CN112876091A - 一种玻璃化学减薄方法 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 33
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 88
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 33
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 12
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 claims description 10
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 10
- 239000004519 grease Substances 0.000 abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 10
- 238000010923 batch production Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
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- C09K13/00—Etching, surface-brightening or pickling compositions
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- C09K13/08—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid containing a fluorine compound
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种玻璃化学减薄方法,属于玻璃加工技术领域,本发明的玻璃化学减薄方法为200‑400μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗2‑3次,自然风干;然后将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;最后将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃。本发明的方法制备的玻璃厚度均匀,可以实现偏差±0.01mm以内。并且可以批量生产,最大可以制作730*920mm;可以通过调整水刀的参数满足客户需求进行不同规格的产品加工,并且成本低,良率比原材生产高。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃加工技术领域,尤其涉及一种玻璃化学减薄方法。
背景技术
随着显示技术的日益成熟,显示装置的轻薄化成为了当今的主流发展趋势,其中一个方向就是使用超薄玻璃作为显示面板的衬底基板。因此,玻璃的薄化制程是实现显示装置薄型化的重要环节。
目前,化学刻蚀减薄是玻璃的主要减薄方法,通过刻蚀酸液与玻璃成分的化学反应,使玻璃基板减薄至工艺要求的厚度。但是,现有的生产制造成本高,薄化的厚度管控不好,偏差大,且产品表面良率低,薄化后还需要进行抛光生产,工序复杂。
发明内容
本发明实施例提供一种玻璃化学减薄方法,以解决现有技术中生产制造成本高,薄化的厚度管控不好,偏差大,且产品表面良率低,薄化后还需要进行抛光生产,工序复杂的问题,本发明的内容如下:
本发明提供了一种玻璃化学减薄方法,其技术点在于:包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为200-400μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗2-3次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为1.5-3.5m/min,所述水刀的水压为40000-50000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30-60°。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法步骤一中的清洗液中含有0.5-20wt%的非离子表面活性剂。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法步骤二中防酸膜厚度为90-110μm。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法步骤三中的酸性刻蚀液pH值为1-3。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法酸性刻蚀液为氢氟酸、盐酸、硫酸和磷酸中的至少一种。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法硫酸的浓度为97-98wt%。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法氢氟酸浓度为48-49wt%。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法盐酸浓度为30-35wt%。
在本发明的有的实施例中,本发明的玻璃化学减薄方法磷酸浓度为70-99wt%。
本发明实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果:
本发明提供了一种玻璃化学减薄方法,该方法包括先清洗液擦拭厚度为200-400μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗2-3次,自然风干;然后将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;最后将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为1.5-3.5m/min,所述水刀的水压为40000-50000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30-60°。本发明的方法制备的玻璃厚度均匀,可以实现偏差±0.01mm以内。并且可以批量生产,最大可以制作730*920mm;可以通过调整水刀的参数满足客户需求进行不同规格的产品加工,并且成本低,良率比原材生产高。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明具体实施例对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为300μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗2.5次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为2.5m/min,所述水刀的水压为45000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为45°。
其中,步骤一中的清洗液中含有10wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为100μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中,酸性刻蚀液为氢氟酸。
其中,氢氟酸浓度为48.5wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
实施例2
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为200μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗2次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为1.5m/min,所述水刀的水压为40000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30°。
其中,步骤一中的清洗液中含有0.5wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为90μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为1-3。
其中,酸性刻蚀液为盐酸。
其中,盐酸浓度为32.5wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
实施例3
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为400μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗3次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为3.5m/min,所述水刀的水压为50000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30-60°。
其中,步骤一中的清洗液中含有20wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为110μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为3。
其中,酸性刻蚀液为硫酸。
其中,硫酸的浓度为97.5wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
实施例4
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为350μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗2次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为3.5m/min,所述水刀的水压为42000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为35°。
其中,步骤一中的清洗液中含有1wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为1.5。
其中,酸性刻蚀液为磷酸。
其中,磷酸浓度为85wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
实施例5
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为350μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗3次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为1.5-3.5m/min,所述水刀的水压为48000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为50°。
其中,步骤一中的清洗液中含有5wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为105μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中,酸性刻蚀液为氢氟酸和盐酸的混合物,其中氢氟酸和盐酸的质量比为1:1。
其中,氢氟酸浓度为48.5wt%。
其中,盐酸浓度为30wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
实施例6
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为380μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗3次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为2m/min,所述水刀的水压为46000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为35°。
其中,步骤一中的清洗液中含有15wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中,酸性刻蚀液为硫酸和磷酸的混合物,其中硫酸和磷酸的质量比为1:1。
其中,硫酸的浓度为97wt%。
其中,磷酸浓度为70wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
实施例7
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为220μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗3次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为2.5m/min,所述水刀的水压为43000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为40°。
其中,步骤一中的清洗液中含有15wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中,酸性刻蚀液为盐酸和硫酸的混合物,其中盐酸和硫酸的质量比为1:1。
其中,硫酸的浓度为97wt%。
其中,盐酸浓度为30wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
实施例8
一种玻璃化学减薄方法包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为380μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗3次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为1.8m/min,所述水刀的水压为49000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为55°。
其中,步骤一中的清洗液中含有18wt%的非离子表面活性剂。
其中,步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中,步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中,酸性刻蚀液为氢氟酸和磷酸的混合物,其中氢氟酸和磷酸的质量比为1:1。
其中,氢氟酸浓度为48wt%。
其中,磷酸浓度为70wt%。
本实施例制备得到的玻璃厚度均匀,实现偏差±0.01mm。
以上所述仅为本发明的实施例而已,并不用于限制本发明。对于本领域技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的权利要求范围之内。
Claims (9)
1.一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一,用清洗液擦拭厚度为200-400μm未减薄的玻璃,除去表面油脂,再用清水冲洗2-3次,自然风干;
步骤二,将未减薄的玻璃置于操作台上,将防酸膜密封贴附在所述未减薄的玻璃的边缘;
步骤三,将酸性刻蚀液装入水刀中,然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理,直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃,所述水刀速度为1.5-3.5m/min,所述水刀的水压为40000-50000psi,水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30-60°。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述步骤一中的清洗液中含有0.5-20wt%的非离子表面活性剂。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述步骤二中防酸膜厚度为90-110μm。
4.根据权利要求1所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述步骤三中的酸性刻蚀液pH值为1-3。
5.根据权利要求4所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述酸性刻蚀液为氢氟酸、盐酸、硫酸和磷酸中的至少一种。
6.根据权利要求5所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述硫酸的浓度为97-98wt%。
7.根据权利要求1所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述氢氟酸浓度为48-49wt%。
8.根据权利要求1所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述盐酸浓度为30-35wt%。
9.根据权利要求1所述的一种玻璃化学减薄方法,其特征在于:所述磷酸浓度为70-99wt%。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110384845.5A CN112876091A (zh) | 2021-04-09 | 2021-04-09 | 一种玻璃化学减薄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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