CN113504702A - 一种菲林玻璃模具的制作方法 - Google Patents

一种菲林玻璃模具的制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113504702A
CN113504702A CN202110788206.5A CN202110788206A CN113504702A CN 113504702 A CN113504702 A CN 113504702A CN 202110788206 A CN202110788206 A CN 202110788206A CN 113504702 A CN113504702 A CN 113504702A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film
mold
glass
manufacturing
glass mold
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110788206.5A
Other languages
English (en)
Inventor
马文龙
康亮
康小明
孙飞鹏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tianshui Huayang Electronic Technology Co ltd
Original Assignee
Tianshui Huayang Electronic Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tianshui Huayang Electronic Technology Co ltd filed Critical Tianshui Huayang Electronic Technology Co ltd
Priority to CN202110788206.5A priority Critical patent/CN113504702A/zh
Publication of CN113504702A publication Critical patent/CN113504702A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/76—Patterning of masks by imaging
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/80—Etching
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G03F1/84—Inspecting

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

本发明公开了一种菲林玻璃模具的制作方法，属于半导体芯片生产技术领域。所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：使用光绘机进行菲林光绘；光绘底片效果评定；对准备好的空白玻璃进行清洁检查；用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；粘贴好后进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产。本发明制作周期短、成本低、精密度高、一致性好，便于推广使用。

Description

一种菲林玻璃模具的制作方法
技术领域
本发明涉及半导体芯片生产技术领域，具体为一种菲林玻璃模具的制作方法。
背景技术
引线框架用来作为半导体芯片机械支撑载体，但在小批量生产中存在很多异常，在先前用菲林模曝光生产时有很多难以解决的异常，为了提高良率，提高产值，提高开发模具的制作周期，降低成本，而现有玻璃模具的缺点为开发周期长，开发成本高，不能及时得到及时的生产产品，而玻璃模具的优点，生产效率高，还可以CCD自行对位，曝光能量恒定，曝光时间恒定，在曝光生产过程中出现的异常较少，结合玻璃模具的缺点和菲林模具的缺点，和目前生产状况，就需要制作一种新型的菲林玻璃模具来代替他们。
发明内容
本发明的目的在于提供一种菲林玻璃模具的制作方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
一种菲林玻璃模具的制作方法，所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：
S1、使用光绘机进行菲林光绘；
S2、光绘底片效果评定，通过光密度测量仪来进行检测；
S3、对准备好的空白玻璃进行清洁，然后对清洗好的空白玻璃进行检查；
S4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；
S5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；
S6、粘贴好后使用VMS-6060H影像测量仪进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产。
所述步骤S6中全自动曝光时，曝光机进行CCD自行对位。
所述步骤S2中通过光密度测量仪进行检测时，挡光区要大于4.0D，透光区要小于0.15D。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
本发明开发时间短，开发成本低，而且可自行CCD对位，可减小蚀刻后的尺寸误差，生产效率高，减少手动曝光时出现的黑点，减少人为接触进而减少变形，降低成本，曝光时间恒定，曝光能量恒定，生产时出现的异常较少。具有的制作周期短、投资省、精密度高、一致性好的特点，具有相似玻璃模具的生产的稳定性，进行开发生产的原则。
附图说明
图1为本发明菲林玻璃模具的结构示意图；
图中标记：空白玻璃1；菲林模具2。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。
实施例1
一种菲林玻璃模具的制作方法，如图1，所述菲林玻璃模具包括菲林模具2、空白玻璃1、双面胶带、502胶水，所述菲林模具2的四角处各开设有矩形缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：
S1、使用光绘机进行菲林光绘；光绘机生产出菲林模具，需要检查其线条梯度是否黑白分明，线边是否锐利。
S2、光绘底片效果评定，通过光密度测量仪来进行检测，通过光密度测量仪进行检测时，挡光区要大于4.0D，透光区要小于0.15D；
S3、对准备好的空白玻璃进行清洁，然后对清洗好的空白玻璃进行检查；
S4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；
S5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；
S6、粘贴好后使用VMS-6060H影像测量仪进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产，全自动曝光时，曝光机进行CCD自行对位。
在菲林玻璃模具的制作过程中，设计尺寸合理的菲林模具，线条优美，线条宽度均匀，能够完美的粘贴在空白玻璃表面，以达到生产出尺寸合理的框架。
在菲林玻璃模具制作的光绘过程中，显影药水浓度的配比和显影温度，要控制在相应条件范围内，使显影过程中的显影剂、保护剂、加速剂、抑制剂充分的显出图像，达到管控要求，显出合理尺寸的线条。
在菲林玻璃模具制作的光绘过程中，定影药水浓度的配比合理，去除显影过程中没有还原成银的银盐，否则这部分银盐会再曝光，破坏原来的影像。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种菲林玻璃模具的制作方法，其特征在于，所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：
S1、使用光绘机进行菲林光绘；
S2、光绘底片效果评定，通过光密度测量仪来进行检测；
S3、对准备好的空白玻璃进行清洁，然后对清洗好的空白玻璃进行检查；
S4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；
S5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；
S6、粘贴好后使用VMS-6060H影像测量仪进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产。
2.如权利要求1所述的一种菲林模具的制作方法，其特征在于：所述步骤S6中全自动曝光时，曝光机进行CCD自行对位。
3.如权利要求1所述的一种菲林模具的制作方法，其特征在于：所述步骤S2中通过光密度测量仪进行检测时，挡光区要大于4.0D，透光区要小于0.15D。
CN202110788206.5A 2021-07-12 2021-07-12 一种菲林玻璃模具的制作方法 Pending CN113504702A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110788206.5A CN113504702A (zh) 2021-07-12 2021-07-12 一种菲林玻璃模具的制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110788206.5A CN113504702A (zh) 2021-07-12 2021-07-12 一种菲林玻璃模具的制作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113504702A true CN113504702A (zh) 2021-10-15

Family

ID=78012851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110788206.5A Pending CN113504702A (zh) 2021-07-12 2021-07-12 一种菲林玻璃模具的制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113504702A (zh)

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101594745A (zh) * 2008-05-28 2009-12-02 江苏苏杭电子有限公司 上、下菲林与电子线路板的对位改良结构
CN102636952A (zh) * 2012-04-19 2012-08-15 蔡新民 一种防止激光光绘菲林变形的制作方法
WO2012129811A1 (zh) * 2011-03-31 2012-10-04 深圳市科彩印务有限公司 一种镭射纸的检测方法
CN202693996U (zh) * 2012-08-10 2013-01-23 东莞市五株电子科技有限公司 一种返工线路板绿油曝光对位的定位工具
CN103009534A (zh) * 2012-12-19 2013-04-03 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种集成微结构的pdms薄膜制作方法
CN103042869A (zh) * 2012-12-17 2013-04-17 淄博宜臣轻工制品有限公司 一种网印法制作带有相片图案的玻璃工艺品
CN103048890A (zh) * 2012-12-20 2013-04-17 景旺电子科技(龙川)有限公司 一种外层手动曝光机pin钉对位系统和方法
CN204009351U (zh) * 2014-07-28 2014-12-10 意力(广州)电子科技有限公司 简易玻璃菲林
CN104375704A (zh) * 2014-11-13 2015-02-25 蓝思科技（长沙）有限公司 Uv菲林感应器、其制备方法及触控屏
CN105259737A (zh) * 2015-09-01 2016-01-20 苏州市贝特利高分子材料股份有限公司 一种盖板玻璃基材转印处理方法
WO2018032634A1 (zh) * 2016-08-15 2018-02-22 建业科技电子（惠州）有限公司 一种半自动曝光机做内层板的制作工艺
CN107908085A (zh) * 2017-11-09 2018-04-13 建业科技电子（惠州）有限公司 设计外层菲林对位稳定工艺
CN108673795A (zh) * 2018-06-16 2018-10-19 东莞市东昊新能源实业有限公司 一种利用uv转印及压印加工微纳纹理的模具生产工艺
CN109703225A (zh) * 2018-09-12 2019-05-03 湖南飞优特电子科技有限公司 一种丝印偏位改善方法
KR20200035606A (ko) * 2018-09-27 2020-04-06 신웅호 바닥광고에 사용되는 패턴 글라스 제조 방법
CN112060422A (zh) * 2020-07-23 2020-12-11 伯恩创盛技术研发(惠州)有限公司 一种贴合式菲林模具的制作工艺

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101594745A (zh) * 2008-05-28 2009-12-02 江苏苏杭电子有限公司 上、下菲林与电子线路板的对位改良结构
WO2012129811A1 (zh) * 2011-03-31 2012-10-04 深圳市科彩印务有限公司 一种镭射纸的检测方法
CN102636952A (zh) * 2012-04-19 2012-08-15 蔡新民 一种防止激光光绘菲林变形的制作方法
CN202693996U (zh) * 2012-08-10 2013-01-23 东莞市五株电子科技有限公司 一种返工线路板绿油曝光对位的定位工具
CN103042869A (zh) * 2012-12-17 2013-04-17 淄博宜臣轻工制品有限公司 一种网印法制作带有相片图案的玻璃工艺品
CN103009534A (zh) * 2012-12-19 2013-04-03 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种集成微结构的pdms薄膜制作方法
CN103048890A (zh) * 2012-12-20 2013-04-17 景旺电子科技(龙川)有限公司 一种外层手动曝光机pin钉对位系统和方法
CN204009351U (zh) * 2014-07-28 2014-12-10 意力(广州)电子科技有限公司 简易玻璃菲林
CN104375704A (zh) * 2014-11-13 2015-02-25 蓝思科技（长沙）有限公司 Uv菲林感应器、其制备方法及触控屏
CN105259737A (zh) * 2015-09-01 2016-01-20 苏州市贝特利高分子材料股份有限公司 一种盖板玻璃基材转印处理方法
WO2018032634A1 (zh) * 2016-08-15 2018-02-22 建业科技电子（惠州）有限公司 一种半自动曝光机做内层板的制作工艺
CN107908085A (zh) * 2017-11-09 2018-04-13 建业科技电子（惠州）有限公司 设计外层菲林对位稳定工艺
CN108673795A (zh) * 2018-06-16 2018-10-19 东莞市东昊新能源实业有限公司 一种利用uv转印及压印加工微纳纹理的模具生产工艺
CN109703225A (zh) * 2018-09-12 2019-05-03 湖南飞优特电子科技有限公司 一种丝印偏位改善方法
KR20200035606A (ko) * 2018-09-27 2020-04-06 신웅호 바닥광고에 사용되는 패턴 글라스 제조 방법
CN112060422A (zh) * 2020-07-23 2020-12-11 伯恩创盛技术研发(惠州)有限公司 一种贴合式菲林模具的制作工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106739442B (zh) 一种丝网印刷工艺的对位方法和对位装置
CN104991391B (zh) 显示面板的修复方法
CN106842838B (zh) 对位标记及基板对位方法
US20180024390A1 (en) Display substrate motherboard, manufacturing and detecting methods thereof and display panel motherboard
CN108398114B (zh) 曲面盖板边缘曲率测量装置、测量系统及测量方法
CN103439339B (zh) 贴附有偏振片的液晶面板的缺陷检测装置及缺陷检测方法
CN109739029A (zh) 点灯测试装置及点灯测试方法
CN113504702A (zh) 一种菲林玻璃模具的制作方法
CN106200275B (zh) 曝光方法
CN204143152U (zh) 掩膜版及液晶显示模组
CN102004359A (zh) 一种lcos液晶屏制作方法
CN1987558A (zh) 结合显示面板与背光模块的方法
WO2020107647A1 (zh) 阵列基板制作过程中的修补方法
CN101650492A (zh) 导光板模板和导光板模板的制造方法
CN212182273U (zh) 一种改进的蚀刻引线框架干膜压膜机传送支架
CN203117642U (zh) 光刻胶前烘装置
WO2017166490A1 (zh) 印刷网版、导光板、显示设备及导光板的制作方法
CN108267881B (zh) 一种减少彩虹现象发生的lcd生产工艺方法
CN111897186A (zh) 一种光学膜粘合胶的半自动贴合装置及工艺
WO2022032615A1 (zh) 一种针对大尺寸物体的高精度厚度测量方法及装置
CN218723981U (zh) 一种电子纸贴合精度检测装置
CN110824744A (zh) 一种液晶基板盒内不良的检测装置及其检测方法
CN203872453U (zh) 对ic载板进行裸晶片贴装的治具
CN107561748A (zh) 一种防止导电透明玻璃贴合偏位的方法
CN217404695U (zh) 一种全贴电子纸

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination