CN112876090A - 一种超薄玻璃化学减薄方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种超薄玻璃化学减薄方法，属于玻璃加工技术领域，本发明的超薄玻璃化学减薄方法为：先清洗液擦拭厚度为2‑2.1mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗，自然风干；然后将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；最后将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃。本发明的方法制备的超薄玻璃厚度均匀，可以实现偏差±0.005mm以内。并且可以批量生产，最大可以制作550*650mm；可以通过调整水刀的参数满足客户需求进行不同规格的产品加工，并且成本低，良率比原材生产高。

Description

一种超薄玻璃化学减薄方法
技术领域
本发明涉及玻璃加工技术领域，尤其涉及一种超薄玻璃化学减薄方法。
背景技术
随着显示技术的日益成熟，显示装置的轻薄化成为了当今的主流发展趋势，其中一个方向就是使用超薄玻璃作为显示面板的衬底基板。因此，玻璃的薄化制程是实现显示装置薄型化的重要环节。
目前，化学刻蚀减薄是玻璃的主要减薄方法，通过刻蚀酸液与玻璃成分的化学反应，使玻璃基板减薄至工艺要求的厚度。但是，现有的生产制造成本高，薄化的厚度管控不好，偏差大，且产品表面良率低，薄化后还需要进行抛光生产，工序复杂。
发明内容
本发明实施例提供一种超薄玻璃化学减薄方法，以解决现有技术中生产制造成本高，薄化的厚度管控不好，偏差大，且产品表面良率低，薄化后还需要进行抛光生产，工序复杂的问题，本发明的内容如下：
本发明提供了一种超薄玻璃化学减薄方法，其技术点在于：包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2-2.1mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗2-3次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为0.4-3.4m/min，所述水刀速度为1.7-2.4m/min，所述水刀的水压为40000-50000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30-60°。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法步骤一中的清洗液中含有0.5-20wt％的非离子表面活性剂。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法步骤二中防酸膜厚度为90-110μm。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法步骤三中的酸性刻蚀液pH值为1-3。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法酸性刻蚀液为氢氟酸、盐酸、硫酸和磷酸中的至少一种。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法硫酸的浓度为97-98wt％。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法氢氟酸浓度为48-49wt％。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法盐酸浓度为30-35wt％。
在本发明的有的实施例中，本发明的超薄玻璃化学减薄方法磷酸浓度为70-99wt％。
蚀刻完成后，本发明的超薄玻璃可以采用激光切割成合适的尺寸备用。
本发明实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
本发明提供了一种超薄玻璃化学减薄方法，该方法包括先清洗液擦拭厚度为2-2.1mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗2-3次，自然风干；然后将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；最后将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为0.4-3.4m/min，所述水刀速度为1.7-2.4m/min，所述水刀的水压为40000-50000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30-60°。本发明的方法制备的超薄玻璃厚度均匀，可以实现偏差±0.005mm以内。并且可以批量生产，最大可以制作550*650mm；可以通过调整水刀的参数满足客户需求进行不同规格的产品加工，并且成本低，良率比原材生产高。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1-4所用的玻璃为康宁材质的玻璃，实施例5-8所用的玻璃为AGC材质的玻璃。
实施例1
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.008mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗2.5次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为0.8m/min，所述水刀速度为2.4m/min，所述水刀的水压为48000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为50°。
其中，步骤一中的清洗液中含有10wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为100μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中，酸性刻蚀液为氢氟酸。
其中，氢氟酸浓度为48.5wt％。
实施例2
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.008mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗2次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为0.8m/min，所述水刀速度为2.4m/min，所述水刀的水压为45000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为45°。
其中，步骤一中的清洗液中含有0.5wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为90μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中，酸性刻蚀液为盐酸。
其中，盐酸浓度为32.5wt％。
实施例3
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.008mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗3次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为2m/min，所述水刀速度为1.7m/min，所述水刀的水压为40000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为60°。
其中，步骤一中的清洗液中含有20wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为110μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为3。
其中，酸性刻蚀液为硫酸。
其中，硫酸的浓度为97.5wt％。
实施例4
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.008mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗2次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为3.4m/min，所述水刀速度为2m/min，所述水刀的水压为50000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为45°。
其中，步骤一中的清洗液中含有1wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为1.5。
其中，酸性刻蚀液为磷酸。
其中，磷酸浓度为85wt％。
实施例5
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.001mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗3次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为0.4m/min，所述水刀速度为1.7m/min，所述水刀的水压为45000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为45°。
其中，步骤一中的清洗液中含有5wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为105μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中，酸性刻蚀液为氢氟酸和盐酸的混合物，其中氢氟酸和盐酸的质量比为1:1。
其中，氢氟酸浓度为48.5wt％。
其中，盐酸浓度为30wt％。
实施例6
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.001mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗3次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为0.6m/min，所述水刀速度为2.0m/min，所述水刀的水压为42000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为35°。
其中，步骤一中的清洗液中含有15wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中，酸性刻蚀液为硫酸和磷酸的混合物，其中硫酸和磷酸的质量比为1:1。
其中，硫酸的浓度为97wt％。
其中，磷酸浓度为70wt％。
实施例7
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.001mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗3次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为1.2m/min，所述水刀速度为1.8m/min，所述水刀的水压为50000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为55°。
其中，步骤一中的清洗液中含有15wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中，酸性刻蚀液为盐酸和硫酸的混合物，其中盐酸和硫酸的质量比为1:1。
其中，硫酸的浓度为97wt％。
其中，盐酸浓度为30wt％。
实施例8
一种超薄玻璃化学减薄方法包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2.001mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗3次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为3m/min，所述水刀速度为2.0m/min，所述水刀的水压为40000-50000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为55°。
其中，步骤一中的清洗液中含有18wt％的非离子表面活性剂。
其中，步骤二中防酸膜厚度为95μm。
其中，步骤三中的酸性刻蚀液pH值为2。
其中，酸性刻蚀液为氢氟酸和磷酸的混合物，其中氢氟酸和磷酸的质量比为1:1。
其中，氢氟酸浓度为48wt％。
其中，磷酸浓度为70wt％。
试验例
测试实施例1-8所制备的超薄玻璃的刻蚀量，具体见表1：
表1
蚀刻后玻璃厚度/mm
实施例1 0.050
实施例2 0.045
实施例3 0.035
实施例4 0.030
实施例5 0.050
实施例6 0.045
实施例7 0.040
实施例8 0.030
以上所述仅为本发明的实施例而已，并不用于限制本发明。对于本领域技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的权利要求范围之内。

Claims (9)

1.一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一，用清洗液擦拭厚度为2-2.1mm未减薄的玻璃，除去表面油脂，再用清水冲洗2-3次，自然风干；
步骤二，将未减薄的玻璃置于操作台上，放入垫板上并垫纸，覆上防酸膜后将四边残留的胶去除；
步骤三，将酸性刻蚀液装入水刀中，然后将步骤二中贴附有防酸膜的未减薄的玻璃从水刀的入料口进行投料减薄处理，直至完全进入后继续投入第二个贴附有防酸膜的未减薄的玻璃，所述未减薄的玻璃连续经过7个减薄槽口即得所述超薄玻璃，所述未减薄的玻璃的走速为0.4-3.4m/min，所述水刀速度为1.7-2.4m/min，所述水刀的水压为40000-50000psi，水刀与贴附有防酸膜的未减薄的玻璃之间的夹角为30-60°。
2.根据权利要求1所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述步骤一中的清洗液中含有0.5-20wt％的非离子表面活性剂。
3.根据权利要求1所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述步骤二中防酸膜厚度为90-110μm。
4.根据权利要求1所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述步骤三中的酸性刻蚀液pH值为1-3。
5.根据权利要求4所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述酸性刻蚀液为氢氟酸、盐酸、硫酸和磷酸中的至少一种。
6.根据权利要求5所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述硫酸的浓度为97-98wt％。
7.根据权利要求1所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述氢氟酸浓度为48-49wt％。
8.根据权利要求1所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述盐酸浓度为30-35wt％。
9.根据权利要求1所述的一种超薄玻璃化学减薄方法，其特征在于：所述磷酸浓度为70-99wt％。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114873926A (zh) * 2022-05-20 2022-08-09 苏州瑞资特智能科技有限公司 Utg超薄柔性玻璃减薄生产工艺方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200951089A (en) * 2008-06-09 2009-12-16 Photo Jet Internat Co Ltd Device of optical glass etching and method thereof
CN101633563A (zh) * 2008-07-22 2010-01-27 光捷国际股份有限公司 一种光学玻璃蚀刻装置及方法
CN103880294A (zh) * 2014-02-17 2014-06-25 苏州凯利昂光电科技有限公司 一种超大超薄液晶显示面板化学蚀刻减薄方法
CN108101378A (zh) * 2017-12-28 2018-06-01 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 一种无碱硼铝硅酸盐玻璃的化学减薄方法
CN110950541A (zh) * 2019-12-19 2020-04-03 苏州凯利昂光电科技有限公司 一种玻璃单面减薄的方法
CN111253076A (zh) * 2020-03-03 2020-06-09 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃
CN111362585A (zh) * 2020-04-29 2020-07-03 滁州东盛电子科技有限公司 一种液晶显示屏单面减薄处理方法
CN111453997A (zh) * 2020-04-14 2020-07-28 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 单面蚀刻制造超薄玻璃的方法及超薄玻璃

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200951089A (en) * 2008-06-09 2009-12-16 Photo Jet Internat Co Ltd Device of optical glass etching and method thereof
CN101633563A (zh) * 2008-07-22 2010-01-27 光捷国际股份有限公司 一种光学玻璃蚀刻装置及方法
CN103880294A (zh) * 2014-02-17 2014-06-25 苏州凯利昂光电科技有限公司 一种超大超薄液晶显示面板化学蚀刻减薄方法
CN108101378A (zh) * 2017-12-28 2018-06-01 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 一种无碱硼铝硅酸盐玻璃的化学减薄方法
CN110950541A (zh) * 2019-12-19 2020-04-03 苏州凯利昂光电科技有限公司 一种玻璃单面减薄的方法
CN111253076A (zh) * 2020-03-03 2020-06-09 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃
CN111453997A (zh) * 2020-04-14 2020-07-28 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 单面蚀刻制造超薄玻璃的方法及超薄玻璃
CN111362585A (zh) * 2020-04-29 2020-07-03 滁州东盛电子科技有限公司 一种液晶显示屏单面减薄处理方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘丹等: "Mo/Al/Mo结构电极的坡度角和关键尺寸差研究", 《液晶与显示》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114873926A (zh) * 2022-05-20 2022-08-09 苏州瑞资特智能科技有限公司 Utg超薄柔性玻璃减薄生产工艺方法
CN114873926B (zh) * 2022-05-20 2023-08-22 苏州瑞资特智能科技有限公司 Utg超薄柔性玻璃减薄生产工艺方法

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