JP2009016096A - イオナイザ - Google Patents
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Abstract
【課題】除電能力を維持しつつ設計上の制約を取り払う構成を採用することで上下方向の長さを短くし、上下方向に狭小な空間でも設置できるようにしたイオナイザを提供する。
【解決手段】イオナイザ本体10が横方向に長い楕円状に形成され、噴射ノズル40はこのイオナイザ本体10の横側から突出するともに、下方向へ屈曲して開口が下側を面するようなイオナイザ1とした。さらに、噴射ノズル40は、イオナイザ本体10に対して回動自在に構成して噴射流の方向を調整できるようにした。
【選択図】図1
【解決手段】イオナイザ本体10が横方向に長い楕円状に形成され、噴射ノズル40はこのイオナイザ本体10の横側から突出するともに、下方向へ屈曲して開口が下側を面するようなイオナイザ1とした。さらに、噴射ノズル40は、イオナイザ本体10に対して回動自在に構成して噴射流の方向を調整できるようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は、コロナ放電により発生させたプラスイオンおよびマイナスイオンにより、除電対象表面に帯電している正負静電気を中和することで除電するイオナイザに関するものである。
従来技術のバー型のイオナイザは、針状の放電電極(放電針)に高電圧を印加して空気からプラスイオンとマイナスイオンと(以下、プラスイオンとマイナスイオンとを総称するとき単にイオンという)を発生させ、帯電している除電対象にイオンとともに気体流を噴射して除電するコロナ放電式イオナイザが主流である。この除電対象の一例として、例えば板状のガラス基板などを挙げることができる。このガラス基板は、例えば、TFT(薄膜トランジスタ)液晶パネル、PDP(プラズマ・ディスプレイ・パネル)、または、LCD(液晶ディスプレイ)等で用いられる基板である。
さて、このようなコロナ放電式イオナイザは、さらに放電針に印加する高圧電源に直流電源を使用する直流方式イオナイザと、交流電源を使用する交流方式イオナイザと、に大別される。各々のイオナイザに特徴があり、使用する目的によって選択する必要がある。
直流方式イオナイザは、プラス放電針とマイナス放電針とをそれぞれ同数交互に設けたものであり、プラス放電針がプラスイオンを、マイナス放電針がマイナスイオンをそれぞれ生成する。放電針は噴射ノズル内に配置されており、発生したイオンを気体流に載せて移動速度を速くすることで、除電効果を高めている。
交流方式イオナイザは主として商用周波数の交流電源を昇圧トランスで昇圧した電源電圧を使用しており、プラスイオンとマイナスイオンとが1本の放電針から交互に発生する。放電針は噴射ノズル内に配置されており、発生したイオンを気体流に載せて移動速度を速くすることで、除電効果を高めている。
直流方式イオナイザは、プラス放電針とマイナス放電針とをそれぞれ同数交互に設けたものであり、プラス放電針がプラスイオンを、マイナス放電針がマイナスイオンをそれぞれ生成する。放電針は噴射ノズル内に配置されており、発生したイオンを気体流に載せて移動速度を速くすることで、除電効果を高めている。
交流方式イオナイザは主として商用周波数の交流電源を昇圧トランスで昇圧した電源電圧を使用しており、プラスイオンとマイナスイオンとが1本の放電針から交互に発生する。放電針は噴射ノズル内に配置されており、発生したイオンを気体流に載せて移動速度を速くすることで、除電効果を高めている。
これらのようなイオナイザの他の先行技術として、例えば、特許文献1(特開2002−216996号公報,発明の名称:イオン化装置及びその放電電極バー)が開示されている。この先行技術では、放電電極バーのケース内部の下側領域にエアユニットと、放電電極組立体と、が配置され、また、放電電極バーのケース内部の上側領域に高電圧ユニットと、電源回路や例えば表示回路やCPUを含む制御ユニットと、が配置されるというものである。
また、他の先行技術として、例えば、特許文献2(特開2006−310241号公報,発明の名称:除電装置)が開示されている。この先行技術では、電極と首振りユニットとを一体化し、それらの両端を中継ユニットと導入ユニットとにより回動自在に支持する、というものである。
特許文献1に記載のように、バー型のイオナイザは、電気系回路とエア系回路とを上下領域に配置するため、側面から見ると、一般的に上下方向に長い楕円もしくは長方形の構造である。さらに、バー型のイオナイザは、放電針部分がバー底部に横方向に並んで配列されるが、一般的なイオナイザと同様に放電針先端部におよそ7000〜1000Vの高電圧をかけてコロナ放電させているため、安全上及びイオンバランスの性能上、除電対象から放電針を最低でも30mm以上離さなくてはならない。このようにバー型のイオナイザを設置する場合、上下方向に設置のための空間が必要である。以上の理由により、上下方向で十分なスペースを持たない装置内や狭小環境においては、バー型のイオナイザを用いることは困難であった。
