CN110818420A - 一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种SiC掺杂TaxHf1‑xC陶瓷及其制备方法。其技术方案是:先将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,搅拌,在180~240℃条件下保温,蒸馏,得到Ta1‑xHfxC陶瓷前驱体,0.01≤x≤0.99。再将所述Ta1‑xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,搅拌,干燥,得到Si‑TaxHf1‑xC陶瓷前驱体。然后将所述Si‑TaxHf1‑xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内并置于炭化炉中,在氩气气氛下升温至1600~1800℃,保温,冷却,得到SiC掺杂TaxHf1‑xC陶瓷。本发明具有工艺简单、成本低、生产周期短、能耗低和产率高特点,所制备的SiC掺杂TaxHf1‑xC陶瓷纯度高、均匀性好和高温抗氧化性能优异。
Description
技术领域
本发明属于高温陶瓷技术领域。具体涉及一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法。
背景技术
TaC与HfC作为常用的过渡金属碳化物之一,具有高熔点(>3600℃)、高硬度(TaC:18.9GPa,HfC:22.1GPa)、高模量(TaC:537GPa,HfC:461GPa)和机械加工性能好的特点,被广泛运用于航空航天器中的高温防护中。TaC与HfC均为NaCl型晶体结构,能以任意比例形成无限固溶体。通过改变TaC与HfC的摩尔比,能形成具有不同物理性能的固溶体陶瓷。在该体系中,当TaC与HfC的比为4∶1时,能形成目前熔点最高的物质Ta4HfC5(4215k)。
Ta4HfC5仅在1800℃以上才有良好的高温抗氧化性能,采用引入杂原子的方法能极大地步扩展Ta4HfC5的高温抗氧化范围。SiC陶瓷是常用的高温陶瓷之一。在高温有氧的条件下,SiC能与氧气发生反应生成SiO2保护膜,阻止材料的进一步氧化。Ta4HfC5在高温有氧的条件下生成Ta2O5、HfO2和Hf6Ta2O17。其中,Ta2O5的熔点为1800℃,HfO2的熔点为2750℃,Hf6Ta2O17熔点介于二者之间。熔点为1600℃的SiO2与这些过渡金属氧化物形成氧化协同效应,极大扩展Ta4HfC5的高温抗氧化范围。
目前,大部分研究人员都是通过等离子火花烧结法制备Ta4HfC5陶瓷粉体,但是高温高压条件始终不利于大规模工业化生产。使用前驱体裂解法是最适合生产高温陶瓷的方法之一,如“一种简易批量合成高纯五碳化四钽铪陶瓷”(CN 109400165 A)专利技术,公开了制备Ta4HfC5陶瓷前驱体技术,但该技术为使反应顺利进行,采用多种原料和多步骤,使用氨水滴定析出前驱体,增加了原料成本和操作难度。又如“一种铪钽硅三元复相陶瓷前驱体、碳/铪钽碳固溶体-碳化硅陶瓷基复合材料及其制备方法”(CN 110002892 A)专利技术,虽制备了碳/铪钽碳固溶体-碳化硅陶瓷。但是该技术采用聚碳硅烷物理混合,陶瓷均一性差,在高温下不能形成良好均匀的保护膜,导致陶瓷的高温抗氧化性能较差。
发明内容
本发明旨在克服现有技术缺陷,目的在于提供一种工艺简单、成本低、生产周期短、能耗低和产率高的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法,所制备的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷纯度高、均匀性好和高温抗氧化性能优异。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.25~0.5)∶(1-x)∶x∶(0.2~1.2),0.01≤x≤0.99;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在60~120℃和500~1200r/min条件下搅拌0.5~2h,得到钽铪络合物。
步骤2、将所述钽铪络合物在180~240℃条件下保温0.5~2.5h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.01≤x≤0.99。
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(0.1~2),将所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.1~0.25)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在30~60℃和500~1200r/min条件下搅拌0.15~0.5h,得到凝胶。
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.01≤x≤0.99;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1600~1800℃,保温0.5~1h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
所述的无水醇类为无水甲醇、无水乙醇和正丁醇中的一种。
所述的钽盐为五氯化钽,氯氧化钽,乙醇钽和乙酰丙酮钽中的一种。
所述的铪盐为四氯化铪、氯氧化铪、乙醇铪和乙酰丙酮铪中的一种。
所述的碳源为酚醛树脂、沥青二甲苯可溶物、对二苯酚和1,4-丁二醇中的一种。
所述的硅源为正硅酸乙酯、硅溶胶和聚碳硅烷的一种。
本发明与现有技术相比具有如下有益效果:
1.本发明在整个制备过程中,Ta1-xHfxC陶瓷前驱体溶液处于常压状态下,避免了使用高压发应釜带来的风险,安全系数高,成本低。
本发明采用蒸馏法制取Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,避免了利用氨水滴定造成TaxHf1-xC陶瓷纯度不高与产率降低等问题,故本发明不仅产率高,且制备的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷纯度高。
2.本发明在制备过程中利用蒸馏法去除溶剂、副产物以及未反应的小分子,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,解决了高温环境下分解产生的HCl对设备的腐蚀问题。提高设备的使用寿命,降低了生产成本。
