CN116417386B - 硅片输送架及其输送装置 - Google Patents

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CN116417386B CN202310111738.4A CN202310111738A CN116417386B CN 116417386 B CN116417386 B CN 116417386B CN 202310111738 A CN202310111738 A CN 202310111738A CN 116417386 B CN116417386 B CN 116417386B
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Abstract

本发明公开了硅片输送架及其输送装置,关于输送设备技术领域,包括输送架和硅片输送装置,输送架包括多个花篮、下输送架、上输送架和多个底板,硅片输送装置包括升降组件、行走组件。与现有技术相比,根据本发明的硅片输送架,能够使硅片输送架和流水线传送带同时对多个花篮进行交换,同时在对接前还能够对花篮预输送,很大程度上提升硅片输送架的运输效率,更便于硅片生产。同时,硅片输送架能够使硅片在输送的过程中不会因硅片输送装置急停,导致硅片产生位移,进而对花篮、硅片造成损坏的情况,同时能够增加硅片输送架的运输效率。硅片输送装置上还设置有与硅片输送架相匹配的锁止组件,无需输送架上的皮带传送组件再另外设置锁止装置。

Description

硅片输送架及其输送装置
技术领域
本发明是关于输送设备技术领域,特别是关于硅片输送架及其输送装置。
背景技术
硅片太阳能电池占据了光伏市场的90%以上的份额,硅片太阳能的生产需要对硅片进行镀膜、制绒、烧结、检测等多个生产工序,多个生产工序之间需要对硅片进行运输。
现有技术中,一般采用硅片输送架和硅片输送装置对硅片进行运输,硅片输送架包括放置在硅片输送架上端的花篮,硅片插接在花篮中,硅片输送装置一般采用智能机器人进行往复移动,对硅片输送架进行运输,智能机器人能够智能识别障碍,在两点之后来回对输送架进行运输。
现有技术中心,硅片输送架和硅片输送装置运输的效率较低,特别是硅片输送架和流水线传送带进行交换时,需要等待流水线传送带和硅片输送装置接触后,才能够进行交换,且交换时为单个花篮进行交换,降低硅片输送架和硅片输送装置的运输效率。
发明内容
本发明的目的在于提供硅片输送架及其输送装置,其能够使硅片在输送的过程中不会因硅片输送装置急停,导致硅片产生位移,进而对花篮、硅片造成损坏的情况;
硅片输送装置上设置有锁止组件,锁止组件与硅片输送架相配合,输送架上的皮带传送组件再另外设置锁止装置。
为实现上述目的,本发明提供了硅片输送架,其特征在于,包括:
多个花篮,均放置在硅片输送架的上端;
下输送架,用于放置满载硅片的花篮;
上输送架,用于放置空载硅片的花篮;
多个底板,分别滑动连接在下输送架和上输送架的上端;所述花篮放置在底板的上端。
在一个或多个实施方式中,所述下输送架和上输送架的上端均设置有皮带传送组件,所述底板放置在皮带传送组件的上端。
在一个或多个实施方式中,所述下输送架和上输送架之间固定连接有多个连接柱,所述连接柱沿皮带传送组件设置的方向固定连接有一对与花篮相匹配的定位杆。
在一个或多个实施方式中,所述上输送架的上端安装有与花篮相匹配的定位板。
在一个或多个实施方式中,所述底板的上端开设有多个与花篮相匹配的限位槽。
在一个或多个实施方式中,所述花篮的下壁上固定连接有磁铁片一,所述限位槽的底壁上固定连接有与磁铁片一相匹配的磁铁片二。
在一个或多个实施方式中,所述定位杆的下端设置有减震块。
硅片输送装置,包括如权利要~中任意一条权利要求所述的硅片输送架,其特征在于,还包括:
升降组件,用于调整硅片输送装置的高度;
行走组件,用于升降组件顶住硅片输送架后进行移动;
支撑组件,用于支撑硅片输送架;
所述升降组件位于支撑组件和升降组件之间;
锁止机构,固定连接在支撑组件的上端,用于对下输送架上的花篮锁止;
所述硅片输送架和硅片输送装置相抵接,所述硅片输送架和硅片输送装置之间设置有导电组件,所述底板上安装有与导电组件相匹配的供电组件。
在一个或多个实施方式中,所述硅片输送架上开设有与锁止机构相匹配的第一滑槽。
在一个或多个实施方式中,所述支撑组件的上端设置有可拆卸的支腿脚垫。
与现有技术相比,根据本发明的硅片输送架,能够使硅片输送架和流水线传送带同时对多个花篮进行交换,同时在对接前还能够对花篮预输送,很大程度上提升硅片输送架的运输效率,更便于硅片生产;
同时,硅片输送架能够使硅片在输送的过程中不会因硅片输送装置急停,导致硅片产生位移,进而对花篮、硅片造成损坏的情况,同时能够增加硅片输送架的运输效率;
硅片输送装置上还设置有与硅片输送架相匹配的锁止组件,无需输送架上的皮带传送组件再另外设置锁止装置。
附图说明
图1是根据本发明一实施方式的硅片输送架及其输送装置的结构示意图。
图2是根据本发明一实施方式的硅片输送架及其输送装置的半剖图。
图3是图2中A处结构示意图。
图4是根据本发明一实施方式的硅片输送架及其输送装置的爆炸图。
图5是根据本发明一实施方式的硅片输送架及其输送装置第一状态图。
图6是根据本发明一实施方式的硅片输送架及其输送装置第二状态图。
图7是根据本发明一实施方式的底板结构示意图。
主要附图标记说明:
1-下输送架,101-下支撑板,1011-通孔,2-上输送架,3-支腿,301-支腿脚垫,4-定位板,5-连接柱,6-定位杆,7-皮带传送组件,8-花篮,9-底板,901-限位槽,902-第一滑槽,10-智能移动机器人,1001-行走组件,1002-升降组件,1003-支撑组件,11-锁止机构,12-磁铁片一,13-磁铁片二,14-导电组件,15-支腿脚垫。
具体实施方式
下面结合附图,对本发明的具体实施方式进行详细描述,但应当理解本发明的保护范围并不受具体实施方式的限制。
除非另有其它明确表示,否则在整个说明书和权利要求书中,术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分,而并未排除其它元件或其它组成部分。
如图1~图7所示,根据本发明一实施方式的硅片输送架,包括多个花篮8。多个花篮8均放置在硅片输送架的上端,花篮8能够在硅片输送架上滑动。
花篮8上开设有多个与硅片相匹配的限位卡槽,硅片通过卡接的方式卡接在限位卡槽上。
优选的,限位卡槽上还可以设置多个软垫,软垫具有一定的弹性,可以为海绵软垫。能够对硅片起到一定的保护作用,减少硅片在运输的过程中被硅片输送架划伤、损坏等情况。
参图1~图2所示,硅片输送架有两层,包括下输送架1和上输送架2,下输送架1位于上输送架2的上端。
其中,下输送架1用于放置满载硅片的花篮8,上输送架2用于放置空载硅片的花篮8。下输送架1更贴近地面,满载硅片的花篮8放置在下输送架1上时,使硅片输送架的重心位于硅片输送架的下部,能够大幅度提升硅片运输架运输过程中的稳定性。
参图1~图4所示,下输送架1和上输送架2的上端均设置有皮带传送组件7,皮带传送组件7通过电机驱动,皮带传送组件7能够移动下输送架1和上输送架2上承载的花篮8。
参图1~图4所示,输送架上还设置有多个底板9。底板9的数量一般为两个,分别放置在上输送架2和下输送架1上,即底板9位于皮带传送组件7的上端,皮带传送组件7启动后能够带动底板9位移。花篮8放置在底板9的上端,底板9在移动的过程中,花篮8也会随着底板9进行移动。
参图4所示,底板9的上端开设有多个与花篮8相匹配的限位槽901,花篮8位于限位槽901内,底板9不易与花篮8脱离,具有较好的稳定性。
参图1~图7所示,硅片输送架需要移动才能够实现对硅片的运输,一般情况下,硅片输送架的下端有与其相匹配的硅片输送装置,硅片输送装置一般为智能移动机器人10,智能移动机器人10能够根据设定按照路线行走、规避障碍物等,能够对硅片输送架进行运输,为现有技术中心常规设置。
其中,智能移动机器人10在移动的过程中遇到障碍物会急停,然后通过声音播报和灯光显示,告知被障碍物遮挡。
参图6所示,硅片输送装置包括行走组件1001、升降组件1002、支撑组件1003,升降组件1002位于支撑组件1003和升降组件1002之间。
其中,升降组件1002能够控制硅片输送装置的高度,进而便于硅片输送装置托起硅片输送架,进而对硅片输送架进行运输。行走组件1001能够进行行走,支撑组件1003内置有多个模块,包括智能控制模块、智能监测模块、记忆模块。
其中,智能控制模块能够实现对行走组件1001、升降组件1002和定位杆6智能控制,智能监测模块能够实时对前端的环境进行监测,监测前方道路是否有障碍物,做出判断的同时做出处理方案,记忆模块则是能够通过设置使智能移动机器人10沿路线运行。
一般情况下,硅片制作位于无尘车间内,能够遮挡智能移动机器人10的一般只有工作人员,工作人员听到声音播报后,会及时做出让路的举动。如果不是工作人员,智能移动机器人10会持续进行声音播报,工作人员听到声音后会及时对障碍物进行清理。
智能移动机器人10在遇到障碍物急停的过程时,花篮8会因为惯性向前倾,花篮8前倾的过程中会导致卡接在花篮8上的硅片产生位移,硅片位移的过程中很有可能被花篮8划伤。花篮8上放置有多个硅片,硅片的重量较重,大批量硅片前倾也有可能会导致花篮8产生形变的情况,从而影响正常的生产。
参图1所示,底板9放置在皮带传送组件7上,底板9和皮带传送组件7之间的摩擦力为特定设置,由于智能移动机器人10和硅片输送架之间连接较为稳定,当智能移动机器人10急停时,硅片输送架上的底板9会因为惯性向前移动。
具体的,参图2所示,底板9的长度小于硅片输送架的长度,底板9的一端远离移动方向放置,当智能移动机器人10急停时,底板9会因为惯性向前移动一端距离,此时底板9还位于硅片输送架上。
更进一步的,底板9上一般放置有4个花篮8,4个花篮8满载时的重量为50kg,智能移动机器人10的移动速度为15/h,即智能移动机器人10每小时能够带着硅片输送架移动10km。由此可得,当智能移动机器人10遇到障碍物急停时,由于惯性,底板9向前位移的距离约为15~20cm,由于底板9放置在远离移动方向的一端,即使底板9向前移动,也不会导致与硅片输送架脱离的情况。
具体的,底板9会向前移动,抵消惯性向前冲的力,进而避免花篮8上的硅片因为惯性急停导致硅片或花篮8损坏的情况。
其中,底板9和硅片输送架的前端间距一般为60cm左右,能够多次防止智能移动机器人10急停导致花篮8上的硅片损坏的情况,最多可使智能移动机器人10急停三次。
具体的,还可以根据实际情况对硅片输送架的长度进行改变,增加底板9和硅片输送架前端的距离,使智能移动机器人10能够进行更多次的急停,也不会对硅片和花篮8造成损坏。
参图1~图6所示,下输送架1和上输送架2之间固定连接有多个连接柱5,连接柱5用于连接下输送架1和上输送架2,连接柱5具有较强的承载能力。
优选的,连接柱5靠近花篮8的一侧可以设置导轨,导轨能够对花篮8进行防护,同时还能够使花篮8顺着导轨的方向移动。
参图1~图6所示,上输送架2的下端固定连接有支腿3,支腿3用于支撑上输送架2和下输送架1。
具体的,参图1~图2所示,支腿3的下端固定连接有支腿脚垫301,支腿脚垫301的外径大于支腿3的外径,即支腿脚垫301与地面接触面积大于支腿3的下端与地面的接触面积,一定程度上能够增强硅片输送架放置在地面上的稳定性。
其中,支腿脚垫301的下端设置有防滑硅胶,防滑硅胶能够进一步提升硅片输送架放置在地面上的稳定性。
优选的,由于硅片输送架需要通过硅片输送装置才能够移动,硅片输送装置位于上输送架2的下端,硅片输送装置将硅片输送架托起后移动,此时,支腿脚垫301与地面需要不与地面接触,才能够便于移动,避免支腿脚垫301与地面产生摩擦导致输送架不稳的情况,因此支腿脚垫301的中心位置还可以设置可伸缩的万向轮。
具体的,可伸缩的万向轮通过弹簧进行上下移动,当硅片输送装置不托起输送架时,支腿脚垫301与地面接触,万向轮收纳在支腿3的内部,不影响输送架的正常使,当硅片输送装置将输送架托起时,支腿脚垫301的下端面与地面有一定的距离,万向轮通过弹簧与地面接触,此时,万向轮能够起到辅助支撑的作用,尽可能避免输送架歪斜的情况。
参图1~图5所示,连接柱5沿皮带传送组件7设置的方向固定连接有一对与花篮8相匹配的定位杆6,花篮8位于一堆定位杆6之间,定位杆6的下壁与花篮8接触。
当花篮8在下输送架1上移动时,定位杆6能够对花篮8起到定位的作用,能够放置花篮8向两侧偏移。
参图1~图5所示,上输送架2的上端安装有与花篮8相匹配的定位板4,定位板4与定位杆6相同,位于花篮8的两端,能够对花篮8起到定位的作用。
当硅片输送装置急停时,花篮8会向硅片输送装置移动的方向前倾,前倾可能会导致花篮8与上输送架2脱离的情况,定位板4为倒L形定位板,定位板4能够防止花篮8前倾,避免花篮8和上输送架2脱离,导致花篮8造成损坏的情况。
定位板4还能够起到导向的作用,上输送架2上的花篮8在移动的过程中,能够沿定位板4设置的方向移动,不会导致花篮8偏离的情况。
优选的,定位板4与花篮8接触的地方还可以设置弹性条,弹性条使花篮8与定位板4之间为过盈配合,很大程度上能够增强花篮8位于上输送架2上的稳定性,即使硅片输送装置急停时,花篮8也不容易造成前倾的情况,同时还能够减少花篮8与定位板4接触地方的磨损。
参图2~图3所示,花篮8的下壁上固定连接有磁铁片一12,第一滑槽902的底壁上固定连接有与磁铁片一12相匹配的磁铁片二13,即花篮8和底板9通过磁吸的方式进行进一步固定,能够进一步增强花篮8放置在底板9上的稳定性。
参图1~图6所示,硅片输送装置还包括固定连接在支撑组件1003上端的锁止机构11,下输送架1包括下支撑板101,硅片输送架上开设有与锁止机构11相匹配的通孔1011,通孔1011开设在下支撑板101上,锁止机构11插在通孔1011内,能够进一步增强硅片输送架与智能移动机器人10的稳定性。
其中,锁止机构11为油缸,锁止机构11底板9和定位杆6配合,能够将底板9进行锁止,不需要皮带传送组件7上再重新设置锁止组件,很大程度上避免因皮带传送组件7上的锁止组件损坏,导致运输过程中的发生事故的情况。
参照图6所示,锁止机构11与底板9的下壁相接处,锁止机构11将底板9向上顶,使底板9的上壁与定位杆6的下壁相接处,能够增强底板9的稳定性。
具体的,定位杆6的下端设置有减震块,当锁止机构11顶着底板9时,定位杆6能够在锁止机构11和底板9之间形成保护,避免底板9与锁止机构11直接接触造成磨损的情况,定位杆6还能够增强锁止机构11和底板9之间的摩擦力,使底板9不易前移。
参图7所示,底板9上开设有多个与锁止机构11相匹配的第一滑槽902,第一滑槽902为一端宽一端窄的长条状,第一滑槽902的底壁上为粗糙设置,能够增强第一滑槽902与锁止机构11之间的摩擦力,当底板9向前移动时,第一滑槽902的底壁能够起到一定的减速作用。
具体的,第一滑槽902底壁的粗糙面为渐变设置,第一滑槽902粗糙面沿第一滑槽902宽的一面向窄的一面由光滑到粗糙渐变设置,即第一滑槽902的底壁能够起到较好的减速作用。
参图7所示,第一滑槽902设置的数量与预设置底板9向前移动的次数相匹配,即第一滑槽902在底板9滑动时能够起到逐渐减速的效果。
参图2~图3所示,通过锁止机构11输送架和硅片输送装置相抵接,输送架和硅片输送装置之间设置有导电组件。
具体的,底板9上设置有供电组件14,供电组件14与导电组件相匹配,供电组件14的下端设置有第一触点,导电组件上设置有与第二触点相匹配的第二触点,第一触点和第二触点接触时,能够实现导电和供电的操作。
供电组件14能够同时给磁铁片一12和磁铁片二13供电,磁铁片一12和磁铁片二13均为电磁铁。
供电组件14具有储电的功能,当底板9与锁止机构11脱离后,供电组件14内置存储的电量够磁铁片一12和磁铁片二13继续吸附20s~30s,以便于底板9在移动的过程中,花篮8还可以较稳定地放置在底板9上。
参图2所示,支撑组件1003的上端设置有可拆卸的支腿脚垫15,支腿脚垫15一般为橡胶垫,橡胶垫位于智能移动机器人10和硅片输送架之间,减少智能移动机器人10与硅片输送架直接接触造成智能移动机器人10和硅片输送架磨损的情况。
同时,支腿脚垫15还能够增强智能移动机器人10和硅片输送架之间的防滑效果,增强硅片输送架在智能移动机器人10上的稳定性。
参图6所示,当硅片输送架需要将花篮8输送到B处,B处为流水线传送带,流水线传送带也分为两层,上层运输空载的花篮8,下层运送满载的花篮8。
具体的,流水线传送带将花篮8接取后,将花篮8上的硅片进行分片处理,同时将多个硅片进行处理,当花篮8空载时,通过流水线传送带能够将其运输到上层,等待硅片输送架进行运输。
优选的,可以在智能移动机器人10上设置预输送方案,智能控制模块能够控制硅片输送架上的皮带传送组件7,即皮带传送组件7上有与智能控制模块相匹配的接收模块,皮带传送组件7能够接收智能移动机器人10的指令。
当智能移动机器人10监测到与流水线传送带的距离相近时候,智能移动机器人10内的智能控制模块控制下输送架1上的皮带传送组件7运行,使底板9向靠近流水线传送带的一侧移动,一般情况下,使底板9靠近流水线传送带的一端伸出硅片输送架。
底板9预先伸出的一端距离,能够提高硅片输送架与流水线传送带的对接速度,很大程度上能够提高硅片传送架以及传送装置的传送速度。
通常情况下,底板9伸出的长度为底板9总长度的2/7,在能够保证底板9稳定的情况下,还可以根据实际情况对底板9伸出的长度进行设置。
当底板9伸出时,锁止机构11与第一滑槽902脱离,导电组件也不能够给供电组件14继续供电,供电组件14内置的存储电量的模块能够给磁铁片一12和磁铁片二13提供电量
当底板9完全被传送带流水线传送带上时,此时,供电组件14内的电量刚好用完,通过流水线传送带上的卸货组件,能够将花篮8从底板9上卸下,进而便于对花篮8进行分片处理。
当底板9完全被传送带流水线传送带上时,花篮8卡接在底板9内,磁铁片一12和磁铁片二13失去吸附的能力,能够便于将花篮8从底板9中取下。
优选的,当硅片输送架上的底板9伸出一段距离时,传送带流水线上层的底板9也可以伸出一段距离,使上层和下层的传送带流水线同时完成对接,很大程度上能够节省对接所需要的时间,一定程度上提升硅片的生产效率。
移动硅片输送架前,首先通过硅片上料组件将硅片插入花篮8中,然后再将花篮8放置到底板9上,通过传送装置,将底板9传送至下输送架1上,然后智能移动机器人10移动到硅片传送架的下端,伸长锁止机构11对硅片输送架进行固定,同时顶住下输送架1上的底板9,使底板9与定位杆6接触,增加底板9和定位杆6的摩擦力,一定程度上能够提高底板9的稳定性。
移动的过程中,如果遇到障碍物智能移动机器人10会急停,急停时产生的惯性会使底板9在皮带传送组件7上滑动,锁止机构11不会完全顶住底板9,底板9仍能够在皮带传送组件7上滑动,通过第一滑槽902能够使底板9向前滑动的速度逐渐降低的的更快,减少底板9向前滑动的距离。
底板9滑动的过程中,花篮8和插在花篮8上的硅片也随着滑动,通过底板9滑动能够抵消惯性对花篮8和插在花篮8上的硅片的影响,即花篮8和插在花篮8上的硅片不会被惯性所影响,能够提升硅片输送架和硅片输送装置运输过程中的安全性。
当智能移动机器人10和硅片输送架抵接时,导电组件和供电组件14能够启动磁铁片一12和磁铁片二13,使磁铁片二13和磁铁片一12相互吸附,增强花篮8放置在底板9上的稳定性。
当智能移动机器人10监测到快与流水线传送带接触时,一般情况下,当智能移动机器人10与流水线传送带间距为4m~6m时,智能控制模块则启动皮带传送组件7,使底板9向前移动,直至底板9伸出硅片输送架一端距离,流水线传送带上层的传送装置也会将底板9伸出一段距离。
当硅片硅片输送装置与流水线传送带接触时,下输送架1上的底板9已经有一段放置在流水线传送带上,流水线传送带上层的底板9也有一端放置在上输送架2上,流水线传送带上层和下输送架1上的传送装置同时启动,上下两层同时完成对接,很大程度上能够提升硅片传送架和流水线传送带的对接速度,提升硅片的生产效率。
前述对本发明的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本发明限定为所公开的精确形式,并且很显然,根据上述教导,可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本发明的特定原理及其实际应用,从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本发明的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本发明的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。

Claims (9)

1.硅片输送装置,其特征在于,包括硅片输送架,所述硅片输送架包括:
多个花篮,均放置在硅片输送架的上端;
下输送架,用于放置满载硅片的花篮;
上输送架,用于放置空载硅片的花篮;
多个底板,分别滑动连接在下输送架和上输送架的上端;所述花篮放置在底板的上端;
所述硅片输送装置还包括:
升降组件,用于调整硅片输送装置的高度;
行走组件,用于升降组件顶住硅片输送架后进行移动;
支撑组件,用于支撑硅片输送架;
所述升降组件位于支撑组件和升降组件之间;
锁止机构,固定连接在支撑组件的上端,用于对下输送架上的花篮锁止;
所述硅片输送架和硅片输送装置相抵接,所述硅片输送架和硅片输送装置之间设置有导电组件,所述底板上安装有与导电组件相匹配的供电组件。
2.如权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述下输送架和上输送架的上端均设置有皮带传送组件,所述底板放置在皮带传送组件的上端。
3.如权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述下输送架和上输送架之间固定连接有多个连接柱,所述连接柱沿皮带传送组件设置的方向固定连接有一对与花篮相匹配的定位杆。
4.如权利要求1或3所述的硅片输送装置,其特征在于,所述上输送架的上端安装有与花篮相匹配的定位板。
5.如权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述底板的上端开设有多个与花篮相匹配的限位槽。
6.如权利要求5所述的硅片输送装置,其特征在于,所述花篮的下壁上固定连接有磁铁片一,所述限位槽的底壁上固定连接有与磁铁片一相匹配的磁铁片二。
7.如权利要求3所述的硅片输送装置,其特征在于,所述定位杆的下端设置有减震块。
8.如权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述硅片输送架上开设有与锁止机构相匹配的第一滑槽。
9.如权利要求1或8所述的硅片输送装置,其特征在于,所述支撑组件的上端设置有可拆卸的支腿脚垫。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116978842B (zh) * 2023-07-31 2024-03-05 江苏龙恒新能源有限公司 智能防堵片硅片输送设备
CN116995010B (zh) * 2023-09-28 2023-12-19 江苏奥汇能源科技有限公司 一种用于太阳能电池硅片的插片装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5897290A (en) * 1997-07-30 1999-04-27 Industrial Technology Research Institute Lead frame magazine handling device
CN207158331U (zh) * 2017-09-06 2018-03-30 无锡市江松科技有限公司 硅片花篮输送装置
CN208385370U (zh) * 2018-06-26 2019-01-15 苏州映真智能科技有限公司 硅片花篮自动输送机构
CN208806229U (zh) * 2018-11-05 2019-04-30 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 一种硅片分片机
CN113035761A (zh) * 2021-03-05 2021-06-25 苏州市中辰昊科技有限公司 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台
WO2022233170A1 (zh) * 2021-05-07 2022-11-10 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 一种硅片的导片系统
CN218447848U (zh) * 2022-08-24 2023-02-03 江苏润阳光伏科技有限公司 一种光伏行业花篮输送料架

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5897290A (en) * 1997-07-30 1999-04-27 Industrial Technology Research Institute Lead frame magazine handling device
CN207158331U (zh) * 2017-09-06 2018-03-30 无锡市江松科技有限公司 硅片花篮输送装置
CN208385370U (zh) * 2018-06-26 2019-01-15 苏州映真智能科技有限公司 硅片花篮自动输送机构
CN208806229U (zh) * 2018-11-05 2019-04-30 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 一种硅片分片机
CN113035761A (zh) * 2021-03-05 2021-06-25 苏州市中辰昊科技有限公司 一种用于双轨上料的硅片花篮调度平台
WO2022233170A1 (zh) * 2021-05-07 2022-11-10 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 一种硅片的导片系统
CN218447848U (zh) * 2022-08-24 2023-02-03 江苏润阳光伏科技有限公司 一种光伏行业花篮输送料架

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