KR102286402B1 - 초박형 유리 가공방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 초박형 유리 가공방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초박형 유리 원판을 셀 단위로 절단하고, 절단면을 가공하는데 소요되는 시간을 줄이고 가공 품질을 향상시키기 위한 초박형 유리 가공방법에 관한 것이다.
또한, 초박형 유리 원판을 셀 단위로 절단 및 가공할 때, 절단면의 표면 거칠기를 일정하게 가공하기 위한 초박형 유리 가공방법에 있어서, 초박형 유리 원판을 준비하는 준비단계와 준비된 초박형 유리 원판을 레이저를 이용하여 절단면 표면 거칠기가 일정하도록 복수 개의 셀로 절단하는 절단단계와 셀 단위로 절단된 초박형 유리를 적층하여 적층체를 형성하는 적층단계와 적층체의 측면을 가공하는 힐링단계와 측면이 가공된 적층체를 셀 단위로 분리하는 박리단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

초박형 유리 가공방법{manufacturing method of ultra thin glass}

본 발명은 초박형 유리 가공방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초박형 유리 원판을 셀 단위로 절단하고, 절단면을 가공하는데 소요되는 시간을 줄이고 가공 품질을 향상시키기 위한 초박형 유리 가공방법에 관한 것이다.

일반적으로 LCD 디스플레이는 평판 형태로 제조되고 있어왔으나, 시인성 향상을 위한 곡면 디스플레이가 개발되면서 점차 다른 형태로 지속적으로 발전되고 있다.

접히는 정도에 따라 롤러블 디스플레이에서부터 폴더블 디스플레이에 이르기까지 디스플레이를 접어서 보관하기 위한 플렉시블 디스플레이에 대한 기술이 비약적으로 발전하고 있으며, 초기에는 플렉시블한 수지 재질의 필름으로 디스플레이를 제조하였으나, 굴곡강도가 약하여 접힘 자국이 발생하거나, 표면 강도가 낮은 이유 등으로 다시 유리 재질의 디스플레이 개발이 이루어지고 있다.

특히, 플렉시블 디스플레이한국등록특허 제10-1620375호 "적층, 컷팅공정을 포함하는 초박형 유리 가공방법"과 같은 기술이 개발되어 굴곡 강도 및 굽힘 내구성을 높이게 되었다.

반면, 유리 재질의 디스플레이는 컷팅 휠을 통해 절단할 경우, 절단면이 매끄럽지 못하고 불균일하고, 절단과정에서 형성되는 엣지(Edge) 부위의 미세한 치핑(Chipping)으로 인해 유리가 쉽게 파손되는 문제점이 있었다.

이를 방지하기 위해 엣지 부위를 다이아몬드 연마 휠을 이용한 물리적 연마와 화학적 연마를 실시하고 있다.

특히, 초박형 유리는 그 두께가 매우 얇아 1장 단위로 엣지 부위를 연마하기 어려움에 따라, 복수 개의 셀 단위로 절단한 후 이를 적층하여 복수 개의 셀 단위 유리를 한번에 연마가공하고 있다.

하지만, 컷팅 휠을 이용한 물리적 절단을 통해 형성되는 절단면은 표면이 거칠어 엣지 부위를 면취, 정삭, 황삭 등으로 구분하여 복수 횟수로 나누어 연마를 실시하기에 공정이 길어지고, 연마에 오랜 시간이 소요되어 생산성이 낮은 문제점이 있었다.

또한, 물리적 절단 및 물리적 연마로 인한 충격 및 진동으로 가공과정에서 유리의 전반적인 품질이 하락되는 문제점이 있었다.

이에 따라, 레이저를 이용하여 초박형 유리를 절단하게 되었으나, 일반적인 연속형 레이저는 유리에 열적 변형을 발생시키는 문제점이 있으며, 열적 변형된 부분을 제거하기 위해서 화학적 연마만으로 연마하기에는 많은 시간이 소요되고, 열적 변형된 부분을 화학적 연마만으로 모두 제거하기에는 연마 품질이 균일하지 않음에 따라, 선행적으로 물리적 연마가 별도로 필요한 문제점이 있었다.

이에 따라, 초박형 유리 원판을 셀 단위로 절단 및 가공할 때, 물리적인 절단 및 연마를 최소화하면서 절단면의 표면 거칠기를 일정하게 가공하기 위한 기술 개발의 필요성이 제기되고 있다.

한국등록특허 제10-1620375호 "적층, 컷팅공정을 포함하는 초박형 유리 가공방법"

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 물리적 절단 및 물리적 연마에 따른 절단면 품질 하락과 공정이 길어지는 것을 줄이기 위한 초박형 유리 가공방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 셀 단위로 절단된 초박형 유리를 적층하는데 소요되는 공정을 축소하기 위한 초박형 유리 가공방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법은 초박형 유리 원판을 셀 단위로 절단 및 가공할 때, 절단면의 표면 거칠기를 일정하게 가공하기 위한 초박형 유리 가공방법에 있어서, 초박형 유리 원판을 준비하는 준비단계와 준비된 초박형 유리 원판을 레이저를 이용하여 절단면 표면 거칠기가 일정하도록 복수 개의 셀로 절단하는 절단단계와 셀 단위로 절단된 초박형 유리를 적층하여 적층체를 형성하는 적층단계와 적층체의 측면을 가공하는 힐링단계와 측면이 가공된 적층체를 셀 단위로 분리하는 박리단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 준비단계와 절단단계 사이에 초박형 유리 원판의 상면과 하면 중 적어도 하나 이상의 면에 코팅을 실시하는 코팅단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 코팅단계는 초박형 유리 원판에 화학적 가공시 표면을 보호하기 위한 글라스 에칭용 잉크를 코팅하는 코팅층 형성단계와 코팅된 글라스 에칭용 잉크를 경화시키는 코팅층 경화단계로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 코팅단계는 초박형 유리 원판에 화학적 가공시 표면을 보호하기 위한 감광성 필름을 감광성 필름의 접착층을 통해 부착하는 라미네이팅 단계와 부착된 감광성 필름의 접착층을 경화시키는 접착층 경화단계로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 절단단계는 펨토초 펄스폭을 가진 레이저를 이용하는 것을 특징으로 한다.

또한, 절단단계와 적층단계 사이에 셀 단위로 절단된 초박형 유리의 절단면의 표면 조도를 검사하는 검사단계와 절단면의 표면 조도에 따라 상기 절단단계가 다음 초박형 유리 원판을 절단할 때, 파장 및 펄스폭이 조절된 레이저를 통해 절단하도록 조절하는 보정단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적층단계는 절단된 초박형 유리보다 작은 면적의 간지와 셀 단위로 절단된 초박형 유리를 교번하여 적층시키되, 측면에 점착제를 도포 및 경화시켜 점착제가 측면을 감싸는 형태로 적층체를 형성하고, 상기 적층단계와 힐링단계 사이에 적층체의 측면을 연마하여 절단된 초박형 유리의 측면을 노출시키되, 노출된 초박형 유리와 초박형 유리 사이에는 경화된 점착층이 위치하도록 연마하는 폴리싱단계를 더 포함하며, 상기 박리 단계는 초박형 유리와 초박형 유리 사이의 경화된 점착층 및 간지를 제거하여 초박형 유리를 분리하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적층단계는 절단된 초박형 유리와 같은 면적의 간지와 셀 단위로 절단된 초박형 유리를 교번하여 적층시킨 후 압착하여 적층체를 형성하고,

상기 박리 단계는 초박형 유리와 초박형 유리 사이의 간지를 제거하여 초박형 유리를 분리하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적층단계는 절단된 초박형 유리의 상면에 기설정된 패턴으로 점착제를 도포한 후 다른 절단된 초박형 유리를 적층하는 형태로 반복 적층하여 적층체를 형성하고, 상기 박리 단계는 초박형 유리와 초박형 유리 사이의 점착제를 제거하여 초박형 유리를 분리하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적층단계는 코팅층이 형성된 초박형 유리와 탄성을 가진 다공성 간지를 교번하여 적층시킨 후 압착하여 적층체를 형성하되, 상기 박리 단계가 실시되기 전까지 압착된 상태를 유지시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 코팅단계는 코팅층이 초박형 유리의 가장자리로부터 일정거리가 이격되도록 코팅층의 가장자리를 제거하는 코팅층 가공단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 절단단계는 레이저를 소정의 각도로 경사지게 조사하여 초박형 유리의 절단면 중앙부가 돌출되도록 경사지게 절단하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법에 의하면, 초박형 유리 원판을 물리적 절단 대신 레이저를 이용하여 복수 개의 셀로 절단함으로써, 절단면 표면 거칠기가 일정하여 전체 연마 공정을 크게 축소시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법에 의하면, 셀 단위로 절단된 초박형 유리를 코팅하여 적층함으로써, 적층에 소요되는 공정을 크게 축소시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법을 순서대로 도시한 순서도.
도 2 또는 도 3은 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법 중 적층단계의 제1 실시예를 도시한 도면.
도 4 또는 도 5는 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법 중 적층단계의 제2 실시예를 도시한 도면.
도 6 내지 도 9는 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법 중 적층단계의 제3 실시예를 도시한 도면.
또한, 도 10 내지 도 12는 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법에 따른 초박형 유리의 단면을 도시한 도면.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법을 순서대로 도시한 순서도이며, 도 2 또는 도 3은 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법 중 적층단계의 제1 실시예를 도시한 도면이고, 도 4 또는 도 5는 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법 중 적층단계의 제2 실시예를 도시한 도면이며, 도 6 내지 도 9는 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법 중 적층단계의 제3 실시예를 도시한 도면이고, 도 10 내지 도 12는 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법의 또 다른 실시예에 따른 초박형 유리의 단면을 도시한 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법은 초박형 유리 원판을 셀 단위로 절단 및 가공할 때, 절단면의 표면 거칠기를 일정 범위로 가공하여 엣지 연마를 비롯한 후 가공 품질을 보다 균일하게 관리하기 위한 것으로써, 초박형 유리 원판을 준비하는 준비단계(S10)와 준비된 초박형 유리 원판을 레이저를 이용하여 절단면 표면 거칠기가 일정하도록 복수 개의 셀로 절단하는 절단단계(S20)와 셀 단위로 절단된 초박형 유리를 적층하여 적층체를 형성하는 적층단계(S30)와 적층체의 엣지(이하, 측면) 부위를 가공하는 힐링단계(40)와 측면이 가공된 적층체를 셀 단위로 분리하는 박리단계(S50)를 포함하여 구성된다.

특히, 상기 절단단계(S)는 펨토초 펄스폭을 가진 레이저를 이용하여 물리적 절단이나, 다른 펄스폭의 레이저 사용시 발생되는 미세 절삭칩 등의 치핑(Chipping) 발생 및 날림을 억제하도록 구성됨이 바람직하다.

또한, 펨토초 펄스폭을 가진 레이저를 이용할 경우, 절단되는 초박형 유리의 열적 변형을 방지할 수 있으며, 열적 변형된 부분을 제거하기 위해 실시되는 물리적 연마 및 화학적 연마에 따른 공정 지연을 방지할 수 있다.

또한, 절단단계(S20)와 적층단계(S30) 사이에 셀 단위로 절단된 초박형 유리의 절단면(엣지)의 표면 조도를 검사하는 검사단계와 절단면의 표면 조도에 따라 상기 절단단계가 다음 초박형 유리 원판을 절단할 때, 파장 및 펄스폭이 조절된 레이저를 통해 절단하도록 조절하는 보정단계를 더 포함하도록 구성될 수도 있다.

또한, 상기 힐링단계는 화학연마액이 담긴 수조에 적층체를 완전히 디핑한 후 일정 회전수로 회전시킴으로써, 적층체의 측면으로 노출된 초박형 유리의 엣지 부위를 화학적으로 연마하게 되며, 화학적 연마가 완료되면, 세정 및 건조를 실시하여 잔존물을 제거하게 된다.

또한, 상기 준비단계(S10)와 절단단계(S20) 사이에 초박형 유리 원판의 상면과 하면 중 적어도 하나 이상의 면에 코팅을 실시하여 코팅층을 형성하는 코팅단계를 더 포함하도록 구성될 수도 있다.

상기 코팅단계는 초박형 유리 원판에 화학적 가공시 표면을 보호하기 위한 글라스 에칭용 잉크를 코팅하여 코팅층을 형성하는 코팅층 형성단계와 코팅된 글라스 에칭용 잉크를 경화시키는 코팅층 경화단계로 구성된다.

이때, 상기 코팅층 형성단계는 초박형 유리 원판의 일면 또는 양면 전체에 화학적 가공시(힐링단계에서의 화학연마액으로부터) 표면(절단면 이외의 상,하면)을 보호하기 위한 글라스 에칭용 잉크를 코팅하거나, 초박형 유리 원판의 일면 또는 양면에 일정 패턴으로 스프레이 또는 실크 인쇄를 통해 코팅층을 형성하게 되며, 코팅층은 힐링단계(S40)에서 적층된 초박형 유리와 초박형 유리 사이로 화학연마액이 침투되거나, 화학연마액이 초박형 유리의 상면 또는 하면과 반응하는 것을 방지하게 된다.

또한, 적층된 초박형 유리와 초박형 유리 사이가 보다 밀착되도록 상기 코팅층은 경화된 후 소정의 탄성을 가지도록 구성됨이 바람직하다.

또는, 상기 코팅단계가 초박형 유리 원판의 일면 또는 양면에 화학적 가공시 표면을 보호하기 위한 감광성 필름을 감광성 필름의 접착층을 통해 부착하여 코팅층을 형성하는 라미네이팅 단계와 부착된 감광성 필름의 접착층을 경화시키는 접착층 경화단계로 구성될 수도 있다.

또는, 초박형 유리 원판의 일면에 감광성 필름을 부착하는 제1 라미네이팅 단계를 실시한 후 일면에 접착된 감광성 필름의 접착층을 경화시키는 제1 접착층 경화단계를 실시하고, 초박형 유리 원판의 타면에 다른 감광성 필름을 부착하는 제2 라미네이팅 단계를 실시한 후 타면에 접착된 감광성 필름의 접착층을 경화시키는 제2 접착층 경화단계를 실시하도록 구성될 수도 있다.

상기 코팅단계를 통해 초박형 유리의 일면 또는 양면에 코팅층을 형성하거나, 초박형 유리의 일면 또는 양면에 감광성 필름을 부착한 후 상기 적층단계(S30)를 통해 초박형 유리를 적층하면, 초박형 유리와 초박형 유리 사이가 코팅층 또는 감광성 필름에 의해 밀착되어 위치의 틀어짐이 방지되며, 별도의 접착제나, 간지를 비롯한 별도의 사이 부재를 대신하거나, 함께 사용됨으로써 힐링단계(S40)에서 적층된 초박형 유리와 초박형 유리 사이로 화학연마액이 침투되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

또는, 상기 절단단계(S20)와 적층단계(S30) 사이에 코팅단계가 실시되어, 위에서 설명한 초박형 유리 원판 대신 절단된 초박형 유리의 상면과 하면 중 적어도 하나 이상의 면에 코팅층을 형성하도록 구성될 수도 있다.

또한, 상기 적층단계(S30)는 도 2 또는 도 3에 도시된 제1 실시예와 같이 실시될 수 있다.

보다 상세하게는, 도 2에 도시된 바와 같이 상,하로 배치되는 지지기판(2) 사이에 절단된 초박형 유리(1)보다 작은 면적의 간지(3)와 셀 단위로 절단된 초박형 유리(1)를 교번하여 적층시키되, 측면에 점착제(4)를 도포하고, 경화시켜 점착제(4)가 측면을 감싸는 형태로 적층체(10)를 형성하도록 구성된다.

제1 실시예는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 적층단계(S30)와 힐링단계(S40) 사이에 적층체(10)의 측면을 연마하여 적층된 초박형 유리의 측면을 노출시키되, 노출된 초박형 유리와 초박형 유리 사이에는 경화된 점착층이 위치하도록 연마하는 폴리싱단계를 더 실시하여 적층된 초박형 유리의 측면을 노출시키도록 구성됨이 바람직하다.

상기 폴리싱단계는 천, 융과 같은 소프트한 재질을 통해 경화된 점착층 중 초박형 유리보다 외측에 위치한 점착층을 연마하여 초박형 유리의 외측면을 노출시키는 것이 주 목적이며, 이와 함께, 초박형 유리의 외측면도 부드럽게 마사지하게 된다.

이후, 상기 박리 단계(S50)는 초박형 유리(1)와 초박형 유리(1) 사이의 경화된 점착층(4) 및 간지(3)를 제거하여 초박형 유리(1)를 분리하게 된다.

또는, 상기 적층단계(S30)가 도 4 또는 도 5에 도시된 제2 실시예와 같이 실시될 수 있다.

보다 상세하게는, 하부에 배치되는 지지기판(2)의 상면에 기설정된 패턴으로 점착제(5)를 도포한 후 절단된 초박형 유리(1)의 상면에 기설정된 패턴으로 점착제(5)를 도포한 후 다른 절단된 초박형 유리(1)를 적층하는 형태로 반복 적층하고, 마지막으로 상부에 다른 지지기판(2)을 적층시켜 적층체(10)를 형성하게 된다.

이때, 상기 점착제(5)는 도 4에 도시된 바와 같이 초박형 유리(1)의 형상과 동일하게 상면 전체에 도포되거나, 도 5에 도시된 바와 같이 초박형 유리(1)의 가장자리를 따라 도포될 수 있다.

이후, 상기 박리 단계(S50)는 초박형 유리(1)와 초박형 유리 사이(1)의 점착제(5)를 제거하여 초박형 유리(1)를 분리하도록 구성된다.

또한, 상기 적층단계(S30)와 힐링단계(S40) 사이에는 별도의 경화단계를 더 포함하도록 구성될 수도 있다.

또는, 상기 적층단계(S30)가 도 6 또는 도 7에 도시된 제3 실시예와 같이 실시될 수 있다.

보다 상세하게는, 도 6에 도시된 바와 같이 상,하로 배치되는 지지기판(2) 사이에 절단된 초박형 유리(1)와 같은 면적의 간지(3)와 셀 단위로 절단된 초박형 유리(1)를 교번하여 적층시킨 후 도 7에 도시된 바와 같이 소정의 압력으로 압착하여 적층체(10)를 형성하게 된다.

이후, 상기 박리 단계(S50)는 초박형 유리(1)와 초박형 유리 사이(1)의 간지(3)를 제거하여 초박형 유리(1)를 분리하도록 구성된다.

이때, 상기 간지(3)는 소정의 탄성을 가지도록 구성되어 초박형 유리의 엣지 가공이 완료된 후 박리단계(S50)에서 압착하던 압력이 제거되면, 초박형 유리가 쉽게 박리될 수 있도록 간지(3)가 탄성 복원되면서 적층된 초박형 유리 사이 간격을 더 멀리 이격시켜주게 된다.

위에서 설명한 적층단계(S30)의 제1 실시예 내지 제3 실시예는 코팅층이 형성된 초박형 유리를 통해 실시될 수도 있다.

예를 들면, 도 8에 도시된 바와 같이 코팅층(6)이 양면에 형성된 초박형 유리(1)와 간지(3)가 지지 기판(2) 사이에 교번하여 적층된 후 도 9에 도시된 바와 같이 압착되도록 실시될 수 있는 것이다.

또한, 도 10 내지 도 12는 본 발명에 따른 초박형 유리 가공방법의 또 다른 실시예에 따른 초박형 유리의 단면을 도시한 것이다.

보다 상세하게는, 도 10에 도시된 A1과 같이 코팅단계를 통해 초박형 유리(1)의 상면 및 하면에 형성된 코팅층(6)은 레이저 가공을 통해 A2와 같이 가장자리만 제거된 후 A3와 같이 힐링단계(S40)에서 초박형 유리의 엣지 부위가 화학적으로 연마되도록 실시될 수 있다.

또는, 도 11에 도시된 B1과 같이 코팅단계를 통해 초박형 유리(1)의 상면 및 하면에 코팅층(6)을 형성한 후 B2와 같이 레이저(L1, L2)를 통해 초박형 유리(1) 및 코팅층(6)의 가장자리가 소정의 각도로 경사지게 가공되어, 중앙부가 돌출되도록 절단된 후 B3와 같이 힐링단계(S40)에서 초박형 유리의 엣지 부위가 화학적으로 연마되도록 실시될 수 있다.

이를 통해, 초박형 유리(1)의 엣지 부위를 절단과정에서 1차적으로 가공함으로써, 힐링단계(S40)에서 곡면형태로 화학적으로 연마하는데 소요되는 시간을 크게 줄일 수 있다.

또는, 코팅단계가 절단단계(S20) 이후에 실시될 경우, 도 12에 도시된 C1과 같이 레이저(L1, L2)를 통해 초박형 유리(1)의 가장자리를 중앙부가 돌출되도록 소정의 각도로 경사지게 절단한 후 C2와 같이 코팅단계를 통해 초박형 유리(1)의 상면 및 하면에 코팅층(6)을 형성하고, C3와 같이 힐링단계(S40)에서 초박형 유리의 엣지 부위가 화학적으로 연마되도록 실시될 수 있다.

이상과 같이 본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

1 : 초박형 유리
2 : 지지기판
3 : 간지
4 : 점착층
5 : 점착제
6 : 코팅층
10 : 적층체

Claims (12)

1. 초박형 유리 원판을 셀 단위로 절단 및 가공할 때, 절단면의 표면 거칠기를 일정하게 가공하기 위한 초박형 유리 가공방법에 있어서,
   초박형 유리 원판을 준비하는 준비단계와;
   초박형 유리 원판의 상면과 하면 중 적어도 하나 이상의 면에 코팅을 실시한 후 코팅층이 초박형 유리의 가장자리로부터 일정거리가 이격되도록 코팅층의 가장자리를 레이저 가공을 통해 제거하는 코팅단계와;
   코팅된 초박형 유리 원판을 레이저를 이용하여 절단면 표면 거칠기가 일정하도록 복수 개의 셀로 절단하는 절단단계와;
   셀 단위로 절단되어 코팅층이 형성된 초박형 유리와 탄성을 가진 다공성 간지를 교번하여 적층시킨 후 압착하여 적층체를 형성하되, 박리 단계가 실시되기 전까지 압착된 상태를 유지시키는 적층단계와;
   적층체의 측면을 가공하는 힐링단계와;
   측면이 가공된 적층체를 압착하던 압력을 제거하여 간지가 탄성 복원되면서 적층된 초박형 유리 사이 간격을 이격시켜 셀 단위로 분리하는 박리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
   초박형 유리 가공방법.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 코팅단계는
   초박형 유리 원판에 화학적 가공시 표면을 보호하기 위한 글라스 에칭용 잉크를 코팅하여 코팅층을 형성하는 코팅층 형성단계와;
   코팅된 글라스 에칭용 잉크를 경화시키는 코팅층 경화단계로 구성되는 것을 특징으로 하는
   초박형 유리 가공방법.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 코팅단계는
   초박형 유리 원판에 화학적 가공시 표면을 보호하기 위한 감광성 필름을 감광성 필름의 접착층을 통해 부착하여 코팅층을 형성하는 라미네이팅 단계와;
   부착된 감광성 필름의 접착층을 경화시키는 접착층 경화단계로 구성되는 것을 특징으로 하는
   초박형 유리 가공방법.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 절단단계는
   펨토초 펄스폭을 가진 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는
   초박형 유리 가공방법.
   
5. 제 1항에 있어서,
   절단단계와 적층단계 사이에
   셀 단위로 절단된 초박형 유리의 절단면의 표면 조도를 검사하는 검사단계와;
   절단면의 표면 조도에 따라 상기 절단단계가 다음 초박형 유리 원판을 절단할 때, 파장 및 펄스폭이 조절된 레이저를 통해 절단하도록 조절하는 보정단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
   초박형 유리 가공방법.
   
6. 제 1항에 있어서,
   상기 절단단계는
   레이저를 소정의 각도로 경사지게 조사하여 초박형 유리의 절단면 중앙부가 돌출되도록 경사지게 절단하는 것을 특징으로 하는
   초박형 유리 가공방법.
   
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
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