3.本发明采用一锅法制备Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,工艺和设备简单,操作方便、周期短和能耗低和易于工业化生产。
4.本发明在整个制备过程中,利用SiO2与HfO2,Ta2O5和Hf6Ta2O17的协同效应,极大地提高了SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的高温抗氧化性能;另由于采用溶胶凝胶法制备出Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,使其达到分子级别掺杂,所制制品不仅均匀性好,还能显著提高陶瓷的高温抗氧化性能。
因此,本发明具有工艺简单、成本低、生产周期短、能耗低和产率高特点,所制备的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷纯度高、均匀性好和高温抗氧化性能优异。
附图说明
图1是本发明制备的一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的XRD图谱;
图2是图1所示SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的SEM照片。
具体实施方式
为了更好地解释本发明,以下结合附图和具体实施方式作进一步描述,并非对其保护范围的限制。
实施例1
一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法。本实施例所述的制备方法的步骤是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.25~0.29)∶(1-x)∶x∶(0.2~0.35),0.01≤x≤0.15;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在60~70℃和500~1200r/min条件下搅拌1.75~2h,得到钽铪络合物。
步骤2、将所述钽铪络合物在230~240℃条件下保温0.5~0.9h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.01≤x≤0.15。
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(0.1~0.5),将所述Ta1- xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.1~0.13)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在30~35℃和500~1200r/min条件下搅拌0.15~0.25h,得到凝胶。
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.01≤x≤0.99;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1600~1650℃,保温0.9~1h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
所述的无水醇类为无水甲醇。
所述的钽盐为五氯化钽。
所述的铪盐为四氯化铪。
所述的碳源为酚醛树脂。
所述的硅源为正硅酸乙酯。
实施例2
一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法。本实施例所述的制备方法的步骤是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.29~0.33)∶(1-x)∶x∶(0.35~0.5),0.15≤x≤0.30;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在70~80℃和500~1200r/min条件下搅拌1.5~1.8h,得到钽铪络合物。
步骤2、将所述钽铪络合物在220~230℃条件下保温0.8~1.2h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.15≤x≤0.30。
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(0.4~0.8),将所述Ta1- xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.13~0.16)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在35~40℃和500~1200r/min条件下搅拌0.20~0.30h,得到凝胶。
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.15≤x≤0.30;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1630~1680℃,保温0.8~0.9h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
所述的无水醇类为无水乙醇。
所述的钽盐为氯氧化钽。
所述的铪盐为氯氧化铪。
所述的碳源为沥青二甲苯可溶物。
所述的硅源为硅溶胶。
实施例3
一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法。本实施例所述的制备方法的步骤是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.33~0.37)∶(1-x)∶x∶(0.5~0.65),0.30≤x≤0.45;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在80~90℃和500~1200r/min条件下搅拌1.25~1.5h,得到钽铪络合物。
步骤2、将所述钽铪络合物在210~220℃条件下保温1.1~1.5h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.30≤x≤0.45。
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(0.7~1.1),将所述Ta1- xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.16~0.19)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在40~45℃和500~1200r/min条件下搅拌0.25~0.35h,得到凝胶。
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.30≤x≤0.45;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1660~1710℃,保温0.7~0.8h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
所述的无水醇类为正丁醇。
所述的钽盐为乙醇钽。
所述的铪盐为乙醇铪。
所述的碳源为对二苯酚。
所述的硅源为聚碳硅烷。
实施例4
一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法。本实施例所述的制备方法的步骤是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.37~0.41)∶(1-x)∶x∶(0.65~0.8),0.45≤x≤0.60;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在90~100℃和500~1200r/min条件下搅拌1.0~1.25h,得到钽铪络合物。
步骤2、将所述钽铪络合物在200~210℃条件下保温1.4~1.8h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.45≤x≤0.60。
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(1.0~1.4),将所述Ta1- xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.19~0.21)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在45~50℃和500~1200r/min条件下搅拌0.3~0.4h,得到凝胶。
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.45≤x≤0.60;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1690~1740℃,保温0.65~0.7h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
所述的无水醇类为无水甲醇。
所述的钽盐为乙酰丙酮钽。
所述的铪盐为乙酰丙酮铪。
所述的碳源为1,4-丁二醇。
所述的硅源为正硅酸乙酯。
实施例5
一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法。本实施例所述的制备方法的步骤是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.41~0.45)∶(1-x)∶x∶(0.8~0.95),0.60≤x≤0.75;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在100~110℃和500~1200r/min条件下搅拌0.75~1.0h,得到钽铪络合物。
步骤2、将所述钽铪络合物在190~200℃条件下保温1.7~2.1h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.60≤x≤0.75。
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(1.3~1.7),将所述Ta1- xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.21~0.24)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在50~55℃和500~1200r/min条件下搅拌0.35~0.45h,得到凝胶。
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.60≤x≤0.75;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1720~1770℃,保温0.60~0.65h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
所述的无水醇类为无水乙醇。
所述的钽盐为五氯化钽。
所述的铪盐为四氯化铪。
所述的碳源为酚醛树脂。
所述的硅源为硅溶胶。
实施例6
一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷及其制备方法。本实施例所述的制备方法的步骤是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.45~0.5)∶(1-x)∶x∶(0.95~1.2),0.75≤x≤0.99;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在110~120℃和500~1200r/min条件下搅拌0.5~0.75h,得到钽铪络合物。
步骤2、将所述钽铪络合物在180~190℃条件下保温2.0~2.5h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.75≤x≤0.99。
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(1.6~2),将所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶。
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.24~0.25)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在55~60℃和500~1200r/min条件下搅拌0.4~0.5h,得到凝胶。
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.75≤x≤0.99;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1750~1800℃,保温0.5~0.6h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
所述的无水醇类为正丁醇。
所述的钽盐为氯氧化钽。
所述的铪盐为乙醇铪。
所述的碳源为1,4-丁二醇。
所述的硅源为聚碳硅烷。
本具体实施方式与现有技术相比具有以下优点和积极效果:
1.本具体实施方式在整个制备过程中,Ta1-xHfxC陶瓷前驱体溶液处于常压状态下,避免了使用高压发应釜带来的风险,安全系数高,成本低。
本具体实施方式采用蒸馏法制取Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,避免了利用氨水滴定造成TaxHf1-xC陶瓷纯度不高与产率降低等问题,故本具体实施方式不仅产率高,且制备的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷纯度高。
2.本具体实施方式在制备过程中利用蒸馏法去除溶剂、副产物以及未反应的小分子,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,解决了高温环境下分解产生的HCl对设备的腐蚀问题。提高设备的使用寿命,降低了生产成本。
3.本具体实施方式采用一锅法制备Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,工艺和设备简单,操作方便、周期短和能耗低和易于工业化生产。
4.本具体实施方式在整个制备过程中,利用SiO2与HfO2,Ta2O5和Hf6Ta2O17的协同效应,极大地提高了SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的高温抗氧化性能;另由于采用溶胶凝胶法制备出Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,使其达到分子级别掺杂,所制制品不仅均匀性好,还能显著提高陶瓷的高温抗氧化性能。
本具体实施方式制备的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷如附图所示:图1是实施4制备的一种SiC掺杂Si-TaHfC2陶瓷的XRD图谱;图2是图1所示SiC掺杂Si-TaHfC2陶瓷的SEM照片。
图1为Si-TaHfC2陶瓷前驱体在1800℃下热解得到的陶瓷XRD图谱。从图1可以看出:SiC掺杂Si-TaHfC2陶瓷的XRD图谱中出现了TaHfC2峰位,说明得到了TaHfC2陶瓷,SiC的XRD的吸收峰的出现证明了SiC的生成。在SiC掺杂Si-TaHfC2陶瓷的XRD图谱中可以看出,TaHfC2的峰较为宽泛。根据谢利公式可知,生产出来的陶瓷晶体颗粒在纳米级。因为表面效应与尺寸效应的作用,使得本发明生产的陶瓷具有更好的物理性能。因此,所制备的SiC掺杂TaxHf1-xC复相陶瓷具有晶粒小和抗氧化性能好等一系列优良特性。
从图2可以看出,产生的陶瓷颗粒呈现大小均匀的球状,颗粒细小,表明所制备的SiC掺杂TaHfC2陶瓷粉体具有颗粒细小和均匀性好的特点。
因此,本具体实施方式具有工艺简单、成本低、生产周期短、能耗低和产率高特点,所制备的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷纯度高、均匀性好和高温抗氧化性能优异。
Claims (7)
1.一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法,其特征在于所述制备方法的步骤是:
步骤1、按无水醇类∶乙酰丙酮∶钽盐∶铪盐∶碳源的物质的量的比为2∶(0.25~0.5)∶(1-x)∶x∶(0.2~1.2),0.01≤x≤0.99;将无水醇类、乙酰丙酮、钽盐、铪盐和碳源混合,在60~120℃和500~1200r/min条件下搅拌0.5~2h,得到钽铪络合物;
步骤2、将所述钽铪络合物在180~240℃条件下保温0.5~2.5h,于60~120℃蒸馏1~1.5h,得到Ta1-xHfxC陶瓷前驱体,0.01≤x≤0.99;
步骤3、按所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体∶硅源的质量比为1∶(0.1~2),将所述Ta1-xHfxC陶瓷前驱体与硅源混合均匀,得到溶胶;
步骤4、按所述溶胶∶乙醇∶去离子水的质量比为1∶(0.1~0.25)∶(0.1~0.15),将所述乙醇和所述去离子水加入所述溶胶中,在30~60℃和500~1200r/min条件下搅拌0.15~0.5h,得到凝胶;
步骤5、将所述凝胶于40~75℃条件下干燥1~3h,得到Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体,0.01≤x≤0.99;将所述Si-TaxHf1-xC陶瓷前驱体放入石墨坩埚内,再将所述石墨坩埚置于炭化炉中,在氩气气氛和5~15℃/min的速率条件下,升温至1600~1800℃,保温0.5~1h,自然冷却,得到SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
2.根据权利要求1所述SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法,其特征在于所述的无水醇类为无水甲醇、无水乙醇和正丁醇中的一种。
3.根据权利要求1所述SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法,其特征在于所述的钽盐为五氯化钽,氯氧化钽,乙醇钽和乙酰丙酮钽中的一种。
4.根据权利要求1所述SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法,其特征在于所述的铪盐为四氯化铪、氯氧化铪、乙醇铪和乙酰丙酮铪中的一种。
5.根据权利要求1所述SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法,其特征在于所述的碳源为酚醛树脂、沥青二甲苯可溶物、对二苯酚和1,4-丁二醇中的一种。
6.根据权利要求1所述SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法,其特征在于所述的硅源为正硅酸乙酯、硅溶胶和聚碳硅烷的一种。
7.一种SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷,其特征在于所述SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷是根据权利要求1~6项中任一项所述SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷的制备方法所制备的SiC掺杂TaxHf1-xC陶瓷。
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