CN114423529B - 涂布器、涂布装置和涂布方法 - Google Patents

Abstract

提供即使在垫片部件介于涂布器的状态下也能够准确地掌握垫片部件的尺寸的涂布器、涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布器具有狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴形成为喷出涂布液的喷出口在一个方向上延伸的狭缝形状，其中，所述涂布器是使由所述狭缝喷嘴分割的半分割形状的半接头合体而形成的，所述涂布器构成为具有：垫片部件，其形成为固定的厚度，通过介于所述半接头之间，对所述喷出口的涂布方向上的狭缝宽度进行调节；以及垫片检测部，其检测介于所述半接头之间的所述垫片部件的尺寸。

Description

涂布器、涂布装置和涂布方法

技术领域

本发明涉及具有对狭缝喷嘴的开口面积进行调节的垫片部件的涂布器、具有该涂布器的涂布装置和涂布方法。

背景技术

在液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器中，使用在玻璃等基板上涂布抗蚀剂液等涂布液而成的基板(称作涂布基板)。该涂布基板需要均匀地形成涂布膜，通过均匀地涂布涂布液的涂布装置来形成。如图9所示，这种涂布装置具有载置基板W的载台100和具有喷出涂布液的涂布器101的涂布单元102，一边从涂布器101的狭缝喷嘴103喷出涂布液，一边使基板W和涂布器101相对移动，由此，在基板W上形成涂布膜。

近年来，这种涂布装置被用于各种用途，优选与涂布液的粘度对应。一般而言，当粘度变大时，狭缝喷嘴103的压力损失变大，因此，需要增大狭缝喷嘴103的开口宽度(涂布方向上的开口宽度。也称作狭缝宽度S。参照图10。)。通常，关于狭缝宽度S的调节，若改造涂布器101，则花费成本，因此，通过使垫片部件105介于涂布器101内来进行调节。即，如图10所示，涂布器101是通过使分别由狭缝喷嘴103分割的半分割形状的半接头104合体而形成的，使垫片部件105介于各个半接头104之间，通过改变垫片部件105的厚度，对狭缝宽度S进行调节(参照图10的(b))。通常，以0.1mm单位来准备这种垫片部件105，根据涂布液的粘度而适当地调节狭缝宽度S。由此，不用改造涂布器101，能够利用1个涂布器101应对多个品种的涂布液。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-182576号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述涂布器101中，存在很难掌握安装于涂布器101的垫片部件105的厚度这样的问题。即，在使垫片部件105介于涂布器101的状态下，无法从外侧进行确认。即使要通过狭缝喷嘴103进行确认，由于狭缝喷嘴103的狭缝宽度S由极微小的间隙形成，因此，很难通过狭缝喷嘴103测量垫片部件105的尺寸。

此外，在使垫片部件105介于涂布器101时，狭缝宽度S的中心根据垫片部件105的厚度而偏移，因此，需要始终掌握设置于涂布器101内的垫片部件105的厚度。因此，在选定了介于涂布器101内的垫片部件105时，需要记录被选定的垫片部件105，但是，该作业麻烦，可能忘记记录，或者由于人为错误而记录错误的尺寸。假设在垫片部件105的尺寸掌握存在错误的情况下，狭缝宽度S的中心位置偏移，因此，涂布开始位置偏移，产品的品质降低。为了避免这种问题，期望在将要开始涂布工序之前，在使垫片部件105介于涂布器101的状态下确认垫片部件105的厚度。

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供即使在垫片部件介于涂布器的状态下也能够准确地掌握垫片部件的尺寸的涂布器、涂布装置和涂布方法。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的涂布器具有狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴形成为喷出涂布液的喷出口在一个方向上延伸的狭缝形状，其特征在于，所述涂布器是使由所述狭缝喷嘴分割的半分割形状的半接头合体而形成的，所述涂布器具有：垫片部件，其形成为固定的厚度，通过介于所述半接头之间而对所述喷出口的涂布方向上的狭缝宽度进行调节；以及垫片检测部，其检测介于所述半接头之间的所述垫片部件的尺寸，所述垫片检测部形成于所述狭缝喷嘴的长度方向延长线上，且形成有形成为比所述狭缝宽度大的开口部，所述垫片检测部形成为使延伸到该开口部内的所述垫片部件露出，所述垫片部件被保持为露出的垫片部件的一部分从形成所述开口部的壁面离开的状态。

根据上述涂布器，设置有检测垫片部件的尺寸的垫片检测部，因此，能够通过垫片检测部测量设置于涂布器内的垫片部件的尺寸。因此，即使在垫片部件介于涂布器的状态下，也不用对涂布器进行分解，就能够通过垫片检测部准确地掌握介于狭缝喷嘴的喷出口的垫片部件的种类。此外，根据该结构，开口部内的垫片部件从形成开口部的壁面离开，因此，垫片部件与壁面之间的区别明确，能够以光学方式高精度地测量垫片部件的尺寸。

此外，也可以构成为，所述垫片部件形成为能够对从所述喷出口喷出的涂布液的涂布宽度进行调节，由所述垫片检测部检测的垫片部件的深度尺寸形成为与所述涂布宽度对应。

根据该结构，从垫片检测部测量垫片部件的深度尺寸，由此，即使在垫片部件介于涂布器的状态下，也能够准确地掌握由垫片部件调节后的涂布宽度。

此外，也可以构成为，所述开口部内形成为黑色。

根据该结构，在以光学方式测量垫片部件的尺寸的情况下，抑制了开口部内的漫反射，因此，能够提高测量精度。

此外，为了解决上述课题，本发明的涂布装置和涂布方法具有：涂布器；以及载台，其载置基板，所述涂布器具有狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴形成为喷出涂布液的喷出口在一个方向上延伸的狭缝形状，所述涂布器是使由所述狭缝喷嘴分割的半分割形状的半接头合体而形成的，所述涂布器具有：垫片部件，其形成为固定的厚度，通过介于所述半接头之间而对所述喷出口的涂布方向上的狭缝宽度进行调节；以及垫片检测部，其检测介于所述半接头之间的所述垫片部件的尺寸，在从涂布器的狭缝喷嘴喷出涂布液的状态下，使所述涂布器和所述载台相对移动，由此在基板上形成涂布膜，其特征在于，所述涂布装置具有垫片测量部，该垫片测量部检测在所述垫片检测部露出的垫片部件的尺寸，根据由所述激光测量部测量出的垫片部件的尺寸，对涂布器与载台上的基板的相对位置进行校正。

根据上述涂布装置、涂布方法，能够利用垫片测量部，通过垫片检测部高精度地测量设置于涂布器的垫片部件的尺寸。而且，根据该测量出的尺寸，对涂布开始位置等与基板的相对位置信息进行校正，因此，根据垫片部件的种类对位置信息进行校正，能够维持高的涂布精度。

发明效果

根据本发明的涂布器、涂布装置和涂布方法，即使在垫片部件介于涂布器的状态下，也能够准确地掌握垫片部件的尺寸。

附图说明

图1是示出本发明的涂布装置的立体图。

图2是示出涂布单元的脚部附近的图。

图3是从基板对置面侧观察涂布器的立体图。

图4是示出涂布器和垫片部件的图，(a)是示出垫片部件的图，(b)是示出垫片部件未介入的状态的涂布器的图，(c)是示出垫片部件介入的状态的涂布器的图。

图5是示出涂布器中的垫片检测部的图。

图6是示出垫片检测部的截面的图，是示出在对垫片部件照射激光的状态下涂布器和激光相对移动的状态的图。

图7是示出垫片检测部的截面(上段)和介入的垫片部件(下段)的图，(a)是示出与通常的涂布宽度对应的垫片部件的图，(b)是示出与(a)相比减小涂布宽度的垫片部件的图。

图8是示出测量垫片部件的厚度的状态的图，(a)是示出垫片部件与激光的位置关系的图，(b)是示出通过接收到的激光测量出的垫片部件的厚度尺寸的图。

图9是示出现有的涂布装置的图。

图10是示出现有的涂布器的图，(a)是示出垫片部件未介入的状态的涂布器的图，(b)是示出垫片部件介入的状态的涂布器的图。

图11是示出具有垫片检测用部件的涂布器的图，(a)是示出垫片部件的厚度为规定的厚度的状态的图，(b)是示出与(a)相比垫片部件的厚度较薄的状态的图。

图12是示出垫片检测用部件的图，(a)是示出厚度关联部的高度位置设定成与平坦基准面共面的状态的图，(b)是示出厚度关联部的高度位置设定成比平坦基准面高t的位置的状态的图。

具体实施方式

接着，对本发明的涂布装置进行详细说明。图1是概略地示出本发明的一个实施方式中的涂布装置的立体图，图2是示出涂布单元的脚部附近的图，图3是从侧面侧观察涂布单元的主要部分的概略图。

如图1～图3所示，涂布装置在基板W上形成药液、抗蚀剂液等液状物(以下称作涂布液)的涂布膜，具有基台2、用于载置基板W的载台21、以及构成为能够相对于该载台21在特定方向上移动的涂布单元30。

另外，在以下的说明中，将涂布单元30移动的方向(涂布方向)设为X轴方向，将在水平面上与其正交的方向设为Y轴方向，将与X轴和Y轴方向双方正交的方向设为Z轴方向来进行说明。

在所述基台2的中央部分配置有载台21。该载台21载置被搬入的基板W。在该载台21设置有基板保持单元，通过该基板保持单元保持基板W。具体而言，在载台21的表面形成有多个抽吸孔，通过使该抽吸孔产生抽吸力，能够使基板W吸附于载台21的表面来进行保持。

此外，在载台21设置有使基板W进行升降动作的基板升降机构。具体而言，在载台21的表面，与上述抽吸孔分开地形成有多个销孔，在该销孔中嵌入设置有能够在Z轴方向上进行升降动作的升降销(未图示)。即，当在使升降销从载台21的表面突出的状态下搬入基板W时，能够使基板W与升降销的末端部分抵接而保持基板W。然后，通过使升降销从该状态起下降而收纳于销孔中，能够将基板W载置于载台21的表面。

此外，涂布单元30向基板W上喷出涂布液。具体而言，通过从后述的涂布器5喷出涂布液，能够在基板W上形成均匀厚度的涂布膜。即，向基板W喷出规定量的涂布液，形成基板W和涂布器5的狭缝喷嘴51被涂布液连结的状态，然后，使涂布器5以固定速度行进，由此能够在基板W上形成固定膜厚的涂布膜。

如图2、图3所示，该涂布单元30具有脚部31和支承涂布器5的梁部39，它们以具有门型形状的方式安装于基台2。即，梁部39以在Y轴方向上跨越载台21的状态安装于两个脚部31。而且，脚部31安装成能够在X轴方向上移动，通过脚部31移动，梁部39能够在载台21上进行扫描。具体而言，在基台2的Y轴方向两端部分分别设置有在X轴方向上延伸的轨道22，脚部31以滑动自如的方式安装于该轨道22。而且，在脚部31安装有线性马达33，通过对该线性马达33进行驱动控制，梁部39在涂布器5与载台21对置的状态下在X轴方向上移动，能够在任意的位置处停止。

此外，梁部39抑制涂布器5产生挠曲变形，由此，以涂布器5的狭缝与基板之间的距离在长度方向上固定的方式进行支承。而且，梁部39的长度方向端部分别安装于配置于Y轴方向两端部的两个脚部31，在被安装的状态下，梁部39被配置为使得涂布器5在整个长度方向上成为同一高度。即，梁部39被配置为使得支承于梁部39的涂布器5与载台21之间的距离在整个长度方向上相同。

此外，梁部39以能够进行升降动作的方式安装于脚部31。具体而言，在该脚部31设置有在Z轴方向上延伸的轨道37和沿着该轨道37滑动的滑动件35，这些滑动件35和梁部39被连结。而且，在滑动件35安装有由伺服马达驱动的滚珠丝杠机构，通过对该伺服马达进行驱动控制，滑动件35在Z轴方向上移动，并且能够在任意的位置处停止。即，涂布器5以能够相对于保持于载台21的基板W接触分离的方式被支承。

此外，涂布器5喷出涂布液而在基板W上形成涂布膜。该涂布器5是具有在一个方向上延伸的形状的柱状部件，以长度方向沿着Y轴方向的状态进行设置。在该涂布器5中，在与基板W对置的基板对置面52形成有狭缝喷嘴51，该狭缝喷嘴51形成为在长度方向上延伸的狭缝状，供给到涂布器5的涂布液从狭缝喷嘴51在整个长度方向上均匀地喷出。即，在由狭缝喷嘴51确定的涂布宽度(Y轴方向宽度)整体范围内均匀地喷出。因此，在从该狭缝喷嘴51喷出涂布液的状态下使涂布单元30在X轴方向上行进，由此，在狭缝喷嘴51的整个长度方向上，在基板W上形成固定厚度的涂布膜。

此外，涂布器5是通过使由狭缝喷嘴51分割的半分割形状的半接头50合体而形成的。通过使这些半接头50合体而形成狭缝喷嘴51，通过确定狭缝宽度S(狭缝喷嘴51的X轴方向尺寸)，喷出与狭缝喷嘴51的开口面积对应的涂布液。

此外，涂布器5以能够安装垫片部件6的方式形成。通过安装该垫片部件6，能够对狭缝喷嘴51的狭缝宽度S、涂布宽度尺寸进行调节。由此，不用改造涂布器5，就能够应对包含粘度在内的各种特性的涂布液。具体而言，如图4的(a)所示，垫片部件6形成为平板状，并以整体成为固定的厚度的方式高精度地形成。通过将该垫片部件6夹在半接头50之间进行安装，能够对狭缝宽度S进行调节。即，在图4的例子中，相对于没有垫片部件6的状态(图4的(b))，通过使垫片部件6介入，能够以垫片部件6的厚度量增大狭缝宽度S(图4的(c))。

该垫片部件6在长度方向中央部分形成有切口部61。该切口部61通常形成为狭缝喷嘴51的涂布宽度，由此，当使垫片部件6介于半接头50之间时，切口部61的宽度尺寸与涂布器5的涂布宽度一致，即使在使垫片部件6介入的情况下，也能够不改变狭缝喷嘴51的涂布宽度地喷出涂布液。

该垫片部件6不仅能够调节狭缝宽度S，如图7所示，通过对切口部61的宽度进行调节，还能够对涂布宽度进行调节。即，在图7的(a)中，使切口部61的宽度尺寸成为通常的涂布器5的涂布宽度α，在图7的(b)中，将切口部61的宽度尺寸形成为比涂布器5的涂布宽度小的尺寸β(β<α)。通过这样调节切口部61的宽度尺寸，能够在调节狭缝喷嘴51的狭缝宽度S的同时还对涂布宽度进行调节。

关于能够对该涂布宽度进行调节的垫片部件6，在本实施方式中，在垫片部件6的两端部分形成有与对涂布宽度进行调节的切口部61分开的端部切口部62。该端部切口部62以根据被调节的涂布宽度来改变形状的方式进行设置。在本实施方式中，端部切口部62的深度方向(Z轴方向)尺寸根据涂布宽度来设定，形成为切口部61的宽度尺寸(涂布宽度)越小，则端部切口部62的深度方向尺寸γ越大。

此外，在涂布器5设置有用于检测介入的垫片部件6的尺寸的垫片检测部7(参照图3、图5。)。在本实施方式中，垫片检测部7设置于狭缝喷嘴51的长度方向延长线上的基板对置面52，形成有形成为宽度比狭缝宽度S的尺寸宽的开口部71，形成为垫片部件6在该开口部71露出。在本实施方式中，如图3、图5所示，形成为在狭缝喷嘴51的长度方向延长线上配置圆径的开口部71的中心，在该开口部71内介于半接头50之间的垫片部件6以横穿开口部71的方式被固定。即，通过由形成开口部71的半接头50的壁面72夹着垫片部件6来进行固定，由此，垫片部件6的一部分以横穿开口部71中心的姿态、以不接触壁面72的方式被固定。即，以在开口部71内形成从半接头50的壁面72离开的部位的方式固定垫片部件6，如后所述，从该壁面72离开的部位用于测量垫片部件6的尺寸。

此外，在垫片部件6固定于半接头50之间的状态下，端部切口部62的形成位置与开口部71的形成位置对应地形成，因此，关于涂布宽度未被调节的垫片部件6(图7的(a))，开口部71内的垫片部件6以与开口部71的壁面72(基板对置面52)共面的方式被固定。另一方面，在涂布宽度被调节的垫片部件6(图7的(b))中，开口部71内的垫片部件6以位于在深度方向上从基板对置面52离开的位置的方式被固定。即，在本实施方式中，切口部61的宽度尺寸(涂布宽度)越小，则端部切口部62的深度尺寸越大，因此，涂布宽度越小，则被固定于在深度方向上越远离基板对置面52的位置。

此外，在载台21设置有检测垫片检测部7内的垫片部件6的尺寸的垫片测量部8(参照图1、图2)。在本实施方式中，该垫片测量部8使用照射激光B(参照图6)并接收其反射光的激光传感器81，在本实施方式中，该垫片测量部8在载台21的侧面的在Y轴方向上分离的位置设置有2处。这些激光传感器81与控制装置连接，通过测量照射激光B并接收反射光的时间，能够测量被照射激光B的对象物的高度位置。而且，这些激光传感器81在Y轴方向上配置于涂布器5的垫片检测部7各自的形成位置，并以朝向上方照射激光B的方式进行配置。因此，当涂布单元30在X轴方向上移动而使涂布器5通过垫片测量部8时，垫片检测部7在激光传感器81上通过，由此，能够测量垫片检测部7内露出的垫片部件6的尺寸。另外，在本实施方式中，开口部71形成为宽度比狭缝宽度S宽(直径比狭缝宽度S大)，因此，能够使用激光传感器81的激光直径较大的廉价的部件。

这里，图6是示出垫片检测部7的截面的图，示出了在对被半接头50夹着的垫片部件6照射激光B的状态下涂布器5和激光B(激光传感器81位置)相对移动的状态(为了便于说明，上下相反地记载了垫片检测部7和激光B。)。如图6所示，最初，来自激光传感器81的激光B(图6中最左侧的激光B)被照射到开口部71的底面，接收其反射光。另外，该开口部71形成为比狭缝宽度S大，形成为激光B不会照射到形成开口部71的壁面72和垫片部件6而能够照射开口部71的底面的程度。而且，开口部71的底面和侧壁面72被着色为黑色，减少由于来自激光传感器81的激光B漫反射而导致的误检测。

然后，在该状态下，涂布器5和激光传感器81相对移动，在激光B被照射到垫片部件6而接收其反射光时，接收反射光的时间变短，由此检测到垫片部件6。然后，在该状态下，涂布器5和激光传感器81相对移动，在激光B被照射到开口部71的底面时，接收反射光的时间变长，由此，垫片部件6的检测结束。这样，通过测量对垫片部件6照射激光B的时间、即检测到垫片部件6的时间，能够测量设置于涂布器5内的垫片部件6的厚度尺寸。由此，能够运算狭缝宽度S。

此外，如图7的(b)所示，在垫片部件6形成有端部切口部62的情况下，通过上述的激光传感器81的测量，不仅能够测量垫片部件6的厚度尺寸，还能够同时测量端部切口部62的深度尺寸(γ)。然后，根据测量出的深度尺寸确定垫片部件6的种类，掌握涂布宽度(β)。这样，不用对涂布器5进行分解，就能够从垫片检测部7检测设置于涂布器5的垫片部件6的种类，掌握涂布宽度、狭缝宽度S。

此外，涂布装置具有对线性马达、伺服马达等驱动装置进行总体控制的控制装置，通过控制装置对这些驱动装置进行驱动控制。

此外，如上所述，控制装置能够根据由垫片测量部8测量出的激光B的时间变化，计算垫片部件6的厚度尺寸d、端部切口部62的深度尺寸。而且，在本实施方式中，关于垫片部件6的厚度尺寸d，能够求出真正的垫片部件6的厚度尺寸d。这里，图8是示出测量垫片部件6的厚度的状态的图，(a)是示出垫片部件6与激光B的位置关系的图，(b)是示出通过接收到的激光B测量出的垫片部件6的厚度尺寸d的图。即，如图8所示，在激光传感器81的测量中，介入的垫片部件6的尺寸(在图8中为尺寸d)被测量为比实际的尺寸d大的尺寸(尺寸d’)。这是因为，在激光B从开口部71的底面到达垫片部件6时，虽然激光B的中心照射开口部71的底面，但是垫片测量部8对于照射垫片部件6的光的反射光有反应，由此，被识别为比实际的垫片部件6的厚度尺寸d大的厚度尺寸d’。该厚度尺寸d’的误差依赖于激光B在测量时移动的速度、激光直径，是固定的，进而，开口部71的底面和侧壁面72被着色为黑色，因此，极力抑制了误差的波动。因此，在控制装置中，预先存储与测量出的尺寸d’对应的尺寸d，将实际测量出的尺寸d’校正为尺寸d。由此，能够准确地掌握介于涂布器5的垫片部件6的厚度尺寸d。

此外，在控制装置中，根据测量出的垫片部件6的厚度尺寸计算狭缝宽度S的中心位置，对狭缝宽度S的中心位置的偏移进行校正。即，在设垫片部件6未介入的情况下的狭缝宽度S为尺寸s的情况下，垫片部件6介入的情况下的狭缝宽度S为s+d，狭缝宽度S的中心位置成为(s+d)/2。由此，对垫片部件6介入的情况下的涂布开始位置进行校正，在任意的垫片部件6介入的情况下，也能够高精度地从涂布开始位置开始进行涂布动作。

这样，根据上述涂布器5、涂布装置和涂布方法，设置检测垫片部件6的尺寸的垫片检测部7，因此，能够通过垫片检测部7测量设置于涂布器5内的垫片部件6的尺寸。因此，即使在垫片部件6介于涂布器5的状态下，也不用对涂布器5进行分解，就能够通过垫片检测部7准确地掌握介于狭缝喷嘴51的喷出口的垫片部件6的种类。而且，能够利用垫片测量部8，通过垫片检测部7高精度地测量设置于涂布器5的垫片部件6的尺寸，根据该测量出的尺寸，对涂布开始位置等与基板的相对位置信息进行校正，因此，根据垫片部件6的种类对位置信息进行校正，能够维持高的涂布精度。

此外，在上述实施方式中，说明了垫片检测部7配置于狭缝喷嘴51的延长线上的例子，但是，也可以形成于涂布器5的侧面、上表面。另外，通过如上述实施方式那样配置于狭缝喷嘴51的延长线上，能够将激光传感器81配置于载台，因此，与垫片检测部7形成于涂布器5的侧面、上表面的情况相比，能够在空间上有利地构成。此外，垫片检测部7配置于狭缝喷嘴51的延长线上，因此，能够与是否在涂布器5内填充了涂布液无关地，对垫片检测部7照射激光并测量垫片部件6的尺寸。即，在涂布器5中填充的涂布液是感光的材质的情况下，假设在涂布器5填充有涂布液的状态下，无法使用光径较小的高价的激光通过狭缝喷嘴51测量垫片部件6的尺寸，但是，如上述实施方式那样，垫片检测部7配置于狭缝喷嘴51的延长线上，由此，激光不会照射到涂布器5内的涂布液。因此，能够与涂布器5内的涂布液的填充状态无关地测量垫片部件6的尺寸。

此外，在上述实施方式中，说明了在2处设置激光传感器81的例子，但是，也可以设置1个，还可以设置3个以上。通过设置多个激光传感器81，能够确认并掌握搭载了涂布器5的情况下的偏移，能够对涂布器5的搭载精度作出贡献。

此外，在上述实施方式中，说明了使用激光传感器81作为垫片测量部8的例子，但是，也可以利用接触式位移传感器直接测量垫片部件6的尺寸，还可以使用光学式照相机，根据图像来测量垫片部件6的尺寸。

此外，在上述实施方式中，说明了垫片检测部7在涂布器5设置开口部71而从该开口部71直接测量垫片部件6的厚度尺寸的例子，但是，也可以检测作为垫片部件6的代替品的部件，根据其尺寸信息来检测垫片部件的尺寸。具体而言，如图11、图12所示，也可以在半接头50设置垫片检测用部件9，通过检测该垫片检测用部件9的尺寸，检测垫片部件6的厚度尺寸、涂布宽度。

垫片检测用部件9以能够接触分离的方式安装于半接头50。该垫片检测用部件9具有厚度关联部91和外壁部92，厚度关联部91以被外壁部92夹着的状态一体地形成。具体而言，在图11的例子中，垫片检测用部件9以在涂布方向(在图11中为左右方向)上按照外壁部92、厚度关联部91、外壁部92的顺序排列的状态被固定设置。而且，垫片检测用部件9通过厚度关联部91得到垫片部件6的厚度尺寸，根据厚度关联部91与外壁部92的高度尺寸之差得到涂布宽度的尺寸。

即，厚度关联部91形成为与垫片部件6的尺寸对应的板状部件，在本实施方式中，厚度关联部91的厚度尺寸m形成为与垫片部件6的厚度尺寸相同的尺寸。而且，以该厚度方向与外壁部92、厚度关联部91的排列方向一致的状态被固定。

此外，外壁部92夹持厚度关联部91，并且设定基准高度位置。具体而言，如图12所示，外壁部92具有平坦基准面921和倾斜面922，通过平坦基准面921设定基准高度位置。即，垫片检测用部件9在外壁部92的倾斜面922彼此对置的状态下夹持厚度关联部91，由此，能够使厚度关联部91位于两个倾斜面922之间，能够以从外壁部92离开的状态保持厚度关联部91。

由此，能够通过上述的垫片测量部8的激光传感器81测量厚度关联部91的厚度尺寸m、以及厚度关联部91与外壁部92的高度尺寸之差。即，当涂布器5和垫片测量部8在涂布方向上相对移动时，激光被照射到外壁部92的平坦基准面921，检测平坦基准面921的高度位置。然后，被照射到倾斜面922，但是，与上述的开口部71的结构同样，将倾斜面922着色为黑色，由此抑制了反射光。而且，通过照射到厚度关联部91，检测厚度关联部91，检测其高度位置。由此，计算平坦基准面921(外壁部92)与厚度关联部91的高度尺寸之差。这里，厚度关联部91的高度尺寸(在图11、图12中为上下方向)与涂布宽度相关联地形成，例如，在构成垫片检测用部件9时，在形成于垫片部件6的涂布宽度是与涂布器5的涂布宽度相同的涂布宽度α的情况下，如图12的(a)所示，厚度关联部91与平坦基准面921共面地形成，在形成于垫片部件6的涂布宽度是比涂布宽度α小的涂布宽度β的情况下，如图12的(b)所示，厚度关联部91形成于比平坦基准面921高t的位置。由此，通过计算平坦基准面921(外壁部92)与厚度关联部91的高度尺寸之差，能够得到当前在半接头50之间使用的垫片部件6的涂布宽度。

此外，与上述实施方式同样，通过运算厚度关联部91的检测时间或检测位置，求出厚度关联部91的厚度尺寸m。这样，如果与垫片部件6的厚度尺寸对应地形成厚度关联部91的厚度尺寸m，以平坦基准面921(外壁部92)与厚度关联部91的高度尺寸之差与涂布宽度对应的方式设定厚度关联部91的高度尺寸，则通过测量垫片检测用部件9的尺寸，不用直接测量垫片部件6的尺寸，就能够在垫片部件6介于涂布器5的状态下准确地掌握介于狭缝喷嘴51的喷出口的垫片部件6的种类。

另外，本实施方式的垫片检测用部件9设置于从垫片部件6偏移的位置。在假设要根据检测到垫片检测用部件9的位置来计算垫片部件6的中心位置(作为涂布的基准的位置)的情况下，由于垫片检测用部件9的厚度尺寸m的差异，会产生偏移(图11中的p)。该情况下，需要根据垫片检测用部件9的厚度尺寸m对垫片部件6的中心位置进行校正。

以上，如本实施方式那样，与垫片部件6分开地使用垫片检测用部件9，由此，存在安装与垫片部件6对应的垫片检测用部件9的麻烦，但是，与上述实施方式同样，能够掌握垫片部件6的种类。

另外，在上述实施方式中，说明了垫片检测用部件9具有厚度关联部91和外壁部92的例子，但是，在仅检测垫片部件6的厚度尺寸即可的情况下，垫片检测用部件9也可以仅由厚度关联部91形成。

此外，在上述实施方式中，说明了垫片检测用部件9的厚度关联部91具有与垫片部件6的厚度尺寸相同的尺寸的例子，但是，只要是与垫片部件6的厚度尺寸相关联的尺寸即可，只要是厚度关联部91的厚度尺寸m和垫片部件6的厚度尺寸存在相关关系的尺寸即可。

此外，在上述实施方式中，说明了垫片检测用部件9朝下形成于半接头50的X轴方向侧面的例子，但是，如图11的虚线所示，也可以朝上形成，还可以朝下形成于基板对置面52，只要是能够测量垫片检测用部件9的尺寸的位置即可，没有特别限定。

标号说明

5：涂布器；

6：垫片部件；

7：垫片检测部；

8：垫片测量部；

30：涂布单元；

50：半接头；

51：狭缝喷嘴；

61：切口部；

71：开口部；

81：激光传感器；

W：基板。

Claims (5)

1.一种涂布器，其具有狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴形成为喷出涂布液的喷出口在一个方向上延伸的狭缝形状，其特征在于，

所述涂布器是使由所述狭缝喷嘴分割的半分割形状的半接头合体而形成的，

所述涂布器具有：

垫片部件，其形成为固定的厚度，通过介于所述半接头之间而对所述喷出口的涂布方向上的狭缝宽度进行调节；以及

垫片检测部，其检测介于所述半接头之间的所述垫片部件的尺寸，

所述垫片检测部形成于所述狭缝喷嘴的长度方向延长线上，且形成有形成为比所述狭缝宽度大的开口部，所述垫片检测部形成为使延伸到该开口部内的所述垫片部件露出，所述垫片部件被保持为露出的垫片部件的一部分从形成所述开口部的壁面离开的状态。

2.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，

所述垫片部件形成为能够对从所述喷出口喷出的涂布液的涂布宽度进行调节，由所述垫片检测部检测的垫片部件的深度尺寸形成为与所述涂布宽度对应。

3.根据权利要求1或2所述的涂布器，其特征在于，

所述开口部内形成为黑色。

4.一种涂布装置，其具有：

权利要求1～3中的任意一项所述的涂布器；以及

载台，其载置基板，

在从涂布器的狭缝喷嘴喷出涂布液的状态下，使所述涂布器和所述载台相对移动，由此在基板上形成涂布膜，

其特征在于，

所述涂布装置具有垫片测量部，该垫片测量部检测在所述垫片检测部露出的垫片部件的尺寸，

根据由所述垫片测量部测量出的垫片部件的尺寸，对涂布器与载台上的基板的相对位置进行校正。

5.一种涂布方法，采用权利要求4所述的涂布装置，在从涂布器的狭缝喷嘴喷出涂布液的状态下，使所述涂布器和所述载台相对移动，由此在基板上形成涂布膜，

其特征在于，

利用垫片测量部检测在所述垫片检测部露出的垫片部件的尺寸，

根据由所述垫片测量部测量出的垫片部件的尺寸，对涂布器与载台上的基板的相对位置进行校正。