JP2007239769A - メタルダイアフラム弁及びそれを用いたマスフローコントローラ - Google Patents
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Abstract
【課題】 耐久性に優れたメタルダイアフラム弁を提供する。
【解決手段】 ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となすメタルダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムは、d3/d1=2〜7、r/d3=4〜7の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁を提供する。
【選択図】 図3
【解決手段】 ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となすメタルダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムは、d3/d1=2〜7、r/d3=4〜7の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁を提供する。
【選択図】 図3
Description
本発明は、流体の圧力で変形する金属製ダイアフラムを有するメタルダイアフラム弁、及びそれを備えた流体の質量を精密に制御するために使用されるマスフローコントローラに関する。
半導体の製造プロセスにおいては、薄膜形成工程などで微量(例えば3〜30SCCM)のスパッタガス(He、Ne、N2、Ar、H2、NH3、CH4等)が使用されるので、質量流量(マスフロー)を計測して高精度(例えば±1.0%以下の流量精度)で制御するマスフローコントローラが使用されている。マスフローコントローラは、少なくとも、質量流量を検出するセンサ部と、流量制御弁と、これらの制御回路とを備えている。このマスフローコントローラにおいては、流量制御弁を全閉にしても、弁座からのガスの漏出があるので、その下流側に遮断弁を設けて、流量制御弁の前後で流体を遮断することが行われている。
上記の遮断弁としては、上部を開放し左右に流入口及び流出口を形成し中央部に流入口とつながった上向き流路を有する本体と、前記上向き流路に設けた弁座と、本体上部に装着したキャップ(以下プラグと言うことがある)と本体との間で外周部が挟持され、中央部が上部に向かって部分球殻状の膨らみを有する金属製のダイアフラムと、このダイアフラムを弁座方向に変位させ押付けシールするための押圧手段からなるものが知られている。前記押圧手段としては手動による弁棒あるいは空気圧作動式のシリンダーを用いている。
また、別の構造として、上記プラグに流体圧供給用の給排口を設け、当該給排口からダイアフラムの上面に流体圧力(例えば空気圧)を印加することにより、ダイアフラムの中央部を下降させて上向き流路の上端に設けた弁座シートにダイアフラムの下面を圧接させて閉弁し、流体圧力を解除して開弁するように構成したダイアフラムシール弁(以下メタルダイアフラム弁という)が提案されている(特許文献1参照)。このメタルダイアフラム弁によれば、金属製ダイアフラムの上面に流体圧力が作用し、ダイアフラムの下面で上向流路を閉じ、流体圧力を解除すると、弾性変形して元の形状に戻るので、上向流路を開くことが可能となり、しかも部品点数を削減できる(シリンダーや弁棒などを省略できる)という利点がある。
また、コンパクトな構造で、微小流量の制御とともに、短時間で大流量(例えば20、000SCCM程度)のパージを可能とするために、流入流路の下流にバイパス流路を設け、これとセンサ流路の上流と流量制御弁の下流とを迂回流路で連通し、迂回流路に遮断弁を設けた形式のマスフローコントローラが提案されている(特許文献2参照)。
また、別の構造として、上記プラグに流体圧供給用の給排口を設け、当該給排口からダイアフラムの上面に流体圧力(例えば空気圧)を印加することにより、ダイアフラムの中央部を下降させて上向き流路の上端に設けた弁座シートにダイアフラムの下面を圧接させて閉弁し、流体圧力を解除して開弁するように構成したダイアフラムシール弁(以下メタルダイアフラム弁という)が提案されている(特許文献1参照)。このメタルダイアフラム弁によれば、金属製ダイアフラムの上面に流体圧力が作用し、ダイアフラムの下面で上向流路を閉じ、流体圧力を解除すると、弾性変形して元の形状に戻るので、上向流路を開くことが可能となり、しかも部品点数を削減できる(シリンダーや弁棒などを省略できる)という利点がある。
