CN116444296B - 一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法 - Google Patents
一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116444296B CN116444296B CN202310490851.8A CN202310490851A CN116444296B CN 116444296 B CN116444296 B CN 116444296B CN 202310490851 A CN202310490851 A CN 202310490851A CN 116444296 B CN116444296 B CN 116444296B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- graphite
- molten salt
- tantalum carbide
- carbide coating
- placing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 69
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 60
- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 229910003468 tantalcarbide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 36
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 title claims abstract description 35
- NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N methylidynetantalum Chemical compound [Ta]#C NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 11
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims description 5
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 4
- 238000004321 preservation Methods 0.000 claims 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 6
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- -1 salt tantalum oxide Chemical class 0.000 description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000011215 ultra-high-temperature ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5057—Carbides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
本发明公开了一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，包括以下步骤：对石墨片进行超声清洗处理，然后将熔盐和Ta2O5粉末放入研钵中搅拌均匀；将混合均匀的熔盐和Ta2O5粉末与石墨片放入密闭石墨坩埚中，然后将石墨坩埚烘干；将烘干后的石墨坩埚放入反应炉中，打开真空泵抽真空，高温条件下保温；然后通入惰性气体，高温烧结处理，处理完成后关闭电源自然冷却炉温，获得含有致密碳化钽涂层的石墨基体复合材料。本发明采用上述制备碳化钽涂层的方法，制备的碳化钽涂层化学成分和分布均匀、物相纯度高、晶体形貌好，并且碳化钽具有高熔点、高硬度和良好的抗热震性的特点，对石墨基体的力学性能和热物理性起到强化效果。
Description
技术领域
本发明涉及石墨基体上碳化钽涂层的制备技术领域，尤其是涉及一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法。
背景技术
碳基材料，特别是石墨、碳纤维和碳/碳(C/C)复合材料，由于其高比强度和比模量、更好的抗热震性和耐腐蚀性，已广泛应用于航空航天、化学工程、储能和其他领域。然而，碳基材料具有容易氧化、在高温和氧气环境下不耐氨腐蚀和划伤性差等缺点。随着科学技术的发展，碳基材料不能满足越来越严格的需求，其发展和实际应用受到了各方面的限制。为解决这一问题，采用具有高熔点、高硬度和良好抗热震性等优异力学性能和热力学性能的超高温陶瓷碳化钽引入石墨基体上，将碳基材料与碳化钽的优势相结合，实现碳基材料的强化。
发明内容
本发明的目的是提供一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，制备的碳化钽涂层化学成分和分布均匀、物相纯度高、晶体形貌好，并且碳化钽具有高熔点、高硬度和良好的抗热震性的特点，对石墨基体的力学性能和热物理性起到强化效果。
为实现上述目的，本发明提供了一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，包括以下步骤：
S1、对石墨片进行超声清洗处理，备用；
S2、将熔盐和Ta2O5粉末按照配比称量好后，放入研钵中搅拌均匀；
S3、将混合均匀的熔盐和Ta2O5粉末与石墨片一同放入密闭石墨坩埚中，然后将石墨坩埚在30℃-60℃条件下烘干12h；
S4、将烘干后的石墨坩埚放入真空碳管炉或管式炉中，打开真空泵抽真空至100±50Pa，高温条件下保温0.5h；
S5、然后通入惰性气体作为保护气体，高温烧结处理，处理完成后关闭电源自然冷却炉温，获得含有致密碳化钽涂层的石墨基体复合材料。
优选的，所述步骤S2中熔盐的成分包括NaCl、KCl和NaF，Ta2O5粉末与熔盐各成分的重量比为Ta2O5：NaCl：KCl：NaF＝(1-2)：(3-5)：(3-5)：(0.5-1)。
优选的，所述步骤S4中保温条件为以10℃/min的升温速率升温至400℃后保温0.5h。
优选的，所述步骤S5中通入惰性气体使真空碳管炉或管式炉中至微正压。
优选的，所述步骤S5中烧结条件为以10℃/min的升温速率烧结处理，烧结时间为2-6h。
优选的，所述烧结温度为1200℃-1400℃。
本发明所述的一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法的优点和积极效果是：
1、利用熔盐氧化钽在熔盐中的溶解性，使之在原子尺度上与石墨基体发生氧化还原反应，进而形成碳化钽涂层；与传统的化学气相沉积方法相比，由于反应存在液相，所以形成的碳化钽涂层化学成分和分布均匀、物相纯度高、晶体形貌好。
2、由于在石墨基体上获得了具有一定厚度且分布均匀的碳化钽涂层，借助碳化钽具有高熔点、高硬度和良好抗热震性等特点，可以对石墨基体的力学性能和热物理性能起到强化效果。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本发明的实验过程流程图；
图2为本发明实施例1中碳化钽涂层的扫描电镜照片；
图3为本发明实施例2中碳化钽涂层的扫描电镜照片；
图4为本发明实施例3中碳化钽涂层的扫描电镜照片；
图5为本发明实施例1的XRD衍射图谱；
图6为本发明实施例1、实施例2、实施例3的涂层厚度图。
具体实施方式
以下通过附图和实施例对本发明的技术方案作进一步说明。
图1为本发明的实验过程流程图。一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，包括以下步骤：
实施例1
S1、对石墨片进行超声清洗处理，备用；
S2、将熔盐和Ta2O5粉末按照配比称量好后，放入研钵中搅拌均匀；Ta2O5粉末与熔盐各成分的重量比为Ta2O5：NaCl：KCl：NaF＝1：3：3：0.5，可以根据具体实验要求进行调整；
S3、将混合均匀的熔盐和Ta2O5粉末与石墨片一同放入密闭石墨坩埚中，然后将石墨坩埚在60℃条件下烘干12h；
S4、将烘干后的石墨坩埚放入真空碳管炉或管式炉中，打开真空泵抽真空至100±50Pa，然后以10℃/min的升温速率升温至400℃后保温0.5h，去除水蒸气；
S5、然后通入惰性气体Ar气作为保护气体，使炉内气压至微正压，降低石墨坩埚中熔盐气体的压力，然后以10℃/min的升温速率升温至1300℃烧结处理，烧结时间为4h；处理完成后关闭电源自然冷却炉温，获得含有致密碳化钽涂层的石墨基体复合材料。
实施例2
S1、对石墨片进行超声清洗处理，备用；
S2、将熔盐和Ta2O5粉末按照配比称量好后，放入研钵中搅拌均匀；Ta2O5粉末与熔盐各成分的重量比为Ta2O5：NaCl：KCl：NaF＝1：3：3：0.5，可以根据具体实验要求进行调整；
S3、将混合均匀的熔盐和Ta2O5粉末与石墨片一同放入密闭石墨坩埚中，然后将石墨坩埚在60℃条件下烘干12h；
S4、将烘干后的石墨坩埚放入真空碳管炉或管式炉中，打开真空泵抽真空至100±50Pa，然后以10℃/min的升温速率升温至400℃后保温0.5h，去除水蒸气；
S5、然后通入惰性气体Ar气作为保护气体，使炉内气压至微正压，降低石墨坩埚中熔盐气体的压力，然后以10℃/min的升温速率升温至1350℃烧结处理，烧结时间为2h；处理完成后关闭电源自然冷却炉温，获得含有致密碳化钽涂层的石墨基体复合材料。
实施例3
S1、对石墨片进行超声清洗处理，备用；
S2、将熔盐和Ta2O5粉末按照配比称量好后，放入研钵中搅拌均匀；Ta2O5粉末与熔盐中各成分的重量比为Ta2O5：NaCl：KCl：NaF＝1：3：3：0.5，可以根据具体实验要求进行调整；
S3、将混合均匀的熔盐和Ta2O5粉末与石墨片一同放入密闭石墨坩埚中，然后将石墨坩埚在30℃条件下烘干12h；
S4、将烘干后的石墨坩埚放入真空碳管炉或管式炉中，打开真空泵抽真空至100±50Pa，然后以10℃/min的升温速率升温至400℃后保温0.5h，去除水蒸气；
S5、然后通入惰性气体Ar气作为保护气体，使炉内气压至微正压，降低石墨坩埚中熔盐气体的压力，然后以10℃/min的升温速率升温至1300℃烧结处理，烧结时间为2h；处理完成后关闭电源自然冷却炉温，获得含有致密碳化钽涂层的石墨基体复合材料。
对实施例1、实施例2和实施例3所得的样品进行扫描电镜分析和X射线衍射分析，并对涂层厚度进行测量。实施例1、实施例2和实施例3所对应的烧结参数如表1所示。
表1实施例1、实施例2和实施例3所对应的烧结参数
| 实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | |
| 烧结温度 | 1300℃ | 1350℃ | 1300℃ |
| 烧结时间 | 4h | 2h | 2h |
图2、图3、图4分别为实施例1、2、3中碳化钽涂层的扫描电镜图。图6为本发明实施例1、实施例2、实施例3的涂层厚度图，其中(a)为实施例1的涂层厚度图，(b)为实施例2的涂层厚度图，(c)为实施例3的涂层厚度图。经测量得到实施例1、实施例2、实施例3的涂层厚度数据如表2所示：
表2实施例1、实施例2和实施例3所得的样品的涂层的厚度
| 实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | |
| 厚度/μm | 28.69 | 10.07 | 11.56 |
由表2和图6可知，在将反应时间从2h提高到4h后，涂层的厚度大大增加，但将温度从1300℃提高到1350℃后厚度反而降低。可见在合适的温度下，适当提高反应时间会使涂层增厚，而涂层的制备需要合适的温度，超过这一温度，涂层厚度反而降低。
图5为实施例1的XRD衍射图谱。如图5所示，实施例1所得的TaC涂层的X射线衍射图谱上衍射主峰来源于TaC，并且在主峰边上具有分峰，经jade6.5软件分析后得出分峰为Kα2衍射峰。这说明TaC涂层具有单相结构并且具有较好的结晶度。
因此，本发明采用上述制备碳化钽涂层的方法，制备的碳化钽涂层化学成分和分布均匀、物相纯度高、晶体形貌好，并且碳化钽具有高熔点、高硬度和良好的抗热震性的特点，对石墨基体的力学性能和热物理性起到强化效果。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明技术方案的精神和范围。
Claims (4)
1.一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、对石墨片进行超声清洗处理，备用；
S2、将熔盐和Ta2O5粉末按照配比称量好后，放入研钵中搅拌均匀；
S3、将混合均匀的熔盐和Ta2O5粉末与石墨片一同放入密闭石墨坩埚中，然后将石墨坩埚在30℃-60℃条件下烘干12h；
S4、将烘干后的石墨坩埚放入真空碳管炉或管式炉中，打开真空泵抽真空至100±50Pa，高温条件下保温0.5h；
S5、然后通入惰性气体作为保护气体，1300℃烧结4h，烧结完成后关闭电源自然冷却炉温，获得含有致密碳化钽涂层的石墨基体复合材料；
所述步骤S2中熔盐的成分包括NaCl、KCl和NaF，Ta2O5粉末与熔盐各成分的重量比为Ta2O5：NaCl：KCl：NaF＝1：3：3：0.5。
2.根据权利要求1所述的一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，其特征在于：所述步骤S4中保温条件为以10℃/min的升温速率升温至400℃后保温0.5h。
3.根据权利要求1所述的一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，其特征在于：所述步骤S5中通入惰性气体使真空碳管炉或管式炉中至微正压。
4.根据权利要求1所述的一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法，其特征在于：所述步骤S5中烧结条件为以10℃/min的升温速率烧结处理。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310490851.8A CN116444296B (zh) | 2023-05-04 | 2023-05-04 | 一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310490851.8A CN116444296B (zh) | 2023-05-04 | 2023-05-04 | 一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116444296A CN116444296A (zh) | 2023-07-18 |
| CN116444296B true CN116444296B (zh) | 2024-02-02 |
Family
ID=87130152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202310490851.8A Active CN116444296B (zh) | 2023-05-04 | 2023-05-04 | 一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116444296B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117185838A (zh) * | 2023-11-01 | 2023-12-08 | 广州志橙半导体有限公司 | 半导体生长的碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 |
| CN117534507A (zh) * | 2023-11-28 | 2024-02-09 | 苏州清研半导体科技有限公司 | 一种含钽化合物涂层的制备方法 |
| CN117645503B (zh) * | 2024-01-29 | 2024-04-09 | 中南大学 | 一种在石墨表面制备厚度可控碳化钽涂层的方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5332601A (en) * | 1992-12-10 | 1994-07-26 | The United States As Represented By The United States Department Of Energy | Method of fabricating silicon carbide coatings on graphite surfaces |
| WO2006085635A1 (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-17 | Toyo Tanso Co., Ltd. | 炭化タンタル被覆炭素材料およびその製造方法 |
| CN105502398A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-04-20 | 郑州大学 | 一种熔盐辅助镁热还原合成碳化钽超细粉体的方法 |
| US9340429B1 (en) * | 2014-11-25 | 2016-05-17 | National Tsing Hua University | Preparation method for graphitizing carbon material |
| JP6849779B1 (ja) * | 2019-12-06 | 2021-03-31 | 國家中山科學研究院 | グラファイト基材上に炭化タンタルを形成する方法 |
| CN112794734A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-05-14 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种多元金属碳化物改性的碳基材料及其制备方法 |
| CN113122918A (zh) * | 2021-04-12 | 2021-07-16 | 中南林业科技大学 | 一种用于第三代半导体晶体生长的TaC涂层坩埚及制备方法 |
| CN113149713A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-07-23 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种在碳基材料表面制备难熔金属碳化物涂层的方法 |
| CN115198253A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-10-18 | 苏州步科斯新材料科技有限公司 | 一种石墨基体表面碳化钽涂层的制备方法 |
| CN115322013A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-11-11 | 浙江大学杭州国际科创中心 | 一种在石墨器件表面制备金属碳化物涂层的方法 |
-
2023
- 2023-05-04 CN CN202310490851.8A patent/CN116444296B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5332601A (en) * | 1992-12-10 | 1994-07-26 | The United States As Represented By The United States Department Of Energy | Method of fabricating silicon carbide coatings on graphite surfaces |
| WO2006085635A1 (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-17 | Toyo Tanso Co., Ltd. | 炭化タンタル被覆炭素材料およびその製造方法 |
| US9340429B1 (en) * | 2014-11-25 | 2016-05-17 | National Tsing Hua University | Preparation method for graphitizing carbon material |
| CN105502398A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-04-20 | 郑州大学 | 一种熔盐辅助镁热还原合成碳化钽超细粉体的方法 |
| JP6849779B1 (ja) * | 2019-12-06 | 2021-03-31 | 國家中山科學研究院 | グラファイト基材上に炭化タンタルを形成する方法 |
| CN113122918A (zh) * | 2021-04-12 | 2021-07-16 | 中南林业科技大学 | 一种用于第三代半导体晶体生长的TaC涂层坩埚及制备方法 |
| CN112794734A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-05-14 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种多元金属碳化物改性的碳基材料及其制备方法 |
| CN113149713A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-07-23 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种在碳基材料表面制备难熔金属碳化物涂层的方法 |
| CN115198253A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-10-18 | 苏州步科斯新材料科技有限公司 | 一种石墨基体表面碳化钽涂层的制备方法 |
| CN115322013A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-11-11 | 浙江大学杭州国际科创中心 | 一种在石墨器件表面制备金属碳化物涂层的方法 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| Molten salt synthesis of continuous tungsten carbide coatings on graphite flakes;Kuo Zhang等;《Ceramics International》;第43卷(第11期);第8089-8097页 * |
| 基于碳化钽涂层改性碳基材料的研究进展;刘兴亮等;《新型炭材料》;第36卷(第6期);第1049-1061页 * |
| 熔盐辅助碳热还原法合成碳化钽粉体;闫帅等;《人工晶体学报》;第45卷(第10期);第2383-2388页 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116444296A (zh) | 2023-07-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN116444296B (zh) | 一种利用熔盐法在石墨基体上制备碳化钽涂层的方法 | |
| CN103387422A (zh) | 在炭材料表面制备碳化硅/二硅化钼复合涂层的方法 | |
| CN112875704B (zh) | 一种难熔金属碳化物固溶体粉末的低温制备方法 | |
| CN110407213B (zh) | 一种(Ta, Nb, Ti, V)C高熵碳化物纳米粉体及其制备方法 | |
| CN112341233A (zh) | 多元单相超高温陶瓷TaxHf1-xC改性碳/碳复合材料的制备方法 | |
| CN112853260B (zh) | 一种粉末包埋渗涂层的制备方法 | |
| CN100546940C (zh) | 一种制备氮化铝/石墨叠层复合陶瓷材料的方法 | |
| CN106631161B (zh) | 一种在碳基材料表面制备抗高温氧化复合涂层的方法 | |
| CN113652644B (zh) | 一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法 | |
| CN113278858B (zh) | 一种Y2(Zr)O3增硬增韧WC-Co硬质合金材料及其制备方法 | |
| CN111235518A (zh) | 一种高温氟化处理提高钛基合金抗高温氧化性能的方法 | |
| CN104987134B (zh) | 一种在陶瓷表面利用原位还原法制备镍涂层的方法 | |
| CN112592183B (zh) | 一种Zr-Al-C系MAX相陶瓷粉体制品的制备方法 | |
| CN112299882B (zh) | 一种碳材料表面HfC基三元碳化物梯度涂层的原位制备方法 | |
| CN111485156A (zh) | 一种抗磨碳化钨合金材料的制备方法 | |
| CN116462517B (zh) | 一种利用熔盐法在石墨基体上制备氮化硅涂层的方法 | |
| CN105503270B (zh) | 一种SiC涂层的制备方法 | |
| CN111410560A (zh) | 一种高致密SiC涂层的硅化石墨制备方法 | |
| CN112359298A (zh) | 一种高韧性粗晶硬质合金及其制备方法 | |
| CN114890423B (zh) | 一种低温合成碳化钛/碳的方法 | |
| CN106893914B (zh) | 一种TiC0.7N0.3-HfB2超硬材料及制备方法 | |
| CN107551315B (zh) | 多孔钛材料的制备方法 | |
| CN107434435B (zh) | 一种石墨搪瓷材料及其制作方法 | |
| Varaksin et al. | Method for Synthesizing a High-Entropy Carbide in an Ionic Melt | |
| CN115747941A (zh) | 一种TiN晶须的生产方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |