CN104556717A - Tft玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺 - Google Patents

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching

Abstract

本发明涉及一种TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺。TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液包括有氟化物、醋酸、盐酸、无水乙醇、纯水组成；TFT玻璃基板减薄工艺是：配制环保蚀刻液；对TFT玻璃基板进行外观检查；点胶封边；对TFT玻璃基板表面进行清洗；对玻璃进行蚀刻；蚀刻后清洗，检查、包装。发明是用环保型玻璃蚀刻液替代了传统的HF(氢氟酸)蚀刻液，降低了蚀刻液的毒性，操作更加安全可靠，而且蚀刻液在过滤后可以循环使用，对TFT品质要求具有很大的改善，特别是对康宁玻璃(硼硅基材)在生产过程中出现的玻璃表面划伤放大、凹点及凸点具有明显改善。

Description

TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺
技术领域
本发明涉及TFT玻璃基板减薄技术领域，特别是一种TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺。
背景技术
目前移动终端轻薄化要求日益高涨，智能手机、平板电脑等新兴消费类电子产品的显示屏往往只有0.4mm-0.6mm厚度。TFT设备很难处理0.3mm以下的基板玻璃，而传统的TFT一般在0.5mm左右，加上中间填充液晶一般达到1.0mm-1.4mm左右,满足显示器件轻薄化需求最经济实惠的方法只能通过化学或物理方法进行玻璃减薄。行业内使用的TFT玻璃基板薄化液主要成分为HF(氢氟酸)和纯水、浓度在8％-15％之间，玻璃表面蚀刻效果不佳，其表面划伤被放大、凹点及凸点比较难以控制，且氢氟酸具有剧毒，生产过程对操作员工的危害性较大，废水、废弃物处理困难，使用一到两次之后，蚀刻液中会产生大量的粘稠粉末体，影响蚀刻液的利用率，且氢氟酸具有剧毒，生产过程对操作员工危害性较大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种毒性低、操作安全可靠的TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液是包括有氟化物、醋酸、盐酸、无水乙醇、纯水组成；所述组份物重量百分比是:氟化物10％--20％、醋酸8％-12％、盐酸4％-6％、无水乙醇1％-3％、纯水57％-74％。
进一步的是所述氟化物是易溶水固态氟化物。
TFT玻璃基板减薄工艺是包括以下步骤:
步骤1:配制环保蚀刻液,按重量百分比將氟化物10％--20％、醋酸8％-12％、盐酸4％-6％、无水乙醇1％-3％、纯水57％-74％混合放置在蚀刻槽内,加热到30-32摄氏度。
步骤2:对TFT玻璃基板进行外观检查；
步骤3:点胶封边,用UV胶水对TFT玻璃基板四边进行封边处理,用UV固化机固化UV胶水,清洗并去除边缘溢胶；
步骤4:对TFT玻璃基板表面进行清洗，放入槽内，用温度为30度纯水浸泡5分钟，去除玻璃表面异物；
步骤5:用夹具把TFT玻璃基板放入上述配好蚀刻液的槽内，温度加热到30-32度,对玻璃进行蚀刻1.5-2.5小时；
步骤6:用夹具把蚀刻好的TFT玻璃基板放入清洗槽内，用纯水进行清洗，放入第一槽内，用温度为30度纯水浸泡10分钟，再放入第二槽内用温度为30度纯水浸泡5分钟，再QC检查、物理抛光，终检包装。
进一步的是所述UV固化机能量为3000-6000mJ/㎝2。
进一步的是所述蚀刻液的槽内底部有用洁净空气将溶液循环搅动。
本发明的积极效果：
本发明TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液及其减薄工艺，是用环保型玻璃蚀刻液替代了目前传统的HF(氢氟酸)蚀刻液，使用HF酸是有剧毒,本发明使用的是易溶水固态氟化物,不是HF(氢氟酸),整个反应过程不含HF酸.大大降低了蚀刻液的毒性，生产员工操作更加安全可靠，而且本发明新型环保蚀刻液在过滤后可以循环使用，对TFT品质要求具有很大的改善，特别是对康宁玻璃(硼硅基材)在生产过程中出现的玻璃表面划伤放大、凹点及凸点具有明显改善。
附图说明
图1是根据本发明一种具体实施方式的工艺流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细说明：
本发明TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液是包括有氟化物、醋酸、盐酸、无水乙醇、纯水组成；所述组份物重量百分比是:氟化物10％--20％、醋酸8％-12％、、盐酸4％-6％、无水乙醇1％-3％、纯水57％-74％。氟化物是易溶水固态氟化物。
采用上述环保蚀刻液对TFT玻璃基板减薄的工艺是如图1所示：
步骤1:配制环保蚀刻液,按重量百分比將氟化物10％--20％、醋酸8％-12％、盐酸4％-6％、无水乙醇1％-3％、纯水57％-74％混合放置在蚀刻槽内,加热到30-32摄氏度；
步骤2:对TFT玻璃基板进行外观检查；
步骤3:点胶封边,用UV胶水对TFT玻璃基板四边进行封边处理,用UV固化机固化UV胶水,清洗并去除边缘溢胶；
步骤4:对TFT玻璃基板表面进行清洗，放入槽内，用温度为30度纯水浸泡5分钟，去除玻璃表面异物；
步骤5:用夹具把TFT玻璃基板放入上述配好蚀刻液的槽内，温度加热到30-32度,对玻璃进行蚀刻1.5-2.5小时；
步骤6:用夹具把蚀刻好的TFT玻璃基板放入清洗槽内，用纯水进行清洗，放入第一槽内，用温度为30度纯水浸泡10分钟，再放入第二槽内用温度为30度纯水浸泡5分钟，再QC检查，物理抛光，终检包装。
使用的UV固化机能量为3000-6000mJ/㎝2。在蚀刻液的槽内底部有用洁净空气将溶液循环搅动。
根据上述工艺步骤，调整蚀刻液组份物比例的实施例及效果：
实施例一：氟化物10.5％--11.5％、醋酸8％-9.5％、盐酸4.2％-4.8％、无水乙醇1％-2％、纯水71.7％-76.8％。
实施例二：氟化物12.5％--14.5％、醋酸9％-11％、盐酸4.2％-4.8％、无水乙醇1％-2％、纯水：66.8％-74％。
实施例三：氟化物15％--17.5％、醋酸9％-11％、、盐酸6％-8％无水乙醇2％-3％、纯水：67％。
实施例四：氟化物18％--19％、醋酸10％-11％、盐酸6％-8％无水乙醇2％-3％、纯水：66％。
实施例五：氟化物20％、醋酸11％、盐酸8％、无水乙醇3％、纯水：58％。
从上述五个实施例中看出随着氟化物比例的增大，蚀刻液与玻璃反应速度增大，氟化物的比例从10.5％-11.5％到20％，蚀刻液与玻璃反应速度从4.3um/min到7.0um/min，实际效果是玻璃表面未见凸起、划伤缺口未见明显放大，都是稳定的。无水乙醇是催化剂，醋酸用作调节酸性，醋酸、无水乙醇的作用是促进玻璃表面反应均匀.起缓冲作用,可以使反应速率和变化在可以控制的范围内。本发明使用后的废水，用压滤机过滤后可循环使用，能有效减少氟化物排放，废水使用NAOH中和排放。

Claims (5)

1.一种TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液,其特征是包括有氟化物、醋酸、盐酸、无水乙醇、纯水组成；所述组份物重量百分比是:氟化物10％--20％、醋酸8％-12％、盐酸4％-6％、无水乙醇1％-3％、纯水57％-74％。
2.根据权利要求1所述TFT玻璃基板减薄环保蚀刻液,其特征在于所述氟化物是易溶水固态氟化物。
3.一种TFT玻璃基板减薄工艺,其特征是包括以下步骤:
步骤1:配制环保蚀刻液,按重量百分比將氟化物10％--20％、醋酸8％-12％、、盐酸4％-6％、无水乙醇1％-3％、纯水57％-74％混合放置在蚀刻槽内,加热到30-32摄氏度；
步骤2:对TFT玻璃基板进行外观检查；
步骤3:点胶封边,用UV胶水对TFT玻璃基板四边进行封边处理,用UV固化机固化UV胶水,清洗并去除边缘溢胶；
步骤4:对TFT玻璃基板表面进行清洗，放入槽内，用温度为30度纯水浸泡5分钟，去除玻璃表面异物；
步骤5:用夹具把TFT玻璃基板放入上述配好蚀刻液的槽内，温度加热到30-32度,对玻璃进行蚀刻1.5-2.5小时；
步骤6:用夹具把蚀刻好的TFT玻璃基板放入清洗槽内，用纯水进行清洗，放入第一槽内，用温度为30度纯水浸泡10分钟，再放入第二槽内用温度为30度纯水浸泡5分钟，再QC检查、物理抛光，终检包装。
4.根据权利要求3所述TFT玻璃基板减薄环保蚀刻工艺，其特征在于所述UV固化机能量为3000-6000mJ/㎝2。
5.根据权利要求3所述TFT玻璃基板减薄环保蚀刻工艺，其特征在于所述蚀刻液的槽内底部有用洁净空气将溶液循环搅动。
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