CN109687295B

CN109687295B - 离子发生器

Info

Publication number: CN109687295B
Application number: CN201811205451.3A
Authority: CN
Inventors: 安冈孝; 今野优; 土屋元
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2017-10-19
Filing date: 2018-10-17
Publication date: 2021-09-10
Anticipated expiration: 2038-10-17
Also published as: JP2019075349A; US11075505B2; EP3474396B1; US20190123519A1; KR102624353B1; JP6960582B2; KR20190044000A; TW201924490A; CN109687295A; TWI798258B; EP3474396A1

Abstract

一种离子发生器，能以压缩空气的少的消费量将离子效率良好地朝向除电对象输送。具有放电针(4)；对该放电针(4)进行保持的放电针保持架(31)；和朝向除电对象喷射离子输送用的空气的输送空气喷射机构(32)，该输送空气喷射机构(32)被配设在与上述放电针保持架(31)邻接的位置，具有驱动喷嘴(45)和扩散器(46)，该驱动喷嘴(45)具有驱动空气喷出口(48)，该扩散器(46)经外部空气吸入间隙(51)配设在该驱动喷嘴(45)的前方，在该扩散器(46)的内部以做成与上述驱动空气喷出口(48)同轴的方式形成了输送空气流通孔(52)，并且在该输送空气流通孔(52)的前端形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口(53)。

Description

离子发生器

技术领域

本发明涉及用于因静电而带电的除电对象的除电的离子发生器。

背景技术

在从因静电而带电的除电对象除去静电(进行除电)的情况下，使用离子发生器。此离子发生器具备通过施加高电压产生电晕放电而产生离子的放电针，是通过使从此放电针产生的离子随着从喷嘴喷射的空气流吹到除电对象上来对静电进行中和的装置。交流(AC)方式的离子发生器具有一个放电针，以通过向此一个放电针施加交流高电压交替地产生正及负的离子的方式构成，直流(DC)方式的离子发生器具有两个放电针，以如下的方式构成，即通过向两个放电针之中的一方的放电针施加正的直流高电压产生正的离子，通过向另一方的放电针施加负的直流高电压产生负的离子。

在以往的离子发生器中，为了将在上述放电针中产生的离子由空气流效率良好地输送到除电对象，例如，如在专利文件1～3中公开的那样，实施了用于产生适合于离子的输送的流量及流速的空气流的各种办法。

在专利文件1中，通过在喷嘴上设置收容了放电电极的离子生成室和包围此离子生成室的4个空气通过孔，从该空气通过孔朝向喷嘴的前方放出空气，能将从上述离子生成室向喷嘴的前方放出的离子载置在来自上述空气通过孔的空气流上而飞向宽的范围。

但是，在此第一公知例中，因为通过4个空气通过孔喷射压缩空气，所以为了使该压缩空气的流量及流速增大来提高除电能力，需要提高上述压缩空气的供给压力，或增大上述空气通过孔的孔径，其结果，存在压缩空气的消费量变多的问题。

另外，在专利文件2中，以包围收容了放电电极的收容孔的方式形成了4个喷出口，从该喷出口向空气增幅室内喷射压缩空气，将此压缩空气与从上述放电电极产生的离子一起通过通向上述空气增幅室的放出孔喷射，此时，从在上述空气增幅室形成的空气导入孔吸引取入外部空气，通过与此外部空气一起喷射，能增大从上述放出孔喷射的空气的流量，上述空气增幅室的收容孔开口。

但是，在此第二公知例中，也因为从多个喷出口喷射压缩空气，所以压缩空气的消费量变多。另外，因为在接近放电电极的针尖的位置从上述喷出口以一部分的压缩空气沿针尖流过的方式喷射压缩空气，所以存在如下的危险，即，以高速流过该针尖的附近的空气的流量增大，此高速的空气流对离子的产生造成不良影响。

进而，在专利文件3中，在由收容了放电电极的封闭空间构成的离子生成室的前端，形成了直径被缩小的空气放出口，在此空气放出口上连接了细长的喷射软管，通过使空气从空气送出管向此喷射软管内以高速喷出，使该喷射软管的内部成为负压而将上述离子生成室内的离子空气向该喷射软管的内部拉入，将拉入的离子空气从上述喷射软管的前端向外部射出。此时，在上述离子生成室内，外部空气从空气流入口流入。

