CN112276791A - 一种纳米级研磨系统用分装搬运装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，包括支撑架、料仓、框架和机械臂，所述框架的一侧安装有控制柜，所述框架一端的底端铰接有盖板，所述框架的内部固定有支撑架，且支撑架的顶端设置有料仓，所述第一齿轮的两侧均设置有第二齿轮，所述第二齿轮的一侧设置有第二齿板，所述机械手底端的两侧均设置有防偏移机构，所述防偏移机构一侧机械手的内部设置有气泵，且气泵的底端安装有吸盘。本发明不仅实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在搬运时具有防护效果、实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在堆放过程中防止偏移现象以及实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在运输的过程中能够对物体矫正的功能。

Description

一种纳米级研磨系统用分装搬运装置

技术领域

本发明涉及纳米级研磨系统技术领域，具体为一种纳米级研磨系统用分装搬运装置。

背景技术

随着社会的不断发展，纳米级研磨系统在不断的提升，而在纳米级研磨的过程中需要经过一系列环节，然而纳米级研磨系统用分装与搬运装置是其中最为重要的一个环节，纳米级研磨系统用分装搬运装置则是对纳米级研磨系统中物料先通过分装装置进行分装，当分装并且包装完成时，最后在搬运堆放的过程中，需要通过搬运装置对物体进行堆放，因此便于对所分装并包装完成的物料进行堆放。

传统的此类纳米级研磨系统用分装搬运装置，使用时由于物体搬运的过程中防护效果不佳，而物体在气泵与吸盘的作用下进行吸附搬运，并且搬运过程中由于吸盘对物体吸附效果不佳使物体出现滑落现象，并且导致所包装的物体损坏，后期需要人工处理。

发明内容

本发明的目的在于提供一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，以解决上述背景技术中提出装置物体搬运的过程中防护性不佳的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，包括支撑架、料仓、框架和机械臂，所述框架的一侧安装有控制柜，所述框架一端的底端铰接有盖板，所述框架的内部固定有支撑架，且支撑架的顶端设置有料仓，所述料仓的一端等间距的固定有分流管，所述分流管的底端设置有计量罐装泵，且计量罐装泵底端的一侧安装有启动器，所述分流管底端的另一侧固定有出料管，所述出料管下方框架的内部设置有传输带，且传输带一侧的底端安装有驱动电机，所述框架的一侧固定有攀登架，所述框架的一侧设置有存放仓，且存放仓的一侧贯穿有输送台，所述输送台底端的两侧等间距的固定有支架，所述输送台内部的一侧设置有调节机构，所述存放仓内部的在中心位置处设置有底盘，且底盘的顶端活动有机械臂，所述机械臂一侧的底端设置有机械手，所述输送台的内部活动有滚动轮，所述机械手的两端均固定有侧板，所述侧板的两端均设置有防掉落机构，所述防掉落机构包括第一齿板、轴承、滑轨、导向板、挡辊、第二齿板、第一齿轮、第二齿轮以及第二伺服电机，所述导向板设置在侧板两端的底部，所述导向板的内壁上设置有滑轨，所述导向板内部的两端均设置有挡辊，且相邻挡辊的两侧均设置有轴承，所述轴承的顶端固定有第一齿板，且第一齿板顶端延伸至机械手的顶部，所述第一齿板一侧机械手的顶部设置有第二伺服电机，且第二伺服电机的一端固定有第一齿轮，所述第一齿轮的两侧均设置有第二齿轮，所述第二齿轮的一侧设置有第二齿板，所述机械手底端的两侧均设置有防偏移机构，所述防偏移机构一侧机械手的内部设置有气泵，且气泵的底端安装有吸盘。

