JPH07198099A - 冷却水供給配管系 - Google Patents
冷却水供給配管系Info
- Publication number
- JPH07198099A JPH07198099A JP6000172A JP17294A JPH07198099A JP H07198099 A JPH07198099 A JP H07198099A JP 6000172 A JP6000172 A JP 6000172A JP 17294 A JP17294 A JP 17294A JP H07198099 A JPH07198099 A JP H07198099A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷却水を貯水槽から建屋内の複数の被冷却設
備に供給する配管系に関し、配管系に漏水等のトラブル
が発生した際の被冷却設備の運転継続を可能にする。 【構成】 冷却水を貯水槽11から各階の枝管路15に導く
幹管路を二つに分岐し、各階の枝管路15はその一端で開
閉弁15a を介して一方の幹管路13に、その他端で開閉弁
15b を介して他方の幹管路14にそれぞれ接続し、更に各
階の枝管路15はこの枝管路15から分岐して各被冷却設備
１に到る引込み管路16との分岐点相互間に開閉弁15c を
配設したものとする。
備に供給する配管系に関し、配管系に漏水等のトラブル
が発生した際の被冷却設備の運転継続を可能にする。 【構成】 冷却水を貯水槽11から各階の枝管路15に導く
幹管路を二つに分岐し、各階の枝管路15はその一端で開
閉弁15a を介して一方の幹管路13に、その他端で開閉弁
15b を介して他方の幹管路14にそれぞれ接続し、更に各
階の枝管路15はこの枝管路15から分岐して各被冷却設備
１に到る引込み管路16との分岐点相互間に開閉弁15c を
配設したものとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は冷却水を貯水槽から建屋
内の複数の被冷却設備に供給する配管系に関する。
内の複数の被冷却設備に供給する配管系に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工場等、冷却を必要と
する設備が多数設置される建屋では、冷却水を貯水槽か
ら各々の被冷却設備に供給する管路が敷設される。この
場合の配管方式の代表的な従来例を図を参照しながら説
明する。図３(A),(B),(C) は従来例を示す配管図であ
る。尚、同図において図１と同じものには同一の符号を
付与した。
する設備が多数設置される建屋では、冷却水を貯水槽か
ら各々の被冷却設備に供給する管路が敷設される。この
場合の配管方式の代表的な従来例を図を参照しながら説
明する。図３(A),(B),(C) は従来例を示す配管図であ
る。尚、同図において図１と同じものには同一の符号を
付与した。
【０００３】図３(A) の方式では、地下の貯水槽１１の
冷却水を揚水ポンプ３０により一旦屋上の高置水槽３１
に揚げ、高置水槽３１から重力により幹管路３３、各階
の枝管路３５、各引込み管路１６を経て各被冷却設備１
に供給する。図３(B) の方式では、地下の貯水槽１１の
冷却水を加圧ポンプ１２により幹管路１３、各階の枝管
路３５、各引込み管路１６を経て各被冷却設備１に供給
する。図３(C) の方式では、地下の貯水槽１１の冷却水
を階別に加圧ポンプ３２Ａ，３２Ｂ，〜により幹管路３
４Ａ，３４Ｂ，〜、枝管路３５Ａ，３５Ｂ，〜、各引込
み管路１６を経て各被冷却設備１に供給する。
冷却水を揚水ポンプ３０により一旦屋上の高置水槽３１
に揚げ、高置水槽３１から重力により幹管路３３、各階
の枝管路３５、各引込み管路１６を経て各被冷却設備１
に供給する。図３(B) の方式では、地下の貯水槽１１の
冷却水を加圧ポンプ１２により幹管路１３、各階の枝管
路３５、各引込み管路１６を経て各被冷却設備１に供給
する。図３(C) の方式では、地下の貯水槽１１の冷却水
を階別に加圧ポンプ３２Ａ，３２Ｂ，〜により幹管路３
４Ａ，３４Ｂ，〜、枝管路３５Ａ，３５Ｂ，〜、各引込
み管路１６を経て各被冷却設備１に供給する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の冷却水供給配管系では、図３(A) の方式では供給
される冷却水の水圧が高置水槽３１と被冷却設備１との
高低差に依存するから最上階では充分な水圧が得られな
いという問題があり、図３(A), (B)の方式では幹管路３
３，１３で漏水等のトラブルが発生したり工事を行う場
合に総ての被冷却設備１の運転を停止しなければならな
いという問題があり、図３(C) の方式では幹管路でのト
ラブル発生時の被害は少ないものの、ポンプ台数が多く
なる上、一部の被冷却設備１の運転を休止した場合の同
一階の他の被冷却設備１に供給される冷却水の水圧上昇
が大きい、という問題があった。
従来の冷却水供給配管系では、図３(A) の方式では供給
される冷却水の水圧が高置水槽３１と被冷却設備１との
高低差に依存するから最上階では充分な水圧が得られな
いという問題があり、図３(A), (B)の方式では幹管路３
３，１３で漏水等のトラブルが発生したり工事を行う場
合に総ての被冷却設備１の運転を停止しなければならな
いという問題があり、図３(C) の方式では幹管路でのト
ラブル発生時の被害は少ないものの、ポンプ台数が多く
なる上、一部の被冷却設備１の運転を休止した場合の同
一階の他の被冷却設備１に供給される冷却水の水圧上昇
が大きい、という問題があった。
【０００５】本発明はこのような問題を解決して、漏水
等のトラブル発生が工場操業に殆ど影響を及ぼさない冷
却水配管系の提供を目的とする。
等のトラブル発生が工場操業に殆ど影響を及ぼさない冷
却水配管系の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の冷却水供給配管系は、〔１〕冷却水を貯水
槽から各階の枝管路に導く幹管路を二つに分岐し、各階
の枝管路はその一端で開閉弁を介して一方の幹管路に、
その他端で開閉弁を介して他方の幹管路にそれぞれ接続
し、〔２〕更に、各階の枝管路はこの枝管路から分岐し
て各被冷却設備に到る引込み管路との分岐点相互間に開
閉弁を配設したものとする。
め、本発明の冷却水供給配管系は、〔１〕冷却水を貯水
槽から各階の枝管路に導く幹管路を二つに分岐し、各階
の枝管路はその一端で開閉弁を介して一方の幹管路に、
その他端で開閉弁を介して他方の幹管路にそれぞれ接続
し、〔２〕更に、各階の枝管路はこの枝管路から分岐し
て各被冷却設備に到る引込み管路との分岐点相互間に開
閉弁を配設したものとする。
【０００７】
【作用】本発明の冷却水供給配管系では、各階の枝管路
がその両端でそれぞれ開閉弁を介して二つに分岐した幹
管路の一方及び他方に接続しているから、この開閉弁を
双方共に開いておけば、各階の枝管路は二方向から冷却
水が供給される。従って、トラブルが発生したり工事を
行う等の理由で一方の幹管路からの冷却水の供給を停止
しても、他方の幹管路からは冷却水を供給出来るから、
各階の枝管路の供給停止幹管路側の開閉弁を閉じれば、
各階の総ての被冷却設備の運転を継続することが出来
る。
がその両端でそれぞれ開閉弁を介して二つに分岐した幹
管路の一方及び他方に接続しているから、この開閉弁を
双方共に開いておけば、各階の枝管路は二方向から冷却
水が供給される。従って、トラブルが発生したり工事を
行う等の理由で一方の幹管路からの冷却水の供給を停止
しても、他方の幹管路からは冷却水を供給出来るから、
各階の枝管路の供給停止幹管路側の開閉弁を閉じれば、
各階の総ての被冷却設備の運転を継続することが出来
る。
【０００８】更に、各階の枝管路において各引込み管路
との分岐点相互間に開閉弁が配設されておれば、枝管路
や引込み管路にトラブルが発生しても、トラブル個所を
挟む直近の二個の開閉弁を閉じることにより、最大で一
台の被冷却設備の運転を停止するだけでよい。
との分岐点相互間に開閉弁が配設されておれば、枝管路
や引込み管路にトラブルが発生しても、トラブル個所を
挟む直近の二個の開閉弁を閉じることにより、最大で一
台の被冷却設備の運転を停止するだけでよい。
【０００９】しかも、多数のポンプを設置する必要はな
く、又、一部の被冷却設備の運転を停止しても水圧への
影響は全被冷却設備に分散され、水圧上昇は僅かであ
る。
く、又、一部の被冷却設備の運転を停止しても水圧への
影響は全被冷却設備に分散され、水圧上昇は僅かであ
る。
【００１０】
【実施例】本発明に係る冷却水供給配管系の実施例を図
を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例を示す
配管図である。同図において、１は被冷却設備であり、
この例では二〜四階の各階にそれぞれ複数台設置されて
いる。１１は地下に設けられた貯水槽、１２は加圧ポン
プ、１３，１４は幹管路、１５は枝管路、１６は引込み
管路である。
を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例を示す
配管図である。同図において、１は被冷却設備であり、
この例では二〜四階の各階にそれぞれ複数台設置されて
いる。１１は地下に設けられた貯水槽、１２は加圧ポン
プ、１３，１４は幹管路、１５は枝管路、１６は引込み
管路である。
【００１１】幹管路１３と幹管路１４とは加圧ポンプ１
２の吐出し口近傍で分岐したものであり、分岐点近傍に
それぞれ開閉弁１３ａ，１４ａを備えている。枝管路１
５は被冷却設備１が設置されている総ての階（この例で
は二〜四階）にそれぞれ配設されており、各枝管路１５
の一端は開閉弁１５ａを介して幹管路１３に接続し、他
端は開閉弁１５ｂを介して幹管路１４に接続している。
引込み管路１６は枝管路１５から分岐して被冷却設備１
に到る各被冷却設備１専用の管路である。枝管路１５の
各引込み管路１６分岐点相互間には開閉弁１５ｃが配設
されている。
２の吐出し口近傍で分岐したものであり、分岐点近傍に
それぞれ開閉弁１３ａ，１４ａを備えている。枝管路１
５は被冷却設備１が設置されている総ての階（この例で
は二〜四階）にそれぞれ配設されており、各枝管路１５
の一端は開閉弁１５ａを介して幹管路１３に接続し、他
端は開閉弁１５ｂを介して幹管路１４に接続している。
引込み管路１６は枝管路１５から分岐して被冷却設備１
に到る各被冷却設備１専用の管路である。枝管路１５の
各引込み管路１６分岐点相互間には開閉弁１５ｃが配設
されている。
【００１２】この冷却水供給配管系により各被冷却設備
１に冷却水を供給するには、上記の開閉弁１３ａ，１４
ａ，１５ａ，１５ｂ，１５ｃを総て開いた状態で加圧ポ
ンプ１２を運転する。幹管路１３にトラブルが発生した
場合には、開閉弁１３ａ，１５ａを閉じ、加圧ポンプ１
２の運転は継続する。枝管路１５又は引込み管路１６に
トラブルが発生した場合には、トラブル個所又はその分
岐点を挟む直近の二個の開閉弁（１５ａと１５ｃ、１５
ｃと１５ｃ、１５ｃと１５ｂのいずれか）を閉じ、加圧
ポンプ１２の運転は継続する。
１に冷却水を供給するには、上記の開閉弁１３ａ，１４
ａ，１５ａ，１５ｂ，１５ｃを総て開いた状態で加圧ポ
ンプ１２を運転する。幹管路１３にトラブルが発生した
場合には、開閉弁１３ａ，１５ａを閉じ、加圧ポンプ１
２の運転は継続する。枝管路１５又は引込み管路１６に
トラブルが発生した場合には、トラブル個所又はその分
岐点を挟む直近の二個の開閉弁（１５ａと１５ｃ、１５
ｃと１５ｃ、１５ｃと１５ｂのいずれか）を閉じ、加圧
ポンプ１２の運転は継続する。
【００１３】図２は本発明の他の実施例を示す配管図で
ある。同図において、図１と同じものには同一の符号を
付与した。この例は二種類の冷却水（例えば水圧が５kg
/cm2と３kg/cm2）を供給するために二系統の配管系を併
設したものである。
ある。同図において、図１と同じものには同一の符号を
付与した。この例は二種類の冷却水（例えば水圧が５kg
/cm2と３kg/cm2）を供給するために二系統の配管系を併
設したものである。
【００１４】例えば水圧が５kg/cm2の冷却水を必要とす
る被冷却設備１Ａに対する配管系は、加圧ポンプ１２の
吐出し口近傍で分岐した幹管路２３Ａと２４Ａ、この双
方と接続された各階の枝管路２５Ａ、枝管路２５Ａから
分岐して被冷却設備１Ａに到る引込み管路１６からな
り、水圧が３kg/cm2の冷却水を必要とする被冷却設備１
Ｂに対する配管系は、加圧ポンプ１２の吐き出し口近傍
で分岐した幹管路２３Ｂと２４Ｂ、この双方と接続され
た各階の枝管路２５Ｂ、枝管路２５Ｂから分岐して被冷
却設備１Ｂに到る引込み管路１６からなり、更に幹管路
２３Ｂと２４Ｂはそれぞれ分岐点の近傍に減圧弁２３
ｃ，２４ｃを備えている。その他、いずれの配管系にお
いても、各管路には前記実施例と同様の開閉弁を総て備
えている。
る被冷却設備１Ａに対する配管系は、加圧ポンプ１２の
吐出し口近傍で分岐した幹管路２３Ａと２４Ａ、この双
方と接続された各階の枝管路２５Ａ、枝管路２５Ａから
分岐して被冷却設備１Ａに到る引込み管路１６からな
り、水圧が３kg/cm2の冷却水を必要とする被冷却設備１
Ｂに対する配管系は、加圧ポンプ１２の吐き出し口近傍
で分岐した幹管路２３Ｂと２４Ｂ、この双方と接続され
た各階の枝管路２５Ｂ、枝管路２５Ｂから分岐して被冷
却設備１Ｂに到る引込み管路１６からなり、更に幹管路
２３Ｂと２４Ｂはそれぞれ分岐点の近傍に減圧弁２３
ｃ，２４ｃを備えている。その他、いずれの配管系にお
いても、各管路には前記実施例と同様の開閉弁を総て備
えている。
【００１５】以上の冷却水供給配管系においては、幹管
路に漏水等のトラブルが発生しても被冷却設備の運転停
止を必要とすることはなくなり、枝管路や引込み管路の
トラブルでも直近の一台の被冷却設備の運転を停止する
だけでよい。
路に漏水等のトラブルが発生しても被冷却設備の運転停
止を必要とすることはなくなり、枝管路や引込み管路の
トラブルでも直近の一台の被冷却設備の運転を停止する
だけでよい。
【００１６】本発明は以上の実施例に限定されることな
く、更に種々変形して実施することが出来る。例えば、
配管系を一台の加圧ポンプと分岐された二つの幹管路で
構成する代わりに、二台の加圧ポンプと独立した二つの
幹管路で構成した場合でも、本発明は有効である。
く、更に種々変形して実施することが出来る。例えば、
配管系を一台の加圧ポンプと分岐された二つの幹管路で
構成する代わりに、二台の加圧ポンプと独立した二つの
幹管路で構成した場合でも、本発明は有効である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
管路にトラブルが発生しても被冷却設備の運転を停止す
る必要が殆どない冷却水供給配管系を提供することが可
能となり、工場の操業安定化に寄与する。
管路にトラブルが発生しても被冷却設備の運転を停止す
る必要が殆どない冷却水供給配管系を提供することが可
能となり、工場の操業安定化に寄与する。
【図１】 本発明の実施例を示す配管図である。
【図２】 本発明の他の実施例を示す配管図である。
【図３】 従来例を示す配管図である。
１，１Ａ，１Ｂ 被冷却設備 １１ 貯水槽 １２ 加圧ポンプ １３ 幹管路（第一の幹管路） １４ 幹管路（第二の幹管路） １３ａ，１４ａ，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ 開閉弁 １５ 枝管路 １６ 引込み管路 ２３Ａ，２３Ｂ，２４Ａ，２４Ｂ 幹管路 ２３ｃ，２４ｃ 減圧弁 ２５Ａ，２５Ｂ 枝管路 ３０ 揚水ポンプ ３１ 高置水槽 ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ 加圧ポンプ ３３，３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ 幹管路 ３５，３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ 枝管路
Claims (2)
- 【請求項１】 冷却水を貯水槽(11)から建屋内の複数の
被冷却設備(1) に供給する配管系において、 同一階内に延在する枝管路(15)と、該枝管路(15)から分
岐して各々の被冷却設備(1) に到る複数の引込み管路(1
6)と、該枝管路(15)の一端と接続して冷却水を該貯水槽
(11) から該枝管路(15)に導く第一の幹管路(13)と、該
枝管路(15)の他端と接続して冷却水を該貯水槽(11) か
ら該枝管路(15)に導く第二の幹管路(14)と、を有し、 該枝管路(15)は該第一の幹管路(13)との接続点近傍並び
に該第二の幹管路(14)との接続点近傍にそれぞれ開閉弁
(15a, 15b)を具備することを特徴とする冷却水供給配管
系。 - 【請求項２】 前記枝管路(15)は各々の前記引込み管路
(16)との分岐点相互間に開閉弁(15c) を具備することを
特徴とする請求項１記載の冷却水供給配管系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6000172A JPH07198099A (ja) | 1994-01-06 | 1994-01-06 | 冷却水供給配管系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6000172A JPH07198099A (ja) | 1994-01-06 | 1994-01-06 | 冷却水供給配管系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198099A true JPH07198099A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=11466599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6000172A Withdrawn JPH07198099A (ja) | 1994-01-06 | 1994-01-06 | 冷却水供給配管系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198099A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102269326A (zh) * | 2011-07-19 | 2011-12-07 | 中国中轻国际工程有限公司 | 一种啤酒厂清酒罐区物料管路阀阵组合及配置 |
| CN102620143A (zh) * | 2012-04-13 | 2012-08-01 | 长沙海川节能技术有限公司 | 一种工业循环水系统的优化方法 |
| CN103808093A (zh) * | 2013-07-29 | 2014-05-21 | 安徽千一机械设备有限公司 | 矿用自动控制循环冷却水系统 |
| WO2018235900A1 (ja) * | 2017-06-22 | 2018-12-27 | 株式会社フジキン | 流量制御装置および流量制御装置の流量制御方法 |
| CN114715453A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-07-08 | 西门子（中国）有限公司 | 阀阵控制方法、装置、输送系统、电子设备和存储介质 |
-
1994
- 1994-01-06 JP JP6000172A patent/JPH07198099A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102269326A (zh) * | 2011-07-19 | 2011-12-07 | 中国中轻国际工程有限公司 | 一种啤酒厂清酒罐区物料管路阀阵组合及配置 |
| CN102620143A (zh) * | 2012-04-13 | 2012-08-01 | 长沙海川节能技术有限公司 | 一种工业循环水系统的优化方法 |
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| WO2018235900A1 (ja) * | 2017-06-22 | 2018-12-27 | 株式会社フジキン | 流量制御装置および流量制御装置の流量制御方法 |
| CN110462269A (zh) * | 2017-06-22 | 2019-11-15 | 株式会社富士金 | 流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法 |
| JPWO2018235900A1 (ja) * | 2017-06-22 | 2020-04-23 | 株式会社フジキン | 流量制御装置および流量制御装置の流量制御方法 |
| CN110462269B (zh) * | 2017-06-22 | 2021-06-15 | 株式会社富士金 | 流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法 |
| US11035494B2 (en) | 2017-06-22 | 2021-06-15 | Fujikin Incorporated | Flow rate control apparatus and flow rate control method for the flow rate control apparatus |
| CN114715453A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-07-08 | 西门子（中国）有限公司 | 阀阵控制方法、装置、输送系统、电子设备和存储介质 |
| CN114715453B (zh) * | 2022-03-28 | 2024-02-06 | 西门子（中国）有限公司 | 阀阵控制方法、装置、输送系统、电子设备和存储介质 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |