CN110476292A - 固态锂基薄膜电池的阳极结构 - Google Patents

固态锂基薄膜电池的阳极结构 Download PDF

Info

Publication number
CN110476292A
CN110476292A CN201880022855.0A CN201880022855A CN110476292A CN 110476292 A CN110476292 A CN 110476292A CN 201880022855 A CN201880022855 A CN 201880022855A CN 110476292 A CN110476292 A CN 110476292A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lithium
solid
state
base
battery
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201880022855.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110476292B (zh
Inventor
李允锡
D·萨达纳
J·P·德索萨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of CN110476292A publication Critical patent/CN110476292A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110476292B publication Critical patent/CN110476292B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/04—Construction or manufacture in general
    • H01M10/0436—Small-sized flat cells or batteries for portable equipment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/04—Construction or manufacture in general
    • H01M10/049—Processes for forming or storing electrodes in the battery container
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/052—Li-accumulators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/052—Li-accumulators
    • H01M10/0525—Rocking-chair batteries, i.e. batteries with lithium insertion or intercalation in both electrodes; Lithium-ion batteries
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/056—Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes
    • H01M10/0561—Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes the electrolyte being constituted of inorganic materials only
    • H01M10/0562—Solid materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/058—Construction or manufacture
    • H01M10/0585—Construction or manufacture of accumulators having only flat construction elements, i.e. flat positive electrodes, flat negative electrodes and flat separators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00—Electrodes
    • H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/04—Processes of manufacture in general
    • H01M4/0438—Processes of manufacture in general by electrochemical processing
    • H01M4/044—Activating, forming or electrochemical attack of the supporting material
    • H01M4/0445—Forming after manufacture of the electrode, e.g. first charge, cycling
    • H01M4/0447—Forming after manufacture of the electrode, e.g. first charge, cycling of complete cells or cells stacks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M50/00—Constructional details or processes of manufacture of the non-active parts of electrochemical cells other than fuel cells, e.g. hybrid cells
    • H01M50/20—Mountings; Secondary casings or frames; Racks, modules or packs; Suspension devices; Shock absorbers; Transport or carrying devices; Holders
    • H01M50/233—Mountings; Secondary casings or frames; Racks, modules or packs; Suspension devices; Shock absorbers; Transport or carrying devices; Holders characterised by physical properties of casings or racks, e.g. dimensions
    • H01M50/24—Mountings; Secondary casings or frames; Racks, modules or packs; Suspension devices; Shock absorbers; Transport or carrying devices; Holders characterised by physical properties of casings or racks, e.g. dimensions adapted for protecting batteries from their environment, e.g. from corrosion
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M2220/00—Batteries for particular applications
    • H01M2220/30—Batteries in portable systems, e.g. mobile phone, laptop
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M2300/00—Electrolytes
    • H01M2300/0017—Non-aqueous electrolytes
    • H01M2300/0065—Solid electrolytes
    • H01M2300/0068—Solid electrolytes inorganic
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00—Electrodes
    • H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/36—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids
    • H01M4/48—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids of inorganic oxides or hydroxides
    • H01M4/52—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids of inorganic oxides or hydroxides of nickel, cobalt or iron
    • H01M4/525—Selection of substances as active materials, active masses, active liquids of inorganic oxides or hydroxides of nickel, cobalt or iron of mixed oxides or hydroxides containing iron, cobalt or nickel for inserting or intercalating light metals, e.g. LiNiO2, LiCoO2 or LiCoOxFy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Secondary Cells (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
  • Sealing Battery Cases Or Jackets (AREA)

Abstract

提供一种固态锂基电池，其中在充电/再充电循环期间锂岛(即，团块)的形成减少或甚至消除。通过在锂基固态电解质层和固态锂基电池的顶部电极之间形成锂成核增强衬垫，可以提供锂岛(即，团块)的减少或消除。

