JPH0629153B2 - ガラスセラミツクス製品およびその製造方法 - Google Patents

ガラスセラミツクス製品およびその製造方法

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JPH0629153B2
JPH0629153B2 JP60144555A JP14455585A JPH0629153B2 JP H0629153 B2 JPH0629153 B2 JP H0629153B2 JP 60144555 A JP60144555 A JP 60144555A JP 14455585 A JP14455585 A JP 14455585A JP H0629153 B2 JPH0629153 B2 JP H0629153B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガラス質マトリツクス中に雲母微結晶を分散含
有するガラスセラミツクスに関する。
〔従来の技術〕
ガラス質マトリツクス中に雲母微結晶を分散含有するガ
ラスセラミツクスは優れた誘電的性質、耐熱衝撃性、良
好な機械加工性を有し、フアインセラミツクスの用途を
拡大できる素材として有望視されており、特にフツ素金
雲母微結晶を分散含有するガラスセラミツクスは、高温
安定性も優れ良好な素材である。
この様なガラスセラミツクスの製造方法として最終製品
が必要量のフツ素金雲母微結晶を形成含有するに適した
組成となるように原料成分の粉末混合物を調製し、これ
を少なくとも1400℃付近の高温に加熱して溶融してガラ
ス質マトリツクスを形成し、一旦これを冷却すると同時
に最終製品の所望形状に固化成形し、次いで再度750〜1
100℃の高温で長時間熱処理を行なって所望の製品を得
る方法が知られている(たとえば特公昭54-34775)。こ
の方法では溶融して均一な非晶質のマトリツクスを得る
ために少なくとも1400℃付近の高温に加熱する必要があ
るが、そのためにフツ素を多量に含有している材料自身
の反応性が大きくなり、容器等の損耗が顕著である。ま
た、溶融物を所望の型に流し込んで固化させる際、寸法
の大きい成形体の場合は冷却時にその表面部分と内部と
の温度差が大きくなるのを避けられず、このために固化
物の組織は不均一となり、ひいては熱処理後の最終製品
も非均質となる。従って寸法の大きい良質の製品を得る
ことが困難であった。更に、1400℃前後での加熱溶融、
冷却固化、750〜110℃での再熱処理を行なうので、熱エ
ネルギーコストが一段とかさむ欠点を有している。
さらにこの方法においては、ガラス化のための溶融温度
を低下させ、かつフツ素金雲母の結晶の成長を促進する
目的でB2O3を添加しているが、B2O3は比較的融点が低い
ので、得られる製品の抗折強度の低下を招き、またその
耐熱温度が1000℃以下のものしか得られないという欠点
があった。
また、別の製造方法としてフツ素金雲母結晶の微粉末
を、これより融点の低い結合材、例えばガラス、燐塩
酸、低融点雲母などと共に焼結して該ガラスセラミツク
スを得る方法がある。この方法では前記方法の欠点の一
つの熱エネルギーコストの高いことは解消出来るが、耐
熱性はマトリツクスとしての結合材に支配されて低くな
り、またフツ素金雲母結晶質の含有比率が低くなるので
製品品質が劣化する。
本発明者らはこれらの欠点を解消した新しいフッ素金雲
母微結晶含有ガラスセラミツクスの製造法として、アル
コキシド化合物およびフツ素化合物を出発原料とし、溶
融温度まで加熱しないでセラミツクスを製造する方法を
先に特許出願した〔特公平4-4260号(特願昭59-70917
号)〕が、この発明方法で製造した製品においても、そ
の抗折強度は最大で1200Kgf/cm2、その耐熱温度は約100
0℃である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
近年、ガラスセラミツクス製品の用途範囲が拡がるに従
って、その機械加工性を損うことなく、従来より更に大
きい抗折強度と、更に高い耐熱温度を有するものの出現
が強く望まれていた。
本発明はこの要望にこたえたもので、前記従来法の欠点
を解消し、抗折強度1500Kgf/cm2以上、耐熱温度約1100
℃で、かつ優れた誘電特性、良好な機械加工性を有する
ガラスセラミツクス製品およびその製造方法を提供する
ものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、重量比でSiO2成分35〜60%、AI2O3成分10〜2
0%、MgO成分10〜25%、K2O成分3〜15%およびF成分
2〜15%を含有し、かつB2O3成分を含有せず、さらにフ
ツ素金雲母微結晶を重量基準で40〜70%含有するガラス
セラミツクス製品、および極性溶媒中に酸化物とした時
点の重量比でSiO235〜60%、AI2O310〜20%、MgO10〜25
%、K2O3〜15%およびF成分2〜15%となるような割
合で各種金属成分のアルコキシド化合物およびフツ素化
合物を混合溶解したものを出発原料とし、これに水を加
えて加水分解反応を行なわしめた後脱水乾燥し、熱処理
することを特徴とするフツ素金雲母微結晶を重量基準で
40〜70%含有するガラスセラミツクス製品の製造方法で
ある。
本発明の製造法において用いる各成分の割合は前述の如
く酸化物とした時点の重量比でSiO235〜60%、AI2O310
〜20%、MgO10〜25%、K2O3〜15%、F成分2〜15%で
あるが、各成分のいずれかが限定範囲をばすれた場合、
フツ素金雲母の生成量が異なってくる。例えばSiO2が増
加すればガラス量が増え、フツ素金雲母微結晶が減少す
るため機械加工性が悪くなる。逆にSiOが減少すれ
ばフツ素金雲母は増加するが、焼結性状が悪くなる。ま
た、成分比が異なってくるとMg2SiO4などが副生物とし
て生成するようになる。なお、原料中の金属成分は、そ
の全てがアルコキシド化合物である必要はなく、一部は
塩化物や硝酸塩などの、極性溶媒に可溶な、その他の金
属化合物の形のものを使用することができる。
アルコキシド化合物としては、低級アルキル基、特にC
〜Cのアルキル基を有するアルコキシドを使用する
のが、その製造も容易で好ましい。
フツ素化合物としては、極性溶媒に可溶であれば何でも
使用出来るが、例として3−アミノベンゾトリフルオリ
ド(NH2C6H4CF3)が好適である。
極性溶媒としては、アルコール類(C〜C)、ケト
ン類(アセトン、MEK、アセトフエノン等)などが好適
である。その使用量はガラスセラミツクス基準で、その
1Kg当り5〜15の範囲が適当である。なお、極性溶媒
に難溶性のアルコキシド化合物をベンゼン等の非極性溶
媒に溶解して使用したり、アルコキシド化合物の製造時
に用いた非極性溶媒を分離することなくそのまゝ使用す
ることもあるが、ガラスセラミツクス基準でその1Kg当
り1〜5程度の非極性溶媒が出発原料系中に混在して
いても、それは本発明の実施に悪影響を及ぼすものでは
ない。
本発明の製造法の加水分解条件は次の通りである。即ち
添加する水の量は、アルコキシドの分解に必要な理論量
の1〜10倍を使用する。少なすぎるとフツ素金雲母の生
成量が少なくなり、逆に多すぎると各アルコキシド成分
の加水分解速度の違いが顕著となり、その結果得られる
ゲルが不均一になる。pHは6.5以上が好適である。pHが
低いとシリコンアルコキシドの加水分解が遅くなり、不
均一なゲルが生じる。そのためガラスセラミツクス中に
異なった化合物(例えばMg2SiO4)が生成することがあ
り好ましくない。また、温度は25〜100℃の範囲であ
り、60℃前後が好ましい。
アルコキシド化合物の混合溶液(このなかには所望によ
り化合物のうちの1部を、前述の通り、極性溶媒に可溶
な非アルコキシド化合物で置換したものを含有していて
もよい)に水を加えて加水分解し、さらに続けて40〜10
0℃で加温を続けると次第にゲル化してくる。このゲル
状物を25〜130℃で脱水乾燥し、500〜800℃で1〜12時
間加熱する。この第一段熱処理中に、ゲル状物は非晶質
物質に変り、最終的にはフツ素金雲母となるセライトが
生成する。引続き800〜1100℃で1〜12時間加熱(第二
段熱処理)すると、セライトを核としてフツ素金雲母の
結晶の種が生成する。このように前処理工程を二段に分
けて行なうことによりフツ素金雲母結晶の核の生成がよ
り容易になり、製品の品質が向上する。ここで得られる
中間物質は、この前処理工程の過程において溶媒あるい
は過剰水分の揮発のため容積の収縮が起こり、歪曲した
形状となり易い。そのため、この段階で一旦粉砕して微
粉状とし、改めて所要の形状に成形した後1100〜1300℃
で第三段の熱処理(焼成)を行なうのが好ましい。この
熱処理により、非晶質の成形物中に分散していたフツ素
金雲母微結晶はさらに成長発達し、最終的にフツ素金雲
母微結晶の含有量の高い、良好なガラスセラミツクス製
品となる。
前処理工程ではフツ素金雲母微結晶の核をできるだけ多
数生成してやることが必要であり、例えば特願昭59-709
17の発明では、このために核生成助剤としてB2O3を添加
している。
これに対し本発明では、B2O3のような特別な助剤を添加
することなく、前処理工程および焼成工程の熱処理条件
を改善することにより、特公平4-4260号(特願昭59-709
17号)の方法で得られる製品に比較してフツ素金雲母微
結晶がより小さく、より緻密に成長した抗折強度および
耐熱温度の高い製品が得られるのである。
本発明のガラスセラミツクスは、フツ素金雲母の微結晶
を重量基準で40〜70%含有しており、その結晶構造を電
顕写真で観察すると、ガラスマトリツクス中に約10μm
のフツ素金雲母の薄片状微結晶が全面に均一かつ緻密に
分布している。
〔発明の効果〕
本発明のガラスセラミツクス製品はフツ素金雲母微結晶
の含有率が40%を超えており、きわめて優れた機械加工
性を有する。すなわちドリルによる穿孔や旋盤等による
切削加工が容易である。また1100℃前後の温度での長時
間の加熱により、このガラスセラミツクス物品は収縮や
変形あるいは強度劣化を起こすことなく、機械部材とし
て十分な強度を有している。即ち、従来品に較べて更に
大きい抗折強度と、更に高い耐熱温度を有している。
〔実施例〕
以下、実施例により、本発明を更に説明する。
なお、以下の実施例および比較例において機械加工性の
良否は、切削条件を一定にして旋盤による切削試験(切
削速度50m/mm、バイトの切込み量0.5mm、バイトの送り
量0.05mm/rev.)を行ない、切削工具の摩耗量、切削時
の抵抗の大きさ、表面の仕上げ度により判断した。すな
わちバイトの逃げ面摩耗量がある大きさに達するまで
の切削長さ、切削時のバイトに加わる力(主分力、送
り分力および背分力)の大きさ、仕上げ面の状態を測
定し、快削性セラミツクスとして市販されているサンプ
ルと比較し、その性能の良否を判定した。また試料を10
時間その温度に保持後の抗折強度の低下が20%未満の場
合の最高温度を耐熱温度として表示している。
実施例1 出発原料としてシリコンテトラエトキシド(Si(OC2H5)4)
163部、マグネシウムメトキシド(Mg(OCH3)236部、カリ
ウムメトキシド(KOCH3)16部、3−アミノベンゾトリフ
ルオリド(NH2C6H4CF3)25部をメタノール1200部に溶解
し、アルミニウムイソプロポキシド(A1(i-OC3H7)3)64部
をベンゼン300部に溶解した液を加えて混合した。次い
でPH11に調製した水204部を滴下し加水分解を行なっ
た。
溶液が完全に白色ゲル化した時点で取出し、110℃で乾
燥し、130部の乾燥体を得た。この乾燥体を粗砕した
後、700℃で4時間、引き続いて1000℃で4時間熱処理
を行ない103部の非晶質物質を得た。これを粉砕、顆粒
化したのち600Kgf/cm2で加圧成形したのち、第三段の熱
処理(1200℃、4時間)を行なった。得られた白色のガ
ラスセラミツク製品は電子顕微鏡で観察すると、ガラス
質のマトリツクス中にフツ素金雲母の結晶が均一に分散
しているのが確認され、結晶化率は約45%であった。ま
たX線回析からはフツ素金雲母と、わずかのセライトが
認められた。
このガラスセラミツク製品は機械加工性が良好で、抗折
強度は2100Kgf/cm2を示した。
実施例2〜23 最終製品における各成分の割合が酸化物に換算して表1
の組成となるように各原料の使用量を変化させ、さらに
熱処理の条件を変化させたほかは実施例1と同様にして
ガラスセラミツク製品を製造した結果を、実施例1の結
果と合わせて表1に示す。
実施例24〜29 原料として用いるアルコキシド化合物の一部を極性溶媒
に可溶な化合物に置き換えて製造した結果を表2に示
す。表2より明らかなように、アルコキシド化合物の一
部を極性溶媒に可溶な化合物に置き換えてもほぼ同等の
性状の製品を得ることができた。なお、熱処理条件は実
施例1の場合と同様にして行なった。
比較例1 焼結助剤としてB2O3を7%相当量添加し、二段焼成で製
造したガラスセラミツクス製品の性状を表3に示す。本
発明の実施例による製品と比較して抗折強度、耐熱温度
とも低くなっている。
比較例2〜17 熱処理条件は実施例1の場合と同一にし、各成分の組成
を大幅に変えた結果を表4に示す。
各成分の組成が大幅に指定範囲を越えるとフツ素金雲母
結晶の生成量が変化し、好ましくない結晶成分が副成物
として生成したりするため機械加工性や焼結性に悪影響
を与えることがわかる。
フロントページの続き (72)発明者 浜崎 俊夫 福岡県田川市大字弓削田3826番地 三井鉱 山株式会社田川事業所内 (72)発明者 江口 勝哉 福岡県田川市大字弓削田3826番地 三井鉱 山株式会社田川事業所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】重量比でSiO2成分35〜60%、AI2O3成分10
    〜20%、MgO成分10〜25%、K2O成分3〜15%およびF成
    分2〜15%を含有し、かつB2O3成分を含有せず、さらに
    フツ素金雲母微結晶を重量基準で40〜70%含有するガラ
    スセラミツクス製品。
  2. 【請求項2】極性溶媒中に、酸化物とした時点の重量比
    でSiO235〜60%、AI2O310〜20%、MgO10〜25%、K2O3
    〜15%およびF成分2〜15%となるような割合で各種金
    属成分のアルコキシド化合物およびフツ素化合物を混合
    溶解したものを出発原料とし、これに水を加えて加水分
    解反応を行なわせしめた後脱水乾燥し、熱処理すること
    を特徴とするフツ素金雲母微結晶を重量基準で40〜70%
    含有するガラスセラミツクス製品の製造方法。
  3. 【請求項3】前記アルコキシド化合物の一部を、極性溶
    媒に可溶な、他の金属化合物に置き換えたものを出発原
    料とする、特許請求の範囲第2項に記載のガラスセラミ
    ツクス製品の製造方法。
  4. 【請求項4】前記脱水乾燥を25〜130℃で実施し、前記
    熱処理を500〜800℃で1〜12時間(第一段熱処理)、次
    いで800〜1100℃で1〜12時間(第二段熱処理)加熱す
    る前処理工程と、前処理工程に次いで粉砕および所望形
    状への成形を行なったのち1100〜1300℃で1〜15時間加
    熱し、焼結とフツ素金雲母微結晶の成長とを同時に行な
    わせしめる焼成工程(第三段熱処理)とにより実施す
    る、特許請求の範囲第2項または第3項に記載のガラス
    セラミツクス製品の製造方法。
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DE8686302780T DE3680597D1 (de) 1985-07-03 1986-04-15 Glaskeramischer gegenstand und verfahren zur herstellung desselben.
EP86302780A EP0207591B1 (en) 1985-07-03 1986-04-15 Glass-ceramic product and method of making the same
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2606851B2 (ja) * 1987-10-20 1997-05-07 三井鉱山株式会社 ガラスセラミックスの製造方法
US4998542A (en) * 1989-02-23 1991-03-12 Philip Morris Incorporated Wrapper for smoking articles and method for preparing same
JP2999486B2 (ja) * 1989-10-03 2000-01-17 三井鉱山株式会社 マシナブルセラミックスの製造方法
JP3254068B2 (ja) * 1994-01-05 2002-02-04 昌 松井 真珠核材料用結晶化ガラスとその製法
JPH09249457A (ja) * 1996-01-09 1997-09-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 高強度窒化ケイ素多孔体及びその製造方法
JP5133964B2 (ja) * 2009-11-06 2013-01-30 湖州大享玻璃制品有限公司 MgO−Al2O3−SiO2系結晶性ガラス及び結晶化ガラス、並びに該結晶性ガラス及び結晶化ガラスの製造方法
RU2574642C1 (ru) * 2014-12-29 2016-02-10 Общество с ограниченной ответственностью "Объединенная Компания РУСАЛ Инженерно-технологический центр" Способ получения плавленолитого калиевого фторфлогопита
US11518707B2 (en) * 2019-04-02 2022-12-06 Corning Incorporated Chemically strengthenable machinable glass-ceramics

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE132332C (ja) *
US3325265A (en) * 1963-08-08 1967-06-13 Corning Glass Works Method of making synthetic mica bodies
BE754786A (fr) * 1969-08-13 1971-01-18 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Procede pour la preparation de matieres a plusieurs composants,transparentes en particulier vitreuses
US3689293A (en) * 1970-07-08 1972-09-05 Corning Glass Works Mica glass-ceramics
US3791808A (en) * 1971-12-23 1974-02-12 Owens Illinois Inc Method for producing glass ceramics
US3905824A (en) * 1974-11-11 1975-09-16 Corning Glass Works Glass-ceramic articles with oriented mica crystals and method
US3997352A (en) * 1975-09-29 1976-12-14 Corning Glass Works Mica-spodumene glass-ceramic articles
US4266978A (en) * 1979-06-25 1981-05-12 General Electric Company Synthesis of mixed oxide composition
EP0022655B1 (en) * 1979-07-13 1985-09-18 Corning Glass Works Dental constructs and tools and production thereof
US4414281A (en) * 1982-02-16 1983-11-08 Corning Glass Works Glass-ceramic articles having metallic surfaces
US4390634A (en) * 1982-02-16 1983-06-28 Corning Glass Works Calcium fluorophlogopite glass-ceramics

Also Published As

Publication number Publication date
EP0207591B1 (en) 1991-07-31
EP0207591A2 (en) 1987-01-07
DE3680597D1 (de) 1991-09-05
US4777151A (en) 1988-10-11
EP0207591A3 (en) 1987-06-16
JPS627649A (ja) 1987-01-14
CA1247149A (en) 1988-12-20

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