CN110462269A - 流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法 - Google Patents

Abstract

提供一种在连续运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。流体通过分别配置于分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)中的某一个控制阀而被进行流量控制。在基于来自控制阀(5)的监视部(5a)的信号判断成需要更换控制阀(5)时，关闭正在进行流量控制的控制阀(5)，同时打开设置于其他分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)并进行与更换前同等的流量控制。而且，配置在关闭的控制阀(5)的上游侧及下游侧的开闭阀(12、13)也关闭。

Description

流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法

技术领域

本发明涉及流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。

背景技术

在半导体制造装置中，常使用具备控制阀的流量控制装置(例如专利文献1、专利文献2等)。

当在这样的流量控制装置中使用的控制阀发生故障时，会在半导体的制造中产生大问题，因此例如通过计测控制阀的工作次数并在控制阀发生故障之前更换控制阀来避免对半导体制造造成不良影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-15167号公报

专利文献2：国际公开第2018/088326号

发明内容

但是，控制阀发生故障的时期并不能够可靠地预测，另外即使在预先设定的时期进行更换，也需要为了更换而中断半导体的制造，具有无法连续地制造这样的问题。并不限于半导体，对在连续地运转的设备中使用的流量控制装置要求能够连续使用。

本发明的目的在于提供一种在连续地运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。

本发明的流量控制装置由一条流路、从上述一条流路分支出多条分支路的分支部、分别配置于以上述分支部分支出的上述分支路的控制阀、和监视上述控制阀的状态的监视部构成，在上述流量控制装置中，流体通过分别配置于上述分支路的上述控制阀中的某一个控制阀而被进行流量控制，在基于来自上述控制阀的监视部的信号判断成需要更换上述控制阀时，关闭正在进行流量控制的上述控制阀，同时打开设置于其他分支路的控制阀并进行与更换前同等的流量控制，并且，配置于关闭的控制阀的上游侧及下游侧的开闭阀也关闭。

流量控制装置在半导体制造装置等连续地运转的设备中使用，经由控制阀向该设备输送所需的流体。并且，在需要更换工作中的控制阀的情况下，使处于待机状态的控制阀转移到工作状态，进行与更换前同等的流量控制。此时，配置于关闭的控制阀的上游侧及下游侧的开闭阀被自动地关闭，而防止了转移时的流体泄漏。由此，能够连续使用流量控制装置。

控制阀例如具有：阀体，其划定流路；阀芯，其以能够对上述阀体的流路进行开闭的方式设置；操作部件，其以在使上述阀芯开闭流路的开闭方向上，能够在预先设定的使上述阀芯关闭流路的闭位置与预先设定的使上述阀芯打开流路的开位置之间移动的方式设置，对上述阀芯进行操作阀芯；主执行机构，其使上述操作部件移动到上述开位置或闭位置；和调整用执行机构(调整部)，其用于对取位于上述开位置的上述操作部件的位置进行调整。

优选的是，能够采用如下结构：上述主执行机构使上述操作部件移动到上述开位置，上述调整用执行机构对通过上述主执行机构而取位于上述开位置的上述操作部件的在上述开闭方向上的位置进行调整。

优选的是，还设置控制部，上述控制部接收来自上述监视部的输出，根据基于来自上述监视部的输出的信号判断是否需要更换。

优选的是，在上述控制部中，对基于来自上述监视部的输出的信号和预先保存的数据进行比较，在超过或低于作为能够判断成正常范围内的值的规定值(阈值)的情况下，或者在超过了特定的开闭次数时，判断成需要更换。

优选的是，在上述控制阀具备通过分别对开度进行微调整而能够进行微小的流量控制的调整部。

上述监视部由测定阀的开度的传感器和/或流量传感器、测定开闭次数的传感器、检测上述控制阀的阀杆的动作的接近传感器和/或位移传感器、流量传感器、压力传感器等构成。

优选的是，在上述控制阀与配置在上游侧的上述开闭阀之间以及上述控制阀与配置在下游侧的上述开闭阀之间，分别配置吹扫管路且在该吹扫管路上配置吹扫阀。

通过打开与正在进行流量控制的控制阀相对应的开闭阀，而维持控制阀的工作状态，关闭与正在进行流量控制的控制阀相对应的吹扫阀。在需要更换该控制阀的情况下，关闭与该控制阀相对应的开闭阀，并且在更换前将吹扫阀切换到打开并与吹扫管路连接，使其他的控制阀成为工作状态。由此，能够安全且容易地进行更换。

本发明的流量控制方法是流量控制装置的流量控制方法，该流量控制装置由一条流路、从上述一条流路分支出多条流路的分支部、分别配置于以上述分支部分支出的分支路的控制阀、和监视上述控制阀的状态的监视部构成，上述流量控制装置的流量控制方法包括以下步骤：步骤A，通过上述监视部监视正在进行流量控制的上述控制阀的状态；步骤B，根据基于来自上述监视部的输出的信号判断是否需要更换阀；步骤C，在上述步骤B中判断成需要更换的情况下，关闭正在进行流量控制的上述控制阀，同时打开处于其他分支路的控制阀并开始与更换前同等的流量控制；和步骤D，将设置在上述关闭的控制阀的前后的开闭阀关闭。

优选的是，在上述步骤C中，包含如下步骤：具有进行上述控制阀的开闭动作的微调整的调整部，以消除开始流量调整的上述控制阀与上述关闭的控制阀的机械误差及每条分支管路的个体差的方式通过调整部进行开闭动作的调整。

发明效果

根据本发明的流量控制装置，在需要更换工作中的控制阀的情况下，能够不使流量控制装置停止地使处于待机状态的控制阀转移到工作状态，因此能够连续使用流量控制装置。因此，在使用该流量控制装置的设备中，能够不受控制阀的异常影响而持续运转。

附图说明

图1是表示本发明的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法的一个实施方式的配管图。

图2是表示在本发明的流量控制装置中使用的控制阀的一个例子的纵剖视图。

图3是表示本发明的流量控制装置的流量控制方法的流程图。

图4是表示将本发明的流量控制装置的流量控制方法适用于阀单元为两个的情况时的连续使用状态的流程图。

图5是表示本发明的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法的更换判断部分的流程图。

附图标记说明

1：流量控制装置

2：阀单元

3：控制部

5：控制阀

5a：监视部

12、13：开闭阀

14、15：吹扫阀

100：调整用执行机构(调整部)

P：流路

P1、P2、P3：分支路

J1、J2、J3：分支部

具体实施方式

参照以下附图来说明本发明的实施方式。

如图1所示，本发明的流量控制装置1具备：一条流路P；从一条流路P分支出多条分支路P1、P2、P3的分支部J1、J2、J3；分别配置于以分支部J1、J2、J3分支出的分支路P1、P2、P3的阀单元2；和控制各阀单元2的状态的控制部3。

各阀单元2由在向配置于流量控制装置1的下游侧的装置输送流体时具有流量控制功能的控制阀5、在更换控制阀5时打开或关闭的两个开闭阀12、13、和在更换控制阀5时为了进行吹扫而开闭的吹扫阀14、15构成。

各阀11、12、13、14、15为内置有所需的传感器的自动阀，所有的阀单元2的各阀11、12、13、14、15的状态通过由计算机等构成的控制部3而被监视。

在各阀单元2设有无线收发器4，各阀11、12、13、14、15的数据经由无线收发器4被发送到控制部3，控制部3对数据进行处理，经由无线收发器4向各阀单元2的各阀11、12、13、14、15发送所需的信号。此外，在此使用无线收发机4以无线方式与控制部3进行收发，但也可以通过有线方式进行该收发。

将阀单元2的数量设为恰当的数量，通过事先将需要更换的控制阀更换成新品，而能够使其可使用(待机状态)，因此所需最低限度的阀单元的数量为两个。

控制阀5被称为将金属隔膜用作阀芯的直接接触式的金属隔膜阀，具有监视控制阀5的状态的监视部5a。

虽然省略了图示的详细情况，但监视部5a由测定控制阀5的开度的传感器和/或流量传感器、测定开闭次数的传感器、检测控制阀的阀杆的动作的接近传感器和/或位移传感器、流量传感器、压力传感器等构成。

开闭阀12、13由设在控制阀5的上游侧并防止流体向控制阀5流入的第1开闭阀12、和设在控制阀5的下游侧并防止来自控制阀5的流体流出的第2开闭阀13构成。

吹扫阀14、15由设在从控制阀5与第1开闭阀12的连接通路分支出的通路上的第1吹扫阀14、和设在从控制阀5与第2开闭阀13的连接通路分支出的通路上的第4开闭阀15构成。

在图2中示出控制阀5的一个例子。

在图2中，附图标记5示出控制阀、附图标记6示出阀体、附图标记20示出作为阀芯的隔膜、附图标记38示出隔膜按压件、附图标记30示出阀盖、附图标记40示出操作部件、附图标记50示出壳体、附图标记60示出主执行机构、附图标记70示出调整体、附图标记80示出执行机构按压件、附图标记90示出螺旋弹簧、附图标记100示出作为调整用执行机构(调整部)的压电执行机构、附图标记110示出执行机构承接部、附图标记120示出作为弹性部件的碟形弹簧、附图标记OR示出作为密封部件的O型环。

阀体6由不锈钢形成，具有块状的阀体主体6a和从阀体主体6a的侧方分别突出的连接部6b、6c，划定流路7、8。流路7、8的一端在连接部6b、6c的端面分别开口，另一端与上方打开的凹状的阀室9连通。在阀室9的底面，在设于流路7的另一端侧的开口周缘的安装槽中嵌合固定有合成树脂(PFA、PA、PI、PCTFE等)制的阀座10。此外，在本实施方式中，通过凿紧加工而将阀座10固定在安装槽内。

隔膜20为能够对阀体6的流路7、8进行开闭地设置的阀芯，配置在阀座10的上方，保持阀室9的气密，并且其中央部上下动作而与阀座10抵接分离，由此对流路7、8进行开闭。在本实施方式中，隔膜20通过使特殊不锈钢等金属制薄板及镍钴合金薄板的中央部向上方鼓出，而成为上凸的圆弧状为自然状态的球壳状。将三张该特殊不锈钢薄板和一张镍钴合金薄板层叠而构成隔膜20。

隔膜20的周缘部载置在阀室9的内周面的突出部上，通过将插入到阀室9内的阀盖30的下端部螺入到阀体6的螺纹部16中，而隔膜20的周缘部经由不锈钢合金制的压紧垫板25被向阀体6的上述突出部侧按压，在气密状态下被夹持固定。此外，镍钴合金薄膜配置在接气侧。

操作部件40是用于对隔膜20进行操作以使隔膜20开闭流路7、8的部件，形成为大致圆筒状，下端侧被封堵部48封堵，上端侧开口，与阀盖30的内周面和形成在壳体50内的筒状部51的内周面嵌合，沿上下方向移动自如地被支承。此外，图2所示的A1、A2为操作部件40的开闭方向，A1示出开方向，A2示出闭方向。在本实施方式中，相对于阀体6，上方向为开方向A1，下方向为闭方向A2，但在实际使用时并不限定于此。

在操作部件40的下端面安装有与隔膜20的中央部上表面抵接的聚酰亚胺等合成树脂制的隔膜按压件38。

在形成于操作部件40的外周面的檐部45的上表面与壳体的顶面之间设有螺旋弹簧90，操作部件40通过螺旋弹簧90而朝向闭方向A2被常时弹压。因此，如图2所示，在主执行机构60没有工作的状态下，隔膜20被按压在阀座10上，流路7、8之间为关闭的状态。

螺旋弹簧90收纳于形成在壳体50的内周面与筒状部51之间的保持部52。在本实施方式中，使用螺旋弹簧90，但并不限定于此，能够使用碟形弹簧和板簧等其他种类的弹簧。

壳体50通过将其下端部内周螺入到形成于阀盖30的上端部外周的螺纹部36中，而固定于阀盖30。此外，在阀盖30的上端面与壳体50之间固定有环状的隔板63。

在操作部件40的外周面与壳体50及阀盖30之间，形成有通过隔板63而被上下划分的缸室C1、C2。

在上侧的缸室C1中，嵌合插入有呈环状形成的活塞61，在下侧的缸室C2中，嵌合插入有呈环状形成的活塞62。这些缸室C1、C2及活塞61、62构成使操作部件40向开方向A1移动的主执行机构60。主执行机构60通过使用两个活塞61、62而使压力的作用面积增加，从而能够增加基于操作气体产生的力。

缸室C1的活塞61的上侧的空间通过通气路53而与大气相连。缸室C2的活塞62的上侧的空间通过通气路h1而与大气相连。

缸室C1、C2的活塞61、62的下侧的空间被供给高压的操作气体，因此通过O型环OR而被保持气密。这些空间与形成于操作部件40的流通路41、42分别连通。流通路41、42与形成在操作部件40的内周面与压电执行机构100的壳体主体101的外周面之间的流通路Ch连通，该流通路Ch与由操作部件40的上端面、壳体50的筒状部51和调整体70的下端面形成的空间SP连通。并且，形成在环状的执行机构按压件80上的流通路81将空间SP和贯穿调整体70的中心部的流通路71连接。调整体70的流通路71经由管接头150而与管160连通。

压电执行机构100在圆筒状的壳体主体101中内置有未图示的层叠的压电元件。壳体主体101为不锈钢合金等金属制，半球状的前端部102侧的端面及基端部103侧的端面封堵。通过对层叠的压电元件施加电压而使其伸长，从而壳体主体101的前端部102侧的端面发生弹性变形，半球状的前端部102在长度方向上位移。若将层叠的压电元件的最大行程设为2d，则通过预先施加使压电执行机构100的伸长为d的规定电压V0，而压电执行机构100的全长成为L0。并且，若施加比规定电压V0高的电压，则压电执行机构100的全长最大为L0+d，若施加比规定电压V0低的电压(包含无电压)，则压电执行机构100的全长最小为L0-d。因此，能够在开闭方向A1、A2上使前端部102到基端部103为止的全长伸缩。

如图2所示，向压电执行机构100的供电通过配线105进行。配线105从调整体70的流通路71及管接头150通过而被引导到管160，被从管160的中途向外部引出。

压电执行机构100的基端部103的开闭方向上的位置经由执行机构按压件80而被调整体70的下端面限定。调整体70在形成于壳体50的上部的螺纹孔56中螺入设于调整体70的外周面的螺纹部，通过对调整体70的开闭方向A1、A2的位置进行调整，而能够调整压电执行机构100的开闭方向A1、A2的位置。

压电执行机构100的前端部102与形成在圆盘状的执行机构承接部110的上表面上的圆锥面状的承接面抵接。执行机构承接部110能够沿开闭方向A1、A2移动。

在执行机构承接部110的下表面与操作部件40的封堵部48的上表面之间，设有作为弹性部件的碟形弹簧120。在图2所示的状态下，碟形弹簧120既已被某种程度压缩而弹性变形，通过该碟形弹簧120的恢复力，执行机构承接部110被朝向开方向A1常时弹压。由此，压电执行机构100也被朝向开方向A1常时弹压，为基端部103的上表面按压于执行机构按压件80的状态。由此，压电执行机构100相对于阀体6而配置在规定位置。由于压电执行机构100没有与任一部件连结，所以能够相对于操作部件40在开闭方向A1、A2上相对地移动。

控制阀5例如在需要连续生产的半导体制造装置中使用。该用途的控制阀5被要求连续地开闭，为了在损伤前更换隔膜20，而事前设定了达到破裂的开闭次数。另外，由于耐久性重要，所以采用了使用隔膜材质等高强度的阀、减小阀升程等提高耐久性的对策。但是，在半导体制造装置侧例如要求流量的情况等下，存在牺牲耐久性而实施提高阀升程等对策的情况，也存在早于设定次数而发生故障的情况。在该情况下，会给半导体制造装置的连续生产造成巨大的不良影响。

流量控制装置1经由控制阀5对所需流体调整流量后向例如半导体制造装置输送。此时，使所有的阀单元2中的、处于工作状态的阀单元仅为一个，使除此以外的阀单元2为能够根据需要立即转移到工作状态的待机状态。并且，在处于工作状态的阀单元2的控制阀5发生故障或超过了所保证的耐久次数时，监视部5a对其进行检测，使该控制阀5停止，使处于待机状态的阀单元2的控制阀5工作。

开闭阀12、13在控制阀5处于工作状态的情况下打开，在控制阀5处于待机状态的情况下关闭。吹扫阀14、15通常关闭，在阀单元2的控制阀5的工作状态停止时，为了进行该阀单元2的吹扫而打开。

在图3中以流程图示出控制部3进行的控制。

控制部3具备进行各阀单元2内的控制的阀单元控制部3a、和进行阀单元2之间的控制的阀单元间控制部3b。

阀单元控制部3a针对控制阀5，在初始设定时，事先赋予连续地开闭这一FLAG＝0(步骤S1)，例如在开闭次数超过了隔膜20破裂的可能性高的设定次数的情况下(步骤S2)，赋予需要更换控制阀5这一FLAG＝1(步骤S3)。

FLAG＝1并不限于仅根据开闭次数而赋予，也可以想到根据控制阀5的工作时间超过了设定时间的情况、根据从设于控制阀5的监视部5a得到的隔膜20等的异常等而赋予。

另外阀单元控制部3a针对开闭阀12、13，在初始设定时，事先赋予打开开闭阀12、13这一FLAG＝0(步骤S4)，并且作为插入等待而监视针对控制阀5的FLAG为0还是为1(步骤S5)。并且，在控制阀5为FLAG＝0的期间，维持开闭阀12、13打开的状态，在控制阀5成为FLAG＝1时，赋予关闭开闭阀12、13这一FLAG＝1(步骤S6)。

另外阀单元控制部3a针对吹扫阀14、15，在初始设定时，事先赋予关闭这一FLAG＝0(步骤S7)，并且作为插入等待而监视针对开闭阀12、13的FLAG为0还是为1(步骤S8)。并且，在开闭阀12、13为FLAG＝0的期间(即控制阀5为FLAG＝0的期间)，维持吹扫阀14、15关闭的状态，在开闭阀12、13成为FLAG＝1时，打开吹扫阀14、15(步骤S9)，赋予进行吹扫这一FLAG＝1(步骤S10)。

阀单元间控制部3b针对处于待机状态的阀单元2，在初始设定时，事先赋予处于待机状态这一FLAG＝0(步骤S11)，并且作为插入等待而监视针对吹扫阀14、15的FLAG为0还是为1(步骤S12)。并且，在吹扫阀14、15为FLAG＝0的期间(即控制阀5为FLAG＝0的期间)，维持待机状态，在吹扫阀14、15成为FLAG＝1时，以使该阀单元(下一阀单元)2成为工作状态的方式，赋予FLAG＝0(步骤S13)。由此，下一阀单元2的阀单元控制部3a针对其控制阀5，从步骤(S1)执行至步骤(S10)。阀单元间控制部3b进行更换了处于工作状态的阀单元2的这一警报·更换联络(步骤S14)，而且，对曾处于工作状态的阀单元2赋予处于无法进行工作的状态这一FLAG＝2(步骤S15)。

控制部3除了进行上述控制以外，还监视过去的故障历史记录等。

在图4中，示出在阀单元2为两个(第1单元及第2单元)的情况下连续使用时各阀11、12、13、14、15的开闭状态是如何切换的流程图。

首先，在初始状态下，第1单元的控制阀5打开，第1单元的开闭阀12、13打开，第2单元的控制阀5关闭。第2单元的开闭阀12、13可以为打开和关闭中的任一种状态(步骤S21)。

正在进行流量控制的第1单元的控制阀5的状态由监视部5a监视(测定及输出)(步骤S22)。并且，根据基于来自监视部5a的输出的信号判断是否需要更换控制阀5(步骤S23)。

在步骤S23中需要更换的情况下，切换成第1单元的控制阀5关闭、第1单元的开闭阀12、13关闭、第2单元的控制阀5打开、第2单元的开闭阀12、13打开(步骤S24)。在不需要更换的情况下，返回到步骤S21。

在步骤S24之后，第1单元的控制阀5被更换成新的控制阀，为关闭(步骤S25)。

在更换第1单元的控制阀5时，保持维持着开闭阀12、13关闭的状态地，将控制阀5打开，将吹扫阀14、15打开而进行吹扫，在将吹扫阀14、15关闭后，更换控制阀5，而且将控制阀5打开，将吹扫阀14、15打开而再一次进行吹扫，将吹扫阀14、15关闭，将控制阀5关闭而完成。第1单元的控制阀5的更换只要在需要更换第2单元的控制阀5之前进行即可。

在步骤S24中，第2单元的控制阀5：打开，第2单元的开闭阀12、13打开，第2单元的控制阀5成为进行流量控制的状态。将第1单元的控制阀5关闭，第1单元的开闭阀12、13可以为打开和关闭中的任一状态(步骤S26)。

根据步骤S26，进行流量控制的是第2单元的控制阀5，其状态由监视部5a监视(测定及输出)(步骤S27)。并且，根据基于来自监视部5a的输出的信号判断控制阀5是否需要更换(步骤S28)。

在步骤S28中需要更换的情况下，切换到第2单元的控制阀5关闭、第2单元的开闭阀12、13关闭、第1单元的控制阀5打开、第1单元的开闭阀12、13打开(步骤S29)。在不需要进行更换的情况下，返回到步骤S26。

在步骤S29之后，第2单元的控制阀5被更换成新的控制阀，为关闭(步骤S30)。第2单元的控制阀5的更换只要与第1单元的控制阀5同样地进行即可，另外第2单元的控制阀5的更换只要在需要更换第1单元的控制阀5之前进行即可。

在步骤S29中，第1单元的控制阀5打开，第1单元的开闭阀12、13打开，成为与步骤S21相同的状态，然后，通过重复步骤S21到步骤S29，而在控制阀5发生故障之前将其更换，能够连续使用流量控制装置1。

在图5中示出流量控制装置的流量控制方法的更换判定部分的流程图。

在判定是否需要更换时，首先，读入比较数据(步骤S41)。并且，判定开闭次数是否达到了规定值(步骤S42)，在达到了规定值的情况下，判断成需要更换(步骤S48)，输出该主旨(步骤S49)。

接着，判定开度是否打开一定程度以上(步骤S43)，在开度没有打开一定程度以上的情况下，判断成需要更换(步骤S48)，输出该主旨(步骤S49)。

接着，判定设定流量与测定流量之差是否为一定程度以上(步骤S44)，在差为一定程度以上的情况下，判断成需要更换(步骤S48)，输出该主旨(步骤S49)。

接着，判定内部压力是否为规定以上(步骤S45)，在内部压力为规定以上的情况下，判断成需要更换(步骤S48)，输出该主旨(步骤S49)。

接着，判定行程是否比规定值少(步骤S46)，在行程比规定值少的情况下，判断成需要更换(步骤S48)，输出该主旨(步骤S49)。

从步骤S42到步骤S46为止的判定步骤不论其实施的顺序。在从步骤S42到步骤S46为止的判定步骤中均判定成否(能够使用)的情况下，判断成不需要更换(步骤S47)，输出该主旨(步骤S49)。

像这样，根据上述流量控制装置1，使呈并列状配置的多个阀单元2中的某一个为工作状态，并且监视其工作状态，在控制阀5需要更换的情况下，使待机状态的阀单元2立即为工作状态。因此，不会在使用该流量控制装置1进行连续生产的装置中发生因控制阀5的故障导致的障碍。另外，事先从停止的控制阀5向控制部3进行联络，自动地对该阀单元2内进行吹扫，更换控制阀5而使其为待机状态，由此能够半永久地持续阀工作。

工业实用性

由于能够将在半导体制造装置等连续运转的设备中使用的流量控制装置连续使用，所以能够得到在使用该流量控制装置的设备中不受控制阀的异常影响而能够持续运转的这一优点。

Claims (8)

1.一种流量控制装置，由以下部分构成：

一条流路；

从所述一条流路分支出多条分支路的分支部；

分别配置于以所述分支部分支出的所述分支路的控制阀；和

监视所述控制阀的状态的监视部，

所述流量控制装置的特征在于，

流体通过分别配置于所述分支路的所述控制阀中的某一个控制阀而被进行流量控制，

在基于来自所述控制阀的监视部的信号判断成需要更换所述控制阀时，

关闭正在进行流量控制的所述控制阀，同时打开设置于其他分支路的控制阀并进行与更换前同等的流量控制，并且，

配置于关闭的控制阀的上游侧及下游侧的开闭阀也关闭。

2.如权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

还设置控制部，

所述控制部接收来自所述监视部的输出，

所述控制部根据基于来自所述监视部的输出的信号判断是否需要更换。

3.如权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，

在所述控制部中，对基于来自所述监视部的输出的信号和预先保存的数据进行比较，在超过规定值的情况下，或者在超过了特定的开闭次数时，判断成需要更换。

4.如权利要求1至3中任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

在所述控制阀具备通过分别对开度进行微调整而能够进行微小的流量控制的调整部。

5.如权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述监视部由测定阀的开度的传感器和/或流量传感器、测定开闭次数的传感器、检测所述控制阀的阀杆的动作的接近传感器和/或位移传感器、流量传感器、压力传感器等构成。

6.如权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

在所述控制阀与配置在上游侧的所述开闭阀之间以及所述控制阀与配置在下游侧的所述开闭阀之间，分别配置吹扫管路且在该吹扫管路上配置吹扫阀。

7.一种流量控制装置的流量控制方法，其中该流量控制装置由以下部分构成：

一条流路；

从所述一条流路分支出多条流路的分支部；

分别配置于以所述分支部分支出的分支路的控制阀；和

监视所述控制阀的状态的监视部，

所述流量控制装置的流量控制方法的特征在于，包括以下步骤：

步骤A，通过所述监视部监视正在进行流量控制的所述控制阀的状态；

步骤B，根据基于来自所述监视部的输出的信号判断是否需要更换阀；

步骤C，在所述步骤B中判断成需要更换的情况下，关闭正在进行流量控制的所述控制阀，同时打开处于其他分支路的控制阀并开始与更换前同等的流量控制；和

步骤D，将设置在关闭的所述控制阀的前后的开闭阀关闭。

8.如权利要求7所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤C中，包含如下步骤：具有进行所述控制阀的开闭动作的微调整的调整部，以消除开始流量调整的所述控制阀与关闭的所述控制阀的机械误差及每条分支管路的个体差的方式通过调整部进行开闭动作的调整。