TW201913265A - 流量控制裝置及流量控制裝置的流量控制方法 - Google Patents
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Abstract
提供一種在使用於連續地運轉的設備時可連續使用的流量控制裝置及流量控制裝置的流量控制方法。流體係通過分別配置在分歧路P1、P2、P3的控制閥5中的任一者而被進行流量控制。在基於來自控制閥5的監視部5a的信號而判斷為有必要交換控制閥5時，閉鎖正進行流量控制的控制閥5，並將設置於別的分歧路P1、P2、P3的控制閥5開啟且進行與交換前同等的流量控制。再者，配置在已閉鎖的控制閥5的上游側及下游側之開閉閥12、13亦會閉鎖。
Description
本發明係有關流量控制裝置及流量控制裝置的流量控制方法。
就半導體製造裝置而言，常使用具備控制閥的流量控制裝置(例如專利文獻1、專利文獻2等)。
當在這樣的流量控制裝置所使用的控制閥故障時，由於在半導體的製造上會產生大的問題，所以例如，會進行測量控制閥的作動次數，透過在控制閥故障前進行控制閥交換而不會在半導體的製造上出現不良影響。
專利文獻1 日本國特開2017-15167號公報
專利文獻2 國際公開第2018/088326號
然而，控制閥之故障時期非可確實預知者，且即便要於預設的時期作交換，亦需要為了交換而中斷半導體的製造，具有無法連續地製造的問題。不限於半導體，使用在連續地運轉的設備的流量控制裝置亦被要求可連續使用。
本發明之目的在於提供一種在使用於連續地運轉的設備時可連續使用的流量控制裝置及流量控制裝置的流量控制方法。
本發明的流量控制裝置係由1個流路、從前述1個流路分歧成複數個分歧路之分歧部、分別配置於在前述分歧部分歧的前述分歧路之控制閥、及監視前述控制閥的狀態之監視部所構成，於該流量控制裝置中，流體係通過分別配置在前述分歧路之前述控制閥中的任一者而被進行流量控制，在基於來自前述控制閥的監視部的信號而判斷為有必要交換前述控制閥時，閉鎖正進行流量控制的前述控制閥，並將設置於別的分歧路的控制閥開啟且進行與交換前同等的流量控制，並且配置在已閉鎖的控制閥的上游側及下游側之開閉閥亦閉鎖。
流量控制裝置係使用於半導體製造裝置等之連續地運轉的設備，隔介控制閥將所需的流體送往該設備。然後，在作動中的控制閥發生有必要交換的情況，將處於待機狀態的控制閥轉移成作動狀態，進行與交換前同等的流量控制。此際，配置在已閉鎖的控制閥的上游側及下游側之開閉閥被自動地閉鎖，以防止在轉移時的流體漏洩。藉此，可連續使用流量控制裝置。
控制閥，例如係作成具有以下構成者：區劃流路的閥體；閥體，設置成可開閉前述閥體的流路；操作前述閥體的操作構件，於使前述閥體開閉流路的開 閉方向，在使預設的前述閥體閉鎖流路的關閉位置與使預設的前述閥體開放流路的開啟位置之間可移動地設置；主致動器，使前述操作構件往前述開啟位置或關閉位置移動；及調整用致動器(調整部)，用以調整被配置在前述開啟位置的前述操作構件之位置。
較合適為，可採用以下構成，前述主致動器係使前述操作構件往前述開啟位置移動，前述調整用致動器係調整藉由前述主致動器而配置在前述開啟位置的前述操作構件的前述開閉方向之位置。
較佳為，更設置控制部，前述控制部係接收來自前述監視部的輸出，從基於來自前述監視部的輸出之信號來判斷是否有必要交換。
較佳為，就前述控制部而言，在將基於來自前述監視部的輸出之信號與預先保存之數據作比較後是超過或低於既定值(門檻值)之情況，或者超過特定的開閉次數時，判斷為有必要交換，該既定值係可判斷是正常範圍內的值。
較佳為，前述控制閥具備透過分別微調開度而能進行微小的流量控制之調整部。
前述監視部，係由測定閥的開度之感測器或流量感測器、測定開閉次數的感測器、檢測前述控制閥的閥杆的動作之近接感測器或變位感測器、流量感測器、壓力感測器等所構成。
較佳為，在前述控制閥與配置在上游側的前述開閉閥之間及在前述控制閥與配置在下游側的前述 開閉閥之間分別配置沖洗管線及在該沖洗管線配置沖洗閥。
透過與正進行流量控制的控制閥對應的開閉閥設為開啟，以維持控制閥的作動狀態，而與正進行流量控制的控制閥對應的沖洗閥被關閉。在有必要交換此控制閥的情況，與此控制閥對應的開閉閥被關閉，並且在交換前使沖洗閥被切換成開啟而連接於沖洗管線，使別的控制閥設為作動狀態。藉此，可安全且容易地進行交換。
本發明的流量控制方法，係由1個流路、從前述1個流路分歧成複數個分歧路之分歧部、分別配置於在前述分歧部分歧的分歧路之控制閥、及監視前述控制閥的狀態之監視部所構成之流量控制裝置的流量控制方法，該流量控制方法係由以下步驟所構成：藉前述監視部監視正進行流量控制的前述控制閥的狀態之步驟A；從基於來自前述監視部的輸出之信號來判斷是否有必要交換閥之步驟B；在前述步驟B判斷為有必要交換的情況，閉鎖正進行流量控制的前述控制閥，並且開啟處於別的分歧路之控制閥且開始進行與交換前同等的流量控制之步驟C；及將設置於前述已閉鎖的控制閥之前後的開閉閥閉鎖之步驟D。
較佳為，在前述步驟C中，包含持有進行前述控制閥的開閉動作之微調的調整部，且利用調整部進行開閉動作之調整，俾消除已開始流量調整的前述控制閥與前述已閉鎖的控制閥之機差及各分歧管線的個體差之步驟。
依據本發明的流量控制裝置，在作動中的控制閥發生有必要交換的情況，可在不讓流量控制裝置停止下將處於待機狀態的控制閥轉移成作動狀態，故可連續使用流量控制裝置。因此，就正使用此流量控制裝置的設備而言，可在不受到控制閥的異常影響下繼續運轉。
1‧‧‧流量控制裝置
2‧‧‧閥單元
3‧‧‧控制部
5‧‧‧控制閥
5a‧‧‧監視部
12、13‧‧‧開閉閥
14、15‧‧‧沖洗閥
100‧‧‧調整用致動器(調整部)
P‧‧‧流路
P1、P2、P3‧‧‧分歧路
J1、J2、J3‧‧‧分歧部
圖1顯示本發明的流量控制裝置及流量控制裝置的流量控制方法的一實施形態之配管圖。
圖2顯示在本發明的流量控制裝置使用的控制閥的一例之縱剖面圖。
圖3顯示本發明的流量控制裝置的流量控制方法之流程圖。
圖4顯示將本發明的流量控制裝置的流量控制方法適用在閥單元為2個的情況時的連續使用狀態之流程圖。
圖5顯示本發明的流量控制裝置及流量控制裝置的流量控制方法的判斷交換的部分之流程圖。
參照以下圖面來說明本發明的實施形態。
如圖1所示，本發明的流量控制裝置1具備：1個流路P；從1個流路P分歧成複數個分歧路P1、P2、P3之分歧部J1、J2、J3；分別配置於在分歧部J1、J2、J3分歧的分歧路P1、P2、P3之閥單元2；及控制各閥單元2的狀態之控制部3。
各閥單元2，係由在對配置於流量控制裝置1的下游側的裝置運送流體時具有流量控制機能的控制閥5、在交換控制閥5時被設為開啟或關閉的2個開閉閥12、13、及在交換控制閥5時為進行沖洗而被開閉之沖洗閥(purge valve)14、15所構成。
各閥11、12、13、14、15係被設為內建有所需的感測器之自動閥，所有的閥單元2的各閥11、12、13、14、15的狀態係受由個人電腦等所構成之控制部3監視。
在各閥單元2設有無線收發器4，各閥11、12、13、14、15的數據係經由無線收發器4傳送到控制部3，控制部3係處理數據並經由無線收發器4對各閥單元2的各閥11、12、13、14、15傳送必要的信號。此外，此處雖使用無線收發機4以無線方式與控制部3進行收發，但亦可作成利用有線方式來進行。
閥單元2的數量雖設為適當的個數，但因為是透過將有必要交換的控制閥交換成新品而作成可使用(待機狀態)，所以最低限度必要的閥單元之個數為2個。
控制閥5係所稱將金屬隔膜作為閥體(valve body)使用的直觸型(direct touch type)的金屬隔膜閥，且具有監視控制閥5的狀態之監視部5a。
詳細圖示被省略的監視部5a，係由測定控制閥5的開度之感測器或流量感測器、測定開閉次數的感測器、檢測控制閥的閥杆的動作之近接感測器或變位感測器、流量感測器、壓力感測器等所構成。
開閉閥12、13，係由設於控制閥5的上游側以防止流體朝控制閥5流入的第1開閉閥12、及設於控制閥5的下游側以防止流體自控制閥5流出的第2開閉閥13所構成。
沖洗閥14、15，係由設置在從控制閥5與第1開閉閥12的連接通路分歧的通路之第1沖洗閥14、及設置在從控制閥5與第2開閉閥13的連接通路分歧的通路之第4開閉閥15所構成。
控制閥5的一例顯示於圖2。
圖2中，5係控制閥，6係閥體，20係作為閥體的隔膜，38係隔膜壓板，30係閥帽，40係操作構件，50係外殼，60係主致動器，70係調整本體，80係致動器壓板，90係螺旋彈簧，100係作為調整用致動器(調整部)的壓電致動器，110係致動器支承，120係作為彈性構件的碟型彈簧，OR係表示作為密封構件的O型環。
閥體6係利用不鏽鋼所形成，具有塊狀的閥體本體6a及從閥體本體6a側方分別突出的連接部 6b、6c，區劃出流路7、8。流路7、8的一端係在連接部6b、6c的端面分別開口，另一端係與上方敞開的凹狀的閥室9連通。於閥室9的底面，在設於流路7的另一端側的開口周緣的安裝槽，嵌合固定有合成樹脂(PFA、PA、PI、PCTFE等)製的閥座10。此外，本實施形態中，藉由壓接加工使閥座10被固定於安裝槽內。
隔膜20，係可以開閉閥體6的流路7、8之方式設置的閥體，配設於閥座10的上方，保持閥室9的氣密，並且透過其中央部上下移動地對閥座10抵接/分離而開閉流路7、8。本實施形態中，隔膜20係藉由使特殊不鏽鋼等之金屬製薄板及鎳‧鈷合金薄板的中央部朝上方外突以使上凸的圓弧狀成為自然狀態的球殼狀。此特殊不鏽鋼薄板3片與鎳‧鈷合金薄板1片被積層而構成隔膜20。
隔膜20為，其周緣部被載置於閥室9的內周面的突出部上，透過將插入閥室9內的閥帽30的下端部朝閥體6的螺紋部16螺入，隔介不鏽鋼合金製的壓板轉接器25朝閥體6的前述突出部側按壓而被以氣密狀態夾持固定著。此外，鎳‧鈷合金薄膜係配置於接氣側。
操作構件40係用以操作隔膜20俾使隔膜20開閉流路7、8的構件，其形成大致圓筒狀，下端側藉閉塞部48閉塞，上端側為開口狀，且和閥帽30的內周面與形成在外殼50內的筒狀部51的內周面嵌合而被支持成可於上下方向移動自如。此外，圖2所示的A1、A2係操作構件40的開閉方向，A1表示開啟方向，A2 表示關閉方向。本實施形態中，相對於閥體6，上方為開啟方向A1，而下方為關閉方向A2，但在實際的使用時不受此所限定。
在操作構件40的下端面安裝有與隔膜20的中央部上表面抵接的聚醯亞胺等之合成樹脂製的隔膜壓板38。
在形成於操作構件40的外周面的凸緣45的上表面與外殼的頂棚面之間，設有螺旋彈簧90，操作構件40係藉螺旋彈簧90而常時朝關閉方向A2偏置。因此，如圖2所示，在主致動器60未作動的狀態下，隔膜20被按住於閥座10上，流路7、8之間成為被關閉的狀態。
螺旋彈簧90係被形成於外殼50的內周面與筒狀部51之間的保持部52所收容。本實施形態中雖使用螺旋彈簧90，但不受此所限定，能使用碟型彈簧或板彈簧等之其他種類的彈簧。
外殼50係透過其下端部內周被螺入閥帽30的上端部外周所形成的螺紋部36而被固定於閥帽30。此外，在閥帽30上端面與外殼50之間，固定有環狀的隔板(bulkhead)63。
在操作構件40的外周面與外殼50及閥帽30之間，形成有藉隔板63而被區劃成上下的汽缸室C1、C2。
在上側的汽缸室C1，嵌插有形成環狀的活塞61，在下側的汽缸室C2，嵌插有形成環狀的活塞62。 此等汽缸室C1、C2及活塞61、62係構成使操作構件40移往開啟方向A1的主致動器60。主致動器60係形成使用2個活塞61、62使壓力的作用面積增加，藉此藉由操作氣體所致之力量可增加。
汽缸室C1的活塞61的上側的空間係藉通氣路53繫接於大氣。汽缸室C2的活塞62的上側的空間係藉通氣路h1繫接於大氣。
由於汽缸室C1、C2的活塞61、62的下側的空間會被供給高壓的操作氣體，所以藉由O型環OR保持氣密。此等空間係與形成在操作構件40的流通路41、42分別連通。流通路41、42係與形成在操作構件40的內周面與壓電致動器100的殼本體101的外周面之間的流通路Ch連通，此流通路Ch係與由操作構件40的上端面、外殼50的筒狀部51及調整本體70的下端面所形成的空間SP連通。而且，被形成於環狀的致動器壓板80的流通路81係將空間SP與貫通調整本體70中心部的流通路71連接。調整本體70的流通路71係隔介管接頭150與管160連通。
壓電致動器100係於圓筒狀的殼本體101內建有未圖示之積層的壓電元件。殼本體101係不鏽鋼合金等之金屬製且半球狀的前端部102側的端面及基端部103側的端面閉塞著。透過對被積層的壓電元件施加電壓使之伸長，殼本體101的前端部102側的端面彈性變形，半球狀的前端部102在長邊方向變位。當將被積層的壓電元件之最大行程設為2d時，透過預先施加壓電 致動器100的伸長會成為d的既定電壓V0，壓電致動器100的全長成為L0。然後，當施加比既定電壓V0還高的電壓時，壓電致動器100的全長最大成為L0+d，當施加比既定電壓V0低的電壓(包含無電壓在內)時，壓電致動器100的全長最小成為L0-d。因此，在開閉方向A1、A2可使從前端部102到基端部103為止的全長伸縮。
如圖2所示，朝壓電致動器100的供電係利用配線105來進行。配線105係通過調整本體70的流通路71及管接頭150而往管160導引且從管160的中途往外部引出。
壓電致動器100的基端部103的開閉方向的位置係隔介致動器壓板80藉由調整本體70的下端面所規定。調整本體70為，設於調整本體70的外周面的螺紋部被螺入形成於外殼50上部的螺紋孔56，透過對調整本體70的開閉方向A1、A2的位置作調整，可調整壓電致動器100的開閉方向A1、A2的位置。
壓電致動器100的前端部102係抵接於被形成在圓盤狀的致動器支承110上表面的圓錐面狀的支承面。致動器支承110係成為可移動於開閉方向A1、A2。
在致動器支承110的下表面與操作構件40的閉塞部48的上表面之間，設有作為彈性構件的碟型彈簧120。在圖2所示的狀態中，碟型彈簧120已被壓縮某種程度而彈性變形，藉由此碟型彈簧120的復原力，致動器支承110係常時朝開啟方向A1偏置。因此，壓電致動器100亦常時朝開啟方向A1偏置，形成基端部103 的上表面被按壓在致動器壓板80的狀態。藉此，壓電致動器100係相對於閥體6配置在既定的位置。由於壓電致動器100未連結於任一構件，故相對於操作構件40可於開閉方向A1、A2相對地移動。
控制閥5，係例如被使用在有必要連續生產的半導體製造裝置。此用途的控制閥5係被要求可連續地開閉，且為了在損傷前交換隔膜20，事先設定有達到破裂的開閉次數。又，由於耐久性是重要的，所以採用使用隔膜材質等高強度者、將閥升程(valve lift)設小等之耐久性提升策略。但是，在半導體製造裝置側，例如在被要求流量的情況等，會有犧牲耐久性而進行提高閥升程等之對策的情況，亦有比設定次數還早故障的情形。在此情況，對於利用半導體製造裝置所進行的連續生產造成很大的不良影響。
流量控制裝置1，係隔介控制閥5調整所需流體的流量並送往例如半導體製造裝置。此時，設定成所有的閥單元2當中處於作動狀態的僅1個，除此以外的閥單元2係設定成可視需要馬上可轉移成作動狀態的待機狀態。然後，在處於作動狀態的閥單元2的控制閥5超過故障或保證的耐久次數之際，設成監視部5a會對其作檢測，使其控制閥5停止，並處於待機狀態的閥單元2的控制閥5作動。
開閉閥12、13，在控制閥5是處於作動狀態的情況係開啟，而處於待機狀態的情況係關閉。沖洗閥14、15通常被關閉，而於作動狀態停止時，為進行該閥單元2之沖洗係設為開啟。
圖3係以流程圖顯示控制部3所進行之控制。
控制部3具備：進行各閥單元2內的控制之閥單元控制部3a；及進行閥單元2間的控制之閥單元間控制部3b。
閥單元控制部3a對於控制閥5，於初始設定時事先賦予連續地開閉之FLAG=0(步驟S1)，例如在開閉次數超過隔膜20破裂的可能性變高的設定次數之情況(步驟S2)，賦予必須交換控制閥5的FLAG=1(步驟S3)。
FLAG=1不限於僅依開閉次數而被賦予，亦可考慮依控制閥5的作動時間超過設定時間的情況或從設於控制閥5的監視部5a所獲得之隔膜20等的異常等而賦予。
閥單元控制部3a又對於開閉閥12、13，在初始設定時事先賦予將開閉閥12、13設為開啟的FLAG=0(步驟S4)，並且以中斷擱置(interrupt pending)來監視針對於控制閥5的FLAG為0或1(步驟S5)。然後，在控制閥5為FLAG=0的期間，開閉閥12、13維持開啟狀態，在控制閥5成為FLAG=1之際，賦予將開閉閥12、13關閉的FLAG=1(步驟S6)。
閥單元控制部3a又對於沖洗閥14、15，在初始設定時事先賦予設為關閉的FLAG=0(步驟S7)，並且以中斷擱置來監視針對於開閉閥12、13的FLAG為0或1(步驟S8)。然後，開閉閥12、13為FLAG=0的期間(亦即，控制閥5為FLAG=0的期間)，沖洗閥14、15維持關閉狀態，在開閉閥12、13成為FLAG=1之際，賦 予將沖洗閥14、15開啟(步驟S9)並進行沖洗之FLAG=1(步驟S10)。
閥單元間控制部3b對於處於待機狀態的閥單元2，在初始設定時事先賦予處於待機狀態的FLAG=0(步驟S11)，並且以中斷擱置來監視針對於沖洗閥14、15的FLAG為0或1(步驟S12)。然後，沖洗閥14、15為FLAG=0的期間(亦即，控制閥5為FLAG=0的期間)，係維持待機狀態，在沖洗閥14、15成為FLAG=1之際，以將此閥單元(下一個單元)2設為作動狀態的方式賦予FLAG=0(步驟S13)。藉此，下一個單元2的閥單元控制部3a係對其控制閥5執行從步驟(S1)到步驟(S10)。閥單元間控制部3b係進行處於作動狀態的閥單元2已交換的警報‧交換連絡(步驟S14)，然後，對處於作動狀態的閥單元2賦予處於不可作動的狀態之FLAG=2(步驟S15)。
控制部3係被設為除了進行上述的控制外，還監視過去的故障履歷等者。
圖4顯示在閥單元2為2個(第1單元及第2單元)的情況之連續使用時，各閥11、12、13、14、15的開閉狀態會如何被切換的流程圖。
首先，在初始狀態中，第1單元的控制閥5開啟、第1單元的開閉閥12、13開啟、第2單元的控制閥5關閉。第2單元的開閉閥12、13可為開啟或關閉任一者(步驟S21)。
正進行流量控制的第1單元的控制閥5的狀態係受監視部5a監視(測定及輸出)(步驟S22)。然後， 從基於來自監視部5a的輸出之信號來判斷是否有必要交換控制閥5(步驟S23)。
步驟S23中，在有必要交換的情況，切換成第1單元的控制閥5關閉、第1單元的開閉閥12、13關閉、第2單元的控制閥5開啟、及第2單元的開閉閥12、13開啟(步驟S24)。在沒必要交換的情況，返回步驟S21。
步驟S24之後，第1單元的控制閥5被交換成新品並被關閉(步驟S25)。
在交換第1單元的控制閥5之際，在維持開閉閥12、13關閉的狀態下控制閥5開啟、沖洗閥14、15開啟並進行沖洗，且在將沖洗閥14、15關閉後，交換控制閥5，然後，控制閥5開啟、沖洗閥14、15開啟並再進行一次沖洗，然後沖洗閥14、15關閉、控制閥5關閉而完成。第1單元的控制閥5之交換只要是在第2單元的控制閥5有必要交換之前進行即可。
步驟S24中，第2單元的控制閥5開啟、第2單元的開閉閥12、13開啟、第2單元的控制閥5成為正進行流量控制的狀態。第1單元的控制閥5關閉，第1單元的開閉閥12、13可為開啟或關閉任一者(步驟S26)。
依據步驟S26，正進行流量控制者成為第2單元的控制閥5，其狀態受監視部5a監視(測定及輸出)(步驟S27)。然後，從基於來自監視部5a的輸出之信號來判斷是否有必要交換控制閥5(步驟S28)。
步驟S28中，在有必要交換的情況，切換成第2單元的控制閥5關閉、第2單元的開閉閥12、13關閉、第1單元的控制閥5開啟、及第1單元的開閉閥12、13開啟(步驟S29)。在沒必要交換的情況，返回步驟S26。
步驟S29之後，第2單元的控制閥5被交換成新品，並被關閉(步驟S30)。第2單元的控制閥5之交換係與第1單元的控制閥5同樣地進行即可，又，第2單元的控制閥5之交換係只要在第1單元的控制閥5有必要交換前進行即可。
步驟S29中，第1單元的控制閥5開啟、第1單元的開閉閥12、13開啟，成為和步驟S21同樣的狀態，之後，透過重複從步驟S21到步驟S29，在控制閥5故障之前作交換，可連續使用流量控制裝置1。
圖5顯示流量控制裝置的流量控制方法的判定交換的部分之流程圖。
在判定是否有必要交換之際，首先，讀取比較數據(步驟S41)。然後，判定開閉次數是否已達到規定值(步驟S42)，在達到規定值的情況，判斷為有必要交換(步驟S48)，輸出該意旨(步驟S49)。
其次，判定開度是否未成為一定以上開啟程度(步驟S43)，在開度未成為一定以上之開啟程度的情況，判斷為有必要交換(步驟S48)，輸出該意旨(步驟S49)。
其次，判定是否設定流量與測定流量之差為一定以上(步驟S44)，在差為一定以上的情況，判斷為有必要交換(步驟S48)，輸出該意旨(步驟S49)。
其次，判定內部壓力是否為規定以上(步驟S45)，在內部壓力為規定以上的情況，判斷為有必要交換(步驟S48)，輸出該意旨(步驟S49)。
其次，判定行程是否少於規定值(步驟S46)，在行程少於規定值的情況，判斷為有必要交換(步驟S48)，輸出該意旨(步驟S49)。
從步驟S42到步驟S46為止的判定步驟係實施的順序不拘。在從步驟S42到步驟S46為止的判定步驟判定所有為NO(可使用)的情況，判斷為沒必要交換(步驟S47)，輸出該意旨(步驟S49)。
如此一來，依據上述流量控制裝置1，在並列狀配置的複數個閥單元2當中任一者被設為作動狀態，且其作動狀態受監視而發生有必要交換控制閥5的情況，待機狀態的閥單元2馬上被設為作動狀態。因此，在使用此流量控制裝置1正進行連續生產的裝置變得不會發生因控制閥5故障而受損。又，透過由被停止的控制閥5連絡控制部3，自動地對該閥單元2內作沖洗並交換控制閥5而事先設為待機狀態，可半永久地繼續閥的作動。
由於在半導體製造裝置等之連續地運轉的設備中所使用之流量控制裝置可連續使用，所以在使用 此流量控制裝置的設備中，能獲得可在未受控制閥之異常的影響下繼續運轉之優點。
Claims (8)
- 一種流量控制裝置，係由1個流路、從前述1個流路分歧成複數個分歧路之分歧部、分別配置於在前述分歧部分歧的前述分歧路之控制閥、及監視前述控制閥的狀態之監視部所構成，於該流量控制裝置中，流體係通過分別配置在前述分歧路之前述控制閥中的任一者而被進行流量控制，在基於來自前述控制閥的監視部的信號而判斷為有必要交換前述控制閥時，閉鎖正進行流量控制的前述控制閥，並將設置於別的分歧路的控制閥開啟且進行與交換前同等的流量控制，並且配置在已閉鎖的控制閥的上游側及下游側之開閉閥亦閉鎖。
- 如請求項1之流量控制裝置，其中更設置控制部，前述控制部係接收來自前述監視部的輸出，從基於來自前述監視部的輸出之信號來判斷是否有必要交換。
- 如請求項2之流量控制裝置，其中在前述控制部中，在將基於來自前述監視部的輸出之信號與預先保存之數據作比較後，在超過既定值之情況，或者超過特定的開閉次數時，判斷為有必要交換。
- 如請求項1至3中任一項之流量控制裝置，其中前述控制閥具備透過分別微調開度而能進行微小的流量控制之調整部。
- 如請求項1之流量控制裝置，其中前述監視部係由測定閥的開度之感測器或流量感測器、測定開閉次數的感測器、檢測前述控制閥的閥杆的動作之近接感測器或變位感測器、流量感測器、壓力感測器等所構成。
- 如請求項1之流量控制裝置，其中在前述控制閥與配置在上游側的前述開閉閥之間、及在前述控制閥與配置在下游側的前述開閉閥之間，分別配置沖洗管線及在該沖洗管線配置沖洗閥。
- 一種流量控制裝置的流量控制方法，該流量控制裝置係由1個流路、從前述1個流路分歧成複數個流路之分歧部、分別配置於在前述分歧部分歧的分歧路之控制閥、及監視前述控制閥的狀態之監視部所構成，該流量控制裝置的流量控制方法係由以下步驟所構成：藉前述監視部監視正進行流量控制的前述控制閥的狀態之步驟A；從基於來自前述監視部的輸出之信號來判斷是否有必要交換閥之步驟B；在前述步驟B判斷為有必要交換的情況，閉鎖正進行流量控制的前述控制閥，並且開啟處於別的分歧路之控制閥且開始進行與交換前同等的流量控制之步驟C；及將設置於前述已閉鎖的控制閥之前後的開閉閥閉鎖之步驟D。
- 如請求項7之流量控制方法，其中在前述步驟C中，包含持有進行前述控制閥的開閉動作之微調的調整 部，且利用調整部進行開閉動作之調整，俾消除已開始流量調整的前述控制閥與前述已閉鎖的控制閥之機差及各分歧管線的個體差之步驟。
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