CN102951845B - 一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，包括以下工序；工序A：挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度＞0.1mm；工序B：把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面进行贴膜保护；工序C：采用蚀刻装置将通过工序B处理过的液晶面板玻璃进行蚀刻；工序D：对蚀刻后的液晶面板玻璃进行脱膜处理；工序E：将脱膜后的液晶面板玻璃清洗干净。利用本发明方法加工液晶面板玻璃可以有效解决现有技术中液晶面板玻璃薄化的问题，该方法同样适用于其他需要单面保护的蚀刻玻璃。
Description
技术领域
本发明涉及液晶面板的蚀刻领域，尤其涉及一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法。
背景技术
目前在FDP显示领域，液晶面板玻璃广泛的应用于电脑、电视、手机等显示终端。随着市场需求，液晶显示器向重量轻、高清晰等方向发展，为了达到这些特点与要求，大部分液晶显示面板均采用液晶面板玻璃薄化的方式进行。目前，液晶面板玻璃的薄化技术，主要以化学蚀刻为主，物理研磨为辅。而且此类化学薄化均是均衡薄化。目前均衡薄化主要有四种蚀刻方式可采用：1、浸泡式（Dipping）；2、侧面喷洒式（Side-Spray）；3、瀑布流式(Cascade)；4、顶部喷洒式（Top-Spray）。
随着市场日新月异的发展，液晶显示器等应用终端（如电脑、电视、手机等）向智能化发展。以其中一种智能化方向触摸技术为例，传统的触摸屏工艺结构如图1所示。为了降低触摸屏的成本，简化制造工艺，近年来出现了将触摸面板功能与液晶面板一体化的技术，如图2所示。触摸面板和液晶面板的一体化包括“In-cell”方法和“On-cell”方法。In-cell是指将触摸面板功能嵌入到液晶像素中的方法。On-cell是指将触摸面板功能嵌入到彩色滤光片基板(C/F)和偏光板之间的方法。
发明内容
针对上述的触摸屏发展趋势（工艺简化，成本降低）及解决液晶面板玻璃薄化的问题（由于透明电极层贴附在液晶显示器层上，在薄化的过程中需要保护），本发明目的在于提供一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，该方法同样适用于其他需要单面保护的蚀刻玻璃。
本发明的技术方案是：一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，包括以下工序：
工序A：挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度＞0.1mm；
工序B：把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面进行贴膜保护；
工序C：采用蚀刻装置将通过工序B处理过的液晶面板玻璃进行蚀刻；
工序D：对蚀刻后的液晶面板玻璃进行脱膜处理；
工序E：将脱膜后的液晶面板玻璃清洗干净。
作为优选，在工序B前对通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式进行清洗，清洗设备采用PVC自动化清洗机，清洗液的主要成分为质量浓度1%的KOH水溶液，清洗液的成分包括重量百分率为2%~5%的非离子型表面活性剂、重量百分率为5%~10%的KOH水溶液、重量百分率为1%~5%的葡萄糖酸钠、重量百分率为1%~5%的四乙酸乙烯二胺、重量百分率为1%~5%的四钠酸、重量百分率为70%~85%的水，清洗温度：25℃，清洗时间：5分钟。
作为优选，所述工序B是采用自动贴膜机，把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃的两面分别贴上TFT保护膜和C/F保护膜，并在贴膜的过程中采用静电防护措施，贴膜过程包括以下步骤：
1）C/F保护膜准备：将卷成卷筒的C/F保护膜的开放端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方；
2）TFT保护膜准备及产品投入：将TFT保护膜平铺在自动贴膜机的工作平台上与C/F保护膜的位置对应，将液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保护膜上；
3）接产品：将液晶面板玻璃从自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙通过，并在工作平台的后方接住液晶面板玻璃；
4）一次裁切：在液晶面板玻璃完全通过自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙后，裁断C/F保护膜；
5）二次裁切：沿着液晶面板玻璃的边沿裁切C/F保护膜或TFT保护膜，使其与液晶面板玻璃的尺寸一致；
6）贴膜完成：去除液晶面板玻璃需要蚀刻的一面上的保护膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保护膜。
作为优选，所述静电防护措施选择采用离子风机对贴膜过程中产品的静电进行静电中和，或者选择采用防静电膜降低贴膜过程的静电产生量，其中采用防静电膜的方式包括以下步骤：
在B工序的步骤1）C/F保护膜准备中增加静电膜的准备：将静电膜的一端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方，使贴膜后静电膜位于C/F保护膜的上方；
在B工序的步骤6）贴膜完成中增加静电膜的去除。
作为优选，所述工序C的蚀刻方式为顶部喷洒式，蚀刻时液晶面板玻璃采用专用PVC工装装载，蚀刻液为HF混酸，温度为25±2℃。
作为优选，所述工序D的脱膜处理过程包括：采用碱液加热浸泡方式对蚀刻后的液晶面板玻璃进行化学脱膜，然后通过人工将碱液软化的保护膜进行手动脱膜，所述化学脱膜的设备为PVC自动化清洗机，所述碱液主要成分为由NaOH和DI水配置而成的质量浓度15%的NaOH溶液，化学脱膜的温度为50℃，时间为20分钟；所述手动脱膜在防静电手动脱模台上进行。
作为优选，所述工序E采用的清洗设备为流水清洗线，具体清洗流程为：
1）投入：将液晶面板玻璃投入流水清洗线内；
2）碱液清洗：碱液的主要成分为浓度1%的NaOH，清洗温度为40℃；
3）DI水清洗第一阶段；
4）风切：利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为0.4~0.5mpa；
5）打包。
作为优选，在工序E后通过触点式厚度测量机对液晶玻璃面板进行厚度检查，并对液晶玻璃面板进行外观检查，将液晶玻璃面板分为良品、可修复产品和报废品。
作为优选，将检查挑选出的可修复的产品通过抛光机进行物理研磨修复，抛光的辅助材料为抛光粉、抛光垫和附垫。
作为优选，抛光后通过流水清洗线对产品进行清洗，清洗流程为：
1)投入：将液晶面板玻璃投入流水清洗线内；
2）滚刷清洗；
3）DI水清洗第一阶段；
4）风切：利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为0.4~0.5mpa；
5）打包；
清洗后的合格品和工序E后检查出来的良品通过OQC检查，将产品进行分类。
本发明的有益效果是：本发明克服了均衡薄化对液晶面板玻璃两个面进行蚀刻的问题，液晶面板玻璃的其中一面需要进行保护，例如液晶面板一面上存在一层“透明电极层”（不能被腐蚀），单面蚀刻工艺可以有效的保护有“透明电极层”的一面，而最终达到薄化的目的，也减少了工艺和成本。
附图说明
图1为传统触摸屏工艺结构图；
图2为触摸面板与液晶面板一体化结构图；
图3为本发明的生产流程图；
图4为液晶面板玻璃的结构示意图；
图5为PVC工装的主视图；
图6为PVC工装的俯视图；
图7为PVC工装的左视图；
图8为防静电手动脱模台的主视图；
图9为防静电手动脱模台的俯视图；
图10为防静电手动脱模台的右视图；
图11为液晶面板玻璃的测试点位置图。
具体实施方式
作为本发明的一种实施方式，如图3所示，一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，包括以下工序：
工序A：挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度＞0.1mm（如图4所示，LCD玻璃即液晶面板玻璃，是由C/F基板（即彩色滤光片）和TFT基板组合而成的液晶显示器层。单面厚度为C/F基板或者TFT基板的厚度。目前最薄单面厚度可以做到0.1mm）。
在工序B前对通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式进行清洗，清洗设备采用PVC自动化清洗机（PVC自动化清洗机的中文名称为蚀刻前清洗机），清洗液的主要成分为质量浓度1%的KOH水溶液，清洗液的成分与含量如下：
| 化学名称 | 化学文摘号 | 重量百分率（%） |
| 非离子型表面活性剂 | — | 2 ~ 5 |
| KOH水溶液 | 1310-58-3 | 5 ~ 10 |
| 葡萄糖酸钠 | 527-07-1 | 1 ~ 5 |
| 四乙酸乙烯二胺 | 1964-2-8 | 1 ~ 5 |
| 四钠酸 | — | 1 ~ 5 |
| 其他 | — | 5 ~ 10 |
| 水 | 7732-18-5 | 70 ~ 85 |
| 总量 | 100 |
清洗液的配置优选选用质量浓度1%的KOH水溶液占清洗液的重量百分率为10%的配比；
清洗温度：25℃，清洗时间：5分钟。
工序B：把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面进行贴膜保护，采用保护膜保护不需要蚀刻的一面，达到单面蚀刻的目的。
所述工序B是采用自动贴膜机，把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃的TFT基板面和C/F基板面分别贴上TFT保护膜和C/F保护膜，并在贴膜的过程中采用静电防护措施，所述静电防护措施选择采用离子风机对贴膜过程中产品的静电进行静电中和，或者选择采用防静电膜降低贴膜过程的静电产生量，其中优选采用防静电膜的方式，贴膜过程包括以下步骤：
1）C/F保护膜和静电膜准备：将卷成卷筒的C/F保护膜的开放端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方，然后将静电膜的一端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方，使贴膜后静电膜位于C/F保护膜的上方；
2）TFT保护膜准备及产品投入：将TFT保护膜平铺在自动贴膜机的工作平台上与C/F保护膜的位置对应，将液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保护膜上；
3）接产品：将液晶面板玻璃从自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙通过，并在工作平台的后方接住液晶面板玻璃；
4）一次裁切：在液晶面板玻璃完全通过自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙后，裁断C/F保护膜；
5）二次裁切：沿着液晶面板玻璃的边沿裁切C/F保护膜或TFT保护膜，使其与液晶面板玻璃的尺寸一致，规则切割C/F保护膜，便于后工序进行蚀刻；
6）贴膜完成：去除静电膜和液晶面板玻璃需要蚀刻的一面上的保护膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保护膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保护膜，一般都是保护C/F基板面留下“液晶面板玻璃和C/F保护膜”。其中，TFT保护膜的作用：保护TFT基板面，防表面划伤及静电，不会造成外观的品质不良（如：划伤）；C/F保护膜的作用：保护C/F基板面，在减薄过程中，不会受到酸液的腐蚀，起到单面蚀刻保护作用，最终达到单面减薄的目的。如果在需要要求保护TFT基板面的时候，则留下“玻璃和TFT保护膜”。
工序C：采用蚀刻装置将通过工序B处理过的液晶面板玻璃进行蚀刻。
所述工序C的蚀刻方式为顶部喷洒式，蚀刻时液晶面板玻璃采用专用PVC工装装载，蚀刻液为HF混酸（HF混酸采用现有蚀刻液），温度为25±2℃。
如图5至图7所示，PVC工装是由卡座架子和卡座底座组成。
卡座架子的主要作用是：装载液晶面板玻璃，尽最小接触液晶面板玻璃，使其能达到最好的品质。
卡座底座的主要作用是：装载卡座，使液晶面板玻璃在蚀刻过程中做周期性运动，保证产品质量。
工序D：对蚀刻后的液晶面板玻璃进行脱膜处理。
所述工序D的脱膜处理过程包括：采用碱液加热浸泡方式对蚀刻后的液晶面板玻璃进行化学脱膜，然后通过人工将碱液软化的保护膜进行手动脱膜，所述化学脱膜的设备为PVC自动化清洗机，所述碱液主要成分为由NaOH和DI水（即去离子水）配置而成的质量浓度15%的NaOH溶液，化学脱膜的温度为50℃，时间为20分钟；所述手动脱膜在防静电手动脱模台上进行，防静电手动脱模台的结构如图8-图10所示。
工序E：将脱膜后的液晶面板玻璃清洗干净。
所述工序E采用的清洗设备为流水清洗线，具体清洗流程为：
1）投入：将液晶面板玻璃投入流水清洗线内；
2）碱液清洗：碱液的主要成分为浓度1%的NaOH，清洗温度为40℃；
3）DI水清洗第一阶段；
4）DI水清洗第二阶段；
5）风切：利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为0.4~0.5mpa；
6）打包。
在工序E后通过触点式厚度测量机对液晶玻璃面板进行厚度检查，并对液晶玻璃面板进行外观检查，将液晶玻璃面板分为良品、可修复产品和报废品。
将检查挑选出的可修复的产品通过抛光机进行物理研磨修复，抛光的辅助材料为抛光粉、抛光垫和附垫。
抛光后通过流水清洗线对产品进行清洗，清洗流程为：
1)投入：将液晶面板玻璃投入流水清洗线内；
2）滚刷清洗；
3）DI水清洗第一阶段；
4）DI水清洗第二阶段；
5）风切：利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为0.4~0.5mpa；
6）打包；
清洗后的合格品和工序E后检查出来的良品通过OQC检查，将产品进行分类。
液晶面板玻璃一般在下列情况下需要进行单面减薄：
1、液晶面板一面需要进行保护，例如液晶面板玻璃一面上存在一层“透明电极图案”（不能被腐蚀）等等；
2、市场薄化的需求；
3、因液晶面板贴合误操作，将不对称厚度进行贴合，后工序采用单面减薄到达对称厚度要求。
现在的液晶面板厂商不能直接生产“单面蚀刻后的液晶面板玻璃”是因为:单面蚀刻后的液晶面板玻璃最薄（单面）的可以做到0.1mm，在液晶面板厂商制程采用0.1mm厚度玻璃很难量产化。
本发明克服了均衡薄化腐蚀两边的问题。以触摸屏为例，可以有效的保护有“透明电极图案”一面，而最终达到薄化的目的（触摸屏也减少了工艺和成本）。我们主要通过以下几点来进行重点控制：
1、单面贴膜机设备及参数：单面贴膜机的设计和运行参数，直接影响所生产的产品的品质。设计和运行参数不合理，将导致所生产的产品出现保护膜脱落、静电不良、破损等现象而报废。
2、膜的材料：膜材料的选择及设计非常重要，膜的选择需考虑耐酸性、粘性、抗静电性、易剥离性。耐酸性不好，会导致产品在蚀刻过程中报废；粘性不好，会导致保护膜在蚀刻过程中脱落，产品报废；抗静电性不好，将导致在贴膜和脱膜过程中产品产生静电不良而报废；易剥离性不好，会导致在脱膜过程中将“透明电极图案”一起剥离或者破损而报废。
3、蚀刻的条件：蚀刻条件不合理,会导致保护膜在蚀刻过程中软化、脱落而使产品报废。
通过本发明方法进行单面蚀刻后的厚度数据如下（数量为18件，P1-P9为测试点，测试点位如图11所示，单位：μm）：
| 序号 | P1 | P2 | P3 | P4 | P5 | P6 | P7 | P8 | P9 | 均值 | 最大值 | 最小值 | 极差值 | 平坦度 |
| 1 | 510 | 511 | 512 | 514 | 514 | 512 | 515 | 512 | 512 | 512 | 515 | 510 | 5 | 0.49% |
| 2 | 512 | 512 | 512 | 512 | 513 | 516 | 515 | 514 | 516 | 514 | 516 | 512 | 4 | 0.39% |
| 3 | 514 | 517 | 518 | 512 | 510 | 516 | 513 | 518 | 517 | 515 | 518 | 510 | 8 | 0.78% |
| 4 | 507 | 510 | 509 | 515 | 505 | 504 | 506 | 512 | 512 | 509 | 515 | 504 | 11 | 1.08% |
| 5 | 501 | 507 | 508 | 518 | 512 | 510 | 507 | 511 | 514 | 510 | 518 | 501 | 17 | 1.67% |
| 6 | 512 | 515 | 515 | 518 | 505 | 508 | 508 | 521 | 517 | 513 | 521 | 505 | 16 | 1.56% |
| 7 | 508 | 511 | 511 | 521 | 512 | 512 | 508 | 519 | 520 | 514 | 521 | 508 | 13 | 1.26% |
| 8 | 509 | 509 | 508 | 510 | 502 | 504 | 506 | 513 | 511 | 508 | 513 | 502 | 11 | 1.08% |
| 9 | 503 | 514 | 506 | 514 | 507 | 512 | 514 | 519 | 515 | 512 | 519 | 503 | 16 | 1.57% |
| 10 | 505 | 508 | 511 | 517 | 512 | 511 | 508 | 515 | 517 | 512 | 517 | 505 | 12 | 1.17% |
| 11 | 504 | 509 | 507 | 510 | 503 | 507 | 507 | 514 | 511 | 508 | 514 | 503 | 11 | 1.08% |
| 12 | 503 | 507 | 504 | 514 | 508 | 509 | 507 | 515 | 514 | 509 | 515 | 503 | 12 | 1.18% |
| 13 | 515 | 517 | 515 | 519 | 505 | 508 | 511 | 520 | 518 | 514 | 520 | 505 | 15 | 1.46% |
| 14 | 512 | 513 | 511 | 517 | 512 | 514 | 513 | 521 | 520 | 515 | 521 | 511 | 10 | 0.97% |
| 15 | 511 | 513 | 511 | 514 | 504 | 506 | 507 | 516 | 516 | 511 | 516 | 504 | 12 | 1.18% |
| 16 | 509 | 512 | 509 | 513 | 503 | 507 | 508 | 518 | 516 | 511 | 518 | 503 | 15 | 1.47% |
| 17 | 507 | 507 | 500 | 516 | 510 | 510 | 511 | 515 | 515 | 510 | 516 | 500 | 16 | 1.57% |
| 18 | 509 | 511 | 519 | 515 | 513 | 514 | 510 | 519 | 517 | 514 | 519 | 509 | 10 | 0.97% |
备注：厚度的标准，厚度范围：500±25μm，极差值≤30μm，平坦度＜3%
下面的数据是通过本发明方法进行单面蚀刻后的一种型号的液晶面板玻璃的外观品质数据：
1、蚀刻后品质（检测型号为型号一，检测数量为6013件）
| 破损 | 渗透 | 划伤 | 凹点 | 凸起 | 斑纹 | 不良品 | |
| 数量 | 1 | 3 | 14 | 1 | 18 | 12 | 49 |
| 百分比 | 0.02% | 0.05% | 0.23% | 0.02% | 0.30% | 0.20% | 0.81% |
2、抛光后OQC品质（检测型号为型号一，检测数量为6013件）
| 破损 | 渗透 | 划伤 | 凹点 | 凸起 | 斑纹 | 不良品 | |
| 数量 | 1 | 3 | 1 | 1 | 0 | 0 | 6 |
| 百分比 | 0.02% | 0.05% | 0.02% | 0.02% | 0.00% | 0.00% | 0.1% |
Claims (8)
1.一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：包括以下工序：
工序A：挑选出可以进行单面蚀刻的液晶面板玻璃，可以单面蚀刻的条件为单面厚度＞0.1mm；
工序B：把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面进行贴膜保护；
工序C：采用蚀刻装置将通过工序B处理过的液晶面板玻璃进行蚀刻；
工序D：对蚀刻后的液晶面板玻璃进行脱膜处理；
工序E：将脱膜后的液晶面板玻璃清洗干净；
在工序B前对通过工序A挑选出的液晶面板玻璃需要保留的一面采用浸泡方式进行清洗，清洗设备采用PVC自动化清洗机，清洗液的成分包括重量百分率为2%~5%的非离子型表面活性剂、重量百分率为5%~10%的KOH水溶液、重量百分率为1%~5%的葡萄糖酸钠、重量百分率为1%~5%的四乙酸乙烯二胺、重量百分率为1%~5%的四钠酸、重量百分率为70%~85%的水，其中，所述KOH水溶液是指质量浓度1%的KOH水溶液，清洗温度：25℃，清洗时间：5分钟。
2.根据权利要求1所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：所述工序B是采用自动贴膜机，把通过工序A挑选出的液晶面板玻璃的两面分别贴上TFT保护膜和C/F保护膜，并在贴膜的过程中采用静电防护措施，贴膜过程包括以下步骤：
1）C/F保护膜准备：将卷成卷筒的C/F保护膜的开放端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方；
2）TFT保护膜准备及产品投入：将TFT保护膜平铺在自动贴膜机的工作平台上与C/F保护膜的位置对应，将液晶面板玻璃的TFT基板面朝下放置在TFT保护膜上；
3）接产品：将液晶面板玻璃从自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙通过，并在工作平台的后方接住液晶面板玻璃；
4）一次裁切：在液晶面板玻璃完全通过自动贴膜机的工作平台和自动贴膜机的滚轴之间的间隙后，裁断C/F保护膜；
5）二次裁切：沿着液晶面板玻璃的边沿裁切C/F保护膜或TFT保护膜，使其与液晶面板玻璃的尺寸一致；
6）贴膜完成：去除液晶面板玻璃需要蚀刻的一面上的保护膜，留下液晶面板玻璃和需要保留的一面上的保护膜。
3.根据权利要求2所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：所述静电防护措施选择采用离子风机对贴膜过程中产品的静电进行静电中和，并且选择采用防静电膜降低贴膜过程的静电产生量，其中采用防静电膜的方式包括以下步骤：
在B工序的步骤1）C/F保护膜准备中增加静电膜的准备：将静电膜的一端由自动贴膜机的滚轴和自动贴膜机的工作平台之间的间隙拉放到工作平台的后方，使贴膜后静电膜位于C/F保护膜的上方；
在B工序的步骤6）贴膜完成中增加静电膜的去除。
4.根据权利要求1所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：所述工序C的蚀刻方式为顶部喷洒式，蚀刻时液晶面板玻璃采用专用PVC工装装载，蚀刻液为HF混酸，温度为25±2℃。
5.根据权利要求1所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：所述工序D的脱膜处理过程包括：采用碱液加热浸泡方式对蚀刻后的液晶面板玻璃进行化学脱膜，然后通过人工将碱液软化的保护膜进行手动脱膜，所述化学脱膜的设备为PVC自动化清洗机，所述碱液主要成分为由NaOH和DI水配置而成的质量浓度15%的NaOH溶液，化学脱膜的温度为50℃，时间为20分钟；所述手动脱膜在防静电手动脱模台上进行。
6.根据权利要求1至5任一项所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：在工序E后通过触点式厚度测量机对液晶玻璃面板进行厚度检查，并对液晶玻璃面板进行外观检查，将液晶玻璃面板分为良品、可修复产品。
7.根据权利要求6所述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：将检查挑选出的可修复的产品通过抛光机进行物理研磨修复，抛光的辅助材料为抛光粉、抛光垫和附垫。
8.根据权利要求7述的一种液晶面板玻璃的单面蚀刻方法，其特征在于：抛光后通过流水清洗线对产品进行清洗，清洗流程为：
1）投入：将液晶面板玻璃投入流水清洗线内；
2）滚刷清洗；
3）DI水清洗第一阶段；
4）风切：利用风刀装置，采用压缩高压气体，将液晶面板玻璃表面水分吹干，风刀压力为0.4~0.5mpa；
5）打包；
清洗后的合格品和工序E后检查出来的良品通过OQC检查，将产品进行分类。
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