CN111253076A

CN111253076A - 通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃

Info

Publication number: CN111253076A
Application number: CN202010138971.8A
Authority: CN
Inventors: 朴钟先; 余赐贤; 张永强; 阳利民; 沈于乔; 李银姬
Original assignee: Tuomi Chengdu Applied Technology Research Institute Co ltd
Current assignee: Chengdu tuomi shuangdu photoelectric Co.,Ltd.
Priority date: 2020-03-03
Filing date: 2020-03-03
Publication date: 2020-06-09

Abstract

本发明公开了通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃，所述方法包括：A、将厚玻璃坯料切割并进行表面预处理得到预定尺寸的玻璃基板；B、将表面预处理后的玻璃基板进行表面预蚀刻，再进行蚀刻预保护得到预蚀刻玻璃；C、将所述预蚀刻玻璃进行旋转条件下的单面蚀刻，冲洗后再脱除蚀刻预保护得到减薄玻璃；D、将所述减薄玻璃进行后处理，得到高精度超薄玻璃。所述玻璃采用上述方法制备得到。本发明提供预先切割厚玻璃并进行蚀刻减薄的方法来减少不良率，在单面蚀刻时采用在蚀刻设备的内部旋转玻璃的方式进行，这将避免因溶液的流动和喷淋区域的压力偏差所造成的厚度偏差以及表面品质低下的问题，最终达到厚度均匀、表面品质佳的效果。

Description

通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃

技术领域

本发明是关于制造高精度且表面品质优良的超薄玻璃的技术领域，更具体地讲，涉及一种通过旋转单面蚀刻制造多种用途且适合在可折叠或者可弯曲部位应用的高精度超薄玻璃的方法。

背景技术

折叠手机的盖板需要用到超薄玻璃(ULtra thin Glass)，其解决了传统盖板材料-CPI盖板薄膜在折叠区域产生的波纹问题和反复多次折叠时产生的薄膜变形问题。对于超薄型玻璃，厚度偏差在±5um以内的精度以及表面品质是至关重要的。

切割玻璃有物理和化学两种方法，物理方法包括金刚石砂轮、激光束、水射流(Water jet)、喷砂(Sand blast)等。化学方法为先在双面形成光刻胶图案，再进行双面蚀刻及切割。

物理方法必须通过以下方式进一步加工：通过层压大量切割玻璃来修复切割面并进一步进行化学蚀刻工艺，即缓解微裂纹的修复工艺。因为需要在薄玻璃状态下进行多项工艺，所以容易产生破损并且不容易处理。薄玻璃的物理切割方法作为可折叠手机的盖板玻璃的制造方法存在很大的问题。因为可折叠手机的盖板玻璃要求折叠次数达到20万次以上，而且物理方法的产率低，也不知道是否能够完全去除微裂纹。

由于在化学切割方法中并不进行物理切割和抛光，所以不会出现微裂纹。化学切割方法是在双面涂上感光材料作为保护层，利用照相感光将所切割的部分进行处理，通过双面蚀刻的方法来切割玻璃。因为使用的光感材料价格高导致单价的提升，感光法蚀刻工艺投入成本高，而且对薄玻璃进行工艺有难度，因此量产是存在问题的。

常规的薄玻璃生产方法是先把0.2～0.5mm的厚玻璃蚀刻减薄至0.1mm以下的厚度，再进行切割、边缘打磨以及抛光的工艺，所以工艺中不良率高、量产性差。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的是在制造具有可折叠20万次以上以及自由弯曲特性的超薄型玻璃工艺中，排除难以实现量产化的化学切割法而采用物理切割法，以此来达到微裂纹的完美去除以及在薄玻璃状态下进行的工艺最小化。

本发明的一方面提供了一种通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，所述方法包括：

A、将厚玻璃坯料切割并进行表面预处理得到预定尺寸的玻璃基板；

B、将表面预处理后的玻璃基板进行表面预蚀刻，再进行蚀刻预保护得到预蚀刻玻璃；

C、将所述预蚀刻玻璃进行旋转条件下的单面蚀刻，冲洗后脱除蚀刻预保护得到减薄玻璃；

D、将所述减薄玻璃进行后处理，得到高精度超薄玻璃。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，所述厚玻璃坯料为0.1～0.5mm厚度的玻璃，所述表面预处理为边缘打磨和抛光。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，所述表面预蚀刻为将玻璃基板浸渍在蚀刻液中并通过通入空气轻微地蚀刻玻璃基板面，其中，表面预蚀刻的蚀刻速率控制在2um/min以下且总蚀刻量控制为1～10um。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，所述蚀刻预保护包括单面保护和边缘保护，所述单面保护为在表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面上贴上防酸保护膜或者将表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面贴合固定在防酸保护衬板上，所述边缘保护为在进行单面保护后的玻璃基板边缘涂上防酸封胶液进行封胶处理。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，所述防酸保护膜是厚度为0.1～0.5mm的单一材质膜或复合材质膜并且防酸保护的材质选自PC、PP、PVC、PE和PO中的一种或多种；所述防酸保护衬板是厚度为1～5mm并且在与所述表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面接触的表面上进行了贴附表面处理的衬板，所述贴附表面处理采用材质选自PC、PP、PVC、PE和PO中的一种或多种的薄膜进行表面贴附。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，所述旋转条件下的单面蚀刻采用在正上方以与预蚀刻玻璃表面平行的方向喷洒蚀刻液的顶喷方式或者采用以与预蚀刻玻璃表面垂直的方向喷洒蚀刻液的侧喷方式对旋转的预蚀刻玻璃进行蚀刻；在单面蚀刻的总蚀刻时间内，将预蚀刻玻璃在蚀刻设备中持续旋转或者以预定角度间隔进行间隔式周期旋转并在每个角度方向固定预定时间进行蚀刻，其中，单面蚀刻的蚀刻速率控制在5um/min以下。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，在旋转条件下的单面蚀刻后的冲洗采用在正上方以与预蚀刻玻璃表面平行的方向喷洒清洗液的顶喷方式或者采用以与预蚀刻玻璃表面垂直的方向喷洒清洗液的侧喷方式对旋转的预蚀刻玻璃进行冲洗；在冲洗的总冲洗时间内，将预蚀刻玻璃在冲洗设备中持续旋转进行冲洗。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，以90°为预定角度间隔将预蚀刻玻璃从初始位置开始依次旋转0度、90度、180度、270度进行间隔式周期旋转并且在每个角度方向以单面蚀刻的总蚀刻时间的1/4n作为预定时间固定进行蚀刻，其中，n为大于或等于1的正整数。

根据本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的一个实施例，所述脱除蚀刻预保护包括剥离防酸保护膜或者防酸保护衬板以及封胶，所述脱除后处理包括清洗和化学强化。

本发明的另一方面提供一种高精度超薄玻璃，采用上述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法制造得到，其中，所述高精度超薄玻璃的厚度为0.03～0.1mm、厚度偏差为玻璃厚度的±5％；所述高精度超薄玻璃适用于可折叠手机或可卷曲手机中可折叠或可卷曲的盖板玻璃、可弯曲的OLED照明中的盖板玻璃、提升指纹识别性能的盖板玻璃以及OLED、TFT-LCD、micro-LED的屏幕面板。

本发明提供预先切割厚玻璃并进行蚀刻减薄的方法来减少不良率，通过预先进行边缘打磨以及抛光等预处理，随后进行预蚀刻并保护玻璃单面以及边缘，随后在蚀刻设备内部旋转玻璃并进行单面蚀刻，制造精确又薄的玻璃。在单面蚀刻时采用在蚀刻设备的内部旋转玻璃的方式进行，这将避免因溶液的流动和喷淋区域的压力偏差所造成的厚度偏差以及表面品质低下的问题，最终达到厚度均匀、表面品质佳的效果。

附图说明

图1示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法的工艺流程示意图。

图2示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法中顶喷方式的结构原理示意图。

图3示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法中侧喷方式的结构原理示意图。

图4示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法中表面预蚀刻的结构示意图。

图5a和图5b分别示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法中采用不同喷洒方式进行旋转条件下的单面蚀刻的原理示意图。

图6a和图6b分别示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法中采用不同喷洒方式进行冲洗的原理示意图。

附图标记说明：

#1-预蚀刻玻璃；#2-封胶；#3-防酸保护膜或衬板；#4-蚀刻液。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

本发明旨在提供一种在确保低不良率下制造0.03～0.1mm厚度的极薄玻璃的方法，此方法适用于可折叠手机和可卷曲手机上可折叠、可卷曲的盖板玻璃；可弯曲的OLED照明以及能提高指纹识别性能的盖板玻璃；制造OLED、TFT-LCD、micro-LED等屏幕面板的基板等。

根据上述目的，本发明与现有方法不同的特征是对0.1～0.5mm的厚玻璃坯料预先进行切割并预先进行边缘打磨以及抛光以保护玻璃单面以及边缘，表面预蚀刻后进行蚀刻预保护，再在蚀刻设备内部旋转玻璃并进行单面蚀刻，制造精确又薄的玻璃。而在常见方法中，把厚玻璃蚀刻至0.1mm以下的厚度后，利用切割以及边缘打磨的减薄过程中会发生很多不良。

在下文中，先对本发明通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法进行详细说明。

如图1所示，根据本发明的示例性实施例，所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法包括以下多个步骤。

步骤A：

将厚玻璃坯料切割并进行表面预处理得到预定尺寸的玻璃基板；

本发明中采用的厚玻璃坯料为0.1～0.5mm厚度的玻璃，表面预处理可以为边缘打磨和抛光等处理。本步骤将0.1～0.5mm厚度的厚玻璃坯料以成品尺寸进行切割、边缘打磨、抛光等工艺处理，由此可以在之后的程序中除去前面处理产生的细微划痕及裂纹后进行蚀刻。

步骤B：

将表面预处理后的玻璃基板进行表面预蚀刻，再进行蚀刻预保护得到预蚀刻玻璃。

如图4所示，本步骤的表面预蚀刻为将玻璃基板浸渍在蚀刻液中并通过通入空气轻微地蚀刻玻璃基板表面(例如从底部或侧面通气)，本步骤能够除去边缘打磨、抛光等表面预处理步骤中产生的细微划痕及裂纹。其中，表面预蚀刻的蚀刻速率控制在2um/min以下且总蚀刻量控制为1～10um为宜。

由于本发明要进行的是旋转单面蚀刻，因此需要对玻璃无需蚀刻的一面和边缘部分进行蚀刻预保护。

根据本发明，本发明优选的蚀刻预保护包括单面保护和边缘保护，单面保护为在表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面上贴上防酸保护膜或者将表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面贴合固定在防酸保护衬板上，边缘保护为在进行单面保护后的玻璃基板边缘涂上防酸封胶液进行封胶处理。

其中，本发明采用的防酸保护膜优选为厚度为0.1～0.5mm的单一材质膜或复合材质膜并且防酸保护的材质选自PC、PP、PVC、PE和PO中的一种或多种。而防酸保护衬板优选为厚度为1～5mm并且在与表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面接触的表面上进行了贴附表面处理的衬板，该贴附表面处理采用材质选自PC、PP、PVC、PE和PO中的一种或多种的薄膜进行表面贴附以实现防酸的效果。

本步骤的特征在于将防酸保护膜或防酸保护衬板贴附在表面预蚀刻后的玻璃基板的一面，再将玻璃边缘用防酸封胶液等做好保护处理，之后仅蚀刻表面预蚀刻后的玻璃基板的另一面。并且，上述蚀刻预保护能够在蚀刻工艺中保护玻璃基板的另一表面免受酸性溶液的侵蚀，由此能对玻璃基板进行减薄加工并添加厚度；还能够提高清洗工艺中的安全性以及移动方便性，去除破损和不良。

步骤C：

将步骤B得到的预蚀刻玻璃进行旋转条件下的单面蚀刻，清洗后脱除蚀刻预保护得到减薄玻璃。

图2示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法中顶喷方式的结构原理示意图，图3示出了根据本发明示例性实施例通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法中侧喷方式的结构原理示意图。

如图2和图3所示，本发明中旋转条件下的单面蚀刻可以采用在正上方以与预蚀刻玻璃表面平行的方向喷洒蚀刻液的顶喷(Top spray)方式或者采用以与预蚀刻玻璃表面垂直的方向喷洒蚀刻液的侧喷(Side spray)方式对旋转的预蚀刻玻璃进行蚀刻。

由此，本发明能够将厚度为0.1mm～0.5mm以上的厚玻璃减薄蚀刻后成为0.03～0.1mm的厚度。其中，单面蚀刻的蚀刻速率应控制在5um/min以下为宜。

本发明通过对旋转的预蚀刻玻璃进行蚀刻，这将避免因溶液的流动和喷淋区域的压力偏差所造成的厚度偏差以及表面品质低下的问题，最终达到厚度均匀、表面品质佳的效果。

具体地，在单面蚀刻过程中，在单面蚀刻的总蚀刻时间内将预蚀刻玻璃在蚀刻设备中持续旋转或者以预定角度间隔进行间隔式周期旋转并在每个角度方向固定预定时间进行蚀刻。

也即，蚀刻过程中，预蚀刻玻璃的旋转可以以0～360度范围内的任意角度和时间进行分配并实施，即在总蚀刻时间内间隔或连续地进行旋转以实现每个角度下的蚀刻条件达到统一。

如图5a和图5b所示，单面蚀刻时，本发明优选地以90°为预定角度间隔将预蚀刻玻璃从初始位置开始依次旋转0度、90度、180度、270度进行间隔式周期旋转并且在每个角度方向以单面蚀刻的总蚀刻时间的1/4n作为预定时间固定进行蚀刻，其中，n为大于或等于1的正整数。

根据本发明的一个实施例，将单面蚀刻的总蚀刻时间t分为4n份且每份子时间段为t/4n，其中，t为时间且n为大于或等于1的正整数，从初始位置开始将预蚀刻玻璃以相同的方向在每份子时间段开始时旋转90度进行该份子时间段的蚀刻直至完成蚀刻。例如，当n＝1时，假设总蚀刻时间为1小时，则总蚀刻时间分为4份且每份子时间段为1/4小时即15分钟，初始位置时开始喷射蚀刻液进行蚀刻，15分钟后顺时针或逆时针旋转90度继续进行蚀刻，30分钟后同方向继续旋转90度进行蚀刻(相对于初始位置已旋转180度)，以此类推直至完成总蚀刻时间的蚀刻。

当然本发明不限于此，也可以调整预定角度间隔为45°、60°等数值，同同时调整每个角度方向的固定蚀刻时间为总蚀刻时间的1/8n、1/6n等数值。并且也可以在单面蚀刻过程中以一定速度持续旋转360度，根据蚀刻液的流动来提高单面的表面品质并降低厚度偏差。

在单面蚀刻后优选地对玻璃进行冲洗以避免太多的蚀刻液留在玻璃上而影响后续操作，因此本发明在旋转条件下的单面蚀刻后的冲洗也可以采用在正上方以与预蚀刻玻璃表面平行的方向喷洒清洗液的顶喷方式或者采用以与预蚀刻玻璃表面垂直的方向喷洒清洗液的侧喷方式对旋转的预蚀刻玻璃进行冲洗。其中，在冲洗的总冲洗时间内，将预蚀刻玻璃在冲洗设备中持续旋转进行冲洗。当然，本发明不限于此，也可以采用现有的清洗方式。

如图6a和图6b所示，在单面蚀刻后的冲洗时，在喷射清洗液期间持续旋转并且优选地在停止喷射清洗液之后继续旋转2～5分钟。持续旋转可以有效去除可能残留在玻璃上的蚀刻液，防止因酸性溶液长时间残留造成的表面污点并提升产品品质。清洗液停止喷射后继续旋转可以通过旋转力剥离并甩出玻璃上的溶液。

冲洗后进行脱除蚀刻预保护的处理，具体包括剥离防酸保护膜或者防酸保护衬板以及封胶的步骤。例如，可以将玻璃浸泡在盛有封胶剥离剂的槽中进行封胶剥离，如果使用的是防酸保护衬板，剥离衬板后即可进行后续的清洗处理，如果使用的是防酸保护膜，则需再次浸泡在盛有薄膜剥离剂的槽中剥离薄膜后再进行后续的清洗处理。

步骤D：

将步骤C得到的减薄玻璃进行后处理，得到高精度超薄玻璃。

其中，本步骤的后处理包括清洗和化学强化。将剥离防酸保护膜或者防酸保护衬板以及封胶后的减薄剥离清洗干净后浸泡在硝酸钾溶液一段时间并通过强化工艺进行强化，最后进行最终清洗，由此能完成无微裂纹、弯曲性能好的高精度超薄玻璃制造。

本发明同时提供了高精度超薄玻璃，采用上述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法制造得到，其中，该高精度超薄玻璃的厚度为0.03～0.1mm、厚度偏差为玻璃厚度的±5％；该高精度超薄玻璃能够适用于可折叠手机或可卷曲手机中可折叠或可卷曲的盖板玻璃、可弯曲的OLED照明中的盖板玻璃、提升指纹识别性能的盖板玻璃以及OLED、TFT-LCD、micro-LED的屏幕面板。

下面结合实施例对本发明作进一步说明。

实施例：

图1是说明本实施例的流程示意图。本实施例中提到的方法可应用于可折叠手机的可折叠盖板玻璃、OLED照明的弯曲式盖板玻璃和多种用途的薄玻璃制造。

将厚度在0.1mm～0.5mm的厚玻璃坯料切成超薄玻璃的成品大小，切割采用物理方法，用砖石刀轮切割后进行边缘打磨及抛光工艺使切割面光滑。

首先将切割成成品大小的玻璃基板插入到防酸PVC篮具，然后浸泡在蚀刻速率设置为每分钟2um以下的蚀刻溶液中。此时，从蚀刻槽底面进气，有效抖落玻璃表面可能会沉积的蚀刻残留物，最后对完成表面预蚀刻的玻璃进行清洗。

先准备防酸保护膜#3，防酸保护膜的厚度需要0.1mm以上，是涂布粘合剂的薄膜形态。因为进行蚀刻减薄后需要添加厚度，确保移动方便性且防止破损。该保护膜以卷的形式制备，通过使用覆膜设备来精确地贴合到表面预蚀刻后的玻璃基板上以避免发生气泡。

或者将玻璃贴合固定在厚度1mm～5mm的防酸保护衬板#3而不是保护膜，此时保护衬板比玻璃的尺寸大1mm以上，确保留出进行边缘封胶的区域。

通过贴附防酸保护膜#3以及涂覆防酸封胶液形成封胶#2的方式来保护玻璃边缘并形成预蚀刻玻璃#1。其中，使用高粘度防酸封胶液来确保涂布均匀，并使用压力稳定的针头进行封胶，封胶的同时使之固化以保持封胶形态。

将除了蚀刻面以外已完成保护处理的预蚀刻玻璃放入蚀刻设备，对其从蚀刻面的上方或者与之垂直方向的侧方喷射蚀刻液进行旋转单面蚀刻，直至达到所需的玻璃厚度。此时，为了玻璃表面的均一性并减少厚度偏差，蚀刻量应不超过5um/min的蚀刻速率。

在蚀刻时，玻预蚀刻玻璃#1以0度、90度、180度、270度方向顺时针旋转并在每个角度防线固定预定时间，根据蚀刻量将每个方向以总蚀刻时间的1/4、1/8、1/16或不规则时间来固定进行蚀刻；或者在蚀刻时，以一定速度持续旋转360°，根据蚀刻溶液的流动来提高单面的表面品质并降低厚度偏差。

蚀刻结束后在旋转状态下进行冲洗，随后浸泡在盛有封胶剥离剂的槽进行蚀刻预处理脱除得到减薄玻璃。此时，如果使用的是防酸保护衬板，剥离后即可进行后续清洗；如果使用的是薄膜形状的防酸保护膜，需再次浸泡在盛有薄膜剥离剂的槽中剥离防酸保护膜后再进行后续清洗。

将清洗后的减薄玻璃浸泡在硝酸钾溶液一段时间并通过强化工艺进行强化，最后进行最终清洗得到高精度超薄玻璃。

经检测，制备得到高精度超薄玻璃的厚度为0.03～0.1mm、厚度偏差为玻璃厚度的±5％。

本发明并不局限于前述的具体实施方式。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。

Claims

1.一种通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，所述方法包括：

B、将表面预处理后的玻璃基板进行表面预蚀刻，清洗后再进行蚀刻预保护得到预蚀刻玻璃；

C、将所述预蚀刻玻璃进行旋转条件下的单面蚀刻，冲洗后再脱除蚀刻预保护得到减薄玻璃；

D、将所述减薄玻璃进行后处理，得到高精度超薄玻璃。

2.根据权利要求1所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，所述厚玻璃坯料为0.1～0.5mm厚度的玻璃，所述表面预处理为边缘打磨和抛光。

3.根据权利要求1所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，所述表面预蚀刻为将玻璃基板浸渍在蚀刻液中并通过通入空气轻微地蚀刻玻璃基板表面，其中，表面预蚀刻的蚀刻速率控制在2um/min以下且总蚀刻量控制为1～10um。

4.根据权利要求1所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，所述蚀刻预保护包括单面保护和边缘保护，所述单面保护为在表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面上贴上防酸保护膜或者将表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面贴合固定在防酸保护衬板上，所述边缘保护为在进行单面保护后的玻璃基板边缘涂上防酸封胶液进行封胶处理。

5.根据权利要求4所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，所述防酸保护膜是厚度为0.1～0.5mm的单一材质膜或复合材质膜并且防酸保护的材质选自PC、PP、PVC、PE和PO中的一种或多种；所述防酸保护衬板是厚度为1～5mm并且在与所述表面预蚀刻后的玻璃基板的一侧表面接触的表面上进行了贴附表面处理的衬板，所述贴附表面处理采用材质选自PC、PP、PVC、PE和PO中的一种或多种的薄膜进行表面贴附。

6.根据权利要求1所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，所述旋转条件下的单面蚀刻采用在正上方以与预蚀刻玻璃表面平行的方向喷洒蚀刻液的顶喷方式或者采用以与预蚀刻玻璃表面垂直的方向喷洒蚀刻液的侧喷方式对旋转的预蚀刻玻璃进行蚀刻；在单面蚀刻的总蚀刻时间内，将预蚀刻玻璃在蚀刻设备中持续旋转或者以预定角度间隔进行间隔式周期旋转并在每个角度方向固定预定时间进行蚀刻，其中，单面蚀刻的蚀刻速率控制在5um/min以下。

7.根据权利要求1所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，在旋转条件下的单面蚀刻后的冲洗采用在正上方以与预蚀刻玻璃表面平行的方向喷洒清洗液的顶喷方式或者采用以与预蚀刻玻璃表面垂直的方向喷洒清洗液的侧喷方式对旋转的预蚀刻玻璃进行冲洗；在冲洗的总冲洗时间内，将预蚀刻玻璃在冲洗设备中持续旋转进行冲洗。

8.根据权利要求6所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，以90°为预定角度间隔将预蚀刻玻璃从初始位置开始依次旋转0度、90度、180度、270度进行间隔式周期旋转并且在每个角度方向以单面蚀刻的总蚀刻时间的1/4n作为预定时间固定进行蚀刻，其中，n为大于或等于1的正整数。

9.根据权利要求4所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法，其特征在于，所述脱除蚀刻预保护包括剥离防酸保护膜或者防酸保护衬板以及封胶，所述脱除后处理包括清洗和化学强化。

10.一种高精度超薄玻璃，其特征在于，采用权利要求1至9中任一项所述通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法制造得到，其中，所述高精度超薄玻璃的厚度为0.03～0.1mm、厚度偏差为玻璃厚度的±5％；所述高精度超薄玻璃适用于可折叠手机或可卷曲手机中可折叠或可卷曲的盖板玻璃、可弯曲的OLED照明中的盖板玻璃、提升指纹识别性能的盖板玻璃以及OLED、TFT-LCD、micro-LED的屏幕面板。