JP2004182586A5 - - Google Patents
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Description
上記の目的を達成するため、本発明は、ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有し且つ気泡を発生させているエッチング液にガラス基板を浸漬することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたＦＰＤ用ガラス基板を製造することを特徴とする。
以上のように構成された本発明のＦＰＤ用ガラス基板の製造方法によれば、耐酸性の被覆層をガラス基板に密着させるため、エッチング処理中に被覆層が基板から剥がれることなく、ガラス基板の一部を選択的にパターニングすることができる。また、気泡を発生させたエッチング液にガラス基板を浸漬して被覆層が形成された部分以外のガラス基板表面をエッチングしているので、エッチングによってガラス基板の表面に生じた反応生成物を気泡が剥ぎ取り、エッチング条件を安定化させることができる。
Claims (3)
- ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有するエッチング液に浸漬することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を製造する方法であって、
前記被覆層が、エポキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂から選ばれる樹脂を被覆材原料としてフィルム転写により形成され、
前記エッチング液には気泡を発生させるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有するエッチング液に浸漬することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を製造する方法であって、
前記被覆層が、ポリスチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂から選ばれる樹脂をそのままで、若しくは溶剤で溶かしたものを被覆材原料としてコーティングにより形成され、
前記エッチング液には気泡を発生させるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
- ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有するエッチング液に浸漬することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を製造する方法であって、
前記被覆層が、ポリスチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂から選ばれる樹脂をそのままで、若しくは溶剤で溶かしたものを被覆材原料としてスクリーン印刷により形成され、
前記エッチング液には気泡を発生させるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
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