CN109790349A - 含有含氟聚合物的组合物和带含氟聚合物膜的基材的制造方法 - Google Patents
含有含氟聚合物的组合物和带含氟聚合物膜的基材的制造方法 Download PDFInfo
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Abstract
提供:能利用电喷射装置形成包含具有脂肪族环的含氟聚合物的、面内均匀性优异且表面粗糙度小的膜的组合物;和,使用前述组合物的带膜的基材的制造方法。一种组合物,其特征在于,包含:具有脂肪族环的含氟聚合物;和,溶剂,前述溶剂包含1种以上的沸点为150℃以上的高沸点溶剂,且前述溶剂的相对介电常数为5以上。以及一种带膜的基材的制造方法,其利用电喷射装置在基材上涂布前述组合物,形成包含前述含氟聚合物的膜。
Description
技术领域
本发明涉及包含具有脂肪族环的含氟聚合物和溶剂的组合物、和使用前述组合物的带膜的基材的制造方法。
背景技术
氟树脂的耐热性、耐化学药品性、拒水性、耐气候性、电绝缘性、光学特性、非粘合性、低摩擦性、阻燃性等优异,出于其特性,在化学、电气·电子、半导体、建筑、汽车等各种领域中被使用。例如通过在基材的表面上形成氟树脂的涂膜,从而可以赋予上述特性。作为氟树脂的涂膜的形成方法,已知有旋涂法、浇铸法、浸渍法、喷涂法等湿式法、溅射法、真空蒸镀法等干式法。
专利文献1中提出了使用电喷射装置向被输送的玻璃片上涂布树脂溶液,在前述玻璃片上形成树脂涂膜的方法,作为树脂,记载有氟树脂、聚酰亚胺树脂、聚酯树脂、聚碳酸酯树脂等。该方法中,在输送树脂溶液的喷嘴与对电极之间施加电压,使带电的树脂溶液的液滴从喷嘴前端排出。所排出的液滴由于静电排斥力而分裂。重复这样的分裂而形成大量微细的液滴,这些微细的液滴附着于对电极上的玻璃片的表面,从而形成树脂涂膜。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2015/118983号
发明内容
发明要解决的问题
根据本发明人等的研究,将具有脂肪族环的含氟聚合物的溶液用于专利文献1中记载的方法的情况下,存在如下问题:溶液无法从喷嘴排出而无法制膜;或,即使溶液从喷嘴排出,制膜性也差,涂膜的面内均匀性不充分和/或表面粗糙度大。
本发明的目的在于,提供:能用电喷射装置形成包含具有脂肪族环的含氟聚合物的、面内均匀性优异且表面粗糙度小的膜的组合物;和,使用其的带膜的基材的制造方法。
用于解决问题的方案
本发明提供具有以下的[1]~[14]的构成的组合物和带膜的基材的制造方法。
[1]一种组合物,其特征在于,包含:具有脂肪族环的含氟聚合物;和,溶剂,
前述溶剂是相对介电常数为5以上的溶剂,且包含沸点为150℃以上的溶剂。
[2]根据[1]所述的组合物,其特征在于,前述含氟聚合物为主链上具有脂肪族环的含氟聚合物。
[3]根据[2]所述的组合物,其中,前述主链上具有脂肪族环的含氟聚合物是具有通过能环化聚合的二烯系含氟单体的环化聚合而形成的单元的含氟聚合物;或者,
是具有基于如下单体的单元的含氟聚合物,所述单体为具有含氟脂肪族环、且该脂肪族环的构成环的碳原子间具有聚合性双键的单体;或为具有含氟脂肪族环、且该脂肪族环的构成环的碳原子与不构成环的碳原子之间具有聚合性双键的单体。
[4]根据[1]~[3]中的任一项所述的组合物,其中,前述溶剂由含氟溶剂中的至少1种形成。
[5]根据[1]~[4]中的任一项所述的组合物,其中,前述溶剂为由2种以上的溶剂的混合物形成的相对介电常数为5以上的混合溶剂,该混合溶剂中的一部分溶剂为相对介电常数低于5的溶剂。
[6]根据[1]~[5]中的任一项所述的组合物,其中,前述溶剂由2种以上的溶剂的混合物形成,该混合溶剂中的一部分溶剂为沸点低于150℃的溶剂。
[7]根据[1]~[6]中的任一项所述的组合物,其中,前述溶剂包含:为全氟化合物的溶剂X、为氢氟烃和氢氟醚中的至少一者的溶剂Y、和为含氟醇的溶剂Z。
[8]根据[7]所述的组合物,其中,前述溶剂X的沸点为150℃以上。
[9]根据[7]或[8]所述的组合物,其中,前述溶剂X由选自由全氟三烷基胺和全氟脂肪族环式化合物组成的组中的至少1种形成。
[10]根据[7]~[9]中的任一项所述的组合物,其中,前述溶剂X由选自由二十七氟三丁基胺、全氟三戊基胺、1,1,2,2,3,3,4,4,4a,4b,5,5,6,6,7,7,8,8,8a,9,9,10,10,10a-二十四氟菲、1,1,2,2,3,3,4,4,4a,4b,5,5,6,6,7,7,8,8,8a,9,9,9a-二十二氟芴、和1,1,2,2,3,3,4,4,4a,5,5,6,6,7,7,8,8a-十七氟十氢-8-(三氟甲基)萘组成的组中的至少1种形成。
[11]根据[7]~[10]中的任一项所述的组合物,其中,前述溶剂Y由选自由1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-十三氟己烷、1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-十三氟辛烷、和1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟-3-甲氧基-2-(三氟甲基)戊烷组成的组中的至少1种形成。
[12]根据[7]~[11]中的任一项所述的组合物,其中,前述溶剂Z由选自由六氟-2-丙醇、2,2,2-三氟乙醇、2,2,3,3-五氟-1-丙醇、1,1,2,2-四氟乙基2,2,2-三氟乙基醚、2,2,3,3-四氟丙醇、2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇、和1H,1H,2H,2H-十三氟-1-正辛醇组成的组中的至少1种形成。
[13]根据[7]~[12]中的任一项所述的组合物,其中,相对于前述溶剂X与前述溶剂Y与前述溶剂Z的总计,前述溶剂X的含有率为35~60质量%、前述溶剂Y的含有率为35~60质量%、前述溶剂Z的含有率为5~30质量%。
[14]一种带膜的基材的制造方法,其利用电喷射装置在基材上涂布[1]~[13]中的任一项所述的组合物,将前述溶剂去除,形成包含前述含氟聚合物的膜。
发明的效果
根据本发明的组合物,能利用电喷射装置制膜成包含具有脂肪族环的含氟聚合物的、面内均匀性优异且表面粗糙度小的膜。
根据本发明的带膜的基材的制造方法,利用电喷射装置,可以制造具有包含具有脂肪族环的含氟聚合物的、面内均匀性优异且表面粗糙度小的膜的带膜的基材。
附图说明
图1为示出电喷射装置的一例的构成简图。
具体实施方式
本说明书中,将式(1)所示的化合物也记作“化合物(1)”,将式(1)所示的单元也记作“单元(1)”。对于其他式所示的化合物、单元等也同样表示。
聚合物的“单元”是指,单体聚合而形成的、源自该单体1分子的原子团。单元可以为由聚合反应直接形成的单元,也可以为对由聚合反应得到的聚合物进行处理从而该单元的一部分转化为其他结构的单元。
〔组合物〕
本发明的组合物(以下,也称为“本组合物”)包含:具有脂肪族环的含氟聚合物(以下,也称为“含氟聚合物A”);和,特定的溶剂。本组合物中的特定的溶剂为相对介电常数为5以上的溶剂,且包含沸点为150℃以上的溶剂,以下,将该特定的溶剂也称为“溶剂B”。
本组合物典型地为溶剂B中溶解有含氟聚合物A的液态组合物。
本组合物根据需要在不有损本发明的效果的范围内可以进一步包含含氟聚合物A和溶剂B以外的成分。
另外,只要没有特别提及,就将从将本组合物涂布于基材而形成的本组合物的涂膜去除溶剂而成的、包含聚合物A的膜称为“涂膜”。需要说明的是,将去除溶剂前的包含溶剂的膜也称为“湿润膜”,将从湿润膜去除溶剂也称为“干燥”。
(含氟聚合物A)
含氟聚合物A由具有基于如下单体的单元且实质上线状的含氟聚合物形成,所述单体在碳原子间具有聚合性双键且具有键合于碳原子的氟原子。含氟聚合物A所具有的脂肪族环可以存在于聚合物的主链,也可以存在于侧基。
作为含氟聚合物A,从容易溶解于溶剂的方面出发,优选主链上具有脂肪族环的含氟聚合物。“主链上具有脂肪族环的含氟聚合物”是指,脂肪族环的构成环的碳原子中的至少1个为构成含氟聚合物的主链的碳原子的含氟聚合物。
脂肪族环为不具有芳香族性的饱和或不饱和的环。脂肪族环可以是构成环的原子仅由碳原子形成的饱和或不饱和的脂肪族烃环,也可以是构成环的原子由碳原子和杂原子形成的饱和或不饱和的脂肪族杂环。作为杂原子,可以举出氧原子、氮原子等。脂肪族环可以为单环式也可以为多环式。
脂肪族环优选四元环~七元环或其缩合环、特别优选五元环~六元环或其缩合环。
脂肪族环在拒水性、拒油性、透明性、耐光性、耐化学药品性、脱模性等优异的方面优选含氟脂肪族环。含氟脂肪族环是构成环的碳原子的至少一部分键合有具有氟原子的基团或氟原子的脂肪族环。作为具有氟的基团,可以举出:全氟烷基、在全氟烷基的碳原子间具有醚性氧原子的基团、全氟烷氧基、在全氟烷氧基的碳原子间具有醚性氧原子的基团、=CF2等。构成该环的碳原子的一部分可以键合有除了具有氟原子的基团以外的取代基。
含氟脂肪族环优选具有1~2个醚性氧原子作为构成环的原子的含氟脂肪族杂环。
含氟脂肪族环优选不具有碳-氢键。即,优选的是,键合于构成脂肪族环的碳原子的氢原子全部被包含氟原子且不具有碳-氢键的取代基或氟原子取代而成的全氟脂肪族环。
因此,含氟脂肪族环特别优选具有1~2个醚性氧原子作为构成环的原子的全氟脂肪族环。
含氟聚合物A在其主链末端、侧基可以具有羧基、酰卤基、烷氧基羰基、羰基氧基、碳酸酯基、磺基、膦酰基、羟基、巯基、硅烷醇基和烷氧基甲硅烷基等反应性官能团。
作为优选的含氟聚合物A,优选具有通过二烯系含氟单体的环化聚合形成的单元的含氟聚合物(以下,也称为“聚合物(A1)”);和,具有基于环状含氟单体的单元的含氟聚合物(以下,也称为“聚合物(A2)”),特别优选聚合物(A1)。作为环状含氟单体,优选的是,具有含氟脂肪族环、且该脂肪族环的构成环的碳原子间具有聚合性双键的单体;和,含氟脂肪族环的构成环的碳原子与不构成环的碳原子之间具有聚合性双键的单体。
另外,聚合物(A1)和聚合物(A2)优选为全氟聚合物,即,为聚合物中所含的全部单元中的键合于碳原子的氢原子被氟原子所取代的单元的聚合物。
<聚合物(A1)>
二烯系含氟单体是指具有2个聚合性双键和氟原子的单体。作为聚合性双键,可以举出:乙烯基、烯丙基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、键合于这些基团的碳原子的氢原子的一部分或全部被氟原子所取代的基团等中的碳-碳双键。
作为二烯系含氟单体,优选下述化合物(m1)。
CF2=CF-Q-CF=CF2···(m1)。
(其中,Q为任选具有醚性氧原子、氟原子的一部分任选被氟原子以外的卤素原子所取代的全氟亚烷基。)
作为通过化合物(m1)的环化聚合而形成的单元,可以举出下述单元(1-1)~(1-4)等。
Q中的全氟亚烷基的碳数优选1~6、更优选1~5、特别优选1~3。该全氟亚烷基可以为直链状也可以为支链状,优选直链状。
作为氟原子以外的卤素原子,可以举出氯原子、溴原子等。
作为Q,优选具有醚性氧原子的全氟亚烷基。作为这样的基团,可以举出:在全氟亚烷基的一个末端具有醚性氧原子的基团、在全氟亚烷基的两末端具有醚性氧原子的基团、在全氟亚烷基的碳原子间具有醚性氧原子的基团等。其中,在碳原子间存在有醚性氧原子的情况下,全氟亚烷基的碳数为2以上,优选的上限与前述同样。作为Q,从环化聚合性的方面出发,优选在全氟亚烷基的一个末端具有醚性氧原子的基团。
作为化合物(m1)的具体例,可以举出下述化合物。
CF2=CFOCF2CF=CF2、CF2=CFOCF(CF3)CF=CF2、CF2=CFOCF2CF2CF=CF2、CF2=CFOCF2CF(CF3)CF=CF2、CF2=CFOCF(CF3)CF2CF=CF2、CF2=CFOCFClCF2CF=CF2、CF2=CFOCCl2CF2CF=CF2、CF2=CFOCF2OCF=CF2、CF2=CFOC(CF3)2OCF=CF2、CF2=CFOCF2CF(OCF3)CF=CF2、CF2=CFCF2CF=CF2、CF2=CFCF2CF2CF=CF2、CF2=CFCF2OCF2CF=CF2。
作为化合物(m1),优选CF2=CFOCF2CF=CF2、CF2=CFOCF2CF2CF=CF2和CF2=CFOC(CF3)2OCF=CF2,特别优选CF2=CFOCF2CF2CF=CF2。
聚合物(A1)可以进一步具有通过二烯系含氟单体的环化聚合而形成的单元以外的单元。
作为其他单元,只要基于能与二烯系含氟单体共聚的单体就没有特别限定。作为这样的单体,例如可以举出四氟乙烯、氯三氟乙烯等含氟烯烃、全氟(甲基乙烯基醚)等含氟乙烯基醚、具有反应性官能团的单体等。作为具有反应性官能团的单体,可以举出具有聚合性双键和反应性官能团的单体。作为聚合性双键,可以举出CF2=CF-、CF2=CH-、CH2=CF-、CFH=CF-、CFH=CH-、CF2=C-、CF=CF-等。作为反应性官能团,可以举出与前述同样的官能团。
作为能与二烯系含氟单体共聚的单体,优选全氟单体。
聚合物(A1)中,通过二烯系含氟单体的环化聚合而形成的单元的比率相对于构成聚合物(A1)的全部单元的总计优选50摩尔%以上、更优选75摩尔%以上、特别优选100摩尔%。
聚合物(A1)在主链末端可以具有反应性官能团。作为反应性官能团,可以举出与前述同样的官能团。
<聚合物(A2)>
作为环状含氟单体,可以举出:包含含氟脂肪族环、且该含氟脂肪族环的构成环的碳原子间具有聚合性双键的单体;包含含氟脂肪族环和存在于该含氟脂肪族环外的碳原子、且该含氟脂肪族环的构成环的碳原子与不构成环的碳原子之间具有聚合性双键的单体等。
作为环状含氟单体,优选下述化合物(m2)和化合物(m3)。
(其中,X1、X2、X3、X4、Y1和Y2各自独立地为氟原子、全氟烷基、在全氟烷基的碳原子间具有醚性氧原子的基团、全氟烷氧基、或在全氟烷氧基的碳原子间具有醚性氧原子的基团,X3和X4任选相互键合而形成环。)
基于化合物(m2)的单元为下述单元(2),基于化合物(m3)的单元为下述单元(3)。
X1、X2、X3、X4、Y1和Y2中的全氟烷基的碳数优选1~7、更优选1~5、特别优选1~4。前述全氟烷基优选直链状或支链状,特别优选直链状。作为前述全氟烷基,优选三氟甲基、五氟乙基、七氟丙基,特别优选三氟甲基。
作为全氟烷氧基,可以举出在前述全氟烷基上键合有氧原子的基团,特别优选三氟甲氧基。
前述全氟烷基或全氟烷氧基的碳数为2以上的情况下,前述全氟烷基或全氟烷氧基的碳原子间可以具有醚性氧原子。
X1优选氟原子。
X2优选氟原子、三氟甲基或碳数1~4的全氟烷氧基,特别优选氟原子或三氟甲氧基。
X3和X4各自独立地优选氟原子或碳数1~4的全氟烷基,特别优选氟原子或三氟甲基。
X3和X4相互键合而形成环的情况下,该环的构成环的原子的数量优选4~7个、更优选5~6个。
Y1和Y2各自独立地优选氟原子、碳数1~4的全氟烷基或碳数1~4的全氟烷氧基,特别优选氟原子或三氟甲基。
作为化合物(m2)的具体例,可以举出化合物(m21)~(m25)。
作为化合物(m3)的具体例,可以举出化合物(m31)~(m32)。
聚合物(A2)可以进一步具有基于环状含氟单体的单元以外的单元。作为其他单元,只要基于能与环状含氟单体共聚的单体就没有特别限定。作为这样的单体,例如可以举出含氟烯烃、含氟乙烯基醚、二烯系含氟单体、具有反应性官能团的单体。这些单体可以举出分别与前述同样的单体。
作为其他单元,优选四氟乙烯等全氟烯烃、全氟(甲基乙烯基醚)等含氟乙烯基醚等全氟单体。
作为聚合物(A2),特别优选前述基于环状含氟单体的单元与四氟乙烯的共聚物。
需要说明的是,具有基于环状含氟单体的单元与通过二烯系含氟单体的环化聚合而形成的单元的共聚物可认为是作为聚合物(A2)。
聚合物(A2)中,基于环状含氟单体的单元的比率相对于构成聚合物(A2)的全部单元的总计优选20摩尔%以上、更优选40摩尔%以上,也可以为100摩尔%。
聚合物(A2)在主链末端可以具有反应性官能团。作为反应性官能团,可以举出与前述同样的官能团。
含氟聚合物A的质均分子量优选5万~100万、特别优选5万~30万。含氟聚合物A的质均分子量如果为前述范围的下限值以上,则膜强度更优异。含氟聚合物A的质均分子量如果为前述范围的上限值以下,则制膜性更优异。
含氟聚合物的质均分子量为通过凝胶渗透色谱法测定的标准聚苯乙烯换算的值。
氟树脂A可以使用通过公知的制造方法而制造者,也可以使用市售品。作为市售的含氟聚合物A,例如可以举出CYTOP(注册商标、旭硝子株式会社制)、Teflon AF(注册商标、Du Pont Mitsui Fruorochemicals Co.,Ltd.制)、Hyflon AD(注册商标、Solvay公司制)。
(溶剂B)
溶剂B的相对介电常数为5以上、优选6以上、特别优选7以上。溶剂B的相对介电常数如果为前述下限值以上,则能将本组合物稳定地从电喷射装置的喷嘴排出(排出性优异)。
溶剂B由1种溶剂的形成的情况下,该溶剂的相对介电常数为5以上。
溶剂B由2种以上的溶剂形成的情况下,为了使溶剂B的相对介电常数为5以上,溶剂B至少包含相对介电常数为5以上的溶剂(以下,也称为“高相对介电常数溶剂”)。溶剂B根据需要,可以在溶剂B整体的相对介电常数成为5以上的范围内进一步包含相对介电常数低于5的溶剂(以下,也称为“低相对介电常数溶剂”)。
相对介电常数通过平行板电容法而测定。
溶剂B的相对介电常数优选10以下、特别优选8以下。在排出性优异的方面,相对介电常数越高越优选,但随着相对介电常数变高,有极性变高的倾向。极性如果变高,则有含氟聚合物A的溶解性变低的倾向。相对介电常数如果为前述上限值以下,则容易确保含氟聚合物A的溶解性。
溶剂B包含沸点150℃以上的溶剂(以下,也称为“高沸点溶剂”)中的1种以上。从电喷射装置的喷嘴排出的液滴在直至附着于基材的过程中,液滴中所含的溶剂B的挥发推进,但高沸点溶剂不易挥发。溶剂B如果包含高沸点溶剂,则充分残留有溶剂的状态的液滴附着于基材并进行流平,可以得到具有优异的面内均匀性、表面粗糙度小的涂膜。从上述观点出发,高沸点溶剂的沸点优选170℃以上。
高沸点溶剂的沸点的上限没有特别限定,在缩短干燥时间的方面,优选250℃、特别优选200℃。
高沸点溶剂可以为高相对介电常数溶剂也可以为低相对介电常数溶剂。
高沸点溶剂典型地为能溶解含氟聚合物A的溶剂。由此,从电喷射装置的喷嘴排出的本组合物的液滴在直至附着于基材的过程中,可以抑制含氟聚合物A在液滴中析出。含氟聚合物A如果析出,则无法使液滴充分流平,有涂膜的面内均匀性不充分、表面粗糙度变大的担心。
从含氟聚合物A的溶解性出发,高沸点溶剂优选氟原子含有率为70质量%以上的含氟溶剂。
需要说明的是,溶剂的氟原子含有率(以下,也称为“F含有率”)通过下式求出。
F含有率=分子中的氟原子的数量×19/分子量×100
溶剂B可以进一步包含高沸点溶剂以外的溶剂(即,沸点低于150℃的溶剂)。
溶剂B中的高沸点溶剂的含量相对于溶剂B的总质量优选35质量%以上。高沸点溶剂的含量如果为前述下限值以上,则包含更多溶剂的液滴附着于基材,有涂膜的面内均匀性更优异、表面粗糙度变得更小的倾向。
另外,溶剂B中的高沸点溶剂的含量相对于溶剂B的总质量优选95质量%以下、更优选60质量%以下、进一步优选52质量%以下、特别优选40质量%以下。高沸点溶剂的含量如果为前述上限值以下,则有排出稳定性更优异的倾向。
因此,溶剂B中的高沸点溶剂的含量相对于溶剂的总质量优选35~95质量%、更优选35~60质量%、进一步优选35~52质量%、特别优选35~40质量%。
溶剂B的表面张力优选15~17mN/m、特别优选15~16mN/m。表面张力如果为前述范围内,则排出稳定性更优异。
溶剂(B)的表面张力与相对介电常数同样地为溶剂(B)整体的表面张力。
表面张力通过板法而测定。
溶剂B的20℃下的蒸气压优选5000~8000Pa、特别优选5000~7500Pa。该蒸气压如果为前述范围的下限值以上,则排出稳定性更优异。该蒸气压如果为前述范围的上限值以下,则所形成的涂膜的面内均匀性优异,且表面粗糙度变小。
溶剂B的蒸气压与相对介电常数同样地为溶剂(B)整体的蒸气压。
单一溶剂的蒸气压通过静止法而测定。混合溶剂的蒸气压使用单一溶剂的蒸气压的值根据拉乌尔定律而求出。
溶剂B的25℃下的粘度优选2.0~20mPa·s、特别优选2.7~11mPa·s。该粘度如果为前述范围的下限值以上,则制膜性更优异。该粘度如果为前述范围的上限值以下,则排出稳定性优异。而且喷嘴不易堵塞。
溶剂(B)的粘度为由E型粘度计测定的值。
作为对含氟聚合物A的溶解性高的高沸点溶剂,优选F含有率为70质量%以上的含氟溶剂,这样的F含有率高的高沸点溶剂通常为低相对介电常数溶剂。另一方面,高相对介电常数溶剂通常含氟聚合物A的溶解性低,如果为了提高含氟聚合物A的溶解性而导入氟原子来提高其F含有率,则相对介电常数容易降低。另外,具有氟原子的高相对介电常数溶剂的沸点低于150℃者较多。
因此,如果考虑对含氟聚合物A的溶解性,则作为溶剂B,优选F含有率高的高沸点溶剂与高相对介电常数溶剂的混合溶剂。另外,如果考虑含氟聚合物A的溶解性,则优选高沸点溶剂以外的溶剂(高相对介电常数溶剂等)也为含氟溶剂。
即,溶剂B优选作为沸点低于150℃的溶剂的高相对介电常数溶剂与高沸点溶剂的混合溶剂,另外,优选作为低相对介电常数溶剂的高沸点溶剂与高相对介电常数溶剂的混合溶剂,优选这些溶剂均为含氟溶剂。
进而,即使高沸点溶剂与高相对介电常数溶剂均为含氟溶剂,在F含有率存在差异的情况下,两者的相容性也有时不充分。上述情况下,为了提高两者的相容性,溶剂B优选包含对两者的相容性高的第3含氟溶剂。
溶剂B优选包含:为全氟化合物的溶剂X;为氢氟烃(以下,也称为“HFC”)和氢氟醚(以下,也称为“HFE”)中的至少一者的溶剂Y;和,为含氟醇的溶剂Z。
溶剂X为全氟化合物,且F含有率高,因此,含氟聚合物A的溶解性高,溶剂B如果包含溶剂X,则能良好地溶解含氟聚合物A。另一方面,溶剂X的极性低,有相对介电常数低的倾向。溶剂Z与溶剂X相比,有极性高、相对介电常数高的倾向,通常相对介电常数超过5。因此,如果包含溶剂Z,则容易使溶剂B的相对介电常数为5以上。溶剂Y为包含氢原子的氟化合物,因此,与溶剂X和溶剂Z的相容性均良好。因此,如果包含溶剂Y,则可以使溶剂X与溶剂Z融合,提高溶剂B的均匀性。
优选溶剂X、溶剂Y和溶剂Z中的至少1种包含高沸点溶剂。
从优选高沸点溶剂为溶解含氟聚合物A的溶剂的方面出发,优选溶剂X和溶剂Y中的至少一者为高沸点溶剂,特别优选溶剂X为高沸点溶剂。
溶剂X的F含有率优选70~90质量%、更优选72~90质量%、特别优选75~90质量%。F含有率如果为前述范围的下限值以上,则含氟聚合物A的溶解性和与其他溶剂的亲和性优异。
溶剂X的相对介电常数没有特别限定。例如可以为1.5~2.5。
作为溶剂X,例如可以举出全氟三烷基胺、全氟脂肪族环式化合物。全氟三烷基胺中的烷基(全氟烷基)的碳数优选10~15。全氟脂肪族环式化合物为具有脂肪族环的全氟化合物。作为脂肪族环,可以举出与前述同样的脂肪族环。其中,全氟脂肪族环式化合物中的脂肪族环为全氟脂肪族环。
作为溶剂X的具体例,可以举出以下的溶剂。
二十七氟三丁基胺(F含有率76.4质量%、相对介电常数1.94、沸点174℃)、全氟三戊基胺(F含有率76.4质量%、相对介电常数1.98、沸点215℃)等全氟三烷基胺;1,1,2,2,3,3,4,4,4a,4b,5,5,6,6,7,7,8,8,8a,9,9,10,10,10a-二十四氟菲(F含有率73.1质量%、相对介电常数2.01、沸点215℃)、1,1,2,2,3,3,4,4,4a,4b,5,5,6,6,7,7,8,8,8a,9,9,9a-二十二氟芴(F含有率72.8质量%、相对介电常数1.99、沸点194℃)、1,1,2,2,3,3,4,4,4a,5,5,6,6,7,7,8,8a-十七氟十氢-8-(三氟甲基)萘(F含有率74.2质量%、相对介电常数1.97、沸点160℃)等全氟化合物等的全氟脂肪族环式化合物等。
这些溶剂可以单独使用1种,也可以组合使用2种以上。
作为溶剂X,在具有适度的沸点的方面,特别优选二十七氟三丁基胺。
溶剂Y的F含有率优选70~75质量%。F含有率如果为前述范围内,则溶剂Y与溶剂X和溶剂Z的亲和性优异。
溶剂Y的相对介电常数没有特别限定,例如可以为6~10。
作为溶剂Y的具体例,可以举出以下的溶剂。
1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-十三氟己烷(旭硝子株式会社制ASAHIKLIN(注册商标)AC2000、F含有率77.2质量%、相对介电常数3.31、沸点70.8℃)、1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-十三氟辛烷(旭硝子株式会社制ASAHIKLIN(注册商标)AC6000、F含有率70.9质量%、相对介电常数5.1、沸点114.7℃)等HFC;1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟-3-甲氧基-2-(三氟甲基)戊烷(F含有率70.5质量%、相对介电常数6.12、沸点98℃)等HFE。
这些溶剂可以单独使用1种,也可以组合使用2种以上。
作为溶剂Y,在相对介电常数为6以上的方面,特别优选1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟-3-甲氧基-2-(三氟甲基)戊烷。
溶剂Z的F含有率优选55~70质量%。
溶剂Z的相对介电常数优选15~30、特别优选18~30。
作为溶剂Z的具体例,可以举出以下的溶剂。
六氟-2-丙醇(F含有率67.8质量%、相对介电常数18.3、沸点59℃)、2,2,2-三氟乙醇(F含有率57.0质量%、相对介电常数26.9、沸点73.6℃)、2,2,3,3-五氟-1-丙醇(F含有率63.3质量%、相对介电常数18.7、沸点81℃)、1,1,2,2-四氟乙基2,2,2-三氟乙基醚(旭硝子株式会社制ASAHIKLINAE3000、F含有率66.5质量%、相对介电常数6.69、沸点56℃)、2,2,3,3-四氟丙醇(F含有率57.5质量%、相对介电常数21.2、沸点108℃)、2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇(F含有率65.5质量%、相对介电常数15.78、沸点140℃)、1H,1H,2H,2H-十三氟-1-正辛醇(F含有率67.8质量%、相对介电常数8.92、沸点180℃)等含氟醇。
这些溶剂可以单独使用1种,也可以组合使用2种以上。
作为溶剂Z,在与含氟聚合物A的亲和性优异、具有适度的蒸气压、成为不可燃溶液的方面,特别优选六氟-2-丙醇。
在包含溶剂X、溶剂Y和溶剂Z的溶剂B中,相对于溶剂X与溶剂Y与溶剂Z的总计,优选溶剂X的含有率为35~60质量%、溶剂Y的含有率为35~60质量%、溶剂Z的含有率为5~30质量%,更优选溶剂X的含有率为35~52质量%、溶剂Y的含有率为35~57质量%、溶剂Z的含有率为8~30质量%,特别优选溶剂X的含有率为35~40质量%、溶剂Y的含有率为35~55质量%、溶剂Z的含有率为10~30质量%。
(本组合物的优选组成)
本组合物中的含氟聚合物A的含量相对于本组合物的固体成分(100质量%)优选50质量%以上、更优选70质量%以上、特别优选80质量%以上,也可以为100质量%。含氟聚合物A的含量如果为前述范围的下限值以上,则所形成的涂膜的耐热性、耐化学药品性、拒水性、耐气候性、电绝缘性、光学特性、非粘合性、低摩擦性、阻燃性等更优异。
本组合物中的溶剂B的含量优选本组合物的固体成分浓度成为0.1~5质量%的量。本组合物的固体成分浓度更优选0.5~5质量%、特别优选0.5~2质量%。含氟聚合物A相对于固体成分为100质量%的情况下,本组合物中的含氟聚合物A的含量优选0.1~5质量%、更优选0.5~5质量%、特别优选0.5~2质量%。固体成分浓度如果为前述范围的下限值以上,则本组合物的制膜性更优异。固体成分浓度如果为前述范围的上限值以下,则本组合物的排出稳定性更优异。
本组合物的固体成分表示本组合物中的溶剂B以外的成分的总计(从本组合物的总质量中去除了溶剂B的质量的量),固体成分浓度通过下式求出。
固体成分浓度[质量%]=溶剂B以外的成分的总计质量/本组合物的总质量×100
本组合物的固体成分也可以如下求出:将1.0g的本组合物放入铝杯中,在180℃的烘箱中干燥180分钟,作为得到的余量而求出。
(作用效果)
本组合物包含含氟聚合物A和溶剂B。溶剂B包含沸点为150℃以上的高沸点溶剂的1种以上,且相对介电常数为5以上。因此,包含含氟聚合物A的本组合物可以使用电喷射装置制成面内均匀性优异且表面粗糙度小的涂膜。
溶剂B的相对介电常数为5以上,因此,可以将本组合物从电喷射装置的喷嘴稳定性良好地排出,可以在基材上制成涂膜。另外,所排出的本组合物的液滴以溶剂充分残留的状态附着于基材,流平性优异。因此,涂膜的面内均匀性优异、表面粗糙度小。
包含溶剂X~Z的溶剂B的情况下,上述效果变得特别优异。
需要说明的是,含氟溶剂容易带负电。电喷射装置中,详细如后面所说明,将要涂布的溶液从喷嘴排出时,为了使溶液带正电,可预测含氟溶剂不适合作为以电喷射装置涂布的溶液的溶剂。然而,本发明人等的研究的结果意外地可知,使用属于含氟溶剂的溶剂X、Y、Z,且使溶剂B整体的相对介电常数为5以上时,可以从电喷射装置的喷嘴良好地排出。
〔带膜的基材的制造方法〕
本发明的带膜的基材的制造方法(以下,也称为“本制造方法”)具备如下工序(制膜工序):利用电喷射装置在基材上涂布本组合物,形成(制成)包含含氟聚合物A的膜。
本制造方法为利用了所谓电喷射沉积法的方法。
以下,对本制造方法,示出实施方式更详细地进行说明。
(电喷射装置)
图1为示出本实施方式中使用的电喷射装置的一例的构成简图。该例的电喷射装置1具有喷嘴3、对电极5和电源7。
喷嘴3以使前端侧向重力方向朝下的方式配置。
对电极5为由导电性材料(例如金属)形成的板状构件。对电极5在喷嘴3的下侧(前端侧)从喷嘴1的前端隔开距离地配置。
喷嘴3与对电极5之间的距离根据喷嘴3的前端与配置于对电极5上(喷嘴3侧)的基材9之间的距离而设定。
喷嘴3上连接有用于向喷嘴3供给本组合物的供给管11。另外,喷嘴3借助电缆13与电源7的正极连接,对电极5借助电缆15与电源7的负极和接地连接。由此,可以向喷嘴3供给本组合物,并在喷嘴3与对电极5之间施加由电源7产生的电压。
(基材)
作为基材9的材质,没有特别限制,可以为单层结构也可以为多层结构。作为单层结构的基材,例如可以举出玻璃、蓝宝石、石英、硅晶圆等基板、环烯烃聚合物(COP)、聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚苯乙烯(PS)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚酰胺等的树脂片或薄膜、镍、铜、不锈钢(SUS)、银、铝等的金属基板。作为多层结构的基材,例如可以举出:利用层压、涂覆、蒸镀等各种方法在上述单层结构的基材上层叠有机材料(聚对二甲苯等)或无机材料(金属膜等)而得到的基材。
作为基材9的厚度,没有特别限制,可以根据基材9的材质等而适宜设定。例如玻璃基板的情况下,厚度优选100μm~5mm,树脂薄膜的情况下,厚度优选1μm~500μm。多层结构的基材的情况下,层叠于基材上的有机材料或无机材料的层的厚度例如优选厚度为10nm~100μm。
基材9的形状不限定于图示的片状的基材,可以为立体形状。作为立体形状,例如可以举出曲面基板(瓶状)、图案化基板(蛾眼结构、有机TFT(薄膜晶体管)基板)、以及凹凸基板、纤维状物质(无纺布等)。
(制膜工序)
本实施方式的制膜工序中,首先,利用前述电喷射装置10,在基材9上涂布本组合物。电喷射装置10中,本组合物的涂布如以下进行。
将基材9配置于对电极5上。另外,借助供给管11向喷嘴3供给本组合物,通过电源7在喷嘴3与对电极5之间施加几千~几万V的电压。
如果如此施加电压,则通过电场集中效果在喷嘴3前端产生强力的电场,喷嘴3前端的本组合物的液面带电,通过与电场的相互作用,形成被称为泰勒圆锥(Taylor-cone)的圆锥状的弯月形。随着电场变强,液面上的静电排斥力变强。液面中的静电排斥力高于表面张力时,从泰勒圆锥的前端喷雾被称为射流的液滴。所喷雾的液滴全部带正电,带电的液滴彼此由于静电排斥力而分裂,微细化。液滴的尺寸非常小,因此,在短时间内,推进液滴中所含的溶剂的挥发,液滴的电荷密度增大,重复进行分裂的液滴的进一步分裂,推进液滴的微细化。微细化的液滴被导入至形成于喷嘴3与对电极5之间的电场,并附着于对电极5上的基材9。
如此在基材9上涂布本组合物,形成湿润膜。湿润膜中所含的溶剂是本组合物中所含的溶剂B的一部分挥发后的溶剂。
使所形成的湿润膜干燥时,随着溶剂的挥发,含氟聚合物A析出并形成涂膜。
对喷嘴3施加的电压、喷嘴3的前端与基材9之间的距离、本组合物对喷嘴3的供给速度等制膜条件可以根据基材9的大小(制膜范围)、要形成的涂膜的厚度等而适宜设定。
对喷嘴3施加的电压(喷嘴3与对电极5之间的电位差)对液滴自喷嘴3的喷雾模式有影响。喷雾模式对基材9上的液滴的沉积状态有影响。
喷雾模式中有从喷嘴3排出1个液滴(射流)的单射流模式和从喷嘴3排出多个液滴(射流)的多射流模式。单射流模式中,在基材9上形成1个沉积。多射流模式中,在基材9上形成与液滴的数量相应的多个沉积。沉积大致为圆形状,随着液滴的数量增加,有沉积的大小变小的倾向。
随着升高电压,从单射流模式变化为多射流模式。另外,进一步升高电压时,有来自喷嘴3的多个液滴的排出角度(相对于喷嘴3的轴向的角度)变大、多个沉积间的距离变大的倾向。
从在基材9上的尽量宽的范围内形成连续膜的方面出发,作为电压,优选单射流模式和多射流模式发生切换的附近的电压。
形成连续膜的电压范围越宽,越能稳定地涂布。本组合物的溶剂(B)的相对介电常数越高,有形成连续膜的电压范围越宽的倾向。
对喷嘴3施加的电压可以考虑上述方面而适宜设定,没有特别限定,例如优选5~30kV、更优选5~25kV、特别优选10~20kV。该电压如果为前述范围的下限值以上,则可以充分增大基材9上的涂布本组合物的面积,涂膜形成的生产率更优异。该电压如果为前述范围的上限值以下,则本组合物难以不均地涂布于基材9上,容易得到面内均匀性优异的涂膜。
喷嘴3的前端与基材9的距离越远,单射流模式和多射流模式发生切换的电压越变高,电场强度越变低。喷嘴3的前端与基材9的距离越近,基材9上涂布本组合物的范围越变狭窄。
喷嘴3的前端与基材9的距离可以考虑上述方面而适宜设定,没有特别限定,例如优选10~200mm、更优选30~200mm、特别优选50~150mm。该距离如果为前述范围的下限值以上,则可以充分增大基材9上的涂布本组合物的面积,涂膜形成的生产率更优异。该距离如果为前述范围的上限值以下,则本组合物难以不均地涂布于基材9上,容易得到面内均匀性优异的涂膜。另外,直至本组合物的液滴附着于基材9的过程中,溶剂不会过度挥发,不会发生含氟聚合物A析出或液滴的流平变得不充分,容易得到表面粗糙度小的涂膜。
本组合物对喷嘴3的供给速度与成为在基材9上形成连续膜的喷雾模式(单射流模式~多射流模式)的电压处于比例关系。例如如果降低供给速度,则前端与基材9的距离越远,单射流模式与多射流模式发生切换的电压越变高,电场强度变低。喷嘴3的前端与基材9的距离越近,成为形成连续膜的喷雾模式的电压越移至低电压侧。需要说明的是,电压范围基本没有变化。
本组合物对喷嘴3的供给速度可以考虑上述方面而适宜设定,没有特别限定,例如对于每1个喷嘴,优选10~2000μL/分钟、更优选50~1000μL/分钟、特别优选100~1000μL/分钟。该供给速度如果为前述范围的下限值以上,则附着于基材9的液滴中容易残留流平所需的充分的溶剂,容易形成面内均匀性优异且表面粗糙度小的涂膜。另外,涂膜形成的生产率优异。该供给速度如果为前述范围的上限值以下,则可以充分降低对喷嘴3施加的电压。
作为所形成的湿润膜的干燥方法,没有特别限定,例如可以举出利用公知的干燥装置进行加热的方法。干燥装置的方式、构成等没有限定。
加热条件只要能去除残留于湿润膜中的溶剂(高沸点溶剂等)即可。例如可以举出加热温度100~250℃、加热时间10~100分钟的条件。
如上述在基材9上形成涂膜,可以得到带涂膜的基材。
涂膜的厚度(干燥后的厚度)可以考虑带涂膜的基材的用途等而适宜设定,没有特别限定,例如优选0.1~1000μm、更优选0.1~500μm、特别优选1~20μm。
作为带涂膜的基材的具体例,例如可以举出EW(电润湿)设备的绝缘拒水层、有机TFT的保护膜。
以上,示出实施方式对本制造方法进行了说明,但本制造方法不限定于上述实施方式,可以在本发明的范围内进行各种变形和改良。
例如,本制造方法中使用的电喷射装置不限定于图1所示的装置,可以使用公知的各种电喷射装置、例如国际公开第2015/118983号中公开的电喷射装置。
可以在喷嘴3与基材9之间配置以任意的图案形成有孔的掩模。由此,可以在基材9上以前述图案形成涂膜。
(作用效果)
根据本制造方法,利用电喷射装置在基材上涂布本组合物时,可以制造具有包含具有脂肪族环的含氟聚合物的、面内均匀性优异且表面粗糙度小的涂膜的带涂膜的基材。
另外,利用电喷射装置的涂布存在各种优点。例如,由于利用电场,因此,与不利用电场的涂布相比,液滴的涂覆效率高,含氟聚合物A等材料的利用效率高。能在室温·大气压下形成涂膜,装置为简易的构成,且为低成本。能在凹凸面上均匀地形成薄膜的优点,利用掩模时可以形成任意形状的涂膜等。
实施例
以下,示出实施例对本发明详细进行说明。其中,本发明不受以下的记载的限定。“%”没有特别限定的情况下,表示“质量%”。
后述的例1~22中、例1~13为比较例,例14~22为实施例。以下示出各例中使用的评价方法和材料。
〔评价方法〕
(溶剂的相对介电常数)
通过平行板电容法测定。
相对介电常数的测定如下实施:使用施加10kHz Sine波的液体用介电常数计(液体介电常数计M-870、Luft Japan Co.Ltd.制),在室温环境下,在电极内投入测定对象的溶剂(25℃)23mL而实施。精度为误差2%、重现性和测定误差为0.2%(JIS C2138:2007)。
(溶剂的表面张力)
通过板法测定。具体而言,依据基板玻璃表面的浸润性试验方法(JIS R3257:1999)的垂直板法。室温设为25±5℃、湿度设为50±10%。使用表面张力计DY-300、协和界面科学株式会社制。
(溶剂的沸点)
通过平衡回流沸点试验方法测定。具体而言,依据“汽车用非矿物油系制动液”(JIS K2233:1989的7.1的规定而测定。测定值依据“燃料油蒸馏试验方法”(JIS K2254:1980的3.6的规定校正为标准气压(101.325kPa{760mmHg})的值,将该值作为测定结果。
(溶剂的蒸气压)
单一溶剂的蒸气压通过静止法测定。混合溶剂的蒸气压使用单一溶剂的蒸气压的值根据拉乌尔定律而求出。
(溶剂的粘度)
在25℃下,利用E型粘度计测定。
(溶剂的含氟聚合物的溶解性)
在25℃下,在溶剂84.15g中添加含氟聚合物0.85g,用混合转子(As OneCorporation制、VMRC-5)搅拌。以目视观察此时的溶剂中的含氟聚合物的溶解状态。
(固体成分)
根据以下式子算出。
固体成分浓度[质量%]=溶剂(B)以外的成分的总计质量/本组合物的总质量×100
其中,也可以通过以下的方法算出。
测定铝皿的质量(g)至小数点后4位,在铝皿中量取1.0g(测定至小数点后4位)样品。使烘箱升温至180℃,达到180℃后,连同铝皿一起放入至烘箱,实施3小时恒定运转,使样品干燥。之后,将铝皿从烘箱取出,测定其质量(测定至小数点后4位),在下式中代入各测定值,算出固体成分浓度。
固体成分浓度[质量%]=(样品干燥后的铝皿质量-铝皿质量)/干燥前的样品质量×100
(排出性)
排出性的评价中使用图1所示的构成的电喷射装置(fuence公司制、ES-2000)。作为喷嘴3,使用内径0.52mm的喷嘴。在该电喷射装置的对电极5上放置基材9,向喷嘴3以1100μL/分钟的供给速度(流速)供给组合物,在喷嘴3与对电极5之间施加18V的电压。作为基材9,使用厚度1mm的玻璃基板,将喷嘴3的前端与基材9的表面之间的距离设为6cm。
施加电压时,观察组合物是否从喷嘴3排出(喷嘴3前端处是否产生因库伦爆炸而造成的射流)。另外,排出的情况下,对排出的稳定性进行评价。对于排出的稳定性,射流由于库仑力而彼此排斥,进而由于溶剂蒸发而推进分裂成微小液滴时,若以喷雾状飞散则记作稳定,如果产生射流但未形成喷雾状,而是2~10条左右的条纹状的排出(多射流),则记作不稳定。根据这些结果,按照以下的基准对排出性进行评价。
◎(优良):稳定地排出,且涂布为圆形。
○(良好):稳定地排出,但以有变形的形状涂布。
△(可):排出,但不稳定。
×(不可):无法排出(仅单纯地从喷嘴3落下)。
(制膜性1(面内均匀性))
对于各例中在基材上形成的涂膜,用接触式膜厚计(DEKTAK、型号DektakXT、BRUKER公司制)测定10cm×10cm的区域内的任意5点的厚度的偏差,并按照以下的基准进行评价。
○(良好):厚度的偏差低于10%。
△(可):厚度的偏差为10%以上且低于30%。
×(不可):厚度的偏差为30%以上且低于100%。
(制膜性2(表面粗糙度))
对于各例中在基材上形成的涂膜,基于JIS B0601:2013(制品的几何特性规格(GPS)-表面性状:轮廓曲线方式-术语,定义和表面性状参数),用接触式膜厚计(DEKTAK、型号DektakXT、BRUKER公司制)测定10cm×10cm的区域内的任意5点的算术平均粗糙度(Ra),由它们的平均值,按照以下的基准进行评价。Ra的测定条件设为基准长度8mm、评价长度40mm。
○(良好):Ra的平均值低于30nm。
△(可):Ra的平均值为30nm以上且低于100nm。
×(不可):Ra的平均值为100nm以上。
〔材料〕
作为含氟聚合物A,使用如下聚合物:其为全氟(3-丁烯基乙烯基醚)的环化聚合所产生的均聚物,且主链末端基团为COOH。该含氟聚合物通过去除CYTOP CTL-809A(制品名、旭硝子株式会社制)的溶剂而得到。
将下述例1~22中使用的溶剂示于表1、2。
[表1]
[表2]
〔例1~22〕
将含氟聚合物A与表3所示的溶剂以固体成分浓度成为1%的方式进行混合,得到溶液态的组合物。
对于该组合物,评价排出性、制膜性1、制膜性2,将结果示于表3。
其中,例7中,组合物发生了白浊(含氟聚合物A未充分溶解),因此,未进行这些评价。另外,其他例子中,对于排出性的评价结果为×的情况,未进行制膜性1、制膜性2的评价。
表2中,X/Y/Z表示溶剂X与溶剂Y与溶剂Z的质量比。相对介电常数、表面张力分别为溶剂整体的值。
[表3]
相对介电常数低于5的例1~5、8~10、12~13的组合物无法从喷嘴排出,或者即使能够排出,稳定性也低,涂膜的面内均匀性不充分。溶剂仅为溶剂Y、且不含高沸点溶剂的例6的组合物中,排出不稳定,所形成的涂膜的面内均匀性不充分、且表面粗糙度大。溶剂仅为溶剂Z、且不含高沸点溶剂的例7的组合物中,含氟聚合物A未充分溶解于溶剂。溶剂为溶剂Y与溶剂Z的混合溶剂、且不含高沸点溶剂的例11的组合物中,虽然排出性良好,但涂膜的面内均匀性不充分、且表面粗糙度大。
与此相对,例14~22的组合物中,能稳定地排出,可以形成面内均匀性优异且表面粗糙度小的涂膜。
产业上的可利用性
由本发明的组合物形成的涂膜包含含氟聚合物A,因此,耐热性、耐化学药品性、拒水性、耐气候性、电绝缘性、光学特性、非粘合性、低摩擦性、阻燃性等优异。出于这些特性,可以在化学、电气·电子、半导体、建筑、汽车等各种领域中使用。例如可以作为有机TFT的栅极绝缘膜、保护膜、EW设备等电子设备的绝缘拒水膜、保护膜、拒水拒油膜使用。
需要说明的是,将2016年10月05日申请的日本专利申请2016-197365号的说明书、权利要求书、摘要和附图的全部内容引入至此,作为本发明的说明书的公开内容被引入。
附图标记说明
1电喷射装置、3喷嘴、5对电极、7电源、9基材、11供给管、13电缆、15电缆。
Claims (14)
1.一种组合物,其特征在于,包含:具有脂肪族环的含氟聚合物;和,溶剂,
所述溶剂是相对介电常数为5以上的溶剂,且包含沸点为150℃以上的溶剂。
2.根据权利要求1所述的组合物,其特征在于,所述含氟聚合物为主链上具有脂肪族环的含氟聚合物。
3.根据权利要求2所述的组合物,其中,所述主链上具有脂肪族环的含氟聚合物
是具有通过能环化聚合的二烯系含氟单体的环化聚合而形成的单元的含氟聚合物;或者,
是具有基于如下单体的单元的含氟聚合物,所述单体为具有含氟脂肪族环、且该脂肪族环的构成环的碳原子间具有聚合性双键的单体;或为具有含氟脂肪族环、且该脂肪族环的构成环的碳原子与不构成环的碳原子之间具有聚合性双键的单体。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的组合物,其中,所述溶剂由含氟溶剂中的至少1种形成。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的组合物,其中,所述溶剂为由2种以上的溶剂的混合物形成的相对介电常数为5以上的混合溶剂,该混合溶剂中的一部分溶剂为相对介电常数低于5的溶剂。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的组合物,其中,所述溶剂由2种以上的溶剂的混合物形成,该混合溶剂中的一部分溶剂为沸点低于150℃的溶剂。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的组合物,其中,所述溶剂包含:为全氟化合物的溶剂X、为氢氟烃和氢氟醚中的至少一者的溶剂Y、和为含氟醇的溶剂Z。
8.根据权利要求7所述的组合物,其中,所述溶剂X的沸点为150℃以上。
9.根据权利要求7或8所述的组合物,其中,所述溶剂X由选自由全氟三烷基胺和全氟脂肪族环式化合物组成的组中的至少1种形成。
10.根据权利要求7~9中的任一项所述的组合物,其中,所述溶剂X由选自由二十七氟三丁基胺、全氟三戊基胺、1,1,2,2,3,3,4,4,4a,4b,5,5,6,6,7,7,8,8,8a,9,9,10,10,10a-二十四氟菲、1,1,2,2,3,3,4,4,4a,4b,5,5,6,6,7,7,8,8,8a,9,9,9a-二十二氟芴、和1,1,2,2,3,3,4,4,4a,5,5,6,6,7,7,8,8a-十七氟十氢-8-(三氟甲基)萘组成的组中的至少1种形成。
