CN116100398A - 一种抛光装置 - Google Patents

Abstract

本说明书实施例提供一种抛光装置，涉及磨削技术领域，抛光装置包括：夹具，用于吸附工件；驱动机构，用于驱动夹具移动；抛光盘，用于抛光工件；其中，所述夹具的吸附面设置有多个第一孔，所述夹具通过多个所述第一孔向所述工件提供负压。该抛光装置可提高超薄玻璃的抛光效率，并减少超薄玻璃抛光时的损伤。

Description

一种抛光装置

分案说明

本申请是针对申请日为2022年09月27日、申请号为202211179299.2、发明名称为“一种抛光装置”的中国申请提出的分案申请。

技术领域

本说明书涉及磨削技术领域，特别涉及一种超薄玻璃抛光装置。

背景技术

随着科技迅速发展，人们日常使用的一些光电产品越来越向轻薄化、轻量化发展，超薄玻璃因其良好的热稳定性、化学稳定性和光学性能等优良特性，成为一种重要的基础材料。超薄玻璃属于脆性材料，由于其厚度很低，在切削和抛光等精密加工过程中极易破碎。因此，如何实现超薄玻璃表面的精密抛光是业内广泛关注的问题，有必要提供一种高效安全的抛光装置，提高超薄玻璃的抛光效率，并减少超薄玻璃损伤。

发明内容

本说明书实施例之一提供一种抛光装置，包括：夹具，用于吸附工件；驱动机构，用于驱动所述夹具移动；抛光盘，用于抛光所述工件；其中，所述抛光盘包括基座、第一弹性层和第二弹性层，所述第一弹性层设置于所述基座与所述第二弹性层之间，所述第一弹性层的弹性模量小于所述第二弹性层的弹性模量。

在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量与所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围为11:17～1:2。

在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为35MPa～55MPa。

在一些实施例中，所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为70MPa～85MPa。

在一些实施例中，所述第一弹性层的厚度取值范围为15mm～25mm时，所述第一弹性层的弹性模量取值范围为35MPa～55MPa。

在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量小于沿平行于抛光面的方向的弹性模量。

在一些实施例中，所述第二弹性层包括纤维结构，所述纤维结构能够沿平行于抛光面的方向伸展。

在一些实施例中，所述夹具包括一个或多个第一孔，通过所述一个或多个第一孔向所述夹具提供吸附所述工件的负压。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔的孔径范围为0.3mm～1mm。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔的孔径与所述工件的厚度的比值的取值范围为3:1～4:1。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔在所述夹具的吸附面上均匀分布，相邻的所述第一孔之间的间距的取值范围为2mm～3.5mm。

在一些实施例中，所述一个或多个第一孔中的至少一个包括柔性膜，所述柔性膜覆盖所述一个或多个第一孔中的至少一个的吸附端。

在一些实施例中，所述夹具还包括气体接口，所述一个或多个第一孔与所述气体接口连通。

在一些实施例中，所述夹具还包括一个或多个第二孔和存气腔，所述一个或多个第二孔与所述存气腔的一端连通，所述存气腔的另一端与所述气体接口连通；所述存气腔中设置有气量调节结构。

在一些实施例中，所述气量调节结构包括活塞以及连接所述活塞的弹性件，所述弹性件处于初始状态时，所述活塞与所述存气腔中连通所述气体接口的一端之间具有预设距离。

在一些实施例中，所述预设距离不小于所述存气腔长度的一半。

在一些实施例中，所述一个或多个第二孔在所述夹具的吸附面上均匀分布。

在一些实施例中，所述夹具包括一个或多个阀门，所述一个或多个阀门控制所述气体接口的开闭。

在一些实施例中，所述阀门的数量包括两个。

在一些实施例中，所述抛光装置还包括抛光液过滤网。

本说明书实施例可能带来的有益效果包括但不限于：(1)抛光盘的基座和第二弹性层之间增设第一弹性层，且第一弹性层的弹性模量小于第二弹性层的弹性模量，第一弹性层比第二弹性层更易发生形变，抛光时第二弹性层整体产生形变而不会产生局部形变位移，可以避免工件与第二弹性层单独发生剐蹭。(2)夹具的吸附面设置多个第一孔，并合理设置相邻第一孔之间的间距，使得夹具在吸附工件时，可以提供均匀恒定的吸附力，从而避免工件破损。(3)夹具的吸附面还设置多个第二孔，通过气量调节结构排出存气腔内气体，可以提供释放工件的正压，可以实现工件自动释放。

附图说明

本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：

图1是根据本说明书一些实施例所示的示例性抛光装置的结构示意图；

图2是根据图1所示的示例性抛装置的部分结构示意图；

图3是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具、抛光盘、驱动结构的结构示意图；

图4是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具的结构示意图；

图5是根据图4所示的示例性夹具的A-A面的剖视结构图；

图6是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具的局部结构示意图；

图7是根据本说明书另一些实施例所示的示例性夹具的结构示意图。

附图标记：

1000为抛光装置，100为夹具，110为吸附板，111为第一孔，112为第二孔，120为基板，121为凸块，130为气体接口，131为气道，140为阀门，141为安装板，150为工件，160为存气腔，170为气量调节结构，171为活塞，172为弹性件；

200为抛光盘，210为基座，220为第一弹性层，230为第二弹性层；

300为驱动机构，310为抛光臂，320为电机，330为气缸；

400为机架，410为工作台，420为操作面板。

具体实施方式

为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本说明书应用于其它类似情景。

如本说明书和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。

本说明书中所述实施例仅用以说明本说明书实施例的原则。其他的变形也可能属于本说明书的范围。因此，作为示例而非限制，本说明书实施例的替代配置可视为与本说明书的教导一致。相应地，本说明书的实施例不仅限于本说明书明确介绍和描述的实施例。

超薄玻璃(直径与厚度比大于10的玻璃)在抛光工艺中存在诸多挑战。一方面，超薄玻璃由于厚度很薄，在研磨和抛光时往往通过上盘(即，将待加工的玻璃固定于盘状工位)而实现固定。但是，上盘通常工序复杂、耗时长，导致抛光效率很低，而且，上盘和拆卸过程中极易造成超薄玻璃损坏。另一方面，在研磨和抛光的时候，超薄玻璃需要和抛光盘非常贴合，由于超薄玻璃平面度不足，故一般采用弹性较好的毛毡做抛光盘，以提高抛光盘与玻璃的贴合度。但是，在抛光过程中，夹具带动超薄玻璃移动时玻璃可能会与毛毡发生剐蹭，导致超薄玻璃与夹具脱离，造成玻璃损坏或安全事故。

为了实现安全夹持超薄玻璃并对其进行高效抛光，本说明书实施例提出一种超薄玻璃的抛光装置，夹具通过真空吸附超薄玻璃，可以稳固夹持超薄玻璃，减少超薄玻璃损伤，并且可以实现超薄玻璃的快速上料和下料，提高抛光效率。进一步地，抛光盘包括依次层叠的基座、第一弹性层和第二弹性层，且第一弹性层的弹性模量小于第二弹性层的弹性模量。基座和第二弹性层之间设置弹性模量较小的第一弹性层，第一弹性层比第二弹性层更易发生形变，在夹具带动超薄玻璃移动进行抛光过程中，第一弹性层比第二弹性层先发生形变位移，第二弹性层整体随着第一弹性层产生形变，第二弹性层不会产生局部形变位移，可以避免玻璃与第二弹性层单独发生剐蹭。

以下将结合图1～图7对本说明书实施例所涉及的抛光装置进行详细说明。值得注意的是，以下实施例仅用以解释本说明书，并不构成对本说明书的限定。

图1是根据本说明书一些实施例所示的示例性抛光装置的结构示意图；图2是根据图1所示的示例性抛光装置的部分结构示意图；图3是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具、抛光盘、驱动结构的结构示意图。在一些实施例中，如图1所示，抛光装置1000可以包括夹具100、抛光盘200和驱动机构300，夹具100可以用于固定工件150，驱动机构300可以驱动夹具100移动，在夹具100带动工件150移动过程中，工件与抛光盘200相贴合摩擦，使得抛光盘200对工件150进行抛光。其中，工件可以指待加工的零件，例如，可以包括超薄玻璃等。在一些实施例中，超薄玻璃的厚度可以为0.3mm～0.06mm。

在一些实施例中，如图3所示，抛光盘200可以包括基座210、第一弹性层220和第二弹性层230，第一弹性层220设置于基座210与第二弹性层230之间，第一弹性层220的弹性模量小于第二弹性层230的弹性模量。在夹具100带动工件150移动进行抛光过程中，通过弹性模量较大的第二弹性层230与工件150贴合进行抛光，而第一弹性层220的弹性模量较小，第一弹性层220比第二弹性层230更易发生形变，工件150与抛光盘200相对移动抛光时，第一弹性层220比第二弹性层230先发生形变位移，第二弹性层230整体随着第一弹性层220产生形变，第二弹性层230不会产生局部形变位移，从而避免工件150与第二弹性层230单独发生剐蹭。

在一些抛光装置中，驱动机构驱动工件移动时，由于扭矩不恒定，可能导致抛光过程中对工件的压力不恒定，易使工件与抛光盘的毛毡发生剐蹭。在一些实施例中，图2、图3所示，驱动机构300可以包括抛光臂310、电机320、气缸330，抛光臂310的远端可以与夹具100固定安装，电机320和气缸330用于驱动抛光臂310移动，电机320和气缸330结合可以使得输出扭矩恒定，从而驱动抛光臂310带动夹具100平稳移动。在一些实施例中，抛光臂310可以设置中空结构，抛光臂310的中空结构一端连接真空设备，另一端与夹具100连接，通过真空设备控制夹具100的吸气和排气，从而吸附和释放工件150。

在一些实施例中，如图1、图2所示，抛光装置1000可以包括机架400，机架400可以包括工作台410和操作面板420，夹具100、抛光盘200和驱动机构300可以设置于工作台410上。在一些实施例中，工作台410上可以设置至少两个夹具100、至少两个抛光盘200和至少两个驱动机构300，一个夹具100、一个抛光盘200和一个驱动机构300可以配合组成一组抛光机组。在一些实施例中，如图1、图2所示，抛光装置1000可以包括四个夹具100、四个抛光盘200和四个驱动机构300，包括四组抛光机组，可以实现批量抛光加工。在一些实施例中，夹具100、抛光盘200和驱动机构300可以数量相等并一一对应。在一些实施例中，夹具100与驱动机构300可以数量相等并一一对应，抛光盘200的数量可以小于或等于夹具100的数量，在上一个工件抛光完成转移卸料过程中，下一个工件可以在该抛光盘200上进行抛光。在一些实施例中，夹具100的吸附面可以同时吸附两个以上的工件150，以实现批量加工。

在一些实施例中，第一弹性层220与第二弹性层230相对固定，第二弹性层230全覆盖第一弹性层220。第一弹性层220的弹性模量也不能太小，若第一弹性层220的弹性模量太小，第一弹性层220的刚度太小(即，第一弹性层太柔软)，抛光过程中第一弹性层220的变形量过大，可能导致第一弹性层220与第二弹性层230之间相对移动，使得第二弹性层230不能跟随第一弹性层220而发生形变(即，第二弹性层可能独立发生形变)，导致第二弹性层230不能作为整体发生形变，进而导致第二弹性层230单独与工件150发生剐蹭。因此，第一弹性层220的弹性模量与第二弹性层230的弹性模量的比值需要满足一定范围。

在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量(即纵向的弹性模量，或称杨氏模量)与第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围可以为11:15～11:25。在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量与第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围可以为11:17～1:2。在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量与第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围可以为11:18～11:21。在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量与第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围可以为11:19～11:20。

在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为30MPa～50MPa。在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为35MPa～55MPa。在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为40MPa～50MPa。在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为43MPa～48MPa。

在一些实施例中，第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为65MPa～90MPa。在一些实施例中，第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为70MPa～85MPa。在一些实施例中，第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为65MPa～80MPa。在一些实施例中，第二弹性层230沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围可以为70MPa～75MPa。

第一弹性层220的弹性模量与第一弹性层220的厚度相关。在一些实施例中，第一弹性层220的厚度越大，第一弹性层220的弹性模量可以越小；第一弹性层220的厚度越薄，第一弹性层220的弹性模量需要越大。在一些实施例中，第一弹性层220的厚度取值范围为15mm～25mm时，第一弹性层220的弹性模量取值范围为30MPa～60MPa。在一些实施例中，第一弹性层220的厚度取值范围为15mm～25mm时，第一弹性层220的弹性模量取值范围为35MPa～55MPa。在一些实施例中，第一弹性层220的厚度取值范围为15mm～25mm时，第一弹性层220的弹性模量取值范围为40MPa～50MPa。在一些实施例中，第一弹性层220的厚度取值范围为18mm～22mm时，第一弹性层220的弹性模量取值范围为35MPa～55MPa。在一些实施例中，第一弹性层220的厚度取值范围为18mm～22mm时，第一弹性层220的弹性模量取值范围为40MPa～50MPa。

在一些实施例中，第一弹性层220沿垂直于抛光面的方向的弹性模量小于沿平行于抛光面的方向的弹性模量，工件与抛光盘200摩擦时，第一弹性层220容易沿垂直于抛光面的方向变形。在一些实施例中，第一弹性层220可以由EVA泡沫等弹性材料制成。在一些实施例中，第一弹性层220的厚度范围可以为15mm～25mm。

在一些实施例中，第二弹性层230包括纤维结构，纤维结构能够沿平行于抛光面的方向伸展。在一些实施例中，第二弹性层230可以为毛毡层，毛毡层可以具有较好的耐磨性能。在一些实施例中，毛毡层可以采用天然纤维(例如，牛毛、羊毛等)或人造纤维(例如，涤纶、丙纶、粘胶等)制成。在一些实施例中，毛毡层的厚度范围可以为1～1.5mm。

在一些实施例中，抛光装置可以利用真空吸附类夹具固定工件，夹具的吸附面设置气孔，抽真空装置通过气孔提供吸附工件的负压。在一些实施例中，真空吸附类夹具的气孔设置于吸附面的中心区域，真空吸附的时候，气孔位置与气孔外围的气压存在较大差异，导致吸附力不均衡，对于超薄玻璃等脆薄类工件，由于各处吸附力的不同，会导致加工时工件碎裂。为此，本说明一些实施例提出了一种更适于夹持超薄工件的夹具。

图4是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具的结构示意图；图5是根据图4所示的示例性夹具的A-A面的剖视结构图。在一些实施例中，如图4、图5所示，夹具100可以包括基板120和吸附板110，基板120可以用于装配机械构件，吸附板110设置于基板120表层。夹具100吸附夹持工件150时，吸附板110与工件150贴合，吸附板110可以设置多个第一孔111，通过多个第一孔111可以向夹具100提供用于吸附工件150的负压。在一些实施例中，基板120材质可以选用重量较轻且不易变形，能满足机械构件装配要求的材料，例如，基板120的材质可以为铝合金材质。在一些实施例中，吸附板110可以选用非金属材料，非金属材料自身变形量较小，对抛光后的产品也不易造成划伤影响，例如，吸附板110的材质可以为特氟龙材料。

在一些实施例中，第一孔111可以在夹具100的吸附板110的吸附面上均匀分布，相邻的第一孔111之间的间距的取值范围可以为2mm～3.5mm。在一些实施例中，相邻的第一孔111之间的间距的取值范围可以为1.5mm～3.0mm。在一些实施例中，相邻的第一孔111之间的间距的取值范围可以为2.0mm～2.5mm。第一孔111均匀分布于吸附面，并合理设置相邻的第一孔111之间的间距，使得夹具100在吸附工件150时，可以提供均匀恒定的吸附力，从而避免工件150破损。