优选的，所述调节机构包括推杆、限位圈、推板、辊轴、转盘、滑动槽、第一伺服电机以及腔体，所述转盘设置在输送台内部的一侧，所述转盘下方输送台的内部设置有腔体，且腔体的内部安装有第一伺服电机，所述转盘下方输送台的内部设置有滑动槽，所述滑动槽的内部设置有限位圈，且限位圈顶端与转盘的底端相连接，所述转盘内部的顶端活动有辊轴，所述转盘的顶端设置有推板，所述推板的一端设置有推杆，且推杆一端延伸至输送台的一端。

优选的，所述限位圈呈倒“U”字形设计，所述第一伺服电机与转盘之间通过第一伺服电机转轴相连接。

优选的，所述辊轴在转盘内部的顶端设置有若干组，且相邻两组辊轴之间呈垂直分布。

优选的，所述滚动轮在输送台内部的一侧安装有若干个，且若干个滚动轮呈等间距分布。

优选的，所述第一齿轮与第二齿轮的中心线在同一水平线上，所述第一齿轮与第二齿轮之间相互啮合。

优选的，所述第二齿轮与第一齿板之间相互啮合，所述第一齿板与第二齿板之间相互平行。

优选的，所述第一齿板与第二齿板通过第一齿轮、第二齿轮以及第二伺服电机构成升降结构，所述第一齿板关于机械手的中垂线呈对称分布。

优选的，所述防偏移机构包括滑槽、连接座、滑杆、紧固阀以及超声波物位计，所述滑槽顶端与机械手的底端固定连接，所述滑槽的内部设置有连接座，所述连接座的内部设置有滑杆，且滑杆底端延伸至滑槽的底部，所述滑杆的外部套设有紧固阀，所述滑杆的底端安装有超声波物位计。

优选的，所述滑杆与滑槽通过紧固阀结构固定结构，所述超声波物位计通过滑杆、连接座构成滑动结构。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该纳米级研磨系统用分装搬运装置不仅实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在搬运时具有防护效果、实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在堆放过程中防止偏移现象以及实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在运输的过程中能够对物体矫正的功能；

(1)通过在侧板的两侧均设置有防掉落机构，在第二伺服电机运作时，使第一齿轮旋转，此时使两侧第二齿轮在第一齿轮旋转时一侧向上抬起一侧向下下压，而在第二齿轮运作时能够将第二齿板与第一齿板之间上下移动，第一齿板对挡辊下推移动，而挡辊通过轴承沿滑轨移动，此时防止物体出现滑落现象，实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在搬运时具有防护效果、；

(2)通过设置有防偏移机构，根据需要将超声波物位计调节位置，旋转松弛紧固阀将超声波物位计向一侧拉动，并且使滑杆沿连接座滑动，移动合适位置时，再将旋转紧固阀将紧固阀与滑槽之间紧固，通过超声波物位计发出超声波，当超声波反弹较大时，说明超声波射击在堆放物体表面，当反弹较小时，说明超声波射击在相邻物体之间缝隙中，当多个超声波物位计达到一致时可对物体进行放置，实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在堆放过程中防止偏移现象；

(3)通过设置有调节机构，启动第一伺服电机由转轴带动转盘根据需要角度旋转，在推杆启动下将推板对物体左右位置进行调节，因此能够使物体准确搬运，避免倾斜搬运过程中出现稳定性不佳，同时影响后期对物体堆放的效果，实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在运输的过程中能够对物体矫正的功能。

附图说明

图1为本发明的分装搬运组合结构示意图；

图2为本发明的分装侧视结构示意图；

图3为本发明的搬运侧视剖面结构示意图；

图4为本发明的机械手侧视结构示意图；

图5为本发明的调节机构侧视剖面结构示意图；

图6为本发明的防掉落机构侧视结构示意图；

图7为本发明的防掉落机构局部俯视结构示意图；

图8为本发明的图6中A处放大结构示意图。

图中：1、盖板；2、控制柜；3、分流管；4、支撑架；5、料仓；6、框架；7、传输带；8、驱动电机；9、存放仓；10、调节机构；1001、推杆；1002、限位圈；1003、推板；1004、辊轴；1005、转盘；1006、滑动槽；1007、第一伺服电机；1008、腔体；11、机械手；12、机械臂；13、底盘；14、支架；15、输送台；16、计量罐装泵；17、启动器；18、攀登架；19、出料管；20、滚动轮；21、侧板；22、防掉落机构；2201、第一齿板；2202、轴承；2203、滑轨；2204、导向板；2205、挡辊；2206、第二齿板；2207、第一齿轮；2208、第二齿轮；2209、第二伺服电机；23、气泵；24、防偏移机构；2401、滑槽；2402、连接座；2403、滑杆；2404、紧固阀；2405、超声波物位计；25、吸盘。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-8，本发明提供的一种实施例：一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，包括支撑架4、料仓5、框架6和机械臂12，框架6的一侧安装有控制柜2，框架6一端的底端铰接有盖板1，框架6的内部固定有支撑架4，且支撑架4的顶端设置有料仓5，料仓5的一端等间距的固定有分流管3，分流管3的底端设置有计量罐装泵16，该计量罐装泵16的型号可为GM0050P，且计量罐装泵16底端的一侧安装有启动器17，分流管3底端的另一侧固定有出料管19，出料管19下方框架6的内部设置有传输带7，且传输带7一侧的底端安装有驱动电机8，该驱动电机8的型号可为Y90S-2，框架6的一侧固定有攀登架18，框架6的一侧设置有存放仓9，且存放仓9的一侧贯穿有输送台15，输送台15底端的两侧等间距的固定有支架14，输送台15内部的一侧设置有调节机构10，调节机构10包括推杆1001、限位圈1002、推板1003、辊轴1004、转盘1005、滑动槽1006、第一伺服电机1007以及腔体1008，转盘1005设置在输送台15内部的一侧，转盘1005下方输送台15的内部设置有腔体1008，且腔体1008的内部安装有第一伺服电机1007，该第一伺服电机1007的型号可为QS-750W，转盘1005下方输送台15的内部设置有滑动槽1006，滑动槽1006的内部设置有限位圈1002，且限位圈1002顶端与转盘1005的底端相连接，转盘1005内部的顶端活动有辊轴1004，转盘1005的顶端设置有推板1003，推板1003的一端设置有推杆1001，该推杆1001的型号可为DYTZB1000-500，且推杆1001一端延伸至输送台15的一端，限位圈1002呈倒“U”字形设计，第一伺服电机1007与转盘1005之间通过第一伺服电机1007转轴相连接，辊轴1004在转盘1005内部的顶端设置有若干组，且相邻两组辊轴1004之间呈垂直分布；

具体地，如图1和图5所示，使用该结构时，首先物体移至到转盘1005上方时，启动第一伺服电机1007，并且通过转轴带动转盘1005旋转，而在转盘1005旋转的同时通过滑动槽1006与限位圈1002的共同配合下能够使转盘1005平稳旋转，此时转盘1005上方的物体根据需要调节角度进行调节，调节完成时，再启动推杆1001将推板1003向物体移动，然而在相对推板1003的作用下能够对物体近一步左右调节，因此可将物体调节到合适状态即可，避免物体摆放不一致不便后期对物体进行夹持搬运，实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在运输的过程中能够对物体矫正的功能；

存放仓9内部的在中心位置处设置有底盘13，且底盘13的顶端活动有机械臂12，机械臂12一侧的底端设置有机械手11，输送台15的内部活动有滚动轮20，滚动轮20在输送台15内部的一侧安装有若干个，且若干个滚动轮20呈等间距分布，机械手11的两端均固定有侧板21，侧板21的两端均设置有防掉落机构22，防掉落机构22包括第一齿板2201、轴承2202、滑轨2203、导向板2204、挡辊2205、第二齿板2206、第一齿轮2207、第二齿轮2208以及第二伺服电机2209，导向板2204设置在侧板21两端的底部，导向板2204的内壁上设置有滑轨2203，导向板2204内部的两端均设置有挡辊2205，且相邻挡辊2205的两侧均设置有轴承2202，轴承2202的顶端固定有第一齿板2201，且第一齿板2201顶端延伸至机械手11的顶部，第一齿板2201一侧机械手11的顶部设置有第二伺服电机2209，该第二伺服电机2209的型号可为40ST-M00130，且第二伺服电机2209的一端固定有第一齿轮2207，第一齿轮2207的两侧均设置有第二齿轮2208，第二齿轮2208的一侧设置有第二齿板2206，第一齿轮2207与第二齿轮2208的中心线在同一水平线上，第一齿轮2207与第二齿轮2208之间相互啮合，第二齿轮2208与第一齿板2201之间相互啮合，第一齿板2201与第二齿板2206之间相互平行，第一齿板2201与第二齿板2206通过第一齿轮2207、第二齿轮2208以及第二伺服电机2209构成升降结构，第一齿板2201关于机械手11的中垂线呈对称分布；

具体地，如图6和图7所示，使用该机构时，首先启动第二伺服电机2209，在第二伺服电机2209正转时带动第一齿轮2207旋转，然而在第一齿轮2207旋转的过程中通过齿块将一侧第二齿轮2208向上抬起一侧向下压制，当外侧第二齿轮2208向下压制时，使第一齿板2201向上移动，而此时使挡辊2205通过轴承2202向外移动，而另一侧第二齿轮2208向上抬起时使第二齿板2206下移，此时将气泵23与吸盘25下移，并且吸盘25通过气泵23的作用下对物体进行吸附，再在第二伺服电机2209反作用下将第二齿板2206带动吸附物体上升，而挡辊2205在第一齿板2201下移的过程中通过轴承2202沿滑轨2203移动，并且移至到所吸附物体的下方，而此时在物体搬运的过程中通过挡辊2205防止搬运过程中物体出现滑落现象，如物体掉落后导致包装后的物体出现损坏现象，实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在搬运时具有防护效果、实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在堆放过程中防止偏移现象以及实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在运输的过程中能够对物体矫正的功能，实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在搬运时具有防护效果；

机械手11底端的两侧均设置有防偏移机构24，防偏移机构24包括滑槽2401、连接座2402、滑杆2403、紧固阀2404以及超声波物位计2405，滑槽2401顶端与机械手11的底端固定连接，滑槽2401的内部设置有连接座2402，连接座2402的内部设置有滑杆2403，且滑杆2403底端延伸至滑槽2401的底部，滑杆2403的外部套设有紧固阀2404，滑杆2403的底端安装有超声波物位计2405，滑杆2403与滑槽2401通过紧固阀2404结构固定结构，超声波物位计2405通过滑杆2403、连接座2402构成滑动结构；

具体地，如图8所示，使用该机构时，首先根据需要调节超声波物位计2405位置，调节时先将紧固阀2404旋转使滑杆2403与滑槽2401之间松弛，再将超声波物位计2405通过滑杆2403沿连接座2402移动并且移至到合适位置，此时再将紧固阀2404反向旋转使滑杆2403与滑槽2401之间紧固，在物体堆放时，启动超声波物位计2405，而超声波物位计2405发出超声波，通过回波得知对应现象，当回波较大到或较快时，说明射击在下方所堆放的物体上方，当回波较小后较慢时，说明射击在相邻所推放物体之间的间隙中，同时根据多个超声波物位计2405反向效果进行判断，当超声波物位计2405反向效果不一致时，不对物体进行放置，当超声波物位计2405反向效果一致时，可将物体进行放置，实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在堆放过程中防止偏移现象；

防偏移机构24一侧机械手11的内部设置有气泵23，该气泵23的型号可为SC63X250，驱动电机8、推杆1001、第一伺服电机1007、计量罐装泵16、启动器17、第二伺服电机2209、气泵23以及超声波物位计2405的输入端均与控制柜2的输入端电性连接，且气泵23的底端安装有吸盘25。

工作原理：使用时，该装置采用外接电源，首先工作人员通过攀登架18攀爬，并通过工具较物料投放到料仓5的内部，当在装料时，起到驱动电机8使传输机构将传输带7带动存放罐运输到出料管19下方，再启动启动器17使计量罐装泵16将料仓5内部的物料通过分流管3输送，并且物体通过出料管19罐装在传输带7上方的存放罐中，而存放罐物料存放完成时，再在传输带7移动的过程中将存放罐向一侧运输，此时将物体打包装箱；

其次将打包装箱的物体放置在滚动轮20上方，此时由于输送台15内部的驱动器使滚动轮20滚动，将物体移至到转盘1005上方，此时根据需要启动腔体1008，而腔体1008根据需要调节角度旋转，使物体位置摆正，再启动推杆1001将推板1003形物体推动，而通过相对推板1003共同作用下能够使物体进一步摆正；

最后由于底盘13内部驱动器使机械臂12进行角度调节，使机械手11移至到输送台15的上方，并且继续通过底盘13内部的驱动器将机械手11向物体移动，而此时启动第二伺服电机2209使第二伺服电机2209正转，并且使第二伺服电机2209通过转轴带动第一齿轮2207旋转，而在第一齿轮2207旋转的同时使两侧第二齿轮2208相对同时旋转，在第二齿轮2208旋转时将第一齿板2201向上移动并带动挡辊2205抽出，同时在第二齿轮2208旋转时将第二齿板2206向下移动，同时带动气泵23与吸盘25下移，此时吸盘25在气泵23的作用下将物体吸附，再通过第二伺服电机2209反转作用下，使第二齿轮2208将第二齿板2206、气泵23、吸盘25以及所吸附的物体向上抬起，同时在第二齿轮2208旋转时将第一齿板2201向下压动，并且将挡辊2205下压，而挡辊2205通过轴承2202沿滑轨2203滑动，此时使挡辊2205移至到所吸附物体的下方，在挡辊2205的作用下避免物体出现滑动现象，此时再通过底盘13内部的驱动器将机械手11旋转移至到所堆放物体上方，此时在超声波物位计2405发出超声波，通过反应调节所夹持物体位置，当多个超声波物位计2405反向效果相同时将物体通过第二伺服电机2209正转将物体正转将物体放置，最终完成该纳米级研磨系统用分装搬运装置的使用工作。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (10)

1.一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，包括支撑架(4)、料仓(5)、框架(6)和机械臂(12)，其特征在于：所述框架(6)的一侧安装有控制柜(2)，所述框架(6)一端的底端铰接有盖板(1)，所述框架(6)的内部固定有支撑架(4)，且支撑架(4)的顶端设置有料仓(5)，所述料仓(5)的一端等间距的固定有分流管(3)，所述分流管(3)的底端设置有计量罐装泵(16)，且计量罐装泵(16)底端的一侧安装有启动器(17)，所述分流管(3)底端的另一侧固定有出料管(19)，所述出料管(19)下方框架(6)的内部设置有传输带(7)，且传输带(7)一侧的底端安装有驱动电机(8)，所述框架(6)的一侧固定有攀登架(18)，所述框架(6)的一侧设置有存放仓(9)，且存放仓(9)的一侧贯穿有输送台(15)，所述输送台(15)底端的两侧等间距的固定有支架(14)，所述输送台(15)内部的一侧设置有调节机构(10)，所述存放仓(9)内部的在中心位置处设置有底盘(13)，且底盘(13)的顶端活动有机械臂(12)，所述机械臂(12)一侧的底端设置有机械手(11)，所述输送台(15)的内部活动有滚动轮(20)，所述机械手(11)的两端均固定有侧板(21)，所述侧板(21)的两端均设置有防掉落机构(22)，所述防掉落机构(22)包括第一齿板(2201)、轴承(2202)、滑轨(2203)、导向板(2204)、挡辊(2205)、第二齿板(2206)、第一齿轮(2207)、第二齿轮(2208)以及第二伺服电机(2209)，所述导向板(2204)设置在侧板(21)两端的底部，所述导向板(2204)的内壁上设置有滑轨(2203)，所述导向板(2204)内部的两端均设置有挡辊(2205)，且相邻挡辊(2205)的两侧均设置有轴承(2202)，所述轴承(2202)的顶端固定有第一齿板(2201)，且第一齿板(2201)顶端延伸至机械手(11)的顶部，所述第一齿板(2201)一侧机械手(11)的顶部设置有第二伺服电机(2209)，且第二伺服电机(2209)的一端固定有第一齿轮(2207)，所述第一齿轮(2207)的两侧均设置有第二齿轮(2208)，所述第二齿轮(2208)的一侧设置有第二齿板(2206)，所述机械手(11)底端的两侧均设置有防偏移机构(24)，所述防偏移机构(24)一侧机械手(11)的内部设置有气泵(23)，且气泵(23)的底端安装有吸盘(25)。

2.根据权利要求1所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述调节机构(10)包括推杆(1001)、限位圈(1002)、推板(1003)、辊轴(1004)、转盘(1005)、滑动槽(1006)、第一伺服电机(1007)以及腔体(1008)，所述转盘(1005)设置在输送台(15)内部的一侧，所述转盘(1005)下方输送台(15)的内部设置有腔体(1008)，且腔体(1008)的内部安装有第一伺服电机(1007)，所述转盘(1005)下方输送台(15)的内部设置有滑动槽(1006)，所述滑动槽(1006)的内部设置有限位圈(1002)，且限位圈(1002)顶端与转盘(1005)的底端相连接，所述转盘(1005)内部的顶端活动有辊轴(1004)，所述转盘(1005)的顶端设置有推板(1003)，所述推板(1003)的一端设置有推杆(1001)，且推杆(1001)一端延伸至输送台(15)的一端。

3.根据权利要求2所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述限位圈(1002)呈倒“U”字形设计，所述第一伺服电机(1007)与转盘(1005)之间通过第一伺服电机(1007)转轴相连接。

4.根据权利要求2所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述辊轴(1004)在转盘(1005)内部的顶端设置有若干组，且相邻两组辊轴(1004)之间呈垂直分布。

5.根据权利要求1所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述滚动轮(20)在输送台(15)内部的一侧安装有若干个，且若干个滚动轮(20)呈等间距分布。

6.根据权利要求1所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述第一齿轮(2207)与第二齿轮(2208)的中心线在同一水平线上，所述第一齿轮(2207)与第二齿轮(2208)之间相互啮合。

7.根据权利要求1所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述第二齿轮(2208)与第一齿板(2201)之间相互啮合，所述第一齿板(2201)与第二齿板(2206)之间相互平行。

8.根据权利要求1所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述第一齿板(2201)与第二齿板(2206)通过第一齿轮(2207)、第二齿轮(2208)以及第二伺服电机(2209)构成升降结构，所述第一齿板(2201)关于机械手(11)的中垂线呈对称分布。

9.根据权利要求1所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述防偏移机构(24)包括滑槽(2401)、连接座(2402)、滑杆(2403)、紧固阀(2404)以及超声波物位计(2405)，所述滑槽(2401)顶端与机械手(11)的底端固定连接，所述滑槽(2401)的内部设置有连接座(2402)，所述连接座(2402)的内部设置有滑杆(2403)，且滑杆(2403)底端延伸至滑槽(2401)的底部，所述滑杆(2403)的外部套设有紧固阀(2404)，所述滑杆(2403)的底端安装有超声波物位计(2405)。

10.根据权利要求9所述的一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，其特征在于：所述滑杆(2403)与滑槽(2401)通过紧固阀(2404)结构固定结构，所述超声波物位计(2405)通过滑杆(2403)、连接座(2402)构成滑动结构。

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