Description

固态锂基薄膜电池的阳极结构
背景技术
本发明涉及全固态薄膜电池及其形成方法。更具体地，本申请涉及一种在充电/再充电循环期间锂块形成减少的固态锂基薄膜电池，以及形成这种薄膜电池的方法。
近年来，对诸如计算机，移动电话，跟踪系统，扫描仪，医疗设备，智能手表和健身设备之类的便携式电子设备的需求增加。便携式电子设备的一个缺点是需要在设备本身内包括电源。通常，电池用作这种便携式电子设备的电源。电池必须具有足够的容量来为便携式电子设备供电至少该设备被使用的长度。与便携式电子设备的其余部分相比，足够的电池容量可导致非常重和/或大的电源。因此，需要具有足够能量存储的更小尺寸和更轻重量的电源。这种电源可以在更小和更轻的便携式电子设备中实现。
传统电池的另一个缺点是一些电池包含可能易燃且有毒的材料，这些材料可能泄漏并且可能受到政府法规的约束。因此，期望提供一种安全、固态并且在许多充电/放电寿命周期内可再充电的电源。
一种类型的小型且重量轻，包含无毒材料并且可以在许多充电/放电循环中再充电的能量存储装置是固态锂基电池。锂基电池是可充电电池，其包括两个实现锂的两个电极。传统的固态锂基电池面临的一些挑战包括，例如，由于可用的锂损失，在循环期间的体积膨胀和/或变形，和/或薄膜电池中的机械故障。
此外，在传统的固态锂基电池中，金属锂和顶部电极之间可存在高界面能。而且，局部锂岛(即，团块)可以聚集而不是连续且均匀的锂层，这可以促进电极和固态电解质层的变形，并且最终可以导致薄膜电池内的裂缝形成。因此，需要提供一种固态锂基电池，其在金属锂和顶部电极之间具有低界面能并且可以减少，并且在一些情况下甚至消除局部锂岛的形成(即，团块)。
发明内容
根据本发明，提供一种固态锂基电池，其中在充电/再充电循环期间锂岛(即，团块)的形成减少或甚至消除。体现本发明的固态锂基电池是小而轻的薄膜电池。术语“薄膜电池”用于表示厚度为100μm或更小的电池。通过在锂基固态电解质层(lithium-basedsolid-state electrolyte layer)和固态锂基电池(solid-state lithium basedbattery)的顶部电极之间形成锂成核增强衬垫(lithium nucleation enhancementliner)，可以提供锂岛(即，团块)的减少或消除。
在本发明的一个方面，提供了一种固态锂基电池。固态锂基电池可包括底部电极。电池材料叠层位于底部电极的表面上。电池材料叠层包括锂化阴极材料层，位于所述锂化阴极材料层上的锂基固态电解质层，以及位于所述锂基固态电解质层上的锂成核增强衬垫。顶部电极位于所述电池材料叠层的所述锂成核增强衬垫上。在充电/再充电期间，锂聚集区形成在所述锂成核增强衬垫的至少一个表面上。
在本发明的另一方面，提供了一种形成固态锂基电池的方法。在一个实施例中，该方法可以包括在底部电极的表面上形成图案化的牺牲材料，其中所述图案化的牺牲材料包含物理地暴露底部电极的一部分表面的开口。接下来，在所述图案化的牺牲材料上和在所述开口中的底部电极的表面的物理暴露部分上形成锂化阴极材料层。然后在所述锂化阴极材料层上形成锂基固态电解质层，然后在所述锂基固态电解质层上形成所述锂成核增强衬垫，并在所述锂成核增强衬垫上形成顶部电极。接下来，执行剥离工艺以从所述底部电极移除所述图案化的牺牲材料和在所述图案化的牺牲材料上形成的材料，同时在所述底部电极的表面的物理暴露部分上保持材料叠层。所述材料叠层包括所述锂化阴极材料层、所述锂基固态电解质层、所述锂成核增强衬垫和所述顶部电极中每个的其余部分。在充电/再充电过程期间，锂聚集区形成在所述锂成核增强衬垫的至少一个表面上。
附图说明
图1是根据本发明实施例的包括位于可以使用的基板表面上的底部电极的示例性结构的横截面图。
图2是在底部电极的表面上形成图案化的牺牲材料之后图1的示例性结构的横截面图，其中所述图案化的牺牲材料包括物理地暴露底部电极的一部分表面的开口。
图3是在图案化的牺牲材料上和在开口中的底部电极的物理暴露部分上形成锂化阴极材料层之后图2的示例性结构的横截面图。
图4是在锂化阴极材料层上形成锂基固态电解质层之后图3的示例性结构的横截面图。
图5是在锂基固态电解质层上形成锂成核增强衬垫之后图4的示例性结构的横截面图。
图6是在锂成核增强衬垫上形成顶部电极之后图5的示例性结构的横截面图。
图7是在执行剥离工艺之后图6的示例性结构的横截面图，其中图案化的牺牲材料和其上形成的所有材料从底部电极去除，同时在所述底部电极上保持材料叠层。
图8是在形成空气和/或水分不可渗透的结构之后图7的示例性结构的横截面图。
图9是在对图8中所示的所得结构充电之后的横截面图。
具体实施方式
现在将通过参考以下讨论和附图更详细地描述本发明的实施例。应注意，所附附图仅出于说明性目的而提供，因此，附图未按比例绘制。还应注意，相同和相应的元件由相同的附图标记表示。
在以下描述中，阐述了许多具体细节，例如特定结构、组件、材料、尺寸、处理步骤和技术，以便提供对本发明各种实施例的理解。然而，本领域普通技术人员将理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践本发明的各种实施例。在其他情况下，没有详细描述公知的结构或处理步骤，以避免模糊本发明。
应当理解，当作为层、区域或基板的元件被称为在另一元件“上”或“上方”时，它可以直接在另一元件上，或者也可以存在中间元件。相反，当一个元件被称为“直接在”另一个元件上或“直接在另一个元件上”时，不存在中间元件。还应该理解，当一个元件被称为在另一个元件“下面”或“下方”时，它可以直接位于另一个元件的下面或下方，或者可以存在中间元件。相反，当一个元素被称为“直接位于”另一个元素的“正下面”或“正下方”时，不存在中间元素。
首先参见图1，示出了可以根据本发明的实施例使用的示例性结构。图1的示例性结构包括位于基板10的表面上的底部电极12。如图所示，底部电极12通常是存在于整个基板10上的连续层(没有任何有意形成的间隙或断裂)。
可以在本发明的实施例中使用的基板10包括用作固态锂基电池的基板的任何常规材料。在一个实施例中，基板10可以包括一种或多种半导体材料。术语“半导体材料”在本文中用于表示具有半导体特性的材料。
可用作基板10的半导体材料的示例包括硅(Si)，锗(Ge)，硅锗合金(SiGe)，碳化硅(SiC)，碳化硅锗(SiGeC)，III-V族化合物半导体或II-VI族化合物半导体。III-V族化合物半导体是包含元素周期表第III族中的至少一种元素和元素周期表第V族中的至少一种元素的材料。II-VI族化合物半导体是包含元素周期表第II族中的至少一种元素和元素周期表第VI族中的至少一种元素的材料。
在一个实施例中，可提供基板10的半导体材料是体半导体基板(bulksemiconductor substrate)。“体(bulk)”是指基板10完全由至少一种如上定义的半导体材料构成。在一个示例中，基板10可以完全由硅构成。在一些实施例中，体半导体基板可以包括多层半导体材料叠层，该多层半导体材料叠层包括如上所述的至少两种不同的半导体材料。在一个示例中，多层半导体材料叠层可以以任何顺序包括Si和硅锗合金的叠层。
在另一实施例中，基板10由绝缘体上半导体(SOI)基板的最顶部半导体材料层组成。SOI基板还包括处理基板(未示出)，其包括上述半导体材料中的一种，以及绝缘层(未示出)，例如在最顶部半导体材料层下面的掩埋氧化物。
在上述任何实施例中，可以提供基板10的半导体材料可以是单晶半导体材料。可以提供基板10的半导体材料可以具有任何公知的晶体取向。例如，可以提供基板10的半导体材料的晶体取向可以是{100}，{110}或{111}。除了特别提到的那些之外，还可以使用其他结晶取向。
在另一个实施例中，基板10是金属材料，例如铝(Al)，铝合金，钛(Ti)，钽(Ta)，钨(W)或钼(Mo)。
在又一个实施例中，基板10是介电材料，例如掺杂或非掺杂的硅酸盐玻璃，二氧化硅或氮化硅。在又一个实施例中，基板10由聚合物或柔性基板材料构成，例如聚酰亚胺，聚醚酮(PEEK)或透明导电聚酯。在又一个实施例中，基板10可以由至少两种上述基板材料的多层叠层构成，例如硅和二氧化硅的叠层。
可以在本申请中使用的基板10可以具有10μm至5mm的厚度。小于或大于上述厚度值的其他厚度也可用于基板10。
在一些实施例中，基板10可具有无纹理化(平坦或平面)表面。术语“无纹理化表面”表示光滑的表面并且具有通过轮廓测定法测量的小于100nm的均方根的表面粗糙度。在又一个实施例中，基板10可以具有纹理化表面。在这样的实施例中，纹理化基板的表面粗糙度可以在通过轮廓测定法测量的100nm均方根至100μm均方根的范围内。可以通过在无纹理化基板的表面上形成多个蚀刻掩模(例如，金属、绝缘体或聚合物)来执行纹理化，并且利用多个掩模作为蚀刻掩模来蚀刻无纹理化基板，并且从基板的无纹理化表面去除蚀刻掩模。在一些实施例中，基板的纹理化表面由多个锥体组成。在又一个实施例中，基板的纹理化表面由多个圆锥体组成。在一些实施例中，使用多个金属掩模，其可以通过沉积金属材料层然后执行退火来形成。在退火期间，金属材料层熔化并起球，使得发生基板表面的去湿。
底部电极12可包括任何金属电极材料，例如钛(Ti)，铂(Pt)，镍(Ni)，铝(Al)或氮化钛(TiN)。在一个示例中，底部电极12包括从底部到顶部的钛(Ti)，铂(Pt)和钛(Ti)的叠层。底部电极12可以利用沉积工艺形成，包括例如化学气相沉积(CVD)，等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，蒸发，溅射或电镀。底部电极12可以具有10nm至500nm的厚度。小于或大于上述厚度值的其他厚度也可用于底部电极12。
现在参考图2，示出了在底部电极12的表面上形成图案化的牺牲材料14之后的图1的示例性结构，其中图案化的牺牲材料14包括开口16，该开口16物理地暴露底部电极12的一部分表面。开口16限定了一个区域，其中随后将形成固态锂基电池。尽管这里描述和示出了单个开口16，但是可以形成多个开口16，其中多个开口16中的每个开口可以限定用于随后形成固态锂基电池的区域。
可以通过首先将牺牲材料(未示出)施加到底部电极12的物理暴露表面来形成图案化的牺牲材料14。在一个实施例中，牺牲材料是光刻胶材料。在这样的实施例中，光致抗蚀剂材料可以是正性光致抗蚀剂材料、负性光致抗蚀剂材料或混合色调光致抗蚀剂材料。可以利用沉积工艺(例如旋涂或刮涂)形成牺牲材料，然后进行烘烤步骤以蒸发任何残留的溶剂。牺牲材料可具有100nm至20μm的厚度。小于或大于上述厚度值的其他厚度也可用于牺牲材料。
然后图案化沉积的牺牲材料。在一个实施例中并且当牺牲材料是光致抗蚀剂材料时，可以通过将光致抗蚀剂材料暴露于期望的辐射图案来图案化光致抗蚀剂材料，然后利用常规抗蚀剂显影剂显影曝光的光致抗蚀剂材料以提供图案化的牺牲材料14。当使用非光致抗蚀剂牺牲材料时，可以通过光刻和蚀刻来图案化非光致抗蚀剂牺牲材料。
在另一实施例中，提供所述图案化的牺牲材料14的牺牲材料是阴影掩模。在这样的实施例中，阴影掩模可以是预先图案化的金属材料或预先图案化的聚合材料。预先图案化的阴影掩模材料通过机械力或可移除的粘合剂附着到图1中所示的结构。
参照图3，示出在图案化的牺牲材料14上和在开口16中的底部电极12的物理暴露部分上形成锂化阴极材料层18之后图2的示例性结构。
可用于本申请的锂化阴极材料层18包括锂基混合氧化物。可用作锂化阴极材料层18的锂基混合氧化物的实例包括但不限于锂钴氧化物(LiCoO2)，锂镍氧化物(LiNiO2)，锂锰氧化物(LiMn2O4)，五氧化二钒锂(LiV2O5)或磷酸铁锂(LiFePO4)。
可以利用诸如溅射或电镀的沉积工艺来形成锂化阴极材料层18。在一个实施例中，锂化阴极材料层18通过利用任何常规前体源材料或前体源材料的组合进行溅射而形成。在一个实例中，锂前体源材料和钴前体源材料用于形成锂钴混合氧化物。溅射可以在惰性气体和氧气的混合物中进行。在这样的实施例中，惰性气体/氧气混合物的氧含量可以为0.1原子百分率至70原子百分率，混合物的其余部分包括惰性气体。可使用的惰性气体的实例包括氩气、氦气、氖气、氮气或其任何组合。
锂化阴极材料层18可具有10nm至20μm的厚度。小于或大于上述厚度值的其他厚度也可用于锂化阴极材料层18。
参照图4，示出了在锂化阴极材料层18上形成锂基固态电解质层20之后图3的示例性结构。锂基固态电解质层20是能够导电锂离子的固体材料。这种材料可以是电绝缘的或离子导电的。可用作锂基固态电解质层20的材料的实例包括但不限于锂磷氮氧化物(LiPON)或磷硅酸锂氧氮化物(LiSiPON)。
可以利用诸如溅射或电镀的沉积工艺来形成锂基固态电解质层20。在一个实施方案中，锂基固态电解质层20通过使用任何常规前体源材料的溅射形成。溅射可以在至少含氮环境的存在下进行。可以使用的含氮环境的实例包括但不限于N2，NH3，NH4，NO或NHx，其中x在0和1之间。也可以使用上述含氮环境的混合物。在一些实施例中，含氮环境纯净使用，即未稀释。在其他实施方案中，含氮环境可以用惰性气体例如氦气(He)，氖气(Ne)，氩气(Ar)及其混合物来稀释。所用的含氮环境中的氮(N2)含量通常为10％至100％，更典型的是环境中的氮含量为50％至100％。
锂基固态电解质层20可具有10nm至10μm的厚度。其他厚度小于或大于上述厚度值的其他厚度也可用于锂基固态电解质层20。
现在参照图5，示出在锂基固态电解质层20上形成锂成核增强衬垫22之后的图4的示例性结构。锂成核增强衬垫22是覆盖整个锂基固态电解质层20的连续层。锂成核增强衬垫22包括在执行充电/再充电过程时可促进锂随后成核的材料。在一个实施例中，锂成核增强衬垫22由金(Au)，银(Ag)，锌(Zn)，镁(Mg)，钽(Ta)，钨(W)，钼(Mo)，钛-锆-钼合金(TZM)或硅(Si)组成。
可以利用沉积工艺形成锂成核增强衬垫22。可用于形成锂成核增强衬垫22的沉积工艺的实例包括化学气相沉积(CVD)，等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，蒸发，溅射或电镀。锂成核增强衬垫22的厚度大于1nm。在一个实施例中，锂成核增强衬垫22具有2nm至20nm的厚度。
现在参照图6，示出了在锂成核增强衬垫22上形成顶部电极24之后图6的示例性结构。顶部电极24可以包括任何金属电极材料，例如钛(Ti)，铂(Pt)，镍(Ni)，铜(Cu)。或氮化钛(TiN)。在一个示例中，顶部电极24包括从底部到顶部的镍(Ni)和铜(Cu)的叠层。在一个实施例中，提供顶部电极24的金属电极材料可以与提供底部电极12的金属电极材料相同。在另一个实施例中，提供顶部电极24的金属电极材料可以与金属电极材料不同。提供底部电极12的电极材料。顶部电极24可以利用上述用于形成底部电极12的沉积工艺之一形成。顶部电极24可以具有上述底部电极12的范围内的厚度。
现在参照图7，示出了在执行剥离工艺之后图6的示例性结构，在所述剥离工艺中，图案化的牺牲材料14和形成在其上的所有材料从底部电极12移除，同时在底部电极12上保持材料叠层。所述材料叠层包括锂化阴极材料层18、锂基固态电解质层20、锂成核增强衬垫22和顶部电极24中每个的其余部分。所述材料叠层位于底部电极12的物理暴露部分上。
在一个实施例中，剥离工艺包括利用对于去除牺牲材料有选择性的溶剂或蚀刻剂去除图案化的牺牲材料14。在另一个实施例中，所述去除不包括使用溶剂，而是通过从可去除的粘合剂上剥离图案化的牺牲材料14来释放机械力或发生释放。
图7中示出的示例性结构示出了根据本发明的固态锂基电池。固态锂基电池包括底部电极12和位于底部电极12的部分表面的电池材料叠层(18,20,22)。电池材料叠层(18,20,22)包括锂化阴极材料层18、位于锂化阴极材料层18上的锂基固态电解质层20以及锂成核增强衬垫22。顶部电极24位于电池材料叠层(18,20,22)的锂成核增强衬垫22上。本申请的固态锂基电池具有快速充电速率。在一些实施例中，固态锂基电池的充电速率大于3C，其中C是每小时的总电池容量。
如图7所示，锂化阴极材料层18、锂基固态电解质层22和固态锂基电池的锂成核增强衬垫22具有彼此垂直对齐的侧壁表面。如进一步所示，固态锂基电池的顶部电极24具有与锂化阴极材料层18、锂基固态电解质层20以及固态锂基电池的锂成核增强衬垫22垂直对齐的侧壁表面。
参照图8，示出了在形成空气和/或水分不可渗透的结构26之后
图7的示例性结构。空气和/或水分不可渗透的结构26包括任何空气和/或水分不可渗透的材料或这种材料的多层叠层。可用于本发明实施例中的空气和/或水分不可渗透材料的实例包括但不限于聚对二甲苯、含氟聚合物、氮化硅和/或二氧化硅。可通过首先沉积空气和/或水分不可渗透材料并随后图案化空气和/或水分不可渗透材料来形成空气和/或水分不可渗透结构26。在一个实施例中，可以通过光刻和蚀刻来执行图案化。
图8中所示的电池现在可以进行充电/再充电过程。可以利用本领域技术人员公知的常规技术进行充电/再充电。例如，通过将本申请的固态锂基电池连接到外部电源可以对本发明的固态锂基电池进行充电/再充电。
在充电/再充电期间，锂聚集区形成在锂成核增强衬垫的至少一个(最上面和/或最下面)表面上。在一个示例中并且如图9中所示，锂聚集区28形成在锂基固态电解质层20与电池材料叠层(18,20,22)的锂成核增强衬垫22和顶部电极24之间。在充电/再充电过程中，原始形成的锂基固态电解质层20和锂成核增强衬垫22的厚度可以减小。而且，在充电/再充电过程期间，锂成核增强衬垫22可以与一些锂形成合金或可以与一些锂不形成合金。锂聚集区28和锂成核增强衬垫22共同提供体现本发明的阳极结构。在未示出的另一个实例中，但是本领域技术人员容易理解，锂聚集区形成在锂成核增强衬垫和顶部电极之间。在未示出的另一实例中，但本领域技术人员容易理解，第一锂聚集区形成在锂基固态电解质层和锂成核增强衬垫之间，并且第二锂聚集区形成在锂成核增强衬垫和顶部电极之间。
在一些实施例中，锂聚集区28连续存在于锂成核增强衬垫22的至少一个表面上。在其他实施例中(未示出)，锂聚集区28可以作为离散岛存在，即，锂聚集区28不连续地存在于锂成核增强衬垫的至少一个表面上。在一些实施例中，第一锂聚集区连续存在于锂成核增强衬垫的第一表面上，并且第二锂聚集区作为离散岛存在于锂成核增强衬垫的第二表面上。除了不存在锂成核增强衬垫22，与包括相同组分的常规固态锂基电池相比，这些离散岛的密度降低了多达80％或更多。
虽然已经参照本发明的优选实施例具体示出和描述了本发明，但是本领域技术人员将理解，在不脱离本发明的范围的情况下，可以进行形式和细节的前述和其他改变。因此，本发明并不限于所描述和说明的确切形式和细节，而是落入所附权利要求的范围内。

Claims (23)

1.一种固态锂基电池，包括：
底部电极；
位于所述底部电极的表面的电池材料叠层，其中所述电池材料叠层包括锂化阴极材料层，位于所述锂化阴极材料层上的锂基固态电解质层，以及锂成核增强衬垫；以及
位于所述电池材料叠层的锂成核增强衬垫上的顶部电极。
2.如权利要求1所述的固态锂基电池，还包括位于所述锂成核增强衬垫的至少一个表面上的锂聚集区。
3.如权利要求2所述的固态锂基电池，其中所述锂成核增强衬垫包括金(Au)，银(Ag)，锌(Zn)，镁(Mg)，钽(Ta)，钨(W)，钼(Mo)，钛-锆-钼合金(TZM)或硅(Si)。
4.如权利要求3所述的固态锂基电池，其中所述锂成核增强衬垫与锂形成合金。
5.如权利要求3所述的固态锂基电池，其中所述锂成核增强衬垫与锂不形成合金。
6.如权利要求1所述的固态锂基电池，还包括位于所述底部电极的物理暴露表面上并围绕所述电池材料叠层的空气和/或水分不可渗透结构。
7.如权利要求1所述的固态锂基电池，其中所述锂化阴极材料层、所述锂基固态电解质层和所述锂成核增强衬垫具有彼此垂直对齐的侧壁表面。
8.如权利要求7所述的固态锂基电池，其中所述顶部电极具有与所述锂化阴极材料层、所述锂基固态电解质层和所述锂成核增强衬垫的侧壁表面垂直对齐的侧壁表面。
9.如权利要求1所述的固态锂基电池，其中所述锂化阴极材料层由LiCoO2组成，所述锂基固态电解质层由LiPON组成，并且所述锂成核增强衬垫由金(Au)组成。
10.如权利要求2所述的固态锂基电池，其中所述锂聚集区连续地位于所述锂成核增强衬垫的所述至少一个表面上。
11.如权利要求2所述的固态锂基电池，其中所述锂聚集区不连续地位于所述锂成核增强衬垫的所述至少一个表面上。
12.如权利要求1所述的固态锂基电池，还包括位于所述底部电极下方的基板。
13.一种形成固态锂基电池的方法，该方法包括：
在底部电极的表面上形成图案化的牺牲材料，其中所述图案化的牺牲材料包含物理地暴露所述底部电极的一部分表面的开口；
在所述图案化的牺牲材料上和在所述开口中的底部电极的表面的物理暴露部分上形成锂化阴极材料层；
在所述锂化阴极材料层上形成锂基固态电解质层；
在所述锂基固态电解质层上形成锂成核增强衬垫；
在所述锂成核增强衬垫上形成顶部电极；以及
执行剥离工艺以从所述底部电极去除所述图案化的牺牲材料和在所述图案化的牺牲材料上形成的材料，同时在所述底部电极的表面的物理暴露部分上保持材料叠层，其中所述叠层包括所述锂化阴极材料层、所述锂基固态电解质层、所述锂成核增强衬垫和所述顶部电极中每个的其余部分。
14.如权利要求13所述的方法，还包括对所述固态锂基电池充电/再充电，其中在所述充电/再充电期间，在所述锂成核增强衬垫的至少一个表面上形成锂聚集区。
15.如权利要求14所述的方法，其中所述锂聚集区连续地位于所述锂成核增强衬垫的所述至少一个表面上。
16.如权利要求14所述的方法，其中所述锂聚集区不连续地位于所述锂成核增强衬垫的所述至少一个表面上。
17.如权利要求14所述的方法，其中所述锂成核增强衬垫包括金(Au)，银(Ag)，锌(Zn)，镁(Mg)，钽(Ta)，钨(W)，钼(Mo)，钛-锆-钼合金(TZM)或硅(Si)。
18.如权利要求17所述的方法，其中所述锂成核增强衬垫与锂形成合金。
19.如权利要求17所述的方法，其中所述锂成核增强衬垫与锂不形成合金。
20.如权利要求13所述的方法，还包括形成位于所述底部电极的物理暴露表面上并围绕所述电池材料叠层的空气和/或水分不可渗透结构。
21.如权利要求13所述的方法，其中在所述剥离之后，所述锂化阴极材料层、所述锂基固态电解质层和所述锂成核增强衬垫的其余部分具有彼此垂直对齐的侧壁表面。
22.如权利要求13所述的方法，其中在所述剥离之后，所述顶部电极的其余部分具有侧壁表面，所述侧壁表面与所述锂化阴极材料层、所述锂基固态电解质层和锂成核增强衬垫的的其余部分的侧壁表面垂直对齐。
23.如权利要求13的方法，其中所述锂化阴极材料层由LiCoO2组成，所述锂基固态电解质层由LiPON组成，所述锂成核增强衬垫由金(Au)组成。
CN201880022855.0A 2017-03-30 2018-02-21 固态锂基薄膜电池的阳极结构 Active CN110476292B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/474,668 US10944128B2 (en) 2017-03-30 2017-03-30 Anode structure for solid-state lithium-based thin-film battery
US15/474,668 2017-03-30
PCT/IB2018/051058 WO2018178775A1 (en) 2017-03-30 2018-02-21 Anode structure for solid-state lithium-based thin-film battery

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110476292A true CN110476292A (zh) 2019-11-19
CN110476292B CN110476292B (zh) 2022-11-04

Family

ID=63670936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201880022855.0A Active CN110476292B (zh) 2017-03-30 2018-02-21 固态锂基薄膜电池的阳极结构

Country Status (6)

Country Link
US (2) US10944128B2 (zh)
JP (1) JP7059299B2 (zh)
CN (1) CN110476292B (zh)
DE (1) DE112018000278B4 (zh)
GB (1) GB2574776B (zh)
WO (1) WO2018178775A1 (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10910653B2 (en) 2018-02-26 2021-02-02 Graphenix Development, Inc. Anodes for lithium-based energy storage devices
US11024877B2 (en) * 2018-12-04 2021-06-01 TeraWatt Technology Inc. Anode-free solid-state battery cells with anti-dendrite and interface adhesion controlled functional layers
JP7331443B2 (ja) 2019-04-26 2023-08-23 トヨタ自動車株式会社 全固体電池
US11024842B2 (en) 2019-06-27 2021-06-01 Graphenix Development, Inc. Patterned anodes for lithium-based energy storage devices
CN114467209B (zh) 2019-08-13 2024-05-03 格拉芬尼克斯开发公司 用于锂基储能装置的阳极及其制造方法
EP4018503A1 (en) 2019-08-20 2022-06-29 Graphenix Development, Inc. Structured anodes for lithium-based energy storage devices
US11489154B2 (en) 2019-08-20 2022-11-01 Graphenix Development, Inc. Multilayer anodes for lithium-based energy storage devices
US11271247B1 (en) * 2020-12-15 2022-03-08 WATTRII, Inc. Solid-state battery and method of forming same
US11424445B1 (en) 2021-05-30 2022-08-23 Marvin S Keshner Solid-state rechargeable lithium battery with solid-state electrolyte

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080057397A1 (en) * 1999-11-23 2008-03-06 Skotheim Terje A Lithium anodes for electrochemical cells
CN101771168A (zh) * 2010-02-11 2010-07-07 厦门大学 微型锂电池的制备方法
CN102301518A (zh) * 2009-02-03 2011-12-28 索尼公司 薄膜固态锂离子二次电池及其制造方法
US20120270114A1 (en) * 2009-11-30 2012-10-25 Oerlikon Balzers Ag Lithium ion battery and method for manufacturing of such battery
CN104205467A (zh) * 2012-03-22 2014-12-10 住友电气工业株式会社 全固态锂二次电池

Family Cites Families (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4369237A (en) 1981-11-09 1983-01-18 Gte Products Corporation Multi-element anode structures for electrochemical cells
JPS58125295A (ja) * 1982-01-22 1983-07-26 Hitachi Ltd 集積化電源素子
JP3214107B2 (ja) * 1992-11-09 2001-10-02 富士電機株式会社 電池搭載集積回路装置
US5939217A (en) 1996-10-29 1999-08-17 Sony Chemicals Corporation Battery and protecting element therefor
US5994834A (en) 1997-08-22 1999-11-30 Micron Technology, Inc. Conductive address structure for field emission displays
KR100296741B1 (ko) 1999-05-11 2001-07-12 박호군 트렌치 구조를 갖는 전지 및 그 제조방법
GB9915925D0 (en) 1999-07-08 1999-09-08 Univ Loughborough Flow field plates
CN1214476C (zh) 1999-11-23 2005-08-10 分子技术股份有限公司 电化电池的锂阳极及其制备方法
US7194801B2 (en) 2000-03-24 2007-03-27 Cymbet Corporation Thin-film battery having ultra-thin electrolyte and associated method
US20020092558A1 (en) 2001-01-18 2002-07-18 Kim Seong Bae Integrated thin film cell and fabrication method thereof
JP2003077529A (ja) * 2001-09-03 2003-03-14 Sanyo Electric Co Ltd リチウム電池及びリチウム二次電池
US7261920B2 (en) 2002-04-24 2007-08-28 Sipix Imaging, Inc. Process for forming a patterned thin film structure on a substrate
JP3664253B2 (ja) * 2002-12-26 2005-06-22 ソニー株式会社 二次電池用負極およびそれを用いた二次電池
US6906436B2 (en) * 2003-01-02 2005-06-14 Cymbet Corporation Solid state activity-activated battery device and method
US20050064291A1 (en) 2003-09-18 2005-03-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Battery and non-aqueous electrolyte secondary battery using the same
EP1714333A2 (en) * 2004-01-06 2006-10-25 Cymbet Corporation Layered barrier structure having one or more definable layers and method
JP4442235B2 (ja) * 2004-01-28 2010-03-31 ソニー株式会社 二次電池用負極、二次電池およびそれらの製造方法
KR20070077231A (ko) 2006-01-23 2007-07-26 주식회사 엘지화학 분리막의 코팅층에 계면활성제를 포함하고 있는 리튬이차전지
KR100893229B1 (ko) 2006-02-06 2009-04-16 주식회사 엘지화학 전극 활물질에 계면활성제를 포함하고 있는 리튬 이차전지
CN101496195A (zh) 2006-07-31 2009-07-29 皇家飞利浦电子股份有限公司 电化学能源以及用于制造这样的电化学能源的方法
US20090317664A1 (en) 2006-08-22 2009-12-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Electrochemical energy source, and method for manufacturing of such an electrochemical energy source
JP2008218125A (ja) 2007-03-02 2008-09-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd リチウムイオン二次電池用負極およびリチウムイオン二次電池
KR100855081B1 (ko) 2007-05-09 2008-08-29 경상대학교산학협력단 리튬전지용 막형 음극재료의 제조방법
US20090202903A1 (en) 2007-05-25 2009-08-13 Massachusetts Institute Of Technology Batteries and electrodes for use thereof
CN102027626A (zh) 2008-03-25 2011-04-20 A123系统公司 高能量高功率电极和电池
JP5152200B2 (ja) 2009-02-04 2013-02-27 トヨタ自動車株式会社 全固体電池及びその製造方法
US20110143195A1 (en) 2009-06-29 2011-06-16 Shuji Ito Negative electrode for lithium ion battery, method for producing the same, and lithium ion battery
US9614251B2 (en) 2009-09-25 2017-04-04 Lawrence Livermore National Security, Llc High-performance rechargeable batteries with nanoparticle active materials, photochemically regenerable active materials, and fast solid-state ion conductors
WO2011043267A1 (ja) * 2009-10-05 2011-04-14 住友電気工業株式会社 非水電解質電池
US8384341B2 (en) 2009-10-28 2013-02-26 Harris Corporation Battery cell for MEMS device and related methods
US8236452B2 (en) 2009-11-02 2012-08-07 Nanotek Instruments, Inc. Nano-structured anode compositions for lithium metal and lithium metal-air secondary batteries
CN102959769A (zh) 2010-04-28 2013-03-06 弗莱克赛尔有限责任公司 薄的柔性电化学能量电池
DE102010029282A1 (de) 2010-05-25 2011-12-01 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Dünnschichtbatterie
FR2961638B1 (fr) 2010-06-21 2012-07-06 Commissariat Energie Atomique Microbatterie et procede de fabrication d'une microbatterie
DE102010033577A1 (de) 2010-08-03 2012-02-09 Varta Microbattery Gmbh Knopfzelle mit Wickelelektrode mit thermischer Sicherung
JP5644857B2 (ja) 2010-08-09 2014-12-24 株式会社村田製作所 積層型固体電池
DE102011085863A1 (de) 2011-11-07 2013-05-08 Robert Bosch Gmbh Träger für eine elektrische Schaltung mit einem integrierten Energiespeicher
US8790804B2 (en) 2012-01-12 2014-07-29 International Business Machines Corporation Battery with self-programming fuse
EP2828986B1 (en) * 2012-03-22 2018-05-30 Zte (Usa) Inc. Optimized transmission of machine type communication data from a mobile device to a wireless network
US20130260183A1 (en) 2012-03-28 2013-10-03 International Business Machines Corporation Three dimensional solid-state battery integrated with cmos devices
JP2014143008A (ja) 2013-01-22 2014-08-07 Sh Copper Products Corp リチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔、及びリチウムイオン二次電池の負極の製造方法、並びにリチウムイオン二次電池の負極集電体用銅箔の評価方法
US9478797B2 (en) 2013-01-25 2016-10-25 Applejack 199 L.P. System, method and apparatus for forming a thin film lithium ion battery
JP6194672B2 (ja) 2013-07-29 2017-09-13 富士通株式会社 全固体二次電池及びその製造方法
US9847326B2 (en) 2013-09-26 2017-12-19 Infineon Technologies Ag Electronic structure, a battery structure, and a method for manufacturing an electronic structure
US9859542B2 (en) 2014-03-28 2018-01-02 Infineon Technologies Ag Battery element, a battery and a method for forming a battery
JP6446752B2 (ja) * 2014-11-18 2019-01-09 国立研究開発法人産業技術総合研究所 リチウム固体電池の製造方法
US20160211547A1 (en) * 2015-01-15 2016-07-21 Google Inc. Hybrid Rechargeable Battery
CN112542655B (zh) 2015-05-08 2023-09-08 赛尔格有限责任公司 被改进的、被涂层的或被处理的微孔电池隔板、可再充电锂电池、系统
TW201703318A (zh) 2015-07-08 2017-01-16 Ngk Insulators Ltd 全固態鋰電池
JP2017054761A (ja) * 2015-09-11 2017-03-16 日本碍子株式会社 全固体リチウム電池の検査方法及び全固体リチウム電池の製造方法
JP6288057B2 (ja) 2015-12-02 2018-03-07 トヨタ自動車株式会社 積層型全固体電池
US10818927B2 (en) 2015-12-16 2020-10-27 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Lithium battery current collector comprising conductive pillared structures on a substrate
CN105489845A (zh) 2015-12-30 2016-04-13 哈尔滨工业大学 一种基于pvd制备全固态锂离子电池用薄层金属锂基负极的方法
US10833360B2 (en) * 2016-03-11 2020-11-10 Northwestern University Protective anode coatings for high energy batteries
JP7050419B2 (ja) * 2017-02-07 2022-04-08 三星電子株式会社 全固体型二次電池用負極及び全固体型二次電池

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080057397A1 (en) * 1999-11-23 2008-03-06 Skotheim Terje A Lithium anodes for electrochemical cells
CN102301518A (zh) * 2009-02-03 2011-12-28 索尼公司 薄膜固态锂离子二次电池及其制造方法
US20120270114A1 (en) * 2009-11-30 2012-10-25 Oerlikon Balzers Ag Lithium ion battery and method for manufacturing of such battery
CN101771168A (zh) * 2010-02-11 2010-07-07 厦门大学 微型锂电池的制备方法
CN104205467A (zh) * 2012-03-22 2014-12-10 住友电气工业株式会社 全固态锂二次电池

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018178775A1 (en) 2018-10-04
GB201914035D0 (en) 2019-11-13
US20180287130A1 (en) 2018-10-04
JP2020512663A (ja) 2020-04-23
DE112018000278B4 (de) 2023-08-03
GB2574776B (en) 2022-03-30
US10950887B2 (en) 2021-03-16
JP7059299B2 (ja) 2022-04-25
GB2574776A (en) 2019-12-18
US20180287131A1 (en) 2018-10-04
DE112018000278T5 (de) 2019-09-12
CN110476292B (zh) 2022-11-04
US10944128B2 (en) 2021-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110476292A (zh) 固态锂基薄膜电池的阳极结构
TW546862B (en) Thin lithium film battery
US10629957B2 (en) High charge rate, large capacity, solid-state battery
US10777842B2 (en) Rechargeable lithium-ion battery with an anode structure containing a porous region
JP2021529414A (ja) 多孔性領域を含むアノード構造を有する充電式リチウムイオン電池
US10833356B2 (en) Kinetically fast charging lithium-ion battery
US10903672B2 (en) Charge method for solid-state lithium-based thin-film battery
JP7128260B2 (ja) 固体リチウムベース電池および固体リチウムベース電池を形成する方法
US10581109B2 (en) Fabrication method of all solid-state thin-film battery
US20200251784A1 (en) High-performance thin-film battery with an interfacial layer
US10833311B2 (en) Method of making an anode structure containing a porous region
JP2004146297A (ja) 固体電池
JP2011159467A (ja) 非水電解質電池
US20190123336A1 (en) Solid-state rechargeable battery having fast charge speed
US20180287187A1 (en) Three-dimensional thin-film battery device

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant