CN110225804A - 软磁性铁粉的制造方法 - Google Patents

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Abstract

提供即使在铁系元素(Fe、Co和Ni)多的情况下也可以有效地提高软磁性铁粉的非晶化率的软磁性铁粉的制造方法。一种软磁性铁粉的制造方法，喷射与沿垂直方向落下的熔融金属流碰撞的高压水，将该熔融金属流割断而形成金属粉末，并且对该金属粉末进行冷却，从而制造软磁性铁粉，所述软磁性铁粉的制造方法中，将所述熔融金属流的每单位时间的落下量设为Qm(kg/分钟)、将所述高压水的每单位时间的喷射量设为Qaq(kg/分钟)时，质量比(Qaq/Qm)为50以上，所述软磁性铁粉的铁系成分(Fe、Ni、Co)的合计含量为76原子％以上。

Description

软磁性铁粉的制造方法
技术领域
本发明涉及基于水雾化法的软磁性铁粉(以下也称为水雾化金属粉末)的制造方法，特别是涉及软磁性铁粉的非晶化率提高。
背景技术
水雾化法中，利用由喷嘴等喷射的水射流将熔融金属流割断而形成粉末状的金属(金属粉末)，并且也利用水射流进行粉末状的金属(金属粉末)的冷却，从而得到雾化金属粉末。另一方面，气体雾化法中，利用由喷嘴喷射的不活泼气体将熔融金属流割断而形成粉末状的金属，然后，通常使粉末状的金属落下到配置于雾化装置下方的水槽或者流水的桶中，进行粉末状的金属(金属粉末)的冷却，从而得到雾化金属粉末。
在制造金属粉末时，水雾化与气体雾化相比，生产能力高，成本低。气体雾化中，在雾化时需要使用不活泼气体，并且雾化时的能量效力也比水雾化差。另外，通过气体雾化制造的金属粉末大致为球形，与此相对，通过水雾化制造的金属粉末为不规则形状，为了制造电动机芯等而对该金属粉末进行压缩成型时，与气体雾化的球形金属粉末相比，水雾化的不规则形状的金属粉末具有粉末彼此更容易缠绕、压缩后的强度更高的优点。
近年来，从节约能源的观点考虑，期望例如电动汽车、混合动力车中使用的电动机芯的低铁损化和小型化。以往，这些电动机芯通过减薄电磁钢板并进行层叠来制作，但最近，使用形状设计的自由度高的金属粉末制作的电动机芯受到关注。为了这样的电动机芯的低铁损化，认为进行所使用的金属粉末的非晶化(无定形化)是有效的。为了得到非晶化的金属粉末，需要在从熔融状态的高温起进行雾化的同时、通过利用冷却介质将雾化的金属粉末快速冷却而防止结晶化。另外，为了在低铁损化的同时实现电动机的小型化、高输出化，需要提高磁通密度，对于高磁通密度化，铁系(包含Ni、Co)浓度是重要的，要求作为铁系浓度为约76原子％～约90原子％的电动机芯用非晶化软磁性金属粉末的软磁性铁粉。
将高温的熔融金属(上述的被割断的金属粉末)利用水进行冷却时，水与熔融金属接触时，水瞬间蒸发而在熔融金属的周围形成蒸汽膜，形成妨碍被冷却面与水的直接接触的状态(膜沸腾的发生)，冷却速度停滞。
在制造非晶铁粉时，为了解决该蒸汽膜/膜沸腾所引起的冷却抑制的问题，以往进行了研究。例如，在专利文献1中记载了如下方法：在雾化器的下方设置喷射第二液体的装置，使液体的喷射压力为5～20MPa，强制地使含有熔融金属的分散液的行进方向发生变化，由此将所覆盖的蒸汽膜除去。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-291454号公报
发明内容
发明所要解决的问题