また、バー型のイオナイザは、クリーンルームにおいてファンフィルタユニットからのダウンフローを妨げることなく効率よくイオンを除電対象のある下方に運ぶ必要があり、このような理由からもダウンフローを流しやすくする上下方向に長い楕円や長方形のケース形状となるため、構造や配置が限定され、また、イオナイザ内部のスペースも限定されるという問題があった。このようなバー型のイオナイザに特有の構造上の制約を取り払いたいという要請があった。
さらにまた、バー型のイオナイザは、イオナイザの長手方向ではプラスマイナスが同等となるようにイオンを噴射するが、実際の除電対象はある箇所でのプラスマイナスが、わずかではあるが、偏って帯電している場合があり、噴射箇所を調整してプラスマイナスの偏りを解消したいという要請もあった。また、除電対象の特定箇所にプラスイオンやマイナスイオンの一方もしくは両方を集中的に噴射したいという要請もあった。しかしながら特許文献2に記載のような大がかりで複雑な機構系を採用すると、コストが増大するため、簡易な構成で実現したいという要請があった。
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、除電能力を維持しつつ設計上の制約を取り払う構成を採用することで上下方向の長さを短くし、上下方向に狭小な空間でも設置できるようにしたイオナイザを提供することにある。
本発明の請求項1に係るイオナイザは、
イオナイザ本体と、
イオナイザ本体内部に設けられる電気系回路と、
イオナイザ本体内部に設けられる流体系回路と、
イオナイザ本体外部へ突出するように設けられ、電気系回路から供給される電圧が印加されてイオンを生成する複数個の電極と、
イオナイザ本体外部に設けられ、電極が内部に収容されており、流体系回路からイオン搬送用の気体流が供給されて電極周囲のイオンとともに噴射する複数個の気体噴射部と、
を備えるコロナ放電式のイオナイザであって、
気体噴射部は、イオナイザ本体から突出して任意の方向へ気体を噴射可能であることを特徴とする。
イオナイザ本体と、
イオナイザ本体内部に設けられる電気系回路と、
イオナイザ本体内部に設けられる流体系回路と、
イオナイザ本体外部へ突出するように設けられ、電気系回路から供給される電圧が印加されてイオンを生成する複数個の電極と、
イオナイザ本体外部に設けられ、電極が内部に収容されており、流体系回路からイオン搬送用の気体流が供給されて電極周囲のイオンとともに噴射する複数個の気体噴射部と、
を備えるコロナ放電式のイオナイザであって、
気体噴射部は、イオナイザ本体から突出して任意の方向へ気体を噴射可能であることを特徴とする。
また、本発明の請求項2に係るイオナイザは、
請求項1記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、イオナイザ本体の横側から突出するとともに電極を中心軸とする円筒部と、円筒部と連通するとともに下側へ折れ曲がる折れ曲がり部と、折れ曲がり部と連通するとともに噴射部開口が下方向へ向く噴射口部と、からなる噴射ノズルであることを特徴とする。
請求項1記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、イオナイザ本体の横側から突出するとともに電極を中心軸とする円筒部と、円筒部と連通するとともに下側へ折れ曲がる折れ曲がり部と、折れ曲がり部と連通するとともに噴射部開口が下方向へ向く噴射口部と、からなる噴射ノズルであることを特徴とする。
また、本発明の請求項3に係るイオナイザは、
請求項2記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、前記噴射ノズルに接続される可撓性のイオン搬送チューブを備えることを特徴とする。
請求項2記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、前記噴射ノズルに接続される可撓性のイオン搬送チューブを備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項4に係るイオナイザは、
請求項2または請求項3に記載のイオナイザにおいて、
前記噴射ノズルは、イオナイザ本体に対して回動することを特徴とする。
請求項2または請求項3に記載のイオナイザにおいて、
前記噴射ノズルは、イオナイザ本体に対して回動することを特徴とする。
また、本発明の請求項5に係るイオナイザは、
請求項1記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、イオナイザ本体の横側から突出するとともに電極を中心軸とする円筒形状を有する噴射ノズルと、噴射ノズルに接続される可撓性のイオン搬送チューブと、
を備えることを特徴とする。
請求項1記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、イオナイザ本体の横側から突出するとともに電極を中心軸とする円筒形状を有する噴射ノズルと、噴射ノズルに接続される可撓性のイオン搬送チューブと、
を備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項6に係るイオナイザは、
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記イオナイザ本体は横長に形成されるとともに、電気系回路と流体系回路とが横方向に並べられて配置されることを特徴とする。
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記イオナイザ本体は横長に形成されるとともに、電気系回路と流体系回路とが横方向に並べられて配置されることを特徴とする。
また、本発明の請求項7に係るイオナイザは、
請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路から供給される電圧はプラスおよび/またはマイナスの直流電圧であって、前記複数個の電極は、正電圧が印加されてプラスイオンを生成する複数個のプラス電極および/または負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する複数個のマイナス電極であることを特徴とする。
請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路から供給される電圧はプラスおよび/またはマイナスの直流電圧であって、前記複数個の電極は、正電圧が印加されてプラスイオンを生成する複数個のプラス電極および/または負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する複数個のマイナス電極であることを特徴とする。
また、本発明の請求項8に係るイオナイザは、
請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路から供給される電圧は交流電圧であって、前記複数個の電極は、正電圧が印加されてプラスイオンを生成し、また、負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する複数個の電極であることを特徴とする。
請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路から供給される電圧は交流電圧であって、前記複数個の電極は、正電圧が印加されてプラスイオンを生成し、また、負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する複数個の電極であることを特徴とする。
以上のような本発明によれば、除電能力を維持しつつ設計上の制約を取り払う構成を採用することで上下方向の長さを短くし、上下方向に狭小な空間でも設置できるようにしたイオナイザを提供することができる。
続いて、本発明を実施するための最良の形態について図に基づいて説明する。図1は本形態のイオナイザの斜視外観図である。図2はイオナイザの内部ブロック図である。図3はイオナイザの側断面図である。図4は噴射ノズルの回転の説明図である。なお、本形態では直流のイオナイザを想定して説明する。
イオナイザ1の外観は、図1に示すように、イオナイザ本体10、気体導入口20、電源電圧入力端子30、噴射ノズル40、を備えている。さらにイオナイザ1の内部では、図2に示すように、電源線50、電源回路部60、プラス電源線70、マイナス電源線80、気体供給路90、封止部100、プラス電極110、マイナス電極120、を備えている。
ここにイオナイザ1を説明するにあたって、気体導入口20や電源電圧入力端子30が形成された面を側面(図3参照)とし、噴射ノズル40が並ぶ面を正面(図4参照)として説明する。また図3,図4の横方向を水平方向とし、また、上下方向を垂直方向として説明する。
イオナイザ1の外観は、図1に示すように、イオナイザ本体10、気体導入口20、電源電圧入力端子30、噴射ノズル40、を備えている。さらにイオナイザ1の内部では、図2に示すように、電源線50、電源回路部60、プラス電源線70、マイナス電源線80、気体供給路90、封止部100、プラス電極110、マイナス電極120、を備えている。
ここにイオナイザ1を説明するにあたって、気体導入口20や電源電圧入力端子30が形成された面を側面(図3参照)とし、噴射ノズル40が並ぶ面を正面(図4参照)として説明する。また図3,図4の横方向を水平方向とし、また、上下方向を垂直方向として説明する。
イオナイザ本体10は、図1,図3でも明らかなように、その側面が水平方向に長く垂直方向に短い楕円形状を有している。さらに、図1,図2でも明らかなように正面が水平方向、つまり電極配列方向に長くバー状に形成されている。なお、イオナイザ本体10は側面が楕円に限定されるものではなく、側面が長方形状に形成されるなど各種の形態が可能である。
気体導入口20は、外部からの供給気体を入力する。
電源電圧入力端子30は、例えば、電源用のコネクタであり、外部からの電源電圧を入力する。
電源電圧入力端子30は、例えば、電源用のコネクタであり、外部からの電源電圧を入力する。
噴射ノズル40は、特にイオナイザ本体10の正面の横側から突出しており、下方向へ屈曲して噴射部開口が下側に面する。噴射ノズル40の内部には、図2にも示したようにプラス電極110またはマイナス電極120が配置されている。本形態では、図1,図2で示すように、八個の噴射ノズル40が形成されており、プラス電極110またはマイナス電極120が八個の噴射ノズル40の中に交互に配置される。なお、この個数は設計時に適宜選択が可能である。プラス電極110またはマイナス電極120は、図3で示すように、屈曲部付近に先端が配置されており、噴射ノズル40の内部に収容されている。噴射ノズル40は、図3に示すように、イオナイザ本体10の正面横側から突出するとともにプラス電極110またはマイナス電極120を中心軸とする円筒部41と、円筒部41と連通するとともに下側へ折れ曲がる折れ曲がり部42と、折れ曲がり部42と連通するとともに噴射部開口が下方向へ向く噴射口部43と、からなる。この噴射ノズル40は、中にあるプラス電極110またはマイナス電極120はそのままにして、図4に示すように、その根元部でイオナイザ本体10に対して回転するように構成されており、噴射ノズル40を回転させることで気体噴射方向を調節できるようになされている。
電源線50は、電源電圧入力端子30からの電源電圧を電源回路部60へ伝達する。
電源回路部60は、外部からの電源電圧が入力されると、プラス高圧電源、マイナス高圧電源を生成し、プラス高圧電源をプラス電源線70に、マイナス高圧電源をマイナス電源線80に供給する。
電源回路部60は、外部からの電源電圧が入力されると、プラス高圧電源、マイナス高圧電源を生成し、プラス高圧電源をプラス電源線70に、マイナス高圧電源をマイナス電源線80に供給する。
プラス電源線70には、複数(図2では4本)のプラス電極110が電気的に接続されている。
マイナス電源線80には、複数(図2では4本)のマイナス電極120が電気的に接続されている。
マイナス電源線80には、複数(図2では4本)のマイナス電極120が電気的に接続されている。
気体供給路90は、一端が気体導入口20に接続され、また、他端が封止部100により封止されている。この気体供給路90には複数(本形態では8個)の噴射ノズル40が接続されるというものであり、圧縮された供給気体が気体導入口20から導入されると、気体供給路90を介して噴射ノズル40から気体流が出力される。この気体流は、例えば、塵埃等がフィルタにより除去された洗浄なエア流である。
封止部100は、先に説明したように気体供給路90を封鎖するとともに、プラス電源線70とマイナス電源線80とを気体供給路90内に引き込む機能を有している。
封止部100は、先に説明したように気体供給路90を封鎖するとともに、プラス電源線70とマイナス電源線80とを気体供給路90内に引き込む機能を有している。
プラス電極110は、イオナイザ本体10の正面の横側に複数個(図2では4本)取付けられており、正電圧が印加されてプラスイオンを生成する。
マイナス電極120は、イオナイザ本体10の正面の横側に複数個(図2では4本)取付けられており、負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する。
プラス電極110とマイナス電極120とは交互に配列される。
マイナス電極120は、イオナイザ本体10の正面の横側に複数個(図2では4本)取付けられており、負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する。
プラス電極110とマイナス電極120とは交互に配列される。
ここに、電源電圧入力端子30、電源線50、電源回路部60、プラス電源線70、マイナス電源線80は電気系回路に含められる。電気系回路は、イオナイザ本体10の内部に設けられ、電源系等の各種回路を含む回路を指している。なお、図示しないが電気回路系では信号処理系を含めるようにしても良い。信号処理系は、各種の信号処理を行う。例えば、無線式リモコン送信を利用した設定部(図示せず)から制御コマンドを入力し、プラス電極110に印加するプラス高圧電源および、マイナス電極120に印加するマイナス高圧電源を自在に加減できる機能を有している。この場合、外部からの通信信号を受け付ける外部入出力部や動作状態を表示する動作表示パネル(図示せず)を備えるようにしても良い。またこれら信号処理系に供給する低圧電源を電源回路部60が生成するようにしても良い。電気系回路は各種構成が考えられる。
また、気体導入口20、気体供給路90、封止部100は、流体系回路に含められる。先に説明したように、供給気体が気体導入口20から導入されると、気体供給路90を介して噴射ノズル40から気体流が出力される。流体系回路は、イオナイザ本体10の内部に設けられている流体回路を指している。この流体系回路も上記以外の各種構成が考えられる。
このようなイオナイザ1の使用について、簡単に説明する。なお、図示しないが、イオナイザ1の上側にはラミナフローを送風する送風部が設置されており、上から下へラミナフローが吹いているものとする。図1で示すように、噴射ノズル40はイオナイザ本体10の正面の横側から突出するとともに、下方向へ屈曲して噴射部開口が下側に面するように設けられている。これは噴射ノズル40の上方にはラミナフローを遮るものがないということであり、イオナイザ本体10は、従来技術のような側面から見て垂直方向に長い縦楕円形に限定する必要がなくなり、本形態のように横方向に長くすることができるようになる。なお、図1の横方向に長い横楕円形のイオナイザ本体10は、従来技術の縦方向に長い縦楕円形のイオナイザ本体を横置きにしたというものであり、イオナイザ本体を縦置き・横置きで共通化することができるため、コスト低減に寄与する。
イオナイザ本体10は、本形態では図2,図3でも明らかなように電気系回路や流体系回路とが横方向に並べられている。この点でもイオナイザ本体10が垂直方向に短く、かつ水平方向に長くなるため、特に上下の垂直方向に狭小な箇所に設置することが可能となる。
使用開始により、流体系回路の噴射ノズル40から気体流が出力される状態とする。また、プラス電極110にプラス高圧電源を印可してプラス電極110の周囲にプラスイオンを生成させ、および、マイナス電極120にマイナス高圧電源を印可してマイナス電極120の周囲にマイナスイオンを生成させる。すると、噴射ノズル40内のプラスイオンやマイナスイオンは気体流に載って噴射ノズル40の噴射部開口から下側へ向けて噴射される。このようにプラス電極110とマイナス電極120との周囲を気体流により噴出させることでイオンを遠距離まで搬送し、併せてプラス電極110とマイナス電極120とのゴミの付着を低減する。また、噴射ノズル40の上方向は障害物がなくなるため、ラミナフローが噴射ノズル40の周囲に吹き付けることとなり、ラミナフローが遮蔽されやすかった従来技術よりもラミナフローを効果的なものとしている。
そして、イオナイザ1では、図4で示すように、噴射ノズル40を回動させることができるため、除電対象に対して噴射された気体流を当てる箇所を変更することができる。このようにマイナスイオンやプラスイオンが当たる箇所が調節できるようにして、今までにない高度な除電機能を提供するなど除電能力を向上させることができる。
続いて、他の形態について図を参照しつつ説明する。図5は他の形態のイオナイザの斜視外観図である。
イオナイザ2の外観は、図5で示すように、イオナイザ本体10、気体導入口20、電源電圧入力端子30、噴射ノズル40、イオン搬送チューブ130を備えている。さらにイオナイザ2の内部は、図2で示すように電源線50、電源回路部60、プラス電源線70、マイナス電源線80、気体供給路90、封止部100、プラス電極110、マイナス電極120を備えている。
本形態では、先に図1〜図4を用いて説明した形態にイオン搬送チューブ130を追加したものである点以外は同様の構成を有するものであり、重複する説明は省略して、相違点のみ重点的に説明する。
イオナイザ2の外観は、図5で示すように、イオナイザ本体10、気体導入口20、電源電圧入力端子30、噴射ノズル40、イオン搬送チューブ130を備えている。さらにイオナイザ2の内部は、図2で示すように電源線50、電源回路部60、プラス電源線70、マイナス電源線80、気体供給路90、封止部100、プラス電極110、マイナス電極120を備えている。
本形態では、先に図1〜図4を用いて説明した形態にイオン搬送チューブ130を追加したものである点以外は同様の構成を有するものであり、重複する説明は省略して、相違点のみ重点的に説明する。
イオン搬送チューブ130は、可撓性を有するチューブ、例えばウレタンなどのソフトチューブである。このようなイオナイザ2を使用する場合、まず流体系回路や噴射ノズル40を経てイオン搬送チューブ130から気体流が出力される状態とし、また、プラス電極110にプラス高圧電源を印可してプラス電極110にプラスイオンを生成させ、および、マイナス電極120にマイナス高圧電源を印可してマイナス電極120にマイナスイオンを生成させる。すると、噴射ノズル40内のプラスイオンやマイナスイオンは気体流に載ってイオン搬送チューブ130の噴射部開口から下側へ向けて噴射される。この噴射ノズル40やイオン搬送チューブ130の上方向は障害物がなくなるため、ラミナフローが噴射ノズル40やイオン搬送チューブ130の周囲に吹き付けることとなり、ラミナフローが遮蔽されやすかった従来技術よりもラミナフローを効果的なものとしている。
また、イオン搬送チューブ130を採用することで先の形態で説明した効果に加えて、さらに以下のような効果を奏しうる。