また、コンパクトな構造で、微小流量の制御とともに、短時間で大流量(例えば20、000SCCM程度)のパージを可能とするために、流入流路の下流にバイパス流路を設け、これとセンサ流路の上流と流量制御弁の下流とを迂回流路で連通し、迂回流路に遮断弁を設けた形式のマスフローコントローラが提案されている(特許文献2参照)。
遮断弁の開閉は頻繁に行われるので、特許文献1に記載されたメタルダイアフラム弁であっても、遮断弁の連続開閉時に、ダイアフラムが破断する(割れる)現象が発生することがある。これは、特許文献2に記載されているように、金属製ダイアフラムに上方から空気圧が作用すると、ダイアフラムは下方に変位を始め、ある時点で急激に変位が増大する飛び移り座屈現象を発生し、弾性変形域内で弁座に当接して弁を閉じるようになり、逆に空気圧を解除すると、復元力により、弁座から離間を始め、ある時点で急激に変位して、開弁状態に復帰することに起因するものと考えられる。しかし従来の金属製ダイアフラムは、弾性変形が可能でかつ耐食性と耐熱性を有することが必要とされるので、例えば、厚さ0.11mm程度のNi−Co合金からなる板材(特許文献2参照)で形成されているが、200万回の連続開閉に耐えるような耐久性を実現することはできなかった。
本発明の目的は上記の問題点を解消して、優れた耐久性を有する空気圧で開閉するメタルダイアフラム弁及びそれを備えたマスフローコントローラを提供するために、前記メタルダイアフラム弁の設計手順を開示したものである。
上記目的を達成するために、本発明のメタルダイアフラム弁は、ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となす金属製メタルダイアフラム弁であって、前記金属製ダイアフラムの曲率半径をr、その固定端径をd3、前記弁座シートの直径(うちのり寸法)をd1とした場合、前記金属製ダイアフラムは、r/d3=4〜7、d3/d1=2〜7の寸法関係を有することを特徴とするものである。
本発明において、前記金属製ダイアフラムの厚さをt、高さをh2とした場合、曲率半径r=70〜120mm、t=0.1〜0.2mm、h2=0.2〜0.4mmであり、 前記金属製ダイアフラムは、0.30〜0.90MPaの空気圧を受けて動作し、弾性変形することを特徴とするものである。
本発明のマスフローコントローラは、流体を流す流路に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構とを設け、前記ガス流路の途中に上記のメタルダイアフラム弁を設けたことを特徴とするものである。
本発明によれば、金属製ダイアフラムの曲率半径からその固定端の直径、及び弁座内径を簡便に設計することができ、優れた耐久性を有するメタルダイアフラム弁を得ることができる。
以下本発明の詳細を図面に基づいて説明する。
図1は本発明の実施の形態に係わるマスフローコントローラの一部を破断した正面図、図2は本発明の実施の形態に係わるメタルダイアフラム弁の断面図(但し図1とは上下を逆にして示す)、図3は図2のダイアフラムを模式的に示す断面図である。
図1は本発明の実施の形態に係わるマスフローコントローラの一部を破断した正面図、図2は本発明の実施の形態に係わるメタルダイアフラム弁の断面図(但し図1とは上下を逆にして示す)、図3は図2のダイアフラムを模式的に示す断面図である。
図1に示すように、マスフローコントローラ1は、プロセスガス(以下単にガスという)が導入される流路11とガスが流出する流路12と両者を接続する連通路13を含み、耐食性を有する金属材料(例えばSUS316L)からなる流路ブロック10と、連通路13を開閉する流量制御弁2と、連流路13を遮断するメタルダイアフラム弁3を備え、例えば980kPa程度の耐圧性を有するように構成されている。流路11及び流路12には各々、ガス配管(不図示)に接続される継手14及び継手15が本体から一体に切削加工されている。また、流路11の内部には、バイパス管17を介して複数の細管を束ねて形成されたバイパス管16が支持されるとともに、流路11には、バイパス管16の上流側と下流側を連通するようにセンサ18が接続されている。センサ18には流量質量を検出するセンサ19が装着され、センサ19には、流量信号を出力するセンサ101と、流量信号に基づいて駆動信号を出力する制御回路102と、駆動信号に基づいて流量制御弁2に駆動電圧を出力する駆動回路103が電気的に接続されている。
上記のマスフローコントローラ1の動作を説明する。流体給排口35にエアーを供給せずに、メタルダイアフラム弁3を開弁状態とすることにより、流路11に供給されたガスは連通路13から流路12に向かって流動する。ガスの流動過程で、流量制御弁2を作動させることにより、ガスの流量を調節することができる。すなわちセンサ管18に設けた抵抗線19でガスの流量が検出され、その検出信号に基づいてセンサ101から流量出力信号(例えばDC0〜5V)が出力され、制御回路102にて流量出力信号と流量設定信号(例えばDC0〜5V)が比較されて、両信号の差を解消するような大きさの駆動信号が駆動回路103に出力され、駆動回路103から駆動電圧が圧電積層体25に印加されて、金属製ダイアフラム21を所定量だけ変位させることにより、ガスの流量を調節することができる。
次に流量制御弁2の構造を図1により説明する。流量制御弁2は、連通路13の上部に固設された弁座20と、それに対向する円板状の金属製ダイアフラム21と、その外周縁部を流路ブロック10との間で挟着するダイアフラム押え22と、そこに立設されたハウジング23と、その上端部にねじ込まれたキャップ24を有する。ハウジング23の内部には、上端部がキャップ24に固定された圧電積層体25が収容され、その下端部にはダイアフラム21に当接するダイアフラムスペーサ27を押圧するスペーサ26が固設されている。また圧電積層体25は、それとダイアフラム押え22との間に介装された圧縮コイルばね28により上方に付勢され、さらにスペーサ26は軸受29を介してダイアフラム押え21に対して軸方向に摺動可能に支持されている。圧電積層体25は、変位は微小(数10μm)であるが、大きな推力が得られるので、微小のガス流量を高精度で制御するのに好適である。
次にメタルダイアフラム弁3の構造を図2により説明する。メタルダイアフラム弁3は、流路ブロック10の凹部30の底部に固定された弁座シート31と、それに対向するドーム状の金属製ダイアフラム32(以下単にダイアフラム32という)と、その外縁部を挟着するリング状のスペーサ33と、それに当接しかつエアー通路である流体給排口35を有するプラグ34を備えている。弁座シート31は、耐熱性及び耐薬品性に優れた高分子重合体、例えばPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)又はPTCFE(ポリクロロトリフルオロエチレン)などのフッ素樹脂で形成されるのでシール性能は高い。また金属製ダイアフラム32は耐熱性及び耐食性を有する金属材料(例えばNi−Co合金)で形成されている。
上記のメタルダイアフラム弁3の開閉操作は次のようにして行うことができる。すなわち、プラグ34に設けられた流体給排口35に矢印X方向からエアーを供給すると、金属製ダイアフラム32の上表面に空気圧が作用する。これにより、金属製ダイアフラム32の裏面が弁座シート31に当接するまで弾性変形すると、連通路13と流路12とが遮断されて閉弁状態となる。一方、エアーの供給を停止すると、金属製ダイアフラム32の表面に作用している空気圧が解除されるので、金属製ダイアフラム32が元の形状に復帰して、金属製ダイアフラム32が弁座シート31から離間して、開弁状態となる。
そこで、空気圧により金属製ダイアフラム32が弁座シート31と接触するときに発生する静的な応力を求め、金属製ダイアフラム32及び弁座シート31の形状と耐久性との関係を検討した。その結果を図3〜8により説明する。
図2に示すメタルダイアフラム弁3は軸対称の構造なので、図3(a)に示すように断面の1/2の範囲をモデル化し、市販の有限要素法解析プログラム(LS−DYNA)の陰解法で円弧長増分法により非線形静解析を行った。また、図3(b)に示すように、弁座シート31の太線部が固定される拘束条件を設定した。この解析プログラムの場合、比較的低い空気圧(約0.39MPa)で座屈現象が発生することが確認されたので、陰解法で円弧長増分法により応力解析を行った。また、本解析においては、Ni−Co合金(ヤング率:205、900MPa、ポアソン比:0.3)で形成したダイアフラムと、PCTFE(ヤング率:1、470MPa、ポアソン比:0.4)で形成した弁座シート31を使用し、金属製ダイアフラム32の端部が固定された状態で球面の垂直方向に空気圧P(0.70MPa)が作用する境界条件を設定するとともに、弁座シート31の内径d1(高さh1は一定)及びダイアフラムの厚さtと高さh2を変化させた(ダイアフラムの直径d2、固定端の直径d3、球部の直径d4及び曲率半径rは一定)7つの解析パターン(表1参照)を設定して、金属製ダイアフラム32の中心点における荷重−たわみ曲線を求めた。
上記の解析パターンで得られた荷重−たわみ曲線を図4(解析パターン1)、図5(解析パターン2)、図6(解析パターン4)、図7(解析パターン5)、図8(解析パターン3)に示す。なお、解析パターン6は解析パターン2と略同様の荷重−たわみ曲線を示したので、図示を省略する。
図4の荷重−たわみ曲線を検討すると、4つの変曲点(1)〜(4)が現れ、初期の荷重・変位勾配の極大値を示す変曲点(1)においては、飛び移り座屈が発生し(球部中央における最大応力:241.2MPa)、変曲点(2)においては、ダイアフラムと弁座シートが接触し、球部中央のたわみ方向が変化し(球部中央における最大応力:435.6MPa)、変曲点(3)においては、弁座シートを支点として応力発生部が球部の外側に移動したため、弁座シートと固定部との間で飛び移り座屈が発生する。すなわち、変曲点(1)においては、ダイアフラムの全面に応力がかかっている状況で、応力が上昇しある値になると、弾性変形し易いダイアフラム中央部に応力が集中し、ダイアフラム中央部がダイアフラムの中心軸方向鉛直下向きに変位する。そして、ダイアフラム周辺部では、中央部の変位と反対方向に変位する。変曲点(2)においては、ダイアフラムと弁座シートが接触する。変曲点(3)、(4)においては、ダイアフラム中央部と反対方向に変位している略M字状のダイアフラム周辺部が、略M字状の山を平坦にすべくダイアフラムの中心軸方向鉛直下向きに変位し、これらの状態を経て空気圧が0.70MPaになると変曲点(4)の状態になる。図4の場合、ダイアフラムの形状は平坦に近くなり、ダイアフラムの固定端に大きな変位が発生しないので必要とする耐久性が得られる。
次に図5〜7に示す荷重−たわみ曲線も、最大応力は異なるが図4と同様に4つの変曲点(1)〜(4)が現れ、一時的に飛び移り座屈が発生しても垂直たわみ(以下変位という)が回復することがわかる。
また、図8の荷重−たわみ曲線を検討すると、2つの変曲点(1)、(2)が現れ、初期の荷重・変位勾配の極大値を示す変曲点(1)においては、飛び移り座屈が発生し(球部中央における最大応力:241.2MPa)、変曲点(2)においては、ダイアフラムと弁座シートが接触し(球部中央における最大応力:470.2MPa)、荷重0.57MPa付近から球部のたわみ方向が変化する。
図4〜8に示す荷重−たわみ曲線を検討すると、曲面に対して垂直方向から空気圧を受けてダイアフラムが変形したときに、ダイアフラムの耐久性が向上すると予測される。そこで、少なくとも一方の形状が異なる弁座シート及びダイアフラムを有する、7種類のメタルダイアフラム弁を作製し、耐久性(200万回以上の開閉試験)を評価した。その結果を表2に示す。また解析パターン1〜6の寸法条件も同じく表2に参考例として示す。なお、表2において、耐久性は、ダイアフラムの連続開閉試験を行い、200万回の開閉後にダイアフラムを目視で観察することにより、割れの有無を確認した結果で示す。また、ダイアフラムの耐久性とともに、ダイアフラム弁の基本性能(流量や漏れの有無)も調査し、これらを総合した評価結果を表3に示す。
ダイアフラムの曲率半径rは、耐久性(ダイアフラムの亀裂防止)を考慮すると曲率半径が大きい方が好ましい。また曲率半径rが大きい場合、ダイアフラムを開閉する力(エアー圧)が少なくてもよく、またダイアフラム変位量が少なくなるという利点がある。
一方、曲率半径rを大きくするとダイアフラムの形状が平坦に近くなり、弁座とダイアフラム下面とのクリアランス(隙間)が小さくなるので、流量が少なくなる。
ここで、曲率半径r、ダイアフラム固定端の直径d3、弁座内径d1の寸法選定について一例を示す。まず最初にd3(ダイアフラムの固定端の直径)を決める。そして、そのd3(ダイアフラムの固定端の直径)に適する値をr/d3=4.0〜7.0の範囲から選ぶ。またこのとき、前記の理由から、曲率半径rの寸法の選定については、流量を考慮する必要がある。
同様にd1(弁座内径)に適する値をd3/d1=2.0〜7.0の範囲から選ぶ。
一方、曲率半径rを大きくするとダイアフラムの形状が平坦に近くなり、弁座とダイアフラム下面とのクリアランス(隙間)が小さくなるので、流量が少なくなる。
ここで、曲率半径r、ダイアフラム固定端の直径d3、弁座内径d1の寸法選定について一例を示す。まず最初にd3(ダイアフラムの固定端の直径)を決める。そして、そのd3(ダイアフラムの固定端の直径)に適する値をr/d3=4.0〜7.0の範囲から選ぶ。またこのとき、前記の理由から、曲率半径rの寸法の選定については、流量を考慮する必要がある。
同様にd1(弁座内径)に適する値をd3/d1=2.0〜7.0の範囲から選ぶ。
これらの選んだ数値d3(ダイアフラムの固定端の直径)、r(曲率半径)、d1(弁座内径)を採用して設計すれば、ダイアフラムが弁座をシール時、ダイアフラム形状を略平坦にすることができる。さらにエアー圧が比較的小さくてもダイアフラムを開閉でき、ダイアフラムの変位量を少なくすることができるので規定回数の耐久試験に耐えうるメタルダイアフラム弁を得ることができる。
表2及び3から、実施例1〜4に示すダイアフラム弁によれば、d3=12〜17mm、t=0.1〜0.2mm、r=70〜120mm、h=0.2〜0.4mmであり、かつダイアフラムは、0.30〜0.70MPa好ましくは0.40〜0.70MPaの空気圧を受けたときに、その中心部における荷重−たわみ曲線が4つの変曲点をもつことがわかる。これに対して、比較例1〜3に示すように、r/d3が過大であると、耐久性が低下し、また、参考例4に示すように、d3/d1が過小であると、耐久性が低下する。そこで、本発明においては、r/d3=4.0〜7.0、d3/d1=2.0〜7.0、好ましくは、r/d3=5.0〜6.0、d3/d1=4.0〜6.0の寸法関係を有するような形状とすることが好ましい。
表2及び3から、実施例1〜4に示すダイアフラム弁によれば、d3=12〜17mm、t=0.1〜0.2mm、r=70〜120mm、h=0.2〜0.4mmであり、かつダイアフラムは、0.30〜0.70MPa好ましくは0.40〜0.70MPaの空気圧を受けたときに、その中心部における荷重−たわみ曲線が4つの変曲点をもつことがわかる。これに対して、比較例1〜3に示すように、r/d3が過大であると、耐久性が低下し、また、参考例4に示すように、d3/d1が過小であると、耐久性が低下する。そこで、本発明においては、r/d3=4.0〜7.0、d3/d1=2.0〜7.0、好ましくは、r/d3=5.0〜6.0、d3/d1=4.0〜6.0の寸法関係を有するような形状とすることが好ましい。
本発明は、上記の構造に限らず、種々の変更が可能である。例えば、マスフローコントローラの内部に、ガスの流入側流路を開閉する検定用バルブと、所定の容量を有する検定用タンクと、ガスの圧力を検出する検出手段と、零点測定を行う際に流出側流路を開閉する零点測定用バルブとを設けて、これらの部材により質量流量の検定動作を行うように構成することができる。
1:マスフローコントローラ、10:流路ブロック、11、12:流路、13:連通路13、14、15:継手、16、17:バイパス管、18:センサ管、19:抵抗線、101:センサ回路、
2:流量制御弁、20:弁座、21:金属製ダイアフラム、22:ダイアフラム押え、23:ハウジング、24:キャップ25:圧電積層体、26:スペーサ、27:ダイアフラムスペーサ、28:圧縮コイルばね、29:軸受、
3:メタルダイアフラム弁、30:凹部、31:弁座シート、32:金属製ダイアフラム、33:スペーサ、34:プラグ、35:エアー通路、
102:制御回路、103:駆動回路
2:流量制御弁、20:弁座、21:金属製ダイアフラム、22:ダイアフラム押え、23:ハウジング、24:キャップ25:圧電積層体、26:スペーサ、27:ダイアフラムスペーサ、28:圧縮コイルばね、29:軸受、
3:メタルダイアフラム弁、30:凹部、31:弁座シート、32:金属製ダイアフラム、33:スペーサ、34:プラグ、35:エアー通路、
102:制御回路、103:駆動回路
Claims (3)
- ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となす金属製ダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムの曲率半径をr、その固定端径をd3、前記弁座シートの直径(うちのり寸法)をd1とした場合、
前記金属製ダイアフラムは、r/d3=4〜7、d3/d1=2〜7の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁。 - 前記金属製ダイアフラムの厚さをt、高さをh2とした場合、
曲率半径r=70〜120mm、t=0.1〜0.2mm、h2=0.2〜0.4mmであり、
前記金属製ダイアフラムは、0.30〜0.90MPaの空気圧を受けて動作し、
弾性変形することを特徴とする請求項1に記載のメタルダイアフラム弁。 - ガス流路と、ガス流路を流動するガスの流量を制御する流量制御弁とを備え、前記ガス流路の途中に請求項1又は2に記載のメタルダイアフラム弁を設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。
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2006
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