但是，在此第三公知例的情况下，因为不仅从放电电极产生的离子容易接触附着在离子生成室的壁面、喷射软管的内面等上，而且产生的离子的全部以集束在小直径的上述喷射软管内的状态被拉入，所以存在正、负的离子容易接触而被中和，因离子的减少而带来除电效率的下降的危险。

在先技术文件

专利文件

专利文件1：日本特开2004－228069号公报

专利文件2：日本特开2012－54088号公报

专利文件3：日本特开2004－95271号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明是为了解决上述以往的问题而做出的发明，其技术的课题在于，能以压缩空气的少的消费量使离子效率良好地朝向除电对象输送。

为了解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的离子发生器具有通过施加高电压产生电晕放电而产生离子的放电针；对该放电针进行保持的放电针保持架；和朝向除电对象喷射离子输送用的空气的输送空气喷射机构，其特征在于，上述放电针保持架具有放电针收容室；通向该放电针收容室的基端部的辅助空气流入口；及在该放电针收容室的前端部以与外部空间直接连通的方式开口的辅助空气流出口，上述放电针以使针尖从上述辅助空气流出口与外部空间面对的姿势被收容在上述放电针收容室的内部，在该放电针的外周和上述放电针收容室及辅助空气流出口的内周之间，形成了从上述辅助空气流入口到上述辅助空气流出口的辅助空气流通间隙，上述输送空气喷射机构具有驱动喷嘴和扩散器，并配设在与上述放电针保持架邻接的位置，该驱动喷嘴具有基端的驱动空气导入口及前端的驱动空气喷出口，该扩散器经外部空气吸入间隙配设在该驱动喷嘴的前方，在上述扩散器的内部，以做成与上述驱动空气喷出口同轴的方式形成了直径比上述驱动空气喷出口大的输送空气流通孔，在该输送空气流通孔的前端，形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口。

在本发明中，上述输送空气喷射机构的驱动喷嘴及扩散器，在与通过上述放电针的中心的放电针轴线不同的位置，沿与该放电针轴线平行的喷嘴轴线配设。

另外，上述外部空气吸入间隙在与上述喷嘴轴线正交的全部的方向与上述外部空间直接连通，上述输送空气喷射口向上述外部空间直接开口。

在本发明中，上述放电针是通过施加交流高电压交替地产生正及负的离子的交流用的放电针，相对于一个放电针配设了一个或者两个输送空气喷射机构，或者，上述放电针是通过施加直流高电压产生正或者负的离子的直流用的放电针，相对于正、负一对放电针配设了一个输送空气喷射机构。

在本发明中最好是，具有分别形成而相互结合的第一构件及第二构件，在上述第一构件上设置了上述放电针保持架和驱动喷嘴，并且保持上述放电针，在上述第二构件上设置了上述扩散器。

另外，由上述第一构件及第二构件和放电针形成了放电针盒，该放电针盒装卸自由地安装在离子发生器的主体上。在此情况下，上述主体通过将多个主体块串联且可增减地连结形成，上述放电针盒安装在各主体块上。

[发明的效果]

根据本发明，通过设置了具有驱动喷嘴和扩散器的输送空气喷射机构，能由该输送空气喷射机构的喷射效应将离子输送用的空气以增量的状态朝向除电对象以高速进行喷射，其结果，能由少量的空气消费量效率良好地朝向除电对象输送离子。

附图说明

图1是本发明的离子发生器的侧视图。

图2是在宽度方向的中央位置在长度方向切断了离子发生器主体的剖视图。

图3是图2的主要部分放大图。

图4是沿图3的IV－IV线的剖视图。

图5(a)～(c)是表示扩散器中的输送空气流通孔的孔形状的变形例的主要部分的剖视图。

图6是从斜上方观看放电针盒的立体图。

图7是从斜下方观看放电针盒的立体图。

图8是图6的放电针盒的分解立体图。

图9是表示风速的解析结果的线图。

图10是表示本发明的离子发生器的另一个实施方式的主要部分的剖视图。

具体实施方式

为了实施发明的方式

在图1及图2中，表示本发明的离子发生器1的一实施方式。此离子发生器1是用于在半导体晶片、液晶玻璃等各种工件W的处理工序中因静电而带电的该工件W的除电的设备，具有离子发生器主体2和操作盘3，该离子发生器主体2具备通过施加交流高电压产生电晕放电而产生离子的放电针4，该操作盘3对离子发生器整体进行操作。

上述操作盘3具有内置交流高电压电路的第一操作盘3a和具备了各种操作按钮6、灯7、显示部8等的第二操作盘3b，该第二操作盘3b被安装在上述第一操作盘3a的侧面上，该操作盘3由从上述第一操作盘3a延伸出来的软线9与上述离子发生器主体2电气性地连接。

上述离子发生器主体2是沿主体轴线L做成了细长的形状的棒状的主体，具有主体10。该主体10是通过将多个主体块11a～11e沿上述主体轴线L串联且可增减地连结而形成的，在该主体10的内部形成了沿上述主体轴线L延伸的空气供给流路12。另外，在上述多个主体块11a～11e的各个上，装卸自由地安装了具备上述放电针4的一个放电针盒13。在图示的例中，由5个主体块11a～11e形成了上述主体10。

在上述5个主体块11a～11e之中，位于离子发生器主体2的最基端侧(图的右侧)的第一主体块11a的构造，与其它的第二～第五主体块11b～11e的构造略微不同，上述第二～第五主体块11b～11e的构造是相互相同构造。下面，对各主体块的构造进行说明。

上述第一主体块11a，在下面上具有用于安装上述放电针盒13的凹状的盒安装部15，流路孔12a沿上述主体轴线L从该第一主体块11a的基端到前端贯通该第一主体块11a的内部。该流路孔12a是形成上述空气供给流路12的一部分的流路孔。

在上述第一主体块11a的基端部，以与上述流路孔12a的端部连通的方式形成了用于安装管接头17的接头安装孔16，在安装于该接头安装孔16的上述管接头17上，连接了与压缩空气源18连通的配管软管19。另外，在上述第一主体块11a的基端部，形成了软线连接部20，在该软线连接部20，连接了来自上述操作盘3的软线9。

进而，在上述第一主体块11a的前端部，如从图3也可知的那样，形成了一对弹性卡定片21、连接管部22和遮蔽板24，该一对弹性卡定片21呈弹性地卡定在邻接的第二主体块11b的一对卡定部25上，该连接管部22经密封构件23气密地嵌合在邻接的第二主体块11b的连接孔26上，该遮蔽板24从下面侧覆盖隐藏由上述弹性卡定片21进行的连结部分。上述连接管部22是使上述流路孔12a与邻接的第二主体块11b的流路孔12a连通的连接管部。

另一方面，上述第二～第五主体块11b～11e，只是在如下的两点与该第一主体块11a不同，其第一点是在其各自的基端部形成了上述卡定部25及连接孔26，代替在上述第一主体块11a的基端部形成的上述接头安装孔16及软线连接部20，其第二点是主体轴线L方向的长度比第一主体块11a的同方向长度短一些，除此以外具有实质上与该第一主体块11a相同的结构。因此，对于这些第二～第五主体块11b～11e，在与上述第一主体块11a相同的结构部分上标注与标注在该第一主体块11a上的符号相同的符号，其详细的说明省略。

另外，在上述第五主体块11e的前端，安装了堵塞上述空气供给流路12的前端的端部块27。此端部块27，具有上述第五主体块11e的连接管部22经密封构件23气密地进行嵌合的连接孔28，该连接孔28的前端的开口部由栓塞29气密地堵塞。图中的标注了符号30的构件是覆盖上述主体10的上面和侧面的罩。这样连结的上述第一～第五主体块11a～11e，由通过它们的内部的连结杆14(参照图4)保持成连结状态。

另外，在下面的说明中，当不需要相互区别上述第一～第五主体块11a～11e时，将它们简单地称为“主体块11”。

接着，对上述放电针盒13进行说明。该放电针盒13，如从图3～图8也表明的那样，具有上述放电针4、对该放电针4进行保持的放电针保持架31和朝向作为除电对象的工件W喷射输送空气的输送空气喷射机构32。

上述放电针4具有由金属构成的大直径的基端安装部33和从该基端安装部33的前端延伸出来的金属制的放电针主体34，在该放电针主体34的前端，形成逐渐地做成尖细的圆锥状的放电部34a，如果在该放电针4上施加交流高电压，则上述放电部34a产生电晕放电而交替地产生正及负的离子。

另外，上述放电针4，如果将上述放电针盒13安装在主体块11上，则通过设置在该主体块11上的端子35与导电构件36接触，经该导电构件36与上述软线9连接，由此，与上述第一操作盘3a的交流高电压电路连接，上述导电构件36分别设置在第一～第五主体块11a～11e上，如果依次连接该主体块11a～11e，则构成为依次电气性地连接。

上述放电针保持架31具有收容了上述放电针4的孔状的放电针收容室37。此放电针收容室37，以沿与上述主体轴线L正交的第一轴线L1的方式延伸，具有基端侧的大直径部37a和与该大直径部37a的前端相连的小直径部37b，该小直径部37b的内径小于上述大直径部37a的内径。另外，在上述大直径部37a，设置了通向上述主体块11的空气供给流路12的辅助空气流入口38，在上述小直径部37b的前端，辅助空气流出口39以与外部空间40直接连通的方式开口。上述小直径部37b被形成在做成了喷嘴状的筒部41的前端部分上，上述辅助空气流出口39在该筒部41的前端开口。

而且，在上述放电针收容室37的内部，上述放电针4沿上述第一轴线L1将基端安装部33收容在上述大直径部37a内，并且在以从上述大直径部37a横跨小直径部37b的方式配置了上述放电针主体34的状态下，以从上述辅助空气流出口39向外部空间40稍微突出的姿势收容了针尖34b。因此，上述第一轴线也可以称为是通过上述放电针4的中心的放电针轴线。

在上述放电针4的外周和上述大直径部37a及小直径部37b的内周之间，形成了从上述辅助空气流入口38到辅助空气流出口39的辅助空气流通间隙42。该辅助空气流通间隙42，在上述放电针4的基端安装部33和上述大直径部37a之间及上述放电针主体34和上述小直径部37b之间，分别被缩小。因此，从上述空气供给流路12向上述辅助空气流通间隙42内流入的空气的流量是少量，从上述辅助空气流出口39沿上述放电针4的针尖34b向外部流出的空气的流量也是少量。其结果，能防止在上述放电针4的针尖34b的周围因空气的流量及压力上升而引起的离子产生效率的下降，与此同时，能防止污垢因微小的空气的流动而附着在放电针4的放电部34a。

上述放电针4的针尖34b，不一定需要从上述辅助空气流出口39向外部空间40突出，也可以位于与该辅助空气流出口39的开口端相同平面上，或者处于比该开口端后退一些的位置。总之，上述针尖34b，只要以从上述辅助空气流出口39与上述外部空间40面对的方式配设即可。

上述输送空气喷射机构32，具有驱动喷嘴45和扩散器46，该驱动喷嘴45和扩散器46，沿平行于上述第一轴线L1的第二轴线L2配设在与上述放电针保持架31的放电针收容室37邻接的位置。此第二轴线L2换句说能说成是喷嘴轴线L2。

上述驱动喷嘴45具有驱动空气流通孔47和驱动空气喷出口48，该驱动空气流通孔47在基端具有驱动空气导入口47a，该驱动空气喷出口48与该驱动空气流通孔47的前端相连，该驱动空气喷出口48的口径比上述驱动空气流通孔47的孔径小。另外，上述驱动空气导入口47a与上述主体块11的空气供给流路12连通。

上述扩散器46，做成了圆柱状，经外部空气吸入间隙51配置在上述驱动喷嘴45的前方，在该扩散器46的内部，在做成与上述驱动空气喷出口48同轴的位置，形成了直径比该驱动空气喷出口48大的输送空气流通孔52，在该输送空气流通孔52的前端，形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口53。

上述输送空气流通孔52，在图3所示的例中，形成为遍及该输送空气流通孔52的全长地具有一定的内径的那样的形状，该输送空气流通孔52的形状，既可以是如图5(a)所示，基端部52a做成向外张开状的圆锥面的形状，也可以是如图5(b)所示，基端部52a和前端部52b分别做成向外张开状的圆锥面，中间部52c具有一定的内径的那样的形状，或者也可以是如图5(c)所示，基端部52a做成向外张开状的圆锥面，从该基端部52a到上述输送空气喷射口53的部分52d作为整体做成逐渐向前扩大的那样的形状。在此情况下，做成上述向前扩大的部分52d的内面，朝向上述输送空气喷射口53做成直线状和朝向孔的内侧做成呈凸形的曲面都没关系。

形成了上述外部空气吸入间隙51的位置，与上述辅助空气流出口39的开口端及上述放电针4的针尖34b相比是后方，另外，形成了上述输送空气喷射口53的位置，与上述辅助空气流出口39的开口端及放电针4的针尖34b相比是前方。而且，上述外部空气吸入间隙51及输送空气喷射口53，例如，不经像孔的那样压力损失因使截面积缩小而变大的限制流路，与上述外部空间40直接连通。即，上述外部空气吸入间隙51，在与上述第二轴线L2正交的全部的方向(扩散器46的全周)与上述外部空间40直接连通，上述输送空气喷射口53向上述外部空间40直接开口。

上述输送空气喷射机构32是具有作为喷射器的功能，如果从上述驱动喷嘴45的驱动空气喷出口48向上述扩散器46的输送空气流通孔52内，以高速吹入从上述空气供给流路12供给的驱动空气，则因为该输送空气流通孔52内成为负压状态，所以外部空间40的空气通过上述外部空气吸入间隙51被吸引到上述输送空气流通孔52内，与来自上述驱动喷嘴45的驱动空气一起从上述输送空气喷射口53喷射。

为了使上述放电针保持架31及输送空气喷射机构32的构造简单且合理，如图6～图8所表明的那样，上述放电针盒13，通过将由合成树脂分别形成的第一构件61和第二构件62相互结合形成，在上述第一构件61上一体地形成了上述放电针保持架31和驱动喷嘴45，并且保持上述放电针4，在上述第二构件62上一体地形成了上述扩散器46。

作为上述合成树脂，能使用PBT树脂(聚丁烯对苯二酸酯树脂)、ABS树脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共重合树脂)等。

上述第一构件61，具备做成了圆柱形的主体部63；形成在该主体部63的直径方向的两侧面上的一对卡定突部64、64；从上述主体部63的上端沿上述第一轴线L1向上方延伸的圆柱部65；形成在上述主体部63的下端部的大致椭圆形的法兰部66；与该法兰部66的下面相连的コ字形的框部67；和使该框部67的内侧空间和上述法兰部66的上部空间连通的切口部68。

上述圆柱部65的外径比上述主体部63的外径小，上述法兰部66的短轴方向的直径比上述主体部63的外径大。另外，上述卡定突部64在上述主体部63的圆周方向逐渐地倾斜，其倾斜的方向是与右螺纹的螺牙相同的方向。进而，在上述主体部63的外周安装了环状的主密封构件69，在上述放电针4的上端部的从上述圆柱部65向上方突出的部分上，安装了O型环70。

而且，在上述圆柱部65及主体部63的内部形成了上述放电针收容室37，并且在上述圆柱部65的侧面上形成了上述辅助空气流入口38，上述筒部41的前端一直延伸到上述框部67的内部。另外，在上述主体部63的内部的与上述放电针收容室37邻接的位置，形成了上述驱动喷嘴45的驱动空气流通孔47，上述驱动空气导入口47a在该主体部63的上面上开口。

另一方面，上述第二构件62，具有做成了矩形框状的主体部71和从该主体部71的相对的一对框边71a、71a与上述第一轴线L1平行地立起的一对板状部72，在上述主体部71的其它的一对框边71b、71b的一方沿上述第二轴线L2一体地形成了上述扩散器46。

而且，通过将上述第二构件62插入固定在上述第一构件61的框部67内，装配了上述放电针盒13。此时，上述第一构件61和第二构件62的固定，通过使形成在该第二构件62的主体部71的外面上的小的卡定突起咬入卡定在上述该第一构件61的框部67的内面来进行。

这样形成的上述放电针盒13，通过嵌合在形成于上述主体块11上的上述盒安装部15内，安装在该主体块11上。其安装，在使上述放电针盒13绕第一轴线L1成为与图3所示的方向差90度的方向而插入上述盒安装部15内之后，通过使其向顺时针方向旋转90度朝向图3所示的方向来进行。于是，如图4所示，因为上述一对卡定突部64、64卡定在形成于上述盒安装部15的内壁的相对的位置的一对卡定段壁73、73上，所以上述放电针盒13呈固定状态地安装在上述主体块11上。此时，通过上述法兰部66与上述主体块11的下面抵接，并且该法兰部66的上面的突起74与上述主体块11的下面的凹部75嵌合，上述放电针盒13被定位在该方向。

如果这样将上述放电针盒13安装在上述主体块11上，则被安装在上述放电针4上的O型环70，因为以被压缩的状态夹设在上述圆柱部65的上端面65a和盒安装部15的上壁面15a之间，所以从上述空气供给流路12隔断上述放电针收容室37，上述主密封构件69密封上述主体部63的外周和盒安装部15的内周之间。另外，上述圆柱部65的侧面的上述辅助空气流入口38及上述主体部63的上面的上述驱动空气导入口47a与上述空气供给流路12连通。

另外，当从上述主体块11卸下上述放电针盒13时，只要使该放电针盒13向逆时针方向旋转90度而使上述卡定突部64从上述卡定段壁73脱离即可。

当使用具有上述结构的离子发生器1对工件W进行除电时，通过对上述操作盘3进行操作，向离子发生器主体2的各放电针4施加交流高电压，并且从压缩空气源18向空气供给流路12供给压缩空气。于是，在上述放电针4的前端的放电部34a产生电晕放电，通过将空气的分子进行离子化，交替地产生正及负的离子，产生的离子向上述放电针4的针尖34b面对的外部空间40放出。

另外，向上述空气供给流路12供给的空气，以被进行流量限制的状态从上述放电针保持架31的辅助空气流入口38向上述放电针收容室37内流入，并且从上述输送空气喷射机构32的驱动空气导入口47a向上述驱动空气流通孔47内流入。

流入上述放电针收容室37内的空气，通过上述放电针主体34的周围的辅助空气流通间隙42向外部空间40一点一点地流出，通过此空气的流动，防止垃圾附着在上述放电针主体34中的放电部34a的外周上。

另一方面，从上述驱动空气导入口47a向驱动空气流通孔47内流入的空气，以高速从上述驱动空气喷出口48向上述输送空气流通孔52内吹入。于是，因为上述输送空气流通孔52的内部成为负压状态，所以外部空间40的空气通过上述外部空气吸入间隙51被吸引到上述输送空气流通孔52内，与来自上述驱动喷嘴45的驱动空气一起从上述输送空气喷射口53朝向工件W喷射。通过此输送空气的喷射，由上述放电针4产生向外部空间40放出的离子与该外部空间40的空气一起被卷入上述输送空气的喷流而向工件W输送，通过到达该工件W进行该工件W的除电。

此时，因为从上述输送空气喷射口53喷射的空气的量与上述驱动空气相比进行了增量，风速也由其增量而变快，所以包含上述离子的空气流到达工件W的时间也变早。其结果，可由少量的空气消费量将离子效率良好地朝向除电对象输送，能缩短作为离子发生器1的性能指标的衰减时间(直到将静电带电量降低90％为止的时间)。

另外，根据使用计算机的风速的解析结果，作为上述输送空气喷射机构32，在使用了如本实施方式的那样通过设置扩散器使其具有喷射器功能的结构的情况下和如以往的那样使用了没有扩散器的结构(没有喷射器功能的机构)的情况下，如图9所示，确认了在相同的消费流量的条件下使用了具有喷射器功能的机构的情况下的一方风速变快。

另外，在上述实施方式中，上述输送空气喷射机构32仅设置了1组，但此输送空气喷射机构32也能在上述放电针4的周围以等间隔设置多组。例如，在设置2组上述输送空气喷射机构32的情况下，在图3中在由喷嘴轴线L2′表示的位置，即在夹着放电针4地与上述输送空气喷射机构32左右相反侧的位置，能再配置1组输送空气喷射机构。也就是说，只要在夹着放电针4地相互左右对称的位置各配置1组空气喷射机构即可。

另外，在上述实施方式中，上述辅助空气流出口39的开口端及放电针4的针尖34b，被配置在上述外部空气吸入间隙51和输送空气喷射口53之间的位置，但该辅助空气流出口39的开口端及放电针4的针尖34b，也可以配置在与上述外部空气吸入间隙51同等位置或者与其相比位于后方的位置，或者配置在与上述输送空气喷射口53同等位置或者与其相比位于前方的位置。

进而，因为上述实施方式的离子发生器1是AC方式，所以上述放电针盒13具备一个放电针4，但本发明也能适用于放电针盒具备两个放电针的DC方式的离子发生器。在此情况下，例如，如图10所示的放电针盒13A的那样，能在正极及负极的两个放电针4a、4b的中间位置配置具备驱动喷嘴45及扩散器46的1组输送空气喷射机构32。此放电针盒13A的其它的结构，因为是与图3的放电针盒13实质上相同的结构，所以在主要的相同结构上标注与在图3中使用的符号相同的符号，其说明省略。

符号的说明：

1：离子发生器

4、4a、4b：放电针

10：主体

11a、11b、11c、11d、11e：主体块

13、13A：放电针盒

31：放电针保持架

32：输送空气喷射机构

34b：针尖

37：放电针收容室

38：辅助空气流入口

39：辅助空气流出口

40：外部空间

42：辅助空气流通间隙

45：驱动喷嘴

46：扩散器

47a：驱动空气导入口

48：驱动空气喷出口

51：外部空气吸入间隙

52：输送空气流通孔

53：输送空气喷射口

61：第一构件

62：第二构件

L1：放电针轴线(第一轴线)

L2：喷嘴轴线(第二轴线)

W：工件(除电对象)。

Claims

1.一种离子发生器，其具有通过施加高电压产生电晕放电而产生离子的放电针；对该放电针进行保持的放电针保持架；和朝向除电对象喷射离子输送用的空气的输送空气喷射机构，其特征在于，

上述放电针保持架具有放电针收容室；通向该放电针收容室的基端部的辅助空气流入口；及在该放电针收容室的前端部以与外部空间直接连通的方式开口的辅助空气流出口，上述放电针以使针尖从上述辅助空气流出口与外部空间面对的姿势被收容在上述放电针收容室的内部，在该放电针的外周和上述放电针收容室的内周及辅助空气流出口的内周之间，形成了从上述辅助空气流入口到上述辅助空气流出口的辅助空气流通间隙，

上述输送空气喷射机构具有驱动喷嘴和扩散器，并配设在与上述放电针保持架邻接的位置，该驱动喷嘴具有基端的驱动空气导入口及前端的驱动空气喷出口，该扩散器经外部空气吸入间隙配设在该驱动喷嘴的前方，在上述扩散器的内部，以做成与上述驱动空气喷出口同轴的方式形成了直径比上述驱动空气喷出口大的输送空气流通孔，在该输送空气流通孔的前端，形成了用于喷射上述输送空气的输送空气喷射口。

2.如权利要求1记载的离子发生器，其特征在于，上述输送空气喷射机构的驱动喷嘴及扩散器，在与通过上述放电针的中心的放电针轴线不同的位置，沿与该放电针轴线平行的喷嘴轴线配设。

3.如权利要求2记载的离子发生器，其特征在于，上述外部空气吸入间隙在与上述喷嘴轴线正交的全部的方向与上述外部空间直接连通，上述输送空气喷射口向上述外部空间直接开口。

4.如权利要求2记载的离子发生器，其特征在于，上述放电针是通过施加交流高电压交替地产生正及负的离子的交流用的放电针，相对于一个放电针配设了一个或者两个输送空气喷射机构。

5.如权利要求2记载的离子发生器，其特征在于，上述放电针是通过施加直流高电压产生正或者负的离子的直流用的放电针，相对于正、负一对放电针配设了一个输送空气喷射机构。

6.如从权利要求1至5中的任一项记载的离子发生器，其特征在于，具有分别形成而相互结合的第一构件及第二构件，在上述第一构件上设置了上述放电针保持架和驱动喷嘴，并且保持上述放电针，在上述第二构件上设置了上述扩散器。

7.如权利要求6记载的离子发生器，其特征在于，由上述第一构件及第二构件和放电针形成了放电针盒，该放电针盒装卸自由地安装在离子发生器的主体上。

8.如权利要求7记载的离子发生器，其特征在于，上述主体通过将多个主体块串联且可增减地连结形成，上述放电针盒安装在各主体块上。