CN207158331U - 硅片花篮输送装置 - Google Patents
硅片花篮输送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207158331U CN207158331U CN201721141975.1U CN201721141975U CN207158331U CN 207158331 U CN207158331 U CN 207158331U CN 201721141975 U CN201721141975 U CN 201721141975U CN 207158331 U CN207158331 U CN 207158331U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- belt
- track
- silicon chip
- conveying device
- gaily decorated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Agricultural Chemicals And Associated Chemicals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅片花篮输送装置，包括输送轨道，所述输送轨道由多段轨道连接而成，每段轨道上包括主动轮、从动轮、底架以及皮带，皮带在主动轮作用下在底架上运转，相邻两段的轨道中，其中一段轨道包括两个第一皮带，第一皮带平行设置，另一段轨道包括一个第二皮带，第二皮带伸入两个第一皮带中。当皮带转速较快时，由于两段轨道之间皮带连续设置，花篮运载组件可以平稳的从一段轨道运动至另一段轨道，不会发生剧烈震荡，进而损坏硅片。在每个输送轨道的两侧还设置有限位机构，限位机构用于花篮运载组件的定位。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种硅片花篮输送装置。
背景技术
花篮在硅片是硅片运输过程中的重要工具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，随着硅片加工工艺要求要来越高，其加工工艺也越来越复杂，硅片装卸装置的要求也越来越高。而输送花篮的流水线根据工艺的不同，有的流水线很长，需要将多段流水线拼接在一起，而在连接处，会存在缝隙，皮带上的物件在跨过缝隙时，会发生倾斜，如速度较快，则会发生剧烈震荡，从而影响硅片品质，如授权公告号为CN206040609的专利公开的一种硅片传送装置。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是解决解决上述现有的不足，提供一种硅片花篮连续输送装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片花篮输送装置，包括输送轨道，所述输送轨道由多段轨道连接而成，每段轨道上包括主动轮、从动轮、底架以及皮带，皮带在主动轮作用下在底架上运转，相邻两段的轨道中，其中一段轨道包括两个第一皮带，第一皮带平行设置，另一段轨道包括一个第二皮带，第二皮带伸入两个第一皮带中。
进一步的，相邻两段的轨道中，其中一段轨道的底座端部设置两个从动轮，每个从动轮上均设置有一个第一皮带，从动轮位于底座的两侧，另一个轨道的端部也设置一个从动轮，该从动轮上设置有第二皮带，且该从动轮伸入第一皮带之间。
进一步的，还包括花篮运载组件，花篮运载组件在皮带上运动，花篮运载组件用于放置且固定花篮。
进一步的，所述花篮运载组件包括若干个垂直皮带的隔板，隔板由垂直且穿过隔板的固定杆进行固定。
进一步的，输送轨道的两侧还设置有限位机构，限位机构用于花篮运载组件的定位。
进一步的，所述限位机构包括一个限位条和若干个锁紧块，锁紧块和限位条分别位于输送轨道的两侧，锁紧块和限位条将皮带上的花篮运载组件固定。
进一步的，位于隔板两侧的固定杆上设置有两个平行的切削面，其中一个切削面与锁紧块相对应。
进一步的，所述输送轨道上方还设置有升降挡块，用于阻止花篮运载组件在皮带上的运行。
进一步的，所述输送轨道为两个，且平行设置。
从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：当皮带转速较快时，由于两段轨道之间皮带连续设置，花篮运载组件可以平稳的从一段轨道运动至另一段轨道，不会发生剧烈震荡，进而损坏硅片。在每个输送轨道的两侧还设置有限位机构，限位机构用于花篮运载组件的定位。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型中花篮运载组件以及限位机构的结构示意图；
图3为本实用新型中限位柱的机构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。
如图1、2所示，本实用新型的硅片花篮输送装置，包括输送轨道，所述输送轨道由多段轨道连接而成，每段轨道上包括主动轮、从动轮、底架以及皮带，皮带在主动轮作用下在底架上运转，相邻两段的轨道中，其中一段轨道(记为第一轨道3.4)包括两个第一皮带3.3，第一皮带3.3平行设置，另一段轨道(记为第二轨道3.1)包括一个第二皮带3.2，第二皮带3.2伸入两个第一皮带3.2中。第一轨道3.3的底座端部设置两个从动轮，每个从动轮上均设置有一个第一皮带3.3，从动轮位于底座的两侧，另一个轨道的端部也设置一个从动轮，该从动轮上设置有第二皮带3.2，且该从动轮伸入第一皮带3.3之间。
在输送轨道上方还设置花篮运载组件3.5，花篮运载组件3.5在皮带上运动，花篮运载组件3.5用于放置且固定花篮。花篮运载组件3.5包括若干个垂直皮带的隔板3.8，隔板3.8由垂直且穿过隔板的固定杆3.9进行固定。隔板的数量可以根据实际需求进行设定，两个隔板之间可以放置一个花篮。
当皮带转速较快时，由于两段轨道之间皮带连续设置，花篮运载组件可以平稳的从一段轨道运动至另一段轨道，不会发生剧烈震荡，进而损坏硅片。在每个输送轨道的两侧还设置有限位机构3.6，限位机构3.6用于花篮运载组件的定位。
所述限位机构3.6包括一个限位条3.11和若干个锁紧块3.10，锁紧块3.10和限位条3.11分别位于输送轨道的两侧，锁紧块3.10和限位条3.11将皮带上的花篮运载组件固定。
如图3所示，位于隔板两侧的固定杆上设置有两个平行的切削面3.12，其中一个切削面与锁紧块相对应，该结构的固定柱方便锁紧块3.10与固定杆的接触。所述输送轨道上方还设置有升降挡块3.7，用于阻止花篮运载组件在皮带上的运行。所述输送轨道为两个，且平行设置。
Claims (10)
1.一种硅片花篮输送装置，包括输送轨道，其特征在：所述输送轨道由多段轨道连接而成，每段轨道上包括主动轮、从动轮、底架以及皮带，皮带在主动轮作用下在底架上运转，相邻两段的轨道中，其中一段轨道包括两个第一皮带，第一皮带平行设置，另一段轨道包括一个第二皮带，第二皮带伸入两个第一皮带中。
2.根据权利要求1所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：相邻两段的轨道中，其中一段轨道的底座端部设置两个从动轮，每个从动轮上均设置有一个第一皮带，从动轮位于底座的两侧，另一个轨道的端部也设置一个从动轮，该从动轮上设置有第二皮带，且该从动轮伸入第一皮带之间。
3.根据权利要求1或者2所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：还包括花篮运载组件，花篮运载组件在皮带上运动，花篮运载组件用于放置且固定花篮。
4.根据权利要求3所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：所述花篮运载组件包括若干个垂直皮带的隔板，隔板由垂直且穿过隔板的固定杆进行固定。
5.根据权利要求3所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：输送轨道的两侧还设置有限位机构，限位机构用于花篮运载组件的定位。
6.根据权利要求4所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：输送轨道的两侧还设置有限位机构，限位机构用于花篮运载组件的定位。
7.根据权利要求6所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：所述限位机构包括一个限位条和若干个锁紧块，锁紧块和限位条分别位于输送轨道的两侧，锁紧块和限位条将皮带上的花篮运载组件固定。
8.根据权利要求7所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：位于隔板两侧的固定杆上设置有两个平行的切削面，其中一个切削面与锁紧块相对应。
9.根据权利要求8所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：所述输送轨道上方还设置有升降挡块，用于阻止花篮运载组件在皮带上的运行。
10.根据权利要求9所述的硅片花篮输送装置，其特征在于：所述输送轨道为两个，且平行设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721141975.1U CN207158331U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 硅片花篮输送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721141975.1U CN207158331U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 硅片花篮输送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207158331U true CN207158331U (zh) | 2018-03-30 |
Family
ID=61720775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721141975.1U Active CN207158331U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 硅片花篮输送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207158331U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110745482A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-02-04 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 单侧上下料半导体设备及其物料传送装置 |
| CN116417386A (zh) * | 2023-02-14 | 2023-07-11 | 中润新能源(滁州)有限公司 | 硅片输送架及其输送装置 |
-
2017
- 2017-09-06 CN CN201721141975.1U patent/CN207158331U/zh active Active
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110745482A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-02-04 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 单侧上下料半导体设备及其物料传送装置 |
| CN110745482B (zh) * | 2019-10-28 | 2022-01-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 单侧上下料半导体设备及其物料传送装置 |
| CN116417386A (zh) * | 2023-02-14 | 2023-07-11 | 中润新能源(滁州)有限公司 | 硅片输送架及其输送装置 |
| CN116417386B (zh) * | 2023-02-14 | 2023-09-29 | 中润新能源(滁州)有限公司 | 硅片输送架及其输送装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207158331U (zh) | 硅片花篮输送装置 | |
| CN106628920B (zh) | 移载多工位升降机 | |
| CN202864205U (zh) | 一种工件运输装置 | |
| CN208802521U (zh) | 一种双层小型皮带输送线的三轴移载装置 | |
| CN205240540U (zh) | 用于自动捕捉贴膜机上的传输结构 | |
| CN209127443U (zh) | 一种简易自动循环生产线 | |
| CN204397015U (zh) | 钢板坡口机 | |
| CN209427559U (zh) | 一种用于间歇式输送装置的夹持机构 | |
| CN206735156U (zh) | 塑料管道皮带传送装置 | |
| CN209701625U (zh) | 一种载具回流线 | |
| CN208895426U (zh) | 载板循环装置及焊接设备 | |
| CN206813813U (zh) | 提升机以及食品加工生产线 | |
| CN206569594U (zh) | 一种皮带输送循环线 | |
| CN207021247U (zh) | 全自动硅片插片机 | |
| CN205294146U (zh) | 一种木板生产线上的定位装置 | |
| CN214878290U (zh) | 一种料板输送装置 | |
| CN206953236U (zh) | 一种封边机异边连接生产线 | |
| CN205633905U (zh) | 一种高度可调式链条输送机 | |
| CN206705065U (zh) | 矩形钢管成型后自动输送装置 | |
| CN106031973A (zh) | 往返滑动的传动机构 | |
| CN205998740U (zh) | 一种棉帘自动落料装置 | |
| CN208648105U (zh) | 一种治具回流装置 | |
| CN206915159U (zh) | 新型输送装置 | |
| CN204747779U (zh) | 全自动激光切割生产线 | |
| WO2013068963A1 (en) | Concrete transport and delivery plant |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No.208 Changjiang East Road, Shuofang, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000 Patentee after: Wuxi Jiangsong Technology Co.,Ltd. Address before: 214028 plot c20-2, phase V, Shuofang industrial concentration zone, Wuxi New Area, Jiangsu Province, Wuxi City, Jiangsu Province Patentee before: WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY Co.,Ltd. |