在一些实施例中，第一孔111的孔径范围可以为0.2mm～1.2mm。在一些实施例中，第一孔111的孔径范围可以为0.3mm～1mm。在一些实施例中，第一孔111的孔径范围可以为0.4mm～0.9mm。在一些实施例中，第一孔111的孔径范围可以为0.5mm～0.8mm。在一些实施例中，第一孔111的孔径范围可以为0.6mm～0.7mm。

第一孔111的孔径与工件150的厚度相关，工件150的厚度越薄，第一孔111的孔径可以设置得越小，以减小单个第一孔111内抽真空的负压，从而避免工件150局部吸附力过大而造成破损。在一些实施例中，第一孔111的孔径与工件150的厚度的比值的取值范围可以为3:1～4:1。在一些实施例中，第一孔111的孔径与工件150的厚度的比值的取值范围可以为3:1～7:2。在一些实施例中，第一孔111的孔径与工件150的厚度的比值的取值范围可以为3:1～10:3。

在一些实施例中，至少一个第一孔111设置有柔性膜(附图未视出)，柔性膜覆盖于第一孔111的吸附端。在一些实施例中，柔性膜可以是一层柔软透气的薄膜。当工件150被第一孔111吸附时，柔性膜可以增大工件150与第一孔111的吸附端的接触面，使得吸附力分散，并在第一孔111的孔洞位置为工件150提供支撑，避免工件150在第一孔111的孔洞位置产生较大变形，进一步减小工件150破损风险。

在一些实施例中，抽真空时，柔性膜可以贴合覆盖第一孔111的吸附端，工件150贴合于柔性膜，第一孔111内的吸附压力通过柔性膜均匀地传递至工件150。与第一孔111直接抽吸工件150的吸附方式相比，柔性膜还可以增大吸附工件150时的支撑面，从而进一步避免工件150破损。在一些实施例中，充气释放工件150时，第一孔111内的正压气流通过柔性膜均匀地吹排至工件150，可以避免强大气流急速施加于工件150，导致工件150局部受力过大而破损。

在一些实施例中，柔性膜可以采用透气膜，例如，柔性膜可以包括EPTFE(聚四氟乙烯)薄膜、PE(聚乙烯)薄膜、TPU(热可塑性聚氨酯)薄膜等。在一些实施例中，柔性膜可以开设多个小孔径的透气孔，各透气孔均匀分布。在一些实施例中，柔性膜的透气孔的孔径远小于第一孔111的孔径。在一些实施例中，透气孔的孔径与第一孔111的孔径的比值范围可以为1:10～1:50。在一些实施例中，透气孔的孔径与第一孔111的孔径的比值范围可以为1:20～1:40。在一些实施例中，透气孔的孔径与第一孔111的孔径的比值范围可以为1:25～1:35。

在一些实施例中，柔性膜可以是多个小尺寸的薄膜，一个柔性膜覆盖一个第一孔111，每个柔性膜的形状和尺寸可以与每个第一孔111的形状和尺寸匹配。在一些实施例中，柔性膜边缘可以固定于第一孔111边缘，从而使得柔性膜覆盖第一孔111的吸附端。例如，柔性膜边缘可以粘贴固定于第一孔111边缘。在一些实施例中，柔性膜可以覆盖一片区域内的多个第一孔111。在一些实施例中，柔性膜可以覆盖整个吸附面。在一些实施例中，覆盖一片区域的柔性膜的边缘可以固定于吸附面，例如，粘贴于吸附面。在一些实施例中，覆盖一片区域的柔性膜在位于每个第一孔111的位置可以与第一孔111的边缘固定。

在一些实施例中，如图4、图5所示，夹具100还可以包括气体接口130，各第一孔111与气体接口130连通。在应用中，气体接口130可以连通真空装置，真空装置通过气体接口130抽真空时，可以在每个第一孔111形成负压，多个第一孔111可以使得吸附力均匀分布。在一些实施例中，如图5所示，基板120内可以设置至少一根气道131，吸附板110可以贯通设置多个第一孔111，第一孔111可以通过气道131与气体接口130连通。在一些实施例中，如图5所示，基板120内可以设置两根气道131，可以通过其中一根气道131进行抽气吸附工件和充气释放工件，在抛光过程中可以通过另一根气道131保持吸附压力以固定工件。在一些实施例中，基板120内也可以设置一根气道131，可以通过这根气道131进行抽气吸附工件，抛光完成后又通过这根气道131充气释放工件。

在一些实施例中，基板120与吸附板110之间可以设置气流通道，抽真空时，气体从多个第一孔111进入，经过气流通道后汇聚于基板120上的气道131，最后经气体接口130被真空装置抽走，从而在各第一孔111内形成负压。图6是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具的局部结构示意图。在一些实施例中，如图5、图6所示，基板120与吸附板110接触的面可以设置多个凸块121，使得基板120与吸附板110之间形成供气体流通的间隙。在一些实施例中，气流通道也可以通过其他形式设置，只要能连通第一孔111与气道131即可。

图7是根据本说明书另一些实施例所示的示例性夹具的结构示意图。在一些实施例中，如图7所示，夹具100还可以包括多个第二孔112和存气腔160，多个第二孔112与存气腔160的一端连通，存气腔160的另一端与气体接口130连通；存气腔160中设置有气量调节结构170，气量调节结构170可以用于调节存气腔160的容积。在一些实施例中，当通过气体接口130抽真空时，与气体接口130连通的存气腔160内气体也被抽走，气量调节结构170可以收缩；当停止抽真空时，气量调节结构170可以扩大，将存气腔160内储存的气体自动挤出，从而在第二孔112内产生能够释放工件的正压。

在一些实施例中，如图7所示，气量调节结构170可以包括活塞171以及连接活塞的弹性件172，弹性件172处于初始状态时，活塞171与存气腔160中连通气体接口130的一端之间具有预设距离。活塞171在存气腔160内具有预设距离的移动行程，使得活塞171移动后可以将预设体积的气体吸入和排出存气腔160，其中，预设体积的气体能够产生足以释放工件的正压。在一些实施例中，当抽真空吸附工件时，弹性件172被拉伸，活塞171移动至存气腔160中连通气体接口130的一端，此时，一定量的气体被抽吸入存气腔160。进一步地，当需要释放工件时，停止抽真空，弹性件172恢复初始状态，活塞171移动至初始位置，将存气腔160内部分气体挤出，在第二孔112内形成正压，从而将工件自动释放。

预设距离可以根据存气腔160的内腔的横截面积设定，只要活塞171回复至初始位置，挤出预设体积的气体量(预设体积＝预设距离×内腔的横截面积)，能够释放工件即可。例如，若存气腔160的内腔的横截面积较小，则需要设置较大的预设距离，以确保活塞171回复至初始位置时可以排出预设体积的气体。又例如，若存气腔160的内腔的横截面积较大，则可以设置较小的预设距离，即可排出预设体积的气体。在一些实施例中，预设距离不小于存气腔160长度的一半。

在一些实施例中，多个第二孔112在夹具100的吸附面上均匀分布，均匀分布的多个第二孔112可以产生均匀的释放正压，可以避免工件局部受力过大而破损。在一些实施例中，相邻第二孔112的间距可以根据工件的厚度设定。例如，若工件的厚度较薄，为了避免单个第二孔112内的正压过大，相邻第二孔112的间距可以设置得较小。又例如，若工件的厚度较厚，相邻第二孔112的间距则可以设置得较大。在一些实施例中，相邻第二孔112的间距可以参照相邻第一孔111的间距设置。在一些实施例中，相邻第二孔112的间距可以大于或等于相邻第一孔111的间距。

在一些实施例中，第二孔112的出口端也可以设置柔性膜，排气释放工件150时，存气腔160内的气流通过柔性膜均匀地吹排至工件150，可以避免气流急速施加于工件150，导致工件150局部受力过大而破损。在一些实施例中，第二孔112处柔性膜的相关技术可以参照第一孔111处柔性膜的内容，在此不做赘述。

在一些实施例中，夹具100可以包括一个或多个阀门，一个或多个阀门可以控制气体接口130的开闭。在一些实施例中，如图3、图4所示，夹具100可以包括两个阀门140，基板120内可以设置两根气道131，两个阀门140分别与两根气道131连通，两个阀门140可以分别控制两根气道131的开闭。在一些实施例中，如图4所示，其中一个阀门140与气体接口130连通，可以控制气体接口130的开闭。在一些实施例中，如图3所示，阀门140通过安装板141安装于基板120远离吸附板110的壁面。

在一些实施例中，夹具100可以与抛光装置分开使用，夹具100用于夹持工件，抛光装置用于对工件进行抛光。在一些实施例中，夹具100通过其中一个阀门140(可称第一阀门)与抽真空设备连接，抽真空设备通过其中一根气道131(可称第一气道)对第一孔111抽真空，对工件实现吸附取料。进一步地，取料后夹具100移至抛光装置并与抛光臂310连接，另一阀门140(可称第二阀门)与气体接口130连通，气体接口130与抛光臂310的中空结构连通，抛光装置上的气压控制组件通过第二阀门控制气体接口130的气压，实现对工件的吸附夹持。在一些实施例中，在抛光过程中，气压控制组件通过气体接口130控制第一孔111的负压，对工件实现恒压吸附夹持。进一步地，在抛光过程中，关闭第一阀门，使得第一气道与抽真空设备断开连接。在一些实施例中，如图5所示，夹具100可以同时对两个或以上工件150进行吸附夹持，从而提高抛光效率。

在一些实施例中，抛光结束后，可以将气体接口130与抛光臂310的中空结构脱离，打开第一阀门使得第一气道与抽真空设备连通，抛光臂310将工件转移至收纳处后，停止负压吸附，由于工件与夹具100吸附面之间会残留抛光液，液体吸力导致工件不易脱离吸附面，可以向第一孔111施加正压将工件释放。在一些实施例中，夹具100设置有第二孔112和存气腔160，将工件转移至收纳处后，停止负压吸附，气量调节结构170可以将存气腔160内储存的气体自动排出，从而在第二孔112内产生正压，实现自动释放工件。

在一些实施例中，在抛光过程中，抛光装置可以向工件与第二弹性层添加抛光液，可以在抛光液回收口处设置过滤网，以过滤抛光液中的杂质，使得抛光液可以重复利用。

需要说明的是，不同实施例可能产生的有益效果不同，在不同的实施例里，可能产生的有益效果可以是以上任意一种或几种的组合，也可以是其他任何可能获得的有益效果。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。

同时，本说明书使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本说明书至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本说明书的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

应当注意的是，为了简化本说明书披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本说明书实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本说明书对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

Claims (12)

1.一种抛光装置，其特征在于，包括：

夹具，用于吸附工件；

驱动机构，用于驱动所述夹具移动；

抛光盘，用于抛光所述工件；

其中，所述夹具的吸附面设置有多个第一孔，所述夹具通过多个所述第一孔向所述工件提供负压。

2.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述第一孔的孔径基于所述工件的厚度确定。

3.如权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述第一孔的孔径与所述工件的厚度的比值的取值范围为3:1～4:1。

4.如权利要求1或2所述的抛光装置，其特征在于，所述第一孔的孔径范围为0.3mm～1mm。

5.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，多个所述第一孔在所述夹具的吸附面上均匀分布，相邻的所述第一孔之间的间距的取值范围为2mm～3.5mm。

6.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，多个所述第一孔中的至少一个包括柔性膜，所述柔性膜覆盖一个或多个所述第一孔中的至少一个的吸附端；所述柔性膜为透气的薄膜。

7.如权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述柔性膜包括透气孔，所述透气孔的孔径与所述第一孔的孔径的比值范围为1:10～1:50。

8.如权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述柔性膜包括多个薄膜，每个所述薄膜固定于一个所述第一孔的边缘。

9.如权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述柔性膜部分或全部覆盖所述夹具的吸附面。

10.如权利要求1～9任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具还包括气体接口，多个所述第一孔与所述气体接口连通。

11.如权利要求10所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具包括一个或多个阀门，所述一个或多个阀门控制所述气体接口的开闭。

12.如权利要求11所述的抛光装置，其特征在于，所述阀门的数量包括两个。

Images