CN113035761A - 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台 - Google Patents

一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台 Download PDF

Info

Publication number
CN113035761A
CN113035761A CN202110246684.3A CN202110246684A CN113035761A CN 113035761 A CN113035761 A CN 113035761A CN 202110246684 A CN202110246684 A CN 202110246684A CN 113035761 A CN113035761 A CN 113035761A
Authority
CN
China
Prior art keywords
basket
conveying
fixedly connected
conveyor belt
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110246684.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113035761B (zh
Inventor
汪荣
蔡浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhongchenhao Intelligent Equipment Jiangsu Co ltd
Original Assignee
Suzhou Zhongchenhao Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Zhongchenhao Technology Co ltd filed Critical Suzhou Zhongchenhao Technology Co ltd
Priority to CN202110246684.3A priority Critical patent/CN113035761B/zh
Publication of CN113035761A publication Critical patent/CN113035761A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113035761B publication Critical patent/CN113035761B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

本发明提供了一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，包括输送模块一、输送模块二和平移模块，所述输送模块一和输送模块二水平滑动设置在所述平移模块上，所述输送模块一和输送模块二一侧用于与花篮传输流线对接，所述输送模块一和输送模块二对接所述花篮传输流线的相对侧与花篮升降系统对接，所述花篮传输流线连接有AGV上料位，所述花篮升降系统连接有下料位，解决了在智能化生产中采用AGV转运花蓝与硅片花蓝上料机对接上料，而AGV上料必须保证两条进料流线上的花篮清空，下料时因双线生产，会出现两条进料流线出料数量不同，因此会出现一条进料流线上的花篮清空等另外一条进料流线上的花篮出料完成后才能AGV上料，降低了生产效率的技术问题。

Description

一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台
技术领域
本发明涉及硅片生产领域，具体为一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台。
背景技术
太阳能作为清洁、安全的可再生能源，是全球新能源的发展方向。在国家新型能源和可再生能源产业政策的指导下以及欧美太阳能市场强劲需求的带动下，近年国内太阳能光伏产业飞速发展。目前，中国已经成为太阳能电池制造大国，拥有全球最多的太阳能电池生产厂家和一半以上的产能。随着全球太阳能光伏产业的爆炸式增长，为了使太阳能领域单位发电成本降低到与常规发电成本相当，太阳能电池片制造商会越来越迫切要求使用高集成、高度自动化的生产线。
为了实现全自动化大规模生产，各工艺单元之间的硅片传输必须采用自动传输系统实现，在光伏产线中，硅片上料是不可缺少的环节，特别地，随着自动化产线升级，对产能提升的要求和产线智能化要求不断提高，在智能化生产中采用AGV转运花蓝与硅片花蓝上料机对接上料，而AGV上料必须保证两条进料流线上的花篮清空，下料时因双线生产，会出现两条进料流线出料数量不同，因此会出现一条进料流线上的花篮清空等另外一条进料流线上的花篮出料完成后才能AGV上料，降低了生产效率。
发明内容
本发明提供一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，用以解决上述技术问题。
为解决上述技术问题，本发明公开了一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，包括输送模块一、输送模块二和平移模块，所述输送模块一和输送模块二水平滑动设置在所述平移模块上，所述输送模块一和输送模块二一侧用于与花篮传输流线对接，所述输送模块一和输送模块二对接所述花篮传输流线的相对侧与花篮升降系统对接，所述花篮传输流线连接有AGV上料位，所述花篮升降系统连接有下料位。
优选的，所述输送模块一和输送模块二在花篮传输流线与花篮升降系统之间起到导向连接作用；
所述输送模块一包括安装架一和传输装置一，所述传输装置一与安装架一固定连接，所述传输装置一包括进料流线一和出料流线一，所述进料流线一固定设置在所述安装架一的内侧上部，所述出料流线一固定设置在所述安装架一的内侧下部；
所述输送模块二包括安装架二和传输装置二，所述传输装置二与安装架二固定连接，所述传输装置二包括进料流线二和出料流线二，所述进料流线一固定设置在所述安装架一的内侧上部，所述出料流线一固定设置在所述安装架一的内侧下部。
优选的，所述平移模块推动所述输送模块一和输送模块二在水平方向移动，所述平移模块包括安装板，所述安装板左右两端对称设有驱动电机一和驱动电机二，所述安装板前后两端对称设有导轨，所述导轨与所述输送模块一和输送模块二滑动连接，所述输送模块一和输送模块二分别与两个拖链的移动端连接，所述两个拖链的固定端对称设置在所述安装板左右两侧，所述驱动电机一通过同步带驱动所述输送模块一沿着所述导轨平移，所述驱动电机二通过同步带驱动所述输送模块二沿着所述导轨平移，所述同步带与同步轮连接。
优选的，所述花篮传输流线包括空花篮传输流线一、空花篮传输流线二、满花篮进料流线一和满花篮进料流线二，所述空花篮传输流线一与所述出料流线一的前端对接，所述空花篮传输流线二与所述出料流线二的前端对接，所述满花篮进料流线一和所述满花篮进料流线二与所述进料流线一和所述进料流线二的前端对接；
所述花篮升降系统包括花篮升降系统一和花篮升降系统二，所述花篮升降系统一和花篮升降系统二与所述进料流线一、进料流线二、出料流线一和出料流线二的后端对接。
优选的，所述传输装置一和传输装置二完全相同，所述传输装置一和传输装置二包括两固定板、两传感器和输送线支架，所述两传感器对称设置在所述输送线支架的左右两侧，所述输送线支架)前后两端对称设有导向板，所述输送线支架后两端的左右两侧对称设有输送同步带轮一，所述两固定板对称设置在所述输送线支架的前后两侧，所述固定板左右两侧对称设有输送同步带轮二，所述固定板中间转动连接有输送同步带轮三，所述输送同步带轮一、输送同步带轮二和输送同步带轮三处于同一水平面，传送带一依次连接所述输送同步带轮一、输送同步带轮二和输送同步带轮三，所述输送同步带轮一、输送同步带轮二和输送同步带轮三的轮轴一一对应固定连接；所述输送线支架的前侧下端固定连接有电机二，所述电机二固定连接有同步带轮二，所述同步带轮二通过同步带与同步带轮一连接，所述同步带轮一与所述输送同步带轮三的轮轴固定连接。
优选的，所述输送同步带轮一的轮轴连接有辅助张紧装置，所述辅助张紧装置包括：
壳体，所述壳体前端与所述保护壳的内壁固定连接，所述壳体内壁右侧固定连接有限位块一，所述限位块内部下端设有凹槽，所述限位块一前后两端中间处贯穿设有限位孔，所述限位孔和凹槽连通，所述壳体的左侧前后端固定连接有限位块二和限位块三；
活动杆，所述活动杆穿过所述限位孔与所述限位孔配合，所述活动杆下端均布连接有若干卡块二，所述卡块二与所述凹槽配合，所述活动杆的左侧前后两端分别连接有限位块四和限位块五，所述限位块二用于限制所述限位块四的移动，所述限位块三用于限制所述限位块五的移动，所述活动杆前端左侧设有齿条一，所述活动杆前端贯穿所述壳体前端固定连接有操作块；
推动板：所述推动板左侧固定连接有弹簧一，所述弹簧一左侧固定连接有轴座，所述轴座与所述输送同步带轮一转动连接，所述推动板前后端对称连接有挡板，所述挡板贯穿所述壳体的左侧与所述壳体滑动连接，所述后端的挡板内壁固定连接有齿条二，所述齿条二与齿轮二啮合，所述齿轮二上端与皮带轮二固定，所述皮带轮二通过皮带与皮带轮一连接，所述皮带轮一下端固定连接有齿轮一，所述齿轮一和齿条一啮合，所述齿轮一与皮带轮一同轴心转动连接有固定轴一，所述齿轮二与皮带轮二同轴心转动连接有固定轴二，所述固定轴一和固定轴二固定设置在所述壳体上下两端之间。
优选的，所述花篮包括花篮底板和花篮顶板，所述花篮底板和花篮顶板的后端之间设有若干立柱，所述花篮底板和花篮顶板的左右两侧端之间对称设有花篮齿板，所述花篮齿板用于放置硅片。
优选的，所述AGV上料位通过AGV小车进行上料，所述AGV小车上设有一种上料装置，所述上料装置包括伸缩机构和升降机构，所述伸缩机构包括：
升降板，所述升降板上端固定设有支撑块一，所述支撑块一上端固定设有安装板，所述安装板上方固定设有电机一，所述电机一贯穿所述安装板固定连接有转动轴，所述转动轴下端与所述连接座转动连接；
两个半圆锥齿轮，所述两个半圆锥齿轮分别固定连接在所述转动轴的上下两端，所述两个半圆锥齿轮一半有齿一般无齿，且上下处的所述半圆锥齿轮的有齿部分与无齿部分相互错开，所述两个半圆锥齿轮与锥齿轮啮合，所述锥齿轮与固定轴四转动连接，所述固定轴四与支撑块二固定连接，所述支撑块二与所述支撑块一的侧端固定连接；
带轮一，所述带轮一与所述锥齿轮前端同轴心固定连接，所述带轮一通过传送带二与带轮二连接，所述带轮二与齿轮三通过连接轴同轴心固定连接，所述连接轴与支撑杆固定连接，所述支撑杆与所述连接座固定连接，所述齿轮三与齿条三啮合，所述齿条三下端与伸缩块固定连接，所述伸缩块下端与所述升降板滑动连接；
支铰座，所述支铰座固定设置在所述伸缩块的右端，所述支铰座转动连接有两支铰杆一，所述两支铰杆一分别连接有滑块，所述滑块上下对称分布在压板侧端，所述滑块与所述压板侧端的滑槽滑动连接，所述滑块远离所述压板中心出的一端固定连接有弹簧二，所述弹簧二分别与所述滑槽的上下两端固定连接，所述压板远离所述滑槽的一侧固定连接有上料板，所述上料板用于放置所述花篮；
所述升降机构包括：
液压缸：所述液压缸固定设置在底座上端，所述底座下端与所述转动盘固定连接，所述底座与转动盘之间设有缓冲垫，所述液压缸的伸缩端固定连接有升降块，所述升降块左右两端滑动连接有滑动块，所述滑动块与所述升降块的接触面为倾斜面，所述滑动块下端与所述底座的上端滑动连接，所述升降块上端固定设有齿条四；
两支铰板一，所述两支铰板一转动设置在所述升降板的左右两侧，所述两支铰板一之间转动连接有横板，所述横板下端左右两侧滑动设有两支铰块一，所述两支铰块一之间固定连接有弹簧三；所述支铰块一与支铰杆二转动连接，所述支铰杆二和支铰板一通过固定轴三与支铰板二转动连接，所述支铰板二通过固定轴四与支铰杆三和支铰板三转动连接；
两个固定座：所述两个固定座左右对称固定设置在所述支撑板的内壁，所述固定座与扇形齿轮转动连接，所述扇形齿轮的中心与所述支铰板三固定连接，所述扇形齿轮与所述齿条四啮合；
支撑座：所述支撑座上端左右两侧滑动设有两支铰块二，所述两支铰块二之间固定连接有弹簧四，所述支铰块二与所述支铰杆三转动连接，所述支撑座下端左右两侧固定设有支撑柱，所述支撑柱与所述滑动块的上端滑动连接。
优选的，还包括：
速度传感器：所述速度传感器设置在所述传送带一上，用于检测所述传送带一的速度；
变频器：所述变频器与所述电机二电性连接；
控制器：所述控制器与所述称重传感器、速度传感器和变频器电性连接；
所述控制器基于所述称重传感器和速度传感器控制所述变频器工作,包括以下步骤：
步骤一：控制器根据速度传感器的检测值和公式(1)计算出放置花篮后传送带一表面的张紧力；
Figure BDA0002964345360000061
其中，F为放置花篮后传送带一表面的张紧力，F1为未放置花篮时传送带一表面的张紧力，B为左右两侧输送同步带轮一之间的距离，cos为余弦，α为左侧的输送同步带轮一的切点与左侧的输送同步带轮二的切点之间的传送带一与水平方向的传送带一的夹角，β为右侧的输送同步带轮一的切点与右侧的输送同步带轮二的切点之间的传送带一与水平方向的传送带一的夹角，G为花篮的质量，C为输送同步带轮一的半径，E为传送带一的弹性模量，g为重力加速度，取值为9.8m/s2，e为自然对数的底，λ为传送带一的粘滞系数，V为速度传感器的检测值，L为传送带一的长度；
步骤二：控制器根据步骤1计算出的放置花篮后传送带一表面的张紧力和公式(2)计算出放置花篮后传送带一的平稳值，若计算出的放置花篮后传送带一的平稳值小于等于0，控制器控制变频器调节电机二的频率，通过降低同步带轮二和同步带轮一的转速来降低输送同步带轮三的转速，降低传送带一的运行速度，直到放置花篮后传送带一的平稳值大于0；
Figure BDA0002964345360000062
其中，f为放置花篮后传送带一的平稳值，L1为传送带一的厚度，r为输送同步带轮三的半径，tan为正切，φ为输送同步带轮三的带槽角度，Q为传送带一的横截面抗弯刚度，θ为长度为L的传送带一的质量，M为传送带一运行时的预设平稳值。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的调度平台与前后机构配合示意图；
图3为本发明的传输装置的结构示意图；
图4为图3中的传输装置的俯视图
图5为图3中的辅助张紧装置的A向视图；
图6为图5中的辅助张紧装置B向视图；
图7为本发明的花篮结构示意图；
图8为图6中的花篮的俯视图；
图9为本发明的上料装置结构示意图；
图10为本发明的伸缩机构结构示意图；
图11为图10中C区域的放大图；
图12为图11中局部部件D向视图；
图13为本发明的升降机构结构示意图。
图中：1、输送模块一；101、安装架一；102、进料流线一；103、出料流线一；2、输送模块二；201、安装架二；202、进料流线二；203、出料流线二；3、平移模块；301、驱动电机一；302、同步轮；303、同步带；304、导轨；305、拖链；306、驱动电机二；307、安装板；4、花篮传输流线；5、花篮升降系统；501、花篮升降系统一；502、花篮升降系统二；6、传输装置一；7、传输装置二；8、空花篮传输流线一；9、空花篮传输流线二；10、满花篮进料流线一；11、满花篮进料流线二；12、AGV上料位；13、下料位；14、上料板；15、伸缩块；16、电机一；17、支撑块一；18、传送带二；19、花篮；20、固定板；21、输送线支架；2101、导向板；22、两支铰杆一；23、支铰座；24、齿条三；25、齿轮三；26、带轮二；27、支撑杆；28、连接轴；29、带轮一；30、安装板；31、半圆锥齿轮；32、锥齿轮；33、支撑块二；34、传感器；35、转动轴；36、输送同步带轮一；37、传送带一；38、输送同步带轮二；39、同步带轮一；3901、同步带轮三；40、输送同步带轮三；41、同步带；42、立柱；43、花篮底板；44、花篮顶板；45、花篮齿板；46、操作块；47、限位块四；48、齿条一；49、皮带轮一；50、齿轮一；51、皮带；52、卡块二；53、限位块一；5301、凹槽；5302、限位孔；54、壳体；55、活动杆；56、限位块五；57、限位块三；58、齿条二；59、推动板；60、弹簧一；61、轴座；62、挡板；63、齿轮二；64、皮带轮二；65、限位块二；66、固定轴一；67、固定轴二；68、电机二；69、升降板；70、横板；71、支铰板一；72、支铰杆二；73、支铰板二；74、支铰杆三；75、扇形齿轮；76、齿条四；77、支撑柱；78、支铰块二；79、液压缸；80、支撑柱；81、升降块；82、滑动块；83、固定座；84、支铰板三；85、固定轴四；86、支铰块一；87、底座；88、弹簧三；89、弹簧四；90、固定轴三；91、固定轴四；92、压板；9201、滑槽；93、弹簧二；94、滑块。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本发明，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案以及技术特征可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提供如下实施例
实施例1
本发明实施例提供了一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，如图1-图2所示，包括输送模块一1、输送模块二2和平移模块3，所述输送模块一1和输送模块二2水平滑动设置在所述平移模块3上，所述输送模块一1和输送模块二2一侧用于与花篮传输流线4对接，所述输送模块一1和输送模块二2对接所述花篮传输流线4的相对侧与花篮升降系统5对接，所述花篮传输流线4连接有AGV上料位12(AGV是装备有电磁或光学等自动导引装置，能够沿规定的导引路径行驶，具有安全保护以及各种移载功能的运输车)，所述花篮升降系统5连接有下料位13。
上述技术方案的工作原理为：
平移模块3用于给输送模块一1和输送模块二2提供动力，使其移动，输送模块一1和输送模块二2与花篮传输流线4中的两条进料流线分别对接，将满花篮接入，然后分别和花篮升降系统5中的两花篮升降系统对接，将其传入后段下料位13,最后与花篮传输流线4的两条传输流线对接用于将出完料的空花篮传回AGV上料位12，在两条产线下料数量相同情况下，双轨AGV小车将双列满料花篮同时送入花篮传输流线4中的进料流线，输送模块一1和输送模块二2单独平移，分别与两花篮升降系统对接径流线流入进行下料，两条产线下料数量不同时，会出现花篮传输流线4中的两条进料流线花篮数量不同，而AGV小车要上料必须两个进料流线上料清空，双轨上料的硅片花篮调度平台会根据两条进料流线上花篮的多少来控制输送模块与花篮升降系统之间的对接，通过输送模块将满花篮数量多的一边进料流线上的花篮调度至出料快的一条产线对应的花篮升降系统进行下料。
上述技术方案的有益效果为：
本发明一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台用于调度两边花篮，可始终保持双轨皮带线处于花篮清空状态，花篮供料AGV无需等待，提高产线产能，解决了背景技术中提出的在智能化生产中采用AGV转运花蓝与硅片花蓝上料机对接上料，而AGV上料必须保证两条进料流线上的花篮清空，下料时因双线生产，会出现两条进料流线出料数量不同，因此会出现一条进料流线上的花篮清空等另外一条进料流线上的花篮出料完成后才能AGV上料，降低了生产效率的技术问题。
实施例2
在上述实施例1的基础上，如图1-图2所示，所述输送模块一1和输送模块二2在花篮传输流线4与花篮升降系统5之间起到导向连接作用；
所述输送模块一1包括安装架一101和传输装置一6，所述传输装置一6与安装架一101固定连接，所述传输装置一6包括进料流线一102和出料流线一103，所述进料流线一102固定设置在所述安装架一101的内侧上部，所述出料流线一103固定设置在所述安装架一101的内侧下部；
所述输送模块二2包括安装架二201和传输装置二7，所述传输装置二6与安装架二201固定连接，所述传输装置二7包括进料流线二202和出料流线二203，所述进料流线一202固定设置在所述安装架一201的内侧上部，所述出料流线一203固定设置在所述安装架一201的内侧下部。
上述技术方案的有益效果为：
通过设置进料流线一102和进料流线二202，在双轨上料的硅片花篮调度平台的调度下可根据不同产线的下料速度而调整对接的花篮升降系统，避免了一边花篮清空等另外一边花篮出料完成后才能AGV上料，影响了生产效率。
实施例3
在实施例1的基础上，如图1-图2所示，所述平移模块3推动所述输送模块一1和输送模块二2在水平方向移动，所述平移模块3包括安装板307，所述安装板307左右两端对称设有驱动电机一301和驱动电机二306，所述安装板307前后两端对称设有导轨304，所述导轨304与所述输送模块一1和输送模块二2滑动连接，所述输送模块一1和输送模块二2分别与两个拖链305的移动端连接，所述两个拖链305的固定端对称设置在所述安装板307左右两侧，所述驱动电机一301通过同步带303驱动所述输送模块一1沿着所述导轨304平移，所述驱动电机二306通过同步带303驱动所述输送模块二2沿着所述导轨304平移，所述同步带303与同步轮302连接。
上述技术方案的有益效果为：
驱动电机一301用于给输送模块一1提供动力，使其在导轨304上平移，驱动电机二306用于给输送模块二2提供动力，使其在导轨304上平移，通过设置驱动电机一30和驱动电机二306使得输送模块一1和输送模块二2分别平移，两输送模块一互不干扰，提高了生产效率。
实施例4
在实施例2的基础上，如图1-图2所示，所述花篮传输流线4包括空花篮传输流线一8、空花篮传输流线二9、满花篮进料流线一10和满花篮进料流线二11，所述空花篮传输流线一8和所述空花篮传输流线二9与所述出料流线一103和出料流线二203的前端对接，所述满花篮进料流线一10和所述满花篮进料流线二11与所述进料流线一102和所述进料流线二202的前端对接；
所述花篮升降系统5包括花篮升降系统一501和花篮升降系统二502，所述花篮升降系统一501和花篮升降系统二502与所述进料流线一102、进料流线二202、出料流线一103和出料流线二203的后端对接。
上述技术方案的有益效果为：
满花篮进料流线一10和满花篮进料流线二11与进料流线一102和进料流线二202的前端对接，将满料花篮通过进料流线一102和进料流线二202传入花篮升降系统一501和花篮升降系统二502中,通过花篮升降系统一501和花篮升降系统二502进行下料，出料流线1-3和出料流线二203用于将下完料的空花篮传出到出料流线一103出料流线二203，最终传回AGV上料位12，进行上料，形成一个循坏系统，提高了工作效率。
实施例5
在实施例2的基础上，如图3-图4所示，所述传输装置一6和传输装置二7完全相同，所述传输装置一6和传输装置二7包括两固定板20、两传感器34和输送线支架21，所述两传感器34对称设置在所述输送线支架21的左右两侧，所述输送线支架21前后两端对称设有导向板2101，所述输送线支架21前后两端的左右两侧对称设有输送同步带轮一36，所述两固定板20对称设置在所述输送线支架21的前后两侧，所述固定板20左右两侧对称设有输送同步带轮二38，所述固定板20中间转动连接有输送同步带轮三40，所述输送同步带轮一36、输送同步带轮二38和输送同步带轮三40处于同一水平面，传送带一37依次连接所述输送同步带轮一36、输送同步带轮二38和输送同步带轮三40，所述输送同步带轮一36、输送同步带轮二38和输送同步带轮三40的轮轴一一对应固定连接；所述输送线支架21的前侧下端固定连接有电机二68，所述电机二68固定连接有同步带轮二3901，所述同步带轮二3901通过同步带41与同步带轮一39连接，所述同步带轮一39与所述输送同步带轮三40的轮轴固定连接。
上述技术方案的有益效果为：
同步带轮二3901为主动轮，通过电机68驱动同步带轮二3901的转动，同步带轮二3901通过同步带41带动同步带轮一39转动，同步带轮一39带动与其同一轮轴固定连接的输送同步带轮三40转动，输送同步带轮三40、输送同步带轮一36和输送同步带轮二38带动传送带一37传送花篮19，通过调节输送同步带轮一36可以达到调节传送带一37张紧状态的目的，传输装置前后两侧的输送同步带轮一36、输送同步带轮二38和输送同步带轮三40的轮轴一一对应固定连接，使得前后两侧的传送带一37同步运行，可以保证传送过程中花篮19保持平稳，避免花篮19晃动，起到保护硅片的作用。
实施例6
在实施例5的基础上，如图5-图6所示，其中，图5对应为图3的局部部件的俯视图，所述输送同步带轮一36的轮轴连接有辅助张紧装置，所述辅助张紧装置包括：
壳体54，所述壳体54前端与所述保护壳1931的内壁固定连接，所述壳体54内壁右侧固定连接有限位块一53，所述限位块一53内部下端设有凹槽5301，所述限位块一53前后两端中间处贯穿设有限位孔5302，所述限位孔5302和凹槽5301连通，所述壳体54的左侧前后端固定连接有限位块二65和限位块三57；
活动杆55，所述活动杆55穿过所述限位孔5302与所述限位孔53配合，所述活动杆55下端均布连接有若干卡块二52，所述卡块二52与所述凹槽5301配合，所述活动杆55的左侧前后两端分别连接有限位块四47和限位块五56，所述限位块二65用于限制所述限位块四47的移动，所述限位块三57用于限制所述限位块五56的移动，所述活动杆55前端左侧设有齿条一48，所述活动杆55前端贯穿所述壳体54前端固定连接有操作块46；
推动板59：所述推动板59左侧固定连接有弹簧一60，所述弹簧一60左侧固定连接有轴座61，所述轴座61与所述输送同步带轮一36转动连接，所述推动板59前后端对称连接有挡板62，所述挡板62贯穿所述壳体54的左侧与所述壳体54滑动连接，所述后端的挡板62内壁固定连接有齿条二58，所述齿条二58与齿轮二63啮合，所述齿轮二63上端与皮带轮二64固定，所述皮带轮二64通过皮带51与皮带轮一49连接，所述皮带轮一49下端固定连接有齿轮一50，所述齿轮一50和齿条一48啮合，所述齿轮一50与皮带轮一49同轴心转动连接有固定轴一66，所述齿轮二63与皮带轮二64同轴心转动连接有固定轴二67，所述固定轴一66和固定轴二67固定设置在所述壳体54上下两端之间。
上述技术方案的有益效果为：
向上拉动操作块46，带动活动杆55向上移动，使得卡块二52脱离凹槽5301，使得齿条一48与齿轮一50啮合，推动活动杆55向后移动，齿轮一50逆时针转动，带动与其固定的皮带轮一49逆时针转动，提高皮带51带动皮带轮二64逆时针转动，从而使得齿轮二63逆时针转动，推动齿条二58向左侧移动，带动挡板62向左移动，从而推动推动板59向左移动，推动板59推动轴座61向左移动，带动输送同步带轮一36的轮轴受到弹簧一6的作用力，防止输送同步带轮一36的轮轴在传送过程中发生偏移，达到辅助张紧传送带一37的目的后，向下拉动操作块46，带动活动杆55向下移动，使得卡块二52进入凹槽5301，齿条一48脱离齿轮一50，弹簧一60压缩，起到一定缓冲作用，防止输送同步带轮一36与传送带一37之间过于紧绷，也避免输送同步带轮一36与传送带一37二者之间过于松懈，设置若干卡块二52，通过不同的卡块二52与凹槽5301的配合可以控制输送同步带轮一36的轮轴受到弹簧一6的作用力，从而控制传送带一37的张紧状态，设置限位块二65、限位块三57、限位块四47和限位块五56，对活动杆55起到限位作用，防止活动杆55移动过大，对弹簧一60造成损坏，也避免输送同步带轮一36与传送带一37之间过于紧绷，影响传动效率。
实施例7
在实施例4的基础上，如图7-图8所示，所述花篮19包括两承载板43，所述两承载板43之间设有若干承载柱一42，所述若干承载柱一42包括四个承载柱一41和四个承载柱二44，所述四个承载柱一41均布固定设置在所述两承载板43之间，所述四个承载柱二44均布转动设置在所述两承载板43之间，所述承载柱一41靠近所述承载板43中心的一侧上下两端固定连接有两托块一45，所述承载柱二44靠近所述承载板43中心的一侧上下两端固定连接有两托块二34，所述两托块一45和两托块二34在竖直方向间隔设置，所述托块一45和托块二34上端用于放置硅片68。
上述技术方案的有益效果为：
转动承载柱二44，可以使与其固定的托块二34转动，使得放置在托块二34的硅片68与托块一45上端的硅片68贴合，达到合片的目的，方便硅片进行制绒过程。
实施例8
在上述实施例1的基础上，如图9-图13所示，所述AGV上料位12通过AGV小车进行上料，所述AGV小车上设有一种上料装置，所述上料装置包括伸缩机构和升降机构，所述伸缩机构包括：
升降板69，所述连接座69下端通过角块19与后侧的保护壳1931的外壁固定连接，所述连接座69上固定设有支撑块一17，所述支撑块一17上端固定设有安装板30，所述安装板30上方固定设有电机一16，所述电机一16贯穿所述安装板30固定连接有转动轴35，所述转动轴35下端与所述连接座69转动连接；
两个半圆锥齿轮31，所述两个半圆锥齿轮31分别固定连接在所述转动轴35的上下两端，所述两个半圆锥齿轮31一半有齿一般无齿，且上下处的所述半圆锥齿轮31的有齿部分与无齿部分相互错开，所述两个半圆锥齿轮31与锥齿轮32啮合，所述锥齿轮32与固定轴四91转动连接，所述固定轴四91与支撑块二33固定连接，所述支撑块二33与所述支撑块一17的侧端固定连接；
带轮一29，，所述带轮一29与所述锥齿轮32前端同轴心固定连接，所述带轮一29通过传送带二18与带轮二26连接，所述带轮二26与齿轮三25通过连接轴28同轴心固定连接，所述连接轴28与支撑杆27固定连接，所述支撑杆27与所述连接座69固定连接，所述齿轮三25与齿条三24啮合，所述齿条三24下端与伸缩块15固定连接，所述伸缩块15下端与所述连接座69滑动连接；
支铰座23，所述支铰座23固定设置在所述伸缩块15的右端，所述支铰座23转动连接有两支铰杆一22，所述两支铰杆一22分别连接有滑块94，所述滑块94上下对称分布在压板92侧端，所述滑块94与所述压板92侧端的滑槽9201滑动连接，所述滑块94远离所述压板92中心出的一端固定连接有弹簧二93，所述弹簧二93分别与所述滑槽9201的上下两端固定连接，，所述压板92远离所述滑槽9201的一侧固定连接有上料板14，所述上料板14用于放置所述花篮19；
所述升降机构包括：
液压缸79：所述液压缸79固定设置在底座87上端，所述底座87下端与所述转动盘3固定连接，所述底座87与转动盘3之间设有缓冲垫，所述液压缸79的伸缩端固定连接有升降块81，所述升降块81左右两端滑动连接有滑动块82，所述滑动块82与所述升降块81的接触面为倾斜面滑动块82沿着斜面滑动，所述滑动块82下端与所述底座87的上端滑动连接，所述升降块81上端固定设有齿条四76；
两支铰板一71，所述两支铰板一71转动设置在所述升降板69的左右两侧，所述两支铰板一71之间转动连接有横板70，所述横板70下端左右两侧滑动设有两支铰块一86，所述两支铰块一86之间固定连接有弹簧三88；所述支铰块一86与支铰杆二72转动连接，所述支铰杆二72和支铰板一71通过固定轴三90与支铰板二73转动连接，所述支铰板二73通过固定轴四85与支铰杆三74和支铰板三84转动连接；
两个固定座83：所述两个固定座83左右对称固定设置在所述支撑板4的内壁，所述固定座83与扇形齿轮75转动连接，所述扇形齿轮75的中心与所述支铰板三84固定连接，所述扇形齿轮75与所述齿条四76啮合；
支撑座80：所述支撑座80上端左右两侧滑动设有两支铰块二78，所述两支铰块二78之间固定连接有弹簧四89，所述支铰块二78与所述支铰杆三74转动连接，所述支撑座80下端左右两侧固定设有支撑柱77，所述支撑柱77与所述滑动块82的上端滑动连接。
上述技术方案的工作原理为：
电机一16转动，带动转动轴35转动，使得与转动轴35固定连接的两个半圆锥齿轮31转动，通过设置两个半圆锥齿轮31，可以带动锥齿轮32周期性顺时针、逆时针转动，达到往复运动的目的，通过锥齿轮32的往复运动，带动带轮一29往复运动，带轮一29通过传送带二18带动带轮二26转动，使得与带轮二26固定的齿轮三25往复运动，从而带动齿条三24往复运动，达到伸缩块15伸缩的目的，伸缩块15的伸缩长度即为连接块21在轨道10的行程，伸缩块15伸缩时，支铰杆一22转动，带动滑块94沿着滑槽9201滑动，对弹簧二93造成压缩；当花篮19需要升高时，需推动滑动板5向上移动，首先启动液压缸79，使得液压缸79的伸缩端收缩，带动升降块81向下移动，升降块81推动滑动块82沿着水平方向内侧移动，带动齿条四76向内侧移动，使得扇形齿轮75向上转动，带动与其固定的支铰板三84向上转动，通过支铰杆三74拉动支铰块二78向外侧移动，使得弹簧四89处于拉伸状态，支铰板二73向上转动，通过支铰杆二72推动支铰块一86向内侧移动，使得弹簧三88压缩，支铰板一71向上转动，推动升降板69向上移动，达到升高花篮19的目的，当花篮19需要下降时，需推动滑动板5向下移动，首先启动液压缸79，使得液压缸79的伸缩端伸出，带动升降块81向上移动，升降块81推动滑动块82沿着水平方向外侧移动，带动齿条四76向外侧移动，使得扇形齿轮75向下转动，带动与其固定的支铰板三84向下转动，通过支铰杆三74拉动支铰块二78向内侧移动，使得弹簧四89处于压缩状态，支铰板二73向下转动，通过支铰杆二72推动支铰块一86向外侧移动，使得弹簧三88拉伸，支铰板一71向下转动，推动升降板69向下移动，达到降低花篮19的目的。
上述技术方案的有益效果为:
在弹簧二93的弹性作用下，使得伸缩块15推动连接块21时保持平稳，防止连接块21出现晃动，导致花篮19中的硅片68损坏，将支铰板一71、支铰板二73和支铰板84形成支铰结构，结构整体性、刚度较好，可以支撑较重的物体，安全性较高，设置支铰杆二72和支铰杆三74对支铰板的转动过程中的水平方向进行了限位，防止支铰板转动过大导致升降板69忽上忽下，无法完成升降的目的，横板70对支铰板一71起到水平方向限位作用，防止升降板69左右晃动对花篮19造成损坏，增加了支铰结构的稳定性，左右两侧对称设置滑动块82，可以使得升降机构在升降过程保持平稳状态，起到保护花篮19的作用，通过设置弹簧三88和弹簧四89，在升降过程中使得升降机构保持稳定，且在弹簧三88和弹簧四89的弹性作用下可以对升降机构起到一定的缓冲作用，防止液压缸79伸缩过程速度不稳定导致升降机构升降过程出现晃动，对花篮19造成损坏，增加了成本，且对升降机构起到一定的保护作用，延长升降机构的使用寿命。
实施例9
在上述实施例5的基础上，还包括：
速度传感器：所述速度传感器设置在所述传送带一37上，用于检测所述传送带一37的速度；
变频器：所述变频器与所述电机二68电性连接；
控制器：所述控制器与所述称重传感器、速度传感器和变频器电性连接；
所述控制器基于所述、称重传感器和速度传感器控制所述变频器工作,包括以下步骤：
步骤一：控制器根据速度传感器的检测值和公式(1)计算出放置花篮19后传送带一37表面的张紧力；
Figure BDA0002964345360000181
其中，F为放置花篮19后传送带一37表面的张紧力，F1为未放置花篮19时传送带一37表面的张紧力，B为左右两侧输送同步带轮一36之间的距离，cos为余弦，α为左侧的输送同步带轮一36的切点与左侧的输送同步带轮二38的切点之间的传送带一37与水平方向的传送带一37的夹角，β为右侧的输送同步带轮一36的切点与右侧的输送同步带轮二38的切点之间的传送带一37与水平方向的传送带一37的夹角，C为输送同步带轮一36的半径，E为传送带一37的弹性模量，G为花篮19的质量，g为重力加速度，取值为9.8m/s2，e为自然对数的底，λ为传送带一37的粘滞系数，V为速度传感器的检测值，L为传送带一37的长度；
步骤二：控制器根据步骤1计算出的放置花篮19后传送带一37表面的张紧力和公式(2)计算出放置花篮19后传送带一37的平稳值，若计算出的放置花篮19后传送带一37的平稳值小于等于0，控制器控制变频器调节电机二68的频率，通过降低同步带轮二3901和同步带轮一39的转速来降低输送同步带轮三40的转速，降低传送带一37的运行速度，直到放置花篮19后传送带一37的平稳值大于0；
Figure BDA0002964345360000191
其中，f为放置花篮19后传送带一37的平稳值，L1为传送带一37的厚度，r为输送同步带轮三40的半径，tan为正切，φ为输送同步带轮三40的带槽角度，Q为传送带一37的横截面抗弯刚度，θ为长度为L的传送带一37的质量，M为传送带一37运行时的预设平稳值；
通过传送带一37运行时允许的最大振动频率与传送带一37的实际等效振动频率的差值来表示传送带一37的平稳值，
Figure BDA0002964345360000192
表示放置花篮19后传送带一37的实际等效振动频率，M为传送带一37运行时允许的最大振动频率，通过调节传送带一37的运行速度V来控制置花篮19后传送带一37的实际等效振动频率，V减小，F增大，
Figure BDA0002964345360000193
增大，则放置花篮19后传送带一37的实际等效振动频率必定减小，直到f大于0，则代表放置花篮19后传送带一37的实际等效振动频率小于传送带一37运行时允许的最大振动频率，运行状态安全。
上述技术方案的工作原理为：
首先利用速度传感器检测出传送带一37的速度，控制器根据称重传感器的检测值、速度传感器的检测值和公式(1)计算出放置花篮19后传送带一37表面的张紧力，公式(1)中的α为左侧的输送同步带轮一36的切点与左侧的输送同步带轮二38的切点之间的传送带一37与水平方向的传送带一37的夹角，β为右侧的输送同步带轮一36的切点与右侧的输送同步带轮二38的切点之间的传送带一37与水平方向的传送带一37的夹角，然后计算出放置花篮19后传送带一37表面的张紧力，(进料流线和出料流线中的传送带一37上的花篮19分别为空花篮和满花篮，需要根据空花篮和满花篮的质量来确定G),利用公式(2)计算出放置花篮19后传送带一37的平稳值，若计算出的放置花篮19后传送带一37的平稳值小于0，控制器控制变频器调节连接电机二68的频率，通过降低同步带轮二3901和同步带轮一39的转速来控制传送带一37的运行速度，直到传送带一37工作时预设平稳值大于0，此时传送带一37的运行较平稳，变频器不在调节电机二68的频率。
上述技术方案的有益效果为：
步骤1中的公式(1)中考虑λ，λ为传送带一37的粘滞系数、取值为0.1-0.25，使得计算结果更加可靠，控制器根据步骤1计算出的放置花篮19后传送带一37表面的张紧力和公式(2)计算出放置花篮19后传送带一37的平稳值，若计算出的放置花篮19后传送带一37的平稳值小于0，控制器控制变频器调节电机二68的频率，通过降低同步带轮二3901和同步带轮一39的转速来降低输送同步带轮三40的转速，降低传送带一37的运行速度，直到放置花篮19后传送带一37的平稳值大于0，通过改变频率进而调节电机二68的转速，使得传送带一37的运行速度始终保持在平稳状态，防止花篮19由于传送带一37运行不平稳导致出现损坏，造成成本增加，提高了一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台的自动化效果。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：包括输送模块一(1)、输送模块二(2)和平移模块(3)，所述输送模块一(1)和输送模块二(2)水平滑动设置在所述平移模块(3)上，所述输送模块一(1)和输送模块二(2)一侧用于与花篮传输流线(4)对接，所述输送模块一(1)和输送模块二(2)对接所述花篮传输流线(4)的相对侧与花篮升降系统(5)对接，所述花篮传输流线(4)连接有AGV上料位(12)，所述花篮升降系统(5)连接有下料位(13)。
2.根据权利要求1所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：所述输送模块一(1)和输送模块二(2)在花篮传输流线(4)与花篮升降系统(5)之间起到导向连接作用；
所述输送模块一(1)包括安装架一(101)和传输装置一(6)，所述传输装置一(6)与安装架一(101)固定连接，所述传输装置一(6)包括进料流线一(102)和出料流线一(103)，所述进料流线一(102)固定设置在所述安装架一(101)的内侧上部，所述出料流线一(103)固定设置在所述安装架一(101)的内侧下部；
所述输送模块二(2)包括安装架二(201)和传输装置二(7)，所述传输装置二(6)与安装架二(201)固定连接，所述传输装置二(7)包括进料流线二(202)和出料流线二(203)，所述进料流线一(202)固定设置在所述安装架一(201)的内侧上部，所述出料流线一(203)固定设置在所述安装架一(201)的内侧下部。
3.根据权利要求1所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：所述平移模块(3)推动所述输送模块一(1)和输送模块二(2)在水平方向移动，所述平移模块(3)包括安装板(307)，所述安装板(307)左右两端对称设有驱动电机一(301)和驱动电机二(306)，所述安装板(307)前后两端对称设有导轨(304)，所述导轨(304)与所述输送模块一(1)和输送模块二(2)滑动连接，所述输送模块一(1)和输送模块二(2)分别与两个拖链(305)的移动端连接，所述两个拖链(305)的固定端对称设置在所述安装板(307)左右两侧，所述驱动电机一(301)通过同步带(303)驱动所述输送模块一(1)沿着所述导轨(304)平移，所述驱动电机二(306)通过同步带(303)驱动所述输送模块二(2)沿着所述导轨(304)平移，所述同步带(303)与同步轮(302)连接。
4.根据权利要求2所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：
所述花篮传输流线(4)包括空花篮传输流线一(8)、空花篮传输流线二(9)、满花篮进料流线一(10)和满花篮进料流线二(11)，所述空花篮传输流线一(8)和所述空花篮传输流线二(9)与所述出料流线一(103)和出料流线二(203)的前端对接，所述满花篮进料流线一(10)和所述满花篮进料流线二(11)与所述进料流线一(102)和所述进料流线二(202)的前端对接；
所述花篮升降系统(5)包括花篮升降系统一(501)和花篮升降系统二(502)，所述花篮升降系统一(501)和花篮升降系统二(502)与所述进料流线一(102)、进料流线二(202)、出料流线一(103)和出料流线二(203)的后端对接。
5.根据权利要求2所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：所述传输装置一(6)和传输装置二(7)完全相同，所述传输装置一(6)和传输装置二(7)包括两固定板(20)、两传感器(34)和输送线支架(21)，所述两传感器(34)对称设置在所述输送线支架(21)的左右两侧，所述输送线支架(21)前后两端对称设有导向板(2101)，所述输送线支架(21)前后两端的左右两侧对称设有输送同步带轮一(36)，所述两固定板(20)对称设置在所述输送线支架(21)的前后两端，所述固定板(20)左右两侧对称设有输送同步带轮二(38)，所述固定板(20)中间转动连接有输送同步带轮三(40)，所述输送同步带轮一(36)、输送同步带轮二(38)和输送同步带轮三(40)处于同一水平面，传送带一(37)连接所述输送同步带轮一(36)、输送同步带轮二(38)和输送同步带轮三(40)，所述输送同步带轮一(36)、输送同步带轮二(38)和输送同步带轮三(40)的轮轴一一对应固定连接；所述输送线支架(21)的前端下侧固定连接有电机二(68)，所述电机二(68)固定连接有同步带轮二(3901)，所述同步带轮二(3901)通过同步带(41)与同步带轮一(39)连接，所述同步带轮一(39)与所述输送同步带轮三(40)的轮轴固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：所述输送同步带轮一(36)的轮轴连接有辅助张紧装置，所述辅助张紧装置包括：
壳体(54)，所述壳体(54)前端与所述保护壳(20)的内壁固定连接，所述壳体(54)内壁右侧固定连接有限位块一(53)，所述限位块一(53)内部下端设有凹槽(5301)，所述限位块一(53)前后两端中间处贯穿设有限位孔(5302)，所述限位孔(5302)和凹槽(5301)连通，所述壳体(54)的左侧前后端固定连接有限位块二(65)和限位块三(57)；
活动杆(55)，所述活动杆(55)穿过所述限位孔(5302)与所述限位孔(53)配合，所述活动杆(55)下端均布连接有若干卡块二(52)，所述卡块二(52)与所述凹槽(5301)配合，所述活动杆(55)的左侧前后两端分别连接有限位块四(47)和限位块五(56)，所述限位块二(65)用于限制所述限位块四(47)的移动，所述限位块三(57)用于限制所述限位块五(56)的移动，所述活动杆(55)前端左侧设有齿条一(48)，所述活动杆(55)前端贯穿所述壳体(54)和保护壳(20)的前端固定连接有操作块(46)；
推动板(59)：所述推动板(59)左侧固定连接有弹簧一(60)，所述弹簧一(60)左侧固定连接有轴座(61)，所述轴座(61)与所述输送同步带轮一(36)的轮轴转动连接，所述推动板(59)前后端对称连接有挡板(62)，所述挡板(62)贯穿所述壳体(54)的左侧与所述壳体(54)滑动连接，所述后端的挡板(62)内壁固定连接有齿条二(58)，所述齿条二(58)与齿轮二(63)啮合，所述齿轮二(63)上端与皮带轮二(64)固定，所述皮带轮二(64)通过皮带(51)与皮带轮一(49)连接，所述皮带轮一(49)下端固定连接有齿轮一(50)，所述齿轮一(50)和齿条一(48)啮合，所述齿轮一(50)与皮带轮一(49)同轴心转动连接有固定轴一(66)，所述齿轮二(63)与皮带轮二(64)同轴心转动连接有固定轴二(67)，所述固定轴一(66)和固定轴二(67)固定设置在所述壳体(54)上下两端之间。
7.根据权利要求1所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：花篮(19)包括花篮底板(43)和花篮顶板(44)，所述花篮底板(43)和花篮顶板(44)的后端之间设有若干立柱(42)，所述花篮底板(43)和花篮顶板(44)的左右两侧端之间对称设有花篮齿板(45)，所述花篮齿板(45)用于放置硅片。
8.根据权利要求1所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：所述AGV上料位(12)通过AGV小车进行上料，所述AGV小车上设有一种上料装置，所述上料装置包括伸缩机构和升降机构，所述伸缩机构包括：
升降板(69)，所述升降板(69)上端固定设有支撑块一(17)，所述支撑块一(17)上端固定设有安装板(30)，所述安装板(30)上方固定设有电机一(16)，所述电机一(16)贯穿所述安装板(30)固定连接有转动轴(35)，所述转动轴(35)下端与所述升降板(69)转动连接；
两个半圆锥齿轮(31)，所述两个半圆锥齿轮(31)分别固定连接在所述转动轴(35)的上下两端，所述两个半圆锥齿轮(31)一半有齿一般无齿，且上下处的所述半圆锥齿轮(31)的有齿部分与无齿部分相互错开，所述两个半圆锥齿轮(31)与锥齿轮(32)啮合，所述锥齿轮(32)与固定轴四(91)转动连接，所述固定轴四(91)与支撑块二(33)固定连接，所述支撑块二(33)与所述支撑块一(17)的侧端固定连接；
带轮一(29)，所述带轮一(29)与所述锥齿轮(32)前端同轴心固定连接，所述带轮一(29)通过传送带二(18)与带轮二(26)连接，所述带轮二(26)与齿轮三(25)通过连接轴(28)同轴心固定连接，所述连接轴(28)与支撑杆(27)固定连接，所述支撑杆(27)与所述升降板(69)固定连接，所述齿轮三(25)与齿条三(24)啮合，所述齿条三(24)下端与伸缩块(15)固定连接，所述伸缩块(15)下端与所述升降板(69)滑动连接；
支铰座(23)，所述支铰座(23)固定设置在所述伸缩块(15)的右端，所述支铰座(23)转动连接有两支铰杆一(22)，所述两支铰杆一(22)分别连接有滑块(94)，所述滑块(94)上下对称分布在压板(92)侧端，所述滑块(94)与所述压板(92)侧端的滑槽(9201)滑动连接，所述滑块(94)远离所述压板(92)中心出的一端固定连接有弹簧二(93)，所述弹簧二(93)分别与所述滑槽(9201)的上下两端固定连接，所述压板(92)远离所述滑槽(9201)的一侧固定连接有上料板(14)，所述上料板(14)用于放置所述花篮(19)；
所述升降机构包括：
液压缸(79)：所述液压缸(79)固定设置在底座(87)上端，所述底座(87)下端与所述转动盘(3)固定连接，所述底座(87)和转动盘(3)之间设有缓冲垫，所述液压缸(79)的伸缩端固定连接有升降块(81)，所述升降块(81)左右两端滑动连接有滑动块(82)，所述滑动块(82)与所述升降块(81)的接触面为倾斜面，所述滑动块(82)下端与所述底座(87)的上端滑动连接，所述升降块(81)上端固定设有齿条四(76)；
两支铰板一(71)，所述两支铰板一(71)转动设置在所述升降板(69)的左右两侧，所述两支铰板一(71)之间转动连接有横板(70)，所述横板(70)下端左右两侧滑动设有两支铰块一(86)，所述两支铰块一(86)之间固定连接有弹簧三(88)；所述支铰块一(86)与支铰杆二(72)转动连接，所述支铰杆二(72)和支铰板一(71)通过固定轴三(90)与支铰板二(73)转动连接，所述支铰板二(73)通过固定轴四(85)与支铰杆三(74)和支铰板三(84)转动连接；
两个固定座(83)：所述两个固定座(83)左右对称固定设置在所述支撑板(4)的内壁，所述固定座(83)与扇形齿轮(75)转动连接，所述扇形齿轮(75)的中心与所述支铰板三(84)固定连接，所述扇形齿轮(75)与所述齿条四(76)啮合；
支撑座(80)：所述支撑座(80)上端左右两侧滑动设有两支铰块二(78)，所述两支铰块二(78)之间固定连接有弹簧四(89)，所述支铰块二(78)与所述支铰杆三(74)转动连接，所述支撑座(80)下端左右两侧固定设有支撑柱(77)，所述支撑柱(77)与所述滑动块(82)的上端滑动连接。
9.根据权利要求5所述的一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台，其特征在于：还包括：
速度传感器：所述速度传感器设置在所述传送带一(37)上，用于检测所述传送带一(37)的速度；
变频器：所述变频器与所述电机二(68)电性连接；
控制器：所述控制器与所述称重传感器、速度传感器和变频器电性连接；
所述控制器基于所述称重传感器和速度传感器控制所述变频器工作,包括以下步骤：
步骤一：控制器根据速度传感器的检测值和公式(1)计算出放置花篮(19)后传送带一(37)表面的张紧力；
Figure FDA0002964345350000061
其中，F为放置花篮(19)后传送带一(37)表面的张紧力，F1为未放置花篮(19)时传送带一(37)表面的张紧力，B为左右两侧输送同步带轮一(36)之间的距离，cos为余弦，α为左侧的输送同步带轮一(36)的切点与左侧的输送同步带轮二(38)的切点之间的传送带一(37)与水平方向的传送带一(37)的夹角，β为右侧的输送同步带轮一(36)的切点与右侧的输送同步带轮二(38)的切点之间的传送带一(37)与水平方向的传送带一(37)的夹角，C为输送同步带轮一(36)的半径，E为传送带一(37)的弹性模量，G为花篮(19)的质量，g为重力加速度，取值为9.8m/s2，e为自然对数的底，λ为传送带一(37)的粘滞系数，V为速度传感器的检测值，L为传送带一(37)的长度；
步骤二：控制器根据步骤1计算出的放置花篮(19)后传送带一(37)表面的张紧力和公式(2)计算出放置花篮(19)后传送带一(37)的平稳值，若计算出的放置花篮(19)后传送带一(37)的平稳值小于等于0，控制器控制变频器调节电机二(68)的频率，通过降低同步带轮二(3901)和同步带轮一(39)的转速来降低输送同步带轮三(40)的转速，降低传送带一(37)的运行速度，直到放置花篮(19)后传送带一(37)的平稳值大于0；
Figure FDA0002964345350000071
其中，f为放置花篮(19)后传送带一(37)的平稳值，L1为传送带一(37)的厚度，r为输送同步带轮三(40)的半径，tan为正切，φ为输送同步带轮三(40)的带槽角度，Q为传送带一(37)的横截面抗弯刚度，θ为长度为L的传送带一(37)的质量，M为传送带一(37)运行时的预设平稳值。
CN202110246684.3A 2021-03-05 2021-03-05 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台 Active CN113035761B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110246684.3A CN113035761B (zh) 2021-03-05 2021-03-05 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110246684.3A CN113035761B (zh) 2021-03-05 2021-03-05 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113035761A true CN113035761A (zh) 2021-06-25
CN113035761B CN113035761B (zh) 2021-11-12

Family

ID=76468450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110246684.3A Active CN113035761B (zh) 2021-03-05 2021-03-05 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113035761B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114708209A (zh) * 2022-03-25 2022-07-05 广东高景太阳能科技有限公司 一种基于3d建模和视觉检测的生产交互方法及系统
CN115621177A (zh) * 2022-09-28 2023-01-17 绍兴思密达科技信息咨询有限公司 一种用于存储硅晶片的花篮提升机
CN116417386A (zh) * 2023-02-14 2023-07-11 中润新能源(滁州)有限公司 硅片输送架及其输送装置
CN116504695A (zh) * 2023-06-28 2023-07-28 苏州鸿安机械股份有限公司 一种半导体硅片传输设备
CN117153718A (zh) * 2023-08-11 2023-12-01 无锡亚电智能装备有限公司 一种花篮状态检测装置及方法
CN117832141A (zh) * 2024-02-27 2024-04-05 苏州锐杰微科技集团有限公司 一种用于固晶机的底座输送系统及其工作方法
CN118239183A (zh) * 2024-05-28 2024-06-25 苏州南北深科智能科技有限公司 一种带花篮锁的传送装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105047594A (zh) * 2015-08-20 2015-11-11 无锡先导自动化设备股份有限公司 一种电池片上料搬运装置
CN105752698A (zh) * 2016-04-27 2016-07-13 无锡尚德太阳能电力有限公司 双轨四工位旋转切换式上料机
