JP3665323B2 - フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法 - Google Patents
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[被覆工程]
本工程で用いられるガラス基板は、PDP、LCD、FED及びELDにおいて通常用いられる公知のガラス基板であれば特に限定されるものではないが、一般的には、ソーダガラスやノンアルカリガラスが好適に用いられる。
[エッチング工程]
本工程で用いられるエッチング液は、フッ酸を必須のエッチング成分として含有するものであり、好適には1〜45重量%、より好適には1〜10重量%、更に好適には2〜5重量%の濃度範囲で使用される。特に、本発明の如くパターニングを行なう場合には、フッ酸濃度が45重量%を上回るとエッチング速度が速くなりすぎて、エッチングされたガラス部分の平坦性が悪くなる弊害が生じる。一方、フッ酸濃度が1重量%を下回ると、エッチング速度が遅くなりすぎて、エッチングに要する時間が長くなる。
[除去工程]
本工程では、エッチング工程終了後、適宜な方法によってガラス基板を洗浄するとともに、適宜な方法によってガラス基板の表面に形成された被覆層を剥離する。
ガラス基板として、ノンアルカリガラス基板(10cm×10cm角、厚み1.1mm)を使用した。
水を溶媒として、エッチング成分としてフッ酸3%、硫酸5%を含有するエッチング液を調製した。
被覆材原料としてポリスチレン系樹脂を使用し、ガラス基板の両面全てを被覆した。
エッチング処理する部分の被覆材を切り抜き、除去した。
処理槽は、ガラス基板を一定角度に保持する保持部と、ガスを導入して保持部の下方から気泡を発生させる気泡吐出部と、エッチング液を循環させる循環部とで構成されている。なお、この処理槽を40度に加温して実験した。
[結果]
上記の条件において、90分間作動させると、ガラス基板自体が300μmエッチングされていることを確認した。なお、エッチングしない部分については、被覆層で被覆しているが、最後に被覆材を除去した後、エッチング部分の厚さを無作為に20箇所計測した結果、板厚のバラツキは最大5μmであった。
2 被覆層
Claims (6)
- ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有するエッチング液に浸漬することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたエレクトロルミネッセンスディスプレイ用ガラスキャップ基板を製造する方法であって、
前記被覆層が、エポキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂から選ばれる樹脂を被覆材原料としてフィルム転写により形成され、
前記エッチング液のフッ酸濃度が1〜10重量%であり、
前記エッチング液には、垂直又は斜めに保持されたガラス基板に対して気泡発生装置から気泡を発生させて、1〜700μmエッチングするエレクトロルミネッセンスディスプレイ用ガラスキャップ基板の製造方法。 - ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有するエッチング液に浸漬することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたエレクトロルミネッセンスディスプレイ用ガラスキャップ基板を製造する方法であって、
前記被覆層が、ポリスチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂から選ばれる樹脂をそのままで、若しくは溶剤で溶かしたものを被覆材原料としてコーティングにより形成され、
前記エッチング液のフッ酸濃度が1〜10重量%であり、
前記エッチング液には、垂直又は斜めに保持されたガラス基板に対して気泡発生装置から気泡を発生させて、1〜700μmエッチングするエレクトロルミネッセンスディスプレイ用ガラスキャップ基板の製造方法。 - ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有するエッチング液に浸漬することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたエレクトロルミネッセンスディスプレイ用ガラスキャップ基板を製造する方法であって、
前記被覆層が、ポリスチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂から選ばれる樹脂をそのままで、若しくは溶剤で溶かしたものを被覆材原料としてスクリーン印刷により形成され、
前記エッチング液のフッ酸濃度が1〜10重量%であり、
前記エッチング液には、垂直又は斜めに保持されたガラス基板に対して気泡発生装置から気泡を発生させて、1〜700μmエッチングするエレクトロルミネッセンスディスプレイ用ガラスキャップ基板の製造方法。 - エッチング液が、フッ酸に加えて塩酸、硫酸、硝酸及びリン酸から選ばれる少なくとも1種以上の無機酸を含有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のガラスキャップ基板の製造方法。
- エッチング液が、フッ酸に加えてカルボン酸系、フェノール系、アミド系、脂肪酸エステル系、リン酸エステル系、硫酸エステル系、スルホン酸系、アミン系、エーテル系、高分子アルコールから選ばれる少なくとも1種以上の界面活性剤を含有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のガラスキャップ基板の製造方法。
- 請求項1〜5の何れかの方法で製造したガラスキャップ基板。
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