一种磁力探测器
技术领域
本实用新型涉及半导体测试领域,具体涉及一种磁力探测器。
背景技术
半导体测试领域,要用测试探针接通晶圆晶粒的pad,通过探测机器发出测试信号开始测试,这一功能是通过一名称为探测器的辅助装置实现的。
探测器有一静触点和一探测旋转杆,旋转杆平常通过弹簧弹力,自身重力或其它力与触点接触,当一晶圆置于探针台上上升运动时,其晶粒触及到装于探测旋转杆上的探针,从而使探测旋转杆旋转,进而使旋转杆与静触点分离。在静触点和旋转杆上分别接上一对电极的正极和负极,从而可以检测到静触点与旋转杆的接通和断开,当静触点与旋转杆接通时,说明探针与晶粒没有接通;当静触点与旋转杆断开时,说明探针与晶粒已经接通,探测机器便发出测试信号,探针电极接通测试电路进行晶粒的测试。
而现有的探测器的精确度和性能均不是很良好。
发明内容
为了提高探测器的精确度,本实用新型提供了一种磁力探测器。
一种磁力探测器,包括探测器主体和旋转杆,所述旋转杆包括旋转杆头和旋转杆尾,还包括旋转杆轴,所述旋转杆轴安装在所述探测器主体上,所述旋转杆头和旋转杆尾分别在旋转杆轴的两侧,所述旋转杆尾上设有第一磁部件,所述探测器主体上设有第二磁部件和静触点,可相靠近或远离的所述第一磁部件与第二磁部件之间存在磁引力,可与所述静触点相接触或分离的所述旋转杆可绕旋转杆轴转动。
优选地,所述旋转杆包括支撑块,所述探测器主体上开有用以安装所述支撑块的支撑块槽,所述旋转杆头和旋转杆尾安装在所述支撑块的两侧,所述探测器主体的下表面设有旋转杆槽,所述静触点和第二磁部件安装在所述旋转杆槽的上表面,所述旋转杆轴安装在所述支撑块和支撑块槽的侧壁上。
优选地,还包括调节螺杆,所述探测器主体上表面设有安装所述调节螺杆的螺杆孔,所述调节螺杆的靠近探测器主体下表面的一端具有容纳孔,所述第二磁部件安装在所述容纳孔内。
优选地,还包括两个球头柱塞,所述支撑块槽的两个侧壁上分别开有球头柱塞孔,所述旋转杆轴的两个端面是凹弧面,所述旋转杆轴穿过所述支撑块,球头柱塞安装在球头柱塞孔内且球头顶在旋转杆轴的凹弧面内。
优选地,所述旋转杆头包括探针,所述探针包括探针主体、与探针主体连接的探针头、以及与探针主体呈一定角度的探针尾,所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽,侧面开有与探针尾相配合的竖直槽,所述探针主体和探针尾分别安装在水平槽和竖直槽内。
优选地,所述旋转杆头包括探针和压块,所述探针包括探针主体和与探针主体连接的探针头,所述压块具有与旋转杆头相配合的压块槽,所述压块槽的内表面具有与探针主体配合的探针槽,所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽,所述旋转杆头穿过压块槽,所述探针主体安装在探针槽和水平槽之间。
优选地,还包括紧固件,所述压块的上表面设有紧固件槽,所述旋转杆头的上表面设有安装孔,所述紧固件穿过紧固件槽固定在安装孔内。
优选地,所述第一磁性部件是磁铁,所述第二磁性部件是铁。
优选地,所述球头柱塞与球头柱塞孔通过螺纹配合,所述旋转杆轴与支撑块之间安装有轴承。
优选地,所述探针头与所述探针主体呈一定角度。
现有的探测器旋转支撑采用金属薄片,其容易变形且会产生附加的探测力,性能不好,且探测器的调力采用弹簧,弹簧力为机械力且弹簧与旋转杆为机械接触,调力性能不好;相比现有的探测器,本磁性探测器调力采用磁铁,磁铁与探测旋转杆无接触,通过磁铁与旋转杆的距离来调节力的大小,性能优异且精确度高;旋转支撑采用轴承,灵活无附加力产生,不影响探测力的精密调试;另外本探测器同时采用夹针结构,通过压针块在夹针杆上的滑移来装取探针,非常方便。
附图说明
图1是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖侧视组装示意图;
图2是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖侧视示意图;
图3是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖视组装示意图;
图4是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的示意图图;
图5是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的旋转杆转轴的示意图;
图6是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的组装示意图;
图7是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的局部放大示意图;
图8是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的压块示意图。
具体实施方式
以下将结合附图,对本实用新型的实施例作进一步详细说明。
如图1所示,一种实施例的磁力探测器,包括探测器主体100、旋转杆和旋转杆轴,旋转杆包括旋转杆头400和旋转杆尾210,旋转杆轴安装在探测器主体100上,旋转杆头400和旋转杆尾210分别在旋转杆轴的两侧,旋转杆尾210上设有第一磁部件220,探测器主体100上设有第二磁部件310和静触点110,旋转杆可绕旋转杆轴转动,第一磁部件220与第二磁部件310之间存在的磁引力可以使旋转杆尾210转动至与静触点110接触,而当旋转杆头400受到一定的向上的力时,旋转杆尾210克服磁引力而与静触点分离,同时第一磁部件220也远离第二磁部件310运动。
第一磁性部件220是磁铁,第二磁性部件310是铁。
如图1至3所示,在一个更为具体的实施例中,旋转杆包括支撑块200,磁力探测器还包括球头柱塞150、球头柱塞160、旋转杆轴270和轴承260,探测器主体100上开有用以安装支撑块200的支撑块槽130,支撑块槽130的两个侧壁上开有通孔250,旋转杆轴271的两个端面271是个凹的弧形面,轴承260安装在支撑块200的支撑块孔240内,旋转杆轴270穿过轴承260的通孔261,球头柱塞150和160安装在通孔250内并通过螺纹相配合,且球头151与旋转杆轴270的端面271相配合,球头151顶在端面271上,从而将旋转杆轴271固定,旋转杆头400和旋转杆尾210安装在支撑块200的两侧。
探测器主体100还包括调节螺杆300,探测器主体100的上表面设有螺杆孔,探测器主体100的下表面设有旋转杆槽120,调节螺杆300安装在螺杆孔内其下端面(靠近探测器主体下表面的一端)可以伸入到旋转杆槽120内,调节螺杆300的下端面设有容纳孔,第二磁部件310安装在容纳孔内,静触点110安装在旋转杆槽120的上表面121,而第一磁部件220则安装在旋转杆尾210的安装孔230内,旋转杆尾210转动时可以伸入旋转杆槽120内,旋转调节螺杆300可以调节其伸入旋转杆槽120的长度,即调节了第一磁部件220与第二磁部件310之间的距离以及相互之间的磁引力。
如图5至8所示旋转杆头400包括探针410、压块420和紧固件430,探针410包括探针主体411、与探针主体连接的探针头413和探针尾412,探针头413和探针尾412均与探针主体411呈一定角度并向下弯曲,压块420具有与旋转杆头400相配合的压块槽422,压块槽422的内表面具有与探针主体配合的探针槽423,旋转杆头400的上表面设有与探针主体411配合的水平槽440,侧面开有与探针尾412相配合的竖直槽450,旋转杆头400穿过压块槽422,压块420压在探针410上,探针主体411安装在探针槽423和水平槽440形成的空间内,探针尾412安装在竖直槽450内。
旋转杆头400还包括紧固件430,压块420的上表面设有紧固件槽421,旋转杆头400的上表面设有安装孔。
压块420可以沿着旋转杆头400的表面前后运动,当需要换探针410时,向后推压块420使其不压在探针410安装部位,将探针410安装好后,向前推压块420压紧探针410,并将紧固件430穿过紧固件槽421固定在安装孔内。