CN207651463U (zh) * 2017-12-28 2018-07-24 东莞市盛雄激光设备有限公司 一种电池片花篮上下料装置
CN208315513U (zh) * 2018-05-30 2019-01-01 天津环博科技有限责任公司 一种双头进料自动上料机
CN209766454U (zh) * 2018-12-29 2019-12-10 无锡尚品高自动化设备有限公司 一种双片制绒分片机
CN111081821A (zh) * 2020-01-08 2020-04-28 苏州映真智能科技有限公司 一种太阳能电池硅片自动倒片方法
TW202017830A (zh) * 2018-11-09 2020-05-16 鴻騏新技股份有限公司 雙軌翻板機台
CN111900115A (zh) * 2020-08-28 2020-11-06 常州科瑞尔科技有限公司 一种太阳能电池片倒片机上料装置
CN212461636U (zh) * 2020-08-28 2021-02-02 常州科瑞尔科技有限公司 一种太阳能电池片倒片机上料装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105047594A (zh) * 2015-08-20 2015-11-11 无锡先导自动化设备股份有限公司 一种电池片上料搬运装置
CN105752698A (zh) * 2016-04-27 2016-07-13 无锡尚德太阳能电力有限公司 双轨四工位旋转切换式上料机
CN207651463U (zh) * 2017-12-28 2018-07-24 东莞市盛雄激光设备有限公司 一种电池片花篮上下料装置
CN208315513U (zh) * 2018-05-30 2019-01-01 天津环博科技有限责任公司 一种双头进料自动上料机
TW202017830A (zh) * 2018-11-09 2020-05-16 鴻騏新技股份有限公司 雙軌翻板機台
CN209766454U (zh) * 2018-12-29 2019-12-10 无锡尚品高自动化设备有限公司 一种双片制绒分片机
CN111081821A (zh) * 2020-01-08 2020-04-28 苏州映真智能科技有限公司 一种太阳能电池硅片自动倒片方法
CN111900115A (zh) * 2020-08-28 2020-11-06 常州科瑞尔科技有限公司 一种太阳能电池片倒片机上料装置
CN212461636U (zh) * 2020-08-28 2021-02-02 常州科瑞尔科技有限公司 一种太阳能电池片倒片机上料装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114708209A (zh) * 2022-03-25 2022-07-05 广东高景太阳能科技有限公司 一种基于3d建模和视觉检测的生产交互方法及系统
CN115621177A (zh) * 2022-09-28 2023-01-17 绍兴思密达科技信息咨询有限公司 一种用于存储硅晶片的花篮提升机
CN116417386A (zh) * 2023-02-14 2023-07-11 中润新能源(滁州)有限公司 硅片输送架及其输送装置
CN116417386B (zh) * 2023-02-14 2023-09-29 中润新能源(滁州)有限公司 硅片输送架及其输送装置
CN116504695A (zh) * 2023-06-28 2023-07-28 苏州鸿安机械股份有限公司 一种半导体硅片传输设备
CN116504695B (zh) * 2023-06-28 2023-09-12 苏州鸿安机械股份有限公司 一种半导体硅片传输设备
CN117153718A (zh) * 2023-08-11 2023-12-01 无锡亚电智能装备有限公司 一种花篮状态检测装置及方法
CN117153718B (zh) * 2023-08-11 2024-01-26 无锡亚电智能装备有限公司 一种花篮状态检测装置及方法
CN117832141A (zh) * 2024-02-27 2024-04-05 苏州锐杰微科技集团有限公司 一种用于固晶机的底座输送系统及其工作方法
CN117832141B (zh) * 2024-02-27 2024-05-14 苏州锐杰微科技集团有限公司 一种用于固晶机的底座输送系统及其工作方法
CN118239183A (zh) * 2024-05-28 2024-06-25 苏州南北深科智能科技有限公司 一种带花篮锁的传送装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN113035761B (zh) 2021-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113035761B (zh) 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台
CN106628338B (zh) 玻璃生产线在线自动覆膜系统
CN206264548U (zh) 全自动玻璃在线覆膜机
CN103035555B (zh) 用于pecvd设备的硅片自动上下料装置
CN102442276B (zh) 一种电动汽车电池快速更换装置
CN203055881U (zh) 用于pecvd设备的硅片自动上下料装置
CN104555317A (zh) 一种自动循环供料系统
CN209522319U (zh) 一种袋装物料双向装车系统
CN114308550A (zh) 双工位五轴点胶机
CN209023751U (zh) 一种轴承滚子多盘上料机
CN109335628A (zh) 一种实现自动换盘的送料装置
CN211768882U (zh) 一种lcd液晶玻璃生产线
CN107824988A (zh) 一种节能环保的电子垃圾自动裁剪回收装置
CN209291450U (zh) 实现自动换盘的送料装置
CN115299244B (zh) 一种可原位装筐、卸筐的温室采摘机器人及使用方法
CN115158940B (zh) 一种纱锭称重筛选立体储存仓库
CN108313723B (zh) 一种uo2生坯自动下料码垛装置
CN208761607U (zh) 包装物卸垛设备
CN212241307U (zh) 一种板材传输设备
CN209834687U (zh) 一种层装物料的上下料机构
CN113920871A (zh) 显示面板除泡设备
CN114084715A (zh) 一种pp编织打包带加工收卷装置的收卷方法
CN113218187B (zh) 一种自动抓取锂电池材料匣钵的装置
CN111115268A (zh) 一种lcd液晶玻璃生产线
CN218987964U (zh) 一种加酸后电池冷却系统的下料装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 215000 East of Hope Avenue and South of Wenshan Road in Nantong High tech Industrial Development Zone, Nantong City, Jiangsu Province

Patentee after: Zhongchenhao Intelligent Equipment (Jiangsu) Co.,Ltd.

Address before: 215000 building C, No.6 Weixin Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province

Patentee before: Suzhou Zhongchenhao Technology Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address