CN202710956U - 温控设备管路切换装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种温控设备管路切换装置，用于实现对高精度温控对象组和低精度温控对象组的供水切换控制，包括第一温控设备,其输出口经第一支路和第二支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第五支路和第六支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；第二温控设备，其输出口经第三支路和第四支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第七支路和第八支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；以及八个控制阀，分别设置于第一至第八支路上，本实用新型能方便实现温控设备在工作状态和休息状态间切换以及对不同温控对象组进行选择性供水。

Description

温控设备管路切换装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种温控设备管路切换装置。 

背景技术

目前，在半导体制造的光刻领域，由于扫描光刻机上需冷却对象较多，因此，常使用两台温控设备（即第一温控设备和第二温控设备）对上述冷却对象提供冷却水，并且两台温控设备的输出精度要求不同。一台温控设备为微动台或粗动台的扫描电机、步进电机、垂向电机（概括为高精度温控对象组）提供高精度冷却水；另一台温控设备为线缆台及放漂移的步进电机、扫描电机（概括为低精度温控对象组）提供低精度冷却水。 

现有技术中通常将两台温控设备安装在一个支架上，各自通过简单的连接装置，实现温控装置的通断，连接装置原理如图1所示。由图1可见，第一温控设备100和第二温控设备200分别独自通过各自的管路和控制阀500向高精度温控对象组300和低精度温控对象组400供水，虽然其结构比较简单，但是当温控设备需要维护、检测或者应急调换时，需要将所有管路拆除再重新安装，耗时耗力。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种温控设备管路切换装置，可以实现在拆装管路和接头的情况下，实现对温控设备的工作状态和自测状态的切换，以及实 现对温控设备对温控对象的选择性供水，切换方便，且省时省力。 

本实用新型提供的温控设备管路切换装置，用于实现对高精度温控对象组和低精度温控对象组的供水切换控制，包括： 

第一温控设备,其输出口经第一支路和第二支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第五支路和第六支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接； 

第二温控设备，其输出口经第三支路和第四支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第七支路和第八支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接； 

八个控制阀，分别设置于第一至第八支路上，用于控制各个支路的通断。 

进一步，在上述的温控设备管路切换装置中，第一温控设备的输出口与第一支路和第二支路之间还设有第一输送总管；第一温控设备的输入口与第五支路和第六支路之间设有第二输送总管；第二温控设备的输出口与第三支路和第四支路之间设有第三输送总管；第二温控设备的输入口与第七支路和第八支路之间设有第四输送总管；所述第一输送总管、第二输送总管、第三输送总管以及第四输送总管上分别设置有压力表。 

进一步，在上述的温控设备管路切换装置中，还包括： 

第一自修管路，连通第一输送总管与第二输送总管，所述第一自修管路上设有第九控制阀； 

第二自修管路，连通第三输送总管以及所述第四输送总管，所述第二自修管路上设有第十控制阀。 

本实用新型提供的温控设备管路切换装置，通过将对上述八个控制阀中的对应的控制阀进行关闭或开启，可以实现温控设备即第一温控设备和第二温控设备在工作状态和休息状态间进行切换，以及可以在不拆卸相应管路和接头的 情况下实现温控设备对不同温控对象组的选择性供水即调换供水，相比现有技术中需要在拆卸相应管路和接头的情况下才能实现调换供水的技术方案使用更加方便，省时省力。另外，通过设置第一自修管路，并在第一自修管路上设置第九控制阀，可以实现第一温控设备在工作状态、自测状态和休息状态间进行切换。此外，通过设置第二自修管路，并在第二自修管路上设置第十控制阀，可以实现第二温控设备在工作状态、自测状态和休息状态间进行切换。 

附图说明

本实用新型的温控设备管路切换装置由以下的实施例及附图给出。 

图1为现有的两个温控设备向两个温控对象组供水的原理图。 

图2为本实用新型一实施例两个温控设备通过温控设备管路切换装置控制向两个温控对象组供水的原理图。 

图3为本实用新型一实施例第一温控设备和第二温控设备分别向高精度温控对象组和低精度温控对象组供水的示意图。 

图4为本实用新型一实施例第一温控设备和第二温控设备分别向低精度温控对象组和高精度温控对象组供水的示意图。 

图5为本实用新型一实施例第一温控设备处于自测状态示意图。 

图6为本实用新型一实施例第二温控设备处于自测状态示意图。 

图中，100-第一温控设备，200-第二温控设备，300-高精度温控对象组，400-低精度温控对象组，1-第一控制阀，2-第二控制阀，3-第三年控制阀，4-第四控制阀，5-第五控制阀，6-第六控制阀，7-第七控制阀，8-第八控制阀，9-第九控制阀，10-第十控制阀，11-压力表，12-接头。 

具体实施方式

以下将对本实用新型的温控设备管路切换装置作进一步的详细描述。 

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。 

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。 

请参阅图2，图2为本实用新型一实施例两个温控设备通过温控设备管路切换装置控制向两个温控对象组供水的原理图。本实施例提供的温控设备管路切换装置，用于实现对高精度温控对象组300和低精度温控对象组400的供水切换控制，包括： 

第一温控设备100，所述第一温控设备100的输出口分别经第一支路和第二支路与所述高精度温控对象组300和低精度温控对象组400的输入口连接，；所述第一温控设备100的输入口分别经第五支路和第六支路与所述高精度温控对象组300和低精度温控对象组400的输出口连接； 

所述第二温控设备200，所述第二温控设备200的输出口分别经第三支路和第四支路与所述高精度温控对象组300和低精度温控对象组400的输入口连接；所述第二温控设备200的输入口分别经第七支路和第八支路与所述高精度温控对象组300和低精度温控对象组400的输出口连接。 

八个控制阀，即第一控制阀1、第二控制阀2、第三控制阀3、第四控制阀4、第五控制阀5、第六控制阀6、第七控制阀7以及第八控制阀8，所述八个控制阀分别设置于第一至第八支路上，用于控制各个支路的通断。 

一方面，通过设置上述八个控制阀其中一部分或者全部关闭或者开启，可 以实现第一温控设备100或第二温控设备200是否向高精度温控对象组300或低精度温控对象组400供水，以及实现第一温控设备100或第二温控设备200对高精度温控对象组300和低精度温控对象组400的选择性供水。 

另一方面，通过将对上述八个控制阀中的对应的控制阀进行关闭或开启，可以实现温控设备即第一温控设备100和第二温控200在工作状态和休息状态间进行切换，即选择第一温控设备100或第二温控设备200是否向高精度温控对象组300或低精度温控对象组400供水；同时，可以在不拆卸相应管路和接头的情况下实现温控设备对不同温控对象组的调换供水，即实现第一温控设备100或第二温控设备200对高精度温控对象组300和低精度温控对象组400的选择性供水，其相比现有技术中需要在拆卸相应管路和接头的情况下才能实现调换供水的技术方案操作更加方便，省时省力。 

较佳的，在本是实施例中，第一温控设备100的输出口与第一支路和第二支路之间还设有第一输送总管，即所述第一温控设备100的输出口经第一输送总管后分出所述第一支路和第二支路；第一温控设备100的输入口与第五支路和第六支路之间设有第二输送总管，即所述第一温控设备100的输入口经第二输送总管后分出所述第七支路和第八支路；第二温控设备200的输出口与第三支路和第四支路之间设有第三输送总管，即所述第二温控设备200的输出口经第三输送总管后分出所述第三支路和第四支路；第二温控设备的输入口与第七支路和第八支路之间设有第四输送总管，即所述第二温控设备200的输入口经第四输送总管后分出所述第七支路和第八支路输入口经第四输送总管后分出所述第七支路和第八支路，所述第一输送总管、第二输送总管、第三输送总管以及第四输送总管上分别设置有压力表。通过设置所述压力11，便于实现对相应温控设备运行状态的检测，使得设备运行更加可靠。 

较佳地，本实施例中，还包括第一自修管路，所述第一自修管路连通所述第一输送总管与所述第二输送总管，所述第一自修管路上设有第九控制阀9。 通过设置第一自修管路，并在第一自修管路上设置第九控制阀9，可以实现第一温控设备100在工作状态、自测状态和休息状态间进行切换。 

较佳地，还包括第二自修管路，所述第二自修管路连通所述第三输送总管以及所述第四输送总管，所述第二自修管路上设有第十控制阀10。通过设置第二200在工作状态、自测状态和休息状态间进行切换。 

较佳地，所述第一控制阀1、第二控制阀2、第三控制阀3、第四控制阀4、第五控制阀5、第六控制阀6、第七控制阀7、第八控制阀8、第九控制阀9以及第十控制阀10均是球阀。所述球阀具有结构简单，使用方便的优点。 

较佳地，所述第一温控设备100的输出口、第一温控设备100的输入口、第二温控设备200的输出口、第二温控设备200的输入口、高精度温控对象组300的输入口、高精度温控对象组300的输出口、低精度温控对象组300的输入口以及低精度温控对象组400的输出口分别设置有接头12。通过设置接头12，以便于实现对相关部件之间的连接，提高安装效率和连接的密封性。 

以下对本实施例的温控设备管路切换装置的几种典型工况进行说明： 

一、请参阅图3，图3为本实施例第一温控设备100和第二温控设备200分别向高精度温控对象组300和低精度温控对象组400供水的示意图。此时，打开第一控制阀1、第四控制阀4、第五控制阀5以及第八控制阀8，并关闭第二控制阀2、第三控制阀3、第六控制阀6、第七控制阀7、第九控制阀9以及第十控制阀10，此时第一温控设备100为高精度温控对象组300提供冷却水，第二温控设备200为低精度温控对象组400提供冷却水。 

二、当第一温控设备100运行出现异常或控温精度达不到要求时，需要将两个温控设备的供水对象进行互换。请参阅图4，图4为本实施例第一温控设备100和第二温控设备200分别向低精度温控对象组400和高精度温控对象组供水300的示意图。此时，打开第二控制阀2、第三控制阀3、第六控制阀6以及第七控制阀7，并关闭第一控制阀1、第四控制阀4、第五控制阀5、第八 控制阀8、第九控制阀9以及第十控制阀10，此时第一温控设备100为低精度温控对象组400提供冷却水供水，第二温控设备200为高精度温控对象组300提供冷却水，从而实现两台温控设备供水对象的切换。 

三、请参阅图5，图5为实施例第一温控设备100处于自测状态的示意图。当第一温控设备100运行出现异常或控温精度达不到要求，需要进行设备检测时，关闭第一控制阀1、第二控制阀2、第五控制阀5以及第六控制阀6，并打开第九控制阀9，此时第一温控设备100不对外供水，进行第一温控设备100的内部循环，以便设备检测。 

四、请参阅图6，图6为本实施例第二温控设备200处于自测状态示意图。当第二温控设备200运行出现异常或控温精度达不到要求，需要进行设备检测时，关闭第三控制阀3、第四控制阀4、第七控制阀7、第八控制阀8，并打开第十控制阀10，此时，第二温控设备200不对外供水，进行第二温控设备200的内部循环，以便设备检测。 

通过以上几种工况可以看出，本发明的管路切换装置能够实现可以实现温控设备即第一温控设备100第二温控设备200在工作状态和休息状态间进行切换，以及可以在不拆卸相应管路和接头的情况下实现温控设备对不同温控对象组的选择性供水即调换供水，省时省力。 

除了上述的工况，本发明所述的管路切换装置还可以针对其他工况进行相应调整。对第一温控设备和第二温控设备的各种运行工况及所需的控制阀配合状态组合列表，如下表所示： 

综上所述，本实用新型提供的温控设备管路切换装置，通过将对上述八个控制阀中的对应的控制阀进行关闭或开启，可以实现温控设备即第一温控设备和第二温控设备在工作状态和休息状态间进行切换，以及可以在不拆卸相应管路和接头的情况下实现温控设备对不同温控对象组的选择性供水即调换供水，相比现有技术中需要在拆卸相应管路和接头的情况下才能实现调换供水的技术方案使用更加方便，省时省力。另外，通过设置第一自修管路，并在第一自修管路上设置第九控制阀，可以实现第一温控设备在工作状态、自测状态和休息状态间进行切换。此外，通过设置第二自修管路，并在第二自修管路上设置第十控制阀，可以实现第二温控设备在工作状态、自测状态和休息状态间进行切换。 

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。 

Claims (3)

1.一种温控设备管路切换装置，用于实现对高精度温控对象组和低精度温控对象组的供水切换控制，其特征在于，包括：

第一温控设备,其输出口经第一支路和第二支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第五支路和第六支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；

第二温控设备，其输出口经第三支路和第四支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第七支路和第八支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；

八个控制阀，分别设置于第一至第八支路上，用于控制各个支路的通断。

2.根据权利要求1所述的温控设备管路切换装置，其特征在于，第一温控设备的输出口与第一支路和第二支路之间还设有第一输送总管；第一温控设备的输入口与第五支路和第六支路之间设有第二输送总管；第二温控设备的输出口与第三支路和第四支路之间设有第三输送总管；第二温控设备的输入口与第七支路和第八支路之间设有第四输送总管；所述第一输送总管、第二输送总管、第三输送总管以及第四输送总管上分别设置有压力表。

3.根据权利要求2所述的温控设备管路切换装置，其特征在于，还包括：

第一自修管路，连通第一输送总管与第二输送总管，所述第一自修管路上设有第九控制阀；

第二自修管路，连通第三输送总管以及所述第四输送总管，所述第二自修管路上设有第十控制阀。

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