JP2519359B2 - ペ―スト塗布機のノズル位置決め方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板とノズルを相対的
に移動させて該基板上にペ−ストを塗布し、所望の形状
のペ−ストパターンを描画するペースト塗布機に係り、
特に、該ノズルを非接触で基板上に位置決めするのに好
適なノズル位置決め方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板上にペーストで所望形状パターンを
設ける技術としては、例えば特開昭５３−４６１３号公
報に示されるように、開孔パタ−ンを有するマスクの一
面に基板を配置し、このマスクの他面でスキ−ジを移動
させることにより、開孔を通して基板上に塗布し、開孔
パタ−ンの形状にペ−スト膜を印刷するスクリ−ン印刷
技術や、例えば特開平２−５２７４２号公報に示される
ように、ノズルに対して基板を相対的に移動させながら
ノズルから基板上に抵抗ペ−ストを吐出させ、所定の抵
抗パタ−ンを描画して抵抗形成を行なう吐出描画技術が
知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
を用い、最近の高精細化された液晶ディスプレイ等の基
板上に液晶の封止膜を形成するような場合には、次の問
題がある。

【０００４】即ち、上記のスクリ−ン印刷技術では、マ
スクを基板に当て、マスクの他面でスキ−ジを移動させ
ることにより、この封止膜を形成することになるが、こ
のような基板には既に配向膜等が形成されており、かか
る基板上に封止膜を形成すると、配向膜等が傷つけられ
るし、さらには、基板面が汚れる等して歩留まりが低下
する。

【０００５】また、上記の吐出描画技術では、このよう
な問題は生じないが、ペースト収納筒をペーストカート
リッジとすると、セットされているペーストカートリッ
ジのペ−ストが吐出され尽くし、新たなペ−ストカ−ト
リッジがセットされると、その取付け精度から、新たに
セットされたペーストカ−トリッジの先端のノズルと基
板との間隔に変動が生じ、所望の形状にペ−ストパター
ンを描画することができなくなるという新たな問題が発
生することが判明した。

【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消し、基
板上を清浄に保つことができ、かつペ−ストカ−トリッ
ジの交換があっても、ノズルと基板との間隔を高精度で
所望に保持することができるようにしたペースト塗布機
のノズル位置決め方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、テ−ブル上に保持された測定用治具にノ
ズルの吐出口を当接させたときのペースト収納筒と一定
の位置関係にある距離センサの検出出力を得る第１の工
程と、該測定用治具に変えて該テ−ブル上に基板を保持
する第２の工程と、該第２の工程後該距離センサの検出
出力を得る第３の工程と、該第３の工程での該距離セン
サの検出出力が該第１の工程での該距離センサの検出出
力と該ノズルの吐出口、該基板間の所望の間隔との和に
一致するように該ペースト収納筒と該距離センサとを該
基板に対して移動させる第４の工程とからなる。

【０００８】

【作用】セットされているペ−スト収納筒のペ−ストが
吐出され尽くし、新たにペ−スト収納筒をセットされた
とき、この新たなペースト収納筒の距離センサに対する
位置関係が変動しても、ノズルの吐出口を測定用治具に
当接させることにより、距離センサの新たな検出出力は
この新たなペースト収納筒の取付け精度の誤差を吸収す
る。ノズルの吐出口と基板７との間隔は距離センサのこ
の新たな検出出力で設定され、このため、ペースト収納
筒の取付け精度に拘らず、ノズルの吐出口と基板との間
隔は所望のものとなる。また、ノズルの吐出口が基板に
触れることはないため、ペーストで基板７の表面が汚れ
たり、傷ついたりすることはない。

【０００９】

【実施例】まず、本発明が適用されるペースト塗布機に
ついて説明する。図２はかかるペ−スト塗布機の一例を
示す斜視図であって、１はノズル、２はペースト収納
筒、３は光学式変位計、４はＺ軸テーブル部、５はＸ軸
テーブル部、６はＹ軸テーブル部、７は基板、８は基板
吸着部、９は架台部、１０はＺ軸テーブル部支持部、１
１は制御装置である。

【００１０】同図において、架台部９上にＸ軸テーブル
部５が固定して載置され、このＸ軸テーブル５上にＸ軸
方向に移動可能にＹ軸テーブル部６が搭載されている。
そして、このＹ軸テーブル部６上に、Ｙ軸方向に移動可
能に、基板吸着部（テーブル）８が搭載されている。こ
の基板吸着部８に基板７が、例えばその４辺がＸ、Ｙ軸
に平行となるように、吸着されて固定されている。これ
らＸ軸テーブル部５、Ｙ軸テーブル部６は制御装置１１
によって制御駆動され、Ｘ軸テーブル部５が駆動される
と、Ｙ軸テーブル部６がＸ軸方向に移動して基板吸着部
８が、従って基板７がＸ軸方向に移動し、Ｙ軸テーブル
部６が駆動されると、基板７がＹ軸方向に移動する。従
って、Ｘ軸テーブル部５とＹ軸テーブル部６とが制御装
置１１によって制御駆動されることにより、架台部９の
面に平行な面内で任意の方向に移動することができる。

【００１１】一方、架台部９の面上にはＺ軸テーブル部
支持部１０が搭載されており、このＺ軸テーブル部支持
部１０にノズル１やペ−ストカートリッジであるをペー
スト収納筒２、光学式変位計３をＺ軸方向（上下方向）
に移動させるＺ軸テーブル部４が取り付けられている。
ここで、ノズル１はペ−スト収納筒２の下端に取り付け
られており、光学式変位計３は円筒２の脇に配置されて
いる。Ｚ軸テ−ブル部４も制御装置１１によって制御駆
動され、Ｚ軸テ−ブル部４が駆動されると、これらノズ
ル１やペースト収納筒２、光学式変位計３が上下方向に
移動する。

【００１２】かかる構成において、基板７上にペースト
のパターンを描く場合には、まず、Ｚ軸テーブル部４が
制御装置１１によって駆動制御され、ノズル１の先端を
基板７から所定の高さ位置に固定する。ここでは、この
高さ位置を形成されるペーストパターンの厚み分とす
る。このようにノズル１の位置が設定された後、制御装
置１１によってＸ軸テーブル部５とＹ軸テーブル部６と
が駆動制御されて基板７が上記平面上を移動し、これと
ともに、ノズル１の先端から単位時間当たり一定の吐出
量でペースト収納筒２のペーストが基板７上に吐出され
る。これにより、基板７上にペーストのパターンが描か
れる。

【００１３】図３は図２に示した実施例でのペ−ストの
塗布動作状態を示す図であって、１２はペースト、１３
はホース、１４は吸着穴であり、図２に対応する部分に
は同一符号をつけている。

【００１４】図３において、ペースト収納筒２はホルダ
１５に着脱可能にセットされている。ホ−ス１１を介し
てペースト収納筒２に圧縮空気あるいは圧縮窒素ガスが
送られ、これにより、ペースト収納筒２に収納されてい
るペ−スト１２がノズル１の先端から基板７上に吐出さ
れる。このとき、ノズル１からの単位時間当りのペ−ス
ト吐出量が一定に保たれる。基板吸着部８には複数個の
吸着穴１４が設けられ、これら吸着穴１４により、基板
７が吸着されて基板吸着部８の所定の位置に載置されて
いる。光学式変位計３は三角測量法でもって基板７との
間隔を計測する。具体的には、投光素子からレ−ザ光を
基板７上に斜めに照射し、そこからの反射光を受光する
受光素子の位置から光学式変位計３と基板７との間隔を
測定する。そして、ノズル１と光学式変位計３の位置関
係からノズル１の先端と基板７との間隔を算出する。か
かる算出結果に基づいて、制御装置１１（図２）がＺ軸
テ−ブル部４を制御し、このノズル１の先端と基板７と
の間隔を、先に説明したように、また、図３に示すよう
に、基板７上に塗布されるペ−スト１２の厚さにほぼ等
しくなるようにする。

【００１５】Ｘ軸テ−ブル部５とＹ軸テ−ブル部６を制
御装置１１により駆動制御して基板７を水平面内で移動
させ、同時に、ホ−ス１３を介してペースト収納筒２に
収納されたペースト１２に対して圧縮空気あるいは圧縮
窒素ガスを作用させ、ノズル１の吐出口からペースト１
２を吐出させると、基板７上に所望形状のペ−ストパタ
ーンが描画される。この描画中に基板７に接触するもの
はないので、基板７を清浄に保つことができるだけでな
く、基板７を傷つけることもない。

【００１６】以下、本発明の実施例を図面によって説明
する。図１は本発明によるペースト塗布機のノズル位置
決め方法の一実施例を示す工程図であって、１６は測定
用治具、１７は画像認識用ＣＣＤカメラであり、前出図
面に対応する部分には同一符号を付けている。

【００１７】まず、図１（ａ）に示すように、基板吸着
部８に測定用治具１６が保持され、ノズル１が一体とな
ったペースト収納筒２と光学式変位計３とを、実線で示
した初期状態から点線で示すようにノズル１の先端が測
定用治具１６に当接する位置まで、下降させる。そし
て、光学式変位計３は測定用治具１６までの距離を測定
する。このときの測定距離を距離ｄ１とする（ノズル当
接工程）。

【００１８】なお、ノズル１の先端を測定用治具１６に
当接させる具体的機構の例については、後に詳細に説明
する。

【００１９】次に、図１（ｂ）に示すように、Ｚ軸テ−
ブル部４でペースト収納筒２と光学式変位計３を任意の
高さまで上昇させ、実線で示す測定用治具１６の代わり
に点線で示す基板７を基板吸着部８上にセットする（基
板セット工程）。

【００２０】次いで、図１（ｃ）に示すように、ペース
ト収納筒２と光学式変位計３とを下降させながら光学式
変位計３で基板７までの距離ｄ３を測定し、この測定距
離ｄ３がノズル１の先端と基板７との間の設定しようと
する所望の間隙ｄ２とノズル当接工程で先に光学式変位
計３が検出した距離ｄ１との和に一致したとき、Ｚ軸テ
−ブル部４の駆動を停止してペースト収納筒２と光学式
変位計３との下降をとめる（ノズル位置合せ工程）。こ
れにより、非接触で距離を測定する光学式変位計３の検
出出力を確認しつつＺ軸テ−ブル部４を駆動するだけ
で、基板７に接触させずに、ノズル１の先端と基板７と
の間隔を所望の間隔ｄ２にセットすることができる。

【００２１】そして、図１（ｄ）に示すように、画像認
識用ＣＣＤカメラ１７で基板７上の認識マ−ク７ａを読
取って、後述するように、基板７を所定の位置にセット
し、しかる後、Ｘ軸テ−ブル部５とＹ軸テ−ブル部６と
を制御装置１４で駆動制御し、例えば矢印Ａで示すよう
に、基板７を点線で示す左方に移動させながらノズル１
の吐出口から、一点鎖線で示すように、ペースト１２を
吐出させ、基板７上に所望形状のペーストパターンを描
画する（描画工程）。

【００２２】以上のように、この実施例では、セットさ
れているペースト収納筒２のペースト１２が吐出し尽く
され、このペースト収納筒２と新たなペースト収納筒２
とが交換されてホルダ−１２に新たなペースト収納筒２
が取付けられたとき、この新たなペースト収納筒２と光
学式変位計３との位置関係が変動しても、この新たなペ
ースト収納筒２に対して図１（ａ）のノズル当接工程を
行なうことにより、その取付け精度による誤差が光学式
変位計３の新たな距離ｄ１に吸収されることになり、こ
の距離ｄ１を用いて図１（ｂ）、（ｃ）を経ることによ
り、新たなペースト収納筒２の取付け精度に拘らず、ノ
ズル１の先端から基板７までの間隔ｄ２が所望のものに
正しく設定されることになる。また、図１（ａ）〜
（ｃ）の工程でもノズル１の先端の吐出口が基板７に触
れることはないから、基板７の表面をペーストで汚した
り、傷つけることはない。

【００２３】以上の説明では、基板７が全体にわたって
一定の厚さで表面が平坦なものであるとしている。しか
し、実際には、基板７の表面にはかすかなうねりや凹凸
があり、図１（ａ）で説明したように、光学式変位計３
で測定した距離ｄ１を用いて、図１（ｃ）に示したよう
に、ノズル１の先端から基板７までの間隔を所望の間隔
ｄ２とする距離ｄ３を決めても、基板７上のノズル１の
先端に対向した位置と光学式変位計３が対向する位置と
はずれがあるので、このノズル１の先端から基板７まで
の間隔は所望の間隔ｄ２になっていないおそれがある。

【００２４】そこで、まず、図１（ｃ）において、実線
で示す位置で、図１（ａ）の工程で測定した距離ｄ１と
ノズル１の先端、基板７間の所望の間隔ｄ２との和に距
離ｄ３が等しくなるように、ノズル１と光学式変位計３
とを位置決めし、そのときの光学式変位計３のＺ軸テ−
ブル部４に対する相対位置を得る。次に、図１（ｃ）に
おいて、実線で示す位置の光学式変位計３がペースト収
納筒２の実線で示す位置に一致した点線で示した位置に
なるように、ペースト収納筒２と光学式変位計３とを基
板７の面に平行に移動させ、上記と同様、図１（ａ）の
工程で測定した距離ｄ１とノズル１の先端、基板７間の
所望の間隔ｄ２との和に距離ｄ３が等しくなるように、
ノズル１と光学式変位計３とを位置決めし、そのときの
光学式変位計３のＺ軸テ−ブル部４に対する相対位置を
得る。そして、これら相対位置の差分を演算し、演算結
果が零であれば、基板７の表面にうねりや凹凸が無かっ
たことになり、演算結果が零以外であれば、基板７の表
面にうねりや凹凸があることになり、その演算結果をう
ねりや凹凸による偏差として、図１（ｄ）で説明した描
画工程に入る前に、光学式変位計３をＺ軸テ−ブル部４
で上記の偏差分だけ補正移動させれば、図１（ｃ）にお
いて、実線で示した位置でノズル１の先端から基板７ま
での距離は所望の間隔ｄ２となる。

【００２５】この方法により、ペーストパターンを図１
（ｄ）の工程で形成する前に、ペーストが塗布される各
位置（以下、塗布予定位置という）について上記の偏差
を求め、図１（ｄ）の描画工程では、各塗布予定位置毎
に対応する偏差分補正することにより、基板７の表面に
うねりや凹凸によるペーストパターンの断面形状の変動
を防止できる。

【００２６】即ち、、図１（ｄ）に示した全描画工程に
先立ち、まず、１つの塗布予定位置について、図１
（ａ）に示した工程で距離ｄ１を求め、図１（ｃ）に示
したように、光学式変位計３の基板７までの距離ｄ３が
この距離ｄ１とノズル１の先端、基板７間の所望の間隔
ｄ２との和に等しくなる位置にノズル１と光学式変位計
３とを設定し、そのときの光学式変位計３のＺ軸テ−ブ
ル部４との相対位置を得て基準相対位置とする。そし
て、各塗布予定位置に移動させて光学式変位計３の基板
７までの測定距離ｄ３が上記距離ｄ１とノズル１の先
端、基板７間の所望の間隔ｄ２との和に等しくなるよう
にし、このときの光学式変位計３のＺ軸テ−ブル部４と
の相対位置を得、これらと基準相対位置との偏差分を求
める。そして、図１（ｄ）に示した描画工程では、Ｘ軸
テ−ブル部５とＹ軸テ−ブル部６を制御装置１４により
駆動制御させながら、各塗布予定位置毎に、光学式変位
計３をＺ軸テ−ブル部４で対応する上記偏差分だけ補正
移動させる。これにより、ペースト１２が塗布される各
位置では、ノズル１の先端から基板７までの距離が所望
の間隔ｄ２となる。

【００２７】なお、上記偏差を求めるペーストの塗布予
定位置は、ペーストパターンが形成される軌跡に沿って
充分細かい間隔の位置とすればよい。

【００２８】また、このように各塗布予定位置で上記の
偏差を求める場合、前述のとおり、光学式変位計３は三
角測量法で基板７との間隔を計測し、投光素子からレ−
ザ光を基板７に斜めに当てて、その反射光の方向に対し
て略垂直方向に配列された複数個の受光素子のうちその
反射光を受けた受光素子の位置から光学式変位計３と基
板７との間隔を測定し、さらに、ノズル１の先端と光学
式変位計３の位置関係からノズル１の先端と基板７との
間隔を算出するのであるから、ある塗布予定位置で基準
相対位置を検出する場合、反射光を受ける受光素子が中
央に配列された受光素子になるように、Ｚ軸テ−ブル部
４に対して光学式変位計３が取付けられることにより、
基板７のうねりや凹凸によって各塗布予定位置での偏差
が基準相対位置に対して正負いずれの方向になっていて
も、全ての塗布予定位置に対して基板７のうねりや凹凸
による偏差を求めることができる。

【００２９】図４、図５は、このように基準相対位置を
検出するときに、光学式変位計３における中央に配列さ
れた受光素子が反射光を受光するようにするための方法
を示すものである。

【００３０】図４においては、ホルダー１５を上下に移
動させるためのマイクロメ−タ１８が設けられており、
マイクロメ−タ１８の手動操作よってホルダー１５を上
下させて位置調整し、ノズル１の先端が測定用治具１６
に当接したとき、光学式変位計３の中央よりも所定の距
離ｄ２だけずれて配置された受光素子で反射光を受光さ
せることにより、上記の基準相対位置を求めるときに中
央の受光素子が反射光を受光するようにすることができ
る。

【００３１】図５においては、Ｚ軸テ−ブル部４とホル
ダー１５との間に荷重計１９とマイクロメータ１８（図
４）と同様の機能を有するノズル移動部２０とが設けら
れており、荷重計１９はペースト収納筒２、ホルダー１
５の重量を検出する。図１（ａ）の工程において、Ｚ軸
テ−ブル部４でペースト収納筒２とホルダー１５とを下
降させ、ノズル１の先端が測定用治具１６に当接すると
荷重計１９の出力は零になるので、このことをもってノ
ズル１の先端が測定用治具１６に当接したことを確認す
ることができる。この場合でも、ノズル移動部材２０を
手動で調整することにより、図４の場合と同様、基準相
対位置を求めるときの光学式変位計３の反射光を受光す
る受光素子を中央に配列された受光素子とすることがで
きる。

【００３２】また、図５に示す構成では、ペースト収納
筒２に充填されているペースト１２の重さも荷重計１９
で計測しているので、予めペースト収納筒２とホルダー
１５の重量を測定しておくことにより、ペースト収納筒
２に収納されているペースト１２の減少量やペースト収
納筒２が空になることを知ることができる。

【００３３】図６は、図１（ｄ）に示した画像認識用Ｃ
ＣＤカメラを用いた基板７の基板吸着部８での位置設定
手段の一具体例を示す構成図であって、１７ａ、１７ｂ
は画像認識用ＣＣＤカメラ、２１は光学系ベース、２２
ａ、２２ｂはＸＹＺ軸テーブル部、２３ａ、２３ｂは鏡
筒であり、図１に対応する部分には同一符号をつけてい
る。

【００３４】同図において、２台の画像認識用ＣＣＤカ
メラ１７ａ、１７ｂが図２の架台部９の一部である光学
系ベ−ス２１上に設けられたＸＹＺ軸テ−ブル部２２
ａ、２２ｂに各々設置されている。これらＣＣＤカメラ
１７ａ、１７ｂは夫々鏡筒２３ａ、２３ｂを備え、鏡筒
２３ａ、２３ｂを通して基板吸着部８に載置された基板
７の表面を観測できるようになっている。なお、図６で
は、煩雑化を避けるために、Ｚ軸テ−ブル部４を支持し
ているＺ軸テ−ブル部支持部１０（図２）は省略されて
いる。

【００３５】図７に示すように、基板７上には、画像認
識用ＣＣＤカメラ１７ａ、１７ｂの視野の中心点間の距
離に等しい間隔で２つの認識用マーク７ａ、７ｂが付さ
れており、これら認識用マーク７ａ、７ｂを用いて、次
のように、基板７が基板吸着部８の所定位置に正確に載
置されているか否かの確認と、基板７の位置修正を行な
う。

【００３６】即ち、まず、図７に示すように、基板７が
基板吸着部８上に載置され、認識用マーク７ａ、７ｂが
画像認識用ＣＣＤカメラ１７ａ、１７ｂの視野２４ａ、
２４ｂの中心点に一致するように、Ｘ軸テーブル部５と
Ｙ軸テーブル部６とで基板７の位置が予備調整される。
次に、基板７を移動させて画像認識用ＣＣＤカメラ１７
ａ、１７ｂの視野２４ａ、２４ｂの中心点にノズル１の
先端が一致するようにし、ノズル１の先端からわずかに
ペ−ストを吐出させ、基板７の表面上にペ−ストを点状
に塗布して点状ペースト２５ａ、２５ｂを形成する。ノ
ズル１の先端のかかる位置設定は図２の制御装置１１が
Ｘ軸テーブル部５とＹ軸テーブル部６を駆動制御するこ
とによって行なわれる。

【００３７】これにより、点状ペ−スト２５ａ、２５ｂ
が認識用マ−ク７ａ、７ｂに一致して塗布されたときに
は、基板７が基板吸着部８の所定位置に正確に載置され
ていることになる。しかし、点状ペ−スト２５ａ、２５
ｂが認識用マ−ク７ａ、７ｂに一致しないときには、基
板７が基板吸着部８の所定位置に正確に載置されていな
いことになり、この場合には、画像認識用ＣＣＤカメラ
１７ａ、１７ｂで夫々の視野２４ａ、２４ｂ内の認識用
マ−ク７ａ、７ｂと点状ペ−スト２５ａ、２５ｂを読み
取り、図示していない画像処理装置部によって認識用マ
−ク７ａと点状ペ−スト２５ａとのずれ量、認識用マ−
ク７ｂと点状ペ−スト２５ｂとのずれ量を夫々画像を処
理して求め、これらにずれ量分だけ制御装置１１によっ
てＸ軸テ−ブル部５とＹ軸テ−ブル部６を駆動制御し、
基板７の位置調整をする。そして、これとともに、基板
７をノズル１の先端に対してＸ軸およびＹ軸の方向に移
動させ、ノズル１の先端を基板７の塗布開始点に正しく
位置設定する。

【００３８】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は、この実施例にのみ限定されるものでな
い。例えば、上記実施例では、距離測定手段として光学
式変位計を用いたが、非接触で距離を測定できるもので
あれば、他の手段を用いてもよい。

【００３９】また、基板７は基板吸着部８に吸着させる
ようにしたが、Ｙ軸テ−ブル部６に直接固定するように
してもよい。

【００４０】さらに、図１（ａ）に示した測定用治具１
６は表面が平坦なものであったが、高精度に製作された
ものであれば、段差でもって異なるステージが形成され
た測定用治具とし、一方のステ−ジにノズル１の先端を
当接させ、他方のステ−ジで光学式変位計や他の非接触
の距離センサによる距離測定を行なうようにしてもよ
い。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ペースト収納筒を交換可能なペ−ストカ−トリッジし、
該ペ−ストカ−トリッジを交換しても、取付け精度に拘
らず、ノズルの先端と基板の間隔を高精度に所望のもの
にすることができ、ペーストパターン全体にわたってそ
の断面形状を正確に所望の一定形状にすることができる
し、また、ノズルの先端が基板に当接することがないの
で、基板の表面を清浄に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるペース塗布機のノズル位置決め方
法の一実施例を示す工程図である。

【図２】本発明が適用されるペースト塗布機の要部を示
す斜視図である。

【図３】図２に示したペースト塗布機のペースト塗布動
作状態を示す図である。

【図４】図２に示したペスート塗布機のノズルの先端の
位置調整手段の一具体例を示す図である。

【図５】図２に示したペスート塗布機のノズルの先端の
位置調整手段の他の具体例を示す図である。

【図６】図２に示したペースト塗布機の基板の設定位置
確認手段の一具体例を示す図である。

【図７】図６で示した手段による基板の位置決め方法を
示す図である。

【符号の説明】

１ ノズル ２ ペースト収納筒 ３ 光学式変位計 ４ Ｚ軸テ−ブル部 ５ Ｘ軸テ−ブル部 ６ Ｙ軸テ−ブル部 ７ 基板 ７ａ、７ｂ 認識用マ−ク ８ 基板吸着部 １２ ペ−スト １６ ホルダ−測定用治具 １７、１７ａ、１７ｂ 画像認識用ＣＣＤカメラ １８ マイクロメ−タ １９ 荷重計 ２０ ノズル移動部 ２１ 光学系ベ−ス ２２ａ、２２ｂ ＸＹＺ軸テ−ブル部 ２３ａ、２３ｂ 鏡筒 ２４ａ、２４ｂ 画像認識用ＣＣＤカメラ１７ａ、１７
ｂの視野 ２５ａ、２５ｂ 点状ペースト

フロントページの続き (72)発明者 三階 春夫 茨城県竜ケ崎市向陽台５丁目２番 日立 テクノエンジニアリング株式会社 開発 研究所内 (56)参考文献 特開 昭59−358（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−3841（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−122127（ＪＰ，Ａ)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペースト収納筒の先端に設けられたノズ
   ルのペースト吐出口に対向させて基板を移動可能なテー
   ブル上に保持し、該ノズルから該ペースト収納筒に充填
   されたペーストを吐出させながら該基板を該ノズルと相
   対的に移動させ、該基板上にペーストによる所望のパタ
   ーンを描画するペースト塗布機において、該テーブル上に測定用治具を保持し、該測定用治具に該
   ノズルの吐出口を当接させて、そのときの該ペースト収
   納筒と一定の位置関係にあるはずの距離センサが計測す
   る該測定用治具までの距離ｄ１ を得る第１の工程と、該第１の工程に続いて、該テーブル上に、該測定用治具
   に代えて、 該基板を保持する第２の工程と、該第２の工程に続いて、該ペースト収納筒と該距離セン
   サとを該基板に対して移動させながら該距離センサによ
   り該基板までの距離ｄ３を検出し、該距離ｄ３が該第１
   の工程で得られた上記距離ｄ１と該ノズルのペースト吐
   出口，該基板間の所望とする間隔ｄ２との和ｄ１＋ｄ２
   に一致するように、該基板に対する該ノズル収納筒の位
   置設定を行なう 第３の工程とからなり、該基板への該所
   望のパターンの描画に先立って、該第１〜第３の工程に
   より、該ノズルのペースト吐出口と該基板との間を上記
   の間隔ｄ２に設定することを特徴とするペースト塗布機
   のノズル位置決め方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記ペースト収納筒と前記距離センサとの間に前記ペー
   スト収納筒の荷重を検出する荷重計が設けられ、 前記第１の工程は、該荷重計の検出出力が零になるまで
   前記ノズルのペースト吐出口を前記測定用治具に近付け
   る工程を含むことを特徴とするペースト塗布機のノズル
   位置決め方法。
3. 【請求項３】 請求項１において、 前記第３の工程は、前記ノズルのペースト吐出口をペー
   ストによる描画位置に配置し、 ペーストによる該描画位置における前記距離センサによ
   って得られる前記基板 までの距離ｄ３が前記第１の工程
   で前記距離センサによって得られた前記距離ｄ１と前記
   ノズルのペースト吐出口，前記基板間の所望とする前記
   間隔ｄ２との和ｄ１＋ｄ２に一致するように、前記ペー
   スト収納筒と前記距離センサとを前記基板に対して移動
   させたときの、前記距離センサの位置と前記第３の工程
   での前記距離センサの位置との差分でもって前記ペース
   ト収納筒と前記距離センサとを前記基板に対して補正移
   動させる第４の工程を有することを特徴とするペースト
   塗布機のノズル位置決め方法。
4. 【請求項４】 請求項１において、 前記距離センサは光学式変位計であることを特徴とする
   ペースト塗布機のノズル位置決め方法。
5. 【請求項５】 請求項１において、 前記第３の工程で前記距離センサにより得られる前記基
   板までの距離ｄ３が前記第１の工程で前記距離センサに
   より得られた前記距離ｄ１と前記ノズルのペースト吐出
   口，前記基板間の所望とする前記間隔ｄ２との和ｄ１＋
   ｄ２と前記距離センサの出力レンジの中央近傍で一致す
   るように、前記ペースト収納筒と前記距離センサとの位
   置関係を設定したことを特徴とするペースト塗布機のノ
   ズル位置決め方法。