イオン搬送チューブ130は、噴射ノズル40の回転に加えて自らの可撓性のため、イオン搬送チューブ130の先端の噴射口を自由に位置決めして除電対象の任意の位置に向けて集中してイオンを噴射して除電することが可能である。このようなイオン搬送チューブ130は、それぞれチューブ搬送式エアガンと同等の機能を持つことになり、1台のイオナイザ2を複数のチューブ搬送式エアガンに代替して使用できる。また、イオン搬送チューブ130に安全上及びイオンバランスの性能上、十分な長さを持たせれば、チューブ搬送式エアガンと同様に除電対象にイオン搬送チューブ130が近接しても問題とならず、対象エリアを狭めて効果的に除電できる。また、イオナイザ本体10は除電対象から離れた位置(上側や横側など)に設置することができる。また、噴射ノズル40が回動しない場合でもイオン搬送チューブ130が移動するため、上記の効果を奏しうる。
イオン搬送チューブ130は、噴射ノズル40の回転に加えて自らの可撓性のため、イオン搬送チューブ130の先端の噴射口を自由に位置決めして除電対象の任意の位置に向けて集中してイオンを噴射して除電することが可能である。このようなイオン搬送チューブ130は、それぞれチューブ搬送式エアガンと同等の機能を持つことになり、1台のイオナイザ2を複数のチューブ搬送式エアガンに代替して使用できる。また、イオン搬送チューブ130に安全上及びイオンバランスの性能上、十分な長さを持たせれば、チューブ搬送式エアガンと同様に除電対象にイオン搬送チューブ130が近接しても問題とならず、対象エリアを狭めて効果的に除電できる。また、イオナイザ本体10は除電対象から離れた位置(上側や横側など)に設置することができる。また、噴射ノズル40が回動しない場合でもイオン搬送チューブ130が移動するため、上記の効果を奏しうる。
続いて、他の形態について図を参照しつつ説明する。図6は他の形態のイオナイザの斜視外観図である。
イオナイザ3の外観は、図6で示すように、イオナイザ本体10、気体導入口20、電源電圧入力端子30、噴射ノズル140、イオン搬送チューブ150を備えている。さらにイオナイザ1の内部は、図2で示すように電源線50、電源回路部60、プラス電源線70、マイナス電源線80、気体供給路90、封止部100、プラス電極110、マイナス電極120を備えている。
本形態では、先に図1〜図4を用いて説明した形態と比較すると略L字状の噴射ノズル40に代えて、単なる円筒状の噴射ノズル140やイオン搬送チューブ150を追加したものである点以外は同様の構成を有するものであり、重複する説明は省略して、相違点のみ重点的に説明する。
イオナイザ3の外観は、図6で示すように、イオナイザ本体10、気体導入口20、電源電圧入力端子30、噴射ノズル140、イオン搬送チューブ150を備えている。さらにイオナイザ1の内部は、図2で示すように電源線50、電源回路部60、プラス電源線70、マイナス電源線80、気体供給路90、封止部100、プラス電極110、マイナス電極120を備えている。
本形態では、先に図1〜図4を用いて説明した形態と比較すると略L字状の噴射ノズル40に代えて、単なる円筒状の噴射ノズル140やイオン搬送チューブ150を追加したものである点以外は同様の構成を有するものであり、重複する説明は省略して、相違点のみ重点的に説明する。
噴射ノズル140は、イオナイザ本体10の正面の横側から突出しており、図示しないが噴射部開口が横側に面する。噴射ノズル140の内部には、プラス電極110またはマイナス電極120が配置されている。本形態では八個の噴射ノズル140が形成されており、プラス電極110またはマイナス電極120が八個の噴射ノズル140の中に交互に配置される。プラス電極110またはマイナス電極120は噴射ノズル140の内部に収容されている。噴射ノズル140は、イオナイザ本体10の正面横側から突出するとともにプラス電極110またはマイナス電極120を中心軸とする円筒部からなる。本形態では、図2,図6で示すように、八個の噴射ノズル140が形成されている。なお、この個数は設計時に適宜選択が可能である。
イオン搬送チューブ150は、可撓性を有するチューブ、例えばウレタンなどのソフトチューブである。このようなイオナイザ3を使用する場合、まず、流体系回路や噴射ノズル140を経てイオン搬送チューブ150から気体流が出力される状態とし、また、プラス電極110にプラス高圧電源を印可してプラス電極110にプラスイオンを生成させ、および、マイナス電極120にマイナス高圧電源を印可してマイナス電極120にマイナスイオンを生成させる。すると、噴射ノズル140内のプラスイオンやマイナスイオンは気体流に載ってイオン搬送チューブ150の噴射部開口から下側へ向けて噴射される。この噴射ノズル140やイオン搬送チューブ150の上方向は障害物がなくなるため、ラミナフローが噴射ノズル140やイオン搬送チューブ150の周囲に吹き付けるため、ラミナフローが遮蔽されやすかった従来技術よりもラミナフローを効果的なものとしている。
また、イオン搬送チューブ150を採用することで先の形態で説明した効果に加えて、さらに以下のような効果を奏しうる。
