CN113651544A - 一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺 - Google Patents
一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113651544A CN113651544A CN202110958176.8A CN202110958176A CN113651544A CN 113651544 A CN113651544 A CN 113651544A CN 202110958176 A CN202110958176 A CN 202110958176A CN 113651544 A CN113651544 A CN 113651544A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- product
- protective
- strip
- ink
- screen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000005187 foaming Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 36
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 32
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 23
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 21
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 15
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 12
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 5
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 3
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 claims 1
- 239000000047 product Substances 0.000 abstract description 59
- 239000007888 film coating Substances 0.000 abstract description 17
- 238000009501 film coating Methods 0.000 abstract description 17
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012467 final product Substances 0.000 abstract description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M1/00—Inking and printing with a printer's forme
- B41M1/12—Stencil printing; Silk-screen printing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M1/00—Inking and printing with a printer's forme
- B41M1/26—Printing on other surfaces than ordinary paper
- B41M1/34—Printing on other surfaces than ordinary paper on glass or ceramic surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M3/00—Printing processes to produce particular kinds of printed work, e.g. patterns
- B41M3/003—Printing processes to produce particular kinds of printed work, e.g. patterns on optical devices, e.g. lens elements; for the production of optical devices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/08—Severing cooled glass by fusing, i.e. by melting through the glass
- C03B33/082—Severing cooled glass by fusing, i.e. by melting through the glass using a focussed radiation beam, e.g. laser
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/31—Pre-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/32—After-treatment
- C03C2218/328—Partly or completely removing a coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/355—Temporary coating
Abstract
本发明公开了一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺。本发明工艺选用保护油墨采用丝印方式搭配镀膜工艺完成片状图形化镀膜加工，结合高温发泡胶带粘合工艺对片状镀膜品进行粘合从而完成外形尺寸的条形加工，再同样经丝印保护油墨镀膜完成单条另外两面图形化镀膜加工，针对图形对位精度可通过激光切割十字标记进行丝印保护油墨对位确认。最终经脱胶工艺完成最终产品加工。解决现有工艺因片尺寸厚度太厚(超过10mm)无法进行光刻，且因片形状为条形无法进行涂胶、显影等工序作业的问题。
Description
技术领域
本发明涉及光学镀膜加工领域，尤其涉及一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺。
背景技术
现有半导体的涂胶-光刻-显影工艺因片尺寸厚度太厚(超过10mm)无法进行光刻，且因片形状为条形无法进行涂胶、显影等工序作业。因此急需研发出一种形状为条形的光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明设计了一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺。
本发明采用如下技术方案：
一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其工艺步骤为：
S1:激光切割：选取2mm-20mm厚度的光学玻璃基板，依据产品的外形尺寸找到光学玻璃基板中心,依据实际加工产品的图形化镀膜的尺寸大小选择无效区，采用激光切割做多个长宽为3mm 的十字对位确认标记，用于片状下正反两面图形化印刷相对位置的准确对位标记；
S2:超声波清洗：对光学玻璃基板表面进行超声波清洗；
S3:第一面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第一面丝印保护油墨；
S4:烘烤：第一面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；
S5:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；
S6: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；
S7：第一面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第一面蒸发镀膜；
S8: 超声波清洗：将完成第一面蒸发镀膜的产品进行超声波清洗，同时翻转产品后清洗表面；
S9:第二面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第二面丝印保护油墨；
S10:烘烤：第二面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；
S11:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；
S12: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；
S13：第二面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第二面蒸发镀膜；
S14: 超声波清洗：将完成第二面蒸发镀膜的产品表面进行超声波清洗；
S15:粘合：将双面高温发泡胶带分别粘合在两侧镀膜表面，将TTV (TTV是硅单晶片在厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值，称作硅片的总厚度变化)在5um 以内的保护玻璃贴合在双面高温发泡胶带表面，然后使用0.2Mpa-0.4Mpa压力的压合机，压合机上部压板加热至85℃±5℃，下部平台同样加热至85℃±5℃，压合15分钟，完成保护玻璃的贴合；
S16:多刀分割：采用多刀分割机按照十字标记位置进行切割，将片状产品切割成条形；
S17: 抛光面加工：对切割后表面经超声波清洗、研磨、超声波清洗、抛光、超声波清洗工艺完成条形另外两面的抛光面加工；
S18: 条形产品另外两面的镀膜：针对条形产品另外两面，重复步骤S1-S14，完成条形产品另外两面的丝印保护油墨和蒸发镀膜；
S19：烘烤、去胶: 将条形镀膜品放至195℃烤箱中进行烘烤15分钟，此时双面高温发泡胶带发泡且粘性消失，将两侧贴合的保护玻璃移除；
S20：NMP浸泡: 将条形镀膜品浸泡至NMP常温溶液中12h；
S21：二甲基亚砜冲洗：将浸泡后条形镀膜品进行二甲基亚砜溶液冲洗；去除膜层边缘残留的保护油墨；
S22：超声波清洗：将条形镀膜品通过超声波纯水清洗，确保产品整个外观洁净，完成整个工艺。
作为优选，步骤S3和S9中，保护油墨选择容大热固化保护油墨THW-5B205，网板选择500目的钢丝网板。保护油墨选择条件：①考量到保护油墨粘稠度太低导致图案印刷边缘会出现毛边,粘稠度太高会导致图形化边缘因出墨量太少呈现边缘锯齿状，经验证粘稠度选择在50-100 dpa.s。②考量到镀膜制程为真空高温条件，镀膜最高温度为160℃，所以油墨固化后需可承受镀膜温度180℃3h且不能有气体挥发。③固化后硬度需＞1H，固化后避免因后工序剐蹭导致保护油墨被破坏掉。④镀膜后采用弱碱性溶液或者NMP、去胶液可较容易去除保护油墨。此钢丝网板相对树脂网板在印刷较大尺寸的片状图案因网板印刷张力产生的尺寸变化量更低。
作为优选，步骤S3和S9中，印刷后，丝印十字图案与激光图案十字位置偏差小于±20um。丝印图案无缺损，毛边或锯齿状。
作为优选，所述Plasma清洗的Plasma工艺参数为：气体-O2，流量：150sccm-300sccm，时间: 300s-400s，功率:450w。考量到因油墨为有机类材料其油墨中有掺入易于挥发有机试剂，经过烘烤固化制程，有机试剂将会挥发出来，此有挥发物会污染至未丝印油墨区域，若处理不净镀膜膜层将镀膜至此被污染区域，此会导致膜层牢固度出现异常-膜层脱落异常。需要有针对性的Plasma清洗工艺。
作为优选，步骤S15中，双面高温发泡胶带选用Nitto RDS-500F高温热发泡胶带。双面高温发泡胶带的选择：要求①此粘合胶必须具备粘性强，耐碱性洗剂，另粘合后进行外形尺寸加工，若粘合胶厚度的均一性不好将导致产品外形尺寸加工后产品的粘合面与切割面直角度差；要求②此粘合胶厚度容易控制，外形尺寸加工后此两面同样需经过保护油墨烘烤及镀膜等高温工序；要求③此粘合胶带粘合后必须可承受160℃ 高温条件。综上所述本制程工艺选用 Nitto RDS-500F 高温热发泡胶带,此胶带具有粘性强（高达380N/cm2）,厚度一致性好（56um±5um），耐高温（最高耐受温度160℃）粘合后耐酸、耐碱且易于脱胶（高温180℃ 烘烤15分钟 即可分离）。
本发明的有益效果是：本发明工艺选用保护油墨采用丝印方式搭配镀膜工艺完成片状图形化镀膜加工，结合高温发泡胶带粘合工艺对片状镀膜品进行粘合从而完成外形尺寸的条形加工，再同样经丝印保护油墨镀膜完成单条另外两面图形化镀膜加工，针对图形对位精度可通过激光切割十字标记进行丝印保护油墨对位确认。最终经脱胶工艺完成最终产品加工。解决现有工艺因片尺寸厚度太厚(超过10mm)无法进行光刻，且因片形状为条形无法进行涂胶、显影等工序作业的问题。
附图说明
图1是本发明的一种工艺流程图；
具体实施方式
下面通过具体实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的具体描述：
实施例：如附图1所示，一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其工艺步骤为：
S1:激光切割：选取2mm-20mm厚度的光学玻璃基板，依据产品的外形尺寸找到光学玻璃基板中心,依据实际加工产品的图形化镀膜的尺寸大小选择无效区，采用激光切割做多个长宽为3mm 的十字对位确认标记，用于片状下正反两面图形化印刷相对位置的准确对位标记；
S2:超声波清洗：对光学玻璃基板表面进行超声波清洗；
S3:第一面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第一面丝印保护油墨；
S4:烘烤：第一面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；
S5:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；
S6: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；
S7：第一面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第一面蒸发镀膜；
S8: 超声波清洗：将完成第一面蒸发镀膜的产品进行超声波清洗，同时翻转产品后清洗表面；
S9:第二面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第二面丝印保护油墨；
S10:烘烤：第二面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；
S11:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；
S12: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；
S13：第二面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第二面蒸发镀膜；
S14: 超声波清洗：将完成第二面蒸发镀膜的产品表面进行超声波清洗；
S15:粘合：将双面高温发泡胶带分别粘合在两侧镀膜表面，将TTV 在5um 以内的保护玻璃贴合在双面高温发泡胶带表面，然后使用0.2Mpa-0.4Mpa压力的压合机，压合机上部压板加热至85℃±5℃，下部平台同样加热至85℃±5℃，压合15分钟，完成保护玻璃的贴合；
S16:多刀分割：采用多刀分割机按照十字标记位置进行切割，将片状产品切割成条形；
S17: 抛光面加工：对切割后表面经超声波清洗、研磨、超声波清洗、抛光、超声波清洗工艺完成条形另外两面的抛光面加工；
S18: 条形产品另外两面的镀膜：针对条形产品另外两面，重复步骤S1-S14，完成条形产品另外两面的丝印保护油墨和蒸发镀膜；
S19：烘烤、去胶: 将条形镀膜品放至195℃烤箱中进行烘烤15分钟，此时双面高温发泡胶带发泡且粘性消失，将两侧贴合的保护玻璃移除；
S20：NMP浸泡: 将条形镀膜品浸泡至NMP常温溶液中12h；
S21：二甲基亚砜冲洗：将浸泡后条形镀膜品进行二甲基亚砜溶液冲洗；去除膜层边缘残留的保护油墨；
S22：超声波清洗：将条形镀膜品通过超声波纯水清洗，确保产品整个外观洁净，完成整个工艺。
步骤S3和S9中，保护油墨选择容大热固化保护油墨THW-5B205，网板选择500目的钢丝网板。保护油墨选择条件：①考量到保护油墨粘稠度太低导致图案印刷边缘会出现毛边,粘稠度太高会导致图形化边缘因出墨量太少呈现边缘锯齿状，经验证粘稠度选择在50-100 dpa.s。②考量到镀膜制程为真空高温条件，镀膜最高温度为160℃，所以油墨固化后需可承受镀膜温度180℃3h且不能有气体挥发。③固化后硬度需＞1H，固化后避免因后工序剐蹭导致保护油墨被破坏掉。④镀膜后采用弱碱性溶液或者NMP、去胶液可较容易去除保护油墨。此钢丝网板相对树脂网板在印刷较大尺寸的片状图案因网板印刷张力产生的尺寸变化量更低。
步骤S3和S9中，印刷后，丝印十字图案与激光图案十字位置偏差小于±20um。丝印图案无缺损，毛边或锯齿状。
Plasma清洗的Plasma工艺参数为：气体-O2，流量：150sccm-300sccm，时间: 300s-400s，功率:450w。考量到因油墨为有机类材料其油墨中有掺入易于挥发有机试剂，经过烘烤固化制程，有机试剂将会挥发出来，此有挥发物会污染至未丝印油墨区域，若处理不净镀膜膜层将镀膜至此被污染区域，此会导致膜层牢固度出现异常-膜层脱落异常。需要有针对性的Plasma清洗工艺。
步骤S15中，双面高温发泡胶带选用Nitto RDS-500F高温热发泡胶带。双面高温发泡胶带的选择：要求①此粘合胶必须具备粘性强，耐碱性洗剂，另粘合后进行外形尺寸加工，若粘合胶厚度的均一性不好将导致产品外形尺寸加工后产品的粘合面与切割面直角度差；要求②此粘合胶厚度容易控制，外形尺寸加工后此两面同样需经过保护油墨烘烤及镀膜等高温工序；要求③此粘合胶带粘合后必须可承受160℃ 高温条件。综上所述本制程工艺选用 Nitto RDS-500F 高温热发泡胶带,此胶带具有粘性强（高达380N/cm2）,厚度一致性好（56um±5um），耐高温（最高耐受温度160℃）粘合后耐酸、耐碱且易于脱胶（高温180℃烘烤15分钟 即可分离）。
本发明工艺选用保护油墨采用丝印方式搭配镀膜工艺完成片状图形化镀膜加工，结合高温发泡胶带粘合工艺对片状镀膜品进行粘合从而完成外形尺寸的条形加工，再同样经丝印保护油墨镀膜完成单条另外两面图形化镀膜加工，针对图形对位精度可通过激光切割十字标记进行丝印保护油墨对位确认。最终经脱胶工艺完成最终产品加工。解决现有工艺因片尺寸厚度太厚(超过10mm)无法进行光刻，且因片形状为条形无法进行涂胶、显影等工序作业的问题。
以上所述的实施例只是本发明的一种较佳的方案，并非对本发明作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。
Claims (5)
1.一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其特征是，其工艺步骤为：
S1:激光切割：选取2mm-20mm厚度的光学玻璃基板，依据产品的外形尺寸找到光学玻璃基板中心,依据实际加工产品的图形化镀膜的尺寸大小选择无效区，采用激光切割做多个长宽为3mm 的十字对位确认标记，用于片状下正反两面图形化印刷相对位置的准确对位标记；
S2:超声波清洗：对光学玻璃基板表面进行超声波清洗；
S3:第一面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第一面丝印保护油墨；
S4:烘烤：第一面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；
S5:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；
S6: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；
S7：第一面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第一面蒸发镀膜；
S8: 超声波清洗：将完成第一面蒸发镀膜的产品进行超声波清洗，同时翻转产品后清洗表面；
S9:第二面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第二面丝印保护油墨；
S10:烘烤：第二面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；
S11:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；
S12: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；
S13：第二面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第二面蒸发镀膜；
S14: 超声波清洗：将完成第二面蒸发镀膜的产品表面进行超声波清洗；
S15:粘合：将双面高温发泡胶带分别粘合在两侧镀膜表面，将TTV 在5um 以内的保护玻璃贴合在双面高温发泡胶带表面，然后使用0.2Mpa-0.4Mpa压力的压合机，压合机上部压板加热至85℃±5℃，下部平台同样加热至85℃±5℃，压合15分钟，完成保护玻璃的贴合；
S16:多刀分割：采用多刀分割机按照十字标记位置进行切割，将片状产品切割成条形；
S17: 抛光面加工：对切割后表面经超声波清洗、研磨、超声波清洗、抛光、超声波清洗工艺完成条形另外两面的抛光面加工；
S18: 条形产品另外两面的镀膜：针对条形产品另外两面，重复步骤S1-S14，完成条形产品另外两面的丝印保护油墨和蒸发镀膜；
S19：烘烤、去胶: 将条形镀膜品放至195℃烤箱中进行烘烤15分钟，此时双面高温发泡胶带发泡且粘性消失，将两侧贴合的保护玻璃移除；
S20：NMP浸泡: 将条形镀膜品浸泡至NMP常温溶液中12h；
S21：二甲基亚砜冲洗：将浸泡后条形镀膜品进行二甲基亚砜溶液冲洗；去除膜层边缘残留的保护油墨；
S22：超声波清洗：将条形镀膜品通过超声波纯水清洗，确保产品整个外观洁净，完成整个工艺。
2.根据权利要求1所述的一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其特征是，步骤S3和S9中，保护油墨选择容大热固化保护油墨THW-5B205，网板选择500目的钢丝网板。
3.根据权利要求1所述的一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其特征是，步骤S3和S9中，印刷后，丝印十字图案与激光图案十字位置偏差小于±20um。
4.根据权利要求1所述的一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其特征是，所述Plasma清洗的Plasma工艺参数为：气体-O2，流量：150sccm-300sccm，时间: 300s-400s，功率:450w。
5.根据权利要求1所述的一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其特征是，步骤S15中，双面高温发泡胶带选用Nitto RDS-500F高温热发泡胶带。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110958176.8A CN113651544A (zh) | 2021-08-20 | 2021-08-20 | 一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110958176.8A CN113651544A (zh) | 2021-08-20 | 2021-08-20 | 一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113651544A true CN113651544A (zh) | 2021-11-16 |
Family
ID=78481491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110958176.8A Pending CN113651544A (zh) | 2021-08-20 | 2021-08-20 | 一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113651544A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115304288A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-11-08 | 武汉智虹光电科技有限公司 | 一种超薄柔性玻璃原片成型包装生产装置及方法 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08175848A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-09 | Central Glass Co Ltd | 膜被覆ガラスの膜分割法 |
| CN103243301A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-14 | 东莞华清光学科技有限公司 | 一种通过真空镀膜实现三维图案显示的方法 |
| CN104498882A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-08 | 安徽立光电子材料股份有限公司 | 在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ito层的工艺方法 |
| CN106929798A (zh) * | 2017-04-05 | 2017-07-07 | 东莞市元升光学有限公司 | 一种光学镀膜褪镀工艺 |
| CN108002709A (zh) * | 2016-11-01 | 2018-05-08 | 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司 | 一种精密丝网印刷取代贴膜及uv转印的玻璃及制备工艺 |
| CN110819957A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-02-21 | 天津北玻玻璃工业技术有限公司 | 镀膜图案玻璃的生产方法 |
| CN110922061A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 江西水晶光电有限公司 | 一种区域滤光片的镀膜方法及应用 |
| CN110977673A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-04-10 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 一种超小尺寸棱镜抛光镀膜加工方法 |
| CN111675491A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-18 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法 |
| CN111704353A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 惠州市祺光科技有限公司 | 一种镀膜立方体棱镜的加工方法 |
| JP2021006498A (ja) * | 2019-06-27 | 2021-01-21 | ヒューマンス カンパニー，リミテッド | 両面鏡を含む接合ガラス及びその製造方法 |
-
2021
- 2021-08-20 CN CN202110958176.8A patent/CN113651544A/zh active Pending
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08175848A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-09 | Central Glass Co Ltd | 膜被覆ガラスの膜分割法 |
| CN103243301A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-14 | 东莞华清光学科技有限公司 | 一种通过真空镀膜实现三维图案显示的方法 |
| CN104498882A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-08 | 安徽立光电子材料股份有限公司 | 在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ito层的工艺方法 |
| CN108002709A (zh) * | 2016-11-01 | 2018-05-08 | 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司 | 一种精密丝网印刷取代贴膜及uv转印的玻璃及制备工艺 |
| CN106929798A (zh) * | 2017-04-05 | 2017-07-07 | 东莞市元升光学有限公司 | 一种光学镀膜褪镀工艺 |
| JP2021006498A (ja) * | 2019-06-27 | 2021-01-21 | ヒューマンス カンパニー，リミテッド | 両面鏡を含む接合ガラス及びその製造方法 |
| CN110819957A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-02-21 | 天津北玻玻璃工业技术有限公司 | 镀膜图案玻璃的生产方法 |
| CN110922061A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 江西水晶光电有限公司 | 一种区域滤光片的镀膜方法及应用 |
| CN110977673A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-04-10 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 一种超小尺寸棱镜抛光镀膜加工方法 |
| CN111675491A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-09-18 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法 |
| CN111704353A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 惠州市祺光科技有限公司 | 一种镀膜立方体棱镜的加工方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 丁彤等: "《中国化工产品大全 第三版 中卷》", 31 January 2005, 化学工业出版社 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115304288A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-11-08 | 武汉智虹光电科技有限公司 | 一种超薄柔性玻璃原片成型包装生产装置及方法 |
| CN115304288B (zh) * | 2022-10-08 | 2022-12-27 | 武汉智虹光电科技有限公司 | 一种超薄柔性玻璃原片成型包装生产装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101620375B1 (ko) | 적층, 컷팅공정을 포함하는 초박형 유리 가공방법 | |
| JP5716678B2 (ja) | 積層体の製造方法および積層体 | |
| EP2604584B1 (en) | Method of manufacturing strengthened glass | |
| KR100380844B1 (ko) | 액정유리기판의 화학연마 방법 및 화학연마장치 | |
| CN107586044A (zh) | 一种防眩光3d玻璃的制作方法 | |
| KR20040086724A (ko) | 반도체 웨이퍼의 분할 방법 | |
| CN111253076A (zh) | 通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃 | |
| KR102328577B1 (ko) | 웨이퍼의 제조 방법 | |
| CN113651544A (zh) | 一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺 | |
| CN107161945A (zh) | 一种at切型石英晶片mems加工方法 | |
| CN106933026A (zh) | 光掩模和光掩模基板及其制造方法、光掩模坯体、显示装置制造方法 | |
| CN106746704A (zh) | 一种内置摄像头电脑的显示屏玻璃的加工方法 | |
| JP2006303180A (ja) | 基板の固定方法 | |
| CN100581824C (zh) | 喷墨记录喷头用基板的制造方法 | |
| JP2007088292A (ja) | 板状部材の切断方法 | |
| CN111225509B (zh) | 一种蚀刻方法 | |
| KR20130127173A (ko) | 개인휴대단말 및 터치스크린용 윈도우글라스의 제조 방법 | |
| KR20040045311A (ko) | 평판 패널 디스플레이용 유리 기판 및 그 제조 방법 | |
| CN111777322A (zh) | 一种玻璃盖片及其加工方法 | |
| JP3665323B2 (ja) | フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法 | |
| CN107623997A (zh) | 一种无披锋pcb的加工方法及pcb | |
| CN103235481B (zh) | 一种匀胶铬版制造工艺 | |
| CN116193723A (zh) | 一种电路板缺陷处理方法 | |
| KR102286402B1 (ko) | 초박형 유리 가공방법 | |
| CN101620373B (zh) | Led显示屏光罩修补方法及装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20211116 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |