KR101425495B1 - 이오나이저용 접속 커넥터 및 연결형 이오나이저 - Google Patents

이오나이저용 접속 커넥터 및 연결형 이오나이저 Download PDF

Info

Publication number
KR101425495B1
KR101425495B1 KR1020080045487A KR20080045487A KR101425495B1 KR 101425495 B1 KR101425495 B1 KR 101425495B1 KR 1020080045487 A KR1020080045487 A KR 1020080045487A KR 20080045487 A KR20080045487 A KR 20080045487A KR 101425495 B1 KR101425495 B1 KR 101425495B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ionizer
ionizers
electrodes
gas
connector
Prior art date
Application number
KR1020080045487A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090015788A (ko
Inventor
야스노리 데라사키
후미타카 이리에
다카노부 야마구치
Original Assignee
휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤 filed Critical 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤
Publication of KR20090015788A publication Critical patent/KR20090015788A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101425495B1 publication Critical patent/KR101425495B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/04Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T19/00Devices providing for corona discharge
    • H01T19/04Devices providing for corona discharge having pointed electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T23/00Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Elimination Of Static Electricity (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 모든 전극이 동일한 간격을 가지도록 2개의 이오나이저의 위치 결정을 행함으로써, 설치 작업의 용이화, 및 제전 능력의 향상에 기여하는 이오나이저용 접속 커넥터를 제공한다. 또한, 이와 같은 이오나이저용 접속 커넥터에 의해 연결되어 대형의 제전 대상의 제전을 균일하게 행하는 연결형 이오나이저를 제공한다.
본 발명에서는, 결합부에 끼워맞추어지고, 또한 고정부에 의해 고정된 2개의 이오나이저(20)의 측단부 가까이의 2개의 전극(23)이 소정의 전극 간격 A를 유지하도록 2개의 이오나이저(20)의 위치 결정을 행하는 위치 결정부(14)를 구비하는 이오나이저용 접속 커넥터(10)를 형성하였다. 또한, 이와 같은 이오나이저용 접속 커넥터(10)에 의해 이오나이저(20)를 연결하여 모든 전극(23)이 소정의 전극 간격 A를 유지하는 연결형 이오나이저(100)를 형성하였다.

Description

이오나이저용 접속 커넥터 및 연결형 이오나이저{CONNECTOR FOR IONIZER, AND CONNECTION TYPE IONIZER}
본 발명은, 이오나이저를 복수개 연결하는 이오나이저용 접속 커넥터, 및 이와 같은 이오나이저용 접속 커넥터에 의해 연결된 연결형 이오나이저에 관한 것이다.
종래 기술의 바 형의 이오나이저로서는, 침형의 전극(방전침)에 고전압을 인가하여 공기로부터 양이온과 음이온(이하, 양이온과 음이온을 총칭할 때 간단히 이온이라 함)을 발생시키고, 대전(帶電)되어 있는 제전(除電) 대상에 이온와 함께 기체류(氣體流)를 분사하여 제전하는 코로나 방전식 이오나이저가 있다. 이 제전 대상의 일례로서, 예를 들면, 판형의 유리 기판 등을 들 수 있다. 이 유리 기판은, 예를 들면, TFT(박막 트랜지스터) 액정 패널, PDP(플라즈마 디스플레이 패널), 또는 LC D(액정 디스플레이) 등에서 사용되는 기판이다.
그런데, 이와 같은 코로나 방전식 이오나이저는, 전극에 인가하는 고압 전원에 직류 전원을 사용하는 직류 방식 이오나이저와 교류 전원을 사용하는 교류 방식 이오나이저로 더 구별된다. 각각의 이오나이저에는 특징이 있으므로, 사용하는 목 적에 따라 선택할 필요가 있다.
직류 방식 이오나이저는, 플러스 전극과 마이너스 전극을 각각 동일한 개수만큼 교대로 설치한 것이며, 플러스 전극이 양이온을, 마이너스 전극이 음이온을 각각 생성한다. 전극은 분사 노즐 내에 배치되어 있고, 발생한 이온을 기체류에 실어서 이동 속도를 빠르게 함으로써, 제전 효과를 높이고 있다.
교류 방식 이오나이저는 주로 상용 주파수의 교류 전원을 승압 트랜스로 승압한 전원 전압을 사용하고 있고, 양이온과 음이온이 1개의 전극으로부터 교대로 발생한다. 전극은 분사 노즐 내에 배치되어 있고, 발생한 이온을 기체류에 실어서 이동 속도를 빠르게 함으로써, 제전 효과를 높이고 있다.
그런데, 최근의 PDP나 LCD의 화면 대형화에 수반하여, 전술한 제전 대상으로서 예시한 유리 기판이 대형화되는 경향이 있으므로, 이오나이저도 이와 같은 대형 유리 기판의 제전에 대응할 필요가 있다. 그 해결책으로서 종래 기술에서는 이오나이저를 복수개 사용하는 방법이 채용되고 있었다. 이와 같은 이오나이저를 복수개 사용하는 선행 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 1(일본국 특개 2002-216997호 공보, 발명의 명칭: 이온화 장치 및 그 방전 전극 바)이 개시되어 있다.
이 특허 문헌 1의 도 3에는, 가로로 병설한 복수개의 방전 전극 바(1)를 세트(33)로 하여 이 세트(33)를 복수 열로 배열한 레이아웃이 개시되어 있다. 이와 같이 하여 가로 방향으로 큰 대형 제전 대상에도 대응하고 있다.
[특허 문헌 1] 일본국 특개 2002-216997호 공보(단락 번호 0021, 도 3)
특허 문헌 1의 도 3에 기재된 바와 같이, 인접하는 2개의 방전 전극 바의 중간의 간격이 넓으면, 이들 방전 전극 바의 가장 외측에 설치되는 2개의 전극은 이격되게 되고, 이 중간의 간격 바로 아래 부근에는 이온이 도달하지 않을 우려가 있는 문제점이 있었다.
그래서, 인접하는 2개의 이오나이저를 배치할 때 모든 전극 간격을 통일함으로써 제전 대상에 균일하게 이온을 도달시키는 것이 바람직하다. 그러나, 모든 전극 간격을 통일하는 경우, 설치 현장에서 2개의 이오나이저의 전극 간격을 확인하면서, 장착 위치를 알아내어 장착하는 등 작업성이 좋지 못하였다. 따라서, 간단한 작업에 의해 정확하게 전극 간격을 결정할 필요가 있다.
그래서, 본 발명은, 전술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 모든 전극이 동일한 간격을 가지도록 2개의 이오나이저의 위치 결정을 행함으로써, 설치 작업의 용이화, 및 제전 능력의 향상에 기여하는 이오나이저용 접속 커넥터를 제공하는 것에 있다.
또한, 전술한 바와 같은 이오나이저용 접속 커넥터에 의해 연결되어 대형 제전 대상의 제전을 균일하게 행하는 연결형 이오나이저를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 청구항 1에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는,
장척체(長尺體)로서 형성되는 이오나이저 본체와,
이오나이저 본체 내부에 설치되는 전기계 회로와,
길이 방향으로 소정의 전극 간격으로 복수개로 배열되고 이오나이저 본체 외부로 돌출하도록 설치되고, 전기계 회로로부터 공급되는 전압이 인가되어 이온을 생성하는 복수개의 전극
을 구비하는 코로나 방전식 이오나이저를 연결하기 위한 이오나이저용 접속 커넥터로서,
이 이오나이저용 접속 커넥터는,
이오나이저의 측단부가 끼워맞추어지는 2개의 결합부와,
연결할 2개의 이오나이저의 측단부를 고정하는 2개의 고정부와,
결합부에 끼워맞추어지고, 또한 고정부에 의해 고정된 2개의 이오나이저의 측단부 가까이의 2개의 전극의 간격이 소정의 전극 간격이 되도록 2개의 이오나이저의 위치 결정을 행하는 위치 결정부
를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 2에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는, 청구항 1에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터에 있어서,
상기 2개의 결합부는, 연속하는 중공(中空) 구멍부에 의해 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 3에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는, 청구항 2에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터에 있어서,
상기 이오나이저용 접속 커넥터는, 중공 구멍부를 벌리는 절입부를 구비하여 측면에서 볼 때 단면이 C자형으로 형성되고, 절입부가 벌어져서 상기 2개의 결합부가 넓게 벌어지도록 하는 기능을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 4에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는,
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터에 있어서,
상기 이오나이저는 측단부에 측면 커버를 구비하며,
상기 고정부는 이 측면 커버에 걸려서 고정되는 걸림고정부인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 청구항 5에 따른 연결형 이오나이저는,
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터를 n(n은 양의 정수)개 사용하여 n+1개의 이오나이저를 연결하여 이루어지는 연결형 이오나이저로서, 모든 전극이 길이 방향으로 소정의 전극 간격을 유지하면서 복수개로 배열되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 청구항 6에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는,
장척체로서 형성되는 이오나이저 본체와,
이오나이저 본체 내부에 설치되는 전기계 회로와,
이오나이저 본체 내부에 설치되는 유체계(流體係) 회로와,
길이 방향으로 소정의 전극 간격으로 복수개로 배열되고 이오나이저 본체 외부로 돌출하도록 설치되고, 전기계 회로로부터 공급되는 전압이 인가되어 이온을 생성하는 복수개의 전극과,
길이 방향으로 복수개로 배열되고 이오나이저 본체 외부에 설치되고, 유체계 회로로부터 이온 반송용 기체류가 공급되고 분사시키는 복수개의 기체 분사부와,
기체 공급원으로부터 공급되는 기체류를 유체계 회로에 공급하도록 이루어지고, 이오나이저 본체의 측면에 설치되는 기체 통류구(通流口)
를 구비하는 코로나 방전식 이오나이저를 연결하기 위한 이오나이저용 접속 커넥터로서,
이 이오나이저용 접속 커넥터는,
이오나이저의 측단부가 끼워맞추어지는 2개의 결합부와,
연결할 2개의 이오나이저의 측단부를 고정하는 2개의 고정부와,
결합부에 끼워맞추어지고, 또한 고정부에 의해 고정된 2개의 이오나이저의 측단부 가까이의 2개의 전극이 소정의 전극 간격을 가지도록 2개의 이오나이저의 위치 결정을 행하는 위치 결정부와,
연결할 2개의 이오나이저의 측면에 있는 2개의 기체 통류구에 연결되는 기체 유로부와,
기체 유로부를 수용하는 수용부
를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 7에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는, 청구항 6에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터에 있어서,
상기 2개의 결합부와 상기 수용부는, 연속하는 중공 구멍부에 의해 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 8에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는, 청구항 7에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터에 있어서,
상기 이오나이저용 접속 커넥터는, 중공 구멍부를 벌리는 절입부를 구비하여 측면으로부터 볼 때 단면이 C자형으로 형성되고, 절입부를 넓게 벌려서 상기 2개의 결합부가 넓게 벌어지도록 하는 기능을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 9에 따른 이오나이저용 접속 커넥터는,
청구항 6 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터에 있어서,
상기 이오나이저는, 측단부에 측면 커버를 구비하는 것이며,
상기 고정부는, 이 측면 커버에 걸려서 고정되는 걸림고정부인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 청구항 10에 따른 연결형 이오나이저는,
청구항 6 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터 n개를 사용하여 n+1개의 이오나이저를 연결하여 이루어지는 연결형 이오나이저로서, n개의 기체 유로부에서 n+1개의 이오나이저의 유체계 회로가 연결되고, 또한 모든 전극이 길이 방향으로 소정의 전극 간격을 유지하면서 복수개로 배열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 11에 따른 연결형 이오나이저는, 청구항 10에 기재된 연결형 이오나이저에 있어서,
상기 기체 유로부는 T자형 기체 유로부로서, 2개의 기체 통류구에 연결되고, 또한 기체 공급원과 연결되고, 상기 T자형 기체 유로부가 연결되는 양쪽의 이오나이저에 기체를 공급하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 청구항 12에 따른 연결형 이오나이저는,
청구항 10 또는 청구항 11에 기재된 연결형 이오나이저에 있어서,
상기 기체 분사부는, 전극이 내부에 수용되어 있고, 모든 전극 및 기체 분사부가 길이 방향으로 소정의 전극 간격을 유지하면서 복수개로 배열되고, 또한 유체계 회로로부터 이온 반송용의 기체류가 공급되고 전극 주위의 이온과 함께 분사시키는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 모든 전극이 동일한 간격을 가지도록 2개의 이오나이저의 위치 결정을 행함으로써, 설치 작업의 용이화, 및 제전 능력의 향상의 실현에 기여하는 이오나이저용 접속 커넥터를 제공할 수 있다.
또한, 이와 같은 이오나이저용 접속 커넥터에 의해 연결되어 대형 제전 대상의 제전을 균일하게 행하는 연결형 이오나이저를 제공할 수 있다.
이어서, 본 발명을 실시하기 위한 실시예에 따른 이오나이저용 접속 커넥터 및 연결형 이오나이저에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 실시예의 연결형 이오나이저를 구성하는 이오나이저용 접속 커넥터 및 이오나이저의 주요부의 사시 외관도, 도 2는 정면도, 도 3은 평면도, 도 4는 저면도이다. 본 실시예의 연결형 이오나이저(100)에서는, 도 1 내지 도 4에서 나타낸 바와 같이, 1개의 이오 나이저용 접속 커넥터(10)에 의해, 2개의 이오나이저(20)가 연결되는 구조를 가진다.
여기서 이오나이저용 접속 커넥터(10) 및 연결형 이오나이저(100)를 설명할 때, 도 2 내지 도 4의 좌우 방향을 이오나이저용 접속 커넥터(10) 및 이오나이저(20)의 길이 방향으로 하고, 도 2 내지 도 4의 상하 방향을 이오나이저용 접속 커넥터(10) 및 이오나이저(20)의 폭 방향으로서 설명한다.
이어서, 이오나이저용 접속 커넥터(10)에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 5는 이오나이저용 접속 커넥터의 구조도이며, 도 5의 (a)는 정면도, 도 5의 (b)는 좌측면도, 도 5의 (c)는 평면도, 도 5의 (d)는 저면도이다. 도 6은 이오나이저용 접속 커넥터의 구조도이며, 도 6의 (a)는 도 5의 A-A선을 따라 절단하여 나타낸 단면도, 도 6의 (b)는 도 5의 B-B선을 따라 절단하여 나타낸 단면도, 도 6의 (c)는 도 5의 C-C선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
이오나이저용 접속 커넥터(10)는, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, C자형 본체(11), 중공 구멍부(12), 노치부(13), 위치 결정부(14) 및 걸림고정부(15)를 구비한다. 이 이오나이저용 접속 커넥터(10)의 중공 구멍부(12)의 공간 내에는, 결합부(16) 및 수용부(17)가 더 구성되게 된다(후술).
C자형 본체(11)에는, 도 5의 (a), (b), (c) 및 (d)에서 나타낸 바와 같이, 통형으로 형성되는 중공 구멍부(12)가 형성되어 있다. 이 C자형 본체(11)는, 또한 도 5의 (b)에서 나타낸 바와 같이, 위쪽에 형성된 노치부(13)에 의해 단면이 대략 C자형으로 형성된다. 도 5의 (b)에서 나타낸 C자형 본체(11)의 개구는, 후술하는 이오나이저(20)의 측단부에 있는 측면 커버(22)가 끼워맞추어질 수 있는 형상으로 형성되어 있다.
위치 결정부(14)는 중공 구멍부(12) 내에 돌출하도록 C자형 본체(11)에 일체로 형성된다. 위치 결정부(14)는 도 5의 (b), 도 6의 (a), 도 6의 (b) 및 도 6의 (c)에서 나타낸 바와 같이 단면이 요(凹)자형인 거의 입방체이다. 이오나이저(20)의 측면 커버(22)는 위치 결정부(14)의 측면과 맞닿아서 이오나이저(20)의 위치 결정이 행해진다. 위치 결정부(14)을 사용하는 위치 결정에 대해서는 후술한다.
걸림고정부(15)는, 본 발명의 고정부의 구체예이며, C자형 본체(11)의 개구 부근에서 중공 구멍부(12) 측을 향하여 돌출하는 걸림고정편(片)이다. 한쪽 개구에 높이가 상이한 2개의 걸림고정부(15)가 배치되어 있고, 또한 다른쪽 개구에 높이가 상이한 2개의 걸림고정부(15)가 배치된다. 걸림고정부(15)를 사용하는 걸림고정에 대해서는 후술한다.
결합부(16)는, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 중공 구멍부(12)의 공간 내에서, C자형 본체(11)의 좌우 양쪽의 개구부 부근에 있으며, 위치 결정부(14)가 없는 공간을 가리키고 있다. 결합부(16)는 좌우 양쪽의 개구부에 형성된다. 이 좌우 양쪽의 결합부(16)에 이오나이저(20)의 측단부의 측면 커버(22)가 배치된다. 이오나이저(20)의 측단부의 측면 커버(22)는 위치 결정부(14)의 측벽부(141)에 맞닿아서 위치 결정이 행해진 상태로 결합부(16)에 배치된다.
수용부(17)는, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 중공 구멍부(12)의 공간 내에서, 양쪽의 결합부(16)의 사이에 있는 공간(결합부(16) 이외의 공간)이며, 위치 결정부(14)의 위쪽의 공간을 가리키고 있다. 이 수용부(17)에서는, 이오나이저(20)의 측면에 설치된 2개의 커넥터 등의 기체 통류구(후술)에 대하여, 튜브 등의 기체 유로부(후술)가 연결된 상태로 배치 수용된다.
이오나이저용 접속 커넥터(10)의 구성은 전술한 바와 같다.
이어서, 이오나이저용 접속 커넥터(10)를 사용하는 이오나이저의 접속에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 7 및 도 8은 이오나이저용 접속 커넥터에 의한 연결 개소의 확대 단면도, 도 9는 이오나이저용 접속 커넥터에 의한 연결 시의 전극 간격의 설명도이다. 이오나이저용 접속 커넥터(10)의 노치부(13)(도 5, 도 6 참조)를 벌려서 중공 구멍부(12)의 개구 부근(결합부(16))이 넓게 벌려진 상태에서, 좌우 양쪽으로부터 이오나이저(20)가 삽입된다. 그러면, 걸림고정부(15)에 걸리지 않고 개구를 통과하고, 그 후에는 측면 커버(22)에 걸림고정부(15)가 맞닿아 넓게 벌려진 상태가 유지되면서 이오나이저(20)가 결합되게 된다. 이 때, 한쪽의 기체 통류구(25)에는 딱딱한 튜브인 기체 유로부(18)가 장착되어 있고, 이오나이저(20)의 장착과 함께 기체 유로부(18)가 다른 쪽의 기체 통류구(25)에 고정되게 된다.
이오나이저용 접속 커넥터(10) 측으로 이오나이저(20)의 삽입이 진행되면, 도 7 및 도 8에서 나타낸 바와 같이, 측면 커버(22)로부터 걸림고정부(15)가 분리되어, 걸림고정부(15)가 측면 커버(22)를 거는 상태가 되어 이오나이저용 접속 커넥터(10)의 양측에 이오나이저(20)가 연결된다. 이 연결과 동시에, 도 8에서 나타낸 바와 같이, 위치 결정부(14)의 측벽(141)이 이오나이저(20)의 측면 커버(22)에 맞닿아 길이 방향(좌우 방향)으로 위치 결정이 행해진다. 또한, 기체 유로부(18)가 양쪽의 기체 통류구(25)에 연결된다. 이 경우, 중공 구멍부(12) 내의 측면 커버(22)가 있는 개소가 결합부(16)가 되고, 좌우 양쪽의 결합부(16) 사이의 공간이 수용부(17)가 된다. 그러면, 도 9에서 나타낸 바와 같이, 이오나이저용 접속 커넥터(10)에 의해 2개의 이오나이저(10)의 측단부에 있는 측면 커버(22) 가까이의 2개의 전극(23)의 간격이 소정의 전극 간격 A가 되도록 2개의 이오나이저(20)의 위치 결정이 이루어진다. 여기에, 이오나이저(20)의 전극(23)의 간격은 소정의 전극 간격 A이며, 그 결과, 연결형 이오나이저(100)의 모든 전극(23)이 소정의 전극 간격 A가 되도록 위치 결정된다.
이와 같이 이오나이저용 접속 커넥터(10)의 양측에 이오나이저(20)가 연결됨과 동시에 위치 결정이 행해지므로, 연결형 이오나이저(100)의 설치 작업의 용이화가 실현된다. 또한, 연결형 이오나이저(100)의 모든 전극(23)의 간격이 소정의 전극 간격 A로 유지되므로 제전 능력의 향상의 실현에 기여한다.
이어서, 이오나이저용 접속 커넥터(10)를 사용하여 구성한 연결형 이오나이저(100)에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 먼저 이오나이저(20)의 구체예에 대하여 개략적으로 설명한다. 본 실시예에서는 펄스 AC 방식의 이오나이저(20)를 상정하여 설명한다. 도 10은 이오나이저의 설명도이다. 여기에 이오나이저(20)는, 이오나이저 본체(21), 측면 커버(22)(도 7, 도 8 및 도 9 참조), 전극(23), 분사 노즐(24), 기체 통류구(25), 기체 공급로(26), 전원 전압 입력 단자(27), 전원 공급선(28), 전원 회로부(29) 및 전원선(30)을 구비하고 있다.
이오나이저 본체(21)는, 도 10에서도 명백한 바와 같이 전극 배열 방향으로 길게 바 형으로 형성되어 있다. 이오나이저 본체(21)는, 도 5의 (b)에서도 명백한 바와 같이 측면 형상이 대략 직사각형으로 형성된다. 그리고, 이오나이저 본체(21)는 측면 형상은 대략 직사각형으로 한정되지 않고, 측면이 대략 타원 형상으로 형성되는 등 각종 형상을 가질 수 있다. 바 형의 이오나이저는, 클린룸에서 팬 필터 유닛으로부터의 다운 플로우를 방해하지 않고 효율적으로 이온을 제전 대상이 있는 아래쪽에 운반할 필요가 있고, 이와 같은 이유에 의해서도 다운 플로우가 잘 되도록 하는 상하 방향으로 긴 타원이나 직사각형의 형상이 된다. 측면 커버(22)는, 이오나이저 본체(21) 내에 내부 구성을 내장한 후에 이오나이저 본체(21)의 측단부에 결합되어 고정되는 커버이다.
전극(23)은, 도 10에서 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 이오나이저 본체(21)의 장척(길이) 방향으로 4개 배치된다. 그리고, 이 개수는 설계 시에 적절한 선택이 가능하다. 인접하는 2개의 전극(23)의 간격은 소정의 전극 간격 A가 되도록 구성된다.
분사 노즐(24)은, 도 10에서 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 이오나이저 본체(21)의 장척 방향으로 4개 배치된다. 본 실시예에서는 전극(23)은 분사 노즐(24) 내에 배치된다. 그러므로 인접하는 4개의 분사 노즐(24)의 간격도 소정의 전극 간격 A가 되도록 구성된다. 그리고, 전극(23)과 분사 노즐(24)이 상이한 개소에 형성되는, 분리된 이오나이저(20)라도 된다. 그리고, 이 개수는 설계 시에 적절하게 선택이 가능하다.
기체 통류구(25)는, 외부로부터의 공급 기체를 입력하거나, 외부로 출력하기 위하여, 튜브 등의 기체 유로부(18)와 착탈 가능하게 구성된 커넥터이다.
기체 공급로(26)는, 좌우의 측단부 양측에 기체 통류구(25)와 연통되고, 또한 분사 노즐(24)과도 연통되어 있다. 기체 통류구(25)에 공급된 공급 기체가 기체 공급로(26)에 공급되고, 나아가서는 분사 노즐(24)에 공급된다.
전원 전압 입력 단자(27)는, 예를 들면, 전원용 커넥터이며, 외부로부터의 전원 전압을 입력한다. 본 실시예에서는 좌우의 측면부에 전원 전압 입력 단자(27)가 배치되는 구성을 채용하였으나, 어느 한쪽에 배치되어 있으면 된다. 또한, 전원 전압 입력 단자(27)는 측면이 아니라 이오나이저 본체(21)의 전후면에 배치되는 구성을 채용해도 된다.
전원 공급선(28)은, 전원 전압 입력 단자(27)에 공급된 전원 전압을 전원 회로부(28)에 전달한다.
전원 회로부(29)는, 외부로부터의 전원 전압이 공급되면, AC 펄스 고압 전원을 생성하고 전원선(30)에 공급한다.
전원선(30)은 복수개(도 2에서는 4개)가 전원 회로부(29)에 접속되며, 각각의 전원선(30)에 전극(23)이 전기적으로 접속되어 있다. 전원선(30)은, 적절하게 설치한 밀봉부(도시하지 않음)에 의해 리크(leak)가 없도록 하여 기체 공급로(26)의 내부에 인입되어 있다.
이오나이저(20)는 전술한 바와 같은 구성을 가진다.
여기서, 전원 전압 입력 단자(27), 전원 공급선(28), 전원 회로부(29) 및 전 원선(30)은 전기계 회로에 포함된다. 전기계 회로는, 이오나이저 본체(21)의 내부에 설치되고, 전원계 등의 각종 회로를 포함하는 회로를 가리키고 있다. 그리고, 도시하지 않지만 전기 회로계에서는 신호 처리계를 포함하도록 해도 된다. 신호 처리계는, 각종 신호 처리를 행한다. 예를 들면, 무선식 리모콘 송신을 이용한 설정부(도시하지 않음)로부터 제어 커맨드를 입력하고, 전극(23)에 인가하는 고압 전원을 원하는 대로 가감할 수 있는 기능을 가지고 있다. 이 경우, 외부로부터의 통신 신호를 받아들이는 외부 입출력부나 동작 상태를 표시하는 동작 표시 패널(도시하지 않음)을 구비하도록 해도 된다. 또한, 이들 신호 처리계에 공급하는 저압 전원을 전원 회로부(29)가 생성하도록 해도 된다. 또한, AC 펄스 고압 전원은, 예를 들면, 도시하지 않은 센서에 기초하여, 생성하는 파형·파고·주파수를 제어하는 구성을 채용해도 된다. 이와 같이 전기계 회로는 각종 구성이 고려될 수 있다.
또한, 기체 통류구(25) 및 기체 공급로(26)는 유체계 회로에 포함된다. 전술한 바와 같이, 공급 기체가 기체 통류구(25)로부터 도입되면 기체 공급로(26)를 통하여 분사 노즐(24)로부터 기체류가 출력된다. 유체계 회로는, 이오나이저 본체(10)의 내부에 설치되어 있는 유체 회로를 가리키고 있다. 이 유체계 회로도 전술하 바 이외의 각종 구성이 고려될 수 있다.
이와 같은 바 형의 이오나이저(20)는, 전기계 회로와 에어계 회로를 상하 영역으로 나누어 배치하므로, 측면에서 볼 때, 일반적으로 상하 방향으로 긴 타원 또는 직사각형의 구조이다. 이 경우, 도시하지 않은 격벽에 의해, 전기계 회로와 에어계 회로를 상하로 나누어 배치해도 된다. 또한, 바 형의 이오나이저(20)는, 방 전침이 되는 전극(23)이 이오나이저 본체(21)의 저부에 가로 방향으로 나란히 배열되지만, 일반적인 이오나이저와 마찬가지로 방전침 선단부에 대략 7000V∼1000V의 고전압을 인가하여 코로나 방전시킨다.
이오나이저(20)의 구조는 전술한 바와 같다.
이어서, 이들 이오나이저용 접속 커넥터(10) 및 이오나이저(20)를 사용하는 연결형 이오나이저(100)에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 11은 연결형 이오나이저(100)의 설명도이며, 도 11의 (a)는 이오나이저(20)를 2대 연결한 연결형 이오나이저의 설명도, 도 11의 (b)는 이오나이저(20)를 3대 연결한 연결형 이오나이저의 설명도이다. 먼저, 도 11의 (a)에서 나타낸 바와 같이 1개의 이오나이저용 접속 커넥터(10)를 사용하여 2대의 이오나이저(20)를 연결한 연결형 이오나이저(100)이다. 그리고, 2대의 이오나이저(20)의 전원 전압 입력 단자(27)에 각각 전원 전압선(도시하지 않음)을 접속하여 전원 공급을 행한다. 이 경우, 한쪽의 이오나이저(20)(도 11의 (a)에서는 우측)의 기체 공급로(26)(도 10 참조)는, 일단에 접속되는 기체 통류구(25)로부터 기체류가 공급되고 있다. 또한, 이 기체 공급로(26)와 연통되는 타단의 기체 통류구(25)로부터 다른 쪽의 이오나이저(20)(도 11의 (a)에서는 좌측)에 기체류가 방출된다.
또한, 다른 쪽의 이오나이저(20)(도 11의 (a)에서는 좌측)의 기체 공급로(26)(도 10 참조)는, 일단에 접속되는 기체 통류구(25)로부터 기체류가 공급되고 있다. 이 다른 쪽의 이오나이저(20)(도 11의 (a)에서는 좌측)의 타단의 기체 통류구(25)는 밀봉부(40)에 의해 밀봉되어 있다. 이들 2대의 이오나이저(20)의 기체 공급로(26)에는 복수개(본 실시예에서는 8개)의 분사 노즐(24)이 접속되며, 압축된 공급 기체가 기체 통류구(25)로부터 도입되면 기체 공급로(26)를 통하여 분사 노즐(24)로부터 기체류가 출력된다.
이어서, 연결형 이오나이저(100)의 사용 방법에 대하여 설명한다.
사용 개시에 의해, 유체계 회로의 분사 노즐(24)로부터 기체류가 출력되는 상태가 된다. 또한, 전극(23)에 AC 펄스 고압 전원을 인가하여 전극(23)의 주위에 양이온 및 음이온을 교대로 생성시킨다. 그러면, 분사 노즐(24) 내의 양이온이나 음이온은 기체류에 실려 분사 노즐(24)의 분사부 개구로부터 아래쪽을 향하여 분사된다. 이와 같이 전극(23)의 주위를 기체류에 의해 분출시킴으로써 이온을 원거리까지 반송하고, 병행하여 전극(23)에 대한 먼지의 부착을 저감한다.
이상 설명한 연결형 이오나이저(100)에서는 모든 전극(23)의 간격을 소정의 전극 간격 A로 유지하고 있고, 음이온이나 양이온이 길이 방향의 위치에 따라서, 편재할 우려를 저감하고 있으므로, 특히 대형 유리 기판 등 전극 배열 방향으로 긴 제전 대상에 대하여 지금까지 없는 고도의 제전 기능을 제공하는 등 제전 능력을 향상시킬 수 있다.
이어서, 도 11의 (b)는, 2개의 이오나이저용 접속 커넥터(10)를 사용하여 3대의 이오나이저(20)를 연결한 연결형 이오나이저(100)이다. 이 연결형 이오나이저의 구성 및 동작은 용이하게 유추 가능하므로, 설명을 생략한다.
이상 설명한 연결형 이오나이저(100)에서는, 이오나이저(20)를 다수개 연결하여 폭이 긴 제전 대상의 제전이 가능해진다. 또한, 모든 전극(23)의 간격이 소 정의 전극 간격 A를 유지하고 있고, 음이온이나 양이온이 길이 방향의 위치에 의해, 편재할 우려를 저감할 수 있으므로, 보다 대형의 유리 기판 등 전극 배열 방향으로 긴 제전 대상에 대하여 지금까지 없는 고도의 제전 기능을 제공하는 등 제전 능력을 향상시킬 수 있다.
이어서, 다른 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 12는 다른 실시예의 연결형 이오나이저(100)의 설명도이며, 도 12의 (a)는 평면의 확대 단면도, 도 12의 (b)는 정면의 확대 단면도이다. 본 실시예에서는 전술한 실시예와 비교하면, 기체 유로부(18)를 변경한 것 이외는 전술한 설명과 동일한 구성이며, 동일한 구성에 대해서는 중복되는 설명을 생략한다.
본 실시예와 전술한 실시예의 상위점에 대하여 설명한다. 예를 들면, 먼저 도 11의 (b)를 사용하여 설명한 연결형 이오나이저(100)에서는 일단의 기체 통류구(25)로부터 기체 공급을 행하고, 분사 노즐(23)로부터 기체가 계속 분사되므로, 그 기체 통류구(25)로부터 가장 먼 개소에서 있는 밀봉부(40) 부근에서는 기체의 압력이 낮아지며, 분사 노즐(23)의 개소에 따라 제전 능력에 편차가 생길 우려가 있다.
그래서, 기체 공급로(26)의 도중에서 기체를 공급한다. 구체적으로는 인접하는 이오나이저(20) 사이에 있는 기체 통류구(25) 사이에서 기체를 공급하면 된다. 이와 같은 기체 공급을 실현하기 위하여, 도 8에서 나타낸 기체 유로부(18) 대신, 도 12에서 나타낸 바와 같은 T자형 기체 유로부(19)를 채용한다. 이 T자형 기체 유로부(19)는, 2개의 기체 통류구(25)에 연결되고, 또한 T자형 기체 유로 부(19)의 남아 있는 개구가 기체 공급원(도시하지 않음)과 연결된다. 예를 들면, 2개의 이오나이저(20)가 연결되는 경우, 2개의 이오나이저(20) 사이에서는 T자형 기체 유로부(19)가 접속되고, 이오나이저(20)의 각각 남아 있는 타단에는 모두 밀봉부(40)가 배치된다. 이 T자형 기체 유로부(19)는, 자신이 연결되는 양쪽의 이오나이저(20)에 기체를 공급하므로, 종래 기술과 비교해도 장소에 의한 압력차가 적어지므로, 제전 능력을 높일 수 있다.
또한, 밀봉부(40)를 설치하지 않고 모든 기체 통류구(25)에 기체 공급원을 연결하여 기체를 공급해도 된다. 이에 따라, 장소에 의한 압력차가 더 적어지게 되므로, 연결형 이오나이저(100)의 제전 능력을 높일 수 있다.
이상, 연결형 이오나이저(100)에 대하여 설명하였다. 그리고, 이 연결형 이오나이저(100)는, 각종 변형예가 가능하다. 전술한 실시예에서는, 전기계 회로로부터 공급되는 전압을 AC 펄스 전압으로서 전극에 인가하는 AC 펄스 방식의 연결형 이오나이저(100)를 사용하였다.
그러나, AC 펄스 방식 대신, 전기계 회로로부터 공급되는 전압을 통상적인 정현파형의 AC 전압을 전극에 인가하는 교류 방식의 연결형 이오나이저(100)를 사용해도 된다.
또한, 교류 방식 대신 직류 방식도 된다. 플러스 전극과 마이너스 전극을 교대로 배열하고, 플러스 전극에 플러스 전압을 인가하여 양이온을 생성하고, 또한, 마이너스 전극에 마이너스 전압을 인가하여 음이온을 생성하도록 해도 된다. 이 경우 인접하는 2개의 이오나이저(20) 사이에서도 플러스 전극과 마이너스 전극 을 교대로 배열하도록 배려한다. 이와 같은 연결형 이오나이저(100)는 이온 재결합이 적은 직류 방식이 되고, 생성된 양이온과 음이온을 혼재시켜서 기체류로 제전 대상으로 분사하도록 하여 제전하도록 해도 된다. 그러나, 직류 방식이라 하더라도, 특수용도이지만, 전기계 회로로부터 공급되는 전압을 플러스의 직류 전압만으로 양이온만 생성하도록 하거나, 또는 전기계 회로로부터 공급되는 전압을 마이너스의 직류 전압만으로 음이온만 생성하도록 해도 된다. 이와 같은 경우에도 본 발명의 효과를 얻을 수 있게 된다.
또한, 전극의 개수도 4개로 하여 설명하였다. 그러나, 전극의 개수는 설계시에 적절하게 선택할 수 있으며, 예를 들면, 5개의 전극 및 분사 노즐을 구비하는 이오나이저, 6개의 전극 및 분사 노즐을 구비하는 이오나이저 등, 전극 및 분사 노즐을 적절하게 증가시킨 이오나이저를 채용할 수 있다.
또한, 이오나이저(20)의 연결 개수도 4대 이상을 채용해도 되고, 제전 대상의 폭에 따라 적정 개수의 이오나이저를 연결한 연결형 이오나이저를 채용할 수 있다. 즉, n(n은 양의 정수)개의 이오나이저용 접속 커넥터(10)를 사용하여 n+1개의 이오나이저(20)를 연결함으로써 연결형 이오나이저(100)를 구성할 수 있다.
또한, 이오나이저(20)는 유체계 회로를 가지는 것으로서 설명하였으나, 전술한 이오나이저(20)에서 유체계 회로를 제거하여 전기계 회로만으로 된 이오나이저(20)를 형성하고, 이와 같은 이오나이저(20)와 연결되는 이오나이저용 접속 커넥터(10), 및 이 이오나이저용 접속 커넥터(10)를 사용하여 복수의 이오나이저(20)를 연결한 연결형 이오나이저(100)일 수도 있다. 이 경우에도, 모든 전극의 간격을 소정의 전극 간격으로 설정하므로, 제전 능력의 향상에 기여한다.
이상 설명한 본 발명의 이오나이저용 접속 커넥터에 의하면, 이오나이저의 연결은 용이하게 되고, 간단한 작업으로 연결형 이오나이저를 조립할 수 있다.
또한, 이오나이저용 접속 커넥터는 간소한 구성이며, 비용 증대를 낮게 억제할 수도 있다.
또한, 이와 같은 연결형 이오나이저에 의하면, 특히 폭이 넓은 제전 대상을 제전 가능하게 되어, 그 장착 조건에 따라, 연결 개수를 증감시키면 되고, 설치 시의 자유도를 개선할 수 있다. 또한, 전극 배열 방향(길이 방향)으로 연장하기 위한 이오나이저의 증설 작업은 용이하며, 작업 부담을 적게 할 수 있다.
도 1은 본 발명을 실시하기 위한 실시예의 연결형 이오나이저를 구성하는 이오나이저용 접속 커넥터 및 이오나이저의 주요부의 사시 외관도이다.
도 2는 이오나이저용 접속 커넥터 및 이오나이저의 주요부의 정면도이다.
도 3은 이오나이저용 접속 커넥터 및 이오나이저의 주요부의 평면도이다.
도 4는 이오나이저용 접속 커넥터 및 이오나이저의 주요부의 저면도이다.
도 5는 이오나이저용 접속 커넥터의 구조도이며, 도 5의 (a)는 정면도, 도 5의 (b)는 좌측면도, 도 5의 (c)는 평면도, 도 5의 (d)는 저면도이다.
도 6은 이오나이저용 접속 커넥터의 구조도이며, 도 6의 (a)는 A-A선을 따라 절단한 단면도, 도 6의 (b)는 B-B선 단면도, 도 6의 (c)는 C-C선을 따라 절단한 단면도이다.
도 7은 이오나이저용 접속 커넥터에 의한 연결 개소의 평면의 확대 단면도이다.
도 8은 이오나이저용 접속 커넥터에 의한 연결 개소의 정면의 확대 단면도이다.
도 9는 이오나이저용 접속 커넥터에 의한 연결 시의 전극 간격에 대한 설명도이다.
도 10은 이오나이저의 설명도이다.
도 11은 연결형 이오나이저의 설명도이며, 도 11의 (a)는 이오나이저를 2개 연결한 연결형 이오나이저의 설명도, 도 11의 (b)는 이오나이저를 3개 연결한 연결 형 이오나이저의 설명도이다.
도 12는 다른 실시예의 연결형 이오나이저의 설명도이며, 도 12의 (a)는 평면의 확대 단면도, 도 12의 (b)는 정면의 확대 단면도이다.
[부호의 설명]
100: 연결형 이오나이저
10: 이오나이저용 접속 커넥터
11: C자형 본체
12: 중공 구멍부
13: 노치부
14: 위치 결정부
141: 측벽부
15: 걸림고정부
16: 결합부
17: 수용부
18: 기체 유로부
19: T자형 기체 유로부
20: 이오나이저
21: 이오나이저 본체
22: 측면 커버
23: 전극
24: 분사 노즐
25: 기체 통류구
26: 기체 공급로
27: 전원 전압 입력 단자
28: 전원 공급선
29: 전원 회로부
30: 전원선
40: 밀봉부

Claims (12)

  1. 장척체(長尺體)로서 형성되는 이오나이저 본체와,
    상기 이오나이저 본체 내부에 설치되는 전기계 회로와,
    길이 방향으로 소정의 전극 간격으로 복수개로 배열되고 이오나이저 본체 외부로 돌출하도록 설치되고, 전기계 회로로부터 공급되는 전압이 인가되어 이온을 생성하는 복수개의 전극
    을 포함하는 코로나 방전식 이오나이저를 연결하기 위한 이오나이저용 접속 커넥터로서,
    상기 이오나이저용 접속 커넥터는,
    이오나이저의 측단부가 끼워맞추어지는 2개의 결합부와,
    연결할 2개의 이오나이저의 측단부를 고정하는 2개의 고정부와,
    결합부에 끼워맞추어지고, 또한 고정부에 의해 고정된 2개의 이오나이저의 측단부 가까이의 2개의 전극의 간격이 소정의 전극 간격이 되도록 2개의 이오나이저의 위치 결정을 행하는 위치 결정부
    를 포함하고,
    상기 2개의 결합부는, 연속하는 중공(中空) 구멍부에 의해 일체로 형성되고,
    상기 이오나이저용 접속 커넥터는, 중공 구멍부를 벌리는 절입부를 포함하며, 측면에서 볼 때 단면이 C자형으로 형성되고, 절입부가 벌어져서 상기 2개의 결합부가 넓게 벌어지도록 하는 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 이오나이저용 접속 커넥터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이오나이저는 측단부에 측면 커버를 포함하며,
    상기 고정부는 상기 측면 커버에 걸려서 고정되는 걸림고정부인 것을 특징으로 하는 이오나이저용 접속 커넥터.
  3. 제1항 또는 제2항에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터를 n(n은 양의 정수)개 사용하여 n+1개의 이오나이저를 연결하여 이루어지는 연결형 이오나이저로서, 모든 전극이 길이 방향으로 소정의 전극 간격을 유지하면서 복수개로 배열되는 것을 특징으로 하는 연결형 이오나이저.
  4. 장척체로서 형성되는 이오나이저 본체와,
    상기 이오나이저 본체 내부에 설치되는 전기계 회로와,
    상기 이오나이저 본체 내부에 설치되는 유체계 회로와,
    길이 방향으로 소정의 전극 간격으로 복수개로 배열되고 이오나이저 본체 외부로 돌출하도록 설치되고, 전기계 회로로부터 공급되는 전압이 인가되어 이온을 생성하는 복수개의 전극과,
    길이 방향으로 복수개로 배열되고 이오나이저 본체 외부에 설치되고, 유체계 회로로부터 이온 반송용 기체류가 공급되어 분사하는 복수개의 기체 분사부와,
    기체 공급원으로부터 공급되는 기체류를 유체계 회로에 공급하도록 행하고, 이오나이저 본체의 측면에 설치되는 기체 통류구
    를 포함하는 코로나 방전식 이오나이저를 연결하기 위한 이오나이저용 접속 커넥터로서,
    상기 이오나이저용 접속 커넥터는,
    상기 이오나이저의 측단부가 끼워맞추어지는 2개의 결합부와,
    연결할 2개의 이오나이저의 측단부를 고정하는 2개의 고정부와,
    결합부에 끼워맞추어지고, 또한 고정부에 의해 고정된 2개의 이오나이저의 측단부 근처의 2개의 전극의 간격이 소정의 전극 간격이 되도록 2개의 이오나이저의 위치 결정을 행하는 위치 결정부와,
    연결할 2개의 이오나이저의 측면에 있는 2개의 기체 통류구에 연결되는 기체 유로부와,
    상기 기체 유로부를 수용하는 수용부
    를 포함하고,
    상기 2개의 결합부와 상기 수용부는, 연속하는 중공 구멍부에 의해 일체로 형성되며,
    상기 이오나이저용 접속 커넥터는, 중공 구멍부를 벌리는 절입부를 포함하여 측면에서 볼 때 단면이 C자형으로 형성되고, 절입부가 벌어져서 상기 2개의 결합부가 넓게 벌어지도록 하는 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 이오나이저용 접속 커넥터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이오나이저는 측단부에 측면 커버를 포함하며,
    상기 고정부는 상기 측면 커버에 걸려서 고정되는 걸림고정부인 것을 특징으로 하는 이오나이저용 접속 커넥터.
  6. 제4항 또는 제5항에 기재된 이오나이저용 접속 커넥터를 n개 사용하여 n+1개의 이오나이저를 연결하여 이루어지는 연결형 이오나이저로서, n개의 기체 유로부에 n+1개의 이오나이저의 유체계 회로가 연결되고, 또한 모든 전극이 길이 방향으로 소정의 전극 간격을 유지하면서 복수개로 배열되는 것을 특징으로 하는 연결형 이오나이저.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기체 유로부는 T자형 기체 유로부로서, 2개의 기체 통류구에 연결되고, 또한 기체 공급원과 연결되고, 상기 T자형 기체 유로부가 연결되는 양쪽의 이오나이저에 기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 연결형 이오나이저.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 기체 분사부는, 전극이 내부에 수용되어 있고, 모든 전극 및 기체 분사부가 길이 방향으로 소정의 전극 간격을 유지하면서 복수개로 배열되고, 또한 유체계 회로로부터 이온 반송용 기체류가 공급되어 전극 주위의 이온과 함께 분사하는 것을 특징으로 하는 연결형 이오나이저.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
KR1020080045487A 2007-08-09 2008-05-16 이오나이저용 접속 커넥터 및 연결형 이오나이저 KR101425495B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2007-00207567 2007-08-09
JP2007207567A JP2009043580A (ja) 2007-08-09 2007-08-09 イオナイザ用接続コネクタおよび連結型イオナイザ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090015788A KR20090015788A (ko) 2009-02-12
KR101425495B1 true KR101425495B1 (ko) 2014-08-01

Family

ID=40391346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080045487A KR101425495B1 (ko) 2007-08-09 2008-05-16 이오나이저용 접속 커넥터 및 연결형 이오나이저

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2009043580A (ko)
KR (1) KR101425495B1 (ko)
CN (1) CN101365287A (ko)
TW (1) TWI413324B (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10980911B2 (en) 2016-01-21 2021-04-20 Global Plasma Solutions, Inc. Flexible ion generator device
US11695259B2 (en) 2016-08-08 2023-07-04 Global Plasma Solutions, Inc. Modular ion generator device
US11283245B2 (en) 2016-08-08 2022-03-22 Global Plasma Solutions, Inc. Modular ion generator device
JP6658459B2 (ja) * 2016-11-02 2020-03-04 株式会社ダイフク イオナイザーユニット
KR20200133334A (ko) 2018-02-12 2020-11-27 글로벌 프라즈마 솔루션스, 인코포레이티드 셀프 클리닝 이온 발생기 장치
US11581709B2 (en) 2019-06-07 2023-02-14 Global Plasma Solutions, Inc. Self-cleaning ion generator device
CN118174063B (zh) * 2024-05-13 2024-08-09 量子科技长三角产业创新中心 电连接器、控制方法、微波线路以及量子计算机系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11273892A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Towa Sangyo Kk 除電用イオン放出ブロック
JP2007141692A (ja) 2005-11-19 2007-06-07 Keyence Corp イオン化装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2681623B2 (ja) * 1995-04-26 1997-11-26 春日電機株式会社 一体型直流除電器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11273892A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Towa Sangyo Kk 除電用イオン放出ブロック
JP2007141692A (ja) 2005-11-19 2007-06-07 Keyence Corp イオン化装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN101365287A (zh) 2009-02-11
TW200913420A (en) 2009-03-16
KR20090015788A (ko) 2009-02-12
TWI413324B (zh) 2013-10-21
JP2009043580A (ja) 2009-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101425495B1 (ko) 이오나이저용 접속 커넥터 및 연결형 이오나이저
US7995321B2 (en) Ionization device
CA2471987C (en) Plasma surface processing apparatus
KR101460994B1 (ko) 전극 유닛 및 이오나이저
KR20140084906A (ko) 기판 처리 장치
WO2005117506A1 (ja) 除電装置
CN109687295B (zh) 离子发生器
EP1646079A1 (en) Device and method for surface treatment such as plasma treatment
TWI469689B (zh) 靜電消除器
KR20160022699A (ko) 이온 발생기 및 이를 갖는 기판 이송 시스템
US10165662B2 (en) Ion generator
KR101967104B1 (ko) 노즐형 제전장치
JP5344562B2 (ja) イオナイザおよびイオナイザシステム
KR20100049322A (ko) 상압 플라즈마 발생장치
JP2009016096A (ja) イオナイザ
KR101881956B1 (ko) 기상 증착장치 및 플라즈마 소스
US7196336B2 (en) Apparatus for injecting plasma gas in atmosphere
KR102143146B1 (ko) 기판 처리 장치
US20240038476A1 (en) Ion guide electrode configurations for polarity-independent ion containment
KR101096458B1 (ko) 공정가스 분리 공급형 대기압 플라즈마 장치
JP6507356B2 (ja) 除電装置
JP2008108520A (ja) 送風式除電装置
JP2011146251A (ja) プラズマ化ガス発生装置
JP2002216997A (ja) イオン化装置及びその放電電極バー
KR100749770B1 (ko) 플라즈마 공정 장비

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee