 물건의 표면을 제진하는 경우에는, 그 제진 장치를 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 판 형상의 물건의 표면에 대향시킨 상태로 이동시키면서, 에어의 토출 및 흡인에 의해, 그 판 형상의 물건의 표면의 제진을 행한다. 또, 판(板) 형상의 물건을 롤러 컨베이어로 반송하는 경우, 한 면의 제진이라도, 대향하여 배치되는 2개의 제진 장치 사이를 그 제진의 대상으로 되는 판 형상의 물건을 이동시킨다. 이에 의해 대향하는 제진 장치로부터 토출되는 에어의 영향이 상쇄되어, 반송되는 판 형상의 물건이 안정된 자세가 유지된다.
이와 같이, 종래의 제진 장치에서는, 제진 대상의 물건에 대한 배치의 자유도가 작고, 또 제진 대상의 물건의 자세 안정을 위해서 특별한 기구(예를 들면, 흡착 테이블, 추가적인 제진 장치)가 필요하게 되어, 그 쓰기가 반드시 좋은 것은 아니었다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 사용하기 편리한 제진 장치를 제공하는 것이다.
본 발명과 관련되는 제진 장치는, 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 대향하고, 이 제진 대상물의 상대 이동의 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열된 토출구와 흡인구를 구비하고, 상기 토출구로부터 상기 제진 대상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 제진 대상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서, 상기 제진 대상물에 대향하는 개구로부터 상기 토출구까지 서서히 퍼지는 형상의 기체 토출로를 가지는 구성으로 된다.
이러한 구성에 의해, 제진 대상물이 상대 이동할 때에, 기체가 개구로부터 서서히 퍼지는 기체 토출로를 지나서 토출구로부터 제진 대상물의 표면을 향해 토출된다. 상기 개구로부터 기체 토출로의 내주벽을 따라 토출구의 주연부분(周緣部分)으로부터 토출되는 기체의 토출 압력은, 상기 기체 토출로의 내벽을 따르는 일이 없이 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 기체의 토출 압력보다 작게 된다. 이에 의해 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 토출구의 주연부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다. 토출구의 주연부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 그 토출구의 주연부분의 대향 영역에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 토출구로부터 토출되는 기체가 내뿜어지는 제진 대상물이 베르누이 효과에 기인한 부압 상태의 영향을 받기 어렵게 되어, 그 기체가 내뿜어지는 제진 대상물이 안정적으로 상대 이동할 수가 있다. 그 안정적으로 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 토출구로부터 토출되는 기체가 내뿜어지면서, 흡인구를 통해 제진 대상물의 표면 상의 기체가 흡인되어, 그 제진 대상물의 표면의 먼지가 제거(제진)된다.
본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 기체 토출구의 상기 제진 대상물의 표면에 수직인 단면은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상을 가지는 구성으로 할 수가 있다.
이러한 구성에 의해, 기체는, 개구로부터 기체 토출로의 단면 원호 형상의 서서히 퍼지는 내주벽을 따라 토출구로부터 토출됨과 아울러, 상기 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출된다. 이에 의해 전술한 것처럼, 상기 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 상기 토출구의 주연부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다.
또, 본 발명과 관련되는 제진 장치는, 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 대향하고, 이 제진 대상물의 상대 이동의 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열되어 뻗는 토출구와 흡인구를 구비하고, 상기 토출구로부터 상기 제진 대상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 제진 대상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서, 상기 토출구는, 상기 제진 대상물의 상대 이동의 방향을 횡단하는 방향으로 배열되고, 각각이 그 배열 방향을 횡단하는 방향으로 뻗는 복수의 슬릿을 포함하고, 또한 상기 복수의 슬릿의 각각에 대해 설치되고, 상기 제진 대상물에 대향하는 개구로부터 슬릿까지 뻗는 기체 토출로를 가지고, 상기 기체 토출로의 상기 슬릿에 수직인 단면은, 상기 개구로부터 상기 슬릿까지 서서히 퍼지는 형상을 가지는 구성으로 된다.
이러한 구성에 의해, 제진 대상물이 상대 이동할 때에, 기체가, 각각 개구로부터 서서히 퍼지는 기체 토출로를 지나서 복수의 슬릿으로부터 토출된다. 상기 개구로부터 기체 토출로의 내주벽을 따라 슬릿의 상기 제진 대상물의 상대 이동 방향에 있어서의 양단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력은, 상기 기체 토출로의 내주벽을 따르는 일이 없이 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 기체의 토출 압력보다 작게 된다. 이에 의해 각 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 각 슬릿의 양단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다. 각 슬릿의 양단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 각 슬릿의 양단부의 대향 영역에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 토출구를 구성하는 복수의 슬릿의 각각으로부터 토출되는 기체가 내뿜어지는 제진 대상물이 베르누이 효과에 기인한 부압 상태의 영향을 받기 어렵게 되어, 그 기체가 내뿜어지는 제진 대상물이 안정적으로 상대 이동할 수가 있다. 그 안정적으로 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 상기 복수의 슬릿(토출구)으로부터 토출되는 기체가 내뿜어지면서, 흡인구를 통해 제진 대상물의 표면 상의 기체가 흡인되어, 그 제진 대상물의 표면의 먼지가 제거(제진)된다.
본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 단면의 형상은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상인 구성으로 할 수가 있다.
이러한 구성에 의해, 기체는, 개구로부터 기체 토출로의 단면 원호 형상의 서서히 퍼지는 내주벽을 따라 각 슬릿의 양단부로부터 토출됨과 아울러, 상기 기체 토출로의 내주벽을 따르는 일이 없이 각 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출된다. 이에 의해 전술한 것처럼, 각 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 각 슬릿의 양단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다.
본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 제진 대상물의 상대 이동의 방향에 대해 비스듬하게 기울어져 형성된 구성으로 할 수가 있다.
이러한 구성에 의해, 제진 대상물의 상대 이동 중에, 이산적으로 배열되는 복수의 슬릿으로부터, 단지 복수의 힘줄 형상이 아니라, 그 제진 대상물의 표면의 것보다 넓은 영역에 기체를 내뿜을 수가 있다.
본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 복수의 슬릿은, 평행하게 배열된 구성으로 할 수가 있다.
이러한 구성에 의해, 평행하게 배치된 복수의 슬릿의 각각으로부터 토출되는 기체가 상대 이동 중의 제진 대상물의 표면에 내뿜어진다.
본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 토출구는, 상기 복수의 슬릿을 횡단하여 뻗는 길이 방향 슬릿을 포함하는 구성으로 할 수가 있다.
이러한 구성에 의해, 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에, 길이 방향 슬릿으로부터 토출되는 기체와 아울러, 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 양단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 한 상태로, 복수의 슬릿의 각각으로부터 토출되는 기체를 내뿜을 수가 있다. 이와 같이, 길이 방향 슬릿으로부터 토출되는 기체와 복수의 슬릿의 각각으로부터 토출되는 기체가 어울러져, 상대 이동 중의 제진 대상물의 표면으로부터 먼지를 효과적으로 제거할 수가 있다.
본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 제진 대상물의 상대 이동의 방향과 평행하게 뻗는 구성으로 할 수가 있다.
이러한 구성에 의해, 길이 방향 슬릿으로부터 토출되는 기체와 아울러, 복수의 슬릿으로부터 토출되는 기체가, 상대 이동 중의 제진 대상물의 표면에 그 상대 이동의 방향으로 뻗는 복수의 힘줄 형상으로 내뿜어진다.
본 발명과 관련되는 제진 장치에 의하면, 토출구로부터 고속으로 토출되는 기체에 의해 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵고, 토출구로부터 토출되는 기체가 내뿜어지는 제진 대상물이 안정적으로 상대 이동할 수가 있게 된다. 그 결과, 토출구로부터 토출되는 기체를 받는 제진 대상물을 안정적으로 상대 이동시키기 위한 구조를 간소화할 수가 있어 보다 사용하기 편리한 것으로 된다.
도 1은 토출구로부터 토출되는 에어(기체)에 의해 반송되는 시트 형상물이 불안정하게 되는 원리를 나타내는 도이다.
도 2는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 적용예를 나타내는 도이다.
도 3은 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 측면도이다.
도 6은 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 저면도이다.
도 7은 제진 장치의 도 6에 있어서의 A-A선 단면을 나타내는 단면도이다.
도 8은 토출구(슬릿(slit))에 이르는 기체 토출로를 확대하여 나타내는 단면도이다.
도 9는 토출구(슬릿)로부터 토출되는 에어(air)의 토출 압력을 나타내는 선도이다.
도 10은 본 발명의 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 저면도이다.
도 11은 제진 장치의 도 10에 있어서의 A-A선 단면을 나타내는 단면도이다.
도 12는 제진 장치의 도 10에 있어서의 B-B선 단면을 나타내는 단면도이다.
도 13은 토출구의 변형예를 나타내는 도이다.
도 14는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 다른 적용예를 나타내는 도이다.
도 15는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 또 다른 적용예를 나타내는 도이다.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해 도면을 이용하여 설명한다.
본 발명의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)는, 예를 들면 시트 형상물(100)의 제진(除塵)을 행하는 시스템에 적용된다. 이 시스템에서는, 도 2에 나타내듯이, 인출 롤러(51)로부터 계속 내보내지는 제진 대상물로서의 시트 형상물(100)이, 텐션(tension) 롤러(roller)(52, 53)를 통해 권취 롤러(54)로 뻗어 있다. 권취 롤러(54)와 인출 롤러(51)의 동기한 회전에 의해 시트 형상물(100)이, 어느 장력(텐션(tension))을 받으면서, 인출 롤러(51)로부터 권취 롤러(54)를 향해(반송 방향 Dcv으로) 반송된다. 제진 장치(10)는, 시트 형상물(100)의 텐션 롤러(52)에 감아 걸린 부분에 대향하도록 배치할 수가 있다. 또, 제진 장치(10)는, 배후에 롤러 등의 지지부가 존재하지 않는, 예를 들면 시트 형상물(100)의 인출 롤러(51)와 텐션 롤러(52)의 사이의 부분에 대향하도록 배치할 수도 있다.
시트 형상물(100)의 제진을 행하는 시스템에 있어서 상술한 것처럼 배치되는(도 2, 참조) 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)는, 예를 들면 도 3~도 6에 나타내듯이 구성된다. 또한, 도 3은 제진 장치를 나타내는 정면도이며, 도 4는 제진 장치를 나타내는 평면도이며, 도 5는 제진 장치를 나타내는 측면도이며, 도 6은 제진 장치를 나타내는 저면도이다.
도 2와 아울러 도 3 내지 도 5에 있어서, 이 제진 장치(10)는, 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv(상대 이동 방향)에 직교하는 방향(도 2에 있어서의 지면에 직교하는 방향)으로 뻗는 장척 블록 형상의 제진 헤드(11)와, 제진 헤드(11)의 상면을 따라 뻗는 배기 덕트 유닛(13)을 구비하고 있다. 배기 덕트 유닛(13)은, 저부(底部)가 개구하고 있고, 그 개구 가장자리 부분에 플랜지(13a)가 형성되어 있다(도 3, 도 4 및 후술하는 도 7, 참조). 배기 덕트 유닛(13)의 플랜지(13a)가 제진 헤드(11)의 상면에 복수의 볼트에 의해 고정됨으로써, 제진 헤드(11)와 배기 덕트 유닛(13)이 일체로 되어, 배기 덕트 유닛(13)의 내부에 배기 경로로서의 공간이 형성된다. 배기 덕트 유닛(13)의 측면에 배기 포트(14)가 설치되어 있다. 배기 포트(14)는, 흡인 기구(예를 들면, 진공 펌프 : 도시 생략)에 접속되고, 그 흡인 기구의 동작에 의해, 배기 덕트 유닛(13)의 배기 경로를 지나는 에어(기체)가 배기 포트(14)를 지나서 외부로 배출된다.
제진 헤드(11)의 측면에는 급기 포트(12)가 설치되어 있다. 급기 포트(12)는, 가압 에어를 공급하는 급기 기구(예를 들면, 가압 펌프 : 도시 생략)에 접속되고, 그 급기 기구의 동작에 의해, 급기 포트(12)를 통해 가압 에어가 제진 헤드(11)(후술하는 에어 분사실(15)) 내에 취입(取入)된다. 제진 헤드(11)는, 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)가 겹쳐진 구조로 되어 있다(도 3과 아울러 후술하는 도 7, 참조).
제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))의 시트 형상물(100)에 대향하는 면(저면(底面))에는, 도 6에 나타내듯이, 전측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 상류측의 가장자리)를 따라 뻗는 가늘고 긴 형상의 전측 제1 흡인구(21a)와 전측 제2 흡인구(21b)가 늘어서 형성되어 있다. 또, 그 면에는, 후측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 하류측의 가장자리)를 따라 뻗는 가늘고 긴 형상의 후측 제1 흡인구(22a)와 후측 제2 흡인구(22b)가 늘어서 형성되어 있다. 또한, 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))의 시트 형상물(100)에 대향하는 면(저면(底面))에는, 늘어서 배열되는 2개의 전측 흡인구(21a, 21b)와 늘어서 배열되는 2개의 후측 흡인구(22a, 22b)에 끼워지도록 복수의 슬릿(30a)으로 구성되는 토출구(30)가 형성되어 있다.
토출구(30)를 구성하는 복수의 슬릿(30a)은, 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))의 길이 방향(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv를 횡단하는(예를 들면, 직교하는) 방향)으로 배열되어 있다. 그리고, 복수의 슬릿(30a)의 각각은, 그 배열 방향을 횡단하는 방향(시트 형상물(100)의 폭방향으로 되는 제진 헤드(11) 길이 방향을 횡단하는 방향)으로 뻗고, 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv에 대해 비스듬하게 기울어져 있다.
도 7(도 6에 있어서의 A-A선 단면을 나타내는 단면도)에 나타내듯이, 헤드 블록(11a)에는, 각각 흡인 조정 플레이트(11b)와의 접합면에서 개구하는 공간으로서 에어 분사실(15), 전측 에어 흡인실(16a) 및 후측 에어 흡인실(16b)이 형성되어 있다. 에어 분사실(15)은, 헤드 블록(11a)의 폭방향의 중앙부에 있어서 길이 방향(도 7의 지면(紙面)에 수직인 방향)으로 뻗는다. 전측 에어 흡인실(16a)은, 헤드 블록(11a)의 전측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 상류측에 대응)를 따라 형성되고, 후측 에어 흡인실(16b)은, 헤드 블록(11a)의 후측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 하류측에 대응)를 따라 형성된다.
또, 흡인 조정 플레이트(11b)에는, 각각 관통하도록, 전측 흡인 조정 구멍(17a) 및 후측 흡인 조정 구멍(17b)이 형성되어 있다. 전측 흡인 조정 구멍(17a)은, 흡인 조정 플레이트(11b)의 전측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 상류측의 가장자리)를 따라 형성되고, 후측 흡인 조정 구멍(17b)은, 흡인 조정 플레이트(11b)의 후측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 하류측의 가장자리)를 따라 형성된다. 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)는, 겹쳐진 상태로, 전술한 배기 덕트 유닛(13)(플랜지(13a))과 함께 복수의 볼트에 의해 고정된다. 이와 같이 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)가 겹쳐진 상태로, 헤드 블록(11a)의 에어 분사실(15)은 흡인 조정 플레이트(11b)에 의해 폐쇄된다. 또, 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)가 겹쳐진 상태로, 헤드 블록(11a)의 전측 에어 흡인실(16a) 및 후측 에어 흡인실(16b)의 각각은, 흡인 조정 플레이트(11b)의 전측 흡인 조정 구멍(17a) 및 후측 흡인 조정 구멍(17b)에 대향한다.
헤드 블록(11a)의 저면에 형성되는 전측 제1 흡인구(21a)(전측 제2 흡인구(21b)도 마찬가지)는, 전측 에어 흡인실(16a) 및 흡인 조정 플레이트(11b)에 형성된 전측 흡인 조정 구멍(17a)을 통해 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간(배기 경로)에 연통하고 있다. 헤드 블록(11a)의 저면에 형성되는 후측 제1 흡인구(22a)(후측 제2 흡인구(22b)도 마찬가지)는, 후측 에어 흡인실(16b) 및 흡인 조정 플레이트(11b)에 형성된 후측 흡인 조정 구멍(17b)을 통해 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간(배기 경로)에 연통하고 있다. 이에 의해 배기 덕트 유닛(13)의 배기 경로(공간)를 지나는 에어가 배기 포트(14)를 지나서 외부로 배출되는 것에 수반하여, 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간에 연통하는 전측 제1 흡인구(21a)(전측 제2 흡인구(21b)도 마찬가지) 및 후측 제1 흡인구(22a)(후측 제2 흡인구(22b)도 마찬가지)를 통해 에어가 흡인된다.
헤드 블록(11a)의 저면에 형성된 토출구(30)를 구성하는 복수의 슬릿(30a)의 각각은, 에어 분사실(15)의 바닥에 헤드 블록(11a)의 길이 방향(도 7의 지면에 수직인 방향)으로 뻗도록 형성된 도랑(31)에 연통하고 있고, 급기 포트(12)로부터 에어 분사실(15)에 도입되는 가압 에어가 복수의 슬릿(30a)의 각각으로부터 토출되도록 되어 있다. 상세하게는, 도 8에 나타내듯이, 도랑(31)으로부터 뻗는 연결로(32a)가, 개구(33)를 통해, 슬릿(30a)에 이르는 기체 토출로(32b)에 연결되어 있다. 기체 토출로(32b)의 슬릿(30a)에 수직인 단면(도 8에 나타나는 도 6에 있어서의 A-A선 단면)은, 개구(33)로부터 슬릿(30a)까지 서서히 퍼지는 형상, 구체적으로는 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상으로 된다.
상술한 것 같은 구조의 제진 장치(10)의 동작에 대해 설명한다.
시트 형상물(100)은, 인출 롤러(51) 및 권취(卷取) 롤러(54)의 동기한 회전에 의해, 어느 장력(텐션(tension))을 받으면서, 인출 롤러(51)로부터 권취 롤러(54)를 향해(반송 방향 Dcv으로) 반송된다(도 2, 참조). 그 과정에서, 예를 들면 인출 롤러(51)와 텐션 롤러(52)의 사이에 배치된 제진 장치(10)는, 다음과 같이 하여 시트 형상물(100) 표면의 먼지를 제거한다.
시트 형상물(100)의 이동의 과정에 있어서, 제진 장치(10)의 토출구(30)를 구성하는 복수의 슬릿(30a)으로부터 토출되는 에어가 시트 형상물(100)의 표면에 내뿜어지면서, 전측 제1 흡인구(21a), 전측 제2 흡인구(21b), 후측 제1 흡인구(22a), 및 후측 제2 흡인구(22b)의 각각을 통해 시트 형상물(100) 표면 상의 에어가 흡인된다. 복수의 슬릿(30a)(토출구(30))으로부터 토출되는 에어에 의해 시트 형상물(100)의 표면으로부터 부상한 먼지가 전측 제1 흡인구(21a), 전측 제2 흡인구(21b), 후측 제1 흡인구(22a), 및 후측 제2 흡인구(22b)를 통해 에어와 함께 흡인된다. 이에 의해 시트 형상물(100)의 표면이 제진된다.
여기서, 기체 토출로(32b)를 지나서 토출구(30)를 구성하는 복수의 슬릿(30a)의 각각으로부터 토출되는 에어에 대해 주목한다.
에어 분사실(15)로부터 도랑(31) 및 연결부(32a)를 지나는 고압 에어는, 도 8에 나타내듯이, 개구(33)로부터 서서히 퍼지는 기체 토출로(32b)를 지나서 슬릿(30a)으로부터 토출된다. 슬릿(30a)으로부터 토출되는 에어의 토출 압력은, 도 9에 나타내듯이 분포한다. 즉, 개구(33)로부터 기체 토출로(32b)의 내주벽을 따라 슬릿(30a)의 상류측 단부 및 하류측 단부의 각각으로부터 토출되는 에어의 토출 압력 Pe1, Pe2는, 기체 토출로(32b)의 내주벽을 따르는 일이 없이, 슬릿(30b)의 개구(33)에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 에어의 토출 압력 Pc보다 작게 된다.
이에 의해 각 슬릿(30a)의 개구(33)에 대향하는 부분으로부터 토출되는 에어의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 각 슬릿(30a)의 양단부로부터 토출되는 에어의 토출 압력 Pe1, Pe2를 낮게 할 수가 있다. 각 슬릿(30a)의 양단부로부터 토출되는 에어의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 각 슬릿(30a)의 양단부의 대향 영역에 Eb1, Eb2(도 8, 참조)에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 토출구(30)를 구성하는 복수의 슬릿(30a)의 각각으로부터 토출되는 에어가 내뿜어지는 시트 형상물(100)이 베르누이 효과에 기인한 부압 상태의 영향을 받기 어렵게 되어, 그 에어가 내뿜어지는 시트 형상물(100)이 안정적으로 이동할 수가 있다(반송될 수 있다). 그리고, 그 안정적으로 반송되는 시트 형상물(100)의 표면에, 전술한 것처럼 복수의 슬릿(30a)으로부터 토출되는 에어가 내뿜어지면서, 전측 제1 흡인구(21a), 전측 제2 흡인구(21b), 후측 제1 흡인구(22a) 및 후측 제2 흡인구(22b)를 통해 시트 형상물(100)의 표면 상의 에어가 흡인되어 그 시트 형상물(100)의 표면의 먼지가 제거(제진)된다.
상술한 것 같은 제진 장치(10)에 의하면, 토출구(30)(복수의 슬릿(30a)의 각각)로부터 고속으로 토출되는 에어에 의해 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵고, 복수의 슬릿(30a)(토출구(30))으로부터 토출되는 에어가 내뿜어지는 상황에 있어서 시트 형상물(100)을 안정적으로 반송할 수가 있게 된다. 그 결과, 제진 장치(10)를 배후에 롤러 등(예를 들면, 도 2에 있어서의 텐션 롤러(52))의 지지부가 존재하지 않는, 시트 형상물(100)의, 예를 들면 인출 롤러(51)와 텐션 롤러(52)의 사이의 부분에 대향하도록 배치(도 2, 참조)했다고 해도, 시트 형상물(100)을 안정적으로 반송하면서, 그 표면의 먼지를 제거할 수가 있다. 이와 같이, 토출구(30)로부터 토출되는 에어를 받는 시트 형상물(100)을 안정적으로 이동시키기 때문에 제진 장치(10)의 배치 위치의 제한이 적게 되어(에어를 받는 시트 형상물(100)을 안정적으로 이동시키기 위한 구조의 간소화로 연결될 수 있어), 이 제진 장치(10)는 보다 사용하기 편리한 것으로 된다.
또, 토출구(30)를 구성하는 복수의 슬릿(30a)의 각각이 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv에 대해 비스듬하게 기울어져 있으므로, 그 시트 형상물(100)의 반송 중에, 이산적으로 배열되는 복수의 슬릿(30a)으로부터, 단지 복수의 힘줄 형상이 아니라, 그 시트 형상물(100)의 표면의 것보다 넓은 영역에 에어를 내뿜을 수가 있다.
본 발명의 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)에 대해 설명한다.
제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)는, 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치와 마찬가지로, 도 3 내지 도 5에 나타내듯이 구성된다. 그리고, 이 제진 장치(10)는, 도 10에 나타내듯이 토출구가 형성되는 점에서 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치와 다르다.
도 10에 있어서, 헤드 블록(11a)(제진 헤드(11))의 시트 형상물(100)(제진 대상물)에 대향하는 면(저면)에는, 2개의 전측 흡인구(21a, 21b)와 2개의 후측 흡인구(22a, 22b)에 끼워지도록 토출구(36)가 형성되어 있다. 이 토출구(36)는, 제진 헤드(11a)의 폭방향(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv)의 중앙부에서 그 길이 방향(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv를 횡단하는 방향)으로 뻗는 길이 방향 슬릿(36a)과 복수의 슬릿(36b)을 포함한다. 복수의 슬릿(36b)은, 헤드 블록(11a)의 길이 방향(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv를 횡단하는(직교하는) 방향)으로 배열되고, 각각이 그 길이 방향을 횡단하는 방향, 구체적으로는, 직교하는 방향(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv)으로 뻗어 있다. 즉, 길이 방향 슬릿(36a)와 복수의 슬릿(36b)의 관계는, 길이 방향 슬릿(36a)이 복수의 슬릿(36b)을 횡단한다, 구체적으로는, 직교하는 관계로 되어 있다.
길이 방향 슬릿(36a)은, 도 11(도 10에 있어서의 A-A선 단면)에 나타내듯이, 에어 분사실(15)의 바닥에 형성된 도랑(31)을 통해 에어 분사실(15)에 연통하고 있다. 이에 의해 급기 포트(12)로부터 에어 분사실(15)에 도입되는 에어가 길이 방향 슬릿(36a)으로부터 토출된다. 복수의 슬릿(36b)의 각각도 또한, 도 12에 나타내듯이, 에어 분사실(15)의 바닥에 형성된 도랑(31)을 통해 에어 분사실(15)에 연통하고 있고, 급기 포트(12)로부터 에어 분사실(15)에 도입되는 가압 에어가 복수의 슬릿(36b)의 각각으로부터 토출되도록 되어 있다. 각 슬릿(36b)에 대해 더욱 상세하게 보면, 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 경우와 마찬가지로, 도 8에 나타내듯이, 도랑(31)으로부터 뻗는 연결로(32a)가, 개구(33)를 통해, 슬릿(36b)에 이르는 기체 토출로(32b)에 연결되어 있다. 기체 토출로(32b)의 슬릿(36b)에 수직인 단면(도 12에 나타나는 도 10에 있어서의 B-B선 단면)은, 개구(33)로부터 슬릿(36b)까지 서서히 퍼지는 형상, 구체적으로는 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상으로 된다.
상술한 것 같은 제진 헤드(11)를 가지는 제진 장치(10)에서는, 길이 방향 슬릿(36a) 및 복수의 슬릿(36b)으로부터 에어가 토출됨과 아울러, 전측 제1 흡인구(21a), 전측 제2 흡인구(21b), 후측 제1 흡인구(22a) 및 후측 제2 흡인구(22b)를 통해 에어가 흡인된다. 이에 의해 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 경우와 마찬가지로, 제진 장치(10)(제진 헤드(11))에 대향해 반송되는 시트 형상물(100)의 표면으로부터 먼지가 제거(제진)된다.
더욱 상세하게 보면, 전술한 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 경우(도 8, 도 9, 참조)와 마찬가지로, 복수의 슬릿(36b)의 각각의 개구(33)에 대향하는 부분으로부터 토출되는 에어의 압력이 소망의 압력으로 유지되면서, 그 슬릿(36b)의 양단부(상류측 단부, 하류측 단부)를 향해 에어의 토출 압력이 서서히 저하한다(도 9, 참조). 이와 같이, 각 슬릿(36b)의 양단부로부터 토출되는 에어의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 각 슬릿(36b)의 양단부의 대향 영역 Eb1, Eb2(도 8, 참조)에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 한편, 길이 방향 슬릿(36a)으로부터는 스트레이트(straight)로 소망의 압력의 에어가 토출된다.
시트 형상물(100)은, 베르누이 효과에 기인한 부압 상태의 영향을 받는 일이 없이, 복수의 슬릿(36b)으로부터 토출되는 에어(대향 영역 Eb1 : 도 8, 참조)에 진입하여, 서서히 압력이 오르는 에어를 받으면서 이동한다. 이에 의해 시트 형상물(100)은, 자세를 어지럽혀지는 일이 없이 이동할 수가 있다. 그리고, 시트 형상물(100)은, 길이 방향 슬릿(36a)으로부터 소망의 압력으로 토출되는 에어와 함께, 복수의 슬릿(36b) 각각의 개구(33)에 대향하는 부분으로부터 소망의 압력으로 토출되는 에어를 받으면서 이동한다. 이 때, 길이 방향 슬릿(36a)의 2개의 슬릿(36b)의 사이의 부분에서는, 토출되는 에어의 고속의 흐름에 의해 그 흐름을 따르는 영역의 정압이 저하하여 부압이 발생할 수가 있다(베르누이 효과 : 도 1, 참조). 이 영역에서는, 부압 상태가 생겼다고 해도, 이동하는 시트 형상물(100)은, 인접하는 2개의 슬릿(36b)으로부터 토출되는 서서히 상승하는 압력의 에어에 의해 눌러져 있는 상태이므로, 그 시트 형상물(100)의 자세가 흐트러지는 것이 억제될 수 있다.
그리고, 길이 방향 슬릿(36a)으로부터 토출되는 에어를 통과한 시트 형상물(100)은, 복수의 슬릿(36b)으로부터 서서히 저하하는 압력으로 토출되는 에어를 받으면서 그 하류측 단부에 대향하는 영역(대향 영역 Eb2 : 도 8, 참조)으로부터 벗어난다. 각 슬릿(36b)의 하류측 단부에 대향하는 영역에서는, 전술한 것처럼 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵기 때문에, 시트 형상물(100)은, 그 자세를 어지럽혀지는 일이 없이 복수의 슬릿(36b)의 하류측 단부에 대향하는 영역(대향 영역 Eb2)을 통과할 수가 있다.
상술한 본 발명의 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)에 의하면, 반송되는 시트 형상물(100)의 표면에, 길이 방향 슬릿(36a)으로부터 토출되는 에어와 함께, 개구(33)에 대향하는 부분으로부터 토출되는 에어의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 양단부(상류측 단부, 하류측 단부)로부터 토출되는 에어의 토출 압력을 낮게 한 상태로, 복수의 슬릿(36b)의 각각으로부터 토출되는 에어를 내뿜을 수가 있다. 이와 같이, 길이 방향 슬릿(36a)으로부터 토출되는 에어와 복수의 슬릿(36b)의 각각으로부터 토출되는 에어가 함께, 반송 중의 시트 형상물(100)의 자세를 어지럽히는 일이 없이 그 표면으로부터 먼지를 효과적으로 제거할 수가 있다.
이와 같이 시트 형상물(100)을 안정적으로 반송하면서, 그 표면의 먼지를 제거할 수가 있으므로, 토출구(36)(길이 방향 슬릿(36a), 복수의 슬릿(36b))로부터 토출되는 에어를 받는 시트 형상물(100)을 안정적으로 이동시키기 때문에 제진 장치(10)의 배치 위치의 제한이 적게 된다. 그 때문에, 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)도, 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치와 마찬가지로, 보다 사용하기 편리한 것으로 된다.
또한, 상술한 제진 장치(10)(제2의 실시의 형태)에서는, 복수의 슬릿(36b)은, 헤드 블록(11a)의 길이 방향(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv를 횡단하는(직교하는) 방향)에 직교하는 방향(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv)으로 뻗어 있었지만, 이것에 한정되는 제1의 실시의 형태의 경우와 마찬가지로, 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv에 대해 비스듬하게 기울어진 것이라도 좋다.
또, 상술한 각 제진 장치(10)에서는, 토출구가 복수의 슬릿을 포함하는 것이었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 13에 나타내듯이, 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv를 횡단하는 방향(예를 들면, 직교하는 방향), 즉 제진 헤드(11)의 폭방향으로 뻗는 가늘고 긴 구멍(45)으로 하여 토출구를 형성할 수가 있다. 이 경우, 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))에 있어서는, 에어 분사실(15)에 이어지는 도랑(31)으로부터 더욱 뻗는 연결로(46a)가, 개구(47)를 통해, 가늘고 긴 구멍(45)에 이르는 기체 토출로(46b)에 연결되어 있다. 기체 토출로(46b)의 가늘고 긴 구멍(45)에 수직인 단면(도 13에서 파선으로 나타난다)은, 전술한 것(도 8, 참조)과 마찬가지로, 개구(47)로부터 가늘고 긴 구멍(45)까지 서서히 퍼지는 형상, 구체적으로는 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상으로 된다.
이와 같이 토출구가 가늘고 긴 구멍(45)으로 구성되는 제진 장치(10)에서는, 전술한 것과 마찬가지로, 개구(47)로부터 기체 토출로(46b)의 주벽(周壁)을 따라 가늘고 긴 구멍(45)의 반송되는 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv에 있어서의 상류측 단부 EG1로부터 토출되는 에어의 토출 압력은, 기체 토출로(46b)의 내주벽을 따르는 일이 없이 가늘고 긴 구멍(45)의 개구(47)에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 에어의 토출 압력보다 작게 된다. 이에 의해 가늘고 긴 구멍(45)의 개구(47)에 대향하는 부분으로부터 토출되는 에어 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 가늘고 긴 구멍(45)의 상류측 단부 EG1 및 하류측 단부 EG2로부터 토출되는 에어의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다.
이와 같이 가늘고 긴 구멍(45)의 상류측 단부 EG1 및 하류측 암부 EG1로부터 토출되는 기체의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 상술한 것과 마찬가지로, 가늘고 긴 구멍(45)의 상류측 단부 EG1 및 하류측 단부 EG2 각각의 대향 영역 Eb에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 가늘고 긴 구멍(45)으로부터 토출되는 에어가 내뿜어지는 시트 형상물(100)이 베르누이 효과에 기인한 부압 상태를 받기 어렵게 되어, 그 에어가 내뿜어지는 시트 형상물(100)이 안정적으로 이동할 수가 있다. 그리고, 그 안정적으로 반송되는 시트 형상물(100)의 표면에, 가늘고 긴 구멍(45)(토출구)으로부터 토출되는 에어가 내뿜어지면서, 전측 제1 흡인구(21a), 전측 제2 흡인구(21b), 후측 제1 흡인구(22a) 및 후측 제2 흡인구(22b)를 통해 시트 형상물(100)의 표면 상의 에어가 흡인되어 그 시트 형상물(100)의 표면의 먼지가 제거(제진)된다.
이 경우도, 시트 형상물(100)을 안정적으로 반송하면서, 그 표면의 먼지를 제거할 수가 있으므로, 가늘고 긴 구멍(45)(토출구)으로부터 토출되는 에어를 받는 시트 형상물(100)을 안정적으로 이동시키기 때문에 제진 장치(10)의 배치 위치의 제한이 적게 된다. 그 때문에, 제진 장치가 보다 사용하기 편리한 것으로 된다.
상술한 각 제진 장치(10)는, 유리 기판이나 반도체 기판과 같은 판(板) 형상물의 제진을 행하는 시스템에 적용할 수가 있다. 예를 들면, 제진 대상물이 되는 판 형상물(150)을, 고가의 흡착 테이블에 흡착 고정하지 않고 , 도 14에 나타내듯이, 간이적인 대좌(臺座)(60)에 재치하고, 그 상태로, 판 형상물(150)의 표면에 대향하는 제진 장치(10)를 이동시킨다. 이 경우, 제진 장치(10)(제진 헤드)의 토출구(30)(36)로부터 에어를 토출할 때에 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵기 때문에, 간단하고 쉬운 대좌(60)에 재치된 판 형상물(150)의 자세를 안정적으로 유지하면서(부상을 방지하면서), 그 판 형상물(150)의 표면의 먼지를 제거할 수가 있다.
또, 예를 들면 도 15에 나타내듯이, 롤러 컨베이어(62)로 반송되는 제진 대상의 판 형상물(150)의 양면의 각각에 대향하도록 제진 장치(10)를 배치하는 것이 아니라, 판 형상물(150)의 한 면에 대향하도록 제진 장치(10)가 배치된다. 이 경우도, 제진 장치(10)(제진 헤드)의 토출구(30)(36)로부터 에어를 토출할 때에 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵기 때문에, 롤러 컨베이어(62)에 의해 반송되는 판 형상물(150)의 자세를 안정적으로 유지하면서(부상을 방지하면서), 그 판 형상물(150)의 표면(한 면)의 먼지를 제거할 수가 있다.
이와 같이, 상술한 제진 장치(10)는, 판 형상물(150)을 제진 대상물로 한 경우도, 토출구(30)(36)로부터 토출되는 에어를 받는 그 제진 대상물(판 형상물(150))을 안정적으로 상대 이동시키기 위한 구조를 간소화할 수가 있다(흡착 테이블은 아니라 간이적인 대좌(60), 롤러 컨베이어(150)와 대향하는 2개의 제진 장치는 아니라 롤러 컨베이어(150)와 1개의 제진 장치(10)). 그 결과, 상술한 제진 장치(10)는, 보다 사용하기 편리한 것으로 된다.
이상, 본 발명의 실시의 형태를 설명하였지만, 이 실시의 형태나 각 부분의 변형예는 일례로서 제시한 것으로 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 상술한 이들 신규 실시의 형태는, 그 외의 여러 가지 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 생략, 치환, 변경을 행할 수가 있다. 이들 실시의 형태나 그 변형은 발명의 범위나 요지에 포함됨과 아울러, 특허 청구의 범위에 기재된 발명에 포함된다.
본 발명과 관련되는 제진 장치는, 사용하기 편리하고, 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 그 제진 대상물의 표면 상의 기체를 흡인함으로써, 상기 제진 대상물 표면의 먼지를 제거하는 제진 장치로서 유용하다.
10 제진 장치
11 제진 헤드(head)
11a 헤드 블록(head bolck) 11b 흡인 조정 플레이트(plate)
12 급기 포트(port)
13 배기 덕트(duct) 유닛 13a 플랜지(flange)
14 배기 포트(port)
15 에어 분사실
16a 전측 에어 흡인실 16b 후측 에어 흡인실
17a 전측 흡인 조정 구멍 17b 후측 흡인 조정 구멍
21a 전측 제1 흡인구 21b 전측 제2 흡인구
22a 후측 제1 흡인구 22b 후측 제2 흡인구
30 토출구 30a 슬릿(slit)
31 도랑(groove)
32a 연결로 32b 기체 토출로
33 개구(開口)
36 토출구
36a 길이 방향 슬릿(slit) 36b 슬릿(slit)
45 가늘고 긴 구멍
46a 연결로 46b 기체 토출로
47 개구(開口)
60 대좌(臺座)
62 롤러 컨베이어(roller conveyor)
100 시트(sheet) 형상물 150 판(板) 형상물

Claims (8)

  1. 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 대향하고, 이 제진 대상물의 상대 이동의 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열된 토출구와 흡인구를 구비하고,
    상기 토출구로부터 상기 제진 대상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 제진 대상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서,
    상기 제진 대상물에 대향하는 개구로부터 상기 토출구까지 서서히 퍼지는 형상의 기체 토출로를 가지는 제진 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기체 토출구의 상기 제진 대상물의 표면에 수직인 단면은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상을 가지는 제진 장치.
  3. 상대 이동하는 제진 대상물의 표면에 대향하고, 이 제진 대상물의 상대 이동의 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열되어 뻗는 토출구와 흡인구를 구비하고,
    상기 토출구로부터 상기 제진 대상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 제진 대상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서,
    상기 토출구는, 상기 제진 대상물의 상대 이동의 방향을 횡단하는 방향으로 배열되고, 각각이 그 배열 방향을 횡단하는 방향으로 뻗는 복수의 슬릿을 포함하고,
    또한 상기 복수의 슬릿의 각각에 대해 설치되고, 상기 제진 대상물에 대향하는 개구로부터 슬릿까지 뻗는 기체 토출로를 가지고,
    상기 기체 토출로의 상기 슬릿에 수직인 단면은, 상기 개구로부터 상기 슬릿까지 서서히 퍼지는 형상을 가지는 제진 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 단면의 형상은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상인 제진 장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 제진 대상물의 상대 이동의 방향에 대해 비스듬하게 기울어져 형성된 제진 장치.
  6. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 슬릿은, 평행하게 배열된 제진 장치.
  7. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 토출구는, 상기 복수의 슬릿을 횡단하여 뻗는 슬릿을 포함하는 제진 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 제진 대상물의 상대 이동의 방향과 평행하게 뻗는 제진 장치.
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