CN101620373B - Led显示屏光罩修补方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种LED显示屏光罩修补方法，该方法包括以下步骤：在待修补光罩的下方放置一至少耐400℃高温的垫板，所述垫板为苏打或石英材质的玻璃；在所述垫板上放置一层导热材料，所述导热材料为铜箔；将待修补光罩置于所述导热材料上加热后，对其进行修补，其中，所述光罩的尺寸规格为3寸、4寸或5寸，所述铜箔贴于光罩的玻璃面四角范围。本发明还公开了相应的LED显示屏光罩修补装置。本发明修补质量好，可靠性强，修补点不易脱落，且在修补过程中不会损坏光罩，保证其完整性，避免报废，降低生产成本、提高生产效率。

Description

LED显示屏光罩修补方法及装置
技术领域
本发明涉及光罩生产工艺，尤其涉及一种LED显示屏光罩修补方法及装置。
背景技术
光罩广泛应用于LCD、PCB、IC、LED显示屏等各行业，其主要以大尺寸光罩为主，但近二年，随着LED显示屏行业及LED芯片集中化的飞速的发展，对LED显示屏光罩的需求也越来越多，而LED显示屏行业主要采用3寸、4寸、5寸等小尺寸光罩。
产品设计者通过计算机辅助软件制作出电路图形后，以镭射或电子束曝光方式将该电路图形烙印在玻璃基板的光阻上，此经过烙印后所产生出来之玻璃基板即称为光罩；
具体地，光罩的制作过程如下：
在苏打玻璃或石英玻璃基材表面上涂覆一层铬(Cr)层形成遮光层，在铬层上面加涂覆一层氧化铬层，最后在氧化铬层上面涂覆一层感光胶；
使用软件控制曝光装置对其进行電子束曝光或雷射曝光；
使用化学药液刻蚀部分铬层从而形成图案，在表面保留的铬层为图案遮光区。
然而，由于在玻璃表面涂覆铬层时，环境中微小的灰尘和颗粒很容易掉落在涂覆表面或表面感光胶而产生凹陷，直接导致铬层表面遮光层出现针孔空洞现象；另外，化学清洗以及灰尘等因素，都可能在光罩上形成针孔空洞缺陷。针孔的产生会对光罩的质量产生严重的影响，这类缺陷的产生，会造成线条的缺失，从而导致光罩报废；所以为了减少光罩的报废，必须对此类出现针孔等缺陷的光罩进行修补。
而现有技术中，修补光罩的方案一般是在针孔缺陷处涂修补物质后，使用不同加热装置对其进行加温加热处理，其修补物质固化在光罩缺点的表面，从而达到修复的功能。
由于小尺寸(3寸、4寸、5寸)光罩面积小，其玻璃基材厚度偏薄(其厚度为2.3mm与1.5mm)；加之玻璃导热较低等特性(玻璃的导热系数在室温下约为0.75W/(m*k))，因而，当温度剧烈变化时，玻璃容易产生碎裂现象。
如果以现有的方案来修补小尺寸光罩，特别是在修补小光罩边缘的针孔缺陷时，使用加热装置对小尺寸光罩进行高温烘烤(约400度时)，小尺寸光罩就会发生破损现象而造成报废，降低生产效率，增加成本；如果将烘烤的温度降到400度以下，那么小尺寸光罩不太容易发生破损，但其修补物质可靠性不强，其修补处非常容易在洗清、擦拭过程脱落，修补点脱落将会带来严重的品质风险。
综上所述，上述方案在修补大尺寸光罩的时候不会出现问题，但对于偏小偏薄的小尺寸光罩，则无法达到良好的修补效果，因而目前对出现针孔等缺陷的小尺寸光罩，一般只有报废处理。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种LED显示屏光罩修补方法，该方法修补质量好，可靠性强，修补点不易脱落，且在修补过程中不会损坏光罩，保证其完整性，避免报废，降低生产成本、提高生产效率。
本发明进一步所要解决的技术问题是：提供一种LED显示屏光罩修补装置，该装置修补质量好，可靠性强，修补点不易脱落，且在修补过程中不会损坏光罩，保证其完整性，避免报废，降低生产成本、提高生产效率。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种LED显示屏光罩修补方法，该方法包括以下步骤：
在待修补光罩的下方放置一至少耐400℃高温的垫板，所述垫板为苏打或石英材质的玻璃；
在所述垫板上放置一层导热材料，所述导热材料为铜箔；
将待修补光罩置于所述导热材料上加热后，对其进行修补，其中，所述光罩的尺寸规格为3寸、4寸或5寸，所述铜箔贴于光罩的玻璃面四角范围。
相应地，本发明还公开了一种LED显示屏光罩修补装置，包括有加热装置，还包括有：
置于待修补光罩下方的耐400℃高温的垫板，以及置于所述待修补光罩和垫板之间的导热材料，其中，所述垫板为苏打或石英材质的玻璃、所述导热材料为铜箔；所述光罩的尺寸规格为3寸、4寸或5寸，所述铜箔贴于光罩的玻璃面四角范围。
本发明的有益效果是：
本发明的实施例通过将光罩置于导热材料和耐高温的垫板上进行加热，从而大大减少了光罩表面的热量，使其在加热过程中不会因过热而破损，降低了生产成本、提高了生产效率，且修补质量好，可靠性强，修补点不易脱落。
下面参考附图详细描述本发明的实施例。
附图说明
图1是本发明提供的LED显示屏光罩一个实施例的组成结构图。
具体实施方式
本发明的核心在于将光罩置于导热材料和耐高温的垫板上进行加热，由于导热材料将光罩表面的热量迅速地转移到垫板上，从而大大减少了光罩表面的热量，使其在加热过程中不会因过热而破损。
下面详细描述本发明提供的LED显示屏光罩修补方法，本实施例进行一次LED显示屏光罩修补流程主要包括以下步骤：
首先，在在待修补光罩的下方放置一至少耐400℃高温的垫板；
其次，在所述垫板上放置一层导热材料；
再次，将待修补光罩置于所述导热材料上加热后，对其进行修补。
具体实现时，所述垫板可采用长度、宽度、及厚度分别为450mm、550mm、及5.0mm的玻璃、所述导热材料采用长宽分别为20mm、厚度为2-5mm的铜箔为佳，所述铜箔可单张使用，或者以厚度为1mm的多张重叠至2-5mm。
由于铜箔的导热系数是玻璃的400倍，因此可大大迅速将光罩表面的铜箔热量传导至耐高温垫板的效果。
具体实现时，可使用一张苏打或石英大尺寸(450*550*5.0mm)光罩，用药液去除其表面的感光胶与铬层(包含氧化铬层)，使其成为一片白玻璃后，将其放置在修补机台上，同时提供长宽尺寸各为20mm且厚度为1mm的铜箔数张，将多张重叠到厚度为2mm-5mm厚时，再将其贴于小尺寸(3寸、4寸、5寸)光罩的玻璃面四角范围，使其贴在小光罩与玻璃间后，即可使用加入装置对其进行高温烘烤、修补。
根据上述方法，分别使用400度与500度高温对小尺寸光罩(分别使用3寸和4寸，厚度为1.5mm与2.3mm)进行多次测试，从实验结果可以看出，经对小光罩(分别使用3寸和4寸，厚度为1.5mm与2.3mm)多次连续烘烤其四个边和四个角，小光罩均无破裂现象。
本实施例主要达到的实际效果如下：
出货效力的提升：避免小光罩报废重做，从而加快了出货速度，避免客户投拆；
机台效力的提升：避免小光罩报废节省了光刻机的曝光时间，一般的小版曝光一片约为20分钟，但高倍率镜头(5镜头)的小光罩重新制作一片需要约2小时，所以此方案解决了因针孔修补破损报废的问题，大大的提升了机台的生产效力；
成本的降低：除上述两点之外，经对一个月统计，有20片6寸以下小尺寸光罩是因针孔或则白凸无法修补而报废的，而采用实施例对其进行修补后，完全可以正常使用，大大节约了原材料，降低了制作成本。
下面参考图1详细描述本实施例提供的LED显示屏光罩修补装置的一个实施例；如图所示，本实施例主要包括有加热装置(图中未示出)、置于待修补光罩下方的耐400℃高温的垫板1，以及置于所述待修补光罩和垫板1之间的导热材料2。
具体实现时，垫板1可采用长度、宽度、及厚度分别为450mm、550mm、及5.0mm的苏打或石英材质玻璃、而导热材料2采用长宽分别为20mm、厚度为2-5mm的铜箔为佳，所述铜箔可单张使用，或者以厚度为1mm的多张重叠至2-5mm。
由于铜箔的导热系数是玻璃的400倍，因此可大大迅速将光罩表面的铜箔热量传导至耐高温垫板的效果。
具体实现时，垫板1可使用一张苏打或石英大尺寸(450*550*5.0mm)光罩，用药液去除其表面的感光胶与铬层(包含氧化铬层)后成型，成型后置于修补机台100上。而铜箔则贴于小尺寸(3寸、4寸、5寸)光罩的玻璃面四角范围、光罩与玻璃之间。
前述实施例描述的方案及其技术效果在本实施例中完全适用。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种LED显示屏光罩修补方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
在待修补光罩的下方放置一至少耐400℃高温的垫板，所述垫板为苏打或石英材质的玻璃；
在所述垫板上放置一层导热材料，所述导热材料为铜箔；
将待修补光罩置于所述导热材料上加热后，对其进行修补，其中，所述光罩的尺寸规格为3寸、4寸或5寸，所述铜箔贴于光罩的玻璃面四角范围。
2.如权利要求1所述的LED显示屏光罩修补方法，其特征在于，所述铜箔的厚度为2-5mm，其数量为单张或厚度为1mm的多张重叠至2-5mm。
3.如权利要求2所述的LED显示屏光罩修补方法，其特征在于，所述玻璃的长度、宽度、及厚度分别为450mm、550mm、及5.0mm；所述铜箔的长宽分别为20mm。
4.一种LED显示屏光罩修补装置，包括有加热装置，其特征在于，该装置还包括有：
置于待修补光罩下方的耐400℃高温的垫板，以及置于所述待修补光罩和垫板之间的导热材料，其中，所述垫板为苏打或石英材质的玻璃，所述导热材料为铜箔，所述光罩的尺寸规格为3寸、4寸或5寸，所述铜箔贴于光罩的玻璃面四角范围。
5.如权利要求4所述的LED显示屏光罩修补装置，其特征在于，所述铜箔的厚度为2-5mm，其数量为单张或厚度为1mm的多张重叠至2-5mm。
6.如权利要求5所述的LED显示屏光罩修补装置，其特征在于，所述玻璃的长度、宽度、及厚度分别为450mm、550mm、及5.0mm；所述铜箔的长宽分别为20mm。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI742522B (zh) * 2020-01-30 2021-10-11 友達光電股份有限公司 顯示面板及其製造方法
CN113376875B (zh) * 2021-06-08 2023-07-25 惠州华星光电显示有限公司 一种修补设备及修补方法
CN115291425A (zh) * 2022-08-11 2022-11-04 业成科技（成都）有限公司 表面损伤修补方法、显示面板及显示装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1223191A (zh) * 1998-01-06 1999-07-21 阿尔斯通有限公司 通过焊接保护金属工件的方法
CN1696746A (zh) * 2004-05-12 2005-11-16 统宝光电股份有限公司 修补彩色滤光片的缺陷的方法及其装置
CN201477363U (zh) * 2009-08-13 2010-05-19 深圳市路维电子有限公司 Led显示屏光罩修补装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1223191A (zh) * 1998-01-06 1999-07-21 阿尔斯通有限公司 通过焊接保护金属工件的方法
CN1696746A (zh) * 2004-05-12 2005-11-16 统宝光电股份有限公司 修补彩色滤光片的缺陷的方法及其装置
CN201477363U (zh) * 2009-08-13 2010-05-19 深圳市路维电子有限公司 Led显示屏光罩修补装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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