11.根据权利要求7~10中的任一项所述的组合物,其中,所述溶剂Y由选自由1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-十三氟己烷、1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-十三氟辛烷、和1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟-3-甲氧基-2-(三氟甲基)戊烷组成的组中的至少1种形成。
12.根据权利要求7~11中的任一项所述的组合物,其中,所述溶剂Z由选自由六氟-2-丙醇、2,2,2-三氟乙醇、2,2,3,3-五氟-1-丙醇、1,1,2,2-四氟乙基2,2,2-三氟乙基醚、2,2,3,3-四氟丙醇、2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇、和1H,1H,2H,2H-十三氟-1-正辛醇组成的组中的至少1种形成。
13.根据权利要求7~12中的任一项所述的组合物,其中,相对于所述溶剂X与所述溶剂Y与所述溶剂Z的总计,所述溶剂X的含有率为35~60质量%、所述溶剂Y的含有率为35~60质量%、所述溶剂Z的含有率为5~30质量%。
14.一种带膜的基材的制造方法,其利用电喷射装置在基材上涂布权利要求1~13中的任一项所述的组合物,将所述溶剂去除,形成包含所述含氟聚合物的膜。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114930468A (zh) * | 2020-01-08 | 2022-08-19 | 大金工业株式会社 | 绝缘膜或介电膜 |
CN114929477A (zh) * | 2020-01-08 | 2022-08-19 | 大金工业株式会社 | 叠层体 |
CN114981689A (zh) * | 2020-01-08 | 2022-08-30 | 大金工业株式会社 | 显示器保护膜 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019198769A1 (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-17 | Agc株式会社 | 液状組成物の分取方法 |
WO2020262548A1 (ja) * | 2019-06-26 | 2020-12-30 | Agc株式会社 | 重合体、組成物、液状組成物、膨潤体、積層体、及び光学部材 |
CN112679631B (zh) * | 2020-12-22 | 2022-07-08 | 宁波南大光电材料有限公司 | 一种去除合成树脂中的小分子物质的方法 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07238250A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Asahi Glass Co Ltd | 含フッ素重合体溶液組成物 |
US5498657A (en) * | 1993-08-27 | 1996-03-12 | Asahi Glass Company Ltd. | Fluorine-containing polymer composition |
CN1165161A (zh) * | 1995-09-21 | 1997-11-19 | 旭硝子株式会社 | 低介电树脂组合物 |
EP0468712B1 (en) * | 1990-07-21 | 1998-10-07 | Canon Kabushiki Kaisha | A method of manufacturing an ink jet head and an ink jet head |
JP2001151970A (ja) * | 1999-09-13 | 2001-06-05 | Daikin Ind Ltd | 低温造膜性フッ素樹脂組成物 |
US20080275147A1 (en) * | 2007-01-18 | 2008-11-06 | Asahi Glass Company, Limited | Electrolyte material |
CN101416118A (zh) * | 2006-04-05 | 2009-04-22 | 旭硝子株式会社 | 器件基板的清洗方法 |
CN102308351A (zh) * | 2009-02-20 | 2012-01-04 | 旭硝子株式会社 | 驻极体的制造方法及静电感应型转换元件 |
JP2013214040A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Jsr Corp | レジスト下層膜形成用組成物及びパターン形成方法 |
CN103733285A (zh) * | 2011-07-28 | 2014-04-16 | 旭硝子株式会社 | 驻极体及其制造方法以及静电感应型转换元件 |
CN104109229A (zh) * | 2013-04-19 | 2014-10-22 | 中国科学院上海有机化学研究所 | 一种含联萘和六氟环丁基醚单元的低介电常数聚合物、制备方法和应用 |
CN104126149A (zh) * | 2012-02-28 | 2014-10-29 | 旭硝子株式会社 | 电湿润装置、显示装置、透镜 |
WO2015008719A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | セントラル硝子株式会社 | 膜形成用組成物およびその膜、並びにそれを用いる有機半導体素子の製造方法 |
CN104795343A (zh) * | 2014-01-17 | 2015-07-22 | 株式会社东芝 | 衬底处理方法及其设备 |
JP2015138798A (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-30 | 三菱化学株式会社 | エレクトロスプレーデポジション法による膜の製造方法、有機半導体素子及びesd法用塗布溶液 |
TW201534567A (zh) * | 2014-02-06 | 2015-09-16 | Asahi Glass Co Ltd | 附有樹脂塗膜之玻璃片之製造方法 |
CN105452333A (zh) * | 2013-08-13 | 2016-03-30 | 旭硝子株式会社 | 含氟聚醚化合物、润滑剂、液状组合物以及物品 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2763410B2 (ja) * | 1990-07-21 | 1998-06-11 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びそれを用いた記録装置 |
JP3365846B2 (ja) * | 1993-03-24 | 2003-01-14 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素重合体組成物の製造方法 |
JP3348969B2 (ja) * | 1993-12-15 | 2002-11-20 | 旭硝子株式会社 | コーティング用含フッ素重合体組成物 |
JP4905775B2 (ja) * | 2005-08-03 | 2012-03-28 | 富士フイルム株式会社 | 反射防止フィルム、偏光板、画像表示装置及び反射防止フイルムの製造方法 |
EP2698399B1 (en) * | 2011-04-13 | 2017-11-15 | LG Chem, Ltd. | Resin composition, multilayer film and photovoltaic module including same |
WO2014192638A1 (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-04 | 旭硝子株式会社 | 水性塗料用組成物、水性塗料用キットおよび塗膜を有する物品 |
JP2016197365A (ja) | 2015-04-06 | 2016-11-24 | 株式会社デンソー | プロセッサ |
-
2017
- 2017-10-02 DE DE112017005051.0T patent/DE112017005051T5/de active Pending
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- 2017-10-02 CN CN201780061745.0A patent/CN109790349B/zh active Active
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- 2017-10-03 TW TW106134252A patent/TWI752095B/zh active
-
2019
- 2019-03-04 US US16/291,520 patent/US11084946B2/en active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0468712B1 (en) * | 1990-07-21 | 1998-10-07 | Canon Kabushiki Kaisha | A method of manufacturing an ink jet head and an ink jet head |
US5498657A (en) * | 1993-08-27 | 1996-03-12 | Asahi Glass Company Ltd. | Fluorine-containing polymer composition |
JPH07238250A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Asahi Glass Co Ltd | 含フッ素重合体溶液組成物 |
CN1165161A (zh) * | 1995-09-21 | 1997-11-19 | 旭硝子株式会社 | 低介电树脂组合物 |
JP2001151970A (ja) * | 1999-09-13 | 2001-06-05 | Daikin Ind Ltd | 低温造膜性フッ素樹脂組成物 |
CN101416118A (zh) * | 2006-04-05 | 2009-04-22 | 旭硝子株式会社 | 器件基板的清洗方法 |
US20080275147A1 (en) * | 2007-01-18 | 2008-11-06 | Asahi Glass Company, Limited | Electrolyte material |
CN102308351A (zh) * | 2009-02-20 | 2012-01-04 | 旭硝子株式会社 | 驻极体的制造方法及静电感应型转换元件 |
CN103733285A (zh) * | 2011-07-28 | 2014-04-16 | 旭硝子株式会社 | 驻极体及其制造方法以及静电感应型转换元件 |
CN104126149A (zh) * | 2012-02-28 | 2014-10-29 | 旭硝子株式会社 | 电湿润装置、显示装置、透镜 |
JP2013214040A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Jsr Corp | レジスト下層膜形成用組成物及びパターン形成方法 |
CN104109229A (zh) * | 2013-04-19 | 2014-10-22 | 中国科学院上海有机化学研究所 | 一种含联萘和六氟环丁基醚单元的低介电常数聚合物、制备方法和应用 |
WO2015008719A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | セントラル硝子株式会社 | 膜形成用組成物およびその膜、並びにそれを用いる有機半導体素子の製造方法 |
CN105452333A (zh) * | 2013-08-13 | 2016-03-30 | 旭硝子株式会社 | 含氟聚醚化合物、润滑剂、液状组合物以及物品 |
CN104795343A (zh) * | 2014-01-17 | 2015-07-22 | 株式会社东芝 | 衬底处理方法及其设备 |
JP2015138798A (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-30 | 三菱化学株式会社 | エレクトロスプレーデポジション法による膜の製造方法、有機半導体素子及びesd法用塗布溶液 |
TW201534567A (zh) * | 2014-02-06 | 2015-09-16 | Asahi Glass Co Ltd | 附有樹脂塗膜之玻璃片之製造方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
TAKENORI FUJIWARA,等: "Novel high Tg low dielectric constant coil-shaped polymer", 《JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY》 * |
生物化学教研室: "《临床生物化学检验》", 31 March 1983, 吉林医学院 * |
陈东霖: "含氟高聚物的物理性能", 《高分子通讯》 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114930468A (zh) * | 2020-01-08 | 2022-08-19 | 大金工业株式会社 | 绝缘膜或介电膜 |
CN114929477A (zh) * | 2020-01-08 | 2022-08-19 | 大金工业株式会社 | 叠层体 |
CN114981689A (zh) * | 2020-01-08 | 2022-08-30 | 大金工业株式会社 | 显示器保护膜 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2018066527A1 (ja) | 2019-08-29 |
TW201823351A (zh) | 2018-07-01 |
CN109790349B (zh) | 2021-09-21 |
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---|---|---|
CN109790349B (zh) | 含有含氟聚合物的组合物和带含氟聚合物膜的基材的制造方法 | |
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PB01 | Publication | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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