对于专利文献1记载的技术而言，利用液体喷射喷雾器改变含有在雾化后成为液滴的熔融金属的分散液的行进方向，由此能够除去蒸汽膜，但在改变行进方向时，若被蒸汽膜包围的熔融金属的温度过高，则可能会再次由于周围存在的冷却水而覆盖蒸汽膜，反之，若碰撞冷却区时的温度过低，则熔融金属可能发生凝固而结晶化发展。特别是铁系元素(Fe、Co和Ni)多时，熔点变高，因此，冷却开始温度高，容易从冷却开始最初就发生膜沸腾，不能说是足以解决问题的手段。
本发明是为了解决上述问题而完成的发明，其目的在于提供即使在铁系元素(Fe、Co和Ni)多的情况下也可以有效地提高软磁性铁粉的非晶化率的软磁性铁粉的制造方法。
用于解决问题的方法
本发明人为了解决上述问题而反复进行了深入研究。结果发现，在将熔融金属流的每单位时间的落下量设为Qm(kg/分钟)且将高压水的每单位时间的喷射量设为Qaq(kg/分钟)时的质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率之间具有相关关系，从而完成了本发明。本发明的主旨如下所述。
[1]一种软磁性铁粉的制造方法，喷射与沿垂直方向落下的熔融金属流碰撞的高压水，将该熔融金属流割断而形成金属粉末，并且对该金属粉末进行冷却，从而制造软磁性铁粉，所述软磁性铁粉的制造方法中，
将上述熔融金属流的每单位时间的落下量设为Qm(kg/分钟)、将上述高压水的每单位时间的喷射量设为Qaq(kg/分钟)时，质量比(Qaq/Qm)为50以上，
所述软磁性铁粉的铁系成分(Fe、Ni、Co)的合计含量为76原子％以上。
[2]如[1]所述的软磁性铁粉的制造方法，其中，上述高压水的喷射压力为25～60MPa，上述铁系成分的合计含量为78原子％以上。
[3]如[1]或[2]所述的软磁性铁粉的制造方法，其中，上述高压水的水温为20℃以下，上述铁系成分的合计含量为80原子％以上。
[4]一种软磁性粉末的制造方法，喷射与沿垂直方向落下的熔融金属流碰撞的高压水，将该熔融金属流割断而形成金属粉末，并且对该金属粉末进行冷却，从而制造软磁性铁粉，所述软磁性铁粉的制造方法中，
基于将上述熔融金属流的每单位时间的落下量设为Qm(kg/分钟)且将上述高压水的每单位时间的喷射量设为Qaq(kg/分钟)时的质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率的相关关系，以达到期望的非晶化率的方式对质量比(Qaq/Qm)进行调整，
所述软磁性粉末的铁系成分(Fe、Ni、Co)的合计含量为76原子％以上的。
[5]如[4]所述的软磁性粉末的制造方法，其中，上述调整通过调整作为熔融金属流的落下口的注入口径、和/或调整上述高压水的喷射压力来进行。
发明效果
根据本发明，能够利用水雾化法制造软磁性铁粉，该软磁性铁粉是以Fe(包括置换了Fe的一部分的Ni、Co)系元素作为主成分的非晶粉末，能够以低成本大量生产作为软磁性材料发挥优良性能的组成的金属粉末。因此，非常有助于变压器的小型化、电动机的损耗减少等近年来的节约资源、节约能源的潮流。若将本粉末在成型后实施适当的热处理，则会析出纳米尺寸的晶体，能够兼顾低损耗性和高磁通密度。
另外，本发明能够用于例如以往已知的任意的利用非晶的软磁性材料的水雾化制造。而且，近年来，如Materia Japan,Vol.41 No.6 P.392,Journal of Applied Physics105,013922(2009)、日本专利4288687号公报、日本专利4310480号公报、日本专利4815014号公报、国际公开第2010/084900号、日本特开2008-231534号公报、日本特开2008-231533号公报、日本专利2710938号公报等所公开的那样，已开发出磁通密度大的异质非晶材料、纳米晶体材料。在这些以Fe、Co和Ni作为主成分的软磁性材料的基于水雾化的制造时，本发明极其有利地合适。特别是合计浓度(铁系成分的合计含量)以原子％计超过82.5％时，雾化后的非晶化率超过90％并且达到5μm以上的粒径(平均粒径)时饱和磁通密度(Bs)值变得极大，因此，显著表现出本发明的效果。另外，还具有如下优良效果：应用于上述范围外的组成范围的材料时，对于大粒径的粉末也可以比以往更容易稳定地得到非晶粉末。
附图说明
图1是示意性地表示可以在本发明的软磁性铁粉的制造方法中使用的制造装置的一例的图。
图2是表示对铁系成分的合计含量为76原子％的软磁性材料调整质量比(Qaq/Qm)并确认非晶化率而得到的结果的图。
图3是表示高压水的喷射压力对质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率之间的相关关系带来的影响的图。
图4是表示高压水的水温对质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率之间的相关关系带来的影响的图。
图5是用于说明注入口径的示意图。
图6是表示注入口径与质量比(Qaq/Qm)的关系的一例的图。
图7是表示用于进行注入口径的调整的具体手段的一例的示意图。
图8是表示水雾化金属粉末的制造装置的一例的示意图。
具体实施方式
以下，对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，本发明不限于以下的实施方式。
图1示意性地示出可以在本发明的软磁性铁粉的制造方法中使用的制造装置的一例。图1中，在中间包2中注入有熔融金属3的状态下，由于熔融金属3的自重，熔融金属从熔融金属注入喷嘴4落下，被供给至喷嘴集管5的冷却水从冷却用喷嘴6喷射出冷却水20(相当于高压水)，冷却水20与熔融金属(落下的熔融金属流)接触，被雾化，形成被割断的熔融金属即金属粉末8。本发明中制造的软磁性铁粉的铁系成分(Fe、Ni、Co)的合计含量为76原子％以上，因此，需要使熔融金属3的铁系成分(Fe、Ni、Co)的合计含量为76原子％以上。需要说明的是，在本发明中，高压水意味着喷射压力为10MPa以上。
图1中，将每单位时间内从熔融金属注入喷嘴落下的量设为Qm[kg/分钟]，将每单位时间内从冷却水喷射喷嘴喷射的冷却水的总量设为Qaq[kg/分钟]，作为此时的质量比(水/熔融金属比＝Qaq/Qm)。
详细情况如后述的图2～4所示，可知：在质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率之间具有相关关系，通过调整质量比(Qaq/Qm)，可以提高软磁性铁粉的非晶化率。
另外，由图2～4还可知，可以得到以下的优选效果。
图2示出对铁系成分的合计含量为76原子％的软磁性材料调整质量比(Qaq/Qm)并确认非晶化率而得到的结果。需要说明的是，关于“非晶化率”，对所得到的金属粉末(软磁性铁粉)除去金属粉末以外的灰尘后，利用X射线衍射法测定来自无定形(非晶)的晕峰和来自晶体的衍射峰，通过WPPD法算出。在此所述的“WPPD法”是全粉末图谱分解法(Whole-powder-pattern decomposition method)的缩写。需要说明的是，关于WPPD法，在虎谷秀穗：日本结晶学会杂志,vol.30(1988),No.4,P253～258中有详细说明。
由图2可以确认，通过调整质量比(Qaq/Qm)，能够使软磁性铁粉的非晶化率为极高的值。具体而言，使质量比(Qaq/Qm)为50以上时，非晶化率达到约98％以上的极高的值。需要说明的是，在本发明中，高压水的水温没有特别限定，优选为35℃以下。更优选为20℃以下。
图3是表示高压水的喷射压力对质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率之间的相关关系带来的影响的图。另外，图3是铁系成分的合计含量为78原子％以上的情况。根据图3，铁系成分的合计含量为78原子％以上时，在高压水的喷射压力为10MPa的情况下，无法达到非晶化率约98％这样极高的非晶化率(图3的白色圆圈)。需要说明的是，在图2中示出的情况下，高压水的喷射率为10MPa，但由于铁系成分的合计含量略少，因此，能够实现极高的非晶化率。
与此相对，可知在将喷射压力设定为25MPa的情况下，即使铁系成分的合计含量为78原子％，使质量比(Qaq/Qm)为50以上时，也能够实现极高的非晶化率。由该结果可知，通过提高喷射压力，即使铁系成分的合计含量为78原子％以上，也可以显著提高软磁性铁粉的非晶化率。
对于通过提高喷射压力而即使在铁系成分的合计含量高的情况下也能够实现显著高的非晶化率的原因，认为是由于能够在破坏蒸汽膜的同时将金属粉末冷却从而制造软磁性铁粉。
需要说明的是，关于喷射压力的上限，由于能够在工业上配设管道的极限一般为60MPa，并且流通大水量的阀门在超过60MPa时也难以制作，因此，优选为60MPa以下。另外，只有在铁系成分的合计含量为82.5原子％以下时能够通过将喷射压力设定为25～60MPa来显著提高非晶化率，因此，在实施基于喷射压力的对策的情况下，铁系成分的合计含量优选为82.5原子％以下。
图4是表示高压水的水温对质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率之间的相关关系的影响的图。另外，图4是铁系成分的合计含量为80原子％以上的情况。铁系成分的合计含量为80原子％以上时，熔点进一步升高，因此，冷却开始温度升高，变得容易产生蒸汽膜。因此，由图4可以确认，在通常的水温30～35℃下无法实现显著高的非晶化率。
在图4这样的情况下，作为提高非晶化率的手段，由图3获知的、提高高压水的喷射压力的方法是有效的。
由图4可知，即使提高喷射压力，在降低高压水的水温时，即使在铁系成分的合计含量多的情况下也可以显著提高非晶化率。具体而言，可以确认：将高压水的水温设定为约20℃(10～20℃)、将质量比(Qaq/Qm)设定为50以上时，在铁系成分的合计含量为80原子％的情况下，可以显著提高软磁性铁粉的非晶化率。因此可知，将高压水的水温设定为20℃以下时，即使在铁系成分的合计含量为80原子％以上的情况下也可以显著提高软磁性铁粉的非晶化率。需要说明的是，虽然例示了高压水的水温为10～20℃的情况，但只要温度低、不形成固体就可发挥本发明的效果，因此，水温的下限为4℃。
另外，只有在铁系成分的合计含量为82.5原子％以下时能够通过将水温设定为20℃以下来显著提高非晶化率，因此，在实施基于水温的对策的情况下，铁系成分的合计含量优选为82.5原子％以下。
另外，即使在图3的情况(铁系成分的合计含量为78原子％)下，不提高高压水的喷射压力而降低高压水的水温，由此，也能够显著提高软磁性铁粉的非晶化率。
如上所述，通过降低高压水的水温的方法、提高高压水的喷射压力的方法中的任一方法，都可以在使质量比(Qaq/Qm)为50以上的情况下显著提高软磁性铁粉的非晶化率。如上所述，铁系成分的合计含量越增加，则越难以显著提高软磁性铁粉的非晶化率，但将降低高压水的水温的方法与提高高压水的喷射压力的方法组合时，即使在铁系成分的合计含量非常多的情况下也可以显著提高软磁性铁粉的非晶化率。需要说明的是，铁系成分的合计含量非常多的情况是指，铁系成分的合计含量为80原子％以上。另外，只有在铁系成分的合计含量为85.0原子％以下时能够通过将水温设定为20℃以下且将喷射压力设定为25～60MPa来显著提高非晶化率，因此，在实施基于水温和喷射压力这两者的对策的情况下，铁系成分的合计含量优选为85.0原子％以下。
接着，对调整质量比(Qaq/Qm)的方法进行说明。为了调整质量比(Qaq/Qm)，需要变更高压水泵的水量、或者变更熔融金属流的流量。在固定高压水的喷射压力时，若不改变冷却水喷射喷嘴主体则难以变更水量，因而变更高压水泵的水量是复杂的。因此，优选通过调整熔融金属流的流量来调整质量比(Qaq/Qm)。具体而言，以下述方式进行即可。
首先，熔融金属流的流量的调整有如图5所示对作为熔融金属流的落下口的、熔融金属注入喷嘴4的注入口径21进行变更的方法。为了增大质量比(Qaq/Qm)，减小Qm即可，因此减小注入口径即可。在使质量比(Qaq/Qm)为50以上的情况下，首先需要确定，达到何种程度的注入口径时质量比(Qaq/Qm)达到50以上。为此，需要预先确认注入口径与质量比(Qaq/Qm)的关系。图6是表示注入口径与质量比(Qaq/Qm)的关系的一例的图。由图6可知，在铁系成分的合计含量为约76原子％～约80原子％的情况下，注入口径优选为约1.5mm～约1.9mm，优选能够使注入口径以0.1mm的间隔变更。需要说明的是，根据铁系成分的合计含量，熔点有所不同。铁系成分的合计含量越低，则熔点越低、粘性越高，因此，需要增大注入口径。与此相对，铁系成分的合计含量越高，则熔点越高、粘性越低，因此，需要减小注入口径。这样，从熔点的观点考虑，可以由其他结果预测预定的铁系成分所需的注入口径的标准。
使用图7对用于进行注入口径的调整的具体方法进行说明。如图7所示，使中间包2为密闭结构或者在中间包2中装入熔融金属3后设置中间包罩22、从不活泼气体注入孔23向中间包2内注入不活泼气体而对熔融金属3施加压力也是有效的。预先使注入口径21为约1.2mm～约2.2mm，向中间包内注入不活泼气体，对来自熔融金属注入喷嘴4的熔融金属流的流量进行控制。优选在中间包罩22上设置压力计24、泄压阀25，利用泄压阀25的设定压力对质量比(Qaq/Qm)进行控制。熔融金属注入喷嘴4的注入口径21为约1.1mm时，由于熔融金属的表面张力，熔融金属难以自由落下，即使加压，也会在压力充分升高之前熔融金属在喷嘴内发生凝固，因此，注入口径21优选为1.2mm以上，另外，为了使质量比(Qaq/Qm)为50以上，优选使注入口径21为1.5mm以下，所施加的压力优选为约0.05MPa～约0.5MPa。在φ1.6～2.2mm的情况下，也能够自由落下。
接着，使用图8对高压水的水温的调整进行说明。图8是表示水雾化金属粉末的制造装置的一例的图。该制造装置中，使用冷却水用温度调节器16对冷却水罐15中的冷却水的温度进行调整，将温度调整后的冷却水送至雾化冷却水用高压泵17，由雾化冷却水用高压泵17通过雾化冷却水用配管18送至雾化装置14，从该雾化装置14喷射与沿垂直方向落下的熔融金属流碰撞的高压水，将该熔融金属流割断而形成金属粉末，并且对该金属粉末进行冷却，从而制造金属粉末。
由测定冷却水罐的水温的温度计(未图示)确认水温，利用冷却水用温度调节器16，可以将冷却水的水温调整至期望的温度。
接着，对高压水的喷射压力的调整方法进行说明。喷射压力可以通过对高压泵进行变频器控制、利用转速控制来进行。另外，在喷射压力恒定地对水量进行变更的情况下，可以通过更换安装于冷却喷嘴集管的喷嘴头来进行调整。
接着，对本发明的适用对象进行说明。本发明的制造方法的适用对象没有特别限定，能够用于以往已知的任意利用非晶的软磁性材料的水雾化制造。
但是，在以Fe、Co和Ni作为主成分的软磁性材料的基于水雾化的制造时，本发明极其有利地合适。特别是合计浓度(铁系成分的合计含量)以原子％计超过82.5％时，雾化后的非晶化率超过90％并且达到5μm以上的粒径时饱和磁通密度(Bs)值极大，因此，显著表现出本发明的效果。另外，还具有如下优良效果：应用于上述范围外的组成范围的材料时，对于大粒径的粉末也可以比以往更容易稳定地得到非晶粉末。需要说明的是，充分得到上述效果的大粒径的粉末的粒径的上限为100μm，因此，上述粒径优选为100μm以下。另外，粒径的测定方法采用实施例中记载的测定方法。
实施例
使用图1和8所示的装置，进行下述实验(但是，注入口径的调整使用图7所示的图的装置)。利用高频熔炉等将原料在预定温度下熔化，形成熔融金属3，将该原料注入到中间包2中。预先在中间包2内设置具有预定喷嘴径的熔融金属注入喷嘴4。在中间包2内装入熔融金属3后，利用自由落下或者加压将熔融金属从熔融金属注入喷嘴4的注入口挤出，利用雾化冷却水用高压泵17以预定水压从冷却用喷嘴6喷射的冷却水(高压水)碰撞熔融金属而使其被雾化，熔融金属被粉碎、微细化，形成金属粉末，并且被冷却。冷却水预先贮留在冷却水罐15中，有时也根据需要利用冷却水用温度调节器16进行冷却。
软磁性铁粉被料斗回收，干燥、分级后，利用X射线衍射法测定来自无定形(非晶)的晕峰和来自晶体的衍射峰，通过WPPD法算出非晶化率。需要说明的是，本实施例和比较例中，测定非晶化度的软磁性铁粉的粒径设定为+63μm/-75μm，通过筛方法进行分级，并测定该粒径。需要说明的是，关于平均粒径，对所得到的各Fe系粉末(软磁性铁粉)除去软磁性铁粉以外的灰尘后，利用激光衍射/散射式粒度分布测定装置测定粒径的测定平均粒径，并且利用X射线衍射法(WPPD法)算出非晶化率。
在实施本发明时，准备以下的成分体系的软磁性材料。以原子量％(原子％)计Fe为Fe76Si9B10P5、Fe78Si9B9P4、Fe80Si8B8P4、Fe82.8B11P5Cu1.2、Fe84.8Si4B10Cu1.2的铁系软磁性原料、Fe69.8Co15B10P4Cu1.2的Fe+Co为84.8％的Fe+Co系软磁性材料、Fe69.8Ni1.2Co15B9.4P3.4Cu1.2的Fe+Co+Ni为86.0％的铁系软磁性材料这7种。关于配合比，在准备原料的时候，存在±0.3原子％左右的误差、包含其他杂质的情况，另外，还存在熔化中、雾化中由于氧化等而出现少许组成变化的情况。
本发明的实施例1中，以Fe76Si9B10P5的配合比来实施，选择熔融金属注入喷嘴径1.9mm，质量比(Qaq/Qm)为51。
本发明的实施例2、3中，以Fe76Si9B10P5、Fe78Si9B9P4、Fe80Si8B8P4的配合比来实施，实施例2、3均以使质量比(Qaq/Qm)达到50以上(51～55)的方式选择熔融金属注入喷嘴径，在实施例2中，将冷却水喷射压力设定为25MPa。在实施例3中，将冷却水温度设定为19℃(±1℃)。
本发明的实施例4中，以Fe76Si9B10P5、Fe78Si9B9P4、Fe80Si8B8P4、Fe82.8B11P5Cu1.2、Fe84.8Si4B10Cu1.2、Fe69.8Co15B10P4Cu1、Fe69.8Ni1.2Co15B9.4P3.4Cu1.2的配合比来实施，以使质量比(Qaq/Qm)达到50以上(50～57)的方式选择熔融金属注入喷嘴径，将冷却水喷射压力设定为25MPa以上，将水温设定为19℃(±1℃)。
本发明的实施例5中，以Fe76Si9B10P5、Fe78Si9B9P4、Fe80Si8B8P4、Fe82.8B11P5Cu1.2、Fe84.8Si4B10Cu1.2、Fe69.8Co15B10P4Cu1、Fe69.8Ni1.2Co15B9.4P3.4Cu1.2的配合比来实施，熔融金属注入喷嘴选择φ1.5～1.3mm，以使质量比(Qaq/Qm)达到50以上(53～57)的方式向中间包内注入氮气，对熔融金属施加压力，将冷却水喷射压力设定为25MPa以上，将水温设定为19℃(±1℃)。
关于比较例，以Fe76Si9B10P5、Fe78Si9B9P4、Fe80Si8B8P4、Fe82.8B11P5Cu1.2、Fe84.8Si4B10Cu1.2、Fe69.8Co15B10P4Cu1、Fe69.8Ni1.2Co15B9.4P3.4Cu1.2的配合比来实施，以使质量比(Qaq/Qm)达到30～35的方式选择熔融金属注入喷嘴，在喷射压力为10MPa、水温为32℃的条件下实施。
实施各实施例、比较例的结果是，在本发明的范围内的实施例中，均能够得到远远超过90％的98％以上的非晶化率。在比较例中，由于质量比(Qaq/Qm)不足，因此，非晶化率小于90％。由这些结果可以确认，通过本发明的质量比(Qaq/Qm)的调整等，可以提高非晶化率。
符号说明
2 中间包
3 熔融金属
4 熔融金属注入喷嘴
5 喷嘴集管
6 冷却用喷嘴
8 金属粉末
14 雾化装置
15 冷却水罐
16 冷却水用温度调节器
17 雾化冷却水用高压泵
18 雾化冷却水用配管
20 冷却水
21 注入口径
22 中间包罩
23 不活泼气体注入孔
24 压力计
25 泄压阀

Claims (5)

1.一种软磁性铁粉的制造方法，喷射与沿垂直方向落下的熔融金属流碰撞的高压水，将该熔融金属流割断而形成金属粉末，并且对该金属粉末进行冷却，从而制造软磁性铁粉，所述软磁性铁粉的制造方法中，
将所述熔融金属流的每单位时间的落下量设为Qm(kg/分钟)、将所述高压水的每单位时间的喷射量设为Qaq(kg/分钟)时，质量比(Qaq/Qm)为50以上，
所述软磁性铁粉的铁系成分(Fe、Ni、Co)的合计含量为76原子％以上。
2.如权利要求1所述的软磁性铁粉的制造方法，其中，
所述高压水的喷射压力为25～60MPa，
所述铁系成分的合计含量为78原子％以上。
3.如权利要求1或2所述的软磁性铁粉的制造方法，其中，
所述高压水的水温为20℃以下，
所述铁系成分的合计含量为80原子％以上。
4.一种软磁性粉末的制造方法，喷射与沿垂直方向落下的熔融金属流碰撞的高压水，将该熔融金属流割断而形成金属粉末，并且对该金属粉末进行冷却，从而制造软磁性铁粉，所述软磁性铁粉的制造方法中，
基于将所述熔融金属流的每单位时间的落下量设为Qm(kg/分钟)且将所述高压水的每单位时间的喷射量设为Qaq(kg/分钟)时的质量比(Qaq/Qm)与软磁性铁粉的非晶化率的相关关系，以达到期望的非晶化率的方式对质量比(Qaq/Qm)进行调整，
所述软磁性粉末的铁系成分(Fe、Ni、Co)的合计含量为76原子％以上。
5.如权利要求4所述的软磁性粉末的制造方法，其中，所述调整通过调整作为熔融金属流的落下口的注入口径、和/或调整所述高压水的喷射压力来进行。
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