CN112916518A - 一种石英坩埚清理辅助装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种石英坩埚清理辅助装置,包括:机架,所述机架包括框体和连接在所述框架上表面的工作台,所述框体内形成有用于容纳石英坩埚的容纳腔;撞针,所述撞针可上下移动地穿设于所述工作台;驱动装置,所述驱动装置连接所述撞针,用于驱动所述撞针振动以及带动所述撞针升降。本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置解决了石英坩埚闷炉料、锅底料难以取出的问题,能够高效回收硅料,提高了生产效率,降低生产成本,同时使得坩埚的使用寿命大大延长。
Description
技术领域
本发明涉及硅料回收技术领域,具体涉及一种石英坩埚清理辅助装置。
背景技术
在用直拉法生产单晶硅的过程中,想要回收闷炉料和锅底料,通常是将石英坩埚与埚邦倒置于空地上,人工敲打埚邦底部圆孔,使得埚邦内的石英坩埚和硅料破碎,从而达到回收硅料和埚邦的目的。但是整个操作过程效率较低,劳动强度大,且容易导致埚邦自身受损,同时对硅料也有污染。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种石英坩埚清理辅助装置,其能够高效回收硅料,降低生产成本,提高了生产效率,同时使得埚邦的使用寿命大大延长,减少了意外风险。
为达到上述目的,本发明采用以下技术方案:
根据本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,包括:
机架,所述机架包括框体和连接在所述框架上表面的工作台,所述框体内形成有用于容纳石英坩埚的容纳腔;
撞针,所述撞针可上下移动地穿设于所述工作台;
驱动装置,所述驱动装置连接所述撞针,用于驱动所述撞针振动以及带动所述撞针升降。
进一步地,所述驱动装置为偏心轮电机。
根据本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,还包括:
接料盒,所述接料盒可移动地设置于所述容纳腔内,用于容纳从石英坩埚内掉落的硅料。
进一步地,所述撞针底端形成为能够穿过埚邦底部的圆孔的圆柱体。
更进一步地,所述框体的四个侧面分别设有挡板,其中一侧挡板在底部形成有允许所述石英坩埚穿过的进料口。
更进一步地,所述框体的四个角上分别设有四个高度可调节支脚。
进一步地,根据发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,还包括:
移动小车,所述移动小车用于将承载所述接料盒并将其从所述进料口内移入所述容纳腔内,其中,所述石英坩埚即埚邦倒置于所述接料盒中。
更进一步地,根据本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,所述移动小车包括:
底座;
支架,所述支架固定连接在所述底座一端;
支撑板,所述支撑板安装在所述支架上;
夹持部,夹持部的第一端连接所述支撑板,所述夹持部包括两个夹臂以在两个所述夹臂之间夹持所述接料盒。
更进一步地,所述移动小车还包括:
翻转机构,所述翻转机构连接所述夹持部以驱动所述接料盒翻转。
进一步地,所述机架的四角分别设有加强柱。
本发明的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:
根据本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,撞针伸入埚邦底部的圆孔,撞针直径与圆孔直径相适配,驱动装置驱动撞针产生高频振动使得硅料从锅底脱落,提高了生产效率,且降低了对埚邦的损害,大大延长了埚邦的使用寿命;
进一步地,利用接料盒容纳受震动脱落的硅料,从而避免了对硅料的污染。
附图说明
图1为本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置结构图;
图2为本发明实施例的移动小车承载石英坩埚示意图。
附图标记:
1.框体;2.撞针;3.容纳腔;4.工作台;5.接料盒;6.移动小车;7.底座;8.支架;9.支撑板;10.夹臂;11.翻转机构;12.加强柱;13.挡板;14.高度可调节支脚。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例的附图,对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
除非另作定义,本发明中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样,“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也相应地改变。
下面首先结合附图具体描述根据本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置。
如图1至图2所示,本发明提供了一种石英坩埚清理辅助装置,包括机架、撞针2、驱动装置(未示出)。
机架包括框体1和连接在框架1上表面的工作台4,框体1内形成有用于容纳石英坩埚的容纳腔3;撞针2可上下移动地穿设于工作台4;驱动装置连接撞针2,用于驱动撞针2振动以及带动撞针2升降。
石英坩埚倒置于框体1的容纳腔3中,设置在工作台4上的撞针2通过驱动装置3控制进行振动升降,能够伸入石英坩埚底端的圆孔,产生的振动使得硅料从石英坩埚底端脱落,该装置通过撞针2的振动能够高效回收硅料,降低了生产成本,同时对埚邦造成的损害很小,大大延长了埚邦的使用寿命。
进一步地,驱动装置为偏心轮电机。偏心轮电机产生的高频振动驱动撞针2使得硅料与石英坩埚分离,进一步提升了效率,同时产生的高频振动对石英坩埚的损害极小,提升了埚邦的使用寿命。
根据本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,还包括接料盒5。接料盒5可移动地设置于容纳腔3内,用于容纳从石英坩埚内掉落的硅料。将石英坩埚倒置于接料盒5中,从石英坩埚底端脱落的硅料落入接料盒5的底端,防止硅料从振动脱落后直接接触地面,从而避免了对硅料的污染。
进一步地,撞针2底端形成为能够穿过埚邦底部的圆孔的圆柱体。将撞针2底端设置为圆柱体的形状使得撞针2穿过埚邦底部的圆孔时产生的高频振动能够充分地将附在埚邦底端的硅料与埚邦分离,从而提高了该装置的工作效率。
更进一步地,框体1的四个侧面分别设有挡板13,其中一侧挡板13在底部形成有允许石英坩埚穿过的进料口。石英坩埚从进料口进入容纳腔3,撞针2通过埚邦底部的圆孔伸入埚邦内部产生振动使得硅料脱落。而在框体1的侧面均设置挡板13,能够避免硅料脱落时会出现溅落四散的现象,进一步防止了硅料的污染。
更进一步地,框体1的四个角上分别设有四个高度可调节支脚14。通过设置高度可调节支脚14不仅能够起到一定的减震支撑作用,并且通过调节不同高度能够使得容纳腔容纳不同尺寸的接料盒5,提升了该装置整体的适应性。
进一步地,根据发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,还包括移动小车6,移动小车6用于将承载接料盒5并将其从进料口内移入容纳腔3内,其中,石英坩埚即埚邦倒置于接料盒5中。埚邦底部的硅料经撞针2振动后落入接料盒5内部,大大提升了该清理辅助装置整体的清洁度。同时,利用移动小车6通过接料盒5运输石英坩埚,增强了操作人员运输的便利性,提升了工作效率。
更进一步地,根据本发明实施例的石英坩埚清理辅助装置,移动小车6包括底座7、支架8、支撑板9、夹持部。
支架8固定连接在底座7一端;支撑板9安装在支架8上;夹持部的第一端连接支撑板9,夹持部包括两个夹臂10以在两个夹臂10之间夹持接料盒5。接料盒5夹持在设置在支撑板9上的两个夹臂10之间,埚邦倒置在接料盒5内部,保证了接料盒5与其内部的埚邦在该移动小车6上的稳固性,防止接料盒5在移动小车上运输过程中出现侧翻,导致硅料出现污染的问题。
更进一步地,移动小车6还包括翻转机构11,翻转机构11连接夹持部以驱动接料盒5翻转。例如,翻转机构11可以包括翻转杆与气缸,翻转杆的一端连接接料盒5,其另一端连接气缸,气缸的另一端连接夹持部。通过气缸驱动翻转杆从而带动接料盒5上下翻转。如图2所示,在夹持部上设置翻转机构11使得接料盒5在夹持的情况下实现上下翻转,当接料盒5容纳的硅料需要取出时,通过翻转机构11翻转接料盒5,避免了人工抬起接料盒5翻转,进一步提升了操作的便利性,提高了生产效率。
进一步地,机架1的四角分别设有加强柱12。在机架1的四角设置加强柱12进一步提升了该装置整体的支撑性与刚性。
下面,结合附图1-2描述一下利用该石英坩埚清理辅助装置回收硅料的过程。
首先,利用移动小车6的夹持部夹持接料盒5,运送至框体1内部的容纳腔3中,将石英坩埚倒置于接料盒5中,然后打开偏心轮电机,偏心轮电机产生的高频振动驱动撞针2伸入石英坩埚底部的圆孔中,从而使得硅料与石英坩埚分离落入接料盒5中,当接料盒5接完硅料后,取出石英坩埚,利用翻转机构11翻转接料盒5,实现高效回收硅料的目的。该装置解决了硅料附在石英坩埚底端难以取出的问题,能够充分回收硅料,且降低了埚邦的损害,大大延长了其使用寿命。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,包括:
机架,所述机架包括框体和连接在所述框架上表面的工作台,所述框体内形成有用于容纳石英坩埚的容纳腔;
撞针,所述撞针可上下移动地穿设于所述工作台;
驱动装置,所述驱动装置连接所述撞针,用于驱动所述撞针振动以及带动所述撞针升降。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,所述驱动装置为偏心轮电机。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,还包括:
接料盒,所述接料盒可移动地设置于所述容纳腔内,用于容纳从石英坩埚内掉落的硅料。
4.根据权利要求1所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,所述撞针底端形成为能够穿过埚邦底部的圆孔的圆柱体。
5.根据权利要求3所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,所述框体的四个侧面分别设有挡板,其中一侧挡板在底部形成有允许所述石英坩埚穿过的进料口。
6.根据权利要求5所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,所述框体的四个角上分别设有四个高度可调节支脚。
7.根据权利要求5所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,还包括:
移动小车,所述移动小车用于将承载所述接料盒并将其从所述进料口内移入所述容纳腔内,其中,所述石英坩埚即埚邦倒置于所述接料盒中。
8.根据权利要求7所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,所述移动小车包括:
底座;
支架,所述支架固定连接在所述底座一端;
支撑板,所述支撑板安装在所述支架上;
夹持部,夹持部的第一端连接所述支撑板,所述夹持部包括两个夹臂以在两个所述夹臂之间夹持所述接料盒。
9.根据权利要求8所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,所述移动小车还包括:
翻转机构,所述翻转机构连接所述夹持部以驱动所述接料盒翻转。
10.根据权利要求1所述的石英坩埚清理辅助装置,其特征在于,所述机架的四角分别设有加强柱。
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