CN111492254A - 基板检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明包括：基板保持构件2，保持作为检查对象的基板10；检查夹具4a、检查夹具4b，具有可动板6a、可动板6b以及支撑所述可动板6a、可动板6b的支撑构件7，所述可动板6a、可动板6b具有与所述基板保持构件2所保持的基板10的检查对象部13D、检查对象部13U接触的接触部63、63；以及升降驱动机构5a、升降驱动机构5b，使所述检查夹具4a、检查夹具4b升降移位，从而使所述可动板6a、可动板6b移动至所述接触部63、63接近所述检查对象部13D、检查对象部13U的检查待机位置，本发明中，在所述支撑构件7上设置有轴支部8以及摆动驱动部，所述轴支部8包括以能够摆动的方式支撑所述可动板6a、可动板6b的支撑轴81，所述摆动驱动部使所述可动板6a、可动板6b以所述支撑轴81为支点进行摆动移位，从而使所述接触部63、63与所述检查对象部13D、检查对象部13U接触。

Description

基板检查装置

技术领域

本发明涉及一种用于基板的检查的基板检查装置。

背景技术

以往，存在一种进行载置于工作台上的电路基板的表面侧的配线与背面侧的配线图案之间的导通检查的基板检查装置。在此种基板检查装置中，已知有如下的基板检查装置，即，所述基板检查装置包括：升降板，可上下移动地设置于基台的上方，且在上表面安装有用于进行电路基板的导通检查的检查夹具；以及多根进给螺杆构件，包括在上下方向上延伸的螺杆部以及与所述螺杆部螺合的螺母部，所述多根进给螺杆构件使升降板上下移动(例如，参照专利文献1)。所述基板检查装置构成为：通过使进给螺杆构件的螺杆部及螺母部的任一者旋转而使升降板上下移动，由此使检查用的探针与电路基板的检查对象部(配线图案)接触。

另外，在用于基板(印刷配线基板)的检查的中继用连接器的接触部，设置了包含各向异性导电橡胶等的导电连接器材料(例如，参照专利文献2)。所述中继连接器构成为：通过使导电连接器材料与基板的检查对象部接触并加压等而可取得电导通。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2001-183407号公报

专利文献2：日本专利特开2000-208187号公报

发明内容

根据所述专利文献1所公开的基板检查装置，可通过使进给螺杆构件高速旋转等，而使具有规定重量的检查夹具及升降板迅速地向检查位置移动。另一方面，在具有所述进给螺杆构件的升降驱动机构中，由于其驱动力大，所以难以进行细微的位置调节及压接力的设定。因此，存在以下等问题：因设置于检查夹具的检查用的连接器材料被牢固地压接于基板的检查对象部，检查用的探针或检查对象部损伤，或者相反地，因连接器材料相对于检查对象部的压接不足而容易产生检查不良。

另一方面，如所述专利文献2所公开的那样，根据在与检查对象部对应的接触部设置各向异性导电橡胶制的导电连接器材料而成的结构，柔软的各向异性导电橡胶与基板的检查对象部面接触，因此相对于细小的电极而可获得高接触稳定性。但是，在使用了所述导电连接器材料的检查装置中，存在若相对于基板的检查对象部的接触压力稍变高，则导电连接器材料容易损伤的问题。而且，存在容易因电流在所述导电连接器材料的板厚方向以外流动而发生误检测等的问题。

本发明的目的在于提供一种容易抑制基板的检查对象部及检查夹具的接触部的损伤的检查装置。

本发明的一例的检查夹具包括：基板保持构件，保持作为检查对象的基板；检查夹具，具有可动板以及支撑所述可动板的支撑构件，所述可动板具有与所述基板保持构件所保持的基板的检查对象部接触的接触部；以及升降驱动机构，使所述检查夹具升降移位，从而使所述可动板移动至所述接触部接近所述检查对象部的检查待机位置，所述检查夹具中，在所述支撑构件上设置有轴支部以及摆动驱动部，所述轴支部包括以能够摆动的方式支撑所述可动板的支撑轴，所述摆动驱动部使所述可动板以所述支撑轴为支点进行摆动移位，从而使所述接触部与所述检查对象部接触。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的基板检查装置的概略构成的侧视图。

图2是表示基板的主要部分的具体构成的平面图。

图3是表示检查夹具的概略构成的图1的III-III线剖面图。

图4是表示使检查夹具接近基板的状态的剖面图。

图5是表示基板保持构件的具体构成的剖面图。

图6是表示将基板保持构件分解后的状态的立体图。

图7A是表示衬垫的另一例的立体图。

图7B是表示衬垫的另一例的立体图。

图8是表示基板保持构件的变形例的分解剖面图。

图9是表示第一检查夹具的概略构成的平面图。

图10是表示支撑块的概略构成的立体图。

图11是表示第一检查夹具的具体构成的剖面图。

图12是表示第一检查夹具的具体构成的图11的XII-XII线剖面图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在各图中标注了相同符号的构成表示是相同的构成，省略其说明。

图1是表示本发明的基板检查装置的整体构成的概略说明图，图2是表示基板的主要部分的具体构成的平面图，图3是表示检查夹具的概略构成的图1的III-III线剖面图，图4是表示使检查夹具接近基板的状态的剖面图。

如图1所示，基板检查装置1包括：基板保持构件2，保持基板10；第一检查夹具4a，配设于基板10的下方侧；第二检查夹具4b，配设于基板10的上方侧；第一升降驱动机构5a，使下方的第一检查夹具4a升降移位；以及第二升降驱动机构5b，使上方的第二检查夹具4b升降移位。

作为检查对象的基板10例如可为印刷配线基板、玻璃环氧树脂基板、挠性基板、陶瓷多层配线基板、半导体封装用的封装基板、中介基板、膜载体等基板，也可为液晶显示器、电致发光(Electro-Luminescence，EL)显示器、触摸屏显示器等显示器用的电极板、触摸屏用等的电极板，也可为半导体晶片、半导体芯片、芯片尺寸封装(Chip size package，CSP)等的半导体基板，还可为各种基板。

本实施方式中的基板10具有保持于基板保持构件2上的基板主体11以及以向基板保持构件2的侧方突出的状态设置的侧端部12。如图2及图3所示，在所述侧端部12的上表面，包含配线图案等的检查对象部13U、13U配设为以规定间隔左右分离的状态。另外，在相邻的检查对象部13U、13U之间形成有不存在检查对象部的平坦面部14U。

另一方面，在侧端部12的下表面，包含配线图案等的检查对象部13D、13D配设为以规定间隔左右分离的状态，并且，在相邻的检查对象部13D、13D之间形成有不存在检查对象部的平坦面部14D。在各检查对象部13D上，例如利用配线图案而形成有相互大致平行地配置的多个电极端子。将所述各电极端子分别作为检查对象的检查点。

另外，设置于基板10的上表面的检查对象部13U、13U与设置于基板10的下表面的检查对象部13D、13D配设为在图3的左右方向上相互移位的状态。由此，基板上表面的检查对象部13U与基板下表面的平坦面部14D上下相向地配设，并且基板下表面的检查对象部13D与基板上表面的平坦面部14U上下相向地配设。在各检查对象部13U中，作为检查点而形成有与检查对象部13D同样的多个电极端子。

如图1所示，第一升降驱动机构5a包括螺杆进给机构，所述螺杆进给机构具有包括伺服电动机等的旋转驱动部51、由所述旋转驱动部51旋转驱动的螺杆轴52、以及设置于所述螺杆轴52的前端部(上端部)的升降板53。在所述升降板53的上表面安装有第一检查夹具4a。

与第一升降驱动机构5a同样地，第二升降驱动机构5b包括螺杆进给机构，所述螺杆进给机构具有包括伺服电动机等的旋转驱动部51、以及由所述旋转驱动部51旋转驱动的螺杆轴52。在所述螺杆轴52的前端部(下端部)设置有上下一对升降板53a、升降板53b，并且在下方的升降板53b的下表面安装有第二检查夹具4b。

而且，在进行基板10的检查时，构成为：使第一升降驱动机构5a的旋转驱动部51工作而对螺杆轴52进行旋转驱动，由此使升降板53及第一检查夹具4a自下方的初始位置(参照图3)上升至上方的检查待机位置，即如图4所示，上升至后述的第一检查夹具4a中的接触部63、63的导电连接器材料的表面接近设置于基板10的下表面的检查对象部13D、13D的位置。

另外，构成为：使第二升降驱动机构5b的旋转驱动部51工作而对螺杆轴52进行旋转驱动，由此使升降板53a、升降板53b及第二检查夹具4b自上方的初始位置(参照图3)下降至下方的检查待机位置，即如图4所示，下降至后述的第二检查夹具4b中的接触部63、63的导电连接器材料的表面接近设置于基板10的上表面的检查对象部13U、13U的位置。

检查待机位置设为检查对象部13D、13D与第一检查夹具4a中的接触部63、63的导电连接器材料的表面的距离、以及检查对象部13U、13U与第二检查夹具4b中的接触部63、63的导电连接器材料的表面的距离例如成为0.1mm～10.0mm左右的位置。

在第二升降驱动机构5b中，在升降板53a、升降板53b之间设置有缓冲驱动部54、54，所述缓冲驱动部54、54包括左右一对驱动缸，所述左右一对驱动缸驱动第二检查夹具4b以使其自所述检查待机位置进一步下降。另外，在缓冲驱动部54、54之间配设有左右一对施力构件55、55，所述左右一对施力构件55、55包括对升降板53b及第二检查夹具4b抵抗它们的自重而向上方施力的拉伸弹簧。

缓冲驱动部54根据对其驱动部供给的一定压力的驱动空气来使第二检查夹具4b下降，由此，视需要使第二检查夹具4b的接触部63、63与基板10的检查对象部13U、13U抵接。作为缓冲驱动部54，例如可使用例如SMC(股)制造的MQQT系列的气缸等低摩擦气缸。

另外，构成缓冲驱动部54、54的所述气缸由于为低摩擦而容易进行压力控制，从而容易精度良好地控制接触部63、63相对于检查对象部13U、13U的压接力。

图5是表示基板保持构件的具体构成的剖面图，图6是表示将基板保持构件分解后的状态的立体图，图7A、图7B是表示衬垫的其他例子的立体图。

如图5及图6所示，基板保持构件2具有：吸附板21，形成有根据省略图示的抽吸装置的抽吸力来吸附基板10的吸附孔20；以及支撑板23，形成有将自吸附板21的吸附孔20抽吸的空气向抽吸装置侧导出的连通孔22。另外，在吸附板21与中间板25之间配设有衬垫24。

吸附板21包括以一定间隔呈矩阵状排列有许多吸附孔20的板材，其上表面具有与基板10的主要部分对应的大小，具体而言具有可载置基板主体11的大小。

支撑板23具有中间板25以及覆盖所述中间板25的背面的被覆板26，所述中间板25以一定间隔呈矩阵状地排列有与吸附板21的吸附孔20对应的许多连通孔22。在所述被覆板26中形成有与附图之外的抽吸装置连通的凹部27。通过将所述凹部27内的空气与吸附板21的吸附孔20及中间板25的连通孔22内的空气如图5的箭头Q所示排出至外部，可获得使基板10密接于吸附板21的表面上的负压。

在衬垫24中设置有开口部28以及围绕部29，所述开口部28具有与基板10的吸附范围对应的大小，所述围绕部29围绕开口部28的外周部。而且，通过在吸附板21与中间板25之间配设衬垫24来阻断位于基板10的吸附范围外的吸附孔20与连通孔22的连通，可产生使基板10的主要部分牢固地密接于吸附板21的上表面的大的抽吸力。

此外，优选设为将如图7A、图7B所示的那样具有大小不同的开口部28a、开口部28b的多张衬垫24a、衬垫24b预先对齐而成的构成。而且，通过使用者选择具有与基板10的种类对应的开口部28的衬垫并将其配设于吸附板21与中间板25之间，可根据基板10的大小来使负压的生成范围变化。

另外，也可设为以下构成：如图8所示，在吸附板21的下表面，以一定间隔设置有具有与衬垫24的板厚对应的突出量的多个突部30，并且在衬垫24的围绕部29，在与突部30的设置部对应的位置设置有供突部30嵌入的嵌入孔31。

根据所述构成，当在吸附板21与中间板25之间配设衬垫24时，通过将突部30嵌入衬垫24的嵌入孔31，可与衬垫24准确地对位。另外，通过在吸附板21与中间板25之间介隔存在突部30，可将吸附板21与中间板25的间隔保持为一定。因此，具有以下优点：即使在吸附板21由容易变形的原材料形成的情况下，也可抑制吸附板21因所述负压等而变形，可防止在基板10与吸附板21之间形成间隙。

图9是表示第一检查夹具的概略构成的平面图，图10是表示支撑块的概略构成的立体图，图11是表示第一检查夹具的具体构成的剖面图，图12是表示第一检查夹具的具体构成的图11的XII-XII线剖面图。

第一检查夹具4a及第二检查夹具4b除了上下对称地配设这一方面以外，具有相同的构成，因此以下仅说明第一检查夹具4a的构成，省略对第二检查夹具4b的构成的说明。

第一检查夹具4a具有配设于基板10的下方侧的第一可动板6a以及支撑所述第一可动板6a的支撑构件7(参照图1)。如图9及图10所示，在第一可动板6a的一侧边部的上表面设置有接触部63、63，所述接触部63、63配设有导电橡胶制的导电连接器材料。在第一可动板6a的一侧边部上表面，以与检查对象部13D的多个电极端子相向的方式形成有多个检测电极。而且，以覆盖多个检测电极的方式配设导电连接器材料而形成了接触部63。

作为配设于接触部63、63的导电连接器材料，优选使用当加压时成为导通状态的各向异性导电性橡胶，例如JMT股份有限公司制造的“加压导电橡胶PCR(注册商标)”。此外，也可使用即使不施加压力而仅通过与检查对象部接触便在板厚方向上成为导通状态的各向异性导电性橡胶来代替所述加压导电橡胶。

如图11所示，第一可动板6a具有包括印刷配线基板等的可动板主体61、以及加强所述可动板主体61的下表面部的加强板62。在第一可动板6a的另一侧边部设置有连接器64，所述连接器64用于将接触部63的各检测电极经由省略了图示的线缆等而与附图之外的检查装置主体连接。另外，在加强板62的另一侧边部设置有后述的轴支部8，所述轴支部8以能够摆动的方式支撑第一可动板6a。

如图3所示，第一可动板6a的接触部63、63分别以按照与基板10的下表面所设置的检查对象部13D、13D相向的方式分离成多处的状态设置。另外，在相邻的接触部63、63的设置处之间，形成有朝向轴支部8的设置部侧、即第一可动板6a的另一侧边部侧凹入的切口部65(参照图9及图10)。

如图1、图11及图12所示，在支撑构件7上设置有：基底板71，由第一升降驱动机构5a升降驱动；轴支部8，包括成为第一可动板6a的摆动支点的支撑轴81；摆动驱动部72，以支撑轴81为支点而使第一可动板6a摆动移位；以及支撑块9，支撑基板10。

轴支部8具有：一对支撑板82、82，直立设置于基底板71；支撑轴81，两端部固定于所述支撑板82、82；以及轴承部83，固定于第一可动板6a的加强板62。所述轴承部83外嵌于支撑轴81而可转动地受到轴支，由此，第一可动板6a以支撑轴81为支点而能够摆动地受到支撑。

摆动驱动部72构成为：使第一可动板6a以支撑轴81为支点进行摆动移位，从而使接触部63、63以一定压力与基板10的检查对象部13D、13D接触。作为摆动驱动部72，例如与缓冲驱动部54同样地，可使用SMC(股)制造的MQQT系列的气缸等。

基底板71包括固接于第一升降驱动机构5a的升降板53的板材。在所述基底板71与第一可动板6a的加强板62之间，设置有施力构件73以及限制构件74，所述施力构件73包括对第一可动板6a向下方施力的拉伸弹簧，所述限制构件74包括与第一可动板6a的下表面抵接而限制第一可动板6a向下方移位的支柱等。

当摆动驱动部72不工作时，第一可动板6a被施力构件73向下方施力，成为第一可动板6a的下表面与限制构件74的上端面抵接的状态。由此，第一可动板6a向下方的移位受到限制，第一可动板6a的设置状态维持为大致水平。

如图3及图10所示，支撑块9具有：安装部91，通过安装螺钉等安装于基底板71的一侧边部上表面；以及多根突部92、92，直立设置于所述安装部91。突部92具有比第一可动板6a中所形成的切口部65稍小的剖面形状，从而突部92的上端部可被导入第一可动板6a的切口部65内(参照图9及图10)。

而且，在后述的导通检查时，若第二检查夹具4b的第二可动板6b被摆动驱动部72驱动而如图4的箭头P所示自第二可动板6b对基板10的上表面赋予按压力，则由第一检查夹具4a上所设置的支撑块9的突部92、92支撑基板10的下表面。

其结果，基板10向下方的移位受到抑制，根据所述按压力而第二可动板6b的接触部63、63被适度地加压，由此，导电连接器材料在其厚度方向上导通。其结果，形成于检查对象部13U、13U的各电极端子与第二可动板6b中的接触部63、63的各检测电极成为导通状态。

另外，同样地，当通过配设于基板10的下方的第一检查夹具4a的第一可动板6a被摆动驱动部72驱动而自第一可动板6a对基板10的下表面赋予按压力，则在由第二检查夹具4b上所设置的支撑块9的突部92、92支撑基板10的上表面的状态下，第一可动板6a的接触部63、63被适度地加压，由此，导电连接器材料在其厚度方向上导通。其结果，形成于检查对象部13D、13D的各电极端子与第一可动板6a的接触部63、63的各检测电极成为导通状态。

在使用具有所述构成的基板检查装置1进行基板10的检查时，在使基板10支撑于基板保持构件2的状态下，使第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b的旋转驱动部51工作，对螺杆轴52进行旋转驱动，由此使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b分别移动至图4所示的检查待机位置。

继而，通过使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b的摆动驱动部72工作，使第一可动板6a及第二可动板6b以支撑轴81为支点分别进行摆动移位。由此，第一可动板6a的接触部63以规定的按压力压接于基板下表面的检查对象部13D，并且第二可动板6b的接触部63以规定的按压力压接于基板上表面的检查对象部13U。

如此，接触部63、63在被适度加压的状态下与基板10的检查对象部13D、检查对象部13U接触，由此接触部63、63的各检测电极与检查对象部13D、检查对象部13U的各电极端子成为导通状态。然后，例如自第一检查夹具4a的接触部63对基板10的检查对象部13D、检查对象部13U的电极端子供给测定用电流，并且将根据所述测定用电流而产生的电压自第二检查夹具4b的接触部63经由导电连接器材料输出至附图之外的检查装置主体，由此可执行基板10是否良好的判定。

此外，如后所述，在视需要停止第二检查夹具4b的摆动驱动部72的工作并将第二可动板6b保持为水平的状态下，通过使第二升降驱动机构5b的缓冲驱动部54工作，对第二检查夹具4b进行升降驱动，由此也可使第二可动板6b的接触部63以一定的压力与基板10的检查对象部13U接触。

如上所述，基板检查装置1包括：基板保持构件2，保持基板10；第一检查夹具4a，具有第一可动板6a以及支撑所述第一可动板6a的支撑构件7，所述第一可动板6a设置有与基板10的检查对象部13D、13D接触的接触部63；第二检查夹具4b，具有第二可动板6b以及支撑所述第二可动板6b的支撑构件7，所述第二可动板6b具有与基板10的检查对象部13U、13U接触的接触部63；以及第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b，使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b分别移动至检查待机位置，所述基板检查装置1中，在支撑构件7上设置有轴支部8以及摆动驱动部72，所述轴支部8包括以能够摆动的方式支撑第一可动板6a及第二可动板6b的支撑轴81，所述摆动驱动部72使第一可动板6a及第二可动板6b以支撑轴81为支点进行摆动移位，从而使接触部63、63分别与检查对象部13U、检查对象部13D接触，根据所述基板检查装置1，可在抑制检查对象部13U、检查对象部13D及接触部63的损伤的同时，准确地进行基板10的检查。

即，第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b只要具有使第一可动板6a及第二可动板6b升降移位至接近基板10的检查待机位置的功能即可，不需要细微的位置控制及驱动力控制。因此，如所述实施方式所示，通过使用包括如下螺杆进给机构的第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b，可使具有规定重量的第一检查夹具4a及第二检查夹具4b容易且迅速地自所述初始位置移动至检查待机位置，所述螺杆进给机构具有包括伺服电动机等的旋转驱动部51、以及由所述旋转驱动部51旋转驱动的螺杆轴52，且可获得大的驱动力。

在使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b移动至检查待机位置的状态下，通过摆动驱动部72而使第一可动板6a及第二可动板6b以支撑轴81为支点进行摆动移位，从而使接触部63、63与检查对象部13U、检查对象部13D接触，此时的驱动阻力仅为轴支部8的滑动阻力。因此，通过使用低摩擦且高灵敏度的气缸作为摆动驱动部72，可使接触部63、63以适度的压力且准确地与检查对象部13U、13D接触，从而可适当地对基板10进行检查。

此外，也可代替具有包括伺服电动机等的旋转驱动部51以及由所述旋转驱动部51旋转驱动的螺杆轴52的所述螺杆进给机构，而由液压缸或大型的气缸等构成第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b，所述液压缸或大型的气缸等具有可使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b容易且迅速地自初始位置移动至检查待机位置的驱动力。

另外，也可代替包括所述气缸的摆动驱动部72而使用以下的螺杆进给机构等：其具有使第一可动板6a及第二可动板6b以支撑轴81为支点进行摆动移位的螺杆轴、以及对所述螺杆轴进行旋转驱动的小型伺服电动机。

也可代替在接触部63配设导电橡胶制的导电连接器材料而成的所述实施方式，而设为在接触部63配设以下接触端子而成的构成：包括具有适度的弹力性的线探针(wireprobe)的探针方式的接触端子；或者具有包括导电体的柱塞、以能够滑动的方式支撑所述柱塞的筒状体、以及朝使柱塞的前端部向筒状体外突出的方向施力的施力构件等的探针方式的接触端子。

如所述实施方式所示，当设为在第一可动板6a及第二可动板6b的接触部63配设柔软的导电橡胶制的导电连接器材料而成的结构时，具有通过使所述导电连接器材料与检查对象部13U、检查对象部13D面接触而相对于细小的电极可获得高接触稳定性等的优点。另外，所述导电橡胶制的导电连接器材料具有以下等优点：即使是微细电极，也具有相对于位置偏移的大容许范围，且不会对基板10的检查对象部13U、检查对象部13D造成损伤，并且可将检查夹具形成为轻量且薄型的。

此外，在使用所述导电橡胶制的导电连接器材料的检查装置中，有导电连接器材料容易损伤的倾向。但是，如上所述，由于通过摆动驱动部72而使处于检查待机位置的第一检查夹具4a及第二检查夹具4b以支撑轴81为支点进行摆动移位，因此，由支撑轴81来支撑第一检查夹具4a及第二检查夹具4b的重量，能够以小的力使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b摆动移位。其结果，容易控制将接触部63、63压接于检查对象部13U、检查对象部13D的压力，从而可高精度地控制接触部63、63的接触压力。因此，容易抑制导电连接器材料的损伤。

进而，在所述实施方式中，包括具有配设于基板10的下方侧的第一可动板6a的第一检查夹具4a、具有配设于基板10的上方侧的第二可动板6b的第二检查夹具4b、对第一检查夹具4a进行升降驱动的第一升降驱动机构5a、以及对第二检查夹具4b进行升降驱动的第二升降驱动机构5b，由于设为所述构成，因此可通过第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b而使第一可动板6a及第二可动板6b分别迅速地移动至接近基板10的检查待机位置。

而且，具有以下优点：通过使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b的摆动驱动部72工作，使位于所述检查待机位置的第一可动板6a及第二可动板6b分别进行摆动移位，从而使第一可动板6a及第二可动板6b的接触部63分别以适度的压力且准确地与基板10的上表面及下表面所设置的检查对象部13D、检查对象部13U接触。

此外，也可设为省略第一可动板6a及第二可动板6b中的一者，并且省略对所述一者进行驱动的第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b中的一者的构造。例如，当仅在基板的上表面侧设置有检查对象部时，可设为省略了具有配设于基板10的下方侧的第一可动板6a的第一检查夹具4a、以及对所述第一检查夹具4a进行驱动的第一升降驱动机构5a的构成。

另外，在所述实施方式中，设为以下构成：在第一可动板6a及第二可动板6b上，分别以分离成多处的状态设置有接触部63、63，并且在相邻的接触部63、63之间，形成有朝向轴支部8侧凹入的切口部65，在第一检查夹具4a及第二检查夹具4b的支撑构件7上，分别设置有具有突部92的支撑块9，所述突部92被导入切口部65内。

根据所述构成，在由支撑块9的突部92、92分别支撑基板10的上表面及下表面的状态下由摆动驱动部72驱动第一可动板6a及第二可动板6b，由此可对基板10的下表面及上表面赋予适度的按压力。因此，即使在基板10由容易弹性变形的原材料形成的情况下，也可通过支撑块9来分别抑制基板10向上方的移位及向下方的移位。其结果，通过根据所述按压力来对第一可动板6a及第二可动板6b的接触部63、63进行适度加压，可使所述接触部63、63与基板10的检查对象部13D、检查对象部13U适当导通。

另外，如上所述，在基板保持构件2中设置有吸附板21、支撑板23以及衬垫24，所述吸附板21形成有根据附图之外的抽吸装置的抽吸力来吸附基板10的吸附孔20，所述支撑板23形成有将自所述吸附板21的吸附孔20抽吸的空气向抽吸装置侧导出的连通孔22，所述衬垫24配设于吸附板21与支撑板23之间，并且，在衬垫24中设置有开口部28以及围绕部29，所述开口部28具有与基板10的吸附范围对应的大小，所述围绕部29围绕所述开口部28的外周部，在设为所述结构的情况下，通过衬垫24来阻断位于基板10的吸附范围外的吸附孔20与连通孔22的连通。因此，可使基板10的主要部分相对于吸附板21而牢固地密接。

进而，可将如图7A、图7B所示的那样具有大小不同的开口部28a、开口部28b的多张衬垫24a、衬垫24b预先对齐，并且，使用者可选择与基板10的种类对应的衬垫24并将其配设于吸附板21与支撑板23、具体而言为吸附板21与中间板25之间，通过以所述方式构成，可将大小不同的各种基板10分别适当地保持于基板保持构件2。

即，通过在将基板保持构件2的吸附板21与中间板25分离的状态下在吸附板21与中间板25之间配设具有与基板10的大小对应的开口部28的衬垫24，可与基板10的大小对应地使负压的生成范围变化。因此，能够以简单的构成使基板保持构件2具有通用性，从而可将具有各种大小的基板10吸附于吸附板21上且分别适当地予以保持。

另外，在第二升降驱动机构5b中设置包括驱动缸的缓冲驱动部54，所述驱动缸对第二检查夹具4b进行升降驱动，以使第二可动板6b的接触部63以一定的压力与基板10的检查对象部13U接触，根据所述实施方式，具有以下优点：通过视需要选择性地使所述第二升降驱动机构5b的缓冲驱动部54以及第二检查夹具4b的摆动驱动部72工作，可分别适当地对各种基板10进行检查。

例如，在使用需要使接触部63中所设置的连接器材料弹性变形的探针方式的接触端子进行基板10的检查的情况下，当通过使第二可动板6b以支撑轴81为支点摆动移位规定量而使接触部63与检查对象部13U接触时，有第一可动板6a成为倾斜状态的担忧。其结果，视基板的种类而定，有可能无法使接触部63与检查对象部13U适当地接触。

因此，在如上所述需要在一定程度上确保第二可动板6b的下降量的情况下，优选在停止摆动驱动部72的工作并将第二可动板6b保持为水平的状态下，使第二升降驱动机构5b的缓冲驱动部54工作而使第二检查夹具4b下降至规定位置，由此使接触部63与检查对象部13U适当地接触。

另一方面，在不需要将第二可动板6b的下降量设定得如此大、且需要高精度地控制接触部63相对于检查对象部13U的接触压力的情况下，优选在使缓冲驱动部54的工作停止的状态下，通过摆动驱动部72使第二可动板6b以支撑轴81为支点进行摆动移位，由此将接触部63相对于检查对象部13U的接触压力控制为适当值。

进而，在基板10的检查时不需要高精度地控制第一可动板6a及第二可动板6b的升降位置、且需要将接触部63相对于检查对象部13U的接触压力设定得更大的情况下，也可根据第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b的驱动力来使接触部63与检查对象部13U接触。

例如，在使用许多探针端子进行基板10的检查的情况下，也可在停止摆动驱动部72的工作并将第一可动板6a及第二可动板6b保持为水平的状态下，使第一升降驱动机构5a及第二升降驱动机构5b的旋转驱动部51工作而使第一检查夹具4a及第二检查夹具4b升降移位，由此使接触部63与检查对象部13U接触。

如此，本发明的基板检查装置通过根据基板10的种类及接触部63的结构来适宜地选择使用在基板10的检查时使用的驱动部，由此可分别适当地对各种基板10进行检查，因此有具有优异的通用性的优点。

另外，在所述实施方式中，在缓冲驱动部54、54之间配设有左右一对施力构件55、55，所述左右一对施力构件55、55包括对升降板53b及第二检查夹具4b抵抗它们的自重而向上方施力的拉伸弹簧，因此，即使在使用小型的气缸作为所述缓冲驱动部54、54的情况下，也可使第二检查夹具4b等容易且迅速地进行升降移位。

此外，也可设为省略了缓冲驱动部54、54的结构，或者也可设为在位于基板10的上方的第二升降驱动机构5b与位于基板10的上方的第二升降驱动机构5b这两者中分别配设有缓冲驱动部54、54的结构。进而，也可设为仅在下方的第一升降驱动机构5a中配设有缓冲驱动部54、54的结构。

即，本发明的一例的检查夹具包括：基板保持构件，保持作为检查对象的基板；检查夹具，具有可动板以及支撑所述可动板的支撑构件，所述可动板具有与所述基板保持构件所保持的基板的检查对象部接触的接触部；以及升降驱动机构，使所述检查夹具升降移位，从而使所述可动板移动至所述接触部接近所述检查对象部的检查待机位置，所述检查夹具中，在所述支撑构件上设置有轴支部以及摆动驱动部，所述轴支部包括以能够摆动的方式支撑所述可动板的支撑轴，所述摆动驱动部使所述可动板以所述支撑轴为支点进行摆动移位，从而使所述接触部与所述检查对象部接触。

根据所述构成，可通过升降驱动机构而使检查夹具容易且迅速地自初始位置移动至检查待机位置。而且，通过摆动驱动部而使可动板以支撑轴为支点进行摆动移位，由此可使接触部以适度的压力与检查对象部接触，从而可准确地进行基板的检查。

也可设为在所述接触部中配设有导电橡胶制的导电连接器材料的构成。

根据所述构成，具有通过使柔软的导电连接器材料与基板的检查对象部面接触而相对于细小的电极可获得高接触稳定性，并且可获得高检查精度等的优点。另外，具有以下等优点：即使是微细电极，也具有相对于位置偏移的大容许范围，且不会对基板的检查对象部造成损伤，并且可将检查夹具形成为轻量且薄型的。而且，通过摆动驱动部使处于检查待机位置的检查夹具以支撑轴为支点进行摆动移位，如上所述能够以轻的压力使接触部与检查对象部接触，通过以所述方式构成，可容易地抑制导电连接器材料的损伤。

另外，优选为所述检查夹具包括：第一检查夹具，具有配设于所述基板的下方侧的第一可动板；以及第二检查夹具，具有配设于所述基板的上方侧的第二可动板，所述升降驱动机构包括：第一升降驱动机构，对所述第一检查夹具进行升降驱动；以及第二升降驱动机构，对所述第二检查夹具进行升降驱动。

根据所述构成，可通过第一升降驱动机构及第二升降驱动机构使第一可动板及第二可动板分别迅速地移动至接近基板的检查待机位置。而且，具有以下优点：通过第一检查夹具及第二检查夹具的摆动驱动部使第一可动板及第二可动板分别进行摆动移位，从而可使第一可动板及第二可动板的接触部分别以适度的压力且准确地与基板的上表面及下表面所设置的检查对象部接触。

另外，也可设为以下构成：在所述第一可动板及所述第二可动板上，分别以分离成多处的状态设置有所述接触部，并且在相邻的所述接触部之间形成有朝向所述轴支部侧凹入的切口部，在所述第一检查夹具及所述第二检查夹具的支撑构件上分别设置有支撑所述基板的支撑块，所述支撑块具有被导入至所述切口部内的突部。

根据所述构成，在由支撑块的突部分别支撑基板的上表面及下表面的状态下，通过摆动驱动部对第一可动板及第二可动板进行驱动，由此可对基板的下表面及上表面赋予适度的按压力。因此，即使在基板由容易弹性变形的原材料形成的情况下，也可通过支撑块分别抑制基板向上方的移位及向下方的移位。因此，通过根据所述按压力对第一可动板及第二可动板的接触部进行适度加压，可使所述接触部与基板的检查对象部适当地导通。

另外，优选设为所述基板保持构件具有：吸附板，形成有根据抽吸装置的抽吸力吸附所述基板的吸附孔；支撑板，形成有将自所述吸附板的吸附孔抽吸的空气向所述抽吸装置侧导出的连通孔；以及衬垫，配设于所述吸附板与所述支撑板之间，在所述衬垫中设置有开口部以及围绕部，所述开口部具有与所述基板的吸附范围对应的大小，所述围绕部围绕所述开口部的外周部。

根据所述构成，通过衬垫来阻断位于基板的吸附范围外的吸附孔与连通孔的连通，因此，可使基板的主要部分相对于吸附板而牢固地密接。而且，通过将具有大小不同的开口部的多张衬垫预先对齐，并且使用者选择与基板的种类对应的衬垫并将其配设于吸附板与支撑板之间，由此可将大小不同的各种基板分别适当地保持于基板保持构件。

另外，也可设为以下构成：在所述升降驱动机构中还设置有缓冲驱动部，所述缓冲驱动部包括驱动缸，所述驱动缸对所述检查夹具进行升降驱动，以使所述接触部以一定的压力与所述检查对象部接触。

根据所述构成，具有以下优点：通过在基板的检查时视需要选择性地使升降驱动机构与第二检查夹具的摆动驱动部工作，可分别适当地对各种基板进行检查。如此，通过根据基板的种类及接触部的结构而分开使用用于基板的检查的驱动部，可分别适当地对各种基板进行检查，因此有具有优异的通用性的优点。

根据此种构成的基板检查夹具，可容易地抑制基板的检查对象部及检查夹具的接触部的损伤。

本申请以2017年12月26日提出申请的日本专利申请特愿2017-248714为基础，且其内容包含于本申请中。此外，在具体实施方式一项中所呈现的具体的实施方式或实施例仅用以使本发明的技术内容明确，本发明不应仅限定于此种具体例而狭义地解释。

符号的说明

1：基板检查夹具

2：基板保持构件

4a：第一检查夹具

4b：第二检查夹具

5a：第一升降驱动机构

5b：第二升降驱动机构

6a：第一可动板

6b：第二可动板

7：支撑构件

8：轴支部

9：支撑块

10：基板

11：基板主体

12：侧端部

13D、13U：检查对象部

14D、14U：平坦面部

20：吸附孔

21：吸附板

22：连通孔

23：支撑板

24、24a、24b：衬垫

25：中间板

26：被覆板

27：凹部

28、28a、28b：开口部

29：围绕部

30：突部

31：嵌入孔

51：旋转驱动部

52：螺杆轴

53、53a、53b：升降板

54：缓冲驱动部

55：施力构件

61：可动板主体

62：加强板

63：接触部

64：连接器

65：切口部

71：基底板

72：摆动驱动部

73：施力构件

74：限制构件

81：支撑轴

82：支撑板

83：轴承部

91：安装部

92：突部

Claims (6)

1.一种基板检查装置，包括：

基板保持构件，保持作为检查对象的基板；

检查夹具，具有可动板以及支撑所述可动板的支撑构件，所述可动板设置有与所述基板保持构件所保持的基板的检查对象部接触的接触部；以及

升降驱动机构，使所述检查夹具升降移位，从而使所述可动板移动至所述接触部接近所述检查对象部的检查待机位置，所述基板检查装置中，

在所述支撑构件上设置有轴支部以及摆动驱动部，所述轴支部包括以能够摆动的方式支撑所述可动板的支撑轴，所述摆动驱动部使所述可动板以所述支撑轴为支点进行摆动移位，从而使所述接触部与所述检查对象部接触。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，在所述接触部配设有导电橡胶制的导电连接器材料。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中，所述检查夹具包括：第一检查夹具，具有配设于所述基板的下方侧的第一可动板；以及第二检查夹具，具有配设于所述基板的上方侧的第二可动板，

所述升降驱动机构包括：第一升降驱动机构，对所述第一检查夹具进行升降驱动；以及第二升降驱动机构，对所述第二检查夹具进行升降驱动。

4.根据权利要求3所述的基板检查装置，其中，在所述第一可动板及所述第二可动板上，分别以分离成多处的状态设置有所述接触部，并且在相邻的所述接触部之间形成有朝向所述轴支部侧凹入的切口部，

在所述第一检查夹具及所述第二检查夹具的支撑构件上分别设置有支撑所述基板的支撑块，

所述支撑块具有被导入至所述切口部内的突部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板检查装置，其中，所述基板保持构件具有：吸附板，形成有根据抽吸装置的抽吸力吸附所述基板的吸附孔；支撑板，形成有将自所述吸附板的吸附孔抽吸的空气向所述抽吸装置侧导出的连通孔；以及衬垫，配设于所述吸附板与所述支撑板之间，

在所述衬垫中设置有开口部以及围绕部，所述开口部具有与所述基板的吸附范围对应的大小，所述围绕部围绕所述开口部的外周部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板检查装置，其中，在所述升降驱动机构中还设置有缓冲驱动部，所述缓冲驱动部包括驱动缸，所述驱动缸对所述检查夹具进行升降驱动，以使所述接触部以一定的压力与所述检查对象部接触。

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