イオン搬送チューブ150は、自らの可撓性のため、イオン搬送チューブ150の先端の噴射口を自由に位置決めして除電対象の任意の位置に向けて集中してイオンを噴射して除電することが可能である。このようなイオン搬送チューブ150は、それぞれチューブ搬送式エアガンと同等の機能を持つことになり、1台のイオナイザ3で複数のチューブ搬送式エアガンに代替して使用できる。また、イオン搬送チューブ150に安全上及びイオンバランスの性能上、十分な長さを持たせれば、チューブ搬送式エアガンと同様に除電対象にイオン搬送チューブ150が近接しても問題とならず、対象エリアを狭めて効果的に除電できる。また、イオナイザ本体10は除電対象から離れた位置(上側や横側など)に設置することができる。
イオン搬送チューブ150は、自らの可撓性のため、イオン搬送チューブ150の先端の噴射口を自由に位置決めして除電対象の任意の位置に向けて集中してイオンを噴射して除電することが可能である。このようなイオン搬送チューブ150は、それぞれチューブ搬送式エアガンと同等の機能を持つことになり、1台のイオナイザ3で複数のチューブ搬送式エアガンに代替して使用できる。また、イオン搬送チューブ150に安全上及びイオンバランスの性能上、十分な長さを持たせれば、チューブ搬送式エアガンと同様に除電対象にイオン搬送チューブ150が近接しても問題とならず、対象エリアを狭めて効果的に除電できる。また、イオナイザ本体10は除電対象から離れた位置(上側や横側など)に設置することができる。
以上、イオナイザ1,2,3について説明した。そしてこれらイオナイザ1,2,3は更に各種の変形形態が可能である。上記の形態では、イオナイザ1,2,3のイオン発生方式をイオン再結合が少ない直流方式とし、生成されたプラスイオンとマイナスイオンとを混在させて気体流で除電対象に吹き付けるようにした。しかしながら直流方式であっても、特殊用途ではあるが、電気系回路から供給される電圧をプラスの直流電圧のみとしてプラスイオンのみ生成するようにしたり、または、電気系回路から供給される電圧をマイナスの直流電圧のみとしてマイナスイオンのみというようにしても良い。このような場合でも本発明の効果を奏しうるものとなる。
また、上記のイオナイザ1,2,3において、プラス電極110、マイナス電極120に代えて単なる電極とし、電気系回路から供給される電圧を交流電圧として電極に印可することで、正電圧が印加されてプラスイオンを生成し、また、負電圧が印加されてマイナスイオンを生成するような交流方式のイオナイザとしても良い。
また、イオナイザ1,2,3では側面片側から気体を導入しているが、両側面から気体を導入するようにしても良い。
また、イオナイザ1,2,3では側面片側から気体を導入しているが、両側面から気体を導入するようにしても良い。
以上説明した本発明のイオナイザによれば、上下方向で十分なスペースを持たない装置内や狭小環境においても設置できるようにして、その取り付け条件に応じて水平方向に寝かせるなど設置における自由度を改善することができる。また、イオナイザに特有の構造上の制約を取り払うようにして、設計の自由度を高めることができる。また、取り付け位置に加え、噴射箇所を調整できるようにしたため、プラスマイナスの偏りを解消したり、除電対象の特定箇所に集中的に噴射することもできる。また、気体噴射部の噴射方向の調整機構は簡素な構成であり、コスト増大を低く抑えることもできる。
1,2,3:イオナイザ
10:イオナイザ本体
20:気体導入口
30:電源電圧入力端子
40:噴射ノズル
50:電源線
60:電源回路部
70:プラス電源線
80:マイナス電源線
90:気体供給路
100:封止部
110:プラス電極
120:マイナス電極
130:イオン搬送チューブ
140:噴射ノズル
150:イオン搬送チューブ
10:イオナイザ本体
20:気体導入口
30:電源電圧入力端子
40:噴射ノズル
50:電源線
60:電源回路部
70:プラス電源線
80:マイナス電源線
90:気体供給路
100:封止部
110:プラス電極
120:マイナス電極
130:イオン搬送チューブ
140:噴射ノズル
150:イオン搬送チューブ
Claims (8)
- イオナイザ本体と、
イオナイザ本体内部に設けられる電気系回路と、
イオナイザ本体内部に設けられる流体系回路と、
イオナイザ本体外部へ突出するように設けられ、電気系回路から供給される電圧が印加されてイオンを生成する複数個の電極と、
イオナイザ本体外部に設けられ、電極が内部に収容されており、流体系回路からイオン搬送用の気体流が供給されて電極周囲のイオンとともに噴射する複数個の気体噴射部と、
を備えるコロナ放電式のイオナイザであって、
気体噴射部は、イオナイザ本体から突出して任意の方向へ気体を噴射可能であることを特徴とするイオナイザ。 - 請求項1記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、イオナイザ本体の横側から突出するとともに電極を中心軸とする円筒部と、円筒部と連通するとともに下側へ折れ曲がる折れ曲がり部と、折れ曲がり部と連通するとともに噴射部開口が下方向へ向く噴射口部と、からなる噴射ノズルであることを特徴とするイオナイザ。 - 請求項2記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、前記噴射ノズルに接続される可撓性のイオン搬送チューブを備えることを特徴とするイオナイザ。 - 請求項2または請求項3に記載のイオナイザにおいて、
前記噴射ノズルは、イオナイザ本体に対して回動することを特徴とするイオナイザ。 - 請求項1記載のイオナイザにおいて、
前記気体噴射部は、イオナイザ本体の横側から突出するとともに電極を中心軸とする円筒形状を有する噴射ノズルと、噴射ノズルに接続される可撓性のイオン搬送チューブと、
を備えることを特徴とするイオナイザ。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記イオナイザ本体は横長に形成されるとともに、電気系回路と流体系回路とが横方向に並べられて配置されることを特徴とするイオナイザ。 - 請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路から供給される電圧はプラスおよび/またはマイナスの直流電圧であって、前記複数個の電極は、正電圧が印加されてプラスイオンを生成する複数個のプラス電極および/または負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する複数個のマイナス電極であることを特徴とするイオナイザ。 - 請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のイオナイザにおいて、
前記電気系回路から供給される電圧は交流電圧であって、前記複数個の電極は、正電圧が印加されてプラスイオンを生成し、また、負電圧が印加されてマイナスイオンを生成する複数個の電極であることを特徴とするイオナイザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007174736A JP2009016096A (ja) | 2007-07-03 | 2007-07-03 | イオナイザ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007174736A JP2009016096A (ja) | 2007-07-03 | 2007-07-03 | イオナイザ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009016096A true JP2009016096A (ja) | 2009-01-22 |
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ID=40356772
Family Applications (1)
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JP2007174736A Withdrawn JP2009016096A (ja) | 2007-07-03 | 2007-07-03 | イオナイザ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009016096A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102347257A (zh) * | 2010-07-21 | 2012-02-08 | 东京毅力科创株式会社 | 离子供给装置和具有离子供给装置的被处理体的处理系统 |
-
2007
- 2007-07-03 JP JP2007174736A patent/JP2009016096A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102347257A (zh) * | 2010-07-21 | 2012-02-08 | 东京毅力科创株式会社 | 离子供给装置和具有离子供给装置的被处理体的处理系统 |
JP2012028087A (ja) * | 2010-07-21 | 2012-02-09 | Tokyo Electron Ltd | イオン供給装置及びこれを備えた被処理体の処理システム |
US8692208B2 (en) | 2010-07-21 | 2014-04-08 | Tokyo Electron Limted | Ion supply device and workpiece processing system provided with the same |
KR101391064B1 (ko) | 2010-07-21 | 2014-04-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 이온 공급 장치 및 이것을 구비한 피처리체의 처리 시스템 |
TWI475930B (zh) * | 2010-07-21 | 2015-03-01 | Tokyo Electron Ltd | 離子供應裝置及設有該離子供應裝置之工